KR102070790B1 - Moveable Table System comprising the air bearing - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블 하부에 마련되고, 상부에 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 플레이트, 상기 플레이트에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛 및 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 가이드 유닛은 상기 플레이트를 따라 제1 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제1 슬라이드, 상기 제1 슬라이드를 따라 제2 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제2 슬라이드, 상기 제1 슬라이드가 상기 제1 방향으로 이동되도록 상기 플레이트 양단에 상기 제1 방향으로 연장되어 마련되는 제1 슬라이드 가이드 및 상기 제2 슬라이드가 상기 제2 방향으로 이동되도록 상기 제1 슬라이드의 일측에 상기 제2 방향으로 연장되어 마련되는 제2 슬라이드 가이드를 포함하고, 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드는 에어 베어링(air bearing)을 포함한다.A movable table system according to an embodiment of the present invention includes a table, a plate provided below the table, a plate forming a space in which the table is moved, a guide unit for guiding the table to move in the plate, and And a driving unit for transmitting power to the guide unit, wherein the guide unit is a first slide for moving the table while moving in the first direction along the plate, and the table while moving in the second direction along the first slide. A second slide for moving the first slide guide, a first slide guide extending in the first direction at both ends of the plate such that the first slide is moved in the first direction, and the second slide being moved in the second direction; It is provided extending in the second direction on one side of the first slide And a second slide guide, wherein the first slide and the second slide comprise an air bearing.

Description

에어 베어링을 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템{Moveable Table System comprising the air bearing}Moveable Table System comprising the air bearing

본 발명은 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 개선된 에어 베어링(air bearing)을 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a movable table system, and more particularly to a movable table system including an improved air bearing.

이동 가능하게 구성된 테이블 장치는 XY 평면 상을 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 테이블 장치는 테이블 위에 놓여지는 기판 등의 위치를 정밀하게 조절하는 얼라이먼트 테이블로서 이용된다.The table apparatus configured to be movable is configured to be able to move on the XY plane. The table apparatus is used as an alignment table for precisely adjusting the position of the substrate or the like placed on the table.

테이블의 이동을 위하여 테이블 장치에는 베어링이 포함된다. 테이블 장치의 구성에 따라 다양한 종류의 베어링이 사용될 수 있고, 여러가지 베어링 중에서 축과 베어링 사이에 압축 공기를 넣어 공기압으로 축의 하중을 지지하는 에어 베어링도 이용된다. 에어 베어링은 고압의 공기가 출입되면서 압력으로 인하여 공기가 출입되는 부분의 손상이 발생될 수 있다.To move the table, the table device includes a bearing. Various types of bearings may be used depending on the configuration of the table device, and among the various bearings, an air bearing that uses compressed air between the shaft and the bearing to support the load of the shaft by air pressure is also used. The air bearing may cause damage to the air inlet and out portions due to the pressure of the high pressure air in and out.

대한민국 등록특허 제10-1569325호(2015.11.09)Republic of Korea Patent No. 10-1569325 (2015.11.09)

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 에어 베어링 내부로 출입되는 공기를 최적의 상태로 조절할 수 있도록 개선된 구성을 가지는 이동 가능한 테이블 시스템을 제공한다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide a movable table system having an improved configuration to adjust the air entering and exiting the air bearing in an optimal state.

또한, 에어 베어링의 공기가 출입되는 유입부와 배출부의 손상되는 경우 용이하게 교체할 수 있도록 개선된 구성을 가지는 이동 가능한 테이블 시스템을 제공한다.In addition, there is provided a movable table system having an improved configuration so that the air inlet and outlet of the air bearing is easily replaced in case of damage to the inlet and outlet.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above.

