KR102102353B1 - 유기발광 표시패널의 검사방법, 원장기판 검사장치 및 검사방법 - Google Patents

유기발광 표시패널의 검사방법, 원장기판 검사장치 및 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기전계 표시패널의 검사방법, 원장기판의 검사장치 및 검사방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 표시패널의 검사방법은, 유기발광 표시패널의 봉지층에 전계를 인가하는 단계 및 상기 유기발광 표시패널의 불량을 판정하는 단계를 포함한다.

Description

유기발광 표시패널의 검사방법, 원장기판 검사장치 및 검사방법 { Method for testing of organic light-emitting dsplay panel, apparatus and method for testing mother substrate }
본 발명은 유기발광 표시패널의 검사방법, 원장기판 검사장치 및 검사방법에 관한것으로서, 더욱 상세하게는, 유기발광 표시패널의 신뢰성 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 넓은 시야각, 높은 콘트라스트(contrast) 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성으로 인해 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 외부의 수분이나 산소 등에 의해 열화되는 특성을 가지므로, 외부의 수분이나 산소 등으로부터 유기 발광 소자를 보호하기 위하여 유기 발광 소자를 밀봉한다. 최근, 유기 발광 표시 장치의 박형화 및/또는 플렉서블화를 위하여, 유기 발광 소자를 밀봉하는 수단으로 복수 개의 무기막 또는 유기막과 무기막을 포함하는 복수 개의 층으로 구성된 박막 봉지(TFE; thin film encapsulation)가 이용되고 있다.
본 발명의 기술적 사상은 유기발광 표시패널의 신뢰성 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 기술적 사상은 복수개의 유기발광 표시 패널들을 포함하는 원장기판의 신뢰성 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 유기발광 표시패널의 신뢰성 검사방법은, 유기발광 표시패널의 봉지층에 전계를 인가하는 단계; 및 상기 유기발광 표시패널의 불량을 판정하는 단계를 포함한다.
일 예로서, 상기 전계 형성 단계는, 상기 봉지층 상부에 전도판을 접촉하는 단계 및 상기 유기발광 표시패널의 대향전극과 상기 전도판 사이에 바이어스 전압을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 유기발광 표시패널을 에이징하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 불량 판정 단계는, 상기 유기발광 표시패널을 점등하는 단계; 및 암점이 발생하였는지 여부를 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 봉지층은, 박막 봉지일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 복수의 유기발광 표시패널들이 형성된 원장기판의 검사장치는, 상기 원장기판을 고정 및 지지하는 베이스 플레이트; 상기 원장기판에 제공되는 전기신호들을 생성하는 회로부 및 복수의 전극핀을 구비하고, 원장기판의 패드부에 상기 전기신호들를 제공하는 신호공급부; 및 상기 원장기판의 상면에 접촉되는 전도 플레이트를 포함하고, 상기 복수의 전극핀 중 적어도 하나의 전극핀과 상기 전도 플레이트를 통해, 상기 복수의 유기발광 표시패널들의 봉지층에 전계를 인가시키기 위한 바이어스 전압을 상기 원장기판으로 제공한다.
일 예로서, 상기 전도 플레이트는, 접지전압에 연결되고, 상기 적어도 하나의 전극핀은, 상기 유기발광 표시패널들의 대향전극에 전기적으로 연결된 제1 공통 배선에 음의 바이어스 전압을 인가할 수 있다.
일 예로서, 상기 전도 플레이트는, 박막의 도전성 테이프를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 전도 플레이트는, 상기 유기발광 표시패널들의 표시부에 대응하는 복수의 도전부; 및 상기 복수의 도전부 사이에 배치되는 격자형태의 절연부를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 전도 플레이트가 상기 봉지층에 밀착되도록 상기 전도 플레이트를 누르는 가압부를 더 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 바이어스 전압을 제공한 이후, 상기 복수의 전극 핀들을 통해 상기 유기발광 표시패널들을 에이징 하기위한 구동 전압들을 상기 원장기판으로 제공할 수 있다.
일 예로서, 상기 베이스 플레이트에 결합되며, 상기 원장기판에 열을 공급하는 히터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 원장기판 검사방법은, 복수의 유기발광 표시패널들이 형성되어 있는 원장기판을 베이스 플레이트 상에 제공하는 단계; 상기 유기발광 표시패널들의 봉지박막에 전계를 형성시키는 단계; 및 상기 복수의 유기발광 표시패널들 중 불량이 발생한 셀들을 판정하는 단계를 포함한다.
일 예로서, 상기 전계형성 단계는, 전도 플레이트를 상기 원장기판의 상면에 접촉시키는 단계; 및 상기 원장기판의 배선들 중 상기 유기발광 표시패널들의 대향전극에 전기적으로 연결된 배선과 상기 전드 플레이트 사이에 바이어스 전압을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 복수의 유기발광 표시패널들을 에이징 하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 에이징 단계는, 상기 베이스 플레이트에 결합된 히터를 통해 상기 베이스 플레이트에 열을 공급하는 단계; 및 상기 복수의 유기발광 표시패널들에 에이징 신호를 공급하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 실시예들에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법은, 봉지층에 강한 전계를 인가하여 신뢰성 불량인 진행성 암점이 조기에 발현될 수 있도록 한다.
또한, 상술한 바와 같은 실시예들에 따른 원장기판 검사장치 및 그 검사방법은, 유기발광 표시패널에 배선층의 추가없이 봉지층에 전계를 인가할 수 있도록 한다.
