KR102067234B1 - 유체공급라인 관리시스템 - Google Patents

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KR102067234B1
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오원준
권호산
김지훈
강태욱
임상재
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Abstract

유체공급라인 관리시스템이 개시된다. 본 발명에 따른 유체공급라인 관리시스템은, 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서, 상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 공급라인 내부가 자동으로 청소되는 한편, 각 구간, 분기라인 및 가압라인에 설치된 복수의 압력센서에 측정된 내압에 기초하여 이들의 이상유무가 자동으로 판별됨에 따라 유체공급장치의 유지관리가 적은 인력으로 효율적이고 신속하게 이루어질 수 있고, 유체 누출에 따른 안전사고의 위험이 효과적으로 예방되고 방지될 수 있다.

Description

유체공급라인 관리시스템{FLUID SUPPLY LINE MANAGEMENT SYSTEM}
본 발명은 유체공급라인 관리시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 공급라인 상의 유체 누출과 같은 이상유무와 공급라인 내부의 청소가 자동으로 이루어질 수 있는 관리시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 중 웨이퍼 에칭이나 세정 공정 등은 황산, 염산, 암모니아, 질산, 과산화수소수와 같이 취급상 주의를 요하는 위험성 약액이 다량으로 사용되고 관계상, 유체공급장치와 같은 설비를 이용한 자동공급을 통해 위험성 약액을 반도체 제조공정으로 안전하게 정량 제공하고 있다.
이러한 유체공급장치는, 공급라인을 이루는 다수의 관체와, 이들 상호 간을 밀폐되게 연결하는 다수의 VCR(체결구), 관체들 사이에 구비되는 레귤레이터 및 개폐밸브 등으로 구성된 배관결합체와 약액을 충전한 전용 저장용기로 이루어져 필요한 공정에 유체인 약액을 자동으로 분배하게 된다.
이때, 저장용기는 외부의 탱크로리로부터 직접 충전되는 거치식 저장용기와 내부에 충진된 약액이 소진되면 새로운 전용 저장용기로 교체하여 사용하게 되는 교체식 저장용기로 구분되는데, 이러한 저장용기 방식은 약액 소비량 등에 따라 선택적으로 사용되고 있다.
위와 같은 구조의 유체공급장치는 위험성 약액을 주로 다루기 때문에 배관결합체 상의 크랙, 공급라인을 이루는 관체 상호 간을 연결하며 밀폐시키는 VCR(체결구)의 불완전 체결, 저장용기와 배관결합체 간의 불완전 체결 등으로 인한 약액 누출 여부는 주요한 관리사항으로 취급되어 이에 대한 주기적인 검사가 이루어지고 있다.
종래 유체공급장치에 대한 약액 누출 여부 검사와 처리는, 누출 가스를 감지하는 특정한 센서를 통해 약액의 누출이 감지되면, 공급라인에 의한 약액 공급을 중단하고, 작업자가 공급라인 상의 누출 지점을 일일이 수작업으로 확인하며 문제된 관체나 VCR 등을 교체하거나 부속 간 체결력을 보다 견고하게 조정하는 방식으로 이루어졌다.
그러나 이러한 작업자에 의한 누출 여부 검사와 처리는, 누출 지점이 미세한 경우 이을 정확히 특정함에 있어 정확성을 담보하기 어려운 경우가 많고, 누출 지점 특정에 장시간이 소요되는 관계상 신속한 처리를 위해 배관조립체 전체를 교체함에 따른 비용상승, 약액 공급의 중단에 따른 제조라인 정지 등의 문제가 발생하게 된다는 점에서 이에 대한 개선방안이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
본 발명의 목적은, 유체공급장치의 공급라인 상의 유체 누출과 같은 이상유무가 작업자에 의한 수작업에 비해 정확하고, 정밀하게 이루어질 수 있어 배관결합체 전체를 교체하지 않고도 일부 부품만을 신속하게 교체하거나 수리할 수 있고, 필요한 경우 공급라인 내부의 청소가 설정된 순서에 따라 자동으로 이루어질 수 있는 관리시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서, 상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템에 의해 달성된다.
상기 밴팅부는, 상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 분기라인을 구간별로 개폐하기 위해 설치되는 제2 구간밸브; 및 상기 가압라인을 구간별로 개폐하기 위해 설치되는 제3 구간밸브를 더 포함할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 압력센서와 상기 개구부가 서로 연통되도록, 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 개방시켜 상기 압력센서를 보정하는 제1 제어작동을 수행할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 진공펌프와 복수의 상기 압력센서가 서로 연통되도록, 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 개방하는 제2-1 제어작동; 상기 진공펌프를 통해 상기 공급라인, 상기 분기라인 및 상기 가압라인의 내압을 음압상태로 만드는 제2-2 제어작동; 및 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 폐쇄하는 제2-3 제어작동을 수행할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 압축부와 상기 가압라인이 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방하는 제3-1 제어작동; 상기 가압라인의 내압이 고압상태가 되도록, 상기 압축부를 통해 상기 제1 가스를 송출하는 제3-2 제어작동; 및 상기 가압라인에 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 가압라인의 이상유무를 판별하는 제3-3 제어작동을 수행할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 압축부와 상기 구간들이 순차적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 순차 개방하는 제4-1 제어작동; 순차적으로 연통되는 상기 구간들에 대한 내압이 고압상태가 되도록, 상기 압축부를 통해 상기 제1 가스를 송출하는 제4-2 제어작동; 및 상기 구간들에 대응하여 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 공급라인의 이상유무를 판별하는 제4-3 제어작동을 수행할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 압축부와 상기 분기라인이 순차적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 순차 개방하는 제5-1 제어작동; 순차적으로 연통되는 상기 분기라인에 대한 내압이 고압상태가 되도록, 상기 제1 가스를 송출하는 제5-2 제어작동; 및 상기 분기라인에 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 분기라인의 이상유무를 판별하는 제5-3 제어작동을 수행할 수 있다.
상기 유체공급라인 관리시스템은, 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 폐쇄하는 제6-1 제어작동; 상기 청소부와 상기 구간들이 선택적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 선택적으로 개방하는 제6-2 제어작동; 선택적으로 연통되는 상기 구간들 내부에 상기 제2 가스가 충진되도록 송출하는 제6-3 제어작동; 및 상기 구간들 내부의 상기 제2 가스와 잔류유체가 상기 분기라인을 통해 선택적으로 상기 수용부에 저장되도록 상기 제1 관리밸브를 선택적으로 개방하여 상기 공급라인 내부를 청소하는 제6-4 제어작동을 수행할 수 있다.
본 발명에 의하면, 공급라인을 구간별로 개폐하는 복수의 제1 구간밸브와, 공급라인의 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 내부 잔류유체를 외부 배출하는 밴팅부와, 공급라인과 연통되는 가압라인에 연결되어 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부가 선택적, 개별적으로 작동제어됨으로써, 공급라인 내부가 자동으로 청소되고, 각 구간, 분기라인 및 가압라인에 설치된 복수의 압력센서에 측정된 내압에 기초하여 이들의 이상유무가 자동으로 판별됨에 따라 유체공급장치의 유지관리가 적은 인력으로 효율적이고 신속하게 이루어질 수 있고, 유체 누출에 따른 안전사고의 위험이 효과적으로 예방되고 방지될 수 있다.