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블 하부에 마련되고, 상부에 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 플레이트, 상기 플레이트에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛 및 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 가이드 유닛은 상기 플레이트를 따라 제1 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제1 슬라이드, 상기 제1 슬라이드를 따라 제2 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제2 슬라이드, 상기 제1 슬라이드가 상기 제1 방향으로 이동되도록 상기 플레이트 양단에 상기 제1 방향으로 연장되어 마련되는 제1 슬라이드 가이드 및 상기 제2 슬라이드가 상기 제2 방향으로 이동되도록 상기 제1 슬라이드의 일측에 상기 제2 방향으로 연장되어 마련되는 제2 슬라이드 가이드를 포함하고, 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드는 에어 베어링(air bearing)을 포함한다.A movable table system according to an embodiment of the present invention includes a table, a plate provided below the table, a plate defining a space in which the table moves, a guide unit for guiding the table to move in the plate, and the And a driving unit for transmitting power to the guide unit, wherein the guide unit is a first slide for moving the table while moving in the first direction along the plate, and the table while moving in the second direction along the first slide. A second slide for moving the first slide guide, a first slide guide extending in the first direction at both ends of the plate such that the first slide is moved in the first direction, and the second slide being moved in the second direction; It is provided extending in the second direction on one side of the first slide And a second slide guide, wherein the first slide and the second slide comprise an air bearing.

상기 에어 베어링은 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드 내부로 공기를 출입시키는 유입부와 배출부를 포함하고, 상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드에 탈부착이 가능하도록 구성될 수 있다.The air bearing may include an inlet and an outlet for allowing air into and out of the first slide and the second slide, and the inlet and the outlet may be detachably attached to the first slide and the second slide. Can be.

상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드의 저면과 측면의 일측에 각각 형성될 수 있다.The inlet and the outlet may be formed at one side of the bottom and side surfaces of the first slide.

상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제2 슬라이드의 저면과 측면의 일측에 각각 형성될 수 있다.The inlet and the outlet may be formed at one side of the bottom and side surfaces of the second slide, respectively.

상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 배출되는 측면에 복수개의 배출홀과, 상기 복수개의 배출홀을 연결하고 내측으로 오목한 형상의 댐핑홈을 포함할 수 있다.The inlet and the discharge part may include a plurality of discharge holes on the side from which air is discharged, and a damping groove concave inwardly to connect the plurality of discharge holes.

상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 유입되는 유입홀과, 상기 유입홀과 상기 배출홀과 연결되고 상기 유입홀에서 유입된 공기가 저장되도록 상기 유입부와 상기 배출부의 내측에 형성된 저장공간을 더 포함할 수 있다.The inlet and the outlet further include an inlet hole through which air is introduced, and a storage space connected to the inlet hole and the outlet hole and formed inside the inlet part and the outlet part to store air introduced from the inlet hole. can do.

본 발명의 다른 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블 하부에 마련되고, 상부에 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 플레이트, 상기 플레이트에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛 및 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 가이드 유닛은 상기 플레이트를 따라 제1 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제1 슬라이드, 상기 제1 슬라이드를 따라 제2 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제2 슬라이드 및 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드의 일측에 설치된 에어 베어링(air bearing)을 포함하고, 상기 에어 베어링은 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드 내부로 공기를 출입시키는 유입부와 배출부를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a movable table system includes: a table, a plate provided below the table, a plate defining a space in which the table moves, a guide unit for guiding the table to move in the plate, and the And a driving unit for transmitting power to the guide unit, wherein the guide unit is a first slide for moving the table while moving in the first direction along the plate, and the table while moving in the second direction along the first slide. And a second slide for moving the air, and an air bearing installed on one side of the first slide and the second slide, wherein the air bearing flows in and out of the air into the first slide and the second slide. Section and outlet.

상기 가이드 유닛은 상기 제1 슬라이드가 상기 제1 방향으로 이동되도록 상기 플레이트 양단에 상기 제1 방향으로 연장되어 마련되는 제1 슬라이드 가이드 및 상기 제2 슬라이드가 상기 제2 방향으로 이동되도록 상기 제1 슬라이드의 일측에 상기 제2 방향으로 연장되어 마련되는 제2 슬라이드 가이드를 더 포함할 수 있다.The guide unit may include a first slide guide provided at both ends of the plate to extend in the first direction so that the first slide moves in the first direction, and the first slide so that the second slide moves in the second direction. One side of the may further include a second slide guide extending in the second direction.

상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드에 탈부착이 가능하도록 구성될 수 있다.The inlet and the outlet may be configured to be detachable from the first slide and the second slide.

상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 배출되는 측면에 복수개의 배출홀과, 상기 복수개의 배출홀을 연결하고 내측으로 오목한 형상의 댐핑홈을 포함할 수 있다.The inlet and the discharge part may include a plurality of discharge holes on the side from which air is discharged, and a damping groove that connects the plurality of discharge holes and is concave inwardly.

