KR102073389B1 - 이중 트랙 진공 집진 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 집진 작용을 수행할 때, 필터의 청소가 필요하더라도 멈춤이 없이 지속적으로 집진 작용을 진행할 수 있으며, 필터의 청소시 압축공기를 사용하기 때문에 보다 완전하게 청소할 수 있어 여과효율을 극대화하여 진공펌프의 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 스크러버의 수명과 필터 자체의 수명 역시 연장시킬 수 있는 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 진공펌프의 전부 또는 후부 설치하여 진공펌프 또는 스크러버 등으로 공급되는 폐가스를 정화시키기 위한 이중 트랙 진공 집진 시스템으로서, 폐가스를 정화하기 위한 한 쌍의 집진기가 병렬로 연결되되, 상기 집진기 중 일측이 정화작업을 수행을 할 때, 타측은 청소작업을 수행하는 것을 특징으로 한다.

Description

이중 트랙 진공 집진 시스템{Two track vacuum powder collection system}
본 발명은 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 집진 작용을 수행할 때, 필터의 청소가 필요하더라도 멈춤이 없이 지속적으로 집진 작용을 진행할 수 있으며, 필터의 청소시 압축공기를 사용하기 때문에 보다 완전하게 청소할 수 있어 여과효율을 극대화하여 진공펌프의 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 스크러버의 수명과 필터 자체의 수명 역시 연장시킬 수 있는 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공정 중에서 증착 및 확산, 식각 공정 등에는 실란(SiH4)과 아르신(AsH3) 등의 유해가스와 수소 등의 공정용 가스가 사용되는 바, 이와 같은 가스는 발화성 및 독성이 있으므로, 사용이 끝난 공정용 가스는 폐가스로 배기 시스템을 통하여 대기로 배출되기 전에 반드시 정화과정을 거쳐야 한다.
따라서, 반도체 제조 공정의 각 배기 시스템에는 폐가스를 정화하는 여러 가지 가스 스크러버(Gas Scrubber)가 설치되어 운영되고 있으며, 처리 방식에 따라 일반적으로 습식 스크러버와 건식 스크러버로 구분된다.
이 중에서 습식 스크러버는 폐가스를 물(H2O) 또는 가스 흡착성 액상 화학 약품에 통과시키거나 연무 상태로 분무시켜 흡착에 의한 방법으로 배출 가스를 제거하는 방식으로, 비교적 간단한 구성을 가지므로 제작이 용이하고 대용량화 할 수 있는 장점이 있으나, 발화성이 강한 수소기를 포함하는 가스의 처리에는 부적절하고, 액상의 화학 물질을 반응의 주체로 사용하는 경우에는 2차 오염 물질이 발생되어 지속적인 유지 보수가 요구되는 문제점이 있으며, 건식 스크러버는 히터(Heater) 등의 열원을 이용하여 고온의 챔버(Chamber)를 형성하고, 이 챔버 속으로 공정용 가스를 통과시켜 폐가스를 열반응에 의해 고형 미립자화 하는 것으로, 비교적 안전하고 온도 제어가 용이한 바 습식 스크러버에 비하여 상대적으로 널리 사용되고 있다.
이때, 도 1에 도시된 바와 같이 반도체 제조공정에서 발생하는 폐가스는 진공펌프를 통하여 흡입하여 후부에 연결되는 스크러버로 공급하게 되는데, 제조공정에서 발생하는 폐가스에는 SiO2가 다량 함유되어 있고, 이러한 SiO2는 스크러버에서 제거되기는 하지만 SiO2의 영향으로 진공펌프가 보다 빨리 손상되고, 스크러버 역시 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 진공 펌프가 손상될 경우, 반도체 생산라인이 멈추어야 하므로 그에 따른 손실이 상당하기 때문에 생산라인을 최대한 멈추지 않도록 하기 위하여 진공펌프로 공급되는 SiO2를 최대한 제거하여야 한다.