도 1은 유기발광 표시패널을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 유기발광 표시패널의 일 화소 영역을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 나타내는 흐름도이다.
도 5는 도 4의 전계 형성 단계의 일 구현예를 나타낸 흐름도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 순차적으로 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 나타내는 흐름도이다.
도 8은 복수의 유기발광 표시패널들을 포함하는 원장기판을 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 원장기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 10은 도 9의 원장기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 11은 도 8의 전도 플레이트의 일 구현예를 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원장기판 검사방법을 나타내는 흐름도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 유기발광 표시패널(100)은 기판(120), 기판(110) 상의 표시부(120) 및 상기 표시부(120)를 밀봉하기위한 봉지층(150)을 포함할 수 있다. 봉지층(150)은 상기 표시부(120)를 전체적으로 감싸는 형태로 배치되며, 외부로부터 표시부(120)를 보호한다.
상기 표시부(120)는 상기 봉지층(150)의 하면에 맞닿아 있는 대향 전극(143)을 구비할 수 있다. 도시된 바와 같이, 대향 전극(143)은 표시부(120)의 상부에 전체적으로 형성되며, 외부에 노출된 패드(171)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 패드(171)를 통해 대향전극(143)에 전압이 인가될 수 있다. 유기발광 표시패널(100)에 대한 더 자세한 설명은 도 2 및 도 3을 참조하여 후술하기로 한다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 검사방법은, 상기 봉지층(150)에 전체적으로 강한 전계를 인가하여, 암점 등과 같은 불량이 조기에 발현되도록 할 수 있다. 이때, 봉지층(150)에 전계를 형성하기 위하여, 봉지층(150)의 상면 및 하면에 바이어스 전압(Vbias)을 인가할 수 있다. 봉지층(150)의 상면은 상기 표시부(120)에 접한 면이고 하면은 외부에 노출된 면이다. 이때, 봉지층(150)의 아래에는 대향전극(143)이 배치되어 있으나, 봉지층(150) 상에는, 아무런 전극이 형성되어 있지 않다. 따라서, 봉지층(150)의 상면에 전압을 인가하기 위하여 별도의 전도판(200)을 이용할 수 있다. 상기 전도판(200)을 봉지층(150)의 상면에 접촉시키고, 전도판(200)과 대향전극(143) 사이에 바이어스 전압(Vbias)을 인가할 수 있다. 이에 따라, 봉지층(150)에 전체적으로 강한 전계가 형성될 수 있다.
유기발광 표시패널(100)에 구비되는 유기발광 소자는 수분이나 산소 등에 의해 열화되는 특성을 가진다. 그러므로, 외부로의 수분이나 산소 등으로부터 유기 발광 소자를 보호하기 위하여 봉지층(150)으로 유기 발광 소자를 밀봉한다. 그런데 봉지층(150)이 불안정하게 형성되면, 시간이 지남에 따라 봉지층(150)이 손상되고, 이에 따라 유기 발광 표시 패널(100)에 진행성 암점이 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법은 유기발광 표시패널(100)의 신뢰성을 검사한다. 유기발광 표시패널(100)의 봉지층(150)에 강한 전계를 인가하여 안전성이 떨어지는 봉지층(150)을 포함하는 유기발광 표시패널(100)에서 진행성 암점이 조기에 발현되도록 할 수 있다. 이에 따라, 신뢰성 검사의 시간을 단축시킬 수 있으며, 봉지층(150)의 파손가능성이 있는 유기발광 표시패널(100)을 선별할 수 있다.
도 2는 유기발광 표시패널을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 3은 도 2의 유기발광 표시패널의 일 화소 영역을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 유기발광 표시패널(100)은 기판(110)과, 기판(110) 상의 표시부(120), 및 표시부(120) 상의 봉지층(150)을 포함한다.
기판(110)은 가요성 기판일 수 있으며, 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET; polyethylene terephthalate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphtalate), 폴리아릴레이트(PAR; polyarylate) 및 폴리에테르이미드(polyetherimide) 등과 같이 내열성 및 내구성이 우수한 플라스틱으로 구성될 수 있다. 또한, 기판(120)은 금속이나 유리 등 다양한 소재로 구성될 수 있다.
기판(110)의 상면에는 표시부(120)가 배치될 수 있다. 본 명세서에서 언급되는 표시부(120)라는 용어는 유기 발광 소자(OLED) 및 이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(TFT) 어레이를 통칭하는 것으로, 화상을 표시하는 부분과 화상을 표시하기 위한 구동부분을 함께 의미하는 것이다.
표시부(120)는 평면상에서 볼 때 복수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열된다. 각 화소는 유기 발광 소자(OLED) 및 유기 발광 소자(OLED)와 전기적으로 연결된 전자 소자를 포함한다. 전자 소자는 구동 박막 트랜지스터와 스위칭 박막 트랜지스터를 포함하는 적어도 두 개의 박막 트랜지스터(TFT), 및 스토리지 커패시터 등을 포함할 수 있다. 전자 소자는 배선들과 전기적으로 연결되어 표시부(100) 외부의 구동부로부터 전기적인 신호를 전달받아 구동한다. 이렇게 유기 발광 소자(OLED)와 전기적으로 연결된 전자 소자 및 배선들의 배열을 박막 트랜지스터(TFT) 어레이라 지칭한다.