도 1은 단일 저장용기가 적용된 본 발명의 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템의 배치도이다.
도 2는 2 이상의 저장용기가 적용된 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템의 배치도이다.
도 3은 도 1을 이용하여 유체공급장치를 전반적으로 유지보수하는 제어과정을 단계별로 나타낸 순서도이다.
도 4는 도 3의 제어과정 중 각 라인 음압화를 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이다.
도 5는 도 3의 제어과정 중 가압라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이다.
도 6은 도 3의 제어과정 중 공급라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이다.
도 7은 도 3의 제어과정 중 분기라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이다.
도 8은 도 3의 제어과정 중 공급라인 내부 청소를 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이다.
도 9는 실제 유체공급장치에 적용되어 공급라인 등에 대한 유지관리가 사용자 인터페이스를 통해 설정 및 진행되는 과정을 개략적으로 나타낸 그림이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 단일 저장용기가 적용된 본 발명의 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템의 배치도이고, 도 2는 2 이상의 저장용기가 적용된 본 발명의 다른 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템의 배치도이고, 도 3은 도 1을 이용하여 유체공급장치를 전반적으로 유지보수하는 제어과정을 단계별로 나타낸 순서도이고, 도 4는 도 3의 제어과정 중 각 라인 음압화를 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이고, 도 5는 도 3의 제어과정 중 가압라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이고, 도 6은 도 3의 제어과정 중 공급라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이고, 도 7은 도 3의 제어과정 중 분기라인 이상유무 판별을 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이고, 도 8은 도 3의 제어과정 중 공급라인 내부 청소를 위한 제어과정을 세부적으로 나타낸 순서도이고, 도 9는 실제 유체공급장치에 적용되어 공급라인 등에 대한 유지관리가 사용자 인터페이스를 통해 설정 및 진행되는 과정을 개략적으로 나타낸 그림이다.
발명의 설명 및 청구범위 등에서 방향을 지칭하는 상(위쪽), 하(아래쪽), 좌우(옆쪽 또는 측방), 전(정,앞쪽), 후(배,뒤쪽) 등은 권리의 한정의 용도가 아닌 설명의 편의를 위해서 도면 및 구성 간의 상대적 위치를 기준으로 정한 것으로, 특별히 다르게 한정하는 경우 외에는 이에 따른다.
본 발명에 따른 유체공급라인 관리시스템(100)은, 저장용기(5)에 저장된 유체를 공급라인(10)을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템(100)으로서, 공급라인(10) 내부의 잔류유체 등을 청소하고, 공급라인(10)을 포함한 각 연결 라인의 이상유무를 판별하는 과정이 작업자에 의하지 않고, 자동으로 이루어지도록 하기 위해 안출된 발명이다.
이로 인해 유체공급장치의 유지관리 및 보수가 적은 인력으로 효율적이고 신속하게 이루어질 수 있음은 물론이고, 유체 누출에 따른 안전사고의 위험 또한 효과적으로 예방되고 방지될 수 있게 된다.
상술한 바와 같은 기능 내지 작용을 구체적으로 구현하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 단일한 저장용기(5)를 갖는 유체공급장치를 기본 구성으로 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 밴팅부(120), 가압부(130) 및 압력센서(140a 내지 140f) 등이 부설되어 이루어질 수 있다.
여기서 유체공급장치는, 반도체 제조 중 웨이퍼 에칭이나 세정 공정 등에 사용되는 취급상 주의를 요하는 위험성 유체인 황산, 염산, 암모니아, 질산, 과산화수소수 등을 공급라인(10)을 통해 해당 공정에 안전하게 정량 제공하는 장치일 수 있다.
이때, 유체공급장치는, 구간(10a 내지 10d)을 이루는 다수의 관체, 관체 간을 밀폐되게 연결하는 다수의 VCR(체결구), 관체들 사이에 구비되는 레귤레이터 및 유출측의 수동 또는 자동 개폐밸브 등으로 구성된 배관결합체인 공급라인(10)과, 약액인 유체가 소정 압력으로 충전되어 공급라인(10)과 연결되는 저장용기(5)로 이루어질 수 있다. 이때, 저장용기(5)의 교체시기를 인식할 수 있도록, 저장용기(5) 하부에는 로드셀(6)이 구비될 수 있다.
제1 구간밸브(110a 내지 100c)는, 저장용기(5)에서 제조공정까지 소정 길이로 길게 배치된 공급라인(10)을 구간(10a 내지 10d)별로 개폐하기 위해 마련된 구성요소로서, 복수 개의 전자식 제어밸브로 이루어져 유체공급장치에 탑재된 컨트롤러(미도시) 또는 외부 중앙관제실(미도시)의 작동제어를 통해 자유롭게 개폐될 수 있다.
이러한 제1 구간밸브(110a 내지 100c)의 위치나 개수는, 공급라인(10)의 길이와 후술할 분기라인(20a,20b)의 위치 등에 의해 결정되어 공급라인(10)을 복수의 구간으로 분할하게 되고, 이렇게 구간별로 분할된 공급라인(10)은 제1 구간밸브(110a 내지 100c)의 개폐를 통해 보다 세밀하게 관리될 수 있게 된다.
여기서 유체공급장치에 탑재된 컨트롤러(미도시) 또는 외부 중앙관제실(미도시)은, 후술하는 바와 같이 개폐작동하는 밸브나 각종 장치와 전기적으로 연결된 상태에서 전원을 인가하여 그 작동을 제어하는 한편, 각 장치에서 측정된 데이터를 전송받아 처리하는 구성요소로서, MCU(micro controller unit), 마이컴(microcomputer), 아두이노(Arduino) 등과 같은 모듈화된 정보처리유닛으로 구현될 수 있다.
이때, 연결된 각 장치를 제어하고 송수신된 데이터 등을 처리하는 컨트롤러 등의 일련의 처리과정은, 정보처리유닛을 통해 읽힐 수 있는 C, C++, JAVA, 기계어 등의 프로그래밍 언어로 코딩됨으로써 이루어질 수 있다.
여기서 컨트롤러 등의 일련의 연산 및 데이터 처리 알고리즘은, 당업자 수준에서 다양한 방식 및 형태로 이루어질 수 있는바, 이에 대한 구체적인 설명은 생략하고, 어떠한 일련의 제어작동을 통해 유체공급장치에 대한 유지관리를 수행하는지에 대하여 이하에서 설명하기로 한다.
밴팅부(120)는, 제1 구간밸브(110a 내지 100c)에 의해 구획된 구간(10a 내지 10d)들과 연통되는 복수의 분기라인(20a,20b)에 연결되어 상술한 구간(10a 내지 10d)들을 음압상태로 만들거나 구간(10a 내지 10d)들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하기 위해 마련된 구성요소이다.
여기서 분기라인(20a,20b)은, 관체 간을 밀폐된 상태로 체결시키는 VCR과 같은 체결구를 통해 공급라인(10)의 분할된 구간들과 각각 연통될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 밴팅부(120)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 진공펌프(122), 수용부(124), 개구부(126) 및 제1 관리밸브(128) 등을 포함하여 구성되되, 이들 각각은 상술한 컨트롤러의 제어를 통해 목적하는 작동을 수행하게 된다.
진공펌프(122)는, 분기라인(20a,20b)을 통해 공급라인(10)을 음압상태로 만드는 구성요소로서, 소정의 흡인력을 발생시키는 상용화된 제품으로 이루어질 수 있다.
이러한 진공펌프(122)는, 컨트롤러에 의한 직접제어와 후술할 제1 관리밸브(128)에 대한 제어를 통해 공급라인(10) 등에 흡인력을 작용시켜 내부를 진공에 가까운 상태로 만들거나, 해당 상태를 일정시간 유지하거나 또는 가변시키게 된다.
수용부(124)는, 공급라인(10)을 이루는 구간(10a 내지 10d)들 내부의 잔류유체를 분기라인(20a,20b)을 통해 전달받아 저장하는 구성요소로서, 후술할 제1 관리밸브(128)에 대한 컨트롤러의 작동제어를 통해 취급상 주의를 요하는 위험성 유체의 외부 누출로 인한 안전사고나 환경오염을 방지하게 된다.
개구부(126)는, 분기라인(20a,20b)을 외부 대기와 연통시켜 공급라인(10) 등의 내부가 대기압의 작용하에 놓이게 하는 구성요소로서, 후술할 제1 관리밸브(128)에 대한 컨트롤러의 작동제어를 통해 공급라인(10) 등의 내부는 대기압과 동일해 질 수 있다.
제1 관리밸브(128)는, 상술한 진공펌프(122), 수용부(124) 및 개구부(126)를 분기라인(20a,20b)에 각각 선택적으로 연결하기 위해 마련된 구성요소로서, 도 1 등에 도시된 바와 같이, 진공펌프(122), 수용부(124) 및 개구부(126)와 분기라인(20a,20b)이 서로 연결되는 배관 상에 각각 구비되는 3개의 일방향 전자식 제어밸브로 구성될 수 있다.
이러한 제1 관리밸브(128)에 대한 컨트롤러의 개별적인 작동제어를 통해 진공펌프(122), 수용부(124) 또는 개구부(126)는, 분기라인(20a,20b) 및 공급라인(10)과 연통될 수 있다.
한편, 도시된 바와 달리 제1 관리밸브(128)는, 4방향 전자식 제어밸브로 이루어져 컨트롤러의 작동제어를 통해 진공펌프(122), 수용부(124) 및 개구부(126) 중 선택된 어느 하나가 분기라인(20a,20b) 및 공급라인(10)과 연통될 수 있음은 물론이다.
가압부(130)는, 상술한 밴팅부(120)와 달리 공급라인(10) 일단과 연통되는 가압라인(30)에 연결되어 공급라인(10) 내부를 양압상태로 만들기 위해 마련된 구성요소이다.
여기서 가압라인(30)은 관체 간을 밀폐된 상태로 체결시키는 VCR과 같은 체결구를 통해 공급라인(10)의 일단, 구체적으로 저장용기(5) 부근과 연통될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 가압부(130)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 압축부(132), 청소부(134) 및 제2 관리밸브(138) 등을 포함하여 구성되되, 이들 각각은 상술한 컨트롤러의 제어를 통해 목적하는 작동을 수행하게 된다.
압축부(132)는, 가압라인(30)을 통해 공급라인(10)에 고압의 제1 가스를 송출하기 위해 마련된 구성요소로서, 소정의 압력으로 압축된 제1 가스를 수용하는 고압탱크 또는 고압을 발생시키는 상용화된 콤프레셔 등으로 이루어질 수 있다.
이러한 압축부(132)는 후술할 제2 관리밸브(138)에 대한 컨트롤러의 작동제어를 통해 공급라인(10) 등에 제1 가스를 소정의 설정된 압력으로 고압 송출함으로써 내부를 고압상태로 만들거나 해당 상태를 일정시간 유지하거나 또는 가변시키게 된다.
여기서 제1 가스란, 공기 등과 같이 대략 1000psi 이상의 고압으로 압축될 수 있는 가스라면, 특별히 제한되지 않는다.
다만, 위험성 유체를 다루는 공급라인(10) 등에 투입되는 특성을 고려하여 화학적 반응성이 적고 가벼워 취급이 용이한 비활성 기체인 He(헬륨)을 제1 가스로 사용하는 것이 바람직하다.
청소부(134)는, 가압라인(30)을 통해 공급라인(10)에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 수용부(124)에 저장되도록 강제하는 구성요소로서, 소정의 압력으로 압축된 제2 가스를 수용하는 고압탱크 또는 소정의 압력을 발생시킬 수 있는 상용화된 콤프레셔 등으로 이루어질 수 있다.
여기서 제2 가스란, 공기 등과 같이 대략 100psi 정도의 압력으로 압축될 수 있는 가스라면, 특별히 제한되지 않는다.
다만, 위험성 유체를 다루는 공급라인(10) 등에 투입된 후 저장 또는 외부로 배출되는 제2 가스의 특성, 반도체 제조용 유체(일례로, C4F6)의 특성에 대응한 청소의 용이성 등을 고려하여 독성 및 인화성이 없는 정제된 N2(질소)를 제2 가스로 사용하는 것이 바람직하다.
제2 관리밸브(138)는, 상술한 압축부(132) 및 청소부(134)를 가압라인(30)에 각각 선택적으로 연결하기 위해 마련된 구성요소로서, 도 1 등에 도시된 바와 같이, 압축부(132) 및 청소부(134)와 가압라인(30)이 서로 연결되는 배관 상에 각각 구비되는 2개의 일방향 전자식 제어밸브로 구성될 수 있다.
이때, 압축부(132) 또는 청소부(134)는 2개의 제2 관리밸브(138)에 대한 컨트롤러의 작동제어를 통해 가압라인(30) 및 공급라인(10)과 연통될 수 있다.
한편, 도시된 바와 달리 제2 관리밸브(138)는, 3방향 전자식 제어밸브로 이루어져 컨트롤러의 작동제어를 통해 압축부(132) 및 청소부(134) 중 선택된 어느 하나는 분기라인(20a,20b) 및 공급라인(10)과 연통될 수 있음은 물론이다.
압력센서(140a 내지 140f)는, 공급라인(10)을 구성하는 구간(10a 내지 10d), 분기라인(20a,20b) 및 가압라인(30) 등에 다수 개가 설치되어 설치된 라인의 내압을 각각 측정하는 구성요소로서, 설치위치에서 압력정보를 전기적 신호로 생성할 수 있는 상용화된 제품으로 구현될 수 있다.
도 1에 도시된 본 발명의 실시예에 따라 각 라인들에 설치된 압력센서(140a 내지 140f)는, 측정된 압력 측정치를 컨트롤러에 연속적으로 전달함으로써 각 라인이나 구간의 이상유무 등을 판단하는 기초정보를 제공하게 된다.
위와 같이 설치된 압력센서(140a 내지 140f) 중 가압라인(30) 상의 압력센서(140a)는 가압라인(30)의 이상여부, 저장용기(5)에 인접한 압력센서(140b)는 저장용기(5)에 체결된 구간(10a), 이와 제1 구간밸브(110a)를 통해 연결되는 구간(10b)의 이상여부, 공급라인(10)의 중앙쪽에 위치한 압력센서(140c)는 이와 직결된 구간(10c)의 이상여부, 공급라인(10)의 유출측의 압력센서(140d)는 유축측 구간(10d)의 이상여부, 분리라인(20a,20b)과 밴팅부(120) 사이에 배치된 압력센서(140e)는 주로 분리라인(20a,20b)의 이상여부 등을 각각 판별하는데에 사용될 수 있다. 그리고 진공펌프(122) 측의 압력센서(140f)는 진공펌프(122)의 송출 음압을 측정하는데에 사용될 수 있다.
한편, 제2 구간밸브(150a,150b)는 분기라인(20a,20b)을 선택적으로 개폐하기 위해 설치되는 구성요소이고, 제3 구간밸브(160a,160b)는 가압라인(30)을 구간별로 개폐하기 위해 가압라인(30)을 따라 설치되는 구성요소이다.
이러한 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b) 또한, 전자식 제어밸브로 이루어져 유체공급장치에 탑재된 컨트롤러 등의 작동제어를 통해 각각 개별적으로 개폐될 수 있다.
이러한 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)의 위치나 개수도, 분기라인(20a,20b)과 가압라인(30)의 길이, 관리의 필요성 등에 의해 결정되어 분기라인(20a,20b)과 가압라인(30)을 구간으로 분할하게 되고, 이렇게 분할된 구간은 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)의 개폐를 통해 보다 세밀하게 관리될 수 있게 된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템(100)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 2 이상의 저장용기(5)를 갖는 유체공급장치를 기본 구성으로 실시예와 유사하게 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 밴팅부(120), 가압부(130) 및 압력센서(140a 내지 140f) 등이 부설되어 이루어질 수 있다.
이러한 다른 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템(100)은, 1개의 밴팅부(120)와 1개의 가압부(130)로 구성된다는 점에서 상술한 실시예와 동일하지만, 2 이상의 저장용기(5)에 대응하여 2 이상의 공급라인(10)과 분기라인(20a,20b)이 구비됨으로 인해 공급라인(10) 등에 부설되는 구성들 또한 2 이상으로 구비된다는 점에서 차이가 있다.
다만, 이러한 차이로 인해 다음과 같은 유체공급라인의 효율적 운용이 가능하게 된다.
즉, 다른 실시예에 따른 유체공급라인 관리시스템(100)에 의하면, 어느 하나의 저장용기(5A)에 충진된 유체가 해당 공급라인(10A)을 통해 반도체 제조 공정에 모두 제공되어 소진되더라도 저장용기(5A) 교체와 같은 중단 사유 없이 반도체 제조 공정은, 설치된 각종 밸브의 작동제어를 통해 다른 저장용기(5B)로부터 유체를 연속적으로 제공받을 수 있게 된다.
또한, 다른 저장용기(5B)로부터 유체가 연속적으로 제공되는 동안에는, 유체가 소진된 저장용기(5A)의 안전한 교체와 해당 공급라인(10A) 등의 유지관리를 위한 일련의 제어작동이 이하에서 설명하는 바와 같이 각 밸브, 밴팅부(120), 가압부(130) 및 압력센서(140aA 내지 140cA,140e,140f)에 대한 개별적 제어를 통해 효율적으로 수행될 수 있게 된다.
한편, 저장용기(5A,5B)의 교체시기를 컨트롤러에 의해 인식될 수 있도록, 저장용기(5A,5B) 하부에는 로드셀(6A,6B)이 각각 구비될 수 있다.
도 1의 유체공급라인 관리시스템(100)을 기준으로 유체공급장치를 전반적으로 유지관리하는 일련의 제어작동(S100 내지 S600)은, 유체가 소진된 저장용기(5)를 안전하게 교체하고, 필요시 해당 공급라인(10) 등의 유지관리를 위해 전체로 또는 일부만 진행될 수 있다. 물론, 이하에서 언급된 제어작동은, 당업자 수준에서 도 2의 유체공급라인 관리시스템(100)에도 손쉽게 변형되어 적용될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 도 1의 유체공급라인 관리시스템(100)을 이용한 일련의 유지관리 제어작동은, 압력센서 보정(S100), 각 라인의 음압화(S200), 가압라인 이상유무 판별(S300), 공급라인 이상유무 판별(S400), 분기라인 이상유무 판별(S500) 및 공급라인 내부 청소(S600) 중 적어도 어느 하나를 순서대로 포함하여 구성될 수 있다.
이하에서 상술한 각각의 제어과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 압력센서 보정(S100)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 설치된 모든 또는 특정 압력센서(140a 내지 140f)에 대한 신뢰성을 확보하기 위해 마련된 제1 제어작동으로, 압력센서(140a 내지 140f)를 활용하는 유지관리 제어작동의 신뢰성을 높이기 위해 이에 선행되어 수행될 수 있다.
이러한 제1 제어작동은, 공급라인(10)을 구성하는 구간(10a 내지 10d), 분기라인(20a,20b) 및 가압라인(30)에 설치된 압력센서(140a 내지 140f)를 대기압에 노출시킨 후 각각이 대기압에 상응한 압력 측정치를 나타내는 지를 확인하고, 이에 기초하여 측정값을 캘리브레이션 함으로써 이루어질 수 있다.
이때, 모든 또는 특정 압력센서(140a 내지 140f)를 대기압에 노출시키는 제어작동은, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138)를 개별적으로 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있다. 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 부가설치된 경우에는 이를 개별적으로 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.(S110)
그리고 컨트롤러는 위와 같이 대기압에 노출된 압력센서(140a 내지 140f)에서 측정된 대기압 측정치를 기준으로 설정된 방식에 따라 균일화하는 캘리브레이션을 수행하게 된다.(S120)
다음으로, 각 라인 음압화(S200)는, 공급라인(10), 분기라인(20a,20b) 및 가압라인(30) 중 적어도 어느 하나의 내부를 진공에 가까운 음압상태로 만든 후 외부로부터 기체의 미세한 유입이 발생하는 지를 판별하기 위해 마련된 제2 제어작동으로, 각 라인의 크랙, 관체 간 체결불량이나 불완전 체결과 같은 이상유무를 판별하는 제3,4,5 작동제어(S300,S400,S500)와는 구별된다.
이러한 제2 제어작동은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 진공펌프(122)와 모든 또는 특정 압력센서(140a 내지 140f) 간을 연통시키는 제어인 제2-1 제어작동, 진공펌프(122)를 통한 각 라인 음압화인 제2-2 제어작동, 각 라인의 밸브 폐쇄인 제2-3 제어작동 및 각 라인 압력상태 모니터링인 제2-4 제어작동 등을 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 제2-1 제어작동(S210)은, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138)를 개별적으로 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 부가설치된 경우에는 이를 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
그리고 제2-2 제어작동(S220)은, 진공에 가까운 흡인력이 공급라인(10), 분기라인(20a,20b) 및 가압라인(30) 중 적어도 어느 하나에 작용하도록 진공펌프(122)를 작동제어하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 진공펌프(122)와 연통된 압력센서(140a 내지 140f) 중 진공펌프(122)에 인접한 압력센서(140f)를 기준으로 소정의 음압값을 유지하도록 진공펌프(122)를 일정시간 동안 작동제어할 수 있다.
그리고 제2-3 제어작동(S230)은, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138)를 전체 또는 개별적으로 폐쇄하는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 부가설치된 경우에는 이를 폐쇄하는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138)를 전체 또는 개별적으로 폐쇄하는 이유는, 진공펌프(122)에 의한 영향을 배제하는 한편, 각각 구획된 배관 별로 외부 기체가 미세하게 유입되는 지를 명확하게 판별하기 위함이다.
그리고 제2-4 제어작동(S240)은, 진공펌프(122)의 흡인력과 인접한 배관에 의한 영향이 배제된 상태에서 각각의 압력센서(140a 내지 140f)에서 측정되는 음압값의 변동을 통합적으로 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
여기서 컨트롤러는, 폐쇄 당시 특정 압력센서(140a 내지 140f)에서 측정된 음압값(일례로 -12)이 설정된 변동범위를 넘어서 더 큰 음압값(일례로 -6)으로 변동하게 되면, 해당 압력센서(140a 내지 140f)가 설치되거나 연관된 배관은 외부 기체가 미세하게 유입되고 있는 것으로 판정할 수 있다.
상술한 바와 같은, 제2 제어작동(S200)은, 특히, 저장용기(5)와 직결되는 공급라인(10)의 일구간(10a)을 특정한 후, 해당 압력센서(140b)의 음압값 변동 추이에 대한 모니터링을 통해 작업자에 의하지 않고도 저장용기(5)로부터 미세하게 유출되는 유체를 정밀하고 정확하게 자동 판별할 수도 있다. 이로 인해 저장용기(5)의 교체시 안전사고가 효과적으로 예방될 수 있는 것이다.
참고로, 위와 같은 제2 제어작동은, 본 출원인이 실제 운용중인 시스템상의 사용자 인터페이스를 나타낸 도 9의 (a) 중 감압 시험에 대응한 작동이다.
다음으로, 가압라인 이상유무 판별(S300)은, 가압라인(30) 전체 또는 어느 일부의 내부를 소정의 고압상태로 만든 후 내부의 고압기체가 외부로 유출되는지를 판별하기 위해 마련된 제3 제어작동으로, 상술한 바와 같이 외부로부터 기체의 미세한 유입 여부를 판별하기 위한 제2 작동제어(S200)와는 구별된다.
여기서 내부의 고압기체의 외부 유출은, 배관 상의 크랙, 관체 간 체결불량이나 불완전 체결 등과 같은 상태 이상이 존재하는 경우 일반적으로 발생하게 되므로, 제3 제어작동은, 결국 가압라인(30) 상의 크랙, 관체 간 체결불량 여부 등을 검사하기 위한 작동으로 이해될 수 있다.
이러한 제3 제어작동은, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 압축부(132)와 가압라인(30) 간을 연통시키는 제어인 제3-1 제어작동, 압축부(132)를 통한 가압라인(30) 고압화인 제3-2 제어작동, 가압라인(30)에 대한 압력상태 모니터링인 제3-3 제어작동 등을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 제3-1 제어작동(S310)은, 압축부(132)와 가압라인(30)이 서로 연통되도록 제2 관리밸브(138)를 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제3 구간밸브(160a,160b)가 추가로 구비된 경우, 이를 개별적으로 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 압축부(132)와 가압라인(30) 간을 연통시키는 제2 관리밸브(138)(및 제3 구간밸브(160a,160b))를 제외한 다른 밸브들은 가압라인(30)만의 정확한 이상유무 판별을 위해, 모두 폐쇄된 상태를 유지할 수 있다.
그리고 제3-2 제어작동(S320)은, 고압의 제1 가스가 압축부(132)로부터 일정한 압력으로 송출되어 가압라인(30)에 전달되도록 압축부(132)를 작동제어하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 가압라인(30) 상에 설치된 압력센서(140a)를 기준으로 하지 않고, 압축부(132) 자체에서 측정된 양압값(송출값)을 기준으로 설정된 고압이 유지되도록 압축부(132)를 일정시간 동안 작동제어할 수 있다.
그리고 제3-3 제어작동(S330)은, 인접한 공급라인(10) 등에 의한 영향이 배제된 상태에서 압력센서(140a)에서 측정되는 양압값의 변동을 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
여기서 컨트롤러는, 압축부(132)를 기준으로 일정한 고압상태로 유지된 양압값(+100,송출압)이 가압라인(30) 상에 설치된 압력센서(140a)에서 설정된 변동범위를 넘어서 더 작은 양압값(+95)으로 측정되는 경우, 해당 압력센서(140a)가 설치된 가압라인(30) 상에는 소정의 크랙, 관체 간 체결불량이나 불완전 체결 등과 같은 상태 이상이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.
한편, 필요에 따라서는 앞서 개방된 제2 관리밸브(138)(및 제3 구간밸브(160a,160b))를 폐쇄하는 제어작동이 제3-2 제어작동과 제3-3 제어작동 사이에 개재될 수 있다.
위와 같은 폐쇄에 의해 압축부(132)의 압력과 인접한 배관에 의한 영향이 배제된 경우, 제3-3 제어작동은, 해당 가압라인(30)에 설치된 압력센서(140a)에서 측정되는 양압값의 변동을 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 제2 관리밸브(138)(및 제3 구간밸브(160a,160b))의 폐쇄 당시 가압라인(30) 상에 설치된 압력센서(140a)에서 측정된 양압값(일례로 +100)이 설정된 변동범위를 넘어서 더 작은 양압값(일례로 +95)으로 감소하게 되면, 가압라인(30) 상에 상술한 바와 같은 상태 이상이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.
상술한 바와 같은, 일련의 제3 제어작동(S300)을 통해 가압라인(30)의 이상유무가 작업자에 의하지 않고, 정밀하고 정확하게 자동 판별될 수 있게 됨에 따라 효율적인 유지관리가 이루어짐은 물론, 위험성 유체를 취급하는 유체공급장치로부터 발생될 수 있는 안전사고가 효과적으로 예방될 수 있는 것이다.
참고로, 이상의 제3 제어작동은, 본 출원인이 실제 운용중인 시스템상의 사용자 인터페이스인 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시된 수동 누출 시험(연이은 VALVE BYPASS CHECK, AV7,AV6,AV11 밸브)에 대응한 것이다.
다음으로, 공급라인 이상유무 판별(S400)은, 공급라인(10) 전체 또는 어느 일부의 내부를 소정의 고압상태로 만든 후 내부의 고압기체가 외부로 유출되는지 여부를 판별하기 위해 마련된 제4 제어작동으로, 상술한 제3 제어작동을 통해 가압라인(30)에 대한 이상 상태가 존재하지 않는 경우 진행될 수 있다.
여기서 제4 제어작동 또한 제3 제어작동과 마찬가지로, 결국 공급라인(10) 상의 크랙, 관체 간 체결불량 여부 등을 검사하기 위한 작동으로 이해될 수 있다.
이러한 제4 제어작동도, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 압축부(132)와 구간(10a 내지 10d)들 간을 순차적으로 연통시키는 제어인 제4-1 제어작동, 압축부(132)를 통한 구간(10a 내지 10d)들의 순차적인 고압화인 제4-2 제어작동, 구간(10a 내지 10d)들에 대한 압력상태 모니터링인 제4-3 제어작동 등을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 제4-1 제어작동(S410)은, 압축부(132)와 각 구간(10a 내지 10d)이 순차적으로 서로 연통될 수 있도록, 제2 관리밸브(138)를 개방시킨 상태에서 제1 구간밸브(110a 내지 100c)를 순차 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 추가로 구비된 경우, 이를 개별적으로 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 압축부(132)와 특정 구간 간을 연통시키는 제2 관리밸브(138)(및 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b))와 특정한 제1 구간밸브를 제외한 다른 밸브들은 특정 구간만의 정확한 이상유무 판별을 위해, 모두 폐쇄(공급라인(10) 유출측 밸브(미도시) 포함)된 상태를 유지할 수 있다.
일례로, 컨트롤러는 도 1의 저장용기(5)에 인접한 구간(10b)에 대한 이상유무 판별을 위해서 제2 관리밸브(138), 2개의 제3 구간밸브(160a,160b)만을 개방시키는 제어작동을 수행한 후, 이어서 저장용기(5)에 체결되는 특정한 구간(10a 및 10b)에 대한 이상유무 판별을 위해서 특정된 제1 구간밸브(110a)를 추가로 개방시키는 제어작동을 수행하게 된다.
이어서 컨트롤러는, 확장된 특정한 구간(10a, 10b 및 10c)에 대한 이상유무 판별을 위해서 특정된 제1 구간밸브(110b)를 추가로 개방시키고, 더 나아가 특정한 구간(10d)을 위해서 특정된 제1 구간밸브(110c)를 추가로 개방시키는 제어작동을 순차로 수행하게 된다.
그리고 제4-2 제어작동(S420)은, 고압의 제1 가스가 압축부(132)로부터 일정한 압력으로 송출되어 위와 같이 순차적으로 연통되는 구간(10a 내지 10d)들에 각각 전달되도록 압축부(132)를 작동제어하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 압축부(132)와 순차적으로 연통되는 각 구간(10a 내지 10d)들에 대응하여 설치된 압력센서들(140a 내지 140d)을 기준으로 하지 않고, 압축부(132) 자체에서 측정된 양압값(송출값)을 기준으로 설정된 고압이 유지되도록 압축부(132)를 일정시간 동안 작동제어할 수 있다.
그리고 제4-3 제어작동(S430)은, 인접한 분기라인(20a,20b) 등에 의한 영향이 배제된 상태에서 각 구간(10a 내지 10d)들에 관련된 압력센서(140a 내지 140d)에서 측정되는 양압값의 변동을 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
여기서 컨트롤러는, 압축부(132)를 기준으로 일정한 고압상태로 유지된 양압값(+100,송출압)이 설정된 변동범위를 넘어서 구간(10a 내지 10d)에 대응한 압력센서(140a 내지 140d)에서 더 작은 양압값(+95)으로 측정되는 경우, 해당 압력센서(140a 내지 140d)와 관련된 구간(10a 내지 10d)에는 소정의 상태 이상이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.
한편, 필요에 따라서는 앞서 개방된 제2 관리밸브(138)를 포함한 제1,2,3 구간밸브(110,150,160)를 각각 폐쇄하는 제어작동이 제4-2 제어작동과 제4-3 제어작동 사이에 개재될 수 있다.
위와 같은 폐쇄에 의해 압축부(132)의 압력과 인접한 배관에 의한 영향이 배제된 경우, 제4-3 제어작동은, 해당 구간들과 관련된 압력센서(140a 내지 140d)에 의해 측정되는 음압값의 변동을 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 제2 관리밸브(138)와 제1,2,3 구간밸브(110,150,160)의 폐쇄 당시 해당 구간과 관련된 압력센서(140a 내지 140d)에서 측정된 양압값(일례로 +100)이 설정된 변동범위를 넘어서 더 작은 양압값(일례로 +95)으로 감소하게 되면, 해당 구간 상에 상술한 바와 같은 상태 이상이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.
상술한 바와 같은, 일련의 제4 제어작동(S400)을 통해 공급라인(10)에 대한 이상유무가 작업자에 의하지 않고, 정밀하고 정확하게 자동 판별될 수 있게 됨에 따라 효율적인 유지관리가 이루어짐은 물론, 위험성 유체를 취급하는 유체공급장치로부터 발생될 수 있는 안전사고가 효과적으로 예방될 수 있는 것이다.
참고로, 이상의 제4 제어작동은, 본 출원인이 실제 운용중인 시스템상의 사용자 인터페이스인 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시된 수동 누출 시험(연이은 VALVE BYPASS CHECK, AV1,AVA,AV2 밸브)에 대응한 것이다.
다음으로, 분기라인 이상유무 판별(S500)은, 분기라인(20a,20b) 전체 또는 어느 일부의 내부를 소정의 고압상태로 만든 후 내부의 고압기체가 외부로 유출되는지 여부를 판별하기 위해 마련된 제5 제어작동으로, 상술한 제4 제어작동에 의해 공급라인(10)에 대한 이상 상태가 존재하지 않는 경우 진행될 수 있다.
여기서 제5 제어작동 또한 제3 제어작동과 마찬가지로, 결국 분기라인(20a,20b) 상의 크랙, 관체 간 체결불량 여부 등을 검사하기 위한 작동으로 이해될 수 있다.
이러한 제5 제어작동도, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 압축부(132)와 분기라인(20a,20b) 간을 순차적으로 연통시키는 제어인 제5-1 제어작동, 압축부(132)를 통한 분기라인(20a,20b)의 순차적 고압화인 제5-2 제어작동, 분기라인(20a,20b)에 대한 압력상태 모니터링인 제5-3 제어작동 등을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 제5-1 제어작동(S510)은, 압축부(132)와 분기라인(20a,20b)이 서로 연통되도록 제2 관리밸브(138)를 개방시킨 상태에서 제1 구간밸브(110a 내지 100c)를 순차 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 추가로 구비된 경우, 이를 개별적으로 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 압축부(132)와 특정 분기라인(20a,20b) 간을 연통시키는 제2 관리밸브(138)(및 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b))와 특정한 제1 구간밸브를 제외한 다른 밸브들은 특정 분기라인(20a,20b)만의 정확한 이상유무 판별을 위해, 모두 폐쇄(공급라인(10)의 유출측 밸브(미도시) 포함)된 상태를 유지할 수 있다.
일례로, 컨트롤러는 도 1의 아래쪽 분기라인(20a)에 대한 이상유무 판별을 위해서 제2 관리밸브(138), 2개의 제3 구간밸브(160a,160b)만을 개방시키는 제어작동을 수행하게 되고, 만일, 제2 구간밸브(150a,150b)가 구비된 경우 아래쪽의 제2 구간밸브(150a)까지 개방시키는 제어작동을 수행하게 된다.
반면에 도 1 의 위쪽 분기라인(20b)에 대한 이상유무 판별을 위해서, 컨트롤러는, 제2 관리밸브(138), 2개의 제3 구간밸브(160a,160b) 및 특정된 제1 구간밸브(110b)만을 개방시키는 제어작동을 수행하게 되고, 만일, 제2 구간밸브(150a,150b)가 구비된 경우 위쪽의 제2 구간밸브(150b)까지 개방시키는 제어작동을 수행하게 된다.
그리고 제5-2 제어작동(S520)은, 고압의 제1 가스가 압축부(132)로부터 일정한 압력으로 송출되어 위와 같이 순차적으로 연통되는 분기라인(20a,20b)에 각각 전달되도록 압축부(132)를 작동제어하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 컨트롤러는, 압축부(132)와 순차적으로 연통되는 각 분기라인(20a,20b)에 대응하여 설치된 압력센서(140e)를 기준으로 하지 않고, 압축부(132) 자체에서 측정된 양압값(송출값)을 기준으로 설정된 고압이 유지되도록 압축부(132)를 일정시간 동안 작동제어할 수 있다.
그리고 제5-3 제어작동(S530)은, 인접한 공급라인(10) 등에 의한 영향이 배제된 상태에서 분기라인(20a,20b)에 대응하여 설치된 압력센서(140e)에서 측정되는 양압값의 변동을 모니터링하는 컨트롤러를 통해 이루어질 수 있다.
여기서 컨트롤러는, 압축부(132)를 기준으로 일정한 고압상태로 유지된 양압값(+100,송출압)이 설정된 변동범위를 넘어서 분기라인(20a,20b)에 대응한 압력센서(140e)에서 더 작은 양압값(+95)으로 감소하게 되면, 해당 분기라인(20a,20b)에는 소정의 상태 이상이 존재하는 것으로 판정할 수 있다.
상술한 바와 같은, 일련의 제5 제어작동(S500)을 통해 분기라인(20a,20b)에 대한 이상유무까지 판별되면, 모든 라인에 대한 이상유무가 작업자에 의하지 않고 정확하고 정밀하게 자동으로 판별될 수 있게 된다. 이에 따라 유체공급장치에 대한 효율적인 유지관리가 도모됨은 물론, 위험성 유체를 취급하는 유체공급장치로부터 발생될 수 있는 안전사고 또한 효과적으로 예방될 수 있게 된다.
참고로, 이상의 제5 제어작동은, 본 출원인이 실제 운용중인 시스템상의 사용자 인터페이스인 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시된 수동 누출 시험(연이은 VALVE BYPASS CHECK, AV5,AV4 밸브)에 대응한 것이다.
마지막으로, 공급라인 내부 청소(S600)는, 저장용기(5)를 교체하기에 앞서 공급라인(10)에 잔류하게 되는 유체를 외부로 안전하게 배출하기 위해 마련된 제6 제어작동으로, 상술한 바와 같은 제5 제어작동까지 모두 완료된 이후 또는 제1 제어작동 내지 제5 제어작동과는 독립적으로 진행될 수 있다.
이러한 제6 제어작동은, 도 3 및 도 8에 도시된 바와 같이, 각 밸브를 폐쇄하는 제6-1 제어작동, 청소부(134)와 구간(10a 내지 10d)들 간을 선택적으로 연통시키는 제어인 제6-2 제어작동, 구간(10a 내지 10d)들 내부에 제2 가스를 충진하는 제6-3 제어작동, 제1 관리밸브(128)의 선택적 제어를 통한 잔류유체의 수용부(124) 저장인 제6-4 제어작동 등을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 제6-1 제어작동(S610)은, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138)를 폐쇄시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 부가설치된 경우에는 이를 폐쇄하는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 제1 구간밸브(110a 내지 100c), 제1 관리밸브(128) 및 제2 관리밸브(138) 등을 모두 폐쇄시키는 이유는, 공급라인(10) 내의 잔류유체가 의도하지 않은 쪽 배관으로 유출되는 것을 방지하기 위함이다.
그리고 제6-2 제어작동(S620)은, 청소부(134)와 공급라인(10)의 각 구간(10a 내지 10d)이 순차적으로 서로 연통될 수 있도록, 제2 관리밸브(138)를 개방시킨 상태에서 제1 구간밸브(110a 내지 100c)를 선택적 또는 순차적으로 개방시키는 컨트롤러에 의해 수행될 수 있고, 만일, 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b)가 추가로 구비된 경우, 이를 개별적으로 개방시키는 작동제어도 컨트롤러에 의해 이루어지게 된다.
이때, 청소부(134)와 특정 구간 간을 연통시키는 제2 관리밸브(138)(및 제2,3 구간밸브(150a,150b,160a,160b))와 특정된 제1 구간밸브를 제외한 다른 밸브들은, 특정 구간에 대한 잔류유체의 외부 배출을 위해 모두 폐쇄(공급라인(10) 유출측 밸브(미도시) 포함)된 상태를 유지할 수 있다.
일례로, 컨트롤러는 도 1의 저장용기(5)에 인접한 구간(10b)에 대한 잔류유체의 외부 배출을 위해서 제2 관리밸브(138), 2개의 제3 구간밸브(160a,160b)만을 개방시키는 제어작동을 수행한 후, 이어서 저장용기(5)에 체결되는 특정한 구간(10a 및 10b)에 대한 잔류유체의 외부 배출을 위해서 특정된 제1 구간밸브(110a)를 추가로 개방시키는 제어작동을 수행할 수 있다.
또한, 이어서 컨트롤러는, 특정한 구간(10c)에 대한 잔류유체의 외부 배출을 을 위해서 제2 관리밸브(138), 2개의 제3 구간밸브(160a,160b), 특정된 제1 구간밸브(110b)를 개방시키는 제어작동을 순차로 수행할 수 있다.
그리고 제6-3 제어작동(S630)은, 위와 같이 순차적으로 연통되는 구간(10a 내지 10d)들에 대하여 제2 가스가 각각 일정한 압력 또는 가변적인 압력으로 충진되도록 청소부(134)의 송출을 작동제어하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
이때, 제2 가스가 연통된 구간(10a 내지 10d) 내부에 가변적인 압력으로 충진되는 경우, 구간(10a 내지 10d) 내부의 압력변화로 인해 물리적 마찰작용이 유발됨에 따라 잔류유체에 대한 더욱 효과적인 외부 배출 내지 청소가 이루어질 수 있다.
그리고 제6-4 제어작동(S640)은, 구간(10a 내지 10d)들 내부의 제2 가스와 잔류유체가 분기라인(20a,20b)을 통해 선택적으로 수용부(124)에 저장되도록 제1 관리밸브(128)를 선택적으로 개방하는 컨트롤러에 의해 이루어질 수 있다.
일례로, 컨트롤러는, 도 1의 저장용기(5)에 체결되는 특정한 구간(10a,10b)에 제2 가스가 충진된 경우 수용부(124)와 해당 구간(10a,10b)이 서로 연통되도록 제1 관리밸브(128)와 아래쪽의 제2 구간밸브(150a)를 개방하는 작동제어를 하게 된다.
또한, 컨트롤러는, 특정한 구간(10c)에 제2 가스가 충진된 경우 수용부(124)와 해당 구간(10c)이 서로 연통되도록 제1 관리밸브(128)와 위쪽의 제2 구간밸브(150b)를 개방하는 작동제어를 하게 된다.
상술한 바와 같은 일련의 제6 제어작동(S600)을 수회 반복을 통해 공급라인(10)의 잔류유체는 작업자에 의하지 않고 공급라인(10) 내부로부터 효율적이고 깔끔하게 청소됨에 따라 이후 저장용기(5)의 교체가 안전하게 이루어질 수 있게 된다.
참고로, 이상의 제6 제어작동은, 본 출원인이 실제 운용중인 시스템상의 사용자 인터페이스인 도 9의 (a)에 도시된 수동 배관 청소 버튼에 의해 수행될 수 있다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
5: 저장용기 6: 로드셀
10: 공급라인 10a 내지 10d: 구간
20a,20b: 분기라인 30: 가압라인
100: 유체공급라인 관리시스템
110a 내지 100c: 제1 구간밸브 120: 밴팅부
122: 진공펌프 124: 수용부
126: 개구부 128: 제1 관리밸브
130: 가압부 132: 압축부
134: 청소부 138: 제2 관리밸브
140a 내지 140e: 압력센서 150a,150b: 제2 구간밸브
160a,160b: 제3 구간밸브

Claims (10)

  1. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 압력센서와 상기 개구부가 서로 연통되도록, 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 개방시켜 상기 압력센서를 보정하는 제1 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유체공급라인 관리시스템은,
    상기 분기라인을 구간별로 개폐하기 위해 설치되는 제2 구간밸브; 및
    상기 가압라인을 구간별로 개폐하기 위해 설치되는 제3 구간밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  5. 삭제
  6. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 진공펌프와 복수의 상기 압력센서가 서로 연통되도록, 상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 개방하는 제2-1 제어작동;
    상기 진공펌프를 통해 상기 공급라인, 상기 분기라인 및 상기 가압라인의 내압을 음압상태로 만드는 제2-2 제어작동; 및
    상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 폐쇄하는 제2-3 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  7. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 압축부와 상기 가압라인이 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방하는 제3-1 제어작동;
    상기 가압라인의 내압이 고압상태가 되도록, 상기 압축부를 통해 상기 제1 가스를 송출하는 제3-2 제어작동; 및
    상기 가압라인에 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 가압라인의 이상유무를 판별하는 제3-3 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  8. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 압축부와 상기 구간들이 순차적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 순차 개방하는 제4-1 제어작동;
    순차적으로 연통되는 상기 구간들에 대한 내압이 고압상태가 되도록, 상기 압축부를 통해 상기 제1 가스를 송출하는 제4-2 제어작동; 및
    상기 구간들에 대응하여 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 공급라인의 이상유무를 판별하는 제4-3 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  9. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 압축부와 상기 분기라인이 순차적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 순차 개방하는 제5-1 제어작동;
    순차적으로 연통되는 상기 분기라인에 대한 내압이 고압상태가 되도록, 상기 제1 가스를 송출하는 제5-2 제어작동; 및
    상기 분기라인에 설치된 상기 압력센서의 측정치 변화에 기초하여 상기 분기라인의 이상유무를 판별하는 제5-3 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
  10. 저장용기에 저장된 유체를 공급라인을 통해 반도체 공정에 제공하는 유체공급장치에 부설되어 사용되는 관리시스템으로서,
    상기 공급라인을 구간별로 개폐하기 위해 상기 공급라인을 따라 이격설치되는 복수의 제1 구간밸브; 상기 제1 구간밸브에 의해 구획된 상기 구간들과 연통되는 복수의 분기라인에 연결되어 상기 구간들을 음압상태로 만들거나 상기 구간들 내부의 잔류유체를 외부로 배출하는 밴팅부; 상기 공급라인 일단과 연통되는 가압라인에 연결되어 상기 공급라인을 양압상태로 만드는 가압부; 및 상기 구간, 상기 분기라인 및 상기 가압라인에 설치되어 각각의 내압을 측정하는 복수의 압력센서를 포함하고,
    상기 밴팅부는,
    상기 분기라인을 통해 상기 공급라인을 음압상태로 만드는 진공펌프; 상기 분기라인을 통해 상기 구간들 내부의 잔류유체를 전달받아 저장하는 수용부; 외부 대기와 연통되는 개구부; 및 상기 진공펌프, 상기 수용부 및 상기 개구부를 상기 분기라인에 각각 선택적으로 연결하는 제1 관리밸브를 포함하고,
    상기 가압부는,
    상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 고압의 제1 가스를 송출하는 압축부; 상기 가압라인을 통해 상기 공급라인에 청소용 제2 가스를 송출하여 잔류유체가 상기 수용부에 저장되도록 강제하는 청소부; 및 상기 압축부 및 상기 청소부를 상기 가압라인에 각각 선택적으로 연결하는 제2 관리밸브를 포함하고,
    상기 제1 구간밸브, 상기 제1 관리밸브 및 상기 제2 관리밸브를 폐쇄하는 제6-1 제어작동;
    상기 청소부와 상기 구간들이 선택적으로 연통되도록, 상기 제2 관리밸브를 개방한 상태에서 상기 제1 구간밸브를 선택적으로 개방하는 제6-2 제어작동;
    선택적으로 연통되는 상기 구간들 내부에 상기 제2 가스가 충진되도록 송출하는 제6-3 제어작동; 및
    상기 구간들 내부의 상기 제2 가스와 잔류유체가 상기 분기라인을 통해 선택적으로 상기 수용부에 저장되도록 상기 제1 관리밸브를 선택적으로 개방하여 상기 공급라인 내부를 청소하는 제6-4 제어작동을 수행하는 것을 특징으로 하는 유체공급라인 관리시스템.
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