KR102068210B1 - 명령어 모드를 이용한 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템 - Google Patents

명령어 모드를 이용한 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템 Download PDF

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Abstract

명령어 모드를 이용한 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템이 제공된다.
개시된 레이저 제어 시스템은, 출력되는 레이저의 파형을 결정하는 복수 개의 레이저 레시피를 저장하는 레이저 레시피 저장부, 레이저 레시피를 생성하거나 조절하기 위한 레이저 신호를 입력 받는 아날로그 입력부, 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저를 출력하는 레이저 출력부, 및 제어부를 포함한다.

Description

명령어 모드를 이용한 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템 {Method of controlling laser recipe using command mode and Laser Control System}
본 개시는 레이저 레시피의 재생만 하는 프로그램 모드에 명령어 모드를 추가로 입력하여 레시피의 저장, 스케일 조정, 오프셋 조절 기능을 추가하는 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템에 관한 것이다.
최근 여러 산업에서 대상물을 절단, 천공, 패터닝 하기 위한 가공 기술이 발전하고 있다. 이러한 가공 기술은 일반적으로 레이저 빔을 가공물의 표면에 주사하여 가공물의 표면의 형상이나 물리적 성질들을 가공한다. 가공 대상물에는 여러가지 예시가 있을 수 있으며, 예를 들어 실리콘 웨이퍼 등의 2차원 평면 대상물을 포함한다.
가공 대상물의 효율적인 가공을 위해서는 레이저 빔의 출력 및 펄스 형태를 다양하게 조절하는 것이 요구된다. 기존의 레이저 빔의 출력 및 펄스 형태 제어 방법은 여러 가지 방식이 제안되었으나, 별도의 통신 수단을 요구하거나 파워 변경과 레이저 출력을 동시에 할 수 없어 가공 시간의 최적화가 어려운 단점이 있었다.
본 개시는 레이저 레시피의 재생만 하는 프로그램 모드에 명령어 모드를 추가로 입력하여 레시피의 저장, 스케일 조정, 오프셋 조절 기능을 추가하는 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 제어 시스템을 제공하고자 한다.
일 개시에 따른 레이저 제어 시스템에 있어서, 출력되는 레이저의 파형을 결정하는 복수 개의 레이저 레시피를 저장하는 레이저 레시피 저장부; 레이저 레시피를 생성하거나, 조절하기 위한 레이저 신호를 입력 받는 아날로그 입력부; 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저를 출력하는 레이저 출력부; 및 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하는 제어부;를 포함한다.
상기 제어부는 외부로부터 프로그램 작동 신호가 입력되는 때에, 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어할 수 있다.
상기 제어부는 외부로부터 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함하는 명령어 모드를 입력 받고, 상기 명령어 모드를 기반으로 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어할 수 있다.
상기 제어부는 외부로부터 실행 모드를 입력 받은 경우에,
상기 레이저 레시피 저장부에 저장된 복수의 레시피 중 어느 하나의 레시피를 선택하고 이에 대응되는 레이저 출력이 출력되도록 상기 레이저 출력부를 제어할 수 있다.
상기 제어부는 외부로부터 저장 모드를 입력 받은 경우에,
상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호를 상기 레이저 레시피 저장부에 저장하고, 소정의 레시피 번호와 매칭시킬 수 있다.
상기 제어부는 외부로부터 스케일 조정 모드를 입력 받은 경우에,
상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호의 크기를 바탕으로, 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피의 진폭을 스케일링 하여 출력시킬 수 있다.
상기 제어부는 외부로부터 오프셋 조정 모드를 입력 받은 경우에,
상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호의 크기를 오프셋으로 하여, 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피에 대응되는 레이저를 출력 시킬 수 있다.
일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서, 프로그램 작동 신호를 레이저 제어 시스템에 전달하는 단계; 명령어 모드를 레이저 제어 시스템에 전달하는 단계; 복수의 레이저 레시피 중 어느 하나를 선택하여 레이저 제어 시스템에 전달하는 단계; 및 상기 명령어 모드를 기준으로 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계;를 포함한다.
