KR102106896B1 - 동시에 검사되는 다수의 피검사 장치와의 무선 주파수 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

동시에 검사되는 다수의 피검사 장치와의 무선 주파수 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

RF 검사 신호의 복제를 사용하여 동시에 검사되는 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속을 확인하기 위한 시스템 및 장치. 신호원과 DUT 사이의 유선 신호 접속은 송출 및 관련된 반사 RF 신호의 레벨을 감지함으로써 감시된다. 이러한 신호 레벨은 송출 RF 신호가 기준 임피던스에 제공될 때의 유사한 신호 레벨과 비교된다. 대안으로, 이러한 유선 신호 접속은 공지된 신호 파장의 길이를 갖고 RF 검사 신호 주파수는 스위핑되어 송출 RF 신호와 반사 RF 신호 사이의 최소 시간 지연과 최대 시간 지연은 적어도 하나의 완전한 사이클의 차이를 갖는 최소 및 최대 신호 사이클을 거치게 된다. 반사 RF 신호 크기 및 위상이 감시되고, 이로부터, 피크 및 밸리 신호 레벨차 및 위상 변화가 식별되어 DUT 접속을 나타내는 반사 손실 및 위상 변화를 알아낸다.

Description

동시에 검사되는 다수의 피검사 장치와의 무선 주파수 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR CONFIRMING RADIO FREQUENCY (RF) SIGNAL CONNECTION INTEGRITY WITH MULTIPLE DEVICES UNDER TEST (DUTs) TO BE TESTED CONCURRENTLY}
본 발명은 다수의 무선 주파수(RF) 신호 트랜시버를 동시에 검사하기 위한 시스템 방법에 관한 것이고, 특히, 이러한 장치를 검사할 때 RF 신호 접속 완전성(integrity)을 확인하는 것에 관한 것이다.
오늘날의 다수의 전자 장치는 접속 및 통신 목적을 위해 무선 기술을 사용한다. 무선 장치가 전자기에너지를 송수신하고 2개 이상의 무선 장치가 이들의 주파수 및 파워 스펙트럼 밀도로 인해 서로의 동작에 간섭할 가능성이 있기 때문에, 이러한 장치 및 이들의 무선 기술은 다양한 무선 기술 규격에 충실해야 한다.
이러한 장치를 설계할 때, 엔지니어는 이러한 장치가 이들의 포함된 무선 기술 규정된 규격을 충족하거나 초과하는 것을 보장하기 위해 비상한 관심을 갖고 있다. 또한, 이러한 장치가 추후 대량 제조되고 있을 때, 이들은 포함된 무선 기술 규격에 충실하는 것을 포함하여, 제조 결함이 부적절한 동작을 유발하지 않도록 보장하기 위해 검사된다.
이러한 장치의 제조 및 조립에 이어 검사하기 위해, 현 무선 장치 검사 시스템은 각 장치로부터 수신된 신호를 분석하기 위한 서브시스템을 채용한다. 이러한 서브시스템은 보통 적어도 이러한 장치에 의해 생성된 신호를 분석하기 위한 벡터 신호 분석기(VSA) 및 이러한 장치에 의해 수신되는 신호를 발생시키기 위한 벡터 신호 발생기(VSG)를 포함하고 있다. VSA에 의해 수행되는 분석 VSG에 의해 발생되는 신호는 일반적으로 상이한 주파수 범위, 대역폭 및 신호 변조 특성으로 다양한 무선 기술 규격에 대해 다양한 장치를 검사하기 위해 각각 사용될 수 있도록 프로그램되어 있다.
무선 통신 장치의 제조의 일부로서, 제조 비용의 상당한 부분은 제조 검사 비용이다. 보통, 검사 비용과 이러한 검사를 실행하는데 필요한 시간 사이에 직접적인 상관관계가 존재한다. 따라서, 검사 정확도를 손상시키거나 기본 기기 비용(예를 들어, 검사 기기 또는 검사기의 정교함을 높이는 것으로 인한 증가 비용)을 증가시키지 않고 검사 시간을 단축시킬 수 있는 기술혁신이, 제조되고 검사되는 이러한 상당히 많은 수의 장치를 고려할 때 중요하고 상당한 비용 절감을 제공할 수 있다.
그러나, 이러한 장치를 검사하기 위한 모든 시스템 및 방법은 공통적인 것 하나, 즉, RF 신호 접속 완전성을 갖고 있다. 아래에 보다 상세하게 설명되는 바와 같이, 피검사 장치가 무선 RF 신호 트랜시버이지만, 신뢰할만하고 거의 무손실의 신호 접속을 보장하기 위해 유선 신호 경로를 사용하여 검사가 이루어진다. 따라서, DUT와 검사를 실행하는데 사용된 검사 기기 사이의 이러한 접속 신호 접속부중 하나가 단락되거나, 개방되거나 상당히 상이한 신호 임피던스를 거친다면, 얻어지는 임의의 검사 결과는 아무래도 의심받을 것이고, 거의 가치가 없다. 그래서, 오류 검사 결과를 유발할 수 있는 단락되거나 개방되거나 부정합 임피던스 접속이 없도록 보장하기 위해 검사 기기와 각 검사되는 DUT 사이에 RF 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 검사 시스템 및 방법이 필요하다. 이러한 접속 확인에 의해 (예를 들어, DUT 접속 이력을 수집하여 검사 환경에서 보수 또는 유지에 대한 잠재적인 필요를 예상하기 위해) 이벤트를 추적할 수 있는 것은 물론, 이벤트를 감시하고 스케줄링할 수 있다(예를 들어, 접속된 것으로 확인된 DUT에 전력을 공급하여 제조 검사 환경에서 시간을 최소화할 수 있다).
예를 들어, 도 1에서, 전형적인 2-포트 RF 신호 네트워크를 위한 흐름도가 도시된 바와 같이 표현될 수 있다. 각 포트는 2개의 노드를 포함하고 있는데, 하나는 신호파를 입사하거나 입력하기 위한 것이고 다른 하나는 반사되거나 떠난 신호파가 이러한 신호를 통해 전달되기 위한 것이다. (이러한 설명을 위해, 입사 및 반사 노드는 "a" 및 "b"로 각각 식별하였다.) 이러한 예에서, 입사파가 포트 1에서 장치에 입력될 때, 그 일부는 s11 경로 및 b1 노드를 통해 복귀될 것이고, 입사파의 나머지는 s21 경로를 통해 계속 진행하여 b2 노드를 통해 네트워크를 떠난다. 포트 2에 접속된 장치 또는 부하가 예를 들어, 부정합 임피던스로 인해 반사 신호를 갖는다면, b2 노드를 떠나는 이러한 신호파의 일부를 반사할 것이고 이러한 반사된 신호파 부분은 a2 노드를 통해 네트워크에 재입력될 것이다. 이어서, 이러한 부분은 반사되어, s22를 통해 통과하고 b2 노드를 통해 네트워크를 떠날 수 있다. 반사된 신호파의 나머지 부분은 s12 경로를 통해 계속 진행하고 b1 노드를 통해 네트워크를 떠난다. 따라서, 예를 들어, a1 노드를 통해 네트워크에 들어간 입사파는 b1 노드를 통해 복귀하는 반사된 신호를 유발할 수 있다. 주지된 원리에 따라, 이러한 반사된 신호 성분 b1은 초기 입사 신호 a1, 반사 신호 a2, 및 s11 및 s12 경로와 연관된 네트워크 스캐터링 페리미터(scattering perimeter)를 항으로 하여 b1=a1*s11+a2*s12으로 표현될 수 있다. 포트 2가 예를 들어, 정합 임피던스에 부착됨으로써, 아무런 신호 반사가 없는 경우에, a2 노드에는 반사 신호가 입력되지 않고, 이러한 표현은 b1=a1*s11로 단순해진다. 그래서, 임피던스 정합으로 s11 성분이 최소화될 때 이상적인 시나리오가 된다.
