KR102080258B1 - 고강도 선집속 초음파 구동시스템 - Google Patents
고강도 선집속 초음파 구동시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102080258B1 KR102080258B1 KR1020170138239A KR20170138239A KR102080258B1 KR 102080258 B1 KR102080258 B1 KR 102080258B1 KR 1020170138239 A KR1020170138239 A KR 1020170138239A KR 20170138239 A KR20170138239 A KR 20170138239A KR 102080258 B1 KR102080258 B1 KR 102080258B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- focused
- circuit
- ultrasonic transducer
- transducer
- Prior art date
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title claims description 26
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 238000001238 wet grinding Methods 0.000 claims description 3
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 claims description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 102000008186 Collagen Human genes 0.000 description 1
- 108010035532 Collagen Proteins 0.000 description 1
- 108010057266 Type A Botulinum Toxins Proteins 0.000 description 1
- 206010046798 Uterine leiomyoma Diseases 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229940089093 botox Drugs 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 201000011510 cancer Diseases 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229920001436 collagen Polymers 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000002537 cosmetic Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 230000003412 degenerative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 201000010260 leiomyoma Diseases 0.000 description 1
- 230000003902 lesion Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001225 therapeutic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002560 therapeutic procedure Methods 0.000 description 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0648—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element of rectangular shape
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
- A61N7/00—Ultrasound therapy
- A61N7/02—Localised ultrasound hyperthermia
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
- A61N7/00—Ultrasound therapy
- A61N2007/0004—Applications of ultrasound therapy
- A61N2007/0034—Skin treatment
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
- A61N7/00—Ultrasound therapy
- A61N2007/0056—Beam shaping elements
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
- A61N7/00—Ultrasound therapy
- A61N7/02—Localised ultrasound hyperthermia
- A61N2007/027—Localised ultrasound hyperthermia with multiple foci created simultaneously
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
- B06B2201/70—Specific application
- B06B2201/76—Medical, dental
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
본 발명은 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템에 관한 것으로, 굽힘 가공에 의해 반원형의 실린더 형상으로 제조된 압전소자(100), 상기 압전소자(100)의 내면에 구비되는 제1 전극부(110) 및 상기 압전소자(100)의 외면에 구비되며 상기 제1 전극부(110)에 대응하여 구비되는 제2 전극부(120)를 포함하는 선집속 초음파 트랜스듀서(A); RF 발진회로; 펑션제너레이터 및 디지털 제어 발진기(DCO) 소자를 포함하는 주파수 가변 회로; 시리얼 통신 회로; 복수의 시분할 제어 회로; 디지털 신호 처리 장치(DSP), 복합 프로그램 가능 논리 소자(CPLD)를 포함하는 제어회로; 터치 LCD; 및 전원공급장치(SMPS)를 포함하며, 본 발명에 의하면, 시분할 초음파 구동 시스템에 의해 시스템 출력단의 부하를 분산시킴으로써 구동회로 출력단의 발열 문제를 해소할 수 있고, 냉각 장치를 제거할 수 있어 장비의 소형화를 달성하고, 시스템의 안정적인 출력을 부여할 수 있다.
Description
본 발명은 고강도 선집속 초음파 구동시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 시분할 제어 회로를 구비하고 트랜스포머 및 임피던스 매칭회로를 제거하여 구동회로 출력단의 발열문제를 해소하는 고강도 선집속 초음파 구동시스템에 관한 것이다.
현재, 초음파의 비침습 특징을 바탕으로 개발된 고강도 집속초음파 기술을 이용한 피부치료 장비의 인기가 상당히 높다.
고강도 집속 초음파(HIFU; High Intensity Focused Ultrasound) 기술은 비침습성 효과로 외부를 절개하지 않고 인체 내부의 종양 치료, 자궁근종치료에 사용하는 기술로 최근에는 보톡스 시술대용으로 사용되어 미용용 시장에서 HIFU 기술이 각광받고 있다. 수술적인 안면거상술(Open Face-lifting)의 주 타겟인 피부 진피층 아래 근건막층 (SMAS층)을 자극하여 피부를 전반적으로 수축시키고, 콜라겐 합성 촉진 효과가 있는 것으로 증명된 바 있다.
이러한 집속 초음파 치료는 초음파를 집속하여 고강도의 집속 초음파를 생성하는 집속 초음파 트랜스듀서를 이용하는 고강도 집속 초음파 발생 장치에 의해 수행된다.