상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 유입되는 유입홀과, 상기 유입홀과 상기 배출홀과 연결되고 상기 유입홀에서 유입된 공기가 저장되도록 상기 유입부와 상기 배출부의 내측에 형성된 저장공간을 더 포함할 수 있다.The inlet and the outlet further include an inlet hole through which air is introduced, and a storage space connected to the inlet hole and the outlet hole and formed inside the inlet part and the outlet part to store air introduced from the inlet hole. can do.

본 발명의 실시예들에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은 에어 베어링 내부로 출입되는 공기를 최적의 상태로 조절할 수 있다.The movable table system according to embodiments of the present invention can optimally adjust the air entering and exiting the air bearing.

또한, 슬라이드 전체를 교체하지 않고, 에어 베어링의 유입부와 배출부를 쉽게 교체할 수 있다.In addition, the inlet and outlet of the air bearing can be easily replaced without replacing the entire slide.

또한, 에어 베어링의 유입부와 배출부로 인하여 공기 압력 조정이 가능하게 되어 작업성이 향상되고, 최적의 베어링 강성을 유지할 수 있다.In addition, the inlet and outlet of the air bearing allows the air pressure to be adjusted to improve workability and maintain optimal bearing rigidity.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 테이블 시스템의 에어 베어링이 포함된 제1 슬라이드와 제2 슬라이드를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3의 제1 슬라이드의 저면을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 제2 슬라이드의 저면을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 3의 제2 슬라이드의 내측면을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 4와 도 5의 제1 슬라이드와 제2 슬라이드의 저면에 형성된 배출부의 외측면을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 8은 도 7의 배출부의 단면을 보여주는 도면이다.1 is a perspective view showing a movable table system according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view showing a coupling relationship of the configuration of FIG.
3 is a view illustrating a first slide and a second slide including an air bearing of the table system of FIG. 1.
4 is a view illustrating a bottom surface of the first slide of FIG. 3.
FIG. 5 is a view showing the bottom of the second slide of FIG. 3.
FIG. 6 is a view showing an inner side surface of the second slide of FIG. 3.
7 is an enlarged view of an outer surface of the discharge part formed on the bottom surfaces of the first slide and the second slide of FIGS. 4 and 5.
8 is a cross-sectional view of the discharge part of FIG. 7.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 설명한다. 그러나, 기술되는 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시예들에 의하여 한정되는 것은 아니다. 또한, 여러 실시예들은 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings. However, the described embodiments may be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, various embodiments are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clarity.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이다.1 is a perspective view showing a movable table system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view showing a coupling relationship of the configuration of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 테이블(10), 플레이트(20), 가이드 유닛(30) 그리고 구동 유닛(40)을 포함할 수 있다.1 and 2, a movable table system 1 according to an embodiment of the present invention may include a table 10, a plate 20, a guide unit 30, and a drive unit 40. have.

이동 가능한 테이블 시스템(1)은 플레이트(20)의 상부에서 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 레이저 가공 장치에서는 레이저 광원이 놓여 질 수 있고, 반도체 제조 공정에서 제공되는 와이어 본딩의 경우에는 와이어 본딩 헤드가 놓여질 수 있다.The movable table system 1 may be configured such that the table 10 is movable in the first direction 91 and the second direction 92 at the top of the plate 20. In the laser processing apparatus, the table 10 may be placed with a laser light source, and in the case of wire bonding provided in a semiconductor manufacturing process, a wire bonding head may be placed.

테이블(10)은 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 가이드 유닛(30)에 의하여 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 이하에서 제1 방향(91)과 제2 방향(92)은 서로 수직한 방향으로 정의한다. The table 10 may be configured to be movable in the first direction 91 and the second direction 92. The table 10 may be configured to be movable in the first direction 91 and the second direction 92 by the guide unit 30. Hereinafter, the first direction 91 and the second direction 92 are defined as directions perpendicular to each other.

플레이트(20)는 테이블(10)이 이동되는 공간을 형성할 수 있다. 플레이트(20)는 테이블(10), 가이드 유닛(30) 그리고 구동 유닛(40)이 배치되어 테이블(10)이 플레이트(20)의 상부에서 이동되도록 구성될 수 있다.The plate 20 may form a space in which the table 10 is moved. The plate 20 may be configured such that the table 10, the guide unit 30, and the driving unit 40 are disposed so that the table 10 moves on the upper portion of the plate 20.