상기 명령어 모드는, 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
상기 명령어 모드가 실행 모드를 레이저 입력 장치에 전달하는 경우,
복수의 레시피 중 선택된 어느 하나의 레시피에 대응되는 레이저 출력이 출력되는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
상기 명령어 모드가 저장 모드를 레이저 입력 장치에 전달하는 경우에,
저장의 대상인 레이저 신호를 아날로그 입력으로 전달받는 단계; 및
복수의 레시피 중 선택된 어느 하나의 레시피에 상기 아날로그 입력으로 전달된 레이저 신호를 저장하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
상기 명령어 모드가 스케일 조정 모드를 레이저 입력 장치에 전달하는 경우에,
스케일 비율을 결정하는 레이저 신호를 아날로그 입력으로 전달받는 단계; 및
복수의 레시피 중 선택된 어느 하나의 레시피에 대응되는 레이저 출력을 상기 아날로그 입력으로 전달된 레이저 신호를 이용하여 스케일을 변경하여 출력하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
상기 명령어 모드가 오프셋 조정 모드를 레이저 입력 장치에 전달하는 경우에,
스케일 비율을 결정하는 레이저 신호를 아날로그 입력으로 전달받는 단계; 및
복수의 레시피 중 선택된 어느 하나의 레시피에 대응되는 레이저 출력을 상기 아날로그 입력으로 전달된 레이저 신호를 이용하여 오프셋을 변경하여 출력하는 단계;를 포함할 수 있다.
일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법 및 레이저 시스템은 명령어 모드를 이용하여 레이저 레시피의 실행, 저장, 스케일 조절 및 오프셋 조절을 용이하게 할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 레이저 레시피 제어 방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일 개시에 따른 레이저 제어 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 3은 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 실행 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 저장 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 스케일 조절 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 오프셋 조절 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 예시적인 실시예에 따른 연속 가공 장치 및 연속 가공 방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. 한편, 이하에 설명되는 실시예는 단지 예시적인 것에 불과하며, 이러한 실시예들로부터 다양한 변형이 가능하다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 종래 기술에 따른 레이저 레시피 제어 방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
레이저 출력을 다양하게 제어하기 위해 단조로운 온/오프 제어기능 이외에도 출력의 파형 등을 조절하기 위한 기술이 종래에 제안된바 있다.
도 1의 (a)를 참조하면, 종래 기술에 따른 구동&변조형 레이저 빔 제어 기술이 도시된다. 이 구동방식은 구동신호가 온(on) 상태이고, 변조신호가 온(on) 상태인 경우에 한해서 레이저 출력이 형성되는 방식으로, 펄스의 간격을 조절하기에는 용이하나 레이저의 출력 자체를 변경하기는 어려운 단점이 있다. 일반적으로 레이저 출력 파워 변경을 위해서는 RS-232와 같은 별도의 통신 수단이 요구되며, 파워를 변경하는 동안에는 레이저 출력이 제한되므로 실시간 파워 변경이 어려운 단점이 있다. 철강의 절단과 같은 고출력 레이저 절단 시스템에 있어서는 시스템의 구동 상태 변경에 소요되는 시간이 수분에서 수 십분이 소요된다는 점에서 구동&변조형 레이저 빔 제어 기술은 레이저 출력의 조절이 더 어려울 수 있다.
도 1의 (b)를 참조하면, 종래 기술에 따른 레시피형 제어 기술이 도시된다. 이 구동방식은 레이저 제어 시스템 상에 미리 저장되어 있는 레이저 레시피를 단순히 읽어들여 레이저 출력을 시키는 방식이다. 구동&변조형과 달리 실시간 출력 변경이 가능하나, 레이저 레시피는 미리 별도의 통신 수단을 통해 시스템 상에 저장되어 있을 것을 요구하며, 레시피의 저장 개수의 제약이 있다는 단점이 있다. 특히, 레이저 레시피의 형태의 유사성에도 불구하고 (예를 들어, 스케일링 또는 오프셋 관계) 모두 다른 레시피로 처리되어 레시피의 저장 개수가 다수가 요구되므로 메모리 관리에 어려움이 따른다. 또한, 별도의 레시피 저장 작업이 요구되며, 저장가능한 레시피의 개수에 제약이 따른다는 점도 단점으로 지적된다.