초음파 집적을 위한 압전 소자는 구면렌즈의 원리와 두께 진동모드의 주파수 정수를 이용하여 원하는 초점거리를 갖도록 설계될 수 있다. 즉, 원하는 초음파 발생 주파수를 갖도록 두께를 설계하고, 구면을 갖는 반구형으로 압전체를 제작하여 원하는 주파수와 초점거리를 갖는 초음파 집속 소자를 제작할 수 있다. 통상 초음파의 집속이 발생하는 지점은 돔형 압전체의 곡률반경과 일치하게 된다.
종래에는 압전 재료를 벌크 형태로 제작한 뒤 렌즈를 가공하는 방법에 의하여 연삭기를 곡률반경과 같이 제작하여 벌크 형태의 압전 소자를 원하는 두께가 되도록 가공하여 사용한다.
또한, 압전 재료를 용융 처리하여 사출성형으로 돔형의 압전 소자를 제조하고 있다.
이와 같은 제조 방법은 압전 재료의 소비가 많으며, 가공시 취성이 높은 압전 세라믹이므로 균열이 발생하기 쉬워 양산시 제조비용이 상승하는 요인이 되고 있다.
또한, 취성이 높은 압전 재료에 가공에 따른 내부응력의 축적이 심해지므로, 강한 교류 전계에 의한 진동시 파손의 위험성이 높아지게 된다.
이와 같은, 기계적 가공에 의한 문제점과 더불어, 종래에 사용하는 돔형 초음파 집속 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동(spurious vibration)은 초음파의 집속을 방해하는 요소로 작용하여 초음파 집속 효과를 감소시키고 있다.
한편, 고강도 점집속 초음파 발생 장치는 하우징과, 하우징의 내부에 고정되는 초음파 트랜스듀서를 포함한다. 초음파 트랜스듀서는 돔 형상의 압전소자와, 압전소자의 양면에 각각 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하여 하나의 압전 진동자를 형성함으로써 구성될 수 있으며, 제1 및 제2 전극에 인가된 전기 신호를 초음파로 변환한다.
전술한 바와 같은 돔 형상의 압전소자를 이용하여 초음파를 발생시키면 치료 위치에 한 점으로 초음파가 집속되게 된다. 이렇게 한 점으로 집속된 초음파를 이용하여 최근 암 치료는 물론, 피부 주름 개선이나 지방 분해용 의료기기 등에도 활용되고 있다.
대한민국 등록특허 10-1538896호는 초음파 집속을 위한 돔 형상의 압전체 재질의 몸체부와, 그 몸체부의 초음파 집속 및 분말사출 성형시 돔 형상의 사출을 용이하게 하고, 소결시 돔 형상의 비틀림 현상을 제거하고 초음파 집속을 강화하기 위한 테두리부가 일체로 설치되어 구성된 초음파 집속용 압전 액츄에이터를 개시한다.
그러나 한 점으로 집속되는 초음파는 작은 치료 영역에 활용할 경우에는 크게 문제가 되지 않지만, 넓은 시술 부위에 사용하는 경우에는 한번에 한 점에 대해 열변성 리즌(lesion)을 형성하기 때문에 시술 시간이 오래 걸리는 문제가 있고, 초음파가 집속된 점과 점 사이의 조직은 열변성이 일어나지 않는 문제가 있다.
또한, 한 점으로 집속되는 초음파를 이용하여 넓은 시술 영역에 걸쳐 규칙적이고, 반복적으로 시술하기 위해서는 반구형 압전소자를 모터 등에 의해 이동시켜야 하기 때문에 기계적인 메커니즘이 복잡해지는 문제가 있다.
대한민국 등록특허 10-1335476호는 초음파를 선 형태로 집속되도록 하여 시술 시간을 감소시키고 시술 효과를 극대화하며 구성을 단순화할 수 있는 선집속 초음파 변환기 및 하우징 내에서 선집속 초음파 변환기를 자동으로 이동시킬 수 있는 선집속 초음파 발생 장치를 개시하고 있다.
그러나 상기 문헌의 선집속 초음파 발생 장치는, 초음파 변환기가 하우징의 내부에서 모터의 구동에 의해 이동되도록 구성되어 있으며, 복수 개의 환부(치료부위) 또는 기다란 환부를 치료하기 위해서는 사용자가 초음파 변환기를 이동시켜 가며 그 환부를 치료해야 하는 불편함이 있다.
한편, 선집속 초음파 트랜스듀서의 출력을 높이기 위해서는 구동 시스템의 출력전압을 높여야 하며 동시에 높아진 전압을 안정적으로 유지하여야 하는데, 출력 전압 또는 주파수가 높아지게 되면 발열현상이 나타나고, 한계 시점에 이르게 되면 온도가 급격히 상승하여 냉각장치로는 해결할 수 없는 상태에 이르러 회로가 파괴되고 시스템이 불안정해지게 된다.