그래서, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 한국등록실용신안 제20-0178284호에 기재된 기술이 제안되었는데, 그 기술적 특징은 폐가스를 공급하는 제1 유로(12) 및 제2 유로(14)를 갖는 폐가스 공급관(10)과; 상기 폐가스 공급관(10)의 제1 유로(12)와 연결되고, 폐가스 도입구(22) 및 폐가스 배출구(132)를 갖는 제1 집진기(20)와; 상기 폐가스 공급관(10)의 제2 유로(14)와 연결되며, 폐가스 도입구(122) 및 폐가스 배출구(32)를 갖는 제2 집진기(120)와; 상기 제1 및 제2 집진기(20,120)에 각각 설치되어 폐가스속의 파우더를 여과하는 여과수단(50,150)과; 상기 폐가스 공급관(10)의 제1 및 제2 유로(12,14)를 선택적으로 차단하여 폐가스가 상기 제1 및 제2 집진기(20,120)중 어느 하나로 도입되도록 하는 유로절환수단(60,160)과; 상기 여과수단(50,150)의 하면을 지지하도록 설치되는 지지판(80,180)과; 상기 여과수단(50,150)을 반복적으로 변형시켜서 그것에 부착되어 있는 이물질을 탈락시킬 수 있도록 상기 지지판(80,180)을 운동시키는 캠수단(82,182)과; 상기 캠수단(82,182)을 작동시키는 구동수단(100,200)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그런데, 한국등록실용신안 제20-0178284호에 기재된 기술은 폐가스가 가스 스크러버로 도입되기 전에 폐가스속의 파우더를 효율적으로 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 이중으로 형성되어 일측 필터를 수리하거나 교환시에도 폐가스의 흐름을 중단시키지 않도록 하여 폐가스속에 포함된 파우더를 연속적으로 제거할 수 있으며, 필터를 반복적으로 변형시켜 필터에 부착된 이물질을 강제로 제거할 수 있는 장점은 있으나, 필터에 부착된 이물질 제거시 필터를 변형시키기 때문에 필터의 수명이 빨리 줄어들게 되며 이물질의 제거 효율이 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 진공펌프의 앞 단에 설치되기 때문에 각 집진기의 완전한 밀폐상태를 유지하여야 하는데, 필터(50,180)를 흔들어서 변형시키기 위한 캠수단(82,182) 및 구동수단(100,200)의 구조에 의해 완전한 밀폐구조를 형성하기가 어려운 문제점이 있다.
한국등록실용신안 제20-0178284호 한국등록특허 제10-0507239호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 두 개의 집진기를 구비하여 일측 집진기가 집진작용을 할 때, 타측 집진기는 필터의 청소작업을 진행하도록 하여 멈춤이 없이 집진작용을 수행할 수 있으며, 청소 작업시 압축공기를 필터로 분사하도록 함으로써, 집진기의 여과효율을 안정적으로 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 청소시에 보다 완전하게 청소할 수 있어 정화 효율을 높여 주어 진공펌프의 수명을 보다 연장시킬 수 있으며, 필터가 청소작업에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있는 이중 트랙 진공 집진 시스템을 제공하는 것이다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 집진기를 형성하는 본체의 측부에 청소작업시 공기를 배출하기 위한 보조 배출구를 형성하고, 상기 보조 배출구에는 필터의 청소시 제거된 이물질이 외부로 배출되는 것을 방지하기 위하여 배출되는 공기는 타측의 집진 작용을 수행하는 집진기로 다시 공급하도록 하되, 타측 집진기로 공급하기 위한 연결관에 유량조절밸브를 구비하여 최소한으로 공기를 공급하도록 함으로써, 진공펌프에 의해 발생하는 진공도가 변화하는 것을 방지하여 안정적으로 폐가스를 정화시켜 배출할 수 있도록 하는 이중 트랙 진공 집진 시스템을 제공하는 것이다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은;