본 발명에 따라, 무선 주파수(RF) 검사 신호의 복제를 사용하여 동시에 검사되는 피검사 장치(DUT)와의 RF 신호 접속을 확인하기 위한 시스템 및 장치가 제공되어 있다. 신호원과 DUT 사이의 유선 신호 접속은 송출, 또는 입사, RF 신호 및, 각각 이러한 송출 RF 신호의 각각과 관련되어 있는 반사 RF 신호의 레벨을 감지함으로써 감시된다. 이러한 신호 레벨은 송출 RF 신호가 사전결정되거나, 기준이 되는, 부하 임피던스에 제공될 때의 유사한 송출 및 반사 RF 신호 레벨과 비교된다. 대안으로, 이러한 유선 신호 접속은 공지된 수의 신호 파장의 길이를 갖고 RF 검사 신호 주파수는 스위핑되어 관련 송출 RF 신호와 반사 RF 신호 사이의 최소 시간 지연과 최대 시간 지연은 차이가 검사 신호 경로에서 적어도 하나의 완전한 사이클인 최소 및 최대 수의 신호 사이클을 거치게 된다. 이러한 주파수 스위프 동안, 반사 RF 신호는 신호 크기 및 위상에 대해 감시되고, 이로부터, 피크 및 밸리 신호 레벨차 및 위상 변화가 식별되어 신호 경로로의 DUT 접속을 나타내는 반사 손실(return loss) 및 위상 변이를 알아낼 수 있다. 이러한 측정의 결과에 기초하여, 검사를 계속하거나, RF 신호 접속을 재조정하거나, 전력이 적절히 인가되었는지 확인하거나, 다른 액션을 취하도록 결정할 수 있다.
예를 들어, 이러한 측정에 의해 검사 시스템은 DUT의 접속의 품질은 물론 접속 상태를 확인할 수 있다. 또한, 이로 인해 적절한 감시 명령등을 내림으로써, 적절히 접속된 것으로 확인된 DUT에 급전하는 것, 검사의 임의의 필요한 펌웨어를 다운로드하고 시작하거나, 트리거하는 것과 같은 이벤트를 계획하기 위해 사용될 수 있는 접속 및 접속 품질, 그에 대한 정보를 감시함으로써 생산 검사 환경에서 정지 시간을 최소화할 수 있다. 또한, DUT 접속 이력을 수집하는 것과 같은 이벤트의 추적이 가능하여 검사 시스템이 검사 환경에서 보수 또는 유지를 위한 잠재적인 필요 및 타이밍을 예상할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 동시에 검사되는 다수의 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 검사 시스템을 포함하는 장치는, 복수의 송출 RF 신호 및 복수의 반사 RF 신호의 적어도 일부를 전달하도록 복수의 DUT에 결합되기 위한 복수의 신호 포트로서, 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각은 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각과 관련되어 있는 복수의 신호 포트; 상기 복수의 송출 RF 신호를 제공함으로써 RF 검사 신호에 응답하는 신호 라우팅 회로로서, 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각은 상기 RF 검사 신호에 상응하는 신호 라우팅 회로; 및 상기 신호 라우팅 회로와 상기 복수의 신호 포트 사이에 결합되어 있는 신호 센싱 회로로서, 상기 복수의 송출 RF 신호 및 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각의 각각의 크기를 나타내는 복수의 송출 센스 신호 및 복수의 반사 센스 신호를 제공함으로써 상기 복수의 송출 RF 신호 및 상기 복수의 반사 RF 신호의 적어도 일부에 응답하는 신호 센싱 회로를 포함하고 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따라, 동시에 검사되는 다수의 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속 완전성을 확인하는 방법은, 복수의 DUT에 대해, 공통 RF 검사 신호를 복제하는 동일한 복수의 송출 RF 신호를 제공하는 단계; 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각의 신호의 각각의 크기를 나타내는 복수의 송출 센스 신호를 제공하도록 상기 복수의 송출 RF 신호를 감지하는 단계; 각각 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각과 관련된 복수의 반사 RF 신호를 수신하는 단계; 및 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각의 신호의 각각의 크기를 나타내는 복수의 반사 센스 신호를 제공하도록 상기 복수의 반사 RF 신호를 감지하는 단계를 포함한다.
도 1은 연관된 스캐터링 페리미터를 갖는 RF 신호 네트워크를 위한 기본 신호 흐름 그래프를 도시하고 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 다수의 RF 신호 트랜시버를 검사하기 위한 검사 환경을 도시하고 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다수의 RF 신호 트랜시버를 검사하기 위한 검사 환경을 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다수의 RF 신호 트랜시버를 검사하기 위한 검사 환경을 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입사 신호 및 반사 신호에 대한 측정 신호를 비교하고 저장하기 위한 회로를 도시하고 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하나 이상의 RF 신호 트랜지버를 검사하기 위한 검사 환경을 도시하고 있다.
도 7은 VSG 회로의 예를 도시하고 있다.
도 8은 주파수 스위프되는 VSG 신호를 도시하고 있다.
도 9 내지 도 13은 본 발명의 추가 실시예에 따른 DUT의 검사 동안 입사 신호의 주파수를 스위핑하는 동안의 반사 신호에 대한 측정 전력을 도시하고 있다.
다음의 상세한 설명은 첨부된 도면을 참조한 본 발명의 실시예에 대한 것이다. 이러한 설명은 예시를 위한 것은 본 발명의 범위를 제한하고자 하는 것은 아니다. 이러한 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 기술되어 있고, 다른 실시예가 본 발명의 정신 또는 범위로부터 벗어남 없이 일부 변경으로 실시될 수 있다는 것을 이해할 것이다.
본 발명에 전체에서, 문맥과 반대로 표시하지 않으면, 기술된 개별적인 회로 소자는 단수 또는 복수일 수 있다는 것을 이해할 것이다. 예를 들어, "회로"는 단일 구성요소 또는 복수의 구성요소를 포함할 수 있고, 이들은 능동 및/또는 수동이고 함께 접속되거나 (예를 들어, 하나 이상의 집적회로 칩으로) 결합되어 기술된 기능을 제공할 수 있다. 또한, 용어 "신호"는 하나 이상의 전류, 하나 이상의 전압, 또는 데이터 신호를 가리킬 수 있다. 도면에서, 동일하거나 관련된 요소는 동일하거나 관련된 알파벳, 숫자 또는 영숫자 표시를 가질 것이다. 또한, 본 발명이 이산 전자 회로를 사용하여 (바람직하게는 하나 이상의 집적 회로 칩의 형태로) 구현되는 것으로 기술되어 있지만, 이러한 회로의 임의의 부분의 기능은 대안으로, 처리되는 신호 주파수 또는 데이터 전송속도에 따라, 하나 이상의 적절히 프로그램된 프로세서를 사용하여 구현될 수 있다. 또한, 도면이 다양한 실시예의 기능 블록의 도면을 도시한다면, 이러한 기능 블록은 하드웨어 회로 사이의 분할을 반드시 표시하는 것은 아니다.
