KR102061764B1 - Electrostatic discharge circuit and display device having thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 정전기 방전 회로는, 제1 하부 게이트 전극, 제1 채널층, 제1 소스전극, 제1 드레인 및 상기 제1 하부 게이트 전극과 제1 채널층에 중첩되는 제1 상부 게이트 전극으로 구성된 제1 박막 트랜지스터; 제2 하부 게이트 전극, 제2 채널층, 상기 제1 소스전극, 제2 드레인 전극 및 상기 제2 하부 게이트 전극과 제2 채널층에 중첩되는 제 2 상부 게이트 전극으로 구성된 제2 박막 트랜지스터; 및 제3 하부 게이트 전극, 제3 채널층, 제2 소스전극, 상기 제1 드레인 전극 및 상기 제3 하부 게이트 전극과 제3 채널층에 중첩되는 제3 상부 게이트 전극으로 구성된 제3 박막 트랜지스터를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치는, 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하여, 비구동시 정전기 방전 회로에서 발생되는 누설 전류를 줄인 효과가 있다.
The present invention discloses an electrostatic discharge circuit and a display device having the same. The disclosed electrostatic discharge circuit includes a first lower gate electrode, a first channel layer, a first source electrode, a first drain, and a first upper gate electrode overlapping the first lower gate electrode and the first channel layer. A first thin film transistor; A second thin film transistor including a second lower gate electrode, a second channel layer, the first source electrode, a second drain electrode, and a second upper gate electrode overlapping the second lower gate electrode and the second channel layer; And a third thin film transistor including a third lower gate electrode, a third channel layer, a second source electrode, the first drain electrode, and a third upper gate electrode overlapping the third lower gate electrode and the third channel layer. The first to third upper gate electrodes may be electrically connected to each other.
The electrostatic discharge circuit of the present invention and the display device having the same have the effect of reducing the leakage current generated in the electrostatic discharge circuit when the non-driving thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed on the display display device has a dual gate structure.

Description

정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치{ELECTROSTATIC DISCHARGE CIRCUIT AND DISPLAY DEVICE HAVING THEREOF}Electrostatic discharge circuit and a display device having the same {ELECTROSTATIC DISCHARGE CIRCUIT AND DISPLAY DEVICE HAVING THEREOF}

본 발명은 누설 전류를 감소시키고, 정전기 방전 회로의 설계 면적을 줄일 수 있는 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an electrostatic discharge circuit and a display device having the same capable of reducing leakage current and reducing the design area of the electrostatic discharge circuit.

평판표시소자 중 하나인 액정표시장치는 액체의 유동성과 결정의 광학적 성질을 겸비하는 액정에 전계를 가하여 광학적 이방성을 변화시키는 소자로서, 종래 음극선관(Cathod Ray Tube)에 비해 소비전력이 낮고 부피가 작으며 대형화 및 고정세가 가능하여 널리 사용하고 있다.Liquid crystal display, one of the flat panel display elements, is an element that changes the optical anisotropy by applying an electric field to a liquid crystal that combines the liquidity and the optical properties of the crystal, and has a low power consumption and a large volume as compared to a conventional cathode ray tube. It is small and is widely used because it can be enlarged and fixed.

이와 같은 액정표시장치는 액정의 성질과 패턴의 구조에 따라서 여러 가지 다양한 모드가 있다.Such a liquid crystal display device has a variety of modes depending on the nature of the liquid crystal and the structure of the pattern.

즉, 액정 방향자가 90°트위스트 되도록 배열한 후 전압을 가하여 액정 방향자를 제어하는 TN 모드(Twisted Nematic Mode)와, 한 화소를 여러 도메인으로 나눠 각각의 도메인의 주 시야각 방향을 달리하여 광 시야각을 구현하는 멀티도메인 모드(Multi-Domain Mode)와, 보상필름을 기판 외주면에 부착하여 빛의 진행방향에 따른 빛의 위상변화를 보상하는 OCB 모드(Optically Compensated Birefringence Mode)와, 한 기판 상에 두개의 전극을 형성하여 액정의 방향자가 배향막의 나란한 평면에서 꼬이게 하는 횡전계 방식(In-Plane Switching Mode)과, 네가티브형 액정과 수직배향막을 이용하여 액정 분자의 장축이 배향막 평면에 수직 배열되도록 하는 VA 모드(Vertical Alignment) 등 다양하다.That is, TN mode (Twisted Nematic Mode) for arranging the liquid crystal directors to be twisted by 90 ° and then applying voltage to control the liquid crystal directors, and dividing one pixel into several domains to realize the wide viewing angle by changing the main viewing angle direction of each domain. Multi-Domain Mode, OCB Mode (Optically Compensated Birefringence Mode), which compensates the phase change of light according to the direction of light by attaching a compensation film to the outer peripheral surface of the substrate, and two electrodes on one substrate. In-plane switching mode in which the directors of the liquid crystal are twisted in the parallel plane of the alignment layer, and VA mode in which the long axis of the liquid crystal molecules is vertically aligned with the alignment layer plane by using the negative type liquid crystal and the vertical alignment layer. Vertical Alignment).

특히, 상기 액정표시패널에는 다수개의 게이트 라인들과 다수개의 데이터 라인들을 교차 배열하여 화소 영역들을 정의한다. 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에는 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)가 배치되고, 상기 박막 트랜지스터의 동작에 따라 데이터 라인으로부터 공급되는 데이터 신호를 화소 영역에 배치된 화소 전극에 공급하여 전계를 형성한다.In particular, pixel areas are defined in the LCD panel by arranging a plurality of gate lines and a plurality of data lines. A thin film transistor (TFT) is disposed in an intersection region of the gate line and the data line, and according to the operation of the thin film transistor, a data signal supplied from the data line is supplied to the pixel electrode disposed in the pixel region to supply an electric field. Form.

또한, 액정표시장치의 게이트 라인들과 데이터 라인들 각각에는 외부 정전기(Electrostatic Discharge)에 의한 단락, 단선 및 박막 트랜지스터가 형성된 어레이 영역의 소자 손상을 방지하기 위해 도 5의 등가회로와 같은 정전기 방전 회로가 배치된다.In addition, each of the gate lines and the data lines of the liquid crystal display device has an electrostatic discharge circuit such as an equivalent circuit of FIG. Is placed.

이전 액정표시장치와 같은 디스플레이 장치에는 비정질 실리콘층(a-Si)을 채널층으로 하는 박막 트랜지스터들이 화소 영역 또는 액정표시패널의 패드 영역의 정전기 방전 회로 소자로 사용되었으나, 최근에는 비정질 실리콘층보다 구동시 전류 특성이 우수한 산화물 반도체층(a-IGZO)을 채널층으로 하는 박막 트랜지스터들이 적용되고 있다.In a display device such as a liquid crystal display, thin film transistors having an amorphous silicon layer (a-Si) as a channel layer have been used as an electrostatic discharge circuit element in a pixel region or a pad region of a liquid crystal display panel. Thin film transistors having an oxide semiconductor layer (a-IGZO) as a channel layer having excellent time current characteristics have been applied.