도 1의 (c)를 참조하면, 종래기술에 따른 아날로그 출력 모드 제어 기술이 도시된다. 이 구동방식은 아날로그 입력 신호의 입력을 전제로 구동신호가 온(on) 상태인 경우에만 레이저 출력을 발생시키는 방식이다. 도 1의 (c)를 참조하면, 아날로그 입력된 레이저 신호에 대해서 구동신호가 온 상태인 경우에는 아날로그 입력된 레이저 신호가 출력으로 발생한다. 구동신호가 오프(off) 상태인 경우의 아날로그 입력된 레이저 신호는 출력으로 발생하지 않는다. 이러한 구동방식은 아날로그 구동신호의 일부만을 사용하고자 하는 경우에는 용이하나, 입력 노이즈에 민감하며, 레이저 출력신호의 반복 구현이 어려운 단점이 있다.
도 2는 일 개시에 따른 레이저 제어 시스템(100)의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다. 도 2를 참조하면, 레이저 제어 시스템(100)은 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130) 및 제어부(140)를 포함한다.
레이저 레시피 저장부(110)는 복수의 레시피 번호 및 상기 복수의 레시피 번호와 각각 대응되는 복수의 레이저 레시피를 저장할 수 있다. 예를 들어, 레시피 번호 1번에는 1번 레이저 레시피가 저장되며, 레시피 번호 2번에는 2번 레이저 레시피가 저장된다. 레이저 레시피 저장부(110)는 제어부(140)의 제어에 따라 저장된 레시피를 읽거나, 쓰고, 수정할 수 있다.
아날로그 입력부(120)는 새로운 레이저 레시피를 저장하고자 하는 경우의 새로운 레이저 신호를 입력 받거나, 이미 저장된 레이저 레시피를 변경하여 출력하고자 하는 경우(예를 들어, 스케일 조절, 오프셋 조절)의 레퍼런스 신호를 입력 받을 수 있다. 본 개시에 따른 레이저 제어 시스템(100)은 아날로그 입력부(120) 신호를 그대로 레이저 출력하지 않고 새로운 레시피로 저장하거나, 저장된 레시피 신호의 조절에 이용함으로써 노이즈를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
레이저 출력부(130)는 대상체(ob)의 가공을 위한 레이저 빔을 출력할 수 있다. 레이저 출력부(130)는 제어부(140)의 제어에 따라 저장된 레이저 레시피 중에 선택된 한 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저 빔을 출력할 수 있다. 레이저 출력부(130)는 제어부(140)의 제어에 따라 저장된 레이저 레시피 중에 선택된 한 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저 빔을 출력하되, 아날로그 입력부(120)로 입력된 레이저 신호를 레퍼런스 신호로 하여, 오프셋을 조절하거나, 스케일 조절하여 출력할 수 있다.
레이저 출력부(130)는 레이저 발진기를 비롯한 레이저 빔을 출력하기 위한 일체의 구성요소를 포함할 수 있으며 특정 실시예에 한정되지 않는다. 레이저 출력부(130)는 탄산가스 레이저, 헬륨-네온 레이저, 아르곤-이온 레이저, 엑시머 레이저, 반도체 레이저, 고체 레이저, 액체 레이저 등 다양한 형태의 레이저 광원을 이용될 수 있으며 특정 실시예에 한정되지 않는다.
제어부(140)는 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130)를 제어할 수 있다. 제어부(140)는 프로세서(processor), 메모리(memory) 등의 전자 제어 장치로 구성될 수 있으며 특별한 실시예에 한정되지 않는다. 제어부(140)는 입력유닛(152) 또는 디스플레이 유닛(151)과 같은 입출력 장치를 통하여 사용자의 입력을 받아들이고, 제어 상태를 사용자에게 출력할 수 있다.