가장 큰 문제점은 초음파 구동회로의 주파수 변경이 되지 않고 임피던스 매칭이 잘 되지 않는 것과 부분적인 선집속 효과를 내기 위하여 모터를 이용하여 기계적인 움직임으로 점집속 트랜스듀서를 이동시킴으로써 발생되는 치료 시간의 지연 및 피부표면 화상의 부작용 등이 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 시분할 초음파 구동 시스템에 의해 시스템 출력단의 부하를 분산시킴으로써 구동회로 출력단의 발열 문제를 해소할 수 있고, 냉각 장치를 제거할 수 있어 장비의 소형화를 달성하고, 시스템의 안정적인 출력을 부여할 수 있는 고강도 선집속 초음파 구동시스템을 제공하는 데에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 고강도 선집속 초음파 구동시스템은, 굽힘 가공에 의해 반원형의 실린더 형상으로 제조된 압전소자, 상기 압전소자의 내면에 구비되는 제1 전극부 및 상기 압전소자의 외면에 구비되며 상기 제1 전극부에 대응하여 구비되는 제2 전극부를 포함하는 선집속 초음파 트랜스듀서; RF 발진회로; 펑션제너레이터 및 디지털 제어 발진기(DCO, Digitally Controlled Oscillator) 소자를 포함하는 주파수 가변 회로; 시리얼 통신 회로; 복수의 시분할 제어 회로; 디지털 신호 처리 장치(DSP, digital signal processor), 복합 프로그램 가능 논리 소자(CPLD, Complex programmable logic device)를 포함하는 제어회로; 터치 LCD; 및 전원공급장치(SMPS)를 포함한다.
바람직하게는, 상기 전원공급장치의 구동 전압을 조정하여 선집속 트랜스듀서의 초음파 출력 강도를 조정할 수 있는 구동 전압 조정 회로를 더 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 전원공급장치는 AC-DC 컨버팅 회로, 입력/출력 아이솔레이션(Input/Output Isolation), 출력 전압 가변 회로, 노이즈 필터링 회로를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 시스템은 출력 전압 가변 회로를 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 시분할 초음파 구동 시스템에 의해 시스템 출력단의 부하를 분산시킴으로써 구동회로 출력단의 발열 문제를 해소할 수 있고, 냉각 장치를 제거할 수 있어 장비의 소형화를 달성하고, 시스템의 안정적인 출력을 부여할 수 있다.
도 1의 (a)는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자의 제조과정을 순차적으로 도시하는 개략 단면도이며, (b)는 압전소자의 사시도이다.
도 2의 (a)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이며, (b) 및 (c)는 트랜스듀서를 하우징에 설치한 단면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 6의 (a) 및 (b)은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하우징의 변형예를 도시하는 정단면도 및 측단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 장착한 고강도 선집속 초음파 구동장치의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 구동 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2의 (a)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이며, (b) 및 (c)는 트랜스듀서를 하우징에 설치한 단면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 도시하는 단면도이다.
도 6의 (a) 및 (b)은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하우징의 변형예를 도시하는 정단면도 및 측단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서를 장착한 고강도 선집속 초음파 구동장치의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 구동 시스템의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.
본 발명의 예시적 실시 예들은 첨부하는 도면들을 참조하여 이하에서 기술될 것이다. 한편, 도면과 상세한 설명에서 통상의 기술자들이 용이하게 알 수 있는 구성 및 작용에 대한 도시 및 언급은 간략히 하거나 생략하였다. 특히 도면의 도시 및 상세한 설명에 있어서 본 발명의 기술적 특징과 직접적으로 연관되지 않는 요소의 구체적인 기술적 구성 및 작용에 대한 상세한 설명 및 도시는 생략하고, 본 발명과 관련되는 기술적 구성만을 간략하게 도시하거나 설명하였다. 본 명세서에 상세하게 기술된 특정 구성 및 기능은 제한적이지 않으며, 단지 청구항들에 대한 토대 및 본 발명을 다양하게 실시하기 위해 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자를 교시하기 위한 토대로서 기술된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
종래의 점집속 압전소자는 소결된 상태의 디스크 세라믹의 양면을 가공하여 오목한 컨캐이브 형태로 제작한다. 기계적 가공으로 제작하기 때문에 머신 1대 당 1개의 세라믹을 가공할 수 있어서 제조시간과 비용이 상승하는 문제가 있다.
