KR102102413B1 - Modular stocker for storing container and carousel type module for storing container used therefor - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 대상물을 수용하는 용기를 파지 영역에 위치시키도록 구성되는 로딩 모듈; 수용 공간을 각각 구비하는 복수의 보관 모듈; 및 상기 파지 영역에서 상기 용기를 파지하여 상기 복수의 보관 모듈 중 하나의 상기 수용 공간에 투입하도록 구성되는 핸들링 모듈을 포함하고, 상기 복수의 보관 모듈은, 각각의 상기 수용 공간에 대해 상기 용기에 대한 퍼지를 위한 가스를 독립적으로 공급하도록 구성되고, 상기 보관 모듈은, 상기 수용 공간 내로 상기 핸들링 모듈의 접근을 허용하기 위해 개폐되고, 상기 핸들링 모듈을 마주하도록 배치되는 운영 도어; 및 상기 수용 공간을 한정하는 하우징을 더 포함하고, 상기 하우징은, 상기 운영 도어가 설치되는 제1 프레임; 및 상기 제1 프레임과 분리 가능하게 결합되어, 상기 제1 프레임과 함께 상기 수용 공간을 형성하는 제2 프레임을 포함하는, 모듈형 용기 스토커 장치 및 그에 사용되는 카로셀 타입의 용기 보관 모듈을 제공한다.The present invention, the loading module is configured to position the container for receiving the object in the gripping area; A plurality of storage modules each having a receiving space; And a handling module configured to grip the container in the gripping area and put it in the receiving space of one of the plurality of storage modules, wherein the plurality of storage modules are provided for the container for each of the receiving spaces. The storage module is configured to independently supply gas for purge, and the storage module includes: an operating door that is opened and closed to allow access to the handling module into the accommodation space, and is arranged to face the handling module; And a housing defining the accommodation space, the housing comprising: a first frame in which the operating door is installed; And a second frame detachably coupled to the first frame to form the receiving space together with the first frame, the modular container stocker device and the carousel type container storage module used therein .

Description

모듈형 용기 스토커 장치 및 그에 사용되는 카로셀 타입의 용기 보관 모듈{MODULAR STOCKER FOR STORING CONTAINER AND CAROUSEL TYPE MODULE FOR STORING CONTAINER USED THEREFOR}Modular container stocker device and carousel type container storage module used therein {MODULAR STOCKER FOR STORING CONTAINER AND CAROUSEL TYPE MODULE FOR STORING CONTAINER USED THEREFOR}

본 발명은 반도체 공정에서 대상물을 수용하는 용기를 보관하기 위해 사용되는 스토커 장치 및 그에 사용되는 보관 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker device used for storing a container accommodating an object in a semiconductor process and a storage module used therein.

일반적으로, 반도체 소자를 제작하기 위해서는, 순수 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer)에 대한 가공 및 연마 후, 그 실리콘 웨이퍼 상에 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 박막증착 공정, 확산 공정 등 여러 가지 공정이 반복적으로 수행되어야 한다. 그에 의해, 소정 회로패턴(Pattern)을 갖는 박막이 웨이퍼 상에 복층으로 적층되어야 한다.In general, in order to fabricate a semiconductor device, after processing and polishing a pure silicon wafer, various processes such as a photolithography process, an etching process, a thin film deposition process, and a diffusion process are repeatedly performed on the silicon wafer. Should be. Thereby, a thin film having a predetermined circuit pattern (Pattern) should be laminated in multiple layers on the wafer.

이런 공정 중에서 미리 설계된 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼 상에 복제하는 공정을 포토리소그래피(Photolithography) 공정이라고 한다. 포토리소그래피 공정은 크게 감광막 도포 공정, 노광 공정, 현상 공정 등으로 이루어진다. The process of replicating a pre-designed circuit pattern on a silicon wafer among these processes is called a photolithography process. The photolithography process is largely composed of a photosensitive film coating process, an exposure process, and a development process.

노광 공정은 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 웨이퍼 스테이지에 안착시켜 이 웨이퍼의 일정 영역에만 빛을 조사하여 레티클 스테이지에 안착된 레티클(Reticle)의 패턴을 웨이퍼로 옮기는 공정이다. 이 패턴들은 이후 수행되는 공정인 식각 공정 때 웨이퍼 표면과 포토레지스트 사이에 놓여 있는 공정상의 실질적 마스크(Mask) 역할을 하는 SiO2, Si3N4 등과 같은 박막층에 패턴을 형성시키는 식각 방지층으로 사용된다.The exposure process is a process of transferring a pattern of a reticle seated on a reticle stage to a wafer by placing a wafer coated with photoresist on a wafer stage and irradiating light to a specific region of the wafer. These patterns are used as an etch-prevention layer to form patterns on thin film layers such as SiO 2 and Si 3 N 4 that serve as a substantial mask in the process between the wafer surface and the photoresist during the etching process, which is a subsequent process. .

이러한 레티클(대상물)은 노광 공정에서 사용되기 위해 대기하는 중에, 레티클 스토커 내에서 보관될 수 있다. These reticles (objects) can be stored in a reticle stocker while waiting to be used in an exposure process.

본 발명의 일 목적은, 대상물의 보관 공간을 필요에 따라 확대 또는 축소하기 용이하게 하는, 모듈형 용기 스토커 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a modular container stocker device that facilitates enlargement or reduction of the storage space of an object as necessary.

본 발명의 다른 일 목적은, 비상시에 상기 보관 공간을 구역별로 분리하여 수리할 수 있도록 하는, 모듈형 용기 스토커 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a modular container stocker device that enables the storage space to be separated and repaired by zone in an emergency.

본 발명의 또 다른 일 목적은, 보관되는 대상물에 대한 온도 및 습도 관리가 효과적으로 이루어질 수 있게 하는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a carousel-type container storage module, which enables effective temperature and humidity management for an object to be stored.

본 발명의 또 다른 일 목적은, 비상시 수동으로 대상물을 쉽게 인출할 수 있도록 하는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a container storage module of a carousel type, which makes it easy to withdraw objects manually in an emergency.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 모듈형 용기 스토커 장치는, 대상물을 수용하는 용기를 파지 영역에 위치시키도록 구성되는 로딩 모듈; 수용 공간을 각각 구비하는 복수의 보관 모듈; 및 상기 파지 영역에서 상기 용기를 파지하여 상기 복수의 보관 모듈 중 하나의 상기 수용 공간에 투입하도록 구성되는 핸들링 모듈을 포함하고, 상기 복수의 보관 모듈은, 각각의 상기 수용 공간에 대해 상기 용기에 대한 퍼지를 위한 가스를 독립적으로 공급하도록 구성되고, 상기 보관 모듈은, 상기 수용 공간 내로 상기 핸들링 모듈의 접근을 허용하기 위해 개폐되고, 상기 핸들링 모듈을 마주하도록 배치되는 운영 도어; 및 상기 수용 공간을 한정하는 하우징을 더 포함하고, 상기 하우징은, 상기 운영 도어가 설치되는 제1 프레임; 및 상기 제1 프레임과 분리 가능하게 결합되어, 상기 제1 프레임과 함께 상기 수용 공간을 형성하는 제2 프레임을 포함할 수 있다. Modular container stocker device according to an aspect of the present invention for realizing the above object is a loading module configured to position the container for receiving the object in the gripping area; A plurality of storage modules each having a receiving space; And a handling module configured to grip the container in the gripping area and put it in the receiving space of one of the plurality of storage modules, wherein the plurality of storage modules are provided for the container for each of the receiving spaces. The storage module is configured to independently supply gas for purge, and the storage module includes: an operating door that is opened and closed to allow access to the handling module into the accommodation space, and is arranged to face the handling module; And a housing defining the accommodation space, the housing comprising: a first frame in which the operating door is installed; And a second frame detachably coupled to the first frame to form the accommodation space together with the first frame.

여기서, 상기 복수의 보관 모듈은, 각각의 상기 수용 공간이 서로 독립적인 영역을 차지하도록 배치될 수 있다.Here, the plurality of storage modules may be arranged such that each of the accommodation spaces occupies an area independent of each other.