도 1은 종래 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전 회로와 산화물 반도체 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전회로가 구동전압 내에서의 누설 전류 특성을 도시한 그래프이고, 도 2는 종래 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전 회로와 산화물 반도체 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전회로가 오프전압 내에서의 누설 전류 특성을 도시한 그래프이며, 도 3은 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 채널층의 폭과 길이에 따라 정전기 방전 회로의 누설 전류를 비교한 그래프이다.1 is a graph illustrating leakage current characteristics in a driving voltage of an electrostatic discharge circuit composed of conventional amorphous silicon thin film transistors and an oxide semiconductor thin film transistor, and FIG. 2 illustrates a conventional amorphous silicon thin film transistors. The electrostatic discharge circuit composed of the electrostatic discharge circuit and the oxide semiconductor thin film transistors is a graph showing the leakage current characteristics in the off voltage, Figure 3 is a graph of the electrostatic discharge circuit according to the width and length of the channel layer of the oxide semiconductor thin film transistor A graph comparing leakage current.

A1 내지 A3는 산화물 반도체 박막 트랜지스터들을 적용한 정전기 방전 회로이고, B는 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들을 적용한 정전기 방전 회로이다.A1 to A3 are electrostatic discharge circuits applying oxide semiconductor thin film transistors, and B is an electrostatic discharge circuit applying amorphous silicon thin film transistors.

또한, A1의 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 채널 폭(W)과 길이(L)는 4/25㎛, A2는 4/40㎛, A3는 4/75㎛이며, B는 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 채널 폭(W)과 길이(L)는 10/20㎛이다.In addition, the channel width (W) and length (L) of the oxide semiconductor thin film transistor of A1 are 4/25 μm, A2 is 4/40 μm, A3 is 4/75 μm, and B is the channel width of the amorphous silicon thin film transistor ( W) and the length L are 10/20 micrometers.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 도 1과 같이 데이터 라인과 게이트 라인에 공급되는 구동 전압을 6V~20V 범위에서 산화물 반도체 박막 트랜지스터들을 구비한 정전기 방전 회로(A1)가 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들을 구비한 정전기 방지 회로(B)보다 높은 전류 특성을 보이는 것을 볼 수 있다. 1 to 3, as shown in FIG. 1, the electrostatic discharge circuit A1 including the oxide semiconductor thin film transistors having a driving voltage supplied to the data line and the gate line in a range of 6V to 20V includes the amorphous silicon thin film transistors. It can be seen that the current characteristics are higher than the antistatic circuit (B).

이러한, 이유는 산화물 반도체층의 전자 이동도가 비정질 실리콘보다 높기 때문에 발생하는 것인데(도 2), 반대로 오프전압(비구동전압: 대략 6V이하) 영역에서는 상대적으로 누설전류가 산화물 반도체층을 포함하는 정전기 방전 회로에서 더 큰 것을 볼 수 있다. This is because the electron mobility of the oxide semiconductor layer is higher than that of amorphous silicon (FIG. 2). On the contrary, in the off voltage (non-driving voltage: approximately 6V or less) region, the leakage current includes the oxide semiconductor layer. Larger ones can be seen in the electrostatic discharge circuit.

도 3에 도시된 바와 같이, 비정질 실리콘 박막 트랜지스터를 사용한 정전기 방전 회로(B)와 유사한 채널 폭과 길이를 갖는 A1(4/25㎛)의 박막 트랜지스터를 사용할 경우, 누설 전류가 4배 더 큰 것을 볼 수 있다.As shown in Fig. 3, when using the thin film transistor of A1 (4/25 mu m) having a channel width and length similar to that of the electrostatic discharge circuit B using the amorphous silicon thin film transistor, the leakage current is 4 times larger. can see.

이와 같이, 누설 전류가 크게 되면 소비 전력이 증가하기 때문에 누설 전류를 줄일 필요가 있는데, 도 3의 그래프를 토대로 볼 때, 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 사용할 경우, 비정질 실리콘 박막 트랜지스터와 유사한 수준으로 누설 전류를 낮추기 위해서는 A3(4/75㎛)와 같이 산화물 반도체의 채널층 길이(L)를 75㎛까지 확장 형성해야하는 문제가 발생한다.As such, when the leakage current increases, power consumption increases, so it is necessary to reduce the leakage current. Based on the graph of FIG. 3, when the oxide semiconductor thin film transistor is used, the leakage current is reduced to a level similar to that of the amorphous silicon thin film transistor. In order to reduce, a problem arises in that the channel layer length L of the oxide semiconductor must be extended to 75 µm, such as A3 (4/75 µm).

또한, 산화물 반도체의 채널층의 길이(L)가 길어지면, 설계 면적의 제한으로 고해상도 표시장치를 구현하기 어렵다.
In addition, when the length L of the channel layer of the oxide semiconductor is long, it is difficult to implement a high resolution display device due to the limitation of the design area.

본 발명은, 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하여, 비구동시 정전기 방전 회로에서 발생되는 누설 전류를 줄인 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides a electrostatic discharge circuit and a display device having the same by reducing the leakage current generated in the electrostatic discharge circuit when the non-driven thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed on the display display device in a dual gate structure. There is this.

또한, 본 발명은, 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하고, 게이트 구동 전압과 반대 전압을 상부 게이트 전극에 인가하여 정전기 방전 회로의 누설 전류를 방지한 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
The present invention also provides an electrostatic discharge in which a thin film transistor of an electrostatic discharge circuit formed in a display display device is formed in a dual gate structure, and a leakage current of the electrostatic discharge circuit is prevented by applying a voltage opposite to the gate driving voltage to the upper gate electrode. Another object is to provide a circuit and a display device having the same.

상기와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 정전기 방전 회로는, 제1 하부 게이트 전극, 제1 채널층, 제1 소스전극, 제1 드레인 및 상기 제1 하부 게이트 전극과 제1 채널층에 중첩되는 제1 상부 게이트 전극으로 구성된 제1 박막 트랜지스터; 제2 하부 게이트 전극, 제2 채널층, 상기 제1 소스전극, 제2 드레인 전극 및 상기 제2 하부 게이트 전극과 제2 채널층에 중첩되는 제 2 상부 게이트 전극으로 구성된 제2 박막 트랜지스터; 및 제3 하부 게이트 전극, 제3 채널층, 제2 소스전극, 상기 제1 드레인 전극 및 상기 제3 하부 게이트 전극과 제3 채널층에 중첩되는 제3 상부 게이트 전극으로 구성된 제3 박막 트랜지스터를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.The electrostatic discharge circuit of the present invention for solving the above problems of the prior art, the first lower gate electrode, the first channel layer, the first source electrode, the first drain and the first lower gate electrode and the first channel layer. A first thin film transistor including a first upper gate electrode overlapping the first thin film transistor; A second thin film transistor including a second lower gate electrode, a second channel layer, the first source electrode, a second drain electrode, and a second upper gate electrode overlapping the second lower gate electrode and the second channel layer; And a third thin film transistor including a third lower gate electrode, a third channel layer, a second source electrode, the first drain electrode, and a third upper gate electrode overlapping the third lower gate electrode and the third channel layer. The first to third upper gate electrodes may be electrically connected to each other.