다음의 설명은 다수의 DUT의 동시 검사에 대한 것이다. 용이하게 이해되는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라 다수의 DUT를 동시에 검사하기 위한 하술된 시스템, 기술 및 원리는 임의의 다수의, 즉, 2개 이상의 DUT에 대해 조정될 수 있다.
도 2에서, 다수의 DUT(20)를 검사하기 위한 검사 환경(10a)의 실시예는 (신호원(52), 예를 들어, 벡터 신호 발생기, 또는 VSG, 및 수신 신호 분석기(54), 예를 들어, 벡터 신호 분석기, 또는 VSA를 포함하는) 검사기(50), (아래에 보다 상세하게 설명되는) 신호 루팅 회로(40, 42), 정재파비(SWR) 센서(26), 전력계(28), 센서 신호 스위치(30), DUT 신호 스위치(22), 및 특성 RF 회로 임피던스(예를 들어, 50 또는 75 옴)와 동일한 공칭 리얼 임피던스를 갖는 부하 회로(24)를 포함하고 있다. 제1 후팅 회로(40)는 제2 신호 루팅 회로(42)가 신호 멀티플렉싱 또는 스위칭 회로로서 구현될 수 있지만, 멀티플렉싱, 스위칭, 분할 및 결합 회로의 하나 이상 또는 조합으로서 구현될 수 있다. 대안으로, 단일 루팅 회로 구현은 필요한 신호 결합 및 루팅 기능을 실현함으로써 사용될 수 있다. 또한, 신호 스위치로서 도시된 이러한 소자는 주지된 기술에 따라 멀티플렉서를 사용하여 구현될 수 있다.
현재 도시된 바와 같이, 검사기(50)는 신호원(52) 및 신호 분석기(54)를 포함하고 있고, 외부 회로는 신호 루팅 회로(40, 42), SWR 센서(26), 전력계(28), 추가 스위치(30, 32) 및 부하 임피던스(24), 그리고 상응하는 신호 접속부(예를 들어, 전선 및 커넥터)를 포함하고 있다. 또한, 스위치 제어 회로(60) 및, 필요하다면, 외부 제어기(70)가 이러한 시스템을 완성하기 위해 포함될 수 있다. 그러나, 용이하게 이해되는 바와 같이, 검사기(50)는 필요에 따라, 이러한 소자 및 기능 모두를 포함하도록 주지된 기술에 따라 설계되고 구현될 수 있다.
DUT(20)의 검사 동안, 검사기(50)의 신호원(52)은 다수의 복제 신호(41a, 41b,...,41n)를 제공하기 위해 전환 소스 신호(43)를 복제하는 제1 신호 루팅 회로(40)(예를 들어, N:1 신호 결합기/분할기)에 전환가능하게 제공되는, 소스 신호(53)를 제공한다. 이러한 복제 신호(41)는 다수의 DUT(20)에 전달되는 입사 신호(21i)로서 기능한다. 실제 검사 동안, 이러한 복제 신호(41)는 (예를 들어, DUT 수신, 또는 RX, 신호 검사 동안) SWR 센서(26) 및 DUT 스위치(22)를 통해 DUT(20)에 전송된다. 이러한 검사 동안, DUT 스위치(22a, 22b,...,22n)는 스위치 제어기(60)로부터의 스위치 제어 신호(61aa, 61ab...,61an)에 따라 SWR 센서(26a, 26b,...,26n)에 의해 전송된 복제 신호(23a, 23b,...,23n)를 각각의 DUT(20a, 20b,...,20n)으로 전송하도록 구성되어 있다.
또한 이러한 검사 동안, (예를 들어, 소스 신호(52)의 자동 레벨 제어에 사용되기 위한) 입사 신호(21i)의 신호 레벨(예를 들어, 전력)을 감시하는 것이 바람직하다면, 센서 스위치(30a, 30b,...,30n)는 스위치 제어기(60)로부터의 스위치 제어 신호(61ba, 61bb,...,61bn)에 따라, SWR 센서(26a, 26b,...,26n)로부터의 각각의 입사 센서 신호(27ai, 27bi,...,27ni)를 상응하는 전력계(28a, 28b,...,28n)로 전송하도록 전환될 수 있다. 주지된 기술에 따라, 이러한 전력계(28)는 DUT(20)에 복제 신호(41/23)의 형태로 제공된 입사 신호(21i)의 신호 레벨(예를 들어, 전력)을 나타내는 상응하는 측정된 입사 센스 신호 데이터(29a, 29b,...,29n)를 제공하도록 스위치(30)에 의해 제공된 입사 센서 신호(31a, 31b,...,31n)를 측정한다.
DUT(20)가 검사되고 있는 이러한 시간 이전에 또는 동안에, 센서 스위치(300는 이들의 스위치 제어 신호(61ba, 61bb,...,61bn)에 따라, 반사된 센서 신호(27ar, 27br,..., 27nr)를 전력계(28)에 전송한다. 전력계(28)는 DUT(20)의 검사 동안 존재하는 임의의 반사된 신호 성분의 레벨(예를 들어, 전력)을 나타내는 상응하는 측정 데이터(29a, 29b,...,29n)을 제공하기 위해 전환된 반사 센스 신호(31a, 31b,...,31n)을 측정한다. 즉, 이러한 측정 데이터(29)는 DUT 신호 경로(21a, 21b,...,21n) 또는 DUT(20a, 20b,...,20n)중 하나에서 일어나는 개방, 단락, 또는 부정합 임피던스로 인해 반사되고 있는 DUT(20a, 20b,...,20n)에 제공된 입사 복제 소스 신호(23a, 23b,...,23n)의 임의의 부분을 나타낸다.
(DUT(20) 내부의 입력 신호 경로는 물론) DUT(20)로의 RF 신호 경로(21a, 21b,...,21n)의 접속 완전성을 확인할 목적으로, DUT 스위치(22a, 22b,..., 22n)는 이상적으로, DUT의 특성 임피던스(예를 들어, 50 또는 75 옴)인 값을 갖는 회로 접지에 분로된 비유도성 저항인 부하 임피던스(24)로 SWR 센서(26)를 단말처리하도록 (예를 들어, 상술된 입사 및 반사 신호 측정 이전, 사이 또는 이후에) 전환된다. 그 결과, 복제 소스 신호(23a, 23b,...,23n)는 SWR 센서(26)의 역, 또는 반사, 신호 센싱 기능에 의해 측정된 실질상 보다 작은 크기(예를 들어, 일부 입사 신호 누설이 발생하여 진정한 제로 측정값에 도달되는 것이 방지될 수 있지만, 이상적으로 제로이다)를 갖는 반사 신호 성분(21r)을 나타내야 하는 특성 부하 임피던스(24)로 종료된다. 이를 확인하기 위해, 그리고 각각의 부하, 또는 종료, 임피던스(24a, 24b,...,24n)에 기초하여 개별적인 기준 반사 신호값을 달성하기 위해, 센서 스위치(30)는 반사 센스 신호(27ar, 27br,...27nr)를 전력계(28)로 전송하도록 전환된다. 이전과 같이, 전력계(28)는 (예를 들어, DUT(20)로의 RF 신호 경로(21a, 21b,...,21n)의 논제로 s11 성분 및/또는 DUT(20) 내부의 입력 신호 경로로 인해) 임의의 반사 신호 성분(21r)의 신호 레벨(예를 들어, 전력)을 나타내는 반사 센스 신호 데이터(29a, 29b,...,29n)을 제공하기 위해, 이제 반사 센스 신호인 이러한 전환된 신호(31a, 31b,...,31n)를 측정한다. 아래에 보다 상세하게 설명된 바와 같이, 이러한 기준 반사 신호 데이터는 DUT(20)의 RX 검사 동안 측정된 반사 신호 데이터와 비교될 수 있다.