도 3은 도 1의 테이블 시스템의 에어 베어링이 포함된 제1 슬라이드와 제2 슬라이드를 보여주는 도면이고, 도 4는 도 3의 제1 슬라이드의 저면을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 3의 제2 슬라이드의 저면을 보여주는 도면이고, 도 6은 도 3의 제2 슬라이드의 내측면을 보여주는 도면이고, 도 7은 도 4와 도 5의 제1 슬라이드와 제2 슬라이드의 저면에 형성된 배출부의 외측면을 확대하여 보여주는 도면이고, 도 8은 도 7의 배출부의 단면을 보여주는 도면이다.FIG. 3 is a view illustrating a first slide and a second slide including an air bearing of the table system of FIG. 1, FIG. 4 is a bottom view of the first slide of FIG. 3, and FIG. 5 is a second view of FIG. 3. 6 is a view showing the bottom of the slide, Figure 6 is a view showing the inner side of the second slide of Figure 3, Figure 7 is an outer surface of the discharge portion formed on the bottom of the first slide and the second slide of FIGS. 8 is an enlarged view, and FIG. 8 is a view illustrating a cross section of the discharge part of FIG. 7.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 가이드 유닛(30)은 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되도록 가이드 할 수 있다. 일 예에 의하면, 가이드 유닛(30)은 제1 슬라이드(31), 제2 슬라이드(32), 제1 슬라이드 가이드(33) 그리고 제2 슬라이드 가이드(34)를 포함할 수 있다.1 to 8, the guide unit 30 may guide the table 10 to be moved in the first direction 91 and the second direction 92. According to an example, the guide unit 30 may include a first slide 31, a second slide 32, a first slide guide 33, and a second slide guide 34.

제1 슬라이드(31)는 플레이트(20)를 따라 제1 방향(91)으로 이동하면서 테이블(10)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 제1 슬라이드(31)는 플레이트(20) 상부에 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제1 슬라이드(31)는 구동 유닛(40)으로부터 동력을 전달받아 제1 방향(91)으로 이동되도록 마련될 수 있다. 제1 슬라이드(31)는 플레이트(20)에 제1 방향(91)으로 배치된 제1 슬라이드 가이드(33)를 따라 제1 방향(91)으로 이동되도록 구성될 수 있다.The first slide 31 may be configured to move the table 10 while moving in the first direction 91 along the plate 20. The first slide 31 may be provided in a shape extending in the second direction 92 on the plate 20. The first slide 31 may be provided to move in the first direction 91 by receiving power from the driving unit 40. The first slide 31 may be configured to move in the first direction 91 along the first slide guide 33 disposed in the first direction 91 on the plate 20.

일 예에 의하면, 제1 슬라이드(31)는 에어 베어링(70)을 포함할 수 있다. 에어 베어링(70)은 제1 슬라이드 가이드(33)에 결합된 상태로 제1 슬라이드 가이드(33)를 따라 제1 방향(91)으로 이동되도록 구성될 수 있다. 에어 베어링(70)은 제1 슬라이드(31)에서 제1 슬라이드 가이드(33)와 결합되는 측면에 마련될 수 있다. 제1 슬라이드 가이드(33)는 제1 슬라이드(31)의 양측면에 배치되어 제1 방향(91)으로 연장되도록 마련되고, 에어 베어링(70)은 제1 슬라이드 가이드(33)와 마주하도록 제1 슬라이드(31)의 양측에 형성될 수 있다. 에어 베어링(70)은 제1 슬라이드 가이드(33)와 결합된 상태에서 제1 슬라이드 가이드(33)를 따라 제1 슬라이드(31)가 제1 방향(91)으로 이동되도록 마련될 수 있다.According to one example, the first slide 31 may include an air bearing 70. The air bearing 70 may be configured to move in the first direction 91 along the first slide guide 33 while being coupled to the first slide guide 33. The air bearing 70 may be provided at a side surface of the first slide 31 that is coupled with the first slide guide 33. The first slide guide 33 is disposed on both sides of the first slide 31 to extend in the first direction 91, and the air bearing 70 is disposed on the first slide guide 33 to face the first slide guide 33. It may be formed on both sides of the (31). The air bearing 70 may be provided to move the first slide 31 in the first direction 91 along the first slide guide 33 while being coupled to the first slide guide 33.