여기서, 상기 핸들링 모듈은, 상기 용기를 파지하는 랙 마스터; 및 상기 랙 마스터의 이동 경로를 정의하는 레일을 포함하고, 상기 복수의 보관 모듈은, 상기 레일의 양측 영역에 상기 랙 마스터가 접근 가능하게 배치될 수 있다.Here, the handling module, the rack master for holding the container; And a rail defining a movement path of the rack master, and the plurality of storage modules may be arranged such that the rack master is accessible on both sides of the rail.

여기서, 상기 로딩 모듈은, 천장반송대차로부터 상기 용기를 내려받아 상기 파지 영역 중 하나로 반송하는 자동 반송 유닛; 및 상기 자동 반송 유닛의 하측에 위치하고, 작업자의 조작에 의해 상기 용기를 상기 파지 영역 중 다른 하나로 반송하는 수동 반송 유닛을 포함하고, 상기 복수의 보관 모듈은, 상기 자동 반송 유닛 및 상기 수동 반송 유닛이 위치하는 영역을 벗어나서 위치하는 대형 보관 모듈; 및 상기 자동 반송 유닛과 상기 수동 반송 유닛 사이에 위치하고, 상기 대형 보관 모듈보다 작은 크기를 갖는 소형 보관 모듈을 포함할 수 있다.Here, the loading module includes: an automatic conveying unit that downloads the container from the ceiling conveyance truck and conveys it to one of the gripping areas; And a manual conveying unit located below the automatic conveying unit and conveying the container to another of the gripping areas by operator's operation, wherein the plurality of storage modules include the automatic conveying unit and the manual conveying unit. A large storage module positioned outside the located area; And a small storage module positioned between the automatic transport unit and the manual transport unit, and having a smaller size than the large storage module.

여기서, 상기 보관 모듈은, 상기 가스를 받아들이는 중공부를 구비하고 상기 수용 공간에 회전 가능하게 배치되는 관체와, 상기 관체에 개구되어 상기 중공부의 길이 방향을 따라 유동하는 상기 가스를 상기 관체의 외부로 안내하는 복수의 토출공을 구비하는 포스트 유닛을 더 포함하고, 상기 포스트 유닛은, 상기 제2 프레임에 설치되어, 상기 제2 프레임과 함께 상기 제1 프레임에서 분리될 수 있다.Here, the storage module is provided with a hollow portion that receives the gas and is rotatably disposed in the accommodation space, and the gas that is opened in the pipe body and flows along the longitudinal direction of the hollow portion to the outside of the pipe body It further includes a post unit having a plurality of discharge holes for guiding, and the post unit is installed on the second frame and can be separated from the first frame together with the second frame.

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여기서, 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에서 분리되는 경우에, 상기 운영 도어는 잠금 설정될 수 있다.Here, when the second frame is separated from the first frame, the operation door may be locked.

여기서, 상기 용기는, 레티클 포드를 포함하고, 상기 대상물은, 레티클을 포함할 수 있다.Here, the container may include a reticle pod, and the object may include a reticle.

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본 발명의 다른 측면에 따른 카로셀 타입의 용기 보관 모듈은, 수용 공간을 구비하는 하우징; 중공부를 구비하고 상기 수용 공간에 회전 가능하게 배치되는 관체와, 상기 관체에 개구되어 상기 중공부의 길이 방향을 따라 유동하는 가스를 상기 관체의 외부로 안내하는 복수의 토출공을 구비하는 포스트 유닛; 및 상기 관체의 외면에 설치되는 복수의 선반을 포함하고, 상기 선반은 용기를 지지하여 상기 용기가 상기 토출공을 통해 토출되는 가스에 의해 퍼지되게 하는, 서포트 유닛을 포함하고, 상기 토출공은, 비상시 상기 포스트 유닛을 수동으로 회전시키기 위해서 삽입되는 파이프 지그를 수용하는 내경을 가질 수 있다.Carousel-type container storage module according to another aspect of the present invention, a housing having a receiving space; A post unit having a hollow portion and a tubular body rotatably disposed in the accommodation space, and a plurality of discharge holes opening in the pipe body and guiding gas flowing along the longitudinal direction of the hollow portion to the outside of the pipe body; And a plurality of shelves installed on the outer surface of the tube body, wherein the shelves support the container so that the container is purged by gas discharged through the discharge hole, and a support unit, wherein the discharge hole comprises: In case of emergency, it may have an inner diameter that accommodates a pipe jig inserted to manually rotate the post unit.

여기서, 상기 수용 공간에서 상기 포스트 유닛의 상측 및 하측 중 하나에 설치되고, 상기 중공부를 향해 상기 가스를 여과하여 송풍하는 팬필터 유닛을 더 포함할 수 있다.Here, a fan filter unit installed in one of the upper and lower sides of the post unit in the accommodation space and filtering and blowing the gas toward the hollow portion may be further included.

여기서, 상기 관체는, 금속 재질로 형성될 수 있다.Here, the tube body may be formed of a metal material.

여기서, 상기 복수의 토출공은, 제1 토출공; 및 상기 파이프 지그가 상기 제1 토출공과 함께 삽입되게 하는 위치에 형성되는 제2 토출공을 포함할 수 있다.Here, the plurality of discharge holes, the first discharge hole; And a second discharge hole formed at a position where the pipe jig is inserted together with the first discharge hole.

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여기서, 상기 포스트 유닛은, 상기 복수의 토출공에 설치되어, 상기 파이프 지그가 삽입된 경우에 상기 파이프 지그와 접촉되는 중공형의 완충 부재를 더 포함할 수 있다.Here, the post unit may further include a hollow cushioning member installed in the plurality of discharge holes and in contact with the pipe jig when the pipe jig is inserted.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 모듈형 용기 스토커 장치 및 그에 사용되는 카로셀 타입의 용기 보관 모듈에 의하면, 로딩 모듈에 놓인 용기를 핸들링 모듈로부터 전달받아 보관하는 보관 모듈은 복수로 형성되어 필요에 따라 확대 또는 축소될 수 있다. 여기서, 복수의 보관 모듈은 서로 독립적으로 퍼지되게 구성되므로, 보관 모듈의 추가 연결, 또는 제거 등에 따라 복수의 보관 모듈 간의 퍼지 기능 등에서의 연결 조정이 불필요하다.According to the modular container stocker device according to the present invention configured as described above and the carousel type container storage module used therein, a plurality of storage modules for receiving and storing containers placed in the loading module from the handling module are required. It can be enlarged or reduced accordingly. Here, since the plurality of storage modules are configured to be purged independently of each other, it is unnecessary to adjust the connection in the purge function between the plurality of storage modules according to additional connection or removal of the storage modules.

나아가, 복수의 보관 모듈에서 하우징을 구성하는 제1 프레임과 제2 프레임 중에서 제2 프레임이 포스트 유닛과 함께 제1 프레임으로부터 분리된다. 이때, 제1 프레임에 설치된 운영 도어는 잠금 설정된다. 그에 의해, 제2 프레임과 포스트 유닛, 나아가 서포트 유닛의 수리 중에도 핸들링 모듈이나 다른 보관 모듈은 그 수리에 영향받지 않고 정상적으로 작동할 수 있다. 그 결과, 전체 장비의 다운에 의한 생산성 저하 문제를 줄일 수 있다.Furthermore, of the first and second frames constituting the housing in the plurality of storage modules, the second frame is separated from the first frame together with the post unit. At this time, the operating door installed in the first frame is locked. Thereby, even during the repair of the second frame and the post unit, and also the support unit, the handling module or other storage module can operate normally without being affected by the repair. As a result, it is possible to reduce the problem of reduced productivity due to down of the entire equipment.

또한, 카로셀 타입의 보관 모듈에 있어서, 하우징의 내부 공간으로 주입된 가스는 관체의 중공부를 통해 유동하다가 토출공을 통해 토출되어 선반에 지지된 용기 에 영향을 미친다. 그에 의해, 용기 내에 수용된 대상물에 대한 온도 및 습도 관리가 상기 가스의 공급에 의해 효과적으로 이루어질 수 있게 한다.In addition, in the storage module of the carousel type, the gas injected into the interior space of the housing flows through the hollow portion of the tube body and is discharged through the discharge hole to affect the container supported on the shelf. Thereby, it is possible to effectively control the temperature and humidity of the object contained in the container by supplying the gas.