도 3에서, 검사 환경(10b)의 다른 실시예가 상술된 바와 같이, SWR 센서(26a, 26b,...,26n)에 의해 제공된 입사 센스 신호를 위한 전력계(28ai, 28bi,...,28ni) 및 반사 센스 신호를 위한 전력계(28ar, 28br,...,28nr)를 포함하고 있다. 이전과 같이, 측정된 입사 센스 신호 데이터(29ai, 29bi,...,29ni) 및 측정된 반사 센스 데이터(29ar, 29br,...,29nr)가 제공되어 있고 입사(21i) 및 반사(21r) 신호의 신호 레벨을 각각 나타내고 있다.
도 4에서, 검사 환경(10c)의 다른 실시예가 도 3의 검사 환경(10b)에 대해 상술된 바와 같이, 별개의 전력계(28ai, 28bi,...,28ar, 28br,...)를 포함하고 있다. 그러나, SWR 센서(26a, 26b,...)에 의해 전송된 복제 소스 신호(23a, 23b,...)가 DUT 스위치(22)와 부하 임피던스(24)(도 2 및 도 3)를 개입시키지 않고 DUT(20a, 20b,...)에 직접 신호 경로(21a, 21b,...)를 통해 제공된다. 대신에, 입사(21i) 및 반사(21r) 신호는 상술된 바와 같이, 입사(21i) 및 반사(21r) 신호의 신호 레벨을 나타내도록 제공된 상응하는 전력계 데이터(29)를 가진 SWR 센서(26)에 의해 감시된다. 이들의 검사 환경(10c)에서, DUT 검사 신호를 위한, 측정된 입사(29ai, 29bi,... 및 반사(29ar, 29br,...) 신호 데이터에 대해 비교하기 위한 기준 입사(29pi) 및 반사(29pr) 신호 레벨 데이터가 별개의 SWR 센서(26p) 및 부하 임피던스(24p)를 사용하여 제공된다. 이전과 같이, SWR 센서(26p)는 기준 측정된 입사 신호 데이터(29pi) 및 기준 측정된 반사 신호 데이터(29pr)를 제공하기 위해 각각의 전력계(28pi, 28pr)에 의한 측정을 위한 입사 센서 신호(27pi) 및 반사 센스 신호(27pr)를 제공한다. (대안으로, 도 2의 검사 환경(10a)에 도시된 바와 같이, 스위치를 가진 공유 전력계가 사용될 수 있다.)
도 5에서, 다양한 측정 신호 데이터를 감시하기 위한 회로가 도시된 바와 같이 실질상 상호접속된, 비교 회로(80) 및 메모리 회로(82)를 포함할 수 있다.
도 2의 검사 환경(10a)에서 사용될 때, 비교 회로(80)는 상술된 바와 같이, 복제 소스 신호(23a, 23b,...,23n)가 이들의 각각의 부하 임피던스(24a, 24b,...,24n) 및 DUT(20a, 20b,...,20n)에 전달되는 동안 SWR 센서(26a, 26b,...,26n)를 통과하는 입사(21i) 및 반사(21r) 신호 성분의 신호 레벨을 나타내는 데이터를 포함하는 측정 신호 데이터(29a, 29b,...,29n)를 수신하고 비교할 수 있다. 이러한 측정 신호 데이터는 사전결정되거나 사전규정된 신호 임계값에 대해 비교될 수 있다. 이러한 측정된 신호 데이터중 하나 이상이 이러한 하나 이상의 신호 임계값이 초과되거나 교차되는 것으로 나타날 때(즉, DUT(20)를 검사 환경910)에 삽입하거나 접속하고 및/또는 전력을 DUT(20)에 초기 인가할 때 발생할 수 있는 바와 같이, 신호 값 임계치 보다 작은 것으로 큰 것으로 또는 큰 것으로부터 낮은 것으로 측정 신호 데이터 값이 변하는 경우), 하나 이상의 신호(81)가 (아래에 보다 상세하게 설명된) 검사 시퀀스의 절차의 시작 또는 제어에 사용하기 위해, 이벤트의 기록, DUT(20)의 검사 시작 또는 트리거, 또는 검사기(50), 제어기(70)(도 2 내지 도 4) 또는 검사 오퍼레이터(도시되지 않음)의 대기와 같은 다양한 사용 또는 목적을 위해 제공될 수 있다. 메모리 회로(82)는 (예를 들어, 아래에 보다 상세하게 설명되는 바와 같이, 시간에 따른 검사 환경의 상태 감시를 위해) 필요한 대로 나중에 사용하기 위해 측정 신호 데이터 및 검사 결과를 저장하는데 사용될 수 있다.
도 3의 검사 환경(10b)에서, 비교 회로(80)가 유사한 방식으로 사용될 수 있다. 이러한 경우에, 수신된 측정 신호 데이터(29a, 29b,...,29n)는 입사 신호 데이터(29ai, 29bi,...,29ni) 및 반사 신호 데이터(29ar, 29br,...,29nr)를 포함하고 있다.
도 4의 검사 환경(10c)에서, 비교 회로(80)는 측정된 기준 입사 신호 데이터(29pi) 및 측정된 기준 반사 신호 데이터(29pr)를 추가 수신하여 유사한 방식으로 사용될 수 있다. 이전과 같이, 이러한 측정된 신호 데이터는 단락 또는 개방 DUT 신호 경로 또는, 이러한 신호 경로 또는 DUT 내의 부정합 임피던스의 가능성을 나타내도록, 사전결정되거나 사전규정된 신호 임계값이 교차되었는지를 알아내기 위해 비교되고 사용될 수 있다.
추가 실시예에 따라, 반사된 RF 신호를 포함하는 측정값이 DUT의 검사 신호 경로로의 접속성을 판정하기 위해 다른 방식으로 사용될 수 있다.
도 6에서, 전형적인 검사 환경(100)에서, 상술된 바와 같이, 검사기(150)는 DUT(120)를 검사하기 위한 RF 검사 신호(151)를 제공하는 VSG(152)를 포함하고 있다. 이러한 검사 신호(151)는 신호 분할 및 결합 회로(104) 및 (커넥터(121a)에 의해 검사기(150) 및 DUT에 전기기계적으로 결합된) 유선 신호 경로(121)를 통해 DUT(120)에 전송된다. (당업자가 쉽게 이해하는 바와 같이, 신호 분할 및 결합 회로(104)는 결합 신호의 방향성의 필요 없이 SWR 센서(26)(도 2 내지 도 4)에 의해 제공된 것과 유사한 신호 결합을 제공한다. 또한, RF 신호 감쇠기(102)가 DUT(120)와 신호 경로(121)와 검사기(150) 사이와 같은 향상된 임피던스 정합을 위해 신호 경로(121)와 DUT(120) 사이에 직렬로 자주 사용되고 있다.