또한, 본 발명의 정전기 방전 회로를 구비한 디스플레이 장치는, 복수개의 게이트 라인들과 데이터 라인들 및 이들에 의해 정의되는 화소 영역을 포함하는 액정표시패널; 상기 액정표시패널에 표시신호를 공급하는 게이트 구동부와 데이터 구동부; 상기 액정표시패널에 광원을 공급하는 백라이트 유닛; 상기 게이트 구동부와 데이터 구동부 및 백라이트 유닛에 표시신호와 제어신호를 공급하는 신호 제어부; 및 상기 액정표시패널에는 상기 복수개의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각에 연결된 적어도 하나 이상의 정전기 방전 회로를 포함하고, 상기 정전기 방전 회로의 일측단은 상기 복수개의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각에 연결되고, 타측단은 공통라인에 연결된 것을 특징으로 한다.
In addition, a display device including an electrostatic discharge circuit according to the present invention includes a liquid crystal display panel including a plurality of gate lines and data lines and a pixel region defined by them; A gate driver and a data driver supplying a display signal to the liquid crystal display panel; A backlight unit supplying a light source to the liquid crystal display panel; A signal controller supplying a display signal and a control signal to the gate driver, the data driver, and the backlight unit; And at least one electrostatic discharge circuit connected to each of the plurality of gate lines and data lines, wherein one end of the electrostatic discharge circuit is connected to each of the plurality of gate lines and data lines. And, the other end is characterized in that connected to the common line.

본 발명의 정전기 방전 회로 및 이를 구비한 디스플레이 장치는, 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하여, 비구동시 정전기 방전 회로에서 발생되는 누설 전류를 줄인 효과가 있다.The electrostatic discharge circuit of the present invention and the display device having the same have the effect of reducing the leakage current generated in the electrostatic discharge circuit when the non-driving thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed on the display display device in a dual gate structure.

또한, 본 발명은, 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하고, 게이트 구동 전압과 반대 전압을 상부 게이트 전극에 인가하여 정전기 방전 회로의 누설 전류를 방지한 효과가 있다.
In addition, the present invention has the effect of forming the thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed in the display display device in a dual gate structure, and applying a voltage opposite to the gate driving voltage to the upper gate electrode to prevent leakage current of the electrostatic discharge circuit. have.

도 1은 종래 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전 회로와 산화물 반도체 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전회로가 구동전압 내에서의 누설 전류 특성을 도시한 그래프이다.
도 2는 종래 비정질 실리콘 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전 회로와 산화물 반도체 박막 트랜지스터들로 구성된 정전기 방전회로가 오프전압 내에서의 누설 전류 특성을 도시한 그래프이다.
도 3은 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 채널층의 폭과 길이에 따라 정전기 방전 회로의 누설 전류를 비교한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 액정표시장치의 구조를 도시한 블럭도이다.
도 5는 도 4의 정전기 방전 회로의 등가 회로도이다.
도 6은 본 발명에 따른 정전기 방전 회로의 구조를 도시한 도면이다.
도 7은 도 6의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 정전기 방전 회로에 사용되는 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압 특성을 도시한 그래프이다.
도 9는 본 발명의 정전기 방전 회로의 전류 특성을 도시한 그래프이다.
도 10은 상기 도 9의 X 영역을 확대한 도면이다.
도 11은 본 정전기 방전 회로의 방전 특성을 도시한 그래프이다.
도 12는 본 발명의 정전기 방전 회로에 형성되는 듀얼 게이트 구조 박막 트랜지스터의 채널층 길이에 따른 전류 특성을 도시한 그래프이다.
도 13은 본 발명의 정전기 방전 회로에 형성되는 듀얼 게이트 구조 박막 트랜지스터의 채널층 길이에 따른 방전 특성을 도시한 그래프이다.
1 is a graph illustrating leakage current characteristics within a driving voltage of a conventional static discharge circuit composed of amorphous silicon thin film transistors and an electrostatic discharge circuit composed of oxide semiconductor thin film transistors.
2 is a graph illustrating leakage current characteristics in an off voltage of a conventional static discharge circuit composed of amorphous silicon thin film transistors and an electrostatic discharge circuit composed of oxide semiconductor thin film transistors.
3 is a graph comparing leakage current of an electrostatic discharge circuit according to a width and a length of a channel layer of an oxide semiconductor thin film transistor.
4 is a block diagram showing the structure of a liquid crystal display of the present invention.
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the electrostatic discharge circuit of FIG. 4.
6 is a view showing the structure of an electrostatic discharge circuit according to the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 6.
8 is a graph showing the threshold voltage characteristics of the oxide semiconductor thin film transistor used in the electrostatic discharge circuit of the present invention.
9 is a graph showing the current characteristics of the electrostatic discharge circuit of the present invention.
FIG. 10 is an enlarged view of region X of FIG. 9.
11 is a graph showing discharge characteristics of the electrostatic discharge circuit.
12 is a graph showing current characteristics according to channel layer length of a dual gate structure thin film transistor formed in an electrostatic discharge circuit of the present invention.
FIG. 13 is a graph showing discharge characteristics of channel layers of dual gate structure thin film transistors formed in the electrostatic discharge circuit of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.

또한, 여기서는 액정표시장치를 중심으로 설명하지만, 유기발광표시장치와 같은 평판형 디스플레이 장치에도 동일하게 적용할 수 있다.In addition, although a liquid crystal display device will be described here, the same applies to a flat panel display device such as an organic light emitting display device.

도 4는 본 발명의 액정표시장치의 구조를 도시한 블럭도이다.4 is a block diagram showing the structure of a liquid crystal display of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 액정표시장치는 액정표시패널(30)과 이에 연결된 게이트 구동부(40) 및 데이터 구동부(50), 데이터 구동부(50)에 연결된 계조 전압 생성부(80)와 DC-DC 변환부(91), DC-DC 변환부(91)에 연결된 광원부(92)로 구성된 백라이트 유닛 그리고 이들을 제어하는 신호 제어부(60)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the liquid crystal display according to the present invention includes a liquid crystal display panel 30, a gate driver 40, a data driver 50, and a gray voltage generator 80 connected to the data driver 50. The backlight unit includes a DC-DC converter 91, a light source unit 92 connected to the DC-DC converter 91, and a signal controller 60 for controlling the backlight unit.

액정표시패널(30)은 등가 회로로 볼 때 복수의 게이트 라인들과 데이터 라인들(G1-Gn, D1-Dm)과 이에 연결되어 있으며 대략 행렬의 형태로 배열된 복수의 화소(P: pixel)들을 포함한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만 액정표시패널(30)은 서로 마주 보는 하부 및 상부 기판과 둘 사이에 들어 있는 액정층을 포함한다. 상기 하부 기판은 화소전극과 박막트랜지스터를 포함하는 기판이고, 상부 기판은 컬러필터층을 포함하는 기판이다.In the equivalent circuit, the liquid crystal display panel 30 is connected to a plurality of gate lines and data lines G1 -Gn and D1 -Dm, and a plurality of pixels P arranged in a substantially matrix form. Include them. In addition, although not shown in the drawings, the liquid crystal display panel 30 includes a lower and upper substrate facing each other and a liquid crystal layer interposed between the two. The lower substrate is a substrate including a pixel electrode and a thin film transistor, and the upper substrate is a substrate including a color filter layer.