표시부(120)는 박막 트랜지스터(TFT) 어레이를 포함하는 소자/배선층(130), 및 유기 발광 소자(OLED) 어레이를 포함하는 유기 발광 소자층(140)을 포함한다. 도 2에는 유기 발광 소자(OLED)와 유기 발광 소자(OLED)를 구동하는 구동 박막 트랜지스터(TFT)만 도시되어 있는데, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 본 발명은 도시된 바에 한정되지 않으며, 다수의 박막 트랜지스터(TFT), 스토리지 커패시터 및 각종 배선들이 더 포함될 수 있다는 것은 본 기술분야의 당업자들에게 자명하다.
소자/배선층(130)에는 유기 발광 소자(OLED, 140)를 구동시키는 구동 박막트랜지스터(TFT), 스위칭 박막트랜지스터(미도시), 커패시터, 상기 박막트랜지스터나 커패시터에 연결되는 배선들(미도시)이 포함될 수 있다.
구동 박막 트랜지스터(TFT)는 활성층(131)과, 게이트 전극(133)과, 소스 전극 및 드레인 전극(135a, 135b)을 포함한다.
소자/배선층(130)은 평활성을 주고 불순물의 침투를 차단하기 위하여 기판(110)의 상면에 배치되는 버퍼층(137)을 더 포함할 수 있다.
소자/배선층(130) 상에는 유기 발광 소자(140)가 배치된다. 유기 발광 소자(140)는 화소 전극(141)과, 화소 전극(141) 상에 배치된 유기 발광층을 포함하는 중간층(142)과, 중간층(142) 상에 배치된 대향 전극(143)을 포함한다.
화소 전극(141)은 애노드(anode)이고, 대향 전극(143)은 캐소드(cathode)로 구성된다. 그러나, 이에 한정되지 않으며, 유기 발광 표시 장치(100)의 구동 방법에 따라 화소 전극(141)이 캐소드이고, 대향 전극(143)이 애노드일 수도 있다.
상기 화소 전극(141) 및 대향 전극(143)으로부터 각각 정공과 전자가 중간층(142)에 포함된 유기 발광층 내부로 주입되며, 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어지면서 광을 방출한다. 중간층(143)은 청색광, 녹색광, 적색광, 또는 백색광을 방출할 수 있다.
화소 전극(141)은 소자/배선층(130)에 형성된 구동 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결된다. 화소 전극(141)은 반사 전극일 수 있으며, 반사막과, 반사막 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다.
화소 전극(141)과 대향되도록 배치된 대향 전극(143)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있다. 따라서, 대향 전극(143)은 중간층(142)에 포함된 유기 발광층에서 방출된 광을 투과시킬 수 있다.
상기 유기 발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있으며, 중간층(142)은 유기 발광층 이외에 홀 수송층(HTL; hole transport layer), 홀 주입층(HIL; hole injection layer), 전자 수송층(ETL; electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL; electron injection layer) 등과 같은 기능층을 선택적으로 더 포함할 수 있다.
이러한 표시부(120)를 덮도록, 기판(110) 상에는 봉지층(150)이 배치될 수 있다. 표시부(120)에 포함된 유기 발광 소자(OLED)는 유기물로 구성되어 외부의 수분이나 산소에 의해 쉽게 열화될 수 있다. 따라서 이러한 표시부(120)를 보호하기 위해 표시부(120)를 밀봉해야 한다. 봉지층(150)은 표시부(120)를 밀봉하는 수단으로 복수의 무기막들 및 복수의 유기막들을 교대로 적층한 구조를 갖는 박막 봉지층(Thin Film Encapsulate; TFE)일 수 있다.
봉지층(150)은 복수의 무기막들(151, 153) 및 복수의 유기막(152, 153)을 포함할 수 있다. 복수의 무기막들(151, 153) 및 복수의 유기막(152, 153)은 서로 교대로 적층될 수 있다.
복수의 무기막들(151, 153)은 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 예컨대, 무기막들(151, 153)은 알루미늄 산화물, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물으로 이루어질 수 있다. 다른 예에 따르면, 무기막들(151, 153)은 복수의 무기 절연층들의 적층 구조를 포함할 수 있다. 무기막들(2151, 153)은 외부의 수분 및/또는 산소 등이 유기 발광 소자층(140)에 침투하는 것을 억제하는 기능을 수행할 수 있다. 유기막들(152, 153)은 고분자 유기 화합물일 수 있다. 유기막들(152, 153)은 무기막들(152, 153)의 내부 스트레스를 완화하거나, 무기막들(151, 153)의 결함을 보완하고 평탄화하는 기능을 수행할 수 있다.
유기발광 표시패널(100)에서, 기판(110)을 가요성 기판으로 구성하고, 복수의 무기물과 유기물이 교대로 적층되어 형성되는 박막 봉지를 봉지층(150)으로 이용함으로써, 유기 발광 표시 장치(100)의 가요성 및 박형화를 용이하게 구현할 수 있다. 그러나, 박막 봉지를 이용할 경우, 진행성 암점에 취약한 단점이 있다.
이때, 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시패널(100)의 검사방법에 따라 박막 봉지로 형성되는 봉지층(150)에 강한 전계를 인가하여, 진행성 암점이 조기에 발현되도록 할 수 있다.
이하 도 4 내지 도 6b를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 좀 더 상세하게 설명하기로 한다.
도 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 개략적으로 설명하는 흐름도이고, 도 5는 도 4의 전계 인가 단계의 일 구현예를 나타낸 흐름도이고, 도 6a 및 도 6b는 유기발광 표시패널의 봉지층에 전계를 인가하는 방법을 상세히 설명하기위한 사시도이다.