제2 슬라이드(32)는 제1 슬라이드(31)를 따라 제2 방향(92)으로 이동하면서 테이블(10)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 제2 슬라이드(32)는 제1 슬라이드(31) 상부에 제2 방향(92)으로 연장된 제2 슬라이드 가이드(34)를 따라 제2 방향(92)으로 이동될 수 있다. 제2 슬라이드(32)는 구동 유닛(40)으로부터 동력을 전달받아 제2 방향(92)으로 이동되도록 마련될 수 있다. The second slide 32 may be configured to move the table 10 while moving in the second direction 92 along the first slide 31. The second slide 32 may be moved in the second direction 92 along the second slide guide 34 extending in the second direction 92 on the first slide 31. The second slide 32 may be provided to move in the second direction 92 by receiving power from the driving unit 40.

일 예에 의하면, 제2 슬라이드(32)는 에어 베어링(80)을 포함할 수 있다. 에어 베어링(80)은 제2 슬라이드 가이드(34)에 결합된 상태로 제2 슬라이드(32)가 제2 슬라이드 가이드(34)를 따라 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다. 에어 베어링(80)은 제2 슬라이드(32)에서 제2 슬라이드 가이드(32)와 결합되는 측면에 마련될 수 있다. 제2 슬라이드 가이드(34)는 제2 슬라이드(32)의 상면에 제2 방향(92)으로 연장되도록 마련될 수 있다. 에어 베어링(80)은 제2 슬라이드 가이드(34)와 결합된 상태에서 제2 슬라이드 가이드(34)를 따라 제2 슬라이드(32)가 제2 방향(92)으로 이동되도록 마련될 수 있다.According to one example, the second slide 32 may include an air bearing 80. The air bearing 80 may be configured to move the second slide 32 in the second direction 92 along the second slide guide 34 while being coupled to the second slide guide 34. The air bearing 80 may be provided on a side surface of the second slide 32 that is coupled to the second slide guide 32. The second slide guide 34 may be provided to extend in the second direction 92 on the upper surface of the second slide 32. The air bearing 80 may be provided to move the second slide 32 in the second direction 92 along the second slide guide 34 while being coupled to the second slide guide 34.

에어 베어링(70, 80)은 제1 슬라이드(31)와 제2 슬라이드(32)에 결합되어 제1 슬라이드(31)와 제2 슬라이드(32)가 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 에어 베어링(70, 80)은 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)가 포함될 수 있다. 유입부(71, 81)는 에어 베어링(70, 80) 내부로 공기가 유입되는 통로로 마련되고, 배출부(72, 82)는 에어 베어링(70, 80) 외측으로 공기가 배출되는 통로로서 마련될 수 있다. 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)는 에어 베어링(70, 80) 내부 압력을 조절하여 내부를 통과하는 제1 슬라이드 가이드(33)와 제2 슬라이드 가이드(34)를 안정적으로 지지할 수 있다. 이를 통해, 제1 슬라이드(31)와 제2 슬라이드(32)가 제1 슬라이드 가이드(33)와 제2 슬라이드 가이드(34)를 따라 안정적으로 이동될 수 있다.The air bearings 70 and 80 may be coupled to the first slide 31 and the second slide 32 so that the first slide 31 and the second slide 32 may be moved. According to an example, the air bearings 70 and 80 may include inlets 71 and 81 and outlets 72 and 82. The inlets 71 and 81 are provided as passages through which air is introduced into the air bearings 70 and 80, and the outlets 72 and 82 are provided as passages through which air is discharged to the outside of the air bearings 70 and 80. Can be. The inlet parts 71 and 81 and the outlet parts 72 and 82 stably adjust the pressure inside the air bearings 70 and 80 to stably pass the first slide guide 33 and the second slide guide 34 passing through the inside. I can support it. As a result, the first slide 31 and the second slide 32 may be stably moved along the first slide guide 33 and the second slide guide 34.