진공펌프의 전부 또는 후부 설치하여 진공펌프 또는 스크러버로 공급되는 폐가스를 정화시키기 위한 이중 트랙 진공 집진 시스템으로서, 폐가스를 정화하기 위한 한 쌍의 집진기가 병렬로 연결되되, 상기 집진기 중 일측이 정화작업을 수행을 할 때, 타측은 청소작업을 수행하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 집진기는 몸체와, 상기 몸체의 측부에 구비되어 폐가스의 공급을 제어하는 흡입 밸브와, 상기 몸체의 내측에 구비되는 폐가스를 정화하는 필터와, 상기 몸체의 상부에 구비되어 상기 필터에 의해 정화된 폐가스의 배출을 제어하는 배출 밸브와, 상기 필터의 상부에 구비되는 청소 장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 청소 장치는 필터로 압축공기를 분사하는 에어 제트 모듈로 이루어지며, 상기 몸체의 측부에는 상기 에어 제트 모듈에서 분사한 공기를 외부로 배출하는 보조 배출구가 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 보조 배출구에서 배출되는 공기는 타측의 집진기에 형성된 흡입 밸브와 연결되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 에어 제트 모듈은 외부에서 압축공기를 공급받아 필터의 상부로 분사하도록 다수개의 청소밸브를 구비하고, 각 청소밸브는 설정된 압력의 공기를 설정된 시간 동안 순차적으로 분사하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 보조 배출구와 흡입 밸브 사이에는 유량조절밸브가 더 구비되되, 상기 유량조절밸브는 진공펌프에 의해 형성되는 진공상태가 변하지 않도록 에어 제트 모듈을 통하여 분사된 공기를 설정된 양만큼 지속적으로 배출하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 보조 배출구에는 전단부에는 보조 필터가 구비되고, 후단부에는 보조 배출 밸브가 구비되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 몸체의 하부에는 상기 청소장치에 의해 필터에서 분리된 분진이 수용되는 더스트 캔이 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 두 개의 집진기를 구비하여 일측 집진기가 집진작용을 할 때, 타측 집진기는 필터의 청소작업을 진행하도록 하여 멈춤이 없이 집진작용을 수행할 수 있으며, 청소 작업시 압축공기를 필터로 분사하도록 함으로써, 집진기의 여과효율을 안정적으로 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 청소시에 보다 완전하게 청소할 수 있어 정화 효율을 높여 주어 진공펌프의 수명을 보다 연장시킬 수 있으며, 필터가 청소작업에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명은 집진기를 형성하는 본체의 측부에 청소작업시 공기를 배출하기 위한 보조 배출구를 형성하고, 상기 보조 배출구에는 필터의 청소시 제거된 이물질이 외부로 배출되는 것을 방지하기 위하여 배출되는 공기는 타측의 집진 작용을 수행하는 집진기로 다시 공급하도록 하되, 타측 집진기로 공급하기 위한 연결관에 유량조절밸브를 구비하여 최소한으로 공기를 공급하도록 함으로써, 진공펌프에 의해 발생하는 진공도가 변화하는 것을 방지하여 안정적으로 폐가스를 정화시켜 배출할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 반도체 제조공장에서의 폐가스 배출을 보여주는 개념도이다.
도 2는 종래의 파우더 집진 장치의 종단면도이다.
도 3은 종래의 파우더 집진 장치의 횡단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 개념도이다.
도 5는 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 집진 작용시의 필터 및 에어 제트 모듈의 개념도이다.
도 6은 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 필터를 청소할 때의 공기 흐름을 보여주는 필터부의 개념도이다.
도 7은 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 집진기가 동작시의 공기 흐름을 보여주는 개념도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다. 그리고, 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시 예에 한정되지 않음을 이해하여야 한다.
도 4는 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 개념도이고, 도 5는 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 집진 작용시의 필터 및 에어 제트 모듈의 개념도이고, 도 6은 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 필터를 청소할 때의 공기 흐름을 보여주는 필터부의 개념도이고, 도 7은 본 발명에 따른 이중 트랙 진공 집진 시스템의 집진기가 동작시의 공기 흐름을 보여주는 개념도이다.