제어부(140)는 외부로부터 프로그램 작동 신호가 입력되는 때에, 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130)를 제어할 수 있다. 프로그램 작동 신호는 펄스 형태의 신호로 레이저 레시피의 제어 및 레이저 출력의 제어를 트리거(trigger)할 수 있다. 예를 들어, 제어부(140)는 입력유닛(152)으로부터 프로그램 작동 신호 및 명령어 모드를 함께 전달받을 수 있으며, 이 경우에 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130)를 제어하여 레이저 레시피를 실행/저장/오프셋 조절/스케일 조절 할 수 있다. 만약, 프로그램 작동 신호가 전달되지 않고, 명령어 모드만이 제어부(140)로 전달되는 경우에는 제어부(140)는 레이저 레시피 제어 동작을 수행하지 않을 수 있다.
제어부(140)는 외부로부터 명령어 모드를 전달받아 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130)를 제어하여 레이저 레시피를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(140)는 입력유닛(152)으로부터 명령어 모드를 전달받아 레이저 레시피 저장부(110), 아날로그 입력부(120), 레이저 출력부(130)를 제어하여 레이저 레시피를 제어할 수 있다.
명령어 모드는 레이저 레시피의 실행/저장/오프셋 조절/스케일 조절 을 비롯한 일체의 제어와 관련된 명령어를 포함하는 신호를 의미할 수 있다. 명령어 모드는 예를 들어, 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 구체적으로 제어부(140)는 레시피 저장 모듈(141), 레시피 실행 모듈(142), 레시피 스케일 조절 모듈(143), 레시피 오프셋 조절 모듈(144)을 포함할 수 있다. 레시피 저장 모듈(141)은 아날로그 입력부(120)에서 전달받은 레이저 신호를 레이저 레시피 저장부(110)에 새로운 레이저 레시피 또는 기존의 레이저 레시피를 대체하도록 저장시킬 수 있다. 레시피 실행 모듈(142)은 레이저 레시피 저장부(110)에 저장된 레이저 레시피를 불러들여, 레이저 출력부(130)로 출력시킬 수 있다. 레시피 스케일 조절 모듈(143)은 레이저 레시피 저장부(110)에 저장된 레이저 레시피를 불러들여, 아날로그 입력부로 입력된 레이저 신호를 레퍼런스 신호로 삼아 스케일을 100% 에서 0%까지 진폭을 조절하여 레이저 출력부(130)가 출력하도록 제어할 수 있다. 레시피 스케일 조절 모듈(144)은 레이저 레시피 저장부(110)에 저장된 레이저 레시피를 불러들여, 아날로그 입력부로 입력된 레이저 신호를 레퍼런스 신호로 삼아 오프셋을 부가하여 레이저 출력부(130)가 출력하도록 제어할 수 있다.
구체적인 제어부(140)의 실행 모드는 도 3에서, 저장 모드는 도 4에서, 스케일 조절 모드는 도 5에서, 오프셋 조절 모드는 도 6에서 이하 후술하도록 한다.
도 3은 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 실행 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 프로그램 작동 신호 및 실행 모드가 제어부(도 2의 140)으로 전달되면 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 저장되어 있던 레이저 레시피와 대응되는 파형을 가지는 레이저 빔이 레이저 출력부(도 2의 130)을 통해 출력된다.
사용자는 입력 유닛(도 2의 152)을 통해, 실행 모드 및 출력하고자 하는 레이저 레시피에 대응하는 레시피 번호를 레시피 실행 모듈(도 2의 142)로 전달할 수 있다. 레시피 실행 모듈(도 2의 142)은 레이저 레시피 저장부(110)에서 수신한 레시피 번호에 대응하는 레이저 레시피를 불러들이고, 이를 바탕으로 레이저 출력부(130)을 제어 할 수 있다. 결과적으로 선택된 레이저 레시피에 대응하는 레이저 출력이 형성된다.
도 4는 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 저장 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2 및 도 4를 참조하면, 프로그램 작동 신호 및 저장 모드가 제어부(도 2의 140)으로 전달되면 아날로그 입력부(도 2의 120)을 통해 입력되는 레이저 신호를 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 저장시킬 수 있다.