주지된 원리에 따라, 입사 신호(121i)에 응답하여, 신호 경로(121)와 DUT(120)(그리고 감쇠기(102)) 사이의 임피던스 부정합으로 인해 반사 신호(121r)가 생성된다. 이러한 반사 신호(121r)과 신호 결합 및 분할 회로(104)에서 분할되어 분할된 입사 신호 성분(151i)와 결합하여 전력 검출기(128)에 의해 검출되고 측정되는 결합 RF 신호(131)를 생성하는 반사 신호 성분(151r)을 생성한다. 아래에 보다 상세하게 설명된 바와 같이, 전력 검출기(128)에 의한 이렇게 결합된 신호(131)의 측정에 의해, 측정된 RF 신호(131)의 크기 및 위상을 나타내는 측정 전력 신호(129)를 얻을 수 있다. DUT(120)가 접속되어 있는지 여부에 따라, 반사 신호(121r)와 그 측정된 성분(151r)의 크기 및 위상은 상이할 것이고, 감지되거나 측정되어 검사 환경(100)에서 DUT(120)의 적절하거나 부적절한 접속을 검출할 수 있다.
입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분이 동일한 소스로부터 나와서 상관되어 있다는 사실이 검사를 위해 잠재적으로 중요하다. 이에 따라, 이들이 동상일 때, 전력 검출기(128)는 이러한 신호(151i, 151r)의 합(131)을 알게 될 것이다. 이들이 이상일 때, 결합 신호(131)는 이들의 신호의 상호 위상차에 따라, 부분 합으로부터 신호(151i, 151r)의 크기 사이의 완전한 차이까지의 범위를 가질 수 있다.
예를 들어, 6dB 신호 감쇠기(102)가 사용된다면, RF 신호 케이블(121)은 15dB의 반사 손실을 갖고 되고, VSG(152)에 의해 제공된 입사 신호(121i)는 -10dBm의 신호 출력을 갖고, DUT(120)가 접속되지 않은 반사 손실은 대략 12dB이고, DUT(120)가 접속된 경우에는, 시스템 반사 손실이 대략 15dB로 RF 케이블(121)에 의해 조절된다. 동상으로 상호 정렬된 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분의 단순한 예를 위해, 전력 검출기(128)는 DUT(120)가 접속되지 않았을 때(-10dBm-12dB = -22dBm)에 비해, DUT(120)가 접속되었을 때(-10dBm -15dB = -25dBm)에 보다 낮은 전력을 측정할 것이다. 즉, DUT(120)가 접속되기 전에, 반사 신호(121r)가 입사 신호(121i)와 동상이 아니지만, DUT(120)의 접속 다음에는, 반사 신호(121r)가 보다 작지만, 이제 입사 신호(121i)와 동상이 되어서, 전력 검출기(128)에 의해 측정되는 보다 높은 전력 반사 신호(131)를 생성한다. 그래서, 반사 신호(131)의 검출된 전력은 신호 반사 손실은 물론 신호 위상에 의존한다.
대안으로, 신호 결합 및 분할 회로(104) 대신에, 방향성 결합기가 사용될 수 있고, 이러한 경우에, 입사 신호 성분(151i)이 존재하지 않고, 오직 반사 신호 성분(151r)이 남아 전력 검출기(128)에 의해 측정된다. 이것은 반사 신호 성분이 측정을 위해 분리될 수 있기 때문에 검사를 향상시킨다. 그러나, 측정 기능은 여전히 전체 시스템 반사 손실에 의해 제한될 것이다. 따라서, 시스템 반사 손실이 DUT(120)의 것에 의해 조절되지 않으면(예를 들어, 결합된 RF 케이블(121)와 검사기(150) 보다 양호한 반사 손실을 제공하는, DUT(120)와 직렬로 접속된 보다 양호한 정합 감쇠기(120)가 존재한다), 검사기(150)는 DUT(120)가 접속되어 있는지 여부 또는 시점을 알아낼 수 없다. 그러나, 본 발명의 추가 실시예에 따라, 입사(121i) 및 반사(121r) 신호의 신호 위상은 전력 검출기가 RF 케이블(121), DUT(120) 및 신호 감쇠기(102)로 인한 시스템 반사 손실에 관계없이, 검사 환경(100)에서 DUT(120)의 접속 및 부재를 알아낼 수 있도록 하는 방식으로 제어될 수 있다. 아래에 보다 상세하게 설명된 바와 같이, 입사 및 반사 신호의 위상 제어는 검사 신호 경로의 유효 파장과 관련된 최소 주파수 범위에서 입사 신호의 주파수를 변화시킴으로써 효과적으로 달성될 수 있다.
도 7에서, 전형적인 VSG(152a)는 디지털 및 아날로그 서브시스템을 포함하고 있다. 동상(201i) 및 직교 위상(201q) 신호는 디지털 업컨버터(DUC)(202i, 202q), 저역 필터(204i, 204q) 및 믹서(206i, 206q)에 의해 처리된다. 주파수 업컨버터 신호(203i, 203q)는 저역 필터(204i, 204q)에 의해 여과된다. 여과된 신호(205i, 205q)는 로컬 오실레이터(LO) 신호원(210)에 의해 제공된 LO 신호(211)에 기초하여 그리고 이상기(212)에 의해 제공된 각각의 동상(213i) 및 직교 위상(213q) RF 신호를 사용하여 믹서(206i, 206q)에 의해 추가 주파수 상향 변환된다. 최종 상향 변환된 신호(207i, 207q)는 신호 합산 회로(208)에서 결합된다. 결합 신호(209)는 디지털-아날로그 컨버터(DAC)(214)에 의해 디지털 형태로부터 아날로그 신호(2150에 변환된다. 최종 아날로그 중간 주파수(IF) 신호는 다른 LO 신호원(216)에 의해 제공된 다른 LO 신호(217)에 따라 믹서(218)에 의해 추가로 주파수 상향 변환된다. 최종 RF 신호(219)는 VSG 출력 신호(151)(도 6)로서 기능한다.
상술된 바와 같이 입사(121i) 및 반사(121r) 신호(도 6)의 신호 위상은 VSG 출력 신호(219)의 주파수를 스위핑함으로써 효과적으로 제어될 수 있다. 반송파 신호(217)의 주파수의 변화가 상대적으로 느리지만, 동상(201i) 및 직교 위상(201q) 베이스밴드 신호의 주파수는 VSG(152a)의 베이스밴드 대역폭 내의 주파수 범위를 스위핑하도록 (예를 들어, 디지털 데이터 파형의 주파수를 스위핑함으로써) 용이하게 제어될 수 있다. 이러한 베이스밴드 신호만 주파수 스위핑될 수 있거나, 대안으로, 또는 추가로, IF LO 신호(211) 역시 주지된 기술에 따라 (예를 들어, 제어 신호(211c)에 따라) 주파수 스위핑될 수 있다.
도 8에서, 하나의 실시예에 따라, 출력 신호(219)가 도시된 바와 같이 시간에 대해 주파수가 변할 수 있다. 실시예에 따라, 이러한 신호(219)는 일정한 크기를 갖는 사인파일 것이다. 이러한 예에 대해 도시된 바와 같이, 그 주파수는 주파수 범위가 60MHz인 1000 마이크로초의 신호 주파수를 갖는 시간의 함수이다.