일 예에 의하면, 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)는 탈착 가능하게 마련될 수 있다. 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)는 교체 가능하도록 마련된 패드로 제공될 수 있다. 이를 통해 고압의 공기가 출입되어 손상된 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)를 쉽게 교체할 수 있다. 유입부(71, 81)와 배출부(72, 82) 중 일부만 손상된 경우에도 가이드 유닛(30) 전체를 교체하지 않고, 손상된 부분만을 교체할 수 있도록 구성되어 비용을 절감할 수 있고, 작업성을 향상시킬 수 있다.According to an example, the inlets 71 and 81 and the outlets 72 and 82 may be detachably provided. The inlets 71 and 81 and the outlets 72 and 82 may be provided as pads provided to be replaceable. This allows the high pressure air to enter and exit to easily replace damaged inlets 71 and 81 and outlets 72 and 82. Even if only some of the inlets 71 and 81 and the outlets 72 and 82 are damaged, it is possible to replace only the damaged parts without replacing the entire guide unit 30, thereby reducing the cost and workability. Can be improved.

유입부(71, 81)와 배출부(72, 82)는 에어 베어링(70, 80)의 저면과 일측면에 형성될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 슬라이드(31)의 양단에 각각 설치된 에어 베어링(70)은 유입부(71)와 배출부(72)가 양측에 각각 설치될 수 있다. 에어 베어링(70)은 저면에 일정한 간격으로 설치된 복수개의 배출부(72)와 복수개의 배출부(72)의 중앙에 설치된 유입부(71)를 포함할 수 있다. The inlets 71 and 81 and the outlets 72 and 82 may be formed on the bottom and one side of the air bearings 70 and 80. As shown in FIG. 4, the air bearings 70 installed at both ends of the first slide 31 may have inlets 71 and outlets 72 installed at both sides thereof. The air bearing 70 may include a plurality of discharge parts 72 provided at regular intervals on the bottom surface and an inlet part 71 installed at the center of the plurality of discharge parts 72.

도 5와 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 슬라이드(32)에 설치된 에어 베어링(80)은 저면에 일정한 간격으로 배출부(82)가 형성될 수 있다. 에어 베어링(80)은 일측면에 복수개의 배출부(82)와 배출부(82) 사이에 형성된 유입부(81)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 5 and FIG. 6, the air bearing 80 installed in the second slide 32 may have discharge portions 82 formed at regular intervals on a bottom surface thereof. The air bearing 80 may include a plurality of discharge parts 82 and an inlet part 81 formed between the discharge parts 82 on one side thereof.

도 7과 도 8을 참조하면, 배출부(72)는 외측면에 공기가 외측으로 배출되는 배출홀(72a)이 복수개가 제공될 수 있다. 배출홀(72a)은 배출부(72)의 외측면에 일정한 간격으로 형성될 수 있다. 배출홀(72a)은 배출부(72)의 외측면에 사각형 형상으로 마련될 수 있다.7 and 8, the discharge unit 72 may be provided with a plurality of discharge holes 72a through which the air is discharged to the outside. The discharge holes 72a may be formed at regular intervals on the outer surface of the discharge portion 72. The discharge hole 72a may be provided in a quadrangular shape on the outer surface of the discharge unit 72.

배출부(72)는 복수개의 배출홀(72a)을 연결하는 댐핑홈(73)을 포함할 수 있다. 댐핑홈(73)은 복수개의 배출홀(72a)을 연결하고, 배출부(72)의 내측으로 오목한 홈 형상으로 마련될 수 있다. 댐핑홈(73)은 배출홀(72a)을 통해 에어 베어링(70) 내측의 공기가 용이하게 배출될 수 있도록 마련될 수 있다.The discharge part 72 may include a damping groove 73 connecting the plurality of discharge holes 72a. The damping groove 73 connects the plurality of discharge holes 72a and may be provided in a groove shape concave inward of the discharge portion 72. The damping groove 73 may be provided so that air inside the air bearing 70 may be easily discharged through the discharge hole 72a.