구체적으로, 사용자는 입력 유닛(도 2의 152)을 통해, 프로그램 작동 신호 및 저장 시작 모드를 레시피 저장 모듈(도 2의 141)로 전달할 수 있다. 또한, 사용자는 아날로그 입력부(120)을 통해 저장하고자 하는 레이저 신호(4-2)를 입력시킬 수 있다. 저장 시작 모드 및 프로그램 작동 신호가 레시피 저장 모듈(도 2의 141)에 수신되면, 레시피 저장 모듈(도 2의 141)은 아날로그 입력부(120)를 통해 입력되는 레이저 신호(4-2)를 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 저장시킬 수 있다. 사용자는 입력 유닛(도 2의 152)을 통해 저장될 레이저 레시피의 레시피 번호(4-1)를 지정할 수 있으며, 지정된 레시피 번호(4-3)와 대응되는 저장 공간(4-4)에 레이저 레시피가 저장된다. 사용자는 저장을 종료하고자 하는 경우에는 프로그램 작동 신호 및 저장 종료 모드를 레시피 저장 모듈(도 2의 141)로 전달할 수 있다. 프로그램 작동 신호 및 저장 종료 모드가 레시피 저장 모듈(도 2의 141)에 수신되면, 레시피 저장 모듈(도 2의 141)은 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에의 레이저 레시피의 저장을 종료시킬 수 있다. 따라서, 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 저장되는 레이저 레시피(4-4)의 길이는 저장 시작 모드의 수신 시점 및 저장 완료 모드의 수신 시점에 의해서 결정될 수 있다. 따라서, 각 레이저 레시피의 길이가 서로 상이할 수 있다.
도 5는 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 스케일 조절 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2 및 도 5를 참조하면, 프로그램 작동 신호 및 스케일 조절 모드가 제어부(도 2의 140)으로 전달되면 아날로그 입력부(도 2의 120)을 통해 입력되는 레이저 신호를 레퍼런스로 삼아 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 읽어낸 레이저 레시피의 출력을 스케일 조절하여 출력시킬 수 있다.
구체적으로, 사용자는 입력 유닛(도 2의 152)을 통해, 프로그램 작동 신호, 스케일 조절 모드, 스케일 조절의 대상이 되는 레시피 번호를 레시피 스케일 조절 모듈(도 2의 143)로 전달할 수 있다. 사용자는 아날로그 입력부(120)을 통해 레퍼런스 신호 역할을 할 레이저 신호를 입력시킬 수 있다. 프로그램 작동 신호, 스케일 조절 모드, 스케일 조절의 대상이 되는 레시피 번호가 레시피 스케일 조절 모듈(도 2의 143)에 수신되면, 레시피 스케일 조절 모듈(도 2의 143)은 아날로그 입력부(120)를 통해 입력되는 레이저 신호를 레퍼런스로 삼아 레이저 출력의 스케일 비율을 0% 내지 100% 에서 결정할 수 있다. 스케일의 대상이 되는 레이저 레시피는 사용자가 전송한 레시피 번호에 대응하는 레이저 레시피에 의해 결정된다. 레시피 스케일 조절 모듈(도 2의 143)은 레시피 번호에 대응하는 레이저 레시피를 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에서 불러들여, 레퍼런스 신호의 진폭의 크기에 따라 스케일 비율을 조절하여 레이저 출력부(130)를 통해 레이저 빔으로 출력시킬 수 있다. 스케일 비율은 레시피 스케일 조절 모듈(도 2의 143)에 의해서 다양하게 결정될 수 있으며 특정 예시에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도 5를 참조하면, 아날로그 입력부로 레퍼런스 레이저 신호가 최대치로 입력되는 경우에, 출력 레이저 신호(5-1)는 선택된 레이저 레시피를 기준으로 스케일 100%가 될 수 있다. 예를 들어, 아날로그 입력부로 레퍼런스 레이저 신호가 중간치로 입력되는 경우에, 출력 레이저 신호(5-2)는 선택된 레이저 레시피를 기준으로 스케일 50%가 될 수 있다. 이러한 스케일 기준 및 설정은 입력 유닛(도 2의 152)을 통해 사용자가 수정하거나 조절할 수 있으며 한정되지 않는다.