반면 본 발명에 따른 선집속 압전소자의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 직사각형의 세라믹 시트를 굽힘 가공에 의해 소정 형태로 성형한 후 소결함으로써 동시에 여러 개의 세라믹을 제작할 수 있다. 이로 인하여 제조시간은 줄어들고 비용은 월등히 줄어드는 장점이 있다.
도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 압전소자(100)는 전체적으로 반원형의 실린더 형상을 가진다. 이러한 압전소자(100)는 세라믹, 복합 압전물질, 단결정 석영 등 전기적인 신호를 기계적인 진동으로 변환할 수 있는 다양한 물질로 형성될 수 있다. 또한, 압전소자(100)는 두께에 따라 발생되는 진동 주파수가 결정되는데 본 발명의 실시예에서는 그 주파수의 범위에 제한을 두지 않고 압전소자(100)로 구현 가능한 진동 주파수를 모두 포함할 수 있다. 바람직하게는, 초음파 치료를 위해 사용될 수 있는 모든 범위의 진동 주파수를 포함하며, 예를 들어 5 MHz의 진동 주파수를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전소자(100)의 크기는 도 1의 (b)에서와 같이, (a) 20 mm x (b) 7 mm x 두께 1 mm의 크기를 갖지만, 고강도 선집속 초음파 구동 장치의 에너지의 크기 및 치료 용도에 맞게 적절히 구현할 수 있도록 크기에 제한을 두지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서의 제조는 혼합 단계, 굽힘 가공 성형 단계 및 소결 단계를 포함한다. 즉, 상기 압전소자(100)는, 세라믹, 복합 압전물질, 단결정 석영을 포함하는 재료들을 습식 혼합분쇄(wet-milling and mixig) 한 후, 혼합물을 800℃ 내지 1100℃에서 4시간 동안 하소(calcine)하고, 하소된 분말을 빻고, 접착제(binder)를 가하여 알갱이 형태로 만들고(granulate), 프레스 몰딩(press molding)에 의하여 소정 규격을 갖는 평면 직육면체의 시트체(100a)를 제조하며, 상기 시트체(100a)를 반원형의 볼록부(10)을 갖는 상부 금형(1)과 반원형의 오목홈(20)를 갖는 하부 금형(2) 사이에 위치시킨 후, 상부 금형(2)의 자중에 의한 하강에 의해 상,하부 금형(1)(2) 사이에 위치된 시트체(100a)를 굽힘 가공하여, 반원형의 실린더형 압전소자를 제조하고, 이를 1050℃ 내지 1250℃에서 1시간 내지 5시간 동안 산소환경 하에서 소성하여 소결체로 형성되는 것을 포함하여 구성된다.
구체적으로, 세라믹, 복합 압전물질, 단결정 석영 등 전기적인 신호를 기계적인 진동으로 변환할 수 있는 다양한 물질들을 포함하는 재료들을 소정 조성범위로 칭량(weigh)하고 습식 혼합분쇄(wet-milling and mixig) 한 후, 혼합물을 800℃ 내지 1100℃에서 4시간 동안 하소(calcine) 하였다. 얻어진 하소된 분말을 빻고, 적당한 접착제(binder)를 가하여 알갱이 형태로 만들고(granulate), 프레스 몰딩(press molding)에 의하여 소정 규격을 갖는 평면 직육면체의 시트체(100a)를 제조한다.
이어서, 이러한 시트체(100a)를 도 1에 도시된 바와 같이, 반원형의 볼록부(10)을 갖는 상부 금형(1)과 반원형의 오목홈(20)를 갖는 하부 금형(2) 사이에 위치시킨 후, 상부 금형(2)의 자중에 의한 하강에 의해 상,하부 금형 사이에 위치된 시트체(100a)를 순차적으로 굽힘 가공하여, 반원형의 실린더형 압전소자를 제조한다.
상기와 같이 제조된 성형체를 1050℃ 내지 1250℃에서 1시간 내지 5시간 동안 산소환경 하에서 소성하여 소결체를 얻었다. 이러한 소결체를 래핑(lapping) 및 분쇄(grinding) 한 후에 소결체 위에 분극용 전극을 형성하고, 이것을 80℃ 내지 100 ℃의 실리콘 오일 배스(silicone oil bath)에서 30분 내지 60분간 1kV/mm 내지 3kV/mm의 전계를 인가함으로써 분극처리를 실행한다.