본 발명은 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것으로 반도체 생산장치(300)를 통하여 반도체를 생산하는 과정에서 발생하는 폐가스를 흡입 배출하기 위한 진공펌프(400)의 전부 또는 후부에 구비되어 진공펌프(400) 또는 진공펌프(400)의 후부에 구비되는 스크러버(미도시)로 공급되는 폐가스를 정화하는 것으로서, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이 그 구성은 반도체 생산장치(300)에서 배출되는 폐가스를 정화하기 위한 한 쌍의 집진기(500)로 이루어지고, 상기 집진기(500)는 서로 병렬로 연결되어 후부에 위치하는 진공펌프(400)로 정화된 폐가스를 공급하게 된다.
이때, 한 쌍의 집진기(500) 중에서 일측이 폐가스를 정화하는 정화작업을 수행하는 중일 경우, 타측은 집진기(500)의 내부에 구비되는 필터(540)를 청소하는 청소작업을 수행하게 된다.
따라서, 본 발명에서는 진공펌프(400)의 전부에 한 쌍의 집진기(500)를 구비함으로써, 일측 집진기(500)의 필터를 청소할 때, 타측 집진기(500)가 집진작용을 하도록 하여 진공펌프(400)로 공급되는 폐가스가 정화된 상태로 공급되도록 하여 진공펌프(400)의 수명을 연장시킬 수 있게 된다.
즉, 종래에는 진공펌프(400)에 공급되는 폐가스를 별도의 정화작용을 거치지 않기 때문에 진공펌프(400)가 폐가스에 함유된 분진에 의해 내부가 손상되어 수명이 짧아지게 되므로 진공펌프(400)를 자주 교체하여야 한다.
그런데, 반도체 생산장치(300)에서 생산되는 반도체가 고가이므로 진공펌프(400)의 교체를 위해서는 반도체 생산장치(300)의 가동을 멈추어야 할 경우, 교체하는 시간동안 제조하지 못한 제품의 양만큼의 많은 손실이 발생하게 된다.
그래서, 본 발명에서는 진공펌프(400)로 공급되는 폐가스에서 분진을 걸러 분진함량을 최소화함으로써, 진공펌프(400)의 수명을 연장시켜 주어 반도체 생산장치(300)의 가동시간을 최대한 늘려주어 반도체 생산장치(300)의 멈춤에 의한 손실을 최소화할 수 있게 된다.
그리고, 상기 집진기(500)는 몸체(510)와 상기 몸체(510)의 측부에 구비되는 흡입 밸브(520)와 몸체(510)의 내측에 구비되는 필터(540)와 몸체(510)의 상부에 구비되는 배출 밸브(530)와 상기 필터(540)의 상부에 구비되는 청소 장치(560)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 흡입 밸브(520)는 몸체(510)의 측부에 형성되는 흡입구(522)를 통하여 폐가스의 공급 여부를 제어하게 되고, 상기 필터(540)는 세라믹 필터나 공지된 다양한 다른 필터로 이루어져 폐가스에 함유된 분진을 걸러주게 되며, 상기 배출 밸브(530)는 몸체(510)의 상부에 형성되는 배출구(532)를 통하여 필터(540)에 의해 정화된 폐가스의 배출 여부를 제어하게 된다.
그래서, 각 집진기(500)가 정화작업을 수행할 경우에는 상기 흡입 밸브(520)와 배출 밸브(530)를 모두 개방하여, 상기 진공펌프(400)에 의해 생성되는 음압에 의해 반도체 생산장치(300)에서 발생하는 폐가스를 흡입하여 필터(540)를 통하여 정화한 후 배출하게 된다.
또한, 일측 집진기(500)가 정화작업을 수행할 때, 타측 집진기(500)는 청소작업을 수행하게 되는데, 청소작업시에 상기 흡입 밸브(520)와 배출 밸브(530)는 밀폐된 상태를 유지하고, 상기 청소장치(560)는 에어 제트 모듈로 이루어져 하부에 위치하는 필터(540)로 압축공기를 분사하여 필터(540)에 묻어 있는 분진을 분리시키게 된다.
여기서, 상기 몸체(510)의 측부에는 보조 배출구(552)가 형성되며, 상기 보조 배출구(552)에는 보조 배출 밸브(550)가 형성되는데, 상기 보조 배출 밸브(550)는 청소작업 시에만 개방하여 청소장치(560)에서 분사한 공기를 몸체(510)의 외부로 배출하게 된다.