상술된 바와 같이, 검사기(150) 및 DUT(120)는 검사 케이블(121)을 통해 접속될 것이다. 이러한 케이블(121)은 (당업계에 주지된 바와 같이) 물리적 길이 및 케이블의 다양한 물리적 특성에 따른 신호 파장의 유효 길이를 가질 것이다. 이러한 검사 신호의 주파수 범위에 대해, 이러한 신호는, 저주파수일 때, 케이블을 전파하여 N개의 신호 사이클을 거칠 것인데 이러한 숫자 N은 반사 신호(121r)에 대한 유효 케이블 길이의 2배로 결정될 것이다. 고주파수에서, 보다 짧은 신호 파장으로 인해, 검사 신호는 보다 많은, 예를 들어, N+M 개의 신호 사이클을 통과할 것이다. 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분이 N개의 신호 사이클을 신호가 거친 주파수에 대해 전력 검출기(128)에서 동상이라면, 이러한 신호 성분(151i, 151r)은 또한 검사 신호가 N+1 개의 신호 사이클을 거치는 주파수에서 전력 검출기(128)에서 동상이 될 것이다. 따라서, 주파수 스위프가 N개의 신호 사이클 내지 N+1 개의 신호 사이클을 발생시키는 주파수 범위에서 바람직하게 연속인 것이기 때문에, 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분은 동상, 널, 또는 상쇄 위상, 및 그 사이의 모든 위상을 포함하는 신호 상태를 거칠 것이다.
도 9에서, 최종 사이클링 효과로 인해 결합 신호(131)는 도시된 바와 같이, 동상, 상쇄, 동상, 상쇄...로 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분을 갖는다. 이로 인해 도시된 바와 같이, 시간의 함수로 판독되는 전력을 얻을 수 있다. 설계된 신호 패턴으로 인해, 이것은 실질상, 2개의 타입의 신호 주기를 갖는 신호 주파수에 대한 신호 전력이다. 1000 마이크로초의 신호 스위프 주기의 실시예에 대해, 최종 전력 측정값은 주파수 스위프 주기에 의해 유발되는, 3000 마이크로초 동안 3개의 전력 신호 주기를 갖는다. 하나의 보다 큰 주기에서, 검사 케이블(121)의 길이 및 스위핑되는 주파수 범위에 의해 제어되는 사이클링을 볼 수 있다. (대안으로, 이러한 주파수 스위프는 예를 들어, 도시된 바와같이, 톱니 스위프 파형 보다는 삼각 스위프 파형으로서, 주파수가 최소 주파수와 최대 주파수 사이에 증가와 감소 사이를 오락가락하도록 이루어질 수 있다.)
예를 들어, VSG 베이스밴드 대역폭이 80MHz이고, 공칭 중심 전송 주파수를 6000MHz로 가정하자. 이러한 신호는 도 8에 도시된 바와 같이, 60MHz의 베이스밴드 주파수 범위를 사용하여 스위핑되어, 시간의 함수로서 5970과 60300MHz 사이의 출력 신호 스위핑을 생성한다. 이러한 예에 대해, 검사 케이블(121)이 66%의 전파 속도로 1.5미터의 물리적 길이를 가져, 5970MHz에 대해 3.32 센티미터의 유효 파장을 6030MHz에 대해 3.28 센티미터의 유효 파장을 얻는 것으로 가정하자. 이에 따라, 반사 신호 성분(151r)에 대한 왕복 길이는 3 미터 또는 300 센티미터이다. 따라서, 반사 신호 성분(151r)은 6030MHz에서 300/3.28=91.5 사이클을, 그리고 5970MHz에 대해 300/3.345=90.4 사이클을 거칠 것이다. 이것은 적어도 하나의 완전 신호 사이클이기 때문에, 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분은 피크 및 밸리를 포함하는 모든 위상 관계를 거치게 될 것이다.
DUT(120)가 접속되거나 접속되지 않은, 거의 15dB의 시스템 반사 손실을 갖는 검사 시스템에 대해, 전압 정재파 비(VSWR)는 1.43이다. 이것은 종래의 전력 검출기(128)에 의해 용이하게 관찰될 수 있는 3.1 dB의 차이를 갖는 신호 피크 및 밸리를 갖는 결합 신호(131)를 생성할 것이다. 이러한 신호(131) 피크 및 밸리를 측정함으로써, 시스템의 반사 손실이 (이러한 시스템 반사 손실이 스위핑되는 주파수 범위에서 거의 일정할 것이기 때문에) 결정될 수 있다. 따라서, DUT(120)의 접속에 의해 유발된 임의의 반사 손실 변화는 측정된 신호(131) 전력의 변화에 의해 반영될 것이다.
도 10에서, 이러한 시스템 반사 손실이 DUT(120) 이외의 하나 이상의 요인에 의해 제어될 때, 검사 케이블(121)로의 DUT(120)의 접속은 측정 전력 판독값에 있어서 상당한 차이를 나타내지 않을 수 있다. 그러나, DUT(120)의 접속은 여전히, 반사 신호 성분(151r)의 위상의 변화를 유발한다. 이러한 위상 변화는 이어서, 측정 신호(131) 전력의 피크 및 밸리의 위치를 바꿀 것이다. 도시된 바와 같이, 제3 전력 판독 사이클 동안 급한 변화(131b)가 존재한다. 그래서, 이로 인해 신호 전력 피크 및 밸리가 시간 시프트하게 된다. 따라서, 최종 급한 전력 판독 변화는 이러한 시스템 신호 위상 변화를 유발하는, DUT(120)의 접속을 나타낸다.
다수의 사이클 동안 결합 신호(131)를 측정하고 적어도 2개의 주파수 스위프 사이클을 상관시킴으로써, DUT(120)의 접속에 의해 유발된 위상 변화가 신호 전력 피크 및 밸리의 시프트로 인해 결정될 수 있다. 예를 들어, 주파수 스위프 및 케이블 손실이 신호 하나 보다 많은 주기의 신호 리플을 생성하고 있을 때, 이러한 상관관계는 (신호 주파수와 관련된) 피크 및 밸리 위치를 상관시키는 것과 같이 용이할 수 있다. DUT(120)의 접속이 위상 반전(180도 시프트)을 유발하는 극단적인 경우에, 전력 검출기(128)는 피크 및 밸리가 위치를 교환한다는 것을 알게 될 것이다. 즉, 피크는 밸리가 되고 밸리는 피크가 된다.
도 11에서, 이러한 상관관계의 그래프가 도시된 바와 나타나 있다. 이러한 예에 대해, 이것은 도 10의 측정된 전력 신호의 제1 및 제3 주기의 상관관계이다.
상기 설명에 기초하여, VSG(152)의 베이스밴드 신호 주파수를 스위핑하는 동안 (그리고 반송파 주파수를 변경할 필요 없이), 입사(151i) 및 반사(151r) 신호 성분을 포함하는 결합 신호(131)가 DUT(120)의 접속에 의해 유발된 반사 손실 및 신호 위상 변화를 검출하기 위해 (설계된 신호에 대해, 주파수 응답에 상응하는) 시간 영역에서 다수의 측정 사이클 동안 감시되고 상관될 수 있다는 것을 이해해야 한다. 이러한 DUT 접속의 검출은 검사 시퀀스를 시작하기 위해 트리거로서 사용될 수 있어서, DUT(120)의 접속 이전의 검사 시퀀스를 실행함으로써 낭비 검사 시간을 피하거나, 그 다음 이어지는 결함 DUT(120)의 접속을 피할 수 있다.