게이트 라인들(G1-Gn)은 대략 행 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터 라인들(D1-Dm)은 대략 열 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하다.The gate lines G1 -Gn extend substantially in the row direction and are substantially parallel to each other, and the data lines D1 -Dm extend substantially in the column direction and are substantially parallel to each other.

각 화소는 게이트 라인(G1-Gn) 및 데이터 라인(D1-Dm)에 연결된 스위칭 소자(Q: TFT)와 이에 연결된 액정 축전기(liquid crystal capacitor)(CLC) 및 스토리지 축전기(storage capacitor)(CST)를 포함한다. 스토리지 축전기는 화소 영역에 인가된 데이터 신호를 일정기간 유지하는 기능을 한다.Each pixel includes a switching element Q (TFT) connected to a gate line (G1-Gn) and a data line (D1-Dm), a liquid crystal capacitor (CLC), and a storage capacitor (CST) connected thereto. It includes. The storage capacitor functions to maintain a data signal applied to the pixel region for a predetermined time.

각 화소의 스위칭 소자(Q)는 게이트 라인(G1-Gn)에 연결되어 있는 제어 단자, 데이터 라인(D1-Dm)에 연결되어 있는 입력 단자, 그리고 액정 축전기(CLC) 및 스토리지 축전기(CST)에 연결되어 있는 출력 단자를 가지는 삼단자 소자이다.The switching element Q of each pixel is connected to a control terminal connected to the gate lines G1 -Gn, an input terminal connected to the data lines D1 -Dm, and a liquid crystal capacitor CLC and a storage capacitor CST. It is a three-terminal device with an output terminal connected.

상기 액정표시패널(30)에 광원을 공급하는 백라이트 유닛은 DC-DC 변환부(91)와 광원부(92)를 포함하며, 상기 DC-DC 변환부(91)는 신호 제어부(60)로부터 직류 전압과 제어신호를 공급받아 상기 광원부(92)에 실장되어 있는 다수개의 LED들 또는 램프들을 구동시킨다. 본 발명에서의 상기 DC-DC 변환부(91)는 신호 제어부(60)와 게이트 구동부(40) 및 데이터 구동부(50) 등이 실장되는 내부 인쇄회로기판 상에 실장되고, 광원부(92)는 리플 제거 커패시터와 함께 외부 인쇄회로기판 상에 실장된다.The backlight unit for supplying a light source to the liquid crystal display panel 30 includes a DC-DC converter 91 and a light source 92, and the DC-DC converter 91 is a direct current voltage from the signal controller 60. And a control signal to drive a plurality of LEDs or lamps mounted on the light source unit 92. In the present invention, the DC-DC converter 91 is mounted on an internal printed circuit board on which the signal controller 60, the gate driver 40, the data driver 50, and the like are mounted, and the light source 92 is ripple. It is mounted on an external printed circuit board with a removal capacitor.

또한, 본 발명에는 상기 게이트 라인들(G1,...Gn)과 데이터 라인들(D1,..Dn) 각각에 정전기 방전 회로(ESD)가 배치되어 있다. 상기 게이트 라인들과 데이터 라인들 각각에 형성된 상기 정전기 방전 회로(ESD)는 각 라인당 2개 이상의 정전기 방전 회로(ESD)들이 직렬로 연결될 수 있다.In addition, in the present invention, an electrostatic discharge circuit ESD is disposed in each of the gate lines G1, ... Gn and the data lines D1, .. Dn. In the electrostatic discharge circuit ESD formed in each of the gate lines and the data lines, two or more electrostatic discharge circuits ESD may be connected in series.

도면에서는 정전기 방전 회로(ESD)가 직렬로 연결된 구조만 도시되었으나, 정전기 방전 회로(ESD)들을 각각 게이트 라인들 또는 데이터 라인들과 병렬로 연결할 수도 있다.Although only the structure in which the electrostatic discharge circuit ESD is connected in series is shown, the electrostatic discharge circuits ESD may be connected in parallel with the gate lines or the data lines, respectively.

상기 정전기 방전 회로(ESD)들이 직렬로 연결된 경우에는 일측 단자는 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인의 일측 가장자리에 연결되고, 타측 단자는 액정표시패널(30)에 형성되는 공통라인(Vcom) 또는 그라운드(GND)와 연결될 수 있다. 하지만, 정전기 방전 회로(ESD)의 타측 단자는 경우에 따라서는 데이터 구동부(50) 또는 게이트 구동부(40)에서 기준전압을 공급할 수 있는 신호라인과 연결될 수 있다.When the electrostatic discharge circuits ESD are connected in series, one terminal is connected to one edge of the gate line or data line, and the other terminal is a common line Vcom or ground GND formed in the liquid crystal display panel 30. ) Can be connected. However, the other terminal of the electrostatic discharge circuit ESD may be connected to a signal line capable of supplying a reference voltage from the data driver 50 or the gate driver 40.

또한, 상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 정전기 방전 회로(ESD)들이 적어도 두 개 이상인 경우, 각각 병렬로 연결할 수 있다. 이 경우에는 전원전압(VDD) 또는 게이트 로우 전압(VGL) 공급 라인과 연결할 수 있다.In addition, when at least two electrostatic discharge circuits (ESD) are connected to the gate line or the data line, they may be connected in parallel. In this case, it may be connected to a power supply voltage VDD or a gate low voltage VGL supply line.

또한, 본 발명의 화소 영역에 형성되는 스위칭 소자와 정전기 방전 회로에 형성되는 박막 트랜지스터들은 산화물 반도체(a-IGZO)를 채널층으로 갖는다. 또한, 정전기 방전 회로에 형성되는 산화물 반도체 박막 트랜지스터는 채널층의 하부에 하부 게이트 전극이 형성되고, 채널층의 상부에 상부 게이트 전극이 형성되는 듀얼 게이트 구조로 형성될 수 있다.In addition, the switching elements formed in the pixel region of the present invention and the thin film transistors formed in the electrostatic discharge circuit have an oxide semiconductor (a-IGZO) as a channel layer. In addition, the oxide semiconductor thin film transistor formed in the electrostatic discharge circuit may have a dual gate structure in which a lower gate electrode is formed below the channel layer and an upper gate electrode is formed above the channel layer.

또한, 본 발명의 정전기 방전 회로의 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 상부 게이트 전극들은 서로 전기적으로 연결되어 있고, 상기 게이트 구동부(40) 또는 데이터 구동부(50)로부터 하부 게이트 전극과 반대의 전압을 공급받는다. 이로 인하여, 정전기 방전 회로에 형성되는 산화물 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)을 ΔV 만큼 시프트(Shift) 시켜 정전기 방전 회로(ESD)의 누설 전류를 줄였다.In addition, the upper gate electrodes of the oxide semiconductor thin film transistor of the electrostatic discharge circuit of the present invention are electrically connected to each other and receive a voltage opposite to the lower gate electrode from the gate driver 40 or the data driver 50. Thus, the threshold voltage Vth of the oxide thin film transistor formed in the electrostatic discharge circuit is shifted by ΔV to reduce the leakage current of the electrostatic discharge circuit ESD.