도 6은 일 개시에 따른 레이저 레시피 제어 방법에 있어서 오프셋 조절 모드가 명령어 모드로 선택된 경우의 구동 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 6을 참조하면, 프로그램 작동 신호 및 오프셋 조절 모드가 제어부(도 2의 140)으로 전달되면 아날로그 입력부(도 2의 120)을 통해 입력되는 레이저 신호를 레퍼런스로 삼아 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에 읽어낸 레이저 레시피의 출력을 오프셋 조절하여 출력시킬 수 있다.
구체적으로, 사용자는 입력 유닛(도 2의 152)을 통해, 프로그램 작동 신호, 오프셋 조절 모드, 오프셋 조절의 대상이 되는 레시피 번호를 레시피 오프셋 조절 모듈(도 2의 144)로 전달할 수 있다. 사용자는 아날로그 입력부(120)을 통해 레퍼런스 신호 역할을 할 레이저 신호를 입력시킬 수 있다. 프로그램 작동 신호, 오프셋 조절 모드, 오프셋 조절의 대상이 되는 레시피 번호가 레시피 오프셋 조절 모듈(도 2의 144)에 수신되면, 레시피 오프셋 조절 모듈(도 2의 144)은 아날로그 입력부(120)를 통해 입력되는 레이저 신호를 레퍼런스로 삼아 선택된 레이저 레시피에 오프셋으로 설정하여 레이저 출력 신호를 생성할 수 있다. 오프셋 조절의 대상이 되는 레이저 레시피는 사용자가 전송한 레시피 번호에 대응하는 레이저 레시피에 의해 결정된다. 레시피 오프셋 조절 모듈(도 2의 144)은 레시피 번호에 대응하는 레이저 레시피를 레이저 레시피 저장부(도 2의 110)에서 불러들여, 레퍼런스 신호의 진폭의 크기를 오프셋으로 삼아 레이저 출력부(130)를 통해 레이저 빔으로 출력시킬 수 있다.
예를 들어, 도 6을 참조하면, 아날로그 입력부로 레퍼런스 레이저 신호가 0인 경우에, 출력 레이저 신호(6-1)는 오프셋 수치가 0인 상태에서 선택된 레이저 레시피의 파형을 더하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 아날로그 입력부로 레퍼런스 레이저 신호가 입력되는 경우에, 출력 레이저 신호(6-2)는 선택된 레이저 레시피에 해당 레퍼런스 신호를 더하여(오프셋으로 하여) 형성될 수 있다.
이상의 설명에서 많은 사항들이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
100 : 레이저 제어 시스템
110 : 레이저 레시피 저장부
120 : 아날로그 입력부
130 : 레이저 출력부
140 : 제어부
151 : 디스플레이 유닛
152 : 입력 유닛

Claims (15)

  1. 레이저 제어 시스템에 있어서,
    출력되는 레이저의 파형을 결정하는 복수 개의 레이저 레시피를 저장하는 레이저 레시피 저장부;
    레이저 레시피를 생성하거나, 조절하기 위한 레이저 신호를 입력 받는 아날로그 입력부;
    상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저를 출력하는 레이저 출력부; 및
    상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 제어부는 외부로부터 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함하는 명령어 모드를 입력 받고, 상기 명령어 모드를 기반으로 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하고,
    상기 제어부는 외부로부터 스케일 조정 모드를 입력 받은 경우에, 상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호의 크기를 바탕으로, 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피의 진폭을 스케일링 하고, 상기 스케일링된 진폭을 갖는 상기 레이저 레시피에 대응하는 레이저를 출력시키되,
    상기 스케일링된 진폭을 갖는 상기 레이저 레시피는 상기 레이저 레시피 저장부에 저장되지 않는 레이저 제어 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 외부로부터 프로그램 작동 신호가 입력되는 때에, 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하는 레이저 제어 시스템.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 외부로부터 실행 모드를 입력 받은 경우에,
    상기 레이저 레시피 저장부에 저장된 복수의 레시피 중 어느 하나의 레시피를 선택하고 이에 대응되는 레이저 출력이 출력되도록 상기 레이저 출력부를 제어하는 레이저 제어 시스템.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 외부로부터 저장 모드를 입력 받은 경우에,
    상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호를 상기 레이저 레시피 저장부에 저장하고, 소정의 레시피 번호와 매칭시키는 레이저 제어 시스템.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 레이저 레시피 제어 방법에 있어서,
    제어부가 프로그램 작동 신호 및 명령어 모드를 입력받는 단계;
    상기 제어부가 레이저 레시피 저장부에 저장된 복수의 레이저 레시피 중 어느 하나를 선택하는 단계;
    상기 제어부가 상기 명령어 모드를 기준으로 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계; 및
    레이저 출력부가 상기 제어된 레이저 레시피에 대응하는 레이저를 출력하는 단계;를 포함하되,
    상기 명령어 모드는, 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 제어부가 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
    상기 명령어 모드가 스케일 조정 모드인 경우에,
    레시피 스케일 조절 모듈이 스케일 비율을 결정하는 레이저 신호를 아날로그 입력부로부터 전달받는 단계; 및
    상기 레시피 스케일 조절 모듈이 상기 레이저 신호를 이용하여 상기 선택된 레이저 레시피의 스케일을 변경하는 단계;를 포함하고,
    상기 변경된 스케일을 갖는 상기 레이저 레시피는 상기 레이저 레시피 저장부에 저장되지 않는 레이저 레시피 제어 방법.