전술한 바와 같이 제조되는 본 발명의 실시예에 따른 반원형의 실린더형 트랜스듀서는 종래의 사출 성형 방식에 비하여 두께에 관계없이 가공에 의한 내부응력이 발생하지 않으며, 가공시 발생하는 깨짐의 형상을 제거한 높은 제조 수율을 갖는 것이 가능하며, 가공시 반원형의 실린더 형상의 두께 제약을 해소하여 초음파의 선집속 효과를 극대화할 수 있을 뿐만 아니라, 제품의 정밀도나 수율을 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 전극부(110)와 제2 전극부(120)가 압전소자(100)의 내면(반원형의 실린더 형상의 내측 면)과 외면(반원형의 실린더 형상의 외측 면)에 각각 형성되며 서로 대응되게 구비된다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극부(110, 120)는 양호한 전기 전도성을 가지는 은과 같은 금속으로 형성될 수 있다.
제1 및 제2 전극부(110, 120)은 펄스 파워 생성기(도시되지 않음)에 의해 생성된 펄스 전류를 인가받을 수 있도록 펄스파워 생성기(도시되지 않음)에 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 전극부(110)는 제1 전기 전도성 라인(도시되지 않음)에 의해 펄스 파워 생성기(도시되지 않음)의 출력단의 양극 및 음극(또는 접지 전극) 중 어느 하나에 전기적으로 연결되고, 제2 전극부(120)는 제2 전기 전도성 라인(도시되지 않음)에 의해 펄스 파워 생성기(도시되지 않음)의 출력단의 양극 및 음극(또는 접지 전극) 중 나머지 하나에 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 펄스 파워 생성기(도시되지 않음)에 의해 생성된 펄스 전류가 제1 및 제2 전극부(110, 120)에 인가되며, 인가된 펄스 전류는 압전소자(100)를 흐르게 된다. 압전소자(100)에 전류가 흐르면, 압전소자(100)의 압전 효과에 의해 압전소자(100)가 진동을 하게 된다.
상기한 바와 같이 제1 및 제2 전극부(110 ,120)에 펄스 전류가 인가되어 압전소자(100)에 펄스 전류가 흐르게 되면 압전소자(100)가 진동을 하게 되며, 이 진동은 초음파의 특성을 가지며, 압전소자(100)를 둘러싸는 초음파 전달매질(도시되지 않음)에 초음파를 생성시키고 이 초음파는 초음파 전달매질(도시되지 않음)을 통해 전파되어 치료 위치에 선 형태로 집속된다.
다음에, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 트랜스튜서의 변형예에 대해 설명한다.
종래의 점집속용 돔형 소자 또는 선집속용 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동(spurious vibration)은 초음파의 집속을 방해하는 요소로 작용하여 초음파 집속 효과를 감소시키고 있다.
이에 따라, 본 발명은 상기와 같은 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동을 해소하기 위한 구성을 갖는다. 즉, 상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부에서의 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 폭을 상기 트랜스듀서의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성거나, 상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 압전소자(100)의 양측 단부에서의 폭을 상기 압전소자(100)의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성하거나, 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 길이방향 크기는 상기 압전소자(100)의 길이방향 크기보다 작게 형성하여, 압전소자(100)의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동이 감소되도록 구비된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부에서의 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 폭을 상기 트랜스듀서의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성한다. 이에 의해 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동을 감소시킬 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 압전소자(100)의 양측 단부에서의 폭을 상기 압전소자(100)의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성한다. 이에 의해 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동을 감소시킬 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 길이방향 크기는 상기 압전소자(100)의 길이방향 크기보다 작을 수 있다. 이에 의해 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동을 감소시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 2의 (b), (c) 및 도 6의 (a), (b)에 도시된 바와 같이, 상기 선집속 초음파 트랜스듀서(A)를 수용하는 하우징(30)과 음향렌즈를 포함하며, 상기 선집속 초음파 트랜스듀서(A)의 좌우 양측 단부에 대응하는 상기 하우징의 양측 단부(31)에 경사면을 형성할 수 있다. 이에 의해 소자의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동을 감소시킬 수 있다.
바람직하게는, 상기 하우징을 음향렌즈와 동일한 물질로 제작할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음향 렌즈는 내열성 수지(TPX) 또는 실리콘 재질로 제조될 수 있다.
트랜스듀서에서 발생된 초음파를 인체로 전달하기 위하여 중간 매질 역할을 하는 음향 렌즈는 단순히 초음파만 전달하는 것이 아니라 선집속 트랜스듀서를 외부의 충격으로부터 보호한다. 트랜스듀서의 내측의 오목한 부분에 음향 렌즈를 접착하면 피부에 잘 밀착되어 초음파가 인체에 잘 전달되고 목표하는 지점에서 초음파가 선집속될 수 있도록 한다.
다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 선집속 초음파 트랜스듀서의 하우징(30)에 대해 설명한다.