도 5는 도 4의 정전기 방전 회로의 등가 회로도이고, 도 6은 본 발명에 따른 정전기 방전 회로의 구조를 도시한 도면이며, 도 7은 도 6의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도이다.FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the electrostatic discharge circuit of FIG. 4, FIG. 6 is a diagram illustrating the structure of the electrostatic discharge circuit according to the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 6.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 정전기 방전 회로(ESD)는 제1 박막 트랜지스터(T1), 제2 박막 트랜지스터(T2) 및 제3 박막 트랜지스터(T3)로 구성될 수 있다. 5 to 7, the electrostatic discharge circuit ESD may include a first thin film transistor T1, a second thin film transistor T2, and a third thin film transistor T3.

상기 제1 박막 트랜지스터(T1)의 소스 전극은 제 2 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 전극과 연결되고, 게이트 전극은 제2 박막 트랜지스터(T2)의 드레인 전극 및 제 3 박막 트랜지스터의 소스 전극과 전기적으로 연결되며, 드레인 전극은 제3 박막 트랜지스터(T3)의 게이트 전극 및 드레인 전극과 전기적으로 연결된다.The source electrode of the first thin film transistor T1 is connected to the gate electrode of the second thin film transistor T2, and the gate electrode is electrically connected to the drain electrode of the second thin film transistor T2 and the source electrode of the third thin film transistor T2. The drain electrode is electrically connected to the gate electrode and the drain electrode of the third thin film transistor T3.

상기 제2 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극은 제1 박막 트랜지스터(T1)의 소스 전극 및 제2 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 전극과 접속된다.The source electrode of the second thin film transistor T2 is connected to the source electrode of the first thin film transistor T1 and the gate electrode of the second thin film transistor T2.

또한, 상기 제3 박막 트랜지스터(T3)의 게이트 전극은 제1 박막 트랜지스터(T1)의 드레인 전극 및 제3 박막 트랜지스터(T3)의 드레인 전극과 접속된다.In addition, the gate electrode of the third thin film transistor T3 is connected to the drain electrode of the first thin film transistor T1 and the drain electrode of the third thin film transistor T3.

상기 각각의 박막 트랜지스터들(T1, T2, T3)을 중심으로 각각의 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극으로 명명되었지만, 도 6을 보면 제1 박막 트랜지스터(T1)의 소스 전극과 제2 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극은 일체로 하나의 전극으로 형성된다. 또한, 제1 박막 트랜지스터(T1)의 드레인 전극은 제3 박막 트랜지스터(T3)의 드레인 전극과 일체로 형성된다. 따라서, 이들 전극은 하나의 제1 소스 전극(117)과 제1 드레인 전극(118)으로 표현하지만, 두 개의 박막 트랜지스터에 대한 소스 전극 또는 드레인 전극 역할을 한다.Although each of the thin film transistors T1, T2, and T3 is named as a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode, referring to FIG. 6, the source electrode and the second thin film transistor (T1) of the first thin film transistor T1 ( The source electrode of T2) is formed integrally with one electrode. In addition, the drain electrode of the first thin film transistor T1 is integrally formed with the drain electrode of the third thin film transistor T3. Thus, these electrodes are represented by one first source electrode 117 and first drain electrode 118, but serve as source or drain electrodes for two thin film transistors.

상기와 같은 구조를 갖는 정전기 방전 회로(ESD)는 일측 단자가 게이트 라인 또는 데이터 라인과 접속되고, 타측 단자는 액정표시장치의 공통라인(Vcom)과 접속된다.In the electrostatic discharge circuit ESD having the above structure, one terminal is connected to the gate line or the data line, and the other terminal is connected to the common line Vcom of the liquid crystal display device.

도 6을 참조하면, 정전기 방전 회로(ESD)의 제1 박막 트랜지스터(T1)는 제1 하부 게이트 전극(101), 제1 채널층(114), 제1 소스 전극(117) 및 제1 드레인 전극(118)으로 구성되고, 제2 박막 트랜지스터(T2)는 제2 하부 게이트 전극(201), 제2 채널층(214), 제1 소스 전극(117) 및 제2 드레인 전극(217)으로 구성된다.Referring to FIG. 6, the first thin film transistor T1 of the electrostatic discharge circuit ESD includes the first lower gate electrode 101, the first channel layer 114, the first source electrode 117, and the first drain electrode. 118, and the second thin film transistor T2 includes a second lower gate electrode 201, a second channel layer 214, a first source electrode 117, and a second drain electrode 217. .

또한, 제3 박막 트랜지스터(T3)는 제3 하부 게이트 전극(301), 제3 채널층(314), 제2 소스 전극(218) 및 제1 드레인 전극(118)으로 구성된다. 상기 제2 드레인 전극(217)과 제 2 소스 전극(218)은 일체로 형성되어 있고, 전기적으로 접속되어 있다.In addition, the third thin film transistor T3 includes a third lower gate electrode 301, a third channel layer 314, a second source electrode 218, and a first drain electrode 118. The second drain electrode 217 and the second source electrode 218 are integrally formed and electrically connected.

상기 제1 소스 전극(117)은 도 5의 등가 회로에서 제1 박막 트랜지스터(T1)와 제2 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극 역할을 하고, 상기 제1 드레인 전극(118)은 도 5의 등가 회로에서 제1 박막 트랜지스터(T1)와 제3 박막 트랜지스터(T3)의 드레인 전극 역할을 한다.The first source electrode 117 serves as a source electrode of the first thin film transistor T1 and the second thin film transistor T2 in the equivalent circuit of FIG. 5, and the first drain electrode 118 is equivalent to that of FIG. 5. The circuit serves as a drain electrode of the first thin film transistor T1 and the third thin film transistor T3.

또한, 상기 제1 소스 전극(117)과 제2 하부 게이트 전극(201)은 제1 콘택홀(C1)을 통하여 전기적으로 연결되어 있고, 상기 제1 하부 게이트 전극(101)은 제2 콘택홀(C2)을 통해 제2 소스 전극(218) 및 제2 드레인 전극(217)들과 전기적으로 접속되어 있다.In addition, the first source electrode 117 and the second lower gate electrode 201 are electrically connected to each other through a first contact hole C1, and the first lower gate electrode 101 is connected to a second contact hole ( It is electrically connected to the second source electrode 218 and the second drain electrode 217 through C2).

또한, 본 발명의 정전기 방전 회로(ESD)의 제1 박막 트랜지스터(T1), 제2 박막 트랜지스터(T2) 및 제3 박막 트랜지스터(T3)에는 각각 제1, 2, 3 상부 게이트 전극들(150, 250, 350)이 형성되어 있다. 즉, 제1, 2, 3 박막 트랜지스터(T1, T2, T3)들은 각각 하부 게이트 전극과 상부 게이트 전극을 구비하는 듀얼 게이트 구조로 형성된다.In addition, the first thin film transistor T1, the second thin film transistor T2, and the third thin film transistor T3 of the electrostatic discharge circuit ESD of the present invention may have first, second, and third upper gate electrodes 150, respectively. 250 and 350 are formed. That is, the first, second, and third thin film transistors T1, T2, and T3 are each formed in a dual gate structure having a lower gate electrode and an upper gate electrode.