  9. 삭제
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 명령어 모드가 실행 모드인 경우,
    상기 레이저 출력부는 상기 선택된 레이저 레시피에 대응되는 레이저를 출력하는 단계;를 더 포함하는 레이저 레시피 제어 방법.

  11. 제8 항에 있어서,
    상기 제어부가 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
    상기 명령어 모드가 저장 모드인 경우에,
    레이저 저장 모듈이 저장의 대상인 레이저 신호를 상기 아날로그 입력부로부터 전달받는 단계; 및
    상기 레이저 레시피 저장부에 상기 아날로그 입력부로부터 전달된 상기 레이저 신호를 저장하는 단계;를 포함하는 레이저 레시피 제어 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 레이저 제어 시스템에 있어서,
    출력되는 레이저의 파형을 결정하는 복수 개의 레이저 레시피를 저장하는 레이저 레시피 저장부;
    레이저 레시피를 생성하거나, 조절하기 위한 레이저 신호를 입력 받는 아날로그 입력부;
    상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피에 대응되는 파형의 레이저를 출력하는 레이저 출력부; 및
    상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 제어부는 외부로부터 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함하는 명령어 모드를 입력 받고, 상기 명령어 모드를 기반으로 상기 레이저 레시피 저장부, 상기 아날로그 입력부 및 상기 레이저 출력부를 제어하고,
    상기 제어부는 외부로부터 오프셋 조정 모드를 입력 받은 경우에, 상기 아날로그 입력부로 입력받은 레이저 신호의 크기를 레퍼런스로 삼아 상기 레이저 레시피 저장부에서 선택된 레이저 레시피를 오프셋하고, 상기 오프셋된 레이저 레시피에 대응하는 레이저를 출력시키되,
    상기 오프셋된 레이저 레시피는 상기 레이저 레시피 저장부에 저장되지 않는 레이저 제어 시스템.
  15. 레이저 레시피 제어 방법에 있어서,
    제어부가 프로그램 작동 신호 및 명령어 모드를 입력받는 단계;
    상기 제어부가 복수의 레이저 레시피 중 어느 하나를 선택하는 단계;
    상기 제어부가 상기 명령어 모드를 기준으로 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계; 및
    레이저 출력부가 상기 제어된 레이저 레시피에 대응하는 레이저를 출력하는 단계;를 포함하되,
    상기 명령어 모드는, 실행 모드, 저장 모드, 스케일 조정 모드, 오프셋 조정 모드 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 제어부가 상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
    상기 선택된 레이저 레시피를 제어하는 단계는,
    상기 명령어 모드가 오프셋 조정 모드인 경우에,
    레시피 오프셋 조절 모듈이 레이저 신호를 아날로그 입력부로부터 전달받는 단계; 및
    상기 레시피 오프셋 조절 모듈이 상기 레이저 신호를 레퍼런스로 삼아 상기 선택된 레이저 레시피를 오프셋하는 단계;를 포함하고,
    상기 오프셋된 레이저 레시피는 저장되지 않는 레이저 레시피 제어 방법.



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