통상적으로, 선집속 트랜스듀서는 방수처리를 하여야 하며, 일반적으로 대부분의 초음파 출력 특성을 측정하기 위해서는 수조 내에서 개발된 트랜스듀서에서 발생된 초음파를 센서로 측정하여 그 특성을 분석해낸다. 따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징은 선집속 트랜스듀서와 음향 렌즈를 감싸는 형태로서, 목업(mock up) 형태로 제작한 후 접착을 통하여 방수처리된다.
전술한 바와 같이, 하우징을 음향 렌즈와 동일한 재료로 제작함으로써 음향 렌즈 일체형의 하우징을 가공 또는 사출하여 제조할 수 있다.
또한, 본 발명은 도 7에 도시된 바와 같이, 전술한 바와 같이 제조된 선집속 초음파 트랜스듀서; 상기 트랜스듀서의 내부 오목부에 접착되는 음향 렌즈; 상기 트랜스듀서와 음향 렌즈를 수용하는 하우징; 상기 트랜스듀서를 구동하기 위한 전원부; 상기 트랜스듀서를 제어하기 위한 제어부; 및 시술자의 시술관련 정보 및 초음파 구동 장치의 동작을 표시하는 표시부를 포함하는 고강도 선집속 초음파 구동장치를 제공한다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 고강도 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템에 대해 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 고강도 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템은 굽힘 가공에 의해 반원형의 실린더 형상으로 제조된 압전소자(100), 상기 압전소자(100)의 내면에 구비되는 제1 전극부(110) 및 상기 압전소자(100)의 외면에 구비되며 상기 제1 전극부(110)에 대응하여 구비되는 제2 전극부(120)를 포함하는 선집속 초음파 트랜스듀서(A); RF 발진회로; 펑션제너레이터 및 디지털 제어 발진기(DCO, Digitally Controlled Oscillator) 소자를 포함하는 주파수 가변 회로; 시리얼 통신 회로; 복수의 시분할 제어 회로; 디지털 신호 처리 장치(DSP, digital signal processor), 복합 프로그램 가능 논리 소자(CPLD, Complex programmable logic device)를 포함하는 제어회로; 터치 LCD; 및 전원공급장치(SMPS)를 포함한다.
또한, 상기 전원공급장치의 구동 전압을 조정하여 선집속 트랜스듀서의 초음파 출력 강도를 조정할 수 있는 구동 전압 조정 회로를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 전원공급장치는 AC-DC 컨버팅 회로, 입력/출력 아이솔레이션(Input/Output Isolation), 출력 전압 가변 회로, 노이즈 필터링 회로를 포함할 수 있다.
또한, 상기 구동 시스템은 출력 전압 가변 회로를 더 포함할 수 있다.
상기 주파수 회로는 다양한 주파수를 발생시키기 위하여 상용 펑션제너레이터(function generator)에 사용하고 있는 디지털 제어 발진기(DCO) 소자를 이용하여 0.1 MHZ ~ 10 MHz 범위의 주파수 가변 회로이다.
또한, 초음파 트랜스듀서를 구동할 스위칭 회로에는 시분할 기술을 적용하기 위하여 스위칭 전계 효과 트랜지스터(FET, field effect transistor) 소자의 수를 기존 2개에서 20개로 증가하여 설계한다.
주파수 가변 및 시분할 구동을 제어하기 위하여 DSP(digital signal processor), CPLD(Complex programmable logic device) 등이 포함된 제어회로를 설계하고, 터치 LCD 사용을 위한 시리얼 통신 기능을 구현한다.
본 발명의 구동 전압 조정 회로는 전원공급장치의 구동 전압을 조정하여 선집속 트랜스듀서의 초음파 출력 강도를 자유롭게 조정할 수 있다.
또한, 터치 기능을 이용한 시스템 제어에 의해 자유롭게 주파수와 출력 전압을 변경할 수 있다.
HIFU 시스템에는 고전압 출력이 요구되기 때문에 일반적으로 사용 장비에는 트랜스포머를 이용하여 전압을 승압하는 방식을 채택하고 있다. 이는 회로 구현은 쉬운 편이지만 초음파 세라믹과 시스템 간의 임피던스 매칭을 방해하는 원인이 되어 출력 효율을 떨어뜨리고 결과적으로 시스템의 발열 문제에 가장 큰 원인으로 작용한다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 전원공급장치는 100V 이상의 고전압 출력을 갖는다. 이를 위해, 입력단과 출력단의 분리(Isolation)를 통하여 노이즈 차단한다.
또한, 출력 전압을 자유롭게 조정할 수 있도록 출력 전압 가변 회로를 추가하여 다양한 세라믹과 결합하여 여러 시스템에 활용될 수 있도록 한다.