상기 토출공은 가스를 토출할 뿐만 아니라, 비상시에 파이프 지그가 삽입되어 대상이 된다. 그에 의해, 작업자는 상기 토출공에 삽입된 파이프 지그를 밀어서 관체를 회전시서, 선반에 지지된 용기를 외부로 반출할 수 있다. 그에 의해, 비상 사태에 대한 대처가 수월하게 이루어질 수 있다. The discharge hole not only discharges gas, but also is subject to a pipe jig inserted in an emergency. Thereby, the operator can rotate the tube body by pushing the pipe jig inserted into the discharge hole, and take out the container supported on the shelf to the outside. Thereby, a response to an emergency can be made easy.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 스토커 장치(100)를 보인 사시도이다.
도 2는 도 1의 레티클 스토커 장치(100)에 대한 개념적인 횡단면도이다.
도 3은 도 1의 레티클 스토커 장치(100)의 일 변형예에 따라 확장된 레티클 스토커 장치(100')에 대한 개념적인 횡단면도이다.
도 4는 도 1의 보관 모듈(200)에 대한 사시도이다.
도 5는 도 4의 보관 모듈(200)에서 가스의 흐름을 보인 종단면도이다.
도 6은 도 1의 라인(Ⅵ-Ⅵ)을 따라 취한 레티클 스토커 장치(100)의 종단면도이다.
도 7은 도 2의 레티클 스토커 장치(100)에서 보관 모듈(150)의 분리 상태를 보인 개념적인 횡단면도이다.
도 8은 도 7의 레티클 스토커 장치(100)에 대한 제어 블록도이다.
도 9는 도 4의 보관 모듈(200)에서 포스트 유닛(230)과 서포트 유닛(250)의 요부를 확대해 보인 부분 사시도이다.
도 10은 도 4의 보관 모듈(200)에서 비상시 파이프 지그(PG)를 이용해 서포트 유닛(250)을 회전시키는 모습을 보인 횡단면도이다.
도 11은 도 10에서 파이프 지그(PG)가 삽입되는 토출공(236a 및 236b)에 설치되는 완충부재(237)를 보인 사시도이다.1 is a perspective view showing a reticle stalker device 100 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual cross-sectional view of the reticle stocker device 100 of FIG. 1.
FIG. 3 is a conceptual cross-sectional view of an expanded reticle stocker device 100 ′ according to a variation of the reticle stocker device 100 of FIG. 1.
4 is a perspective view of the storage module 200 of FIG. 1.
5 is a longitudinal sectional view showing the flow of gas in the storage module 200 of FIG. 4.
6 is a longitudinal cross-sectional view of the reticle stocker device 100 taken along line VI-VI of FIG. 1.
7 is a conceptual cross-sectional view showing a detached state of the storage module 150 in the reticle stocker device 100 of FIG. 2.
8 is a control block diagram of the reticle stocker device 100 of FIG. 7.
9 is an enlarged partial perspective view of main parts of the post unit 230 and the support unit 250 in the storage module 200 of FIG. 4.
10 is a cross-sectional view showing a state in which the support unit 250 is rotated using a pipe jig (PG) in an emergency in the storage module 200 of FIG. 4.
11 is a perspective view showing a buffer member 237 installed in the discharge holes 236a and 236b in which the pipe jig PG is inserted in FIG. 10.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 모듈형 용기 스토커 장치 및 그에 사용되는 카로셀 타입의 용기 보관 모듈에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. Hereinafter, a modular container stocker device according to a preferred embodiment of the present invention and a carousel type container storage module used therein will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this specification, the same or similar reference numerals are assigned to the same or similar configurations in different embodiments, and the description is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 스토커 장치(100)를 보인 사시도이고, 도 2는 도 1의 레티클 스토커 장치(100)에 대한 개념적인 횡단면도이다.1 is a perspective view showing a reticle stalker apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a conceptual cross-sectional view of the reticle stalker apparatus 100 of FIG. 1.

본 도면들을 참조하면, 레티클 스토커 장치(100)는 내부에 레티클을 보관하는 것이다. 구체적으로, 레티클은 레티클 포드에 수용되고, 이러한 레티클 포드가 레티클 스토커 장치(100)의 내부에 저장되는 것이다. 여기서, 레티클은 대상물로, 레티클 포드는 용기(C, 도 9 참조)로 칭해질 수 있다. 레티클 스토커 장치(100)는 다른 대상물(레티클 외의)을 수용하는 다른 용기(레티클 포드 외의)를 저장할 수 있다. 그 경우에는, 레티클 스토커 장치(100)는 다른 대상물에 관한 스토커 장치로 칭해질 수도 있다.Referring to these drawings, the reticle stocker device 100 is to store a reticle therein. Specifically, the reticle is accommodated in a reticle pod, and the reticle pod is stored inside the reticle stocker device 100. Here, the reticle may be referred to as an object, and the reticle pod may be referred to as a container (see FIG. 9). The reticle stocker device 100 may store another container (other than a reticle pod) that accommodates other objects (other than a reticle). In that case, the reticle stocker device 100 may be referred to as a stocker device for other objects.

레티클 스토커 장치(100)는, 로딩 모듈(110 및 130), 보관 모듈(150), 및 핸들링 모듈(170)을 포함할 수 있다. The reticle stocker device 100 may include a loading module 110 and 130, a storage module 150, and a handling module 170.

로딩 모듈(110 및 130)은 레티클 포드가 파지 영역에 위치하게 하는 구성이다. 이를 위해, 로딩 모듈(110 및 130)은 레티클 포드가 놓이는 대상으로서 레티클 포드를 지지할 수 있는 것이라면 족하다. 나아가, 로딩 모듈(110 및 130)은 레티클 포드를 상기 파지 영역까지 반송하는 구성을 포함할 수도 있다. 구체적으로, 로딩 모듈(110 및 130)은 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)을 가질 수 있다. 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)은 각각에 언로딩된 레티클 포드를 핸들링 모듈(170)을 향해 반송하는 구성이다. 여기서, 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)에서 핸들링 모듈(170)에 가장 가까운 영역이 각각 상기 파지 영역 중 하나, 나아가 다른 하나가 될 수 있다. 이와 달리, 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)은, 핸들링 모듈(170)에 의해 각각에 언로딩된 레티클 포드를 핸들링 모듈(170)에서 먼 단부 측으로 반송하기도 한다. 여기서, 자동 반송 유닛(110)은 작업자의 조작 없이 프로그래밍된 제어기, 예를 들어 제어 모듈(190, 도 8 참조)에 의해 작동하는 것이고, 수동 반송 유닛(130)은 작업자의 조작에 의해 작동하는 것이다. 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)은, 예를 들어 컨베이어 벨트와 같은 형태로 구성될 수 있다. 자동 반송 유닛(110)이 레티클 스토커 장치(100)의 상부에 위치하는 것이라면, 수동 반송 유닛(130)은 자동 반송 유닛(110)의 하측에 위치하며 작업자가 접근하기 쉬운 높이에 위치할 수 있다. The loading modules 110 and 130 are such that the reticle pod is located in the gripping area. To this end, the loading modules 110 and 130 are sufficient as long as they are capable of supporting the reticle pod as an object on which the reticle pod is placed. Furthermore, the loading modules 110 and 130 may include a configuration for conveying the reticle pod to the gripping area. Specifically, the loading modules 110 and 130 may have an automatic transport unit 110 and a manual transport unit 130. The automatic conveying unit 110 and the manual conveying unit 130 are configured to convey the reticle pod unloaded to each toward the handling module 170. Here, the regions closest to the handling module 170 in the automatic transfer unit 110 and the manual transfer unit 130 may be one of the gripping regions, or the other. Alternatively, the automatic conveying unit 110 and the manual conveying unit 130 may convey the reticle pod unloaded to each by the handling module 170 to the far end side from the handling module 170. Here, the automatic conveying unit 110 is operated by a programmed controller without operator intervention, for example, a control module 190 (see FIG. 8), and the manual conveying unit 130 is operated by operator intervention. . The automatic transfer unit 110 and the manual transfer unit 130 may be configured in the form of, for example, a conveyor belt. If the automatic transport unit 110 is located on the upper portion of the reticle stocker device 100, the manual transport unit 130 is located under the automatic transport unit 110 and can be positioned at a height that is easy for a worker to access.