상기 제1, 2, 3 상부 게이트 전극들(150, 250, 350)은 각각 제1, 2, 3 연결부(211, 212, 213)에 의해 전기적으로 연결되어 있다. 또한, 전기적으로 서로 연결된 제 1, 2, 3 상부 게이트 전극들(150, 250, 350)은 제 4 연결부(214)에 의해 제어신호라인(220)과 전기적으로 연결되어 있다. 도면에서는 도시하였지만, 설명하지 않은 RA는 에치스토퍼층이 제거된 영역을 지칭한다.The first, second, and third upper gate electrodes 150, 250, and 350 are electrically connected to each other by the first, second, and third connectors 211, 212, and 213, respectively. In addition, the first, second, and third upper gate electrodes 150, 250, and 350 that are electrically connected to each other are electrically connected to the control signal line 220 by a fourth connector 214. Although not shown in the drawings, RA, which is not described, refers to a region from which an etch stopper layer is removed.

도 7을 참조하면, 본 발명의 정전기 방전 회로(ESD)의 제3 박막 트랜지스터(T3)는 기판(100) 상에 금속막을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 제3 하부 게이트 전극(301)을 형성하고, 상기 제3 하부 게이트 전극(301)이 형성된 기판(100) 상에 게이트 절연막(302)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(302)은 SiNx 계열의 절연막 또는 SiO2 계열의 절연막으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7, the third thin film transistor T3 of the electrostatic discharge circuit ESD of the present invention forms a metal film on the substrate 100 and then performs a mask process to form the third lower gate electrode 301. The gate insulating layer 302 is formed on the substrate 100 on which the third lower gate electrode 301 is formed. The gate insulating film 302 may be formed of an SiNx based insulating film or an SiO 2 based insulating film.

상기 제3 하부 게이트 전극(301)이 형성될 때, 도 6에 도시한 제1, 2 박막 트랜지스터(T1, T2)의 제1 하부 게이트 전극(101), 제2 하부 게이트 전극(201)이 동시에 형성된다. 즉, 도 7은 제3 박막 트랜지스터(T3)의 단면도이지만, 제1, 2 박막 트랜지스터들(T1, T2)의 동일한 구성 명칭은 함께 형성된다.When the third lower gate electrode 301 is formed, the first lower gate electrode 101 and the second lower gate electrode 201 of the first and second thin film transistors T1 and T2 shown in FIG. 6 are simultaneously connected. Is formed. That is, FIG. 7 is a cross-sectional view of the third thin film transistor T3, but the same configuration names of the first and second thin film transistors T1 and T2 are formed together.

상기 제3 하부 게이트 전극(301)은 알루미늄(aluminium; Al), 알루미늄 합금(Al alloy), 텅스텐(tungsten; W), 구리(copper; Cu), 니켈(nickel; Ni), 크롬(chromium; Cr), 몰리브덴(molybdenum; Mo), 티타늄(titanium; Ti), 백금(platinum; Pt), 탄탈(tantalum; Ta) 등과 같은 저저항 불투명 도전물질을 사용할 수 있다. 또한, 인듐-틴-옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO), 인듐-징크-옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO) 등의 투명한 도전물질과 불투명 도전물질이 적층된 다층 구조로 형성할 수 있다.The third lower gate electrode 301 is made of aluminum (Al), aluminum alloy (Al alloy), tungsten (W), copper (Cu), nickel (Ni), and chromium (Cr). ), Low resistance opaque conductive materials such as molybdenum (Mo), titanium (Ti), platinum (Pt), tantalum (Ta), and the like may be used. In addition, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) and an opaque conductive material may be formed in a multilayered structure.

상기와 같이, 제3 하부 게이트 전극(301)과 게이트 절연막(302)이 기판(100) 상에 형성되면, 기판(100) 전면에 산화물 반도체층을 형성한 다음, 이를 패터닝하여 상기 제3 하부 게이트 전극(301)과 중첩되도록 상기 게이트 절연막(302) 상에 제 3 채널층(314)을 형성한다.As described above, when the third lower gate electrode 301 and the gate insulating layer 302 are formed on the substrate 100, an oxide semiconductor layer is formed on the entire surface of the substrate 100, and then patterned to form the third lower gate. A third channel layer 314 is formed on the gate insulating layer 302 so as to overlap the electrode 301.

상기 산화물 반도체층은 인듐(In), 아연(Zn), 갈륨(Ga) 또는 하프늄(Hf) 중 적어도 하나를 포함하는 비정질 산화물로 이루어질 수 있다. 예컨대 스퍼터링 (sputtering) 공정으로 Ga-In-Zn-O 산화물 반도체를 형성할 경우, In2O3, Ga2O3 및 ZnO 로 형성된 각각의 타겟을 이용하거나, Ga-In-Zn 산화물의 단일 타겟을 이용할 수 있다. 또한, 스퍼터링 (sputtering) 공정으로 hf-In-Zn-O 산화물 반도체를 형성할 경우, HfO2, In2O3 및 ZnO로 형성된 각각의 타겟을 이용하거나, Hf-In-Zn 산화물의 단일 타겟을 이용할 수 있다.The oxide semiconductor layer may be formed of an amorphous oxide including at least one of indium (In), zinc (Zn), gallium (Ga), or hafnium (Hf). For example, when the Ga-In-Zn-O oxide semiconductor is formed by a sputtering process, each target formed of In 2 O 3, Ga 2 O 3, and ZnO may be used, or a single target of Ga—In—Zn oxide may be used. In addition, when the hf-In-Zn-O oxide semiconductor is formed by a sputtering process, each target formed of HfO 2, In 2 O 3, and ZnO may be used, or a single target of Hf—In—Zn oxide may be used.

상기와 같이, 기판(100) 상에 제3 채널층(314)이 형성되면, 기판(100) 전면에 절연층을 형성한 다음, 마스크 공정을 진행하여 에치스톱퍼 패턴(305)을 형성한다. 상기 에치스톱퍼 패턴(305)은 상기 제3 채널층(314) 중앙에 형성되고, 제3 채널층(314)과 일정거리 이격된 영역에도 형성된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 에치스톱퍼 패턴(305)은 소정의 패터닝 공정을 통하여 제 3 채널층(314)과 제1 드레인 전극(118) 및 제2 소스 전극(218)과 평행한 방향을 따라 게이트 절연막(302)이 노출된 영역(RA)이 형성된다.As described above, when the third channel layer 314 is formed on the substrate 100, an insulating layer is formed on the entire surface of the substrate 100, and then a etch stopper pattern 305 is formed by performing a mask process. The etch stopper pattern 305 is formed in the center of the third channel layer 314, and is also formed in a region spaced a predetermined distance from the third channel layer 314. That is, as shown in FIG. 6, the etch stopper pattern 305 is parallel to the third channel layer 314, the first drain electrode 118, and the second source electrode 218 through a predetermined patterning process. Accordingly, the region RA where the gate insulating layer 302 is exposed is formed.