본 발명의 몇 가지 실시형태를 설명했지만, 이들 실시형태는 예로서 제시한 것으로, 발명의 범위를 한정하려는 의도는 없다. 이들 신규의 실시형태는 그 밖의 다른 여러 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 생략, 치환, 변경을 실시할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변경은 발명의 범위나 요지에 포함되고, 특허청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함된다.
1: 상부 금형 2: 하부 금형
30: 하우징 100: 압전소자
110: 제1 전극 120: 제2 전극
300: 펑션제너레이터 400: 초저 임피던스 Amp
500: 변동검출&밸런스 알고리즘 A: 트랜스듀서
30: 하우징 100: 압전소자
110: 제1 전극 120: 제2 전극
300: 펑션제너레이터 400: 초저 임피던스 Amp
500: 변동검출&밸런스 알고리즘 A: 트랜스듀서
Claims (4)
- 굽힘 가공에 의해 반원형의 실린더 형상으로 제조된 압전소자(100), 상기 압전소자(100)의 내면에 구비되는 제1 전극부(110) 및 상기 압전소자(100)의 외면에 구비되며 상기 제1 전극부(110)에 대응하여 구비되는 제2 전극부(120)를 포함하는 선집속 초음파 트랜스듀서(A); RF 발진회로; 펑션제너레이터 및 디지털 제어 발진기(DCO) 소자를 포함하는 주파수 가변 회로; 시리얼 통신 회로; 복수의 시분할 제어 회로; 디지털 신호 처리 장치(DSP), 복합 프로그램 가능 논리 소자(CPLD)를 포함하는 제어회로; 터치 LCD; 및 전원공급장치(SMPS)를 포함하여 이루어지고,
상기 압전소자(100)는, 세라믹, 복합 압전물질, 단결정 석영을 포함하는 재료들을 습식 혼합분쇄(wet-milling and mixig) 한 후, 혼합물을 800℃ 내지 1100℃에서 4시간 동안 하소(calcine)하고, 하소된 분말을 빻고, 접착제(binder)를 가하여 알갱이 형태로 만들고(granulate), 프레스 몰딩(press molding)에 의하여 소정 규격을 갖는 평면 직육면체의 시트체(100a)를 제조하며, 상기 시트체(100a)를 반원형의 볼록부(10)을 갖는 상부 금형(1)과 반원형의 오목홈(20)를 갖는 하부 금형(2) 사이에 위치시킨 후, 상부 금형(2)의 자중에 의한 하강에 의해 상,하부 금형(1)(2) 사이에 위치된 시트체(100a)를 굽힘 가공하여, 반원형의 실린더형 압전소자를 제조하고, 이를 1050℃ 내지 1250℃에서 1시간 내지 5시간 동안 산소환경 하에서 소성하여 소결체로 형성되는 것을 포함하여 이루어지며,
상기 선집속 초음파 트랜스듀서(A)는 내측의 오목한 부분에 음향 렌즈(40)가 접착되며, 상기 음향 렌즈(40)는 선집속 초음파 트랜스듀서(A)와 대응하는 일면이 아치형 볼록부(42)로 형성되고, 다른 일면이 평면부(44)로 형성되며,
상기 선집속 초음파 트랜스듀서(A)와 음향 렌즈(40)는 하우징(30)에 수용되며,
상기 음향 렌즈(40)는 내열성 수지(TPX) 또는 실리콘 재질로 형성되고,
상기 음향 렌즈(40)는 선집속 초음파 트랜스듀서(A)를 외부충격으로부터 보호하고, 초음파를 인체로 전달하기 위하여 중간 매질 역할을 하면서 피부에 밀착되어 목표하는 지점에서 초음파가 선집속되도록 구비되는 구성을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 전원공급장치의 구동 전압을 조정하여 선집속 트랜스듀서의 초음파 출력 강도를 조정할 수 있는 구동 전압 조정 회로를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 전원공급장치는 AC-DC 컨버팅 회로, 입력/출력 아이솔레이션(Input/Output Isolation), 출력 전압 가변 회로, 노이즈 필터링 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부에서의 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 폭을 상기 트랜스듀서의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성거나, 상기 압전소자(100)의 좌우 양측 단부의 각각의 모서리부를 면취가공하여 상기 압전소자(100)의 양측 단부에서의 폭을 상기 압전소자(100)의 양측 단부들 이외의 영역과 대비하여 축소 형성하거나, 상기 제1 및 제2 전극부(110, 120)의 길이방향 크기는 상기 압전소자(100)의 길이방향 크기보다 작게 형성하여, 압전소자(100)의 테두리 부근에서 발생하는 스퓨리어스 진동이 감소되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 선집속 초음파 트랜스듀서 구동 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170138239A KR102080258B1 (ko) | 2017-10-24 | 2017-10-24 | 고강도 선집속 초음파 구동시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170138239A KR102080258B1 (ko) | 2017-10-24 | 2017-10-24 | 고강도 선집속 초음파 구동시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190045533A KR20190045533A (ko) | 2019-05-03 |
| KR102080258B1 true KR102080258B1 (ko) | 2020-04-07 |
Family
ID=66582885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170138239A KR102080258B1 (ko) | 2017-10-24 | 2017-10-24 | 고강도 선집속 초음파 구동시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102080258B1 (ko) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101335476B1 (ko) * | 2013-02-25 | 2013-12-11 | 주식회사 코러스트 | 선집속 초음파 변환기 및 이를 포함하는 고강도 선집속 초음파 발생 장치 |