보관 모듈(150)은 레티클 포드를 저장하고, 그에 대해 퍼지(purging)를 진행하는 구성이다. 보관 모듈(150)은 핸들링 모듈(170)을 중심으로 여러 개가 설치될 수 있다. 본 실시예에서 보관 모듈(150)은 핸들링 모듈(170)의 양측에 각각 여러 개로 배치될 수 있다. 도 2에서는 3개의 보관 모듈(150)이 보여지고 있는데, 그들 중 2개는 핸들링 모듈(170)의 좌측에 위치하고 1개는 우측에 위치한다. 보관 모듈(150) 각각의 수용 공간(211, 도 4 참조)은 서로 간에 독립적인 영역을 차지하게 배치될 수 있다. 다시 말해, 하나의 수용 공간(211)이 다른 하나의 수용 공간(211) 내에 배치되지 않게 된다.The storage module 150 is configured to store the reticle pod and purge it. Several storage modules 150 may be installed around the handling module 170. In this embodiment, a plurality of storage modules 150 may be disposed on both sides of the handling module 170. In FIG. 2, three storage modules 150 are shown, two of which are located on the left side of the handling module 170 and one on the right side. Each receiving space 211 (see FIG. 4) of the storage module 150 may be arranged to occupy an independent area from each other. In other words, one accommodation space 211 is not disposed in the other accommodation space 211.

핸들링 모듈(170)은 자동 반송 유닛(110)/수동 반송 유닛(130)과 보관 모듈(150) 사이에서 레티클 포드를 핸들링하는 구성이다. 구체적으로, 핸들링 모듈(170)은 랙 마스터(171)를 구비할 수 있다. 랙 마스터(171)는 레티클 포드를 파지하여 자동 반송 유닛(110)/수동 반송 유닛(130)에서 보관 모듈(150) 내로 옮기거나, 그 반대로 옮긴다. 이를 위해, 랙 마스터(171)는 수평 방향 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된다.The handling module 170 is configured to handle the reticle pod between the automatic transport unit 110 / manual transport unit 130 and the storage module 150. Specifically, the handling module 170 may include a rack master 171. The rack master 171 grips the reticle pod and moves it from the automatic transfer unit 110 / manual transfer unit 130 into the storage module 150 or vice versa. To this end, the rack master 171 is configured to be movable in the horizontal and vertical directions.

이상의 보관 모듈(150)의 수가 늘어난 확장된 형태의 레티클 스토커 장치(100')에 대해서는 도 3을 참조하여 설명한다.The reticle stalker device 100 ′ in the expanded form in which the number of storage modules 150 is increased will be described with reference to FIG. 3.

본 도면을 참조하면, 레티클 스토커 장치(100')에 있어서, 보관 모듈(130)은 앞서 레티클 스토커 장치(100)에서보다 그 개수가 늘어나서 배치될 수 있다. 이러한 보관 모듈(130)은 랙 마스터(171)의 이동 방향(M)을 따라서 추가적으로 배치될 수 있다. 그에 의해, 보관 모듈(130)은 랙 마스터(171)의 이동 경로를 결정하는 레일(175)의 양옆의 공간에 하나씩 설치될 수 있다.Referring to this drawing, in the reticle stocker device 100 ′, the storage module 130 may be arranged to increase in number than in the reticle stocker device 100. The storage module 130 may be additionally disposed along the movement direction M of the rack master 171. Thereby, the storage module 130 may be installed one by one in the spaces on both sides of the rail 175 which determines the movement path of the rack master 171.

이러한 구성에 의하면, 보관 모듈(130)의 개수가 많이 요구되는 경우에, 레일(175)의 길이를 연장하면 그에 맞춰서 레일(175)의 양측 영역에 보관 모듈(130)을 추가적으로 배치할 수 있게 된다. 이렇게 추가 배치된 보관 모듈(130)에는 레일(175)을 통해 랙 마스터(171)가 자유롭게 접근할 수 있게 된다. 그에 의해, 필요에 따른 보관 모듈(130)의 확장이 손쉽게 이루어질 수 있다.According to this configuration, when a large number of storage modules 130 are required, when the length of the rails 175 is extended, the storage modules 130 can be additionally arranged in both regions of the rails 175 accordingly. . The rack master 171 can be freely accessed through the rail 175 to the storage module 130 arranged in this way. Thereby, the storage module 130 can be easily expanded as necessary.

본 도면에서는 레일(175)이 직선 구간만을 갖는 것으로 예시되나, 레일(715)은 곡선 구간을 가질 수 있다. 그에 따라, 레일(715)은 전체적으로 곡선형, 나아가 트랙 형태로 설치될 수 있다. 그 경우라면, 보관 모듈(130)은 레일(715)을 따라 전체적으로 곡선 형상, 나아가 트랙 형상을 이루도록 배열될 수 있다.In this figure, the rail 175 is illustrated as having only a straight section, but the rail 715 may have a curved section. Accordingly, the rail 715 may be installed in a curved shape as a whole, and further, in the form of a track. In that case, the storage module 130 may be arranged along the rail 715 to form an overall curved shape, furthermore, a track shape.

이하에서는, 이상의 보관 모듈(150)에 대해 도 4 등을 참조하여 구체적으로 설명한다. 보관 모듈(150)은 설명의 편의상, 이제 도면부호 200으로도 지칭한다.Hereinafter, the storage module 150 will be described in detail with reference to FIG. 4 and the like. The storage module 150 is also referred to as 200 for convenience of description.

도 4는 도 1의 보관 모듈(200)에 대한 사시도이고, 도 5는 도 4의 보관 모듈(200)에서 가스의 흐름을 보인 종단면도이다.4 is a perspective view of the storage module 200 of FIG. 1, and FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the flow of gas in the storage module 200 of FIG. 4.

본 도면들을 참조하면, 보관 모듈(200)은, 하우징(210), 포스트 유닛(230), 서포트 유닛(250), 및 팬필터 유닛(270)을 선택적으로 포함할 수 있다.Referring to these drawings, the storage module 200 may optionally include a housing 210, a post unit 230, a support unit 250, and a fan filter unit 270.

하우징(210)은 포스트 유닛(230) 등을 수용하는 구조물이다. 이를 위해, 하우징(210)은 내부에 수용 공간(211)을 구비한다. 하우징(210)은 대체로 직육면체 형상을 가질 수 있다. 또한, 하우징(210)은 수직 방향으로 길게 연장된 형태를 가질 수 있다. 하우징(210)은 복수의 가로 바(bar) 및 세로 바가 서로 결합된 형태의 프레임을 가질 있다. 이러한 프레임에는 유지보수 도어(215)와 운영 도어(217)(이상, 도 2 참조)가 설치될 수 있다. 유지보수 도어(215)는 외부로 노출되어 비상시 작업자가 개방하여 파이프 지그(PG, 도 10 참조)를 집어넣기 위한 접근 통로를 제공한다. 운영 도어(217)는 외부로 노출되지 않고 핸들링 모듈(170) 측에 위치하여 랙 마스터(171)가 선반(251)에 대해 접근할 수 있게 한다. 운영 도어(217)는 랙 마스터(171)의 접근에 연관되어, 모터 구동에 의해 자동으로 개폐될 수 있다. The housing 210 is a structure that accommodates the post unit 230 and the like. To this end, the housing 210 has an accommodation space 211 therein. The housing 210 may have a substantially rectangular parallelepiped shape. In addition, the housing 210 may have a shape extended in a vertical direction. The housing 210 may have a frame in which a plurality of horizontal bars and vertical bars are combined with each other. The maintenance door 215 and the operation door 217 (above, see FIG. 2) may be installed in the frame. The maintenance door 215 is exposed to the outside to provide an access passage for an operator to open and insert a pipe jig (PG, see FIG. 10) in an emergency. The operation door 217 is not exposed to the outside and is located on the side of the handling module 170 so that the rack master 171 can access the shelf 251. The operation door 217 is associated with the access of the rack master 171, and can be automatically opened and closed by driving the motor.

포스트 유닛(230)은 수용 공간(211)에 세워지는 구조물이다. 포스트 유닛(230)은 회전 가능하게 배치되는 관체(231)를 포함할 수 있다. 관체(231)는 수직 방향을 따르도록 세워질 수 있다. 또한, 관체(231)는 일단에서 타단까지 개방된 중공부(232)를 가질 수 있다. 관체(231)에는 중공부(232)를 외부와 연통시키는 토출공(235)이 복수 개로 형성될 수 있다. 토출공(235)은 중공부(232) 내에서 관체(231)의 길이 방향을 따라 유동하는 가스를 상기 길이 방향에 수직한 반경 방향을 따라 외부로 유동하도록 안내하게 된다. The post unit 230 is a structure erected in the accommodation space 211. The post unit 230 may include a tube body 231 rotatably disposed. The tube body 231 may be erected to follow the vertical direction. In addition, the tube body 231 may have a hollow portion 232 that is open from one end to the other. A plurality of discharge holes 235 communicating the hollow portion 232 with the outside may be formed in the tube body 231. The discharge hole 235 guides the gas flowing in the longitudinal direction of the tube body 231 in the hollow portion 232 to flow out along the radial direction perpendicular to the longitudinal direction.

서포트 유닛(250)은 수용 공간(211) 내에서 레티클 포드를 지지하는 구성이다. 구체적으로, 서포트 유닛(250)는 레티클 포드를 지지하는 선반(251)을 가질 수 있다. 선반(251)은 관체(231)의 외주면에 설치되고, 복수 개로 구비될 수 있다. 그에 의해, 복수 개의 선반(251)은 관체(231)의 길이 방향을 따라 복수의 층을 이루도록 배치될 수 있다. 또한, 관체(231)의 원주 방향을 따라서도 열을 이루도록 배치될 수 있다. 선반(251)에 지지된 레티클 포드, 구체적으로는 레티클 포드는 토출공(235)을 통해 토출되는 가스에 의해 퍼지된다. The support unit 250 is configured to support the reticle pod within the accommodation space 211. Specifically, the support unit 250 may have a shelf 251 supporting the reticle pod. The shelf 251 is installed on the outer circumferential surface of the tube body 231, and may be provided in plural. Thereby, the plurality of shelves 251 may be arranged to form a plurality of layers along the longitudinal direction of the tube body 231. In addition, it may be arranged to form a column along the circumferential direction of the tube body (231). The reticle pod supported by the shelf 251, specifically, the reticle pod is purged by gas discharged through the discharge hole 235.

팬필터 유닛(270)은 가스를 여과하여 관체(231)의 중공부(232) 내로 송풍하는 구성이다. 팬필터 유닛(270)으로는, 구체적으로 EFU(Equipment Fan Filter Unit)가 사용될 수 있다. 나아가, 팬필터 유닛(270)이 송풍하는 가스는, CDA나 XCDA일 수 있다. 팬필터 유닛(270)은 포스트 유닛(230)의 상측 및 하측 중 하나에 위치할 수 있는데, 본 실시예에서는 포스트 유닛(230)의 상측에 배치된다.The fan filter unit 270 is configured to filter gas and blow it into the hollow portion 232 of the tube body 231. As the fan filter unit 270, an EFU (Equipment Fan Filter Unit) may be specifically used. Furthermore, the gas blown by the fan filter unit 270 may be CDA or XCDA. The fan filter unit 270 may be located on one of the upper side and the lower side of the post unit 230. In this embodiment, the fan filter unit 270 is disposed on the upper side of the post unit 230.

이러한 팬필터 유닛(270)에 대한 가스의 공급은 급기 배관(291) 및 노즐(293)에 의해 이루어질 수 있다. 구체적으로, 급기 배관(291)은 저장 탱크(미도시)에 연결되되며, 하우징(210)의 하부에서 상부로 연장된다. 노즐(293)은 급기 배관(291)을 통해 공급받은 가스를 팬필터 유닛(270)을 향해 분사하게 된다. 배기 배관(295)은 하우징(210)의 수용 공간(211)과 연통되어, 레티클 포드의 퍼지에 사용된 가스를 외부로 배출하게 한다. The supply of gas to the fan filter unit 270 may be performed by an air supply pipe 291 and a nozzle 293. Specifically, the air supply pipe 291 is connected to a storage tank (not shown), and extends from the bottom of the housing 210 to the top. The nozzle 293 sprays the gas supplied through the air supply pipe 291 toward the fan filter unit 270. The exhaust pipe 295 communicates with the accommodation space 211 of the housing 210 to discharge the gas used for purging the reticle pod to the outside.

이상의 팬필터 유닛(270)에서부터 급기 배관(291), 노즐(293), 및 배기 배관(295)은 보관 모듈(250) 각각에 대해 독립적으로 가스를 공급하도록 구성된다. 그에 의해, 하나의 보관 모듈(200)의 퍼지 작동이 고장 난 경우라도, 다른 보관 모듈(200)은 정상적으로 퍼지 작동할 수 있다.From the above fan filter unit 270, the supply pipe 291, the nozzle 293, and the exhaust pipe 295 are configured to independently supply gas to each of the storage modules 250. Thereby, even if the purge operation of one storage module 200 is broken, the other storage module 200 may purge normally.

이러한 구성에 의하면, 랙 마스터(171)는 자동 반송 유닛(110)/수동 반송 유닛(130)에 얹혀진 레티클 포드를 파지하여 보관 모듈(200)에 언로딩할 수 있다. 이때, 랙 마스터(171)가 해당 보관 모듈(200)에 접근하면, 해당 보관 모듈(200)의 운영 도어(217)는 전동으로 개방된다. 비어 있는 선반(251)이 운영 도어(217)가 개방된 영역에 대응하도록, 회동 모터(297)는 관체(231)를 회전 구동한다. 비어 있는 선반(251)이 상기 영역에 대응되면, 랙 마스터(171)는 비어 있는 선반(251)에 맞추어서 상, 하 이동하면서 레티클 포드를 비어 있는 선반(251)에 언로딩하게 된다. 특정 선반(251)에 놓인 레티클 포드를 자동 반송 유닛(110)/수동 반송 유닛(130)으로 옮기려는 경우에, 랙 마스터(171)는 이상과 반대로 작동하게 된다. 또한, 회동 모터(297) 역시 필요시 관체(231)를 회전 구동할 수 있다.According to this configuration, the rack master 171 may grasp the reticle pod mounted on the automatic transfer unit 110 / manual transfer unit 130 to unload the storage module 200. At this time, when the rack master 171 approaches the storage module 200, the operating door 217 of the storage module 200 is electrically opened. The rotating motor 297 drives the tube body 231 to rotate so that the empty shelf 251 corresponds to the open area of the operating door 217. When the empty shelf 251 corresponds to the area, the rack master 171 moves up and down to fit the empty shelf 251 to unload the reticle pod to the empty shelf 251. When the reticle pod placed on the specific shelf 251 is to be moved to the automatic transport unit 110 / manual transport unit 130, the rack master 171 operates in reverse. In addition, the rotation motor 297 can also rotationally drive the tube body 231 if necessary.

레티클 포드가 보관된 수용 공간(211)에는 일정 시간 간격으로 가스가 분사될 수 있다. 가스는 급기 배관(291) 및 노즐(293)을 거쳐서 팬필터 유닛(270)으로 공급되고, 팬필터 유닛(270)에 의해 여과된 후 관체(231)의 중공부(232) 내로 유동(F)하게 된다. 이러한 가스는 관체(231)의 길이 방향을 따라 직하하다가 토출공(235)을 통해 수평 방향으로 유동하게 된다. 그에 의해, 토출공(235)에 대응하는 개별 레티클 포드 각각에 정량의 가스가 공급될 수 있다. 이물질에 의해 팬필터 유닛(270)의 일부 영역이 막힌다고 하더라도, 팬필터 유닛(270)을 통과한 가스는 관체(231)의 중공부(232)에서 하나로 합쳐진 후에 개별 토출공(235)으로 분배된다. 그에 의해, 이물질이 필터를 막음에 의해 레티클 포드{선반(251)} 별로 가스량이 다르게 제공되는 일이 없어진다. 또한, 가스는 중공부(232)를 통해 하강하므로, 그 하강 중에 층층이 쌓인 선반(251)이나 레티클 포드에 의해 유동에 영향을 받을 일이 없어진다. Gas may be injected into the accommodation space 211 in which the reticle pod is stored at regular time intervals. Gas is supplied to the fan filter unit 270 via the air supply pipe 291 and the nozzle 293, filtered by the fan filter unit 270, and then flowed into the hollow portion 232 of the tube body 231 (F) Is done. The gas flows in the horizontal direction through the discharge hole 235 after directly descending along the longitudinal direction of the tube body 231. Thereby, a quantity of gas can be supplied to each individual reticle pod corresponding to the discharge hole 235. Even though some areas of the fan filter unit 270 are blocked by foreign matter, the gas passing through the fan filter unit 270 is combined into one in the hollow portion 232 of the tube body 231 and then distributed to the individual discharge holes 235 do. Thereby, it is no longer possible to provide a different gas amount for each reticle pod (shelf 251) by blocking the filter. In addition, since the gas descends through the hollow portion 232, there is no possibility of being influenced by the flow by the shelf 251 or the reticle pod in which the layers are stacked during the descent.