도 8에 도시된 바와 같이, 배출부(72)는 외측면에 형성된 복수개의 배출홀(72a)과, 내측면에 형성된 유입홀(72b) 그리고 배출부(72) 내부에 공기가 저장될 수 있는 공간이 마련된 저장공간(72c)을 포함할 수 있다. 상술한 구성을 통하여 통해 에어 베어링(70) 내측의 공기가 외부로 용이하게 배출될 수 있도록 마련될 수 있다.As illustrated in FIG. 8, the discharge unit 72 may include air in the plurality of discharge holes 72a formed on the outer surface, the inlet hole 72b formed on the inner surface, and the discharge unit 72. It may include a storage space 72c provided with a space. Through the above-described configuration, the air inside the air bearing 70 may be provided to be easily discharged to the outside.

도 7과 도 8에서는 제1 슬라이드(31)에 설치된 에어 베어링(70)의 배출부(72)를 기준으로 설명하였지만, 제2 슬라이드(32)에 설치된 에어 베어링(80)의 배출부(82)에도 동일한 구성이 포함될 수 있다.7 and 8 described with reference to the discharge portion 72 of the air bearing 70 installed on the first slide 31, the discharge portion 82 of the air bearing 80 provided on the second slide (32). The same configuration may also be included.

도시되지 않았지만, 유입부(71, 81)도 복수개의 배출홀과 유입홀 그리고 저장공간을 포함하도록 구성될 수 있다. 유입부(71, 81)는 에어 베어링(70, 80)의 외측면에 유입홀이 형성되고, 내측면에 배출홀이 형성될 수 있다.Although not shown, the inlets 71 and 81 may also be configured to include a plurality of outlet holes, inlet holes, and storage spaces. Inlet portions 71 and 81 may have inlet holes formed on outer surfaces of air bearings 70 and 80, and outlet holes formed on inner surfaces thereof.

구동 유닛(40)은 가이드 유닛(30)과 연결되어 가이드 유닛(30)이 테이블(10)과 함께 이동될 수 있는 동력을 발생시킬 수 있다. 구동 유닛(40)은 동력을 가이드 유닛(30)에 전달하여 가이드 유닛(30)과 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.The driving unit 40 may be connected to the guide unit 30 to generate power to move the guide unit 30 together with the table 10. The driving unit 40 may be configured to transmit power to the guide unit 30 so that the guide unit 30 and the table 10 may be moved in the first direction 91 and the second direction 92.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the embodiments have been described by the limited embodiments and the drawings as described above, various modifications and variations are possible to those skilled in the art from the above description. For example, the described techniques may be performed in a different order than the described method, and / or components of the described systems, structures, devices, circuits, etc. may be combined or combined in a different form than the described method, or other components. Or, even if replaced or substituted by equivalents, an appropriate result can be achieved.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are within the scope of the claims that follow.

1: 이동 가능한 테이블 시스템
10: 테이블
20: 플레이트
30: 가이드 유닛
40: 구동 유닛
70, 80: 에어 베어링1: movable table system
10: table
20: plate
30: guide unit
40: drive unit
70, 80: air bearing

Claims (11)