도 12에서, 하나의 검사 환경(100)의 예(도 6)에 따라, 완전한 6dB 신호 감쇠기(102)가 사용된다고 가정한다. DUT(120)의 접속 이전에, 시스템 반사 손실은 12dB이다. DUT(120)가 접속될 때, 시스템 반사 손실은 18dB로 향상된다. (검사기(150)는 0dBm 입사 신호(121i)를 제공하는 것으로 가정한다.) 반사 신호(121r)의 위상은 DUT(120)의 접속으로 인해 변하지 않는다. 이로 인해 측정 사이에 아무런 위상 변화도 없게 된다. 이러한 12dB 반사 손실은 대략 1.67의 VSWR를 생성하고 최종 정재파는 4dB(20*log 1.67) 보다 큰 전력 판독값 변화를 생성할 것이다. 시스템 반사 손실이 DUT(120)의 접속으로 인해 18dB로 향상될 때, 정재파 변화는 대략 2.2dB이다.
도 13에서, 다른 예에 따라, 완전한 10dB 신호 감쇠기(102)가 사용된다고 가정하자. 이것은 DUT(120)가 접속되지 않은 상태에서 대략 20dB의 시스템 반사 손실을 생성한다. 이러한 경우에, 검사 케이블(121) 및 다른 접속부는 시스템 성능을 조정하여, DUT(120)의 접속은 시스템 반사 손실을 상당히 향상시키지 않는다. 그러나, DUT(120)의 접속으로 270도(3*π/4 라디안)의 위상 변이가 일어난다. 이러한 20dB 반사 손실은 대략 1.22의 VSWR로 변환되고 대략 1.7dB의 피크간 스윙 전력 검출기(128) 측정값을 생성한다. 도시된 바와 같이, 이러한 위상 변화는 DUT(120)의 접속 전후에 전력 검출기 측정 결과를 상관시킴으로써 용이하게 관찰될 수 있다.
상기 설명에 기초하여, 회로 소자, 검사 시스템 구조 및 검사 기술의 다양한 결합예가 이러한 RF 신호 트랜시버 검사 환경의 상태에서의 변화는 물론 다양한 상태의 신속하고, 신뢰할만하고 다용도의 검출을 제공한다는 것을 알 수 있다. 예를 들어, 이러한 검사 환경에서 반사 신호의 크기 및 위상을 검출함으로써, DUT의 RF 신호 포트가 접속되거나 접속해제되었는지 여부 및 시간, DUT가 그 전력이 인가되거나 제거된 여부 및 시간, 또는 DUT의 일부의 동작 상태가 고장이거나 변경된 여부 및 시간을 알 수 있다. 또한, 상태 및 시간에 대한 상태의 변화를 감시함으로써, 검사 환경 자체의 변화(예를 들어, 검사 기기의 접속 및 해제, 검사 기기의 파워 온 및 오프, 및 RF 신호 접속기 또는 케이블링의 마모 또는 손상으로 인한 반사 손실의 열화)가 검출될 수 있다.
그다음, 이러한 상태 및 이러한 검사 환경의 상태의 변화의 검출은 실행되는 검사의 발전 또는 그 일부에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, DUT의 급전 및 RF 신호 접속의 기계적 완료에 이어, 임의의 측정된 반사 신호의 상태(예를 들어, 크기 또는 위상, 또는 양측 모두)가 접속 및 급전이 성공적이었는지 여부, 그리고 성공적이라 할지라도, 이러한 접속이 급전에 대한 DUT 실패 또는 열화의 신호를 적절히 보여주고 있는지 여부를 알아내는데 사용될 수 있다. 이러한 측정의 결과에 기초하여, 검사(예를 들어, 펌웨어 로딩, RF 검사 신호의 인가 및 측정, DC 동작 특성의 측정등)를 계속하거나, RF 신호 접속을 재조정하거나 대체하거나, 전력이 적절히 인가되었는지 확인하거나, 측정 결과에 있어서 적절하거나, 필요하거나 잠재적으로 도움이 된다고 생각되는 다른 액션을 취하도록 결정할 수 있다.
본 발명의 동작의 구조 및 방법의 다양한 다른 수정 및 변경이 본 발명의 정신 및 범위로부터 벗어남 없이 당업자에게 명백할 것이다. 본 발명이 특정 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명이 이러한 실시예에 제한되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 다음의 청구범위는 본 발명의 범위를 규정하고 이러한 청구범위 내의 구조 및 방법 및 등가물을 포함하도록 의도되었다.

Claims (22)

  1. 동시에 검사되는 다수의 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속 완전성을 확인하기 위한 검사 시스템을 포함하는 장치에 있어서,
    복수의 송출 RF 신호 및 복수의 반사 RF 신호의 적어도 일부를 전달하도록 복수의 DUT에 결합되기 위한 복수의 신호 포트로서, 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각은 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각과 관련되어 있는 복수의 신호 포트;
    상기 복수의 송출 RF 신호를 제공함으로써 RF 검사 신호에 응답하는 신호 라우팅 회로로서, 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각은 상기 RF 검사 신호에 상응하는 신호 라우팅 회로; 및
    상기 신호 라우팅 회로와 상기 복수의 신호 포트 사이에 결합되어 있는 신호 센싱 회로로서, 상기 복수의 송출 RF 신호 및 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각의 각각의 크기를 나타내는 복수의 송출 센스 신호 및 복수의 반사 센스 신호를 제공함으로써 상기 복수의 송출 RF 신호 및 상기 복수의 반사 RF 신호의 적어도 일부에 응답하는 신호 센싱 회로;를 포함하고,
    복수의 부하 임피던스 - 상기 복수의 신호 포트의 각각은 또한 상기 복수의 DUT의 각각 및 상기 복수의 부하 임피던스의 각각과 선택적으로 결합하는 것-;
    부하 임피던스; 및 상기 복수의 송출 RF 신호중 하나 및 상기 복수의 송출 RF 신호중 하나와 관련된 다른 반사 RF 신호를 전달하도록 상기 부하 임피던스에 결합된 추가 신호 포트 - 상기 신호 센싱 회로는 또한 상기 추가 신호 포트에 결합되어 있고, 상기 복수의 송출 RF 신호중 하나 및 상기 다른 반사 RF 신호의 각각의 크기를 나타내는 다른 송출 센스 신호 및 다른 반사 센스 신호를 각각 제공함으로써 상기 복수의 송출 RF 신호중 하나 및 상기 다른 반사 RF 신호에 응답하는 것-; 또는
    복수의 션트 임피던스; 및 상기 신호 센싱 회로와, 상기 복수의 신호 포트와 복수의 션트 임피던스중 상응하는 것 사이에 결합되어 있고, 상기 복수의 신호 포트 및 복수의 션트 임피던스의 각각에 상기 신호 센싱 회로를 결합함으로써 하나 이상의 제어 신호에 응답하는 복수의 스위치 회로; 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호 센싱 회로에 결합되어 있는 측정 회로로서, 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호의 각각과 관련된 복수의 측정 신호를 제공함으로써 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호에 응답하는 측정 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각은,
    상기 센싱 회로가 상기 복수의 션트 임피던스중 상응하는 것에 결합될 때의 제1 복수의 각각의 크기; 및
    상기 센싱 회로가 상기 복수의 신호 포트중 상응하는 것에 결합될 때의 제2 복수의 각각의 크기의 각각을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 신호 센싱 회로에 결합되어 있고, 상기 복수의 송출 센스 신호 및 복수의 반사 센스 신호의 각각과 관련된 복수의 측정 신호를 제공함으로써 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호에 응답하는 측정 회로를 더 포함하고, 상기 복수의 측정 신호의 각각은,
    상기 센싱 회로가 상기 복수의 션트 임피던스중 상응하는 것에 결합될 때의 제1 복수의 각각의 값; 및
    상기 센싱 회로가 상기 복수의 신호 포트중 상응하는 것에 결합될 때의 제2 복수의 각각의 값의 각각을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 동시에 검사되는 다수의 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속 완전성을 확인하는 방법에 있어서,
    복수의 DUT에 대해, 공통 RF 검사 신호를 복제하는 동일한 복수의 송출 RF 신호를 제공하는 단계;