이상의 보관 모듈(200)의 구체적 형태에 대해, 도 6을 참조하여 설명한다.The specific form of the above storage module 200 will be described with reference to FIG. 6.

도 6은 도 1의 라인(Ⅵ-Ⅵ)을 따라 취한 레티클 스토커 장치(100)의 종단면도이다. 6 is a longitudinal cross-sectional view of the reticle stocker device 100 taken along line VI-VI of FIG. 1.

본 도면을 참조하면, 보관 모듈(150){보관 모듈(200)과 동일함}은 대형 보관 모듈(150a)과 소형 보관 모듈(150b)로 나뉠 수 있다. 대형 보관 모듈(150a)과 소형 보관 모듈(150b) 각각의 단면적은 대체로 동일하나, 대형 보관 모듈(150a)이 소형 보관 모듈(150b)보다 큰 길이를 갖는다. 그에 의해, 대형 보관 모듈(150a)이 소형 보관 모듈(150b)보다 많은 수의 레티클 포드를 저장할 수 있다. Referring to this drawing, the storage module 150 (same as the storage module 200) may be divided into a large storage module 150a and a small storage module 150b. The cross-sectional area of each of the large storage module 150a and the small storage module 150b is substantially the same, but the large storage module 150a has a greater length than the small storage module 150b. Thereby, the large storage module 150a can store a larger number of reticle pods than the small storage module 150b.

구체적으로, 대형 보관 모듈(150a)은 자동 반송 유닛(110) 및 수동 반송 유닛(130)이 위치하는 영역을 벗어나서 위치한다. 도 1을 참조하면, 이러한 대형 보관 모듈(150a)은 3개가 구비되어 있다.Specifically, the large storage module 150a is located outside the area where the automatic transport unit 110 and the manual transport unit 130 are located. Referring to FIG. 1, three such large storage modules 150a are provided.

이와 달리, 소형 보관 모듈(150b)은 자동 반송 유닛(110)과 수동 반송 유닛(130) 사이에 위치한다. 소형 보관 모듈(150b)은 자동 반송 유닛(110)과 수동 반송 유닛(130)의 설치에 따라 발생하는 유휴 공간을 활용하여, 레티클 포드의 저장 용량을 추가로 확보할 수 있게 한다.Alternatively, the small storage module 150b is located between the automatic transfer unit 110 and the manual transfer unit 130. The small storage module 150b utilizes the idle space generated according to the installation of the automatic transfer unit 110 and the manual transfer unit 130 to further secure the storage capacity of the reticle pod.

이상의 대형 보관 모듈(150a) 및 소형 보관 모듈(150b)은 앞서 설명한 보관 모듈(200)과 동일한 구성을 가질 수 있다. 그에 따라, 그들은 각기 독립적으로 구성되는 퍼지 가스 공급 시스템{급기 배관(291), 노즐(293), 및 배기 배관(295, 이상 도 5 참조)}을 가질 수 있다. 본 도면에서 예시된 바와 같이, 소형 보관 모듈(150b)에서의 급기 배관과 배기 배관은 수동 반송 유닛(130)을 거쳐서 소형 보관 모듈(150b)의 수용 공간으로 연장될 수 있다.The large storage module 150a and the small storage module 150b described above may have the same configuration as the storage module 200 described above. Accordingly, they may each have an independently configured purge gas supply system (air supply pipe 291, nozzle 293, and exhaust pipe 295 (see FIG. 5 above)). As illustrated in this figure, the air supply pipe and the exhaust pipe in the small storage module 150b may be extended to the receiving space of the small storage module 150b via the manual transfer unit 130.

다음으로, 보관 모듈(150)의 분리 형태에 대해 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. Next, the separation form of the storage module 150 will be described with reference to FIGS. 7 and 8.

도 7은 도 2의 레티클 스토커 장치(100)에서 보관 모듈(150)의 분리 상태를 보인 개념적인 횡단면도이고, 도 8은 도 7의 레티클 스토커 장치(100)에 대한 제어 블록도이다.FIG. 7 is a conceptual cross-sectional view showing a detached state of the storage module 150 in the reticle stocker device 100 of FIG. 2, and FIG. 8 is a control block diagram of the reticle stocker device 100 of FIG. 7.

도 7을 참조하면, 보관 모듈(150)은, 앞선 실시예와 유사하게, 하우징(151 및 155), 포스트 모듈(230), 및 서포트 모듈(250)을 가질 수 있다. Referring to FIG. 7, the storage module 150 may have housings 151 and 155, a post module 230, and a support module 250, similar to the previous embodiment.

여기서, 하우징(151 및 155)은, 제1 프레임(151)과 제2 프레임(155)으로 구분된다. 제1 프레임(151)은 핸들링 모듈(170) 측에 설치되어 랙 마스터(171)의 이동 공간을 구획하는 벽의 역할도 할 수 있다. 이러한 제1 프레임(151)에는 운영 도어(217)가 설치된다. 제2 프레임(155)은 제1 프레임(151)에 분리 가능하게 결합된다. 비상시에 제2 프레임(155)은 제1 프레임(151)으로 분리될 수 있다. 여기서, 포스트 모듈(230)은 제2 프레임(155)에 설치되기에, 제2 프레임(155)과 함께 제1 프레임(151)으로부터 분리될 수 있다. Here, the housings 151 and 155 are divided into a first frame 151 and a second frame 155. The first frame 151 is installed on the side of the handling module 170 and may also serve as a wall partitioning the moving space of the rack master 171. An operating door 217 is installed in the first frame 151. The second frame 155 is detachably coupled to the first frame 151. In an emergency, the second frame 155 may be separated into the first frame 151. Here, since the post module 230 is installed in the second frame 155, it may be separated from the first frame 151 together with the second frame 155.

도 8을 참조하면, 운영 도어(217)는 제어 모듈(190)에 의해 제어될 수 있다. 제어 모듈(190)은 분리 감지부(191)와 랙 마스터 감지부(193)의 감지 결과에 근거하여 작동한다.Referring to FIG. 8, the operation door 217 may be controlled by the control module 190. The control module 190 operates based on the detection results of the separation detection unit 191 and the rack master detection unit 193.

구체적으로, 랙 마스터 감지부(193)는 랙 마스터(171)가 운영 도어(217)에 접근하는 것을 감지하면, 제어 모듈(190)은 운영 도어(217)를 개방한다. 그에 따라, 랙 마스터(171)는 레티클 포드를 보관 모듈(150) 내에 투입하거나 보관 모듈(150)에서 레티클 포드를 인출할 수 있다. 이후, 랙 마스터(171)가 다른 곳으로 이동하면, 랙 마스터 감지부(193)의 감지 결과에 기초하여 제어 모듈(190)은 운영 도어(217)가 닫히게 한다.Specifically, when the rack master detection unit 193 detects that the rack master 171 approaches the operation door 217, the control module 190 opens the operation door 217. Accordingly, the rack master 171 may insert the reticle pod into the storage module 150 or withdraw the reticle pod from the storage module 150. Thereafter, when the rack master 171 moves to another place, the control module 190 causes the operation door 217 to be closed based on the detection result of the rack master detection unit 193.

그런데, 분리 감지부(191)가 제2 프레임(155)이 제1 프레임(151)에서 분리된 것을 감지한 경우라면, 제어 모듈(190)은 운영 도어(217)를 잠금 설정한다. 그에 의해, 랙 마스터 감지부(193)가 랙 마스터(171)를 감지했다고 하더라도, 운영 도어(217)는 열리지 않게 된다. 제2 프레임(155)이 제1 프레임(151)에 다시 결합된 경우에, 분리 감지부(191)는 그러한 감지 결과를 제어 모듈(190)에 입력한다. 그 경우, 제어 모듈(190)은 랙 마스터 감지부(193)의 감지 결과에 기초하여, 운영 도어(217)가 개폐되게 한다.However, if the separation detection unit 191 detects that the second frame 155 is separated from the first frame 151, the control module 190 locks the operation door 217. Thereby, even if the rack master detection unit 193 detects the rack master 171, the operation door 217 is not opened. When the second frame 155 is coupled to the first frame 151 again, the separation detection unit 191 inputs the detection result to the control module 190. In that case, the control module 190 is to open and close the operation door 217 based on the detection result of the rack master detection unit 193.

앞서의 보관 모듈(200)에서 토출공(235)에 대한 비상시 활용에 관한 사항을 추가로 설명한다.In the above storage module 200, matters related to emergency use of the discharge hole 235 will be further described.

도 9는 도 4의 보관 모듈(200)에서 포스트 유닛(230)과 서포트 유닛(250)의 요부를 확대해 보인 부분 사시도이고, 도 10은 도 4의 보관 모듈(200)에서 비상시 파이프 지그(PG)를 이용해 서포트 유닛(250)을 회전시키는 모습을 보인 횡단면도이다.9 is a partial perspective view showing enlarged main parts of the post unit 230 and the support unit 250 in the storage module 200 of FIG. 4, and FIG. 10 is a pipe jig in an emergency in the storage module 200 of FIG. 4 ) Is a cross-sectional view showing a state in which the support unit 250 is rotated.

본 도면들을 참조하면, 관체(231)는 금속 재질로 형성될 수 있다. 토출공(235)은 선반(251) 각각에 대응하도록 복수 개로 형성된다. 이러한 토출공(235)은 파이프 지그(PG)가 삽입되는 내경을 가진다. Referring to these drawings, the tube body 231 may be formed of a metal material. A plurality of discharge holes 235 are formed to correspond to each of the shelves 251. The discharge hole 235 has an inner diameter into which the pipe jig PG is inserted.

구체적으로, 토출공(235)은 제1 토출공(236a)과 제2 토출공(236b)을 가질 수 있다. 제1 토출공(236a)과 제2 토출공(236b) 모두에는 파이프 지그(PG)가 삽입될 수 있다. 그에 의해, 파이프 지그(PG)는 두 지점에서 지지된다. Specifically, the discharge hole 235 may have a first discharge hole 236a and a second discharge hole 236b. A pipe jig PG may be inserted into both the first discharge hole 236a and the second discharge hole 236b. Thereby, the pipe jig PG is supported at two points.

제1 토출공(236a)과 제2 토출공(236b)은 관체(231)이 중심을 기준으로 서로 반대편에 위치할 수 있다. 나아가, 이들은 서로 동일한 높이에 위치할 수 있다. 이들은 작업자가 파이프 지그(PG)를 통해 관체(231)를 회전 조작하는데 관여하는 점에서, 회전 조작공이라 칭해질 수 있다. The first discharge hole 236a and the second discharge hole 236b may be located on opposite sides of the tube body 231 with respect to the center. Furthermore, they can be located at the same height as each other. These can be referred to as a rotary manipulator, in that the operator is involved in rotating the pipe body 231 through a pipe jig PG.

이러한 구성에 의하면, 비상시에 작업자는 유지보수 도어(215)를 개방한 채로 파이프 지그(PG)를 토출공(235)에 삽입할 수 있다. 구체적으로, 작업자는 파이프 지그(PG)를 제1 토출공(236a)과 제2 토출공(236b)에 삽입할 수 있다. 이후 작업자가 파이프 지그(PG)를 회전시키면, 관체(231)는 수동으로 회전된다. 그 결과, 유지보수 도어(215)를 통해 외부로 노출된 레티클 포드들은 작업자가 의해 수동으로 외부로 반출될 수 있다. According to this configuration, in an emergency, the operator can insert the pipe jig PG into the discharge hole 235 with the maintenance door 215 open. Specifically, the operator can insert the pipe jig (PG) into the first discharge hole (236a) and the second discharge hole (236b). Then, when the operator rotates the pipe jig PG, the tube body 231 is manually rotated. As a result, reticle pods exposed to the outside through the maintenance door 215 may be manually taken out by the operator.

도 11은 도 10에서 파이프 지그(PG)가 삽입되는 토출공(236a 및 236b)에 설치되는 완충부재(237)를 보인 사시도이다.11 is a perspective view showing a buffer member 237 installed in the discharge holes 236a and 236b in which the pipe jig PG is inserted in FIG. 10.

본 도면을 참조하면, 제1 토출공(236a) 및 제2 토출공(236b)에는 완충 부재(237)가 설치될 수 있다. 완충 부재(237)는 제1 토출공(236a) 및 제2 토출공(236b)에 삽입된 파이프 지그(PG)와 접촉하여, 파이프 지그(PG)가 제1 토출공(236a) 및 제2 토출공(236b)에 의해 손상되거나 절곡되지 않도록 하는 구성이다. Referring to this drawing, a buffer member 237 may be installed in the first discharge hole 236a and the second discharge hole 236b. The shock absorbing member 237 contacts the pipe jig PG inserted in the first discharge hole 236a and the second discharge hole 236b, so that the pipe jig PG discharges the first discharge hole 236a and the second discharge It is a structure that is not damaged or bent by the ball 236b.

완충 부재(237)는 보강부(238) 및 연결부(239)를 가질 수 있다. 보강부(238)는 제1 토출공(236a)/제2 토출공(236b)에 대해 수평 방향으로 배치되는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 이에 비해, 연결부(239)는 수직 방향으로 배치되는 한 쌍으로 구성될 수 있다.The shock absorbing member 237 may have a reinforcement part 238 and a connection part 239. The reinforcing part 238 may be provided as a pair disposed in a horizontal direction with respect to the first discharge hole 236a / the second discharge hole 236b. On the other hand, the connecting portion 239 may be configured as a pair arranged in the vertical direction.

보강부(238)는 파이프 지그(PG, 도 10 참조)를 작업자가 좌/우로 밀 때, 파이프 지그(PG)에 의해 압박을 받는 부분이다. 보강부(238)에 의해 파이프 지그(PG)는 제1 토출공(236a)/제2 토출공(236b)을 한정하는 에지 부분에 의해 손상되지 않는다. 보강부(238)의 외주면에는 상기 에지 부분을 수용하는 수용 그루브(238a)가 형성될 수 있다. 연결부(239)는 완충 부재(237)를 제1 토출공(236a)/제2 토출공(236b)에 끼워 넣을 때 탄성적으로 변형되어, 완충 부재(237)가 제1 토출공(236a) 등에 장착될 수 있게 한다.The reinforcing part 238 is a part that is pushed by the pipe jig PG when the operator pushes the pipe jig PG (see FIG. 10) left / right. The pipe jig PG is not damaged by the edge portion defining the first discharge hole 236a / the second discharge hole 236b by the reinforcing portion 238. A receiving groove 238a accommodating the edge portion may be formed on the outer circumferential surface of the reinforcing portion 238. The connecting portion 239 is elastically deformed when the buffer member 237 is inserted into the first discharge hole 236a / second discharge hole 236b, so that the shock absorbing member 237 is provided in the first discharge hole 236a or the like. It can be mounted.

상기와 같은 모듈형 용기 스토커 장치 및 그에 사용되는 카로셀 타입의 용기 보관 모듈은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The modular container stocker device as described above and the carousel type container storage module used therein are not limited to the configuration and operation of the embodiments described above. The above embodiments may be configured such that all or part of each embodiment is selectively combined to make various modifications.