테이블;
상기 테이블 하부에 마련되고, 상부에 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 플레이트;
상기 플레이트에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 가이드 유닛은
상기 플레이트를 따라 제1 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제1 슬라이드;
상기 제1 슬라이드를 따라 제2 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제2 슬라이드;
상기 제1 슬라이드가 상기 제1 방향으로 이동되도록 상기 플레이트 양단에 상기 제1 방향으로 연장되어 마련되는 제1 슬라이드 가이드; 및
상기 제2 슬라이드가 상기 제2 방향으로 이동되도록 상기 제1 슬라이드의 일측에 상기 제2 방향으로 연장되어 마련되는 제2 슬라이드 가이드;를 포함하고,
상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드는 에어 베어링(air bearing)을 포함하며,
상기 에어 베어링은 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드 내부로 공기를 출입시키는 유입부와 배출부를 포함하고,
상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드에 탈부착이 가능하도록 구성되며,
상기 배출부는 공기가 배출되는 측면에 일정한 간격으로 형성되는 복수개의 배출홀과, 상기 복수개의 배출홀을 연결하고 내측으로 오목한 형상의 댐핑홈을 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.table;
A plate provided below the table and forming a space in which the table is moved;
A guide unit for guiding the table to move in the plate; And
Includes; drive unit for transmitting power to the guide unit,
The guide unit
A first slide for moving the table while moving in a first direction along the plate;
A second slide for moving the table while moving in a second direction along the first slide;
First slide guides extending in the first direction at both ends of the plate such that the first slide is moved in the first direction; And
And a second slide guide extending in the second direction on one side of the first slide to move the second slide in the second direction.
The first slide and the second slide includes an air bearing,
The air bearing includes an inlet and an outlet for allowing air into and out of the first slide and the second slide,
The inlet and the outlet are configured to be detachable to the first slide and the second slide,
And the discharge portion includes a plurality of discharge holes formed at regular intervals on a side from which air is discharged, and a damping groove concave inwardly and connecting the plurality of discharge holes. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드의 저면과 측면의 일측에 각각 형성되는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 1,
And the inlet and the outlet are respectively formed on one side of the bottom and side surfaces of the first slide. 제1항에 있어서,
상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제2 슬라이드의 저면과 측면의 일측에 각각 형성되는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 1,
And the inlet and the outlet are respectively formed on one side of the bottom and side surfaces of the second slide. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 유입되는 유입홀을 포함하고,
상기 유입홀 및 상기 배출홀과 연결되고 상기 유입홀에서 유입된 공기가 저장되도록 상기 유입부와 상기 배출부의 내측에 각각 형성된 저장공간을 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 1,
The inlet and the outlet include an inlet hole through which air is introduced;
And a storage space respectively connected to the inlet hole and the outlet hole and formed inside the inlet and the outlet so that the air introduced from the inlet is stored. 테이블;
상기 테이블 하부에 마련되고, 상부에 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 플레이트;
상기 플레이트에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 가이드 유닛은 상기 플레이트를 따라 제1 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제1 슬라이드;
상기 제1 슬라이드를 따라 제2 방향으로 이동하면서 상기 테이블을 이동시키는 제2 슬라이드; 및
상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드의 일측에 설치된 에어 베어링(air bearing)을 포함하고,
상기 에어 베어링은 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드 내부로 공기를 출입시키는 유입부와 배출부를 포함하며,
상기 배출부는 공기가 배출되는 측면에 일정한 간격으로 형성되는 복수개의 배출홀과, 상기 복수개의 배출홀을 연결하고 내측으로 오목한 형상의 댐핑홈을 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.table;
A plate provided below the table and forming a space in which the table is moved;
A guide unit for guiding the table to move in the plate; And
Includes; drive unit for transmitting power to the guide unit,
The guide unit includes a first slide for moving the table while moving in a first direction along the plate;
A second slide for moving the table while moving in a second direction along the first slide; And
It includes an air bearing (air bearing) installed on one side of the first slide and the second slide,
The air bearing includes an inlet and an outlet for allowing air into and out of the first slide and the second slide,
And the discharge portion includes a plurality of discharge holes formed at regular intervals on a side from which air is discharged, and a damping groove concave inwardly and connecting the plurality of discharge holes. 제7항에 있어서,
상기 가이드 유닛은
상기 제1 슬라이드가 상기 제1 방향으로 이동되도록 상기 플레이트 양단에 상기 제1 방향으로 연장되어 마련되는 제1 슬라이드 가이드; 및
상기 제2 슬라이드가 상기 제2 방향으로 이동되도록 상기 제1 슬라이드의 일측에 상기 제2 방향으로 연장되어 마련되는 제2 슬라이드 가이드;를 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 7, wherein
The guide unit
First slide guides extending in the first direction at both ends of the plate such that the first slide is moved in the first direction; And
And a second slide guide extending in the second direction on one side of the first slide to move the second slide in the second direction. 제7항에 있어서,
상기 유입부와 상기 배출부는 상기 제1 슬라이드와 상기 제2 슬라이드에 탈부착이 가능하도록 구성되는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 7, wherein
And the inlet and the outlet are configured to be detachable from the first slide and the second slide. 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 유입부와 상기 배출부는 공기가 유입되는 유입홀을 포함하고,
상기 유입홀 및 상기 배출홀과 연결되고 상기 유입홀에서 유입된 공기가 저장되도록 상기 유입부와 상기 배출부의 내측에 각각 형성된 저장공간을 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method of claim 7, wherein
The inlet and the outlet include an inlet hole through which air is introduced;
And a storage space respectively connected to the inlet hole and the outlet hole and formed inside the inlet and the outlet so that the air introduced from the inlet is stored.
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