이때, 상기 보조 배출구(552)는 정화작업을 진행하고 있는 타측 집진기(500)의 흡입 밸브(520)와 연결되어 보조 배출구(552)를 통하여 배출되는 공기에 포함된 분진을 다시 걸러주게 된다.
또한, 상기 보조 배출 밸브(550)는 보조 배출구(552)의 후단에 형성되고, 상기 보조 배출구(552) 전단에는 보조 필터(551)가 더 구비되어 보조 배출구(552)를 통하여 배출되는 분진을 걸러줄 수 있게 된다.
한편, 상기 에어 제트 모듈로 이루어지는 청소장치(560)는 외부에 구비되는 압축공기 공급장치(600)로부터 공급되는 압축공기를 하부에 위치하는 필터(540)로 분사하는 다수개의 청소밸브(562)가 구비되는데, 상기 청소밸브(562)는 공급받은 일정 압력의 공기를 순차적으로 분사하게 된다.
여기서, 상기 압축공기 공급장치(600)와 청소장치(560) 사이에는 레귤레이터(610)가 구비되어 압축공기 공급장치(600)로부터 공급되는 압축공기를 일정한 압력으로 조절하여 공급하게 되며, 상기 압축공기 공급장치(600)와 청소장치(560)사이에는 제어밸브(620)가 구비되어 압축공기 공급장치(600)로부터의 압축공기 공급을 제어하게 된다.
즉, 상기 진공펌프(400)에 의해 적절한 진공상태를 유지하여야 안정적으로 폐가스를 배출할 수 있기 때문에 너무 큰 압력의 공기를 다량으로 공급하게 되면 진공상태의 유지가 어렵기 때문에 적정한 압력으로 공기를 공급하고, 다수개의 청소밸브(562)로 동시에 분사하는 것이 아니라 각 청소밸브(562)가 순차적으로 분사하여 적절한 진공상태를 유지하도록 한다.
그리고, 상기 보조 배출구(552)와 타측 집진기(500)의 흡입 밸브(520) 사이에는 유량조절밸브(554)가 더 구비되는데, 상기 유량조절밸브(554)는 에어 제트 모듈로 이루어지는 청소장치(560)의 일측 청소밸브(562)에서 한번에 분사한 공기를 설정된 시간 동안 나누어서 배출하게 된다.
즉, 상기 유량조절밸브(554)는 일정한 양을 지속적으로 배출하도록 하여 청소밸브(562)를 통하여 한번에 분사된 양을 일정한 시간동안 적은 양으로 지속적으로 배출하도록 함으로써, 진공펌프(400)에 의해 형성된 진공상태가 안정적으로 유지되도록 한다.
한편, 상기 몸체(510)의 내측에는 청소장치(560)의 하부에 상하 분할하기 위한 격판(512)이 구비되고, 상기 격판(512)의 중심부에 상하 연통되도록 유입구(514)가 형성되며, 상기 유입구(514)에는 상기 필터(540)가 착탈 가능하게 설치된다.
여기서, 상기 필터(540)는 전술한 바와 같이 필터(540)에 형성되는 다수의 미세공을 통하여 외부의 폐가스가 미세공을 통과하는 과정에서 분진을 걸러주고, 정화된 공기는 상부의 유입구(514)를 통하여 배출구(532)로 배출되게 된다.
그리고, 상기 몸체(510)의 하부에는 청소장치(560)에 의해 필터(540)에서 분리된 분진이 자유낙하하여 수용되는 더스트 캔(570)이 구비되고, 상기 더스트 캔(570)의 상부에는 이물질 배출 밸브(572)가 형성된다.
여기서, 상기 이물질 배출 밸브(572)는 각 집진기(500)가 청소작업을 진행할 때에만 개방되도록 하여 필터(540)에서 분리된 분진은 수용하게 되며, 정화작업시에는 밀페되도록 하여 내부에 형성되는 음압에 의해 더스트 캔(570)에 수용된 분진이 다시 필터(540)로 이동하는 것을 방지하게 된다.