| JP2015513442A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-05-14 | ソ ヨン チョ | 超音波変換器、電気パルス生成装置、およびこれらを含む超音波生成装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05347536A (ja) * | 1992-06-15 | 1993-12-27 | Tdk Corp | 圧電振動子 |
| JPH11178369A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-07-02 | Seiko Instruments Inc | 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器 |
| KR100481226B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2005-04-07 | 한국전기연구원 | 세라믹 액츄에이터용 압전 세라믹 조성물 및 압전 세라믹 제조방법 |
| KR20050048692A (ko) * | 2002-10-21 | 2005-05-24 | 어드밴스드 파워 테크놀로지 인코포레이티드 | 높은 입력 역률 및 낮은 고조파 왜곡을 갖는 ａｃ-ｄｃ전원 컨버터 |
-
2017
- 2017-10-24 KR KR1020170138239A patent/KR102080258B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015513442A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-05-14 | ソ ヨン チョ | 超音波変換器、電気パルス生成装置、およびこれらを含む超音波生成装置 |
| KR101335476B1 (ko) * | 2013-02-25 | 2013-12-11 | 주식회사 코러스트 | 선집속 초음파 변환기 및 이를 포함하는 고강도 선집속 초음파 발생 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20190045533A (ko) | 2019-05-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Jiang et al. | Ultrasound‐induced wireless energy harvesting for potential retinal electrical stimulation application | |
| CN106170348B (zh) | 直接接触式冲击波换能器 | |
| Denisov et al. | Ultrasonic vs. inductive power delivery for miniature biomedical implants | |
| US9981139B2 (en) | Acoustic transmitter and implantable receiver | |
| Jiang et al. | Multichannel piezo‐ultrasound implant with hybrid waterborne acoustic metastructure for selective wireless energy transfer at megahertz frequencies | |
| CN109589132A (zh) | 基于柔性衬底的可调节焦距的电容微机械超声换能器阵列 | |
| KR101538896B1 (ko) | 초음파 집속용 압전 액츄에이터 및 그 제조 방법 | |
| KR102080251B1 (ko) | 선집속 초음파 트랜스듀서 및 이를 포함하는 고강도 선집속 초음파 구동장치 | |
| EP1360685A1 (en) | Ultrasound transducer and method of manufacturing an ultrasound transducer | |
| KR102080258B1 (ko) | 고강도 선집속 초음파 구동시스템 | |
| KR101836948B1 (ko) | 선집속 초음파 변환기 | |
| Otsu et al. | Therapeutic array transducer element using coresonance between hemispherical piezoceramic shell and water sphere: Effect of load masses of support and electric contact | |
| KR101482173B1 (ko) | 고주파출력 손잡이유닛용 도자 | |
| JP2010141015A (ja) | 半球殻型複合圧電素子とその複合圧電素子の製造方法および使用方法 | |
| CN208911312U (zh) | 超声换能器 | |
| JPH0871078A (ja) | 超音波発生装置 | |
| AU2019314579A1 (en) | Ultrasonic transducer | |
| JP5605567B2 (ja) | アレイ型超音波送波器 | |
| KR101299966B1 (ko) | 고출력 초음파 프로브 | |
| JPH06154233A (ja) | 衝撃波発生器 | |
| TWI840394B (zh) | 超音波傳感器 | |
| EP3915436A1 (en) | An oral treatment device | |
| KR200445852Y1 (ko) | 피부 각질 제거 장치 | |
| KR101803529B1 (ko) | 초음파 변환기 | |
| CN207270580U (zh) | 一种带立体成像探头的单曲面条状功率超声装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E90F | Notification of reason for final refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |