KR102063110B1 - Interface controlling device and method for monitoring driving voltage thereby - Google Patents

Interface controlling device and method for monitoring driving voltage thereby Download PDF

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Abstract

본 발명은 인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치는, 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치로서, 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.The present invention relates to an interface control apparatus and a driving voltage monitoring method thereof. An interface control apparatus according to an embodiment of the present invention, an apparatus for controlling an interface with a sensor, comprising: an input unit for receiving sensing data sensed by the sensor; An output unit for outputting control data for controlling the sensor; And a voltage detector detecting a driving voltage supplied to drive the sensor.

Description

인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법{INTERFACE CONTROLLING DEVICE AND METHOD FOR MONITORING DRIVING VOLTAGE THEREBY}INTERFACE CONTROLLING DEVICE AND METHOD FOR MONITORING DRIVING VOLTAGE THEREBY}

본 발명은 인터페이스 제어 장치 및 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an interface control apparatus and a driving voltage monitoring method thereof.

에칭 장비나 세정 장비와 같이 기판을 처리하는 설비는 기판 처리 공정에 관한 각종 데이터를 수집하는 센서들을 구비한다. 예를 들어, 설비에 마련된 도어의 개폐 여부를 검출하는 도어 센서나, 약액의 누출을 여부를 감지하는 누출 감지 센서나, 플라즈마 소스로 인가되는 RF 전원의 전압, 전류, 위상을 감지하는 RF 신호 센서 등이 구비될 수 있다. 이와 같은 다양한 센서들로부터 수집된 데이터는 제어부로 전송되고, 상기 제어부는 센서가 수집한 데이터를 기반으로 기판 처리 설비의 동작을 제어할 수 있다.Equipment for processing a substrate, such as etching equipment or cleaning equipment, includes sensors that collect various data about the substrate processing process. For example, a door sensor that detects whether a door provided in a facility is opened or closed, a leak detection sensor that detects leakage of a chemical liquid, or an RF signal sensor that detects voltage, current, and phase of an RF power applied to a plasma source Etc. may be provided. Data collected from the various sensors may be transmitted to the controller, and the controller may control the operation of the substrate processing facility based on the data collected by the sensors.

설비에 구비된 센서들과의 데이터 입출력 및 전원 공급과 같은 인터페이스를 제어하기 위해 인터페이스 제어 보드(interface control board, ICB)가 사용된다. 예를 들어, 미쯔비시 사에서 제조한 CC-Link 제품은 센서와의 입출력을 담당하는 입출력 유닛, 반송 모터를 제어하는 회로 등이 마련되어 있어 기판 처리 설비의 인터페이스를 제어하기 위해 사용될 수 있다.An interface control board (ICB) is used to control interfaces such as data input / output and power supply with sensors provided in the facility. For example, Mitsubishi's CC-Link product has an input / output unit that performs input / output with a sensor, a circuit for controlling a transfer motor, and the like, and can be used to control an interface of a substrate processing facility.

하지만, 기존의 ICB를 사용하는 경우, 전원 전압 강하 또는 과다 부하 발생으로 인해 ICB를 통해 센서로 공급되는 구동 전압이 감소하게 되면, ICB는 이를 감지하지 못한 채 센서와의 입출력 동작이 중단되어 설비가 제대로 동작하지 못하게 되는 사고가 발생할 수 있다.However, in the case of using the existing ICB, if the driving voltage supplied to the sensor through the ICB decreases due to power supply voltage drop or excessive load generation, the ICB does not detect this and stops the input / output operation with the sensor. An accident may occur that prevents it from working properly.

본 발명의 실시예는 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인해 설비가 오동작하거나 동작 중단되는 경우를 방지하기 위한 인터페이스 제어 장치, 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법, 그리고 기판 처리 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.An embodiment of the present invention is to provide an interface control device, a method for monitoring a driving voltage, and a substrate processing equipment for preventing the equipment from malfunctioning or stopping due to the reduction of the driving voltage supplied to the sensor. .

본 발명의 실시예는 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인한 알람과 센서와의 입출력 인터페이스 오류로 인한 알람을 구별하여 작업자에게 알람의 원인을 명확하게 알릴 수 있는 인터페이스 제어 장치, 그에 의한 구동 전압 모니터링 방법, 그리고 기판 처리 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.An embodiment of the present invention is to distinguish between the alarm due to the reduction of the driving voltage supplied to the sensor and the alarm due to the input and output interface error with the sensor, the interface control device that can clearly inform the cause of the alarm to the operator, the driving voltage monitoring by it A method and a substrate processing equipment are provided.

본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치는, 센서와의 인터페이스를 제어하는 장치로서, 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.An interface control apparatus according to an embodiment of the present invention, an apparatus for controlling an interface with a sensor, comprising: an input unit for receiving sensing data sensed by the sensor; An output unit for outputting control data for controlling the sensor; And a voltage detector detecting a driving voltage supplied to drive the sensor.

상기 전압 검출부는: 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다.The voltage detector may generate an alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset allowable range.

상기 전압 검출부는: 상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고, 상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하며, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 좁을 수 있다.The voltage detector may be configured to: generate a first alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset first allowable range, and when the driving voltage is outside a preset second allowable range, the driving A second alarm signal may be generated to indicate an abnormality in voltage, and the first allowable range may be smaller than the second allowable range.

상기 구동 전압은 상기 인터페이스 제어 장치를 통해 상기 센서로 공급될 수 있다.The driving voltage may be supplied to the sensor through the interface control device.

본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법은, 인터페이스 제어 장치를 통해 센서로 인가되는 구동 전압을 검출하는 단계; 및 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 단계;를 포함할 수 있다.A driving voltage monitoring method according to an embodiment of the present invention includes detecting a driving voltage applied to a sensor through an interface control device; And generating an alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset allowable range.

상기 알람 신호를 생성하는 단계는: 상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계; 및 상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함하며, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁을 수 있다.The generating of the alarm signal may include: generating a first alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset first allowable range; And generating a second alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is outside the preset second tolerance range, wherein the first tolerance range may be narrower than the second tolerance range. .

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비는, 기판을 처리하는 공정 수행 시, 상기 공정에 대한 데이터를 수집하는 센서; 및 상기 센서와의 인터페이스를 제어하는 인터페이스 제어 보드를 포함하며, 상기 인터페이스 제어 보드는: 상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부; 상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및 상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;를 포함할 수 있다.Substrate processing equipment according to an embodiment of the present invention, when performing a process for processing the substrate, the sensor for collecting data about the process; And an interface control board controlling an interface with the sensor, the interface control board comprising: an input unit configured to receive sensing data sensed by the sensor; An output unit for outputting control data for controlling the sensor; And a voltage detector detecting a driving voltage supplied to drive the sensor.

본 발명의 실시예에 따르면, 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인해 설비가 오동작하거나 동작 중단되는 상황을 방지할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to prevent a situation in which the equipment malfunctions or stops due to the reduction of the driving voltage supplied to the sensor.

본 발명의 실시예에 따르면, 센서와의 입출력 인터페이스 오류로 인한 알람과 센서로 공급되는 구동 전압의 감소로 인한 알람을 구분함으로써 작업자에게 알람의 원인을 정확하게 제공할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, an alarm may be accurately provided to an operator by distinguishing an alarm due to an error in an input / output interface with a sensor and an alarm due to a decrease in driving voltage supplied to the sensor.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 센서의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 센서의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.1 is a diagram illustrating a sensor network including an interface control device according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram exemplarily illustrating an interface control apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a graph illustrating a process of monitoring a driving voltage of a sensor according to an embodiment of the present invention.
4 is a graph illustrating a process of monitoring a driving voltage of a sensor according to another embodiment of the present invention.
5 is an exemplary flowchart illustrating a driving voltage monitoring method according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치를 포함하는 센서 네트워크를 예시적으로 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating a sensor network including an interface control device according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판을 처리하는 설비, 예컨대 에칭 장비 또는 세정 장비는 설비의 각 부분에 센서(200)가 설치될 수 있다. 상기 센서(200)는 설비에서 수행되는 기판 처리 공정에 관한 각종 물리량을 검출하여 전기적인 신호로 출력할 수 있다. 예를 들어, 누출 감지 센서는 기판 처리 공정에 사용되는 약액의 누출 여부를 감지하고, 약액이 누출되면 신호를 출력하여 알람을 생성시킬 수 있다.As shown in FIG. 1, an apparatus for processing a substrate, such as an etching apparatus or a cleaning apparatus, may be provided with a sensor 200 in each part of the apparatus. The sensor 200 may detect and output various physical quantities related to a substrate processing process performed in a facility as an electrical signal. For example, the leak detection sensor may detect whether or not the chemical liquid used in the substrate processing process leaks, and generate an alarm by outputting a signal when the chemical liquid leaks.

상기 센서(200)는 인터페이스 제어 장치(100)에 연결되어 데이터를 주고받을 수 있으며, 센서(200)의 동작을 위해 필요한 구동 전압 역시 상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 공급될 수 있다.The sensor 200 may be connected to the interface control device 100 to exchange data, and a driving voltage necessary for the operation of the sensor 200 may also be supplied through the interface control device 100.

상기 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 센서(200)로부터 수신된 데이터는 제어부(300)로 전달될 수 있다. 상기 제어부(300)는 센서(200)가 수집한 데이터를 기반으로 설비의 각 부분을 모니터링하고, 정해진 프로세스에 따라 기판 처리 공정이 수행되도록 설비의 동작을 제어할 수 있다. 상기 센서(200)가 수집한 데이터는 메모리와 같은 저장부에 저장될 수도 있으며, 상기 제어부(300)는 저장부에 저장된 프로그램을 불러와 실행시킴으로써 레시피에 따라 공정을 수행할 수 있다.Data received from the sensor 200 through the interface control device 100 may be transferred to the controller 300. The controller 300 may monitor each part of the facility based on the data collected by the sensor 200, and control the operation of the facility so that the substrate processing process is performed according to a predetermined process. The data collected by the sensor 200 may be stored in a storage unit such as a memory, and the controller 300 may perform a process according to a recipe by loading and executing a program stored in the storage unit.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인터페이스 제어 장치(100)를 예시적으로 나타내는 블록도이다.2 is a block diagram illustrating an example interface control apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 입력부(110), 출력부(120) 및 전압 검출부(130)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the interface control apparatus 100 may include an input unit 110, an output unit 120, and a voltage detector 130.

상기 입력부(110)는 센서(200)가 감지한 감지 데이터를 입력받을 수 있다. 상기 센서(200)는 감지한 물리량을 전기적인 신호로 변환하여 출력하고, 상기 센서(200)로부터 출력된 감지 데이터는 상기 입력부(110)를 통해 인터페이스 제어 장치(100)로 입력된다.The input unit 110 may receive sensing data sensed by the sensor 200. The sensor 200 converts the detected physical quantity into an electrical signal and outputs the detected physical quantity, and the sensing data output from the sensor 200 is input to the interface control apparatus 100 through the input unit 110.

상기 출력부(120)는 센서(200)를 제어하기 위한 제어 데이터를 출력할 수 있다. 상기 센서(200)를 초기화하거나 센서(200)의 동작을 제어하기 위한 제어 데이터는 상기 출력부(120)를 통해 센서(200)로 전달될 수 있다.The output unit 120 may output control data for controlling the sensor 200. Control data for initializing the sensor 200 or controlling the operation of the sensor 200 may be transmitted to the sensor 200 through the output unit 120.

상기 인터페이스 제어 장치(100)가 상기 센서(200)와 주고받는 데이터는 필드 버스(field bus)를 통해 송수신될 수 있다.Data transmitted and received by the interface control apparatus 100 to and from the sensor 200 may be transmitted and received through a field bus.

상기 전압 검출부(130)는 센서(200)를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출할 수 있다.The voltage detector 130 may detect a driving voltage supplied to drive the sensor 200.

상기 인터페이스 제어 장치(100)는 데이터의 입출력 뿐만 아니라, 외부로부터 전원을 공급받아 센서(200)로 구동 전압을 제공할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 센서(200)는 19 내지 26 V의 구동 전압을 공급받아 동작할 수 있으며, 이 때 상기 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 19 V보다 낮아지면 센서는 제 기능을 수행할 수 없게 된다. 또한, 상기 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 26 V보다 높아지면 센서에 과도한 전압이 인가되어 센서의 고장을 유발할 위험이 있다.The interface control apparatus 100 may provide a driving voltage to the sensor 200 by receiving power from an external source as well as input / output of data. According to an embodiment, the sensor 200 may operate by receiving a driving voltage of 19 to 26 V. At this time, when the driving voltage supplied to the sensor 200 is lower than 19 V, the sensor may function properly. It can't be done. In addition, when the driving voltage supplied to the sensor 200 is higher than 26 V, excessive voltage is applied to the sensor, which may cause a failure of the sensor.

따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 센서(200)로 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부(130)를 포함하여 센서(200)의 구동 전압을 모니터링함으로써, 구동 전압의 이상을 사전에 검출하고 작업자에게 알람을 제공할 수 있다.Therefore, according to the exemplary embodiment of the present invention, the interface control apparatus 100 includes a voltage detector 130 for detecting a driving voltage supplied to the sensor 200 to monitor the driving voltage of the sensor 200, thereby driving the interface. The abnormality of the voltage can be detected in advance and an alarm can be given to the operator.

여기서, 상기 전압 검출부(130)가 생성하여 출력하는 알람 신호는 상기 센서(200)의 이상을 알리는 신호, 입력부(110) 또는 출력부(120)의 이상을 알리는 신호, 센서(200)의 감지 결과에 따른 신호와 구별될 수 있다.Here, the alarm signal generated and output by the voltage detector 130 may be a signal indicating an abnormality of the sensor 200, a signal indicating an abnormality of the input unit 110 or the output unit 120, and a detection result of the sensor 200. It can be distinguished from the signal according to.

예를 들어, 상기 전압 검출부(130)가 구동 전압을 허용치와 비교하여 출력하는 알람 신호는, 상기 인터페이스 제어 장치(100)와 센서(200)를 연결하는 케이블의 단선, 센서(200) 자체의 고장, 센서(200)의 접촉 불량이나, 센서(200)가 감지하여 출력한 감지 데이터가 허용치를 벗어나 발생하는 알람 신호와 구별될 수 있다. 그 결과, 작업자는 해당 알람이 전원 이상 또는 과다 부하 등으로 인해 발생된 공급 전압의 이상으로부터 기인함을 쉽게 파악할 수 있으며, 그에 따라 공급 전압을 정상화하기 위한 조치를 신속하게 수행할 수 있다.For example, the alarm signal output by comparing the driving voltage with the allowable value by the voltage detector 130 may include disconnection of a cable connecting the interface control device 100 and the sensor 200 and a failure of the sensor 200 itself. For example, the sensor 200 may be poorly contacted or the sensing data detected and output by the sensor 200 may be distinguished from an alarm signal generated outside the allowable value. As a result, the operator can easily grasp that the alarm originates from an abnormality of the supply voltage generated due to an abnormal power supply or an overload, and thus can quickly perform a measure for normalizing the supply voltage.

일 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 기준 전압을 생성하는 기준 전압 생성부, 및 구동 전압을 상기 기준 전압과 비교하여 구동 전압이 기준 전압보다 작아지면 신호를 출력하는 비교부를 포함할 수 있으나, 상기 전압 검출부(130)의 구성은 이에 제한되지 않는다.According to one embodiment, the voltage detector 130 may include a reference voltage generator for generating a reference voltage, and a comparator for outputting a signal when the driving voltage is smaller than the reference voltage by comparing the driving voltage with the reference voltage. However, the configuration of the voltage detector 130 is not limited thereto.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 센서(200)의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.3 is a graph illustrating a process of monitoring the driving voltage of the sensor 200 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다.According to an embodiment of the present disclosure, the voltage detector 130 may generate an alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset allowable range.

예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 기 설정된 허용치, 예컨대 센서(200)의 최소 구동 전압인 19 V 미만으로 감소하는 경우, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하여 출력할 수 있다. 상기 생성된 알람 신호는 출력 장치, 예컨대 모니터나 스피커 등으로 전송되어 작업자에게 구동 전압 이상에 따른 알람 메시지를 제공할 수 있다.For example, as shown in FIG. 3, when the driving voltage supplied to the sensor 200 decreases below a predetermined allowable value, for example, a minimum driving voltage of 19 V of the sensor 200, the voltage detection unit 130. May generate and output an alarm signal indicating the abnormality of the driving voltage. The generated alarm signal may be transmitted to an output device, such as a monitor or a speaker, to provide an operator with an alarm message according to an abnormal driving voltage.

일 실시예에 따르면, 상기 허용치는 센서(200)의 최소 구동 전압보다 더 높게 설정되어, 상기 인터페이스 제어 장치(100)는 센서(200)의 오동작이 발생하기 전에 알람 신호를 제공할 수도 있다.According to one embodiment, the tolerance is set higher than the minimum driving voltage of the sensor 200, the interface control device 100 may provide an alarm signal before the malfunction of the sensor 200 occurs.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 센서(200)의 구동 전압을 모니터링하는 과정을 설명하기 위한 그래프이다.4 is a graph illustrating a process of monitoring a driving voltage of a sensor 200 according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전압 검출부(130)는 복수의 서로 다른 허용치를 기준으로 센서(200)의 구동 전압을 모니터링함으로써, 구동 전압의 변화에 따라 복수의 알람 신호를 제공할 수 있다.As shown in FIG. 4, according to another embodiment of the present invention, the voltage detector 130 monitors the driving voltage of the sensor 200 based on a plurality of different allowable values, and thus the plurality of voltage detection units 130 according to the change of the driving voltage. Can provide an alarm signal.

예를 들어, 상기 전압 검출부(130)는 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용치(예컨대, 22 V)보다 작은 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고, 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용치(예컨대, 20 V)보다 작은 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성할 수 있다.For example, when the driving voltage is smaller than the first allowable value (eg, 22 V), the voltage detector 130 generates a first alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage, and the second driving voltage is preset. When smaller than the allowable value (eg, 20 V), a second alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage may be generated.

이와 같이, 알람 신호 생성의 기준이 되는 허용 범위는 둘 이상으로 설정되어, 구동 전압의 변화에 따라 작업자에게 단계적으로 알람을 제공할 수 있다.In this way, the allowable range for generating the alarm signal is set to two or more, so that the alarm can be provided to the operator step by step according to the change of the driving voltage.

전술한 실시예에서, 상기 전압 검출부(130)는 센서(200)의 구동 전압이 강하하는 경우 알람 신호를 생성하였으나, 실시예에 따라 구동 전압이 상승하여 센서(200)의 최대 구동 전압을 초과하는 경우에도 알람 신호를 제공할 수 있다.In the above-described embodiment, the voltage detector 130 generates an alarm signal when the driving voltage of the sensor 200 drops, but according to the embodiment, the driving voltage increases to exceed the maximum driving voltage of the sensor 200. Even if it can provide an alarm signal.

예를 들어, 센서(200)의 최대 구동 전압이 26 V인 경우, 상기 전압 검출부(130)는 센서(200)로 공급되는 구동 전압이 25 V보다 커지면, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성할 수 있다. 이 실시예에서도 허용치를 복수 개 설정하여 구동 전압의 상승에 따른 알람 신호를 복수 회 제공할 수도 있다.For example, when the maximum driving voltage of the sensor 200 is 26 V, the voltage detector 130 generates an alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage when the driving voltage supplied to the sensor 200 is greater than 25 V. can do. Also in this embodiment, a plurality of allowable values may be set to provide an alarm signal in response to an increase in the driving voltage.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 모니터링 방법을 설명하기 위한 예시적인 흐름도이다.5 is an exemplary flowchart illustrating a driving voltage monitoring method according to an embodiment of the present invention.

이하에서 설명되는 구동 전압 모니터링 방법은 전술한 인터페이스 제어 장치(100), 보다 구체적으로 전압 검출부(130)에 의해 수행될 수 있다.The driving voltage monitoring method described below may be performed by the above-described interface control device 100, more specifically, the voltage detector 130.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동 전압 모니터링 방법(400)은, 인터페이스 제어 장치(100)를 통해 센서(200)로 인가되는 구동 전압을 검출하는 단계(S410), 및 상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 단계(S420)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 5, the driving voltage monitoring method 400 may include detecting a driving voltage applied to the sensor 200 through the interface control apparatus 100 (S410), and the driving voltage may be preset. If out of the allowable range, it may include a step (S420) for generating an alarm signal informing of the abnormality of the driving voltage.

일 실시예에 따르면, 상기 허용 범위는 센서(200)의 구동 전압 범위로 설정될 수 있으나 이에 제한되지 않고, 실시예에 따라 센서의 구동 전압 범위보다 더 좁게 설정될 수도 있다. 예를 들어, 상기 허용 범위는 센서(200)의 최소 구동 전압 내지 최대 구동 전압(예컨대, 19 내지 26 V) 또는 그보다 좁은 범위로 설정될 수 있다.According to an embodiment, the allowable range may be set to a driving voltage range of the sensor 200, but is not limited thereto and may be set to be narrower than the driving voltage range of the sensor. For example, the allowable range may be set to a minimum driving voltage to a maximum driving voltage (eg, 19 to 26 V) or narrower of the sensor 200.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 알람 신호를 생성하는 단계(S420)는, 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계, 및 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.According to another exemplary embodiment of the present disclosure, the generating of the alarm signal (S420) may include generating a first alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset first allowable range; And generating a second alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of the preset second allowable range.

이 경우, 상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁을 수 있다. 예를 들어, 제 1 허용 범위는 22 내지 25 V로 설정되고, 제 2 허용 범위는 20 내지 25.5 V로 설정될 수 있다.In this case, the first allowable range may be narrower than the second allowable range. For example, the first tolerance may be set to 22 to 25V and the second tolerance may be set to 20 to 25.5V.

상기 알람 신호는 모니터, 스피커 등의 출력 장치로 전송되어, 작업자에게 센서의 공급 전압 이상을 알리는 알람 메시지를 제공할 수 있다.The alarm signal may be transmitted to an output device such as a monitor or a speaker to provide an alarm message informing the operator of an abnormal supply voltage of the sensor.

이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.The present invention has been described above by way of examples, but the above embodiments are only intended to illustrate the spirit of the present invention and are not limited thereto. Those skilled in the art will appreciate that various modifications may be made to the embodiments described above. The scope of the invention is defined only by the interpretation of the appended claims.

100: 인터페이스 제어 장치
110: 입력부
120: 출력부
130: 전압 검출부
200: 센서
300: 제어부100: interface control unit
110: input unit
120: output unit
130: voltage detector
200: sensor
300: control unit

Claims (7)

센서와의 인터페이스를 제어하는 장치에 있어서,
상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부;
상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및
상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;
를 포함하는 인터페이스 제어 장치.An apparatus for controlling an interface with a sensor,
An input unit to receive sensing data sensed by the sensor;
An output unit for outputting control data for controlling the sensor; And
A voltage detector detecting a driving voltage supplied to drive the sensor;
Interface control device comprising a. 제 1 항에 있어서,
상기 전압 검출부는:
상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 인터페이스 제어 장치.The method of claim 1,
The voltage detector is:
And generating an alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset allowable range. 제 2 항에 있어서,
상기 전압 검출부는:
상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하고,
상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하며,
상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 좁은 인터페이스 제어 장치.The method of claim 2,
The voltage detector is:
When the driving voltage is out of the first predetermined allowable range, a first alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage is generated.
When the driving voltage is out of the second preset allowable range, a second alarm signal indicating an abnormality of the driving voltage is generated.
And the first allowable range is narrower than the second allowable range. 제 1 항에 있어서,
상기 구동 전압은 상기 인터페이스 제어 장치를 통해 상기 센서로 공급되는 인터페이스 제어 장치.The method of claim 1,
And the driving voltage is supplied to the sensor through the interface control device. 인터페이스 제어 장치를 통해 센서로 인가되는 구동 전압을 검출하는 단계; 및
상기 구동 전압이 기 설정된 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 알람 신호를 생성하는 단계;
를 포함하는 구동 전압 모니터링 방법.Detecting a driving voltage applied to the sensor through the interface control device; And
Generating an alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset allowable range;
Driving voltage monitoring method comprising a. 제 5 항에 있어서,
상기 알람 신호를 생성하는 단계는:
상기 구동 전압이 기 설정된 제 1 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 1 알람 신호를 생성하는 단계; 및
상기 구동 전압이 기 설정된 제 2 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 구동 전압의 이상을 알리는 제 2 알람 신호를 생성하는 단계를 포함하며,
상기 제 1 허용 범위는 상기 제 2 허용 범위보다 더 좁은 구동 전압 모니터링 방법.The method of claim 5,
The generating of the alarm signal may include:
Generating a first alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset first allowable range; And
Generating a second alarm signal informing of an abnormality of the driving voltage when the driving voltage is out of a preset second allowable range;
And said first tolerance is narrower than said second tolerance. 기판을 처리하는 설비에 있어서,
기판을 처리하는 공정 수행 시, 상기 공정에 대한 데이터를 수집하는 센서; 및
상기 센서와의 인터페이스를 제어하는 인터페이스 제어 보드를 포함하며,
상기 인터페이스 제어 보드는:
상기 센서가 감지한 감지 데이터를 입력받는 입력부;
상기 센서를 제어하는 제어 데이터를 출력하는 출력부; 및
상기 센서를 구동하기 위해 공급되는 구동 전압을 검출하는 전압 검출부;
를 포함하는 기판 처리 설비.In a facility for processing a substrate,
A sensor collecting data on the process when performing a process of processing a substrate; And
An interface control board for controlling the interface with the sensor,
The interface control board is:
An input unit to receive sensing data sensed by the sensor;
An output unit for outputting control data for controlling the sensor; And
A voltage detector detecting a driving voltage supplied to drive the sensor;
Substrate processing equipment comprising a.
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