이때, 상기 더스트 캔(570)은 서랍식이나 개방 가능하게 형성되어 내부에 수용된 분진을 용이하게 외부로 배출할 수 있게 된다.
그리고, 상기 반도체 제조장치(300)와 진공펌프(400)는 별도의 배관으로 직결되는데, 직결된 배관에는 바이패스 밸브(580)이 구비되어 한 쌍으로 이루어지는 집진기(500)가 모두 작동 불가능하거나 다른 긴급 상황에서 개방되도록 하여 진공펌프(400)로 폐가스를 직접 신속하게 공급하도록 한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 실시 예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리 범위가 미치는 것으로 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능한 것이다.
본 발명은 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 집진 작용을 수행할 때, 필터의 청소가 필요하더라도 멈춤이 없이 지속적으로 집진 작용을 진행할 수 있으며, 필터의 청소시 압축공기를 사용하기 때문에 보다 완전하게 청소할 수 있어 여과효율을 극대화하여 진공펌프의 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 스크러버의 수명과 필터 자체의 수명 역시 연장시킬 수 있는 이중 트랙 진공 집진 시스템에 관한 것이다.
300 : 반도체 생산장치 400 : 진공펌프
500 : 집진기 510 : 몸체
520 : 흡입밸브 530 : 배출밸브
540 : 필터 550 : 보조 배출 밸브
560 : 청소장치 570 : 더스트 캔
580 : 바이패스 밸브 600 : 압축공기 공급장치
610 : 레귤레이터

Claims (8)

  1. 진공펌프의 전부 또는 후부 설치하여 진공펌프 또는 스크러버로 공급되는 폐가스를 정화시키기 위한 이중 트랙 진공 집진 시스템으로서,
    폐가스를 정화하기 위한 한 쌍의 집진기가 병렬로 연결되되, 상기 집진기 중 일측이 정화작업을 수행을 할 때, 타측은 청소작업을 수행하며,
    상기 집진기는 몸체와, 상기 몸체의 측부에 구비되어 폐가스의 공급을 제어하는 흡입 밸브와, 상기 몸체의 내측에 구비되는 폐가스를 정화하는 필터와, 상기 몸체의 상부에 구비되어 상기 필터에 의해 정화된 폐가스의 배출을 제어하는 배출 밸브와, 상기 필터의 상부에 구비되는 청소 장치를 포함하여 이루어지고,
    상기 청소 장치는 압축공기 공급장치로부터 압축공기를 공급받으며, 압축공기 공급장치와 청소 장치 사이에는 레귤레이터가 구비되어 압축공기를 일정한 압력으로 조절하여 공급하고,
    상기 청소 장치는 필터로 압축공기를 분사하는 에어 제트 모듈로 이루어지며, 상기 몸체의 측부에는 상기 에어 제트 모듈에서 분사한 공기를 외부로 배출하는 보조 배출구가 형성되고,
    상기 보조 배출구에서 배출되는 공기는 타측의 집진기에 형성된 흡입 밸브와 연결되며,
    상기 에어 제트 모듈은 외부에서 압축공기를 공급받아 필터의 상부로 분사하도록 다수개의 청소밸브를 구비하고, 각 청소밸브는 설정된 압력의 공기를 설정된 시간 동안 순차적으로 분사하며,
    상기 보조 배출구와 타측 집진기의 흡입 밸브 사이에는 유량조절밸브가 더 구비되되, 상기 유량조절밸브는 진공펌프에 의해 형성되는 진공상태가 변하지 않도록 에어 제트 모듈을 통하여 분사된 공기를 설정된 양만큼 지속적으로 배출하는 것을 특징으로 하는 이중 트랙 진공 집진 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 보조 배출구에는 전단부에 보조 필터가 구비되고, 후단부에 보조 배출 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 이중 트랙 진공 집진 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 몸체의 하부에는 상기 청소장치에 의해 필터에서 분리된 분진이 수용되는 더스트 캔이 구비되는 것을 특징으로 하는 이중 트랙 진공 집진 시스템.
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