이와 같은 구조는 제1 및 제2 박막 트랜지스터(T1, T2) 영역에서도 동일하게 형성된다.This structure is similarly formed in the first and second thin film transistors T1 and T2.

상기와 같이, 에치스톱퍼 패턴(305)이 기판(100) 상에 형성되면, 기판(100)의 전면에 소스/드레인 금속막을 형성하고, 이후 마스크 공정을 이용하여 제2 소스 전극(218) 및 제1 드레인 전극(118)을 형성한다. 특히, 도 6과 함께 참조하면, 상기 제1 드레인 전극(118)은 제3 콘택홀을 통하여 하부의 제3 하부 게이트 전극(301)과 전기적으로 콘택되어 있다.As described above, when the etch stopper pattern 305 is formed on the substrate 100, a source / drain metal film is formed on the entire surface of the substrate 100, and then the second source electrode 218 and the second source electrode 218 are formed using a mask process. One drain electrode 118 is formed. In particular, referring to FIG. 6, the first drain electrode 118 is electrically contacted with the third lower gate electrode 301 through the third contact hole.

상기 소스/드레인 금속막은 알루미늄, 알루미늄 합금, 텅스텐, 구리, 니켈, 크롬, 몰리브덴, 티타늄, 백금, 탄탈 등과 같은 저저항 불투명 도전물질을 사용할 수 있다. 또한, 인듐-틴-옥사이드, 인듐-징크-옥사이드와 같은 투명한 도전물질과 불투명 도전물질이 적층된 다층 구조로 형성할 수 있다.The source / drain metal layer may use a low resistance opaque conductive material such as aluminum, aluminum alloy, tungsten, copper, nickel, chromium, molybdenum, titanium, platinum, tantalum, or the like. In addition, a transparent conductive material such as indium tin oxide and indium zinc oxide and an opaque conductive material may be formed in a multilayered structure.

상기와 같이, 제2 소스 전극(218)과 제1 드레인 전극(118)이 기판(100) 상에 형성되면, 기판(100)의 전면에 보호막(309)을 형성하고, 이후 평탄화를 위하여 유기막(310)을 형성한다.As described above, when the second source electrode 218 and the first drain electrode 118 are formed on the substrate 100, the passivation layer 309 is formed on the entire surface of the substrate 100, and then the organic layer is formed for planarization. 310 is formed.

상기 제3 채널층(314)과 대응되는 유기막(310) 상에는 제3 상부 게이트 전극(350)이 형성된다. 상기 제3 상부 게이트 전극(350)은 유기막(310)이 형성되면, 액정표시장치의 화소 영역에서 화소 전극 또는 공통 전극을 순차적으로 형성하는데, 이때, 동시에 형성한다.A third upper gate electrode 350 is formed on the organic layer 310 corresponding to the third channel layer 314. When the organic layer 310 is formed, the third upper gate electrode 350 sequentially forms the pixel electrode or the common electrode in the pixel area of the liquid crystal display, and is formed at the same time.

즉, 상기 유기막(310) 상에 화소 전극 또는 공통 전극 형성시, 상기 제3 상부 게이트 전극(350)은 동시에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제3 상부 게이트 전극(350)은 투명성 도전물질(ITO, ITZO, IZO)로 형성될 수 있다.That is, when the pixel electrode or the common electrode is formed on the organic layer 310, the third upper gate electrode 350 may be simultaneously formed. Therefore, the third upper gate electrode 350 may be formed of transparent conductive materials ITO, ITZO, and IZO.

이와 같이, 본 발명에서는 정전기 방전 회로(ESD)에 형성되는 박막 트랜지스터의 구조를 듀얼 게이트 구조로 형성하고, 박막 트랜지스터의 상부 게이트 전극들은 전기적으로 서로 연결되어 있다.As described above, in the present invention, the structure of the thin film transistor formed in the electrostatic discharge circuit (ESD) has a dual gate structure, and the upper gate electrodes of the thin film transistor are electrically connected to each other.

또한, 정전기 방전 회로(ESD)의 제1, 2, 3 상부 게이트 전극들(150, 250, 350)에는 제1, 2, 3 하부 게이트 전극들(101, 201, 301)에 공급되는 구동전압과 반대 극성의 전압을 공급하여 제1 내지 3 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)을 시프트시켜 누설 전류를 줄였다.In addition, the first, second, and third upper gate electrodes 150, 250, and 350 of the electrostatic discharge circuit ESD may include a driving voltage supplied to the first, second, and third lower gate electrodes 101, 201, and 301. The leakage current was reduced by supplying voltages of opposite polarities to shift the threshold voltages Vth of the first to third thin film transistors.

따라서, 정전기 방전 회로(ESD)의 박막 트랜지스터들이 N-MOS 트랜지스터인 경우에는 상부 게이트 전극에는 음의 전압을 공급하여 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)을 시프트 시킬 수 있다.Therefore, when the thin film transistors of the ESD circuit are N-MOS transistors, a negative voltage may be supplied to the upper gate electrode to shift the threshold voltage Vth of the thin film transistor.

상기 트래스홀드 전압(Vth)으로부터 시프트되는 전압(ΔV) 범위는 0.1~3V이고, 시프트되는 전압의 범위에 따라 박막 트랜지스터의 상부 게이트 전극들에 공급되는 전압은 변경될 수 있다.The voltage ΔV range shifted from the threshold voltage Vth is 0.1 to 3V, and the voltages supplied to the upper gate electrodes of the thin film transistor may be changed according to the range of the shifted voltage.

또한, 본 발명에서는 정전기 방전 회로(ESD)에 3개의 트랜지스터가 내장된 경우를 중심으로 설명하였으나, 단일 트랜지스터 또는 2개 이상의 트랜지스터가 적용되는 경우에도 동일하게 하부 게이트 전극과 상부 게이트 전극 구조를 갖는다. In the present invention, the three transistors are built in the electrostatic discharge circuit (ESD). However, even when a single transistor or two or more transistors are applied, the transistors have the same structure as the lower gate electrode and the upper gate electrode.

특히, 2개 이상의 트랜지스터들이 적용되는 경우에도 상부 게이트 전극들은 전기적으로 연결되어 있다.In particular, even when two or more transistors are applied, the upper gate electrodes are electrically connected.

도 8은 본 발명의 정전기 방전 회로에 사용되는 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압 특성을 도시한 그래프이고, 도 9는 본 발명의 정전기 방전 회로의 전류 특성을 도시한 그래프이며, 도 10은 상기 도 9의 X 영역을 확대한 도면이고, 도 11은 본 정전기 방전 회로의 방전 특성을 도시한 그래프이다.8 is a graph showing the threshold voltage characteristics of the oxide semiconductor thin film transistor used in the electrostatic discharge circuit of the present invention, FIG. 9 is a graph showing the current characteristics of the electrostatic discharge circuit of the present invention, and FIG. 9 is an enlarged view of region X, and FIG. 11 is a graph showing discharge characteristics of the electrostatic discharge circuit.