도 4 를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법은, 봉지층(도 1의 150)에 전계를 인가하는 단계(S110) 및 유기발광 표시패널(100)의 불량발생을 판정하는 단계(S120)를 포함할 수 있다.
전계 인가 단계(S110)에서는, 봉지층(150)의 상면 및 하면에 바이어스 전압을 인가하여 봉지층(150)에 전계가 형성되도록 할 수 있다. 도 5를 참조하면, 봉지층(150)에 전계를 인가하기 위하여, 봉지층 상면에 전도판(도 1의 200)을 접촉시킬 수 있다(S111).
도 6a에 도시된 바와 같이, 전도판(200)은 도전성 소재의 박막 테이프일 수 있다. 또한, 전도판(200)의 면적은 봉지층(150)의 상면의 면적과 유사할 수 있다. 한편, 상기 전도판(200)이 상기 봉지층(150)의 상면에 균일하게 밀착되도록 눌림 부재(300)를 이용하여 상기 전도판(200)을 봉지층(150) 방향으로 눌러줄 수 있다. 그러나, 이는 일 실시예일 뿐이며 이에 제한되는 것은 아니다. 전도판(200)은 소정의 두께와 무게를 갖으며, 이에 따라, 눌림부재(300) 없이 봉지층(150)의 상면에 밀착될 수도 있다.
도 6b에 도시된 바와 같이, 전도판(200)이 봉지층(150)의 상면에 접촉되면(S111), 봉지층(150)의 하면에 맞닿아 있는 대향전극(도 1의 143)과 전도판(200) 사이에 바이어스 전압을 인가할 수 있다(S112). 이때, 도 6b에 도시된 바와 같이, 패드부(170)에 포함된 복수의 패드들 중 대향전극(143)과 전기적으로 연결된 패드(171)와 전도판(200)에 전압을 인가할 수 있다. 이때, 전도판(200)에는 접지전압(GND)을 인가하고, 대향전극과 연결된 패드(171)에는 음의 바이어스 전압(Vbias)을 인가할 수 있다. 예를 들어, 음의 바이어스 전압(Vbias) 전압은 대략 -30V 내외의 전압일 수 있이다. 그러나, 이는 일 실시예일 뿐, 이에 제한되는 것은 아니다. 전도판(200)과 패드(171) 사이에 소정의 바이어스 전압이 인가될 수만 있다면, 전도판(200)과 패드(171) 각각에는 다양한 전압레벨의 전압이 인가될 수 있다.
한편, 전계 인가 단계(S110)에서는 소정의 시간동안 봉지층(150)에 전계를 인가할 수 있다. 다시말해, 소정의 시간동안 대향전극과 전도판(200) 사이에 바이어스 전압을 인가할 수 있다. 이때, 상기 바이어스 전압을 인가하는 시간이 길어지면 암점을 발현시킬 확률이 높아지는 반면, 정상적으로 형성된 봉지층(150)을 파손시킬 우려가 있다. 따라서, 검사 수행 조건등에 따라 적절한 시간동안 바이어스 전압을 인가하여야 할 것이다.
계속하여, 도 4를 참조하면, 불량 발생 판정 단계(S120)에서는, 유기발광 표시패널(100)을 점등시키고, 상기 유기발광 표시패널(100)의 전부 또는 일부에 암점이 발생하였는지 여부를 검사하여, 상기 유기발광 표시패널의 불량여부를 펀정할 수 있다.
한편, 상기 도 4의 유기발광 표시패널의 검사는 유기발광 표시패널의 특성검사이후에 수행될 수 있다. 유기발광 표시패널이 제조된 이후에 휘도특성, 색구현성 등에 대한 특성검사가 수행될 수 있이다. 상기 특성검사를 통하여 양품으로 판정된 유기발광 표시패널에 대하여 도 4에 따른 신뢰성 검사가 추가로 수행될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 유기발광 표시패널의 검사방법을 나타내는 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 유기발광 표시패널의 검사방법은, 봉지층에 전계를 인가하는 단계(S210), 유기발광 표시패널을 에이징 하는 단계(S220) 및 불량 발생 여부를 판정하는 단계(S240)을 포함할 수 있다. 도 4의 검사방법과 비교하면, 유기발광 표시패널을 에이징 하는 단계(S220)를 더 포함한다. 에이징이란 유기발광 소자를 일정 시간동안 구동시켜 미리 열화시키는 것을 의미한다. 유기발광 소자는 구동 초기에 열화가 급속히 진행되었다가 이후 안정화되는 성질이 있다. 따라서, 유기전계 표시패널(100)이 제품 출하 직후에 품질이나 신뢰성이 크게 저하하는 것을 방지하기 위하여 에이징을 수행할 수 있다. 에이징을 수행하기 위하여 구동 전원들 및/또는 구동신호들이 유기전계 표시패널에 제공된다. 구동전원들 및/또는 구동신호들은 에이징 신호가 된다. 에이징 신호는 유기발광 소자에 소정의 전류가 흐르도록 각 화소들의 데이터선에 공급되는 전압 또는 전류를 포함한다. 상기 구동 전원들 및/또는 구동신호들은 패드부(170)의 패드들을 통하여 외부로부터 제공될 수 있다. 포워드 에이징을 수행하기 위하여, 구동 전원 라인(미도시)과 연결된 패드(172)에는 양의 전압을, 대향전극과 연결된 패드(171)에는 음의 전압을 인가할 수 있다. 구동 전원 라인을 통해 제공된 전압은 유기발광 소자의 화소전극(도 3의 142)에 인가될 수 있다. 이에 따라, 유기발광 소자의 화소전극(도 3의 142)과 대향전극(도 3의 143)에 전압이 인가되어 유기발광 소자가 광을 방출할 수 있다. 예를 들어, 상기 양의 전압은 4.6V 내외의 전압이고, 상기 음의 전압은 -10V 내외의 전압일 수 있다. 그러나, 이는 일 예일 뿐, 이에 제한되는 것은 아니다. 유기 발광 소자에 인가되는 전압은 에이징 조건에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 역바이어스 전압을 인가하여 에이징할 수도 있다.
한편, 일 실시예에 따르면, 에이징 수행시에 유기발광 표시패널(100)에 열을 가하여 에이징 시간을 단축시킬 수도 있다.
전계를 형성하는 단계(S210) 및 불량 발생 여부를 판정하는 단계(S240)는 도 4와 실질적으로 동일한바 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
다음으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 원장기판 검사장치 및 검사방법에 대하여 설명하기로 한다. 원장기판이란, 복수의 유기발광 표시패널이 형성된 기판을 의미한다.
도 8은 복수의 유기발광 표시 패널들을 포함하는 원장기판을 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 8을 참조하면, 원장기판(m)은 매트릭스 타입으로 배열되는 복수의 유기발광 표시패널들(100)과, 유기발광 표시패널(100)의 외곽영역에 제1 방향으로 형성되는 제1 배선그룹(180), 제2 방향으로 형성되는 제2 배선그룹(190)및 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194)의 말단에 각각 연결되는 테스트용 패드(TP)들을 포함할 수 있다.
도 8에서는 원장기판(m)에 9개의 유기발광 표시패널(100)이 형성되는 것으로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 설계 조건 및 기판의 크기에 따라 다양한 개수의 유기발광 표시패널(100)이 형성될 수 있다.
각각의 유기발광 표시패널들(100)은 표시영역(AA) 및 패드부(170)를 포함한다.
표시영역(AA)은 도 3에 도시된 유기발광 다이오드(OLED) 및 박막 트랜지스터(TFT)로 이루어지는 화소부와, 상기 화소부를 구동하고 검사하기 위한 회로들을 포함할 수 있다. 표시영역(AA)은 도 1 에 도시된 바와 같이, 봉지층(150)에 의하여 밀봉될 수 있다.
패드부(170)는 외부로부터 공급되는 전원들 및/또는 신호들을 유기발광 표시패널(100) 내부로 전달하기 위한 다수의 패드들(P)을 포함한다.
제1 배선그룹(180)은 유기발광 표시패널(100)의 외곽영역, 예컨대, 패널들 사이의 경계영역에 제1 방향으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 방향은 수직방향일 수 있다. 이와 같은 제1 배선그룹(180)은 검사용 패드(TP)를 통해 외부로부터 검사용 전원 또는 신호를 공급받는 복수의 배선들(181, 182)을 포함한다. 이에 의해, 제1 배선그룹(180)은 외부로부터 공급되는 검사용 전원 및 신호들을 제1 방향으로 배열된 복수의 유기발광 표시패널(100)들로 동시에 공급할 수 있다.
제2 배선그룹(190)은 유기발광 표시패널(100)들의 외곽영역, 예컨대, 패널들(100) 사이의 경계영역에 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 형성될 수 있다. 예를들어, 제2 방향은 수평방향일 수 있다. 이와 같은 제2 배선그룹(190)은 검사용 패드(TP)를 통해 외부로부터 검사용 전원 및 신호를 공급받는 복수의 배선들(191, 192, 193, 194)을 포함한다. 이에 의해, 제2 배선그룹(190)은 외부로부터 공급되는 검사용 전원 및 신호를 제2 방향으로 배열된 복수의 유기발광 표시패널들(100)로 동시에 공급할 수 있다.
한편, 도 8에서는, 제1 방향 및 제2 방향으로 형성되는 제1 배선그룹(180) 및 제2 배선그룹(190)을 포함하는 것으로 도시되었으나 이에 제한되는 것은 아니다. 배선들은 제1 방향 또는 제 2 방향으로만 형성될수도 있다.
배선그룹들(180, 190)에 포함된 복수의 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194)은 패드부(170)의 복수의 패드들에 연결되고, 테스트 패드(TP)를 통해 외부로부터 제공된 검사용 전원 및/또는 검사용 신호를 유기발광 표시패널들(100)로 공급할 수 있다. 예를들어, 검사용 전원은 제1 화소전원(ELVSS), 제2 화소전원(ELVDD)이고, 검사용 신호는 주사신호, 발광제어신호, 에이징 신호 등을 포함할 수 있다.
각각의 디스플레이 패널(100)들은 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194)을 통해 외부로부터 검사용 전원 또는 검사용 신호를 인가받아, 검사가 진행될 수 있다. 예를 들어, 디스플레이 패널(100)의 표시품질 검사시, 제1 화소전원(ELVSS), 제2 화소전원(ELVDD), 주사신호, 발광제어신호 등을 제공받아, 이들이 공급되는 소정의 시간동안 발광할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 검사방법에서 봉지층(도 1의 150)에 전계를 유도하는 경우, 대향전극(도 3의 143)에 전기적으로 연결된 배선을 통해 바이어스 전압을 인가받을 수 있다.
검사가 완료되면 원장기판(m)이 절단되어 유기발광 표시패널(100) 각각으로 분리될 수 있다. 원장기판(m) 상에 도시된 구분선(L)은 각각의 유기발광 표시패널(100)을 구별한다. 구분선(L)을 스크라이빙하여 최종적으로 개별적인 유기발광 표시패널(100)을 완성할 수 있다.
도 9 및 도 10은 은 본 발명의 실시예에 따른 원장기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 사시도 및 측면도이다.
도 9및 도 10을 참조하면, 원장기판 검사장치는 챔버(10), 베이스 플레이트(20), 신호공급부(30) 및 전도 플레이트(40)를 포함한다. 또한 원장기판 검사장치는 가압부(50), 구동부(71, 72) 및 히터(60)를 추가로 포함할 수 있다.
챔버(10)는 원장기판 검사장치의 외형을 이루는 틀로서, 견고한 재질로 이루어진다. 챔버(10)는 원장기판(도 10의 m)을 챔버(10) 내부에 안착시키고 탈착시키는 이동을 자유롭게 할 수 있도록 전면이 개구되어 있다. 챔버(10)의 내부에는 중앙에는 베이스 플레이트(20)가 배치되고, 측면에는 신호공급부(30)가 배치될 수 있다. 또한, 도시되지 않았으나, 원장기판(m)에서 발생하는 열을 용이하게 배출하기 위하여 챔버(10)의 후면에는 복수개의 관통공이 구비될 수도 있다. 한편 사용자는 원장기판(m)에 형성된 유기발광 표시패널을 검사할 때, 챔버(10)를 지면에 대하여 경사지게 세워서 관찰할 수 있다.
베이스 플레이트(20)는 챔버(10) 내부에서, 원장기판(m)을 고정하고 지지한다. 베이스 플레이트(20)는 원장기판(m)을 지지할 수 있는 강도를 가지며, 일면에 놓이는 원장기판에 효과적으로 열을 전달할 수 있는 재료로 이루어질 수 있다. 예컨대, 베이스 플레이트(20)는 판상 알루미늄 재료로 제작될 수 있다. 이러한 베이스 플레이트(20)의 두께는 원장기판의 크기에 따라 조절될 수 있다. 베이스 플레이트(20)는 일면에 원장기판(m)을 밀착시키기 위한 진공패드(21)들을 구비할 수 있다. 베이스 플레이트(20)는 구동부(72) 상에 배치되고, 구동부(72)의 동작에 따라 상하 방향으로 이동할 수 있다.
히터(60)는 베이스 플레이트(20)에 열을 전달한다. 이에 따라, 베이스 플레이트(20)에 밀착된 원장기판(m) 전체의 온도가 균일하게 그리고 단시간에 효과적으로 상승될 수 있다. 히터(60)의 개수는 베이스 플레이트(20)의 크기나 히터(60)의 종류 및 크기에 따라 조절될 수 있다. 예를 들어, 히터(60)는 전기 히터로 구현될 수 있으며, 베이스 플레이트(20)의 일면에 형성된 트랜치(22) 트랜치들(22)에 각각 삽입 설치된다. 또한, 히터(60)는 소정의 물리적인 고정 수단 및 고정 방법을 통해 베이스 플레이트(20)에 고정적으로 결합할 수 있다.
신호공급부(30)는 복수의 전극핀(31)을 구비하고, 원장기판(m)의 테스트 패드(도 8의 TP)에 검사용 전압 및 검사용 신호들을 제공한다. 상기 검사용 전압 및 신호들은 원장기판(m)을 검사하는데 사용되는 신호로서, 회로부(미도시)에서 생성될 수 있다. 회로부(미도시) 신호공급부(30)에 구비되거나 또는 챔버(10) 내부에 독립적으로 구비될 수 있다.
신호공급부(30)는 챔버(10)의 측면부에 배치될 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 챔버(10)의 네 측면에 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 신호공급부(30)는 챔버(10)의 일 측면 또는 양 측면에 구비될 수도 있다.
복수의 전극핀(31)은 원장기판(m)의 테스트 패드(도 8의 TP)를 수직으로 누르며 상기 테스트 패드(TP)와 접촉할 수 있다. 이때, 전극핀(31)은 전도성을 가진 탄성부재를 구비할 수 있다. 전극핀(31)이 원장기판(m)을 눌러주기 때문에 원장기판(m)을 베이스 플레이트(20)에 고정할 수 있으며, 전극핀(31)에 구비된 탄성 부재에 의한 탄성력으로 전극핀(31)과 원장기판(m)의 테스트패드(TP)와의 접촉을 견고히 할 수 있다.
그러나, 상기 구조는 본 발명에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 진공패드(21)를 구비한 베이스 플레이트(20)가 원장기판(m)을 견고하게 고정시킬 수 있기 때문에 전극핀(31)이 원장기판(m)을 수직으로 누르지 않고 수평으로 누르며 접촉하는 방식이라도 무방하다.
한편, 신호공급부(30)는 이동부(71) 상에 배치되어, 이동할 수 있다. 신호공급부(30)는 베이스 플레이트(20)로부터 이격 배치되었다가, 원장기판(m) 검사시, 베이스 플레이트(20)에 근접하도록 이동될 수 있다.
이동부(71)는 챔버(10)의 가장자리에 배치되며, 신호공급부(30)를 지지한다. 이동부(71)는 신호공급부(30)를 상하좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 원장기판의 검사장치는 원장기판의 상면에 접촉되는 전도 플레이트(40)를 구비한다. 전도 플레이트(40)는 도전성 소재로 형성되며, 예를 들어, 박막의 도전성 테이프일 수 있다. 전도 플레이트(40)는 원장기판(m)의 신뢰성 검사에 사용될 수 있다. 진행성 암점을 조기 발현시키기 위하여, 유기발광 표시패널들(도 8의 100)의 표시영역(AA) 상부에 형성된 봉지층에 전계를 인가하기 위하여 사용될 수 있다. 전도 플레이트(40)를 원장기판(m)에 접촉시키고, 유기발광 표시패널들(100)의 대향전극(도 1의 143)에 공통적으로 연결된 배선과 상기 전도 플레이트(40) 사이에 바이어스 전압을 인가함으로써, 유기발광 표시패널들(100)의 봉지층에 전계를 인가할 수 있다. 이때, 전도 플레이트(40)에는 접지전압이 인가되고, 신호공급부(30)의 복수의 전극핀(31) 중 적어도 하나의 전극핀을 통해 원장기판(m)의 배선들(도 8의 181, 182, 191, 192, 193, 194) 중 유기발광 표시패널들(100)의 대향전극에 연결된 배선에 음의 바이어스 전압이 제공될 수 있다. 그러나, 이는 일 예일뿐 이에 제한되는 것은 아니다. 전도 플레이트(40)와 상기 대향전극에 연결된 배선 사이에 소정의 바이어스 전압이 인가될 수 있다면, 전도 플레이트(40)와 상기 배선에 각각 인가되는 전압은 다양하게 선택될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 원장기판 검사장치는 전도 플레이트(40)가 원장기판(m)의 상면과 균일하게 밀착되도록 상기 전도 플레이트(40)를 누르기 위한 가압부(50)를 더 포함할 수도 있다. 가압부는 전도 플레이트(40)와 동일한 크기일 수 있으며, 소정의 무게를 갖을 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 전도 플레이트(40)와 가압부(50)는 서로 결합될 수 있다.
도 11은 전도 플레이트(40)의 일 구현예를 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 11을 참조하면, 전도 플레이트(40)는 복수의 도전부(41) 및 절연부(42)를 포함할 수 있다.
도전부(41)는 전도성 소재, 예를들어, 구리, 알루미늄, 은과 같은 메탈소재 또는 상기 메탈소재들이 혼합된 소재로 형성될 수 있다. 또한, 도전부(41)는 상기 전도성 소재로 형성된 박막의 테이프로 형성될 수 있다. 도전부(41)는 유기 발광 표시패널들(도 8의 100)의 표시부(AA)에 대응하는 크기로 형성될 수 있다. 전도 플레이트(40)가 원장기판(m)의 상부에 접촉하면, 도전부(41)는 유기발광 표시패널(100)의 표시부(AA) 상부에 형성된 봉지층(도 1의 150)에 전체적으로 균일하게 접촉될 수 있다.
절연부(42)는 상기 복수의 도전부(41) 사이에 배치되며 격자형태일 수 있다. 절연부(42)는 플라스틱과 같은 절연성 소재로 형성될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이 원장기판(m)에 형성된 유기발광 표시패널들(100)의 경계영역에는 검사를 위한 배선부(180, 190)가 형성된다. 절연부(42)는 전도 플레이트(40)가 원장기판의 상면에 접촉했을 때, 상기 배선부에 도전부(41)가 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원장기판 검사방법을 나타내는 흐름도이다. 본 실시예에 따른 원장기판 검사방법은 도 9 및 도 10에 도시된 원장기판 검사장치를 이용하여 원장기판을 검사하는 방법에 대한 것이다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 원장기판 검사방법은, 복수의 유기발광 표시패널들이 형성되어 있는 원장기판을 베이스 플레이트 상에 제공하는 단계(S310), 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층에 전계를 인가하는 단계(S320. 330) 및 상기 복수의 유기발광 표시패널들 중 불량이 발생한 패널들을 판정하는 단계(S350)를 포함할 수 있다.
우선 원장기판(m)을 베이스 플레이트 상에 제공한다(S310) 원장기판(m)을 베이스 플레이트(도 9의 20)에 안착시킨다. 이후, 원장기판(m)의 이탈을 방지하고 원장기판(m)과 베이스 플레이트(20)를 밀착시키기 위하여 진공패드(21)를 통해 원장기판(m)을 흡착할 수 있다.
이후, 유기발광 표시패널(100)의 봉지층에 전계를 인가한다(S320, 330). 유기발광 표시패널(100)의 봉지층에 전계를 인가하기 위하여, 전도 플레이트(도 9의 40)를 원장기판(m)의 상면에 접촉시키고(S320), 원장기판의 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194) 중 상기 유기발광 표시패널들(100)의 대향전극(도 3의 143)에 전기적으로 연결된 배선과 전도 플레이트(40) 사이에 바이어스 전압을 인가할 수 있다(S330). 일 실시예에 따르면, 전도 플레이트(40)에는 접지전압이 인가되고, 상기 대향전극에 연결된 배선에는 음의 바이어스 전압이 인가될 수 있다.
전계를 인가한후 소정 시간이 지나면, 유기발광 표시패널의 불량 발생여부를 판정한다(S350). 이를 토해, 암점등과 같은 불량이 발생한 유기발광 표시패널을 선별할 수 있다. 원장기판의 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194)을 통해 점등신호를 인가하여, 원장기판(m) 상의 유기발광 표시패널들(100)을 점등하고, 암점이 발생한 유기발광 표시패널을 판별할 수 있다.
원장기판 검사방법은 또한, 상기 복수의 유기발광 표시패널들에 대하여 에이징을 수행하는 단계(S340)를 더 포함할 수 있다. 에이징 수행 단계(S340)는 전계 인가 단계(S320, S330) 이후에 수행될 수 있다. 에이징 수행 단계(S330)에서는, 신호공급부(30)를 통해 원장기판(m)의 배선들(181, 182, 191, 192, 193, 194)을 통해 유기발광 표시패널들(100)에 에이징 신호를 공급할 수 있다. 이에 따라, 표시영역(AA)에 구비된 유기발광 소자를 일정시간 구동시킴으로써 신뢰성을 검사할 수 있다. 한편, 베이스 플레이트(도 9의 20)에 결합된 히터(도 10의 60)를 통해 베이스 플레이트(20)에 열을 공급하여 상기 원장기판(m)의 온도가 상온보다 상당히 높은, 예컨대 75도씨 이상의 온도로 높아진 상태에서 에이징을 수행할 수 있다. 더 가혹한 조건에서 에이징을 수행함에 따라, 에이징을 수행하는 시간을 단축시킬 수 있다.
본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 유기발광 표시패널 150: 봉지층
10: 챔버 20: 베이스 플레이트
30: 신호공급부 40: 전도 플레이트
50: 가압부 m: 원장기판

Claims (20)

  1. 유기발광 표시패널의 봉지층 상부에 전도판을 접촉하는 단계;
    상기 유기발광 표시패널의 상기 봉지층 하부의 대향전극과 상기 봉지층 상부의 전도판에 바이어스 전압을 인가하여 상기 봉지층에 전계를 인가하는 단계; 및
    상기 봉지층에 인가된 전계에 의해 상기 봉지층에 의한 상기 유기발광 표시패널의 불량을 판정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서, 상기 바이어스 전압 인가단계는,
    상기 전도판에 접지전압을 인가하고, 상기 대향전극에 음의 바이어스 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 전도판은,
    박막의 도전성 테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 유기발광 표시패널을 에이징하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 에이징 단계는,
    상기 유기발광 표시패널에 열을 가하는 단계; 및
    상기 유기발광 표시패널에 에이징 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법
  7. 제1 항에 있어서, 상기 불량 판정 단계는,
    상기 유기발광 표시패널을 점등하는 단계; 및
    암점이 발생하였는지 여부를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법.
  8. 제1 항에 있어서, 상기 봉지층은,
    박막 봉지인 것을 특징으로 하는 유기발광 표시패널의 검사방법
  9. 복수의 유기발광 표시패널들이 형성되어 있는 원장기판의 검사장치로서,
    상기 원장기판을 고정 및 지지하는 베이스 플레이트;
    복수의 전극핀들을 구비하고, 원장기판의 패드부에 전기신호들를 제공하는 신호공급부; 및
    상기 원장기판 상에 형성된 상기 복수의 유기발광 표시패널들의 봉지층에 접촉되는 전도 플레이트를 포함하고,
    상기 복수의 전극핀들 중 적어도 하나의 전극핀과 상기 전도 플레이트를 통해, 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층 하부에 배치된 대향전극과 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층 상부에 배치된 상기 전도 플레이트에 바이어스 전압을 인가하여 상기 복수의 유기발광 표시패널들의 봉지층에 전계를 인가시키는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 전도 플레이트는,
    접지전압에 연결되는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  11. 제9 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극핀은,
    상기 유기발광 표시패널들의 대향전극에 공통적으로 연결된 배선에 음의 바이어스 전압을 제공하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  12. 제9 항에 있어서, 상기 전도 플레이트는,
    박막의 도전성 테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  13. 제9 항에 있어서, 상기 전도 플레이트는,
    상기 유기발광 표시패널들의 표시부에 대응하는 복수의 도전부; 및
    상기 복수의 도전부 사이에 배치되는 격자형태의 절연부를 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 전도 플레이트가 상기 봉지층에 밀착되도록 상기 전도 플레이트를 누르는 가압부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 바이어스 전압을 제공한 이후, 상기 복수의 전극 핀들을 통해 상기 유기발광 표시패널들을 에이징 하기위한 전압들을 상기 원장기판으로 제공하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  16. 제9 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트에 결합되며, 상기 원장기판에 열을 공급하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사장치.
  17. 복수의 유기발광 표시패널들이 형성되어 있는 원장기판을 베이스 플레이트 상에 제공하는 단계;
    전도 플레이트를 상기 원장기판 상에 형성된 상기 복수의 유기발광 표시패널들의 봉지층에 접촉시키는 단계;
    상기 원장기판의 배선들 중 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층 하부에 배치된 대향전극에 연결된 배선과 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층 상부에 배치된 상기 전도 플레이트에 바이어스 전압을 인가하여, 상기 유기발광 표시패널들의 봉지층에 전계를 인가하는 단계; 및
    상기 봉지층에 인가된 전계에 의해 상기 복수의 유기발광 표시패널들 중 상기 봉지층에 의한 불량이 발생한 유기발광 표시패널들을 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사방법.
  18. 삭제
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 복수의 유기발광 표시패널들을 에이징 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사방법.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 에이징 단계는,
    상기 베이스 플레이트에 결합된 히터를 통해 상기 베이스 플레이트에 열을 공급하는 단계; 및
    상기 복수의 유기발광 표시패널들에 에이징 신호를 공급하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 원장기판 검사방법.
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