100: 레티클 스토커 장치 110: 자동 반송 유닛
130: 수동 반송 유닛 150,200: 보관 모듈
150a: 대형 보관 모듈 150b: 소형 보관 모듈
151: 제1 프레임 155: 제2 프레임
170: 핸들링 모듈 190: 제어 모듈
210: 하우징 230: 포스트 유닛
231: 관체 235: 토출공
250: 서포트 유닛 270: 팬필터 유닛100: reticle stocker device 110: automatic transfer unit
130: manual transfer unit 150,200: storage module
150a: large storage module 150b: small storage module
151: first frame 155: second frame
170: handling module 190: control module
210: housing 230: post unit
231: tube 235: discharge hole
250: support unit 270: fan filter unit

Claims (18)

대상물을 수용하는 용기를 파지 영역에 위치시키도록 구성되는 로딩 모듈;
수용 공간을 각각 구비하는 복수의 보관 모듈; 및
상기 파지 영역에서 상기 용기를 파지하여 상기 복수의 보관 모듈 중 하나의 상기 수용 공간에 투입하도록 구성되는 핸들링 모듈을 포함하고,
상기 복수의 보관 모듈은,
각각의 상기 수용 공간에 대해 상기 용기에 대한 퍼지를 위한 가스를 독립적으로 공급하도록 구성되고,
상기 보관 모듈은,
상기 수용 공간 내로 상기 핸들링 모듈의 접근을 허용하기 위해 개폐되고, 상기 핸들링 모듈을 마주하도록 배치되는 운영 도어; 및
상기 수용 공간을 한정하는 하우징을 더 포함하고,
상기 하우징은,
상기 운영 도어가 설치되는 제1 프레임; 및
상기 제1 프레임과 분리 가능하게 결합되어, 상기 제1 프레임과 함께 상기 수용 공간을 형성하는 제2 프레임을 포함하는, 모듈형 용기 스토커 장치.
A loading module, configured to position the container containing the object in the gripping area;
A plurality of storage modules each having a receiving space; And
And a handling module configured to grip the container in the gripping area and put it into the receiving space of one of the plurality of storage modules,
The plurality of storage modules,
Configured to independently supply gas for purge to the container for each of the receiving spaces,
The storage module,
An operating door opened and closed to allow access of the handling module into the accommodation space and disposed to face the handling module; And
Further comprising a housing that defines the accommodation space,
The housing,
A first frame in which the operation door is installed; And
A modular container stocker device comprising a second frame detachably coupled to the first frame to form the receiving space together with the first frame.
제1항에 있어서,
상기 복수의 보관 모듈은,
각각의 상기 수용 공간이 서로 독립적인 영역을 차지하도록 배치되는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
The plurality of storage modules,
A modular container stocker device wherein each of the receiving spaces is arranged to occupy an area independent of each other.
제1항에 있어서,
상기 핸들링 모듈은,
상기 용기를 파지하는 랙 마스터; 및
상기 랙 마스터의 이동 경로를 정의하는 레일을 포함하고,
상기 복수의 보관 모듈은,
상기 레일의 양측 영역에 상기 랙 마스터가 접근 가능하게 배치되는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
The handling module,
A rack master for holding the container; And
It includes a rail defining the movement path of the rack master,
The plurality of storage modules,
A modular container stalker device in which the rack masters are arranged to be accessible on both sides of the rail.
제1항에 있어서,
상기 로딩 모듈은,
천장반송대차로부터 상기 용기를 내려받아 상기 파지 영역 중 하나로 반송하는 자동 반송 유닛; 및
상기 자동 반송 유닛의 하측에 위치하고, 작업자의 조작에 의해 상기 용기를 상기 파지 영역 중 다른 하나로 반송하는 수동 반송 유닛을 포함하고,
상기 복수의 보관 모듈은,
상기 자동 반송 유닛 및 상기 수동 반송 유닛이 위치하는 영역을 벗어나서 위치하는 대형 보관 모듈; 및
상기 자동 반송 유닛과 상기 수동 반송 유닛 사이에 위치하고, 상기 대형 보관 모듈보다 작은 크기를 갖는 소형 보관 모듈을 포함하는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
The loading module,
An automatic conveying unit that downloads the container from the overhead conveyance truck and conveys it to one of the gripping areas; And
Located on the lower side of the automatic conveying unit, and includes a manual conveying unit for conveying the container to the other of the gripping area by the operator's operation,
The plurality of storage modules,
A large storage module positioned outside the area where the automatic transport unit and the manual transport unit are located; And
A modular container stocker device comprising a small storage module positioned between the automatic transport unit and the manual transport unit and having a size smaller than the large storage module.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 보관 모듈은,
상기 가스를 받아들이는 중공부를 구비하고 상기 수용 공간에 회전 가능하게 배치되는 관체와, 상기 관체에 개구되어 상기 중공부의 길이 방향을 따라 유동하는 상기 가스를 상기 관체의 외부로 안내하는 복수의 토출공을 구비하는 포스트 유닛을 더 포함하고,
상기 포스트 유닛은, 상기 제2 프레임에 설치되어, 상기 제2 프레임과 함께 상기 제1 프레임에서 분리되는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
The storage module,
A tube body having a hollow portion for receiving the gas and rotatably disposed in the accommodation space, and a plurality of discharge holes opening in the tube body and guiding the gas flowing along the longitudinal direction of the hollow portion to the outside of the tube body Further comprising a post unit provided,
The post unit is installed on the second frame, and is separated from the first frame together with the second frame, a modular container stocker device.
제1항에 있어서,
상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에서 분리되는 경우에, 상기 운영 도어는 잠금 설정되는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
When the second frame is separated from the first frame, the operating door is locked, modular container stocker device.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 용기는, 레티클 포드를 포함하고,
상기 대상물은, 레티클을 포함하는, 모듈형 용기 스토커 장치.
According to claim 1,
The container includes a reticle pod,
The object includes a reticle, a modular container stocker device.
수용 공간을 구비하는 하우징;
중공부를 구비하고 상기 수용 공간에 회전 가능하게 배치되는 관체와, 상기 관체에 개구되어 상기 중공부의 길이 방향을 따라 유동하는 가스를 상기 관체의 외부로 안내하는 복수의 토출공을 구비하는 포스트 유닛; 및
상기 관체의 외면에 설치되는 복수의 선반을 포함하고, 상기 선반은 용기를 지지하여 상기 용기가 상기 토출공을 통해 토출되는 가스에 의해 퍼지되게 하는, 서포트 유닛을 포함하고,
상기 토출공은, 비상시 상기 포스트 유닛을 수동으로 회전시키기 위해서 삽입되는 파이프 지그를 수용하는 내경을 갖는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈.
A housing having an accommodation space;
A post unit having a hollow portion and a tubular body rotatably disposed in the accommodation space, and a plurality of discharge holes opening in the pipe body and guiding gas flowing along the longitudinal direction of the hollow portion to the outside of the pipe body; And
It includes a plurality of shelves installed on the outer surface of the tube body, the shelf includes a support unit for supporting the container so that the container is purged by the gas discharged through the discharge hole,
The discharge hole, a carousel type container storage module having an inner diameter for receiving a pipe jig inserted to manually rotate the post unit in an emergency.
제12항에 있어서,
상기 수용 공간에서 상기 포스트 유닛의 상측 및 하측 중 하나에 설치되고, 상기 중공부를 향해 상기 가스를 여과하여 송풍하는 팬필터 유닛을 더 포함하는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈.
The method of claim 12,
A carousel type container storage module further comprising a fan filter unit installed on one of the upper and lower sides of the post unit in the accommodation space and filtering and blowing the gas toward the hollow.
제12항에 있어서,
상기 관체는, 금속 재질로 형성되는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈.
The method of claim 12,
The tube body is formed of a metal material, a carousel type container storage module.
제12항에 있어서,
상기 복수의 토출공은,
제1 토출공; 및
상기 파이프 지그가 상기 제1 토출공과 함께 삽입되게 하는 위치에 형성되는 제2 토출공을 포함하는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈.
The method of claim 12,
The plurality of discharge holes,
A first discharge hole; And
And a second discharge hole formed at a position where the pipe jig is inserted together with the first discharge hole, a carousel type container storage module.
삭제delete 삭제delete 제12항에 있어서,
상기 포스트 유닛은,
상기 복수의 토출공에 설치되어, 상기 파이프 지그가 삽입된 경우에 상기 파이프 지그와 접촉되는 중공형의 완충 부재를 더 포함하는, 카로셀 타입의 용기 보관 모듈.The method of claim 12,
The post unit,
It is installed in the plurality of discharge holes, further comprising a hollow cushioning member in contact with the pipe jig when the pipe jig is inserted, a carousel type container storage module.
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