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각의 신호의 각각의 크기를 나타내는 복수의 송출 센스 신호를 제공하도록 상기 복수의 송출 RF 신호를 감지하는 단계;
    각각 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각과 관련된 복수의 반사 RF 신호를 수신하는 단계; 및
    상기 복수의 반사 RF 신호의 각각의 신호의 각각의 크기를 나타내는 복수의 반사 센스 신호를 제공하도록 상기 복수의 반사 RF 신호를 감지하는 단계; 를 포함하고,
    복수의 부하 임피던스 중 상응하는 임피던스; 및 상기 복수의 DUT의 상응하는 DUT 중 하나에, 상기 복수의 송출 RF 신호의 각각의 신호를 선택적으로 제공하는 단계;
    상기 공통 RF 검사 신호를 복제하는 다른 송출 RF 신호를 부하 임피던스에 제공하는 단계; 상기 다른 송출 RF 신호의 크기를 나타내는 다른 송출 센스 신호를 제공하도록 상기 다른 송출 RF 신호를 감지하는 단계; 상기 다른 송출 RF 신호와 관련된 다른 반사 RF 신호를 수신하는 단계; 및 상기 다른 반사 RF 신호의 크기를 나타내는 다른 반사 센스 신호를 제공하도록 상기 다른 반사 RF 신호를 감지하는 단계; 또는
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각을, 복수의 부하 임피던스 중 상응하는 임피던스; 및 상기 복수의 DUT의 상응하는 DUT 중 하나에 스위칭함으로써 하나 이상의 제어 신호에 응답하는 단계; 중 어느 하나의 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호의 각각과 관련된 복수의 측정 신호를 제공하도록 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 복수의 반사 RF 신호의 각각은,
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각이 상기 복수의 션트 임피던스중 상응하는 임피던스로 스위칭될 때의 제1 복수의 각각의 크기; 및
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각이 상기 복수의 DUT의 상응하는 DUT로 스위칭될 때의 제2 복수의 각각의 크기의 각각을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호의 각각과 관련된 복수의 측정 신호를 제공하도록 상기 복수의 송출 센스 신호 및 상기 복수의 반사 센스 신호를 측정하는 단계를 더 포함하고, 상기 복수의 측정 신호의 각각은,
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각이 상기 복수의 션트 임피던스중 상응하는 임피던스로 스위칭될 때의 제1 복수의 각각의 값; 및
    상기 복수의 송출 RF 신호의 각각이 상기 복수의 DUT의 상응하는 DUT로 스위칭될 때의 제2 복수의 각각의 값의 각각을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 하나 이상의 피검사 장치(DUT)와의 무선 주파수(RF) 신호 접속 완전성을 확인하는 방법에 있어서,
    하나 이상의 송출 RF 신호 및 하나 이상의 반사 RF 신호를 포함하는 각각의 하나 이상의 RF 신호를 전달하기 위한 하나 이상의 유선 신호 경로를 제공하는 단계 - 상기 하나 이상의 반사 RF 신호 각각은 상기 하나 이상의 송출 RF 신호 각각과 관련됨 - ;
    최소 및 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수를 포함하는 주파수 범위에서 변하는 공칭 송출 RF 신호 주파수를 갖는 상기 하나 이상의 송출 RF 신호를 하나 이상의 DUT에 대해 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로를 통해 제공하는 단계; 및
    상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로를 통해 하나 이상의 반사 RF 신호를 수신하고 이에 응답하여,
    상기 하나 이상의 반사 RF 신호의 각각의 신호의 시간에 대한 각각의 신호 크기, 및
    상기 하나 이상의 반사 RF 신호의 각각의 신호의 시간에 대한 각각의 신호 위상중 하나 이상을 나타내는 하나 이상의 측정된 반사 신호를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 각각의 하나 이상의 RF 신호를 전달하기 위한 하나 이상의 유선 신호 경로를 제공하는 단계는 상기 최소 공칭 송출 RF 신호 주파수에서의 N개의 신호 사이클 및 상기 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수에서의 N+0.5 개의 신호 사이클의 각각의 유효 케이블 길이를 상기 하나 이상의 유선 신호 경로의 각각에 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 하나 이상의 송출 RF 신호를 제공하는 단계는,
    하나 이상의 베이스밴드 신호를 발생시키는 단계; 및
    상기 하나 이상의 베이스밴드 신호를 상기 하나 이상의 송출 RF 신호로 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 하나 이상의 베이스밴드 신호를 발생시키는 단계는,
    상기 최소 및 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수중 하나와 관련된 최소 공칭 베이스밴드 신호 주파수; 및
    상기 최소 및 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수중 다른 것과 관련된 최대 공칭 베이스밴드 신호 주파수를 갖는 상기 하나 이상의 베이스밴드 신호를 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 하나 이상의 베이스밴드 신호를 상기 하나 이상의 송출 RF 신호로 변환하는 단계는,
    상기 하나 이상의 베이스밴드 신호를 하나 이상의 중간 주파수(IF) 신호로 변환하는 단계; 및
    상기 하나 이상의 IF 신호를 상기 하나 이상의 송출 RF 신호로 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 하나 이상의 베이스밴드 신호를 하나 이상의 중간 주파수(IF) 신호로 변환하는 단계는,
    상기 최소 및 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수중 하나와 관련된 최소 공칭 IF 신호 주파수; 및
    상기 최소 및 최대 공칭 송출 RF 신호 주파수중 다른 것과 관련된 최대 공칭 IF 신호 주파수를 갖는 상기 하나 이상의 IF 신호를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제9항에 있어서, 상기 하나 이상의 DUT를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로의 각각에 접속하기 이전에 상기 하나 이상의 반사 RF 신호중 하나를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로를 통해 수신하는 단계;
    상기 하나 이상의 DUT를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로의 각각에 접속한 다음에 상기 하나 이상의 반사 RF 신호중 하나를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로를 통해 수신하는 단계; 및
    상기 하나 이상의 DUT를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로의 각각으로의 접속하기 이전과 이후로부터 상기 측정된 반사 신호의 상응하는 신호를 비교하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 하나 이상의 DUT를 상기 하나 이상의 각각의 유선 신호 경로의 각각으로의 접속하기 이전과 이후로부터 상기 측정된 반사 신호의 상응하는 신호를 비교하는 단계는,
    상기 접속 이전 및 이후로부터의 시간에 대한 각각의 신호 크기, 및
    상기 접속 이전 및 이후로부터의 시간에 대한 각각의 신호 위상중 하나 이상을 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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