도 8 내지 도 11을 참조하면, 정전기 방전 회로(ESD)에 형성되는 박막 트랜지스터의 N-MOS 트랜지스터이면, 제1 내지 제3 박막 트랜지스터들의 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들에 직류 형태의 음의 전압을 공급한다.8 to 11, in the case of an N-MOS transistor of a thin film transistor formed in an electrostatic discharge circuit (ESD), a negative DC voltage may be applied to the first to third upper gate electrodes of the first to third thin film transistors. Supply the voltage.

이와 같이, N-MOS 박막 트랜지스터의 상부 게이트 전극에 음의 전압이 공급되면, N-MOS 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)이 Vth+ΔV 만큰 변하게 된다.As such, when a negative voltage is supplied to the upper gate electrode of the N-MOS thin film transistor, the threshold voltage Vth of the N-MOS thin film transistor is changed by only Vth + ΔV.

도 8에 도시된 바와 같이, Vgs 전압을 기준으로 Vth의 위치가 우측으로 이동한 것을 볼 수 있다. 산화물 반도체층 박막 트랜지스터(A1)의 Vth가 변경된 본 발명의 박막 트랜지스터(C)로 변경되었다. A1과 C는 동일한 채널층의 폭(W)과 길이(L)를 갖지만, 박막 트랜지스터의 게이트 전극 구조가 상이하고, 인가되는 전압이 상이하여 서로 다른 Vth 값을 갖는다.As shown in FIG. 8, it can be seen that the position of Vth is shifted to the right based on the voltage of Vgs. Vth of the oxide semiconductor layer thin film transistor A1 was changed to the thin film transistor C of the present invention. A1 and C have the width W and the length L of the same channel layer, but the gate electrode structures of the thin film transistors are different, and the applied voltages are different to have different Vth values.

이와 같이 Vth가 변경된 박막 트랜지스터들을 이용하여 정전기 방전 회로(ESD)가 구성되면, 도 9 내지 도 11에서와 같이, 형성된 산화물 반도체 박막 트랜지스터들이 동일한 채널 폭과 길이(W/L:4/25㎛)를 갖지만, 누설 전류가 감소하는 것을 볼 수 있다.(A1-C)When the electrostatic discharge circuit (ESD) is configured using the thin film transistors having the changed Vth as described above, as shown in FIGS. 9 to 11, the formed oxide semiconductor thin film transistors have the same channel width and length (W / L: 4/25 μm). It can be seen that the leakage current decreases (A1-C).

또한, 비구동시 정전기 방전 회로의 오프(Off) 전압 범위가 6.8V에서 10V로 증가하여, 종전에서는 6.8V 영역에서 누설 전류가 발생하였으나, 본 발명에서는 10V 영역에서 누설 전류가 발생되어, 6.8V 영역에서의 누설 전류를 현저히 줄였다.In addition, the off-voltage range of the electrostatic discharge circuit is increased from 6.8V to 10V during non-driving, and in the past, a leakage current was generated in the 6.8V region. However, in the present invention, a leakage current is generated in the 10V region, resulting in a 6.8V region. The leakage current at is significantly reduced.

이와 같은 특성은 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 산화물 반도체 박막 트랜지스터들 각각에는 제1 내지 제3 상부 게이트 전극이 형성되어 있고, 상부 게이트 전극들에는 하부 게이트 전극들과 반대 극성의 직류 전압을 공급하여 강제적으로 박막 트랜지스터들의 트래시홀드 전압(Vth)을 ΔV 전압 만큼 시프트 시켰기 때문이다.As shown in FIG. 6, each of the oxide semiconductor thin film transistors of the present invention includes first to third upper gate electrodes, and upper gate electrodes have direct current voltages having opposite polarities to those of the lower gate electrodes. This is because the threshold voltage (Vth) of the thin film transistors is forcibly shifted by ΔV by supplying.

도 11의 정전기 방전 회로(ESD)의 방전 특성을 보면, 듀얼 게이트 구조를 갖는 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 사용한 정전기 방전 회로(ESD)와 단일 게이트 구조를 갖는 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 사용한 정전기 방전 회로(ESD)의 방전 특성의 거의 변화가 없는 것을 볼 수 있다. Referring to the discharge characteristics of the ESD circuit of FIG. 11, an electrostatic discharge circuit (ESD) using an oxide semiconductor thin film transistor having a dual gate structure and an electrostatic discharge circuit (ESD) using an oxide semiconductor thin film transistor having a single gate structure are shown. It can be seen that there is almost no change in the discharge characteristics.

즉, 본 발명의 듀얼 게이트 구조 박막 트랜지스터를 채용한 정전기 방전 회로(ESD)는 누설 전류를 감소시키지만, 방전 특성은 저하되지 않는다.That is, the electrostatic discharge circuit (ESD) employing the dual gate structure thin film transistor of the present invention reduces the leakage current, but does not deteriorate the discharge characteristics.

도 12는 본 발명의 정전기 방전 회로에 형성되는 듀얼 게이트 구조 박막 트랜지스터의 채널층 길이에 따른 전류 특성을 도시한 그래프이고, 도 13은 본 발명의 정전기 방전 회로에 형성되는 듀얼 게이트 구조 박막 트랜지스터의 채널층 길이에 따른 방전 특성을 도시한 그래프이다. 12 is a graph showing current characteristics according to channel layer length of a dual gate structure thin film transistor formed in an electrostatic discharge circuit of the present invention, and FIG. 13 is a channel of a dual gate structure thin film transistor formed in an electrostatic discharge circuit of the present invention. It is a graph showing the discharge characteristics according to the layer length.

C는 산화물 반도체의 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/25㎛이고, 상부 게이트 전극에 음의 전압을 공급하되, 트래시홀드 전압(Vth)으로부터 1V(ΔV ) 시프트된 박막 트랜지스터를 채용한 정전기 방전 회로(ESD)이고, C1은 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/20㎛, Vth로부터 1V(ΔV ) 시프트된 경우, C2는 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/15㎛, Vth로부터 1V(ΔV) 시프트된 경우, C3는 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/10㎛, Vth로부터 1V(ΔV ) 시프트된 경우이다.C is a thin film having a width (W) and a length (L) of 4/25 μm of a channel layer of an oxide semiconductor and a negative voltage supplied to the upper gate electrode, but shifted by 1 V (ΔV) from the threshold voltage Vth. An electrostatic discharge circuit (ESD) employing a transistor, where C1 is the width (W) and length (L) of the channel layer shifted by 4/20 μm and 1V (ΔV) from Vth, C2 is the width (W) of the channel layer. ) And length L are 4/15 占 퐉 and 1V (ΔV) shifted from Vth, C3 is the width W and length L of the channel layer shifted 4/10 占 퐉 and 1V (ΔV) from Vth. If it is.

이와 같이, 본 발명의 듀얼 게이트 구조의 박막 트랜지스터에서 Vth를 ΔV 만큼 더 시프트시키는 경우, 박막 트랜지스터의 채널층 폭(W)과 길이(L)를 4/10㎛ 까지 감소시킬 수 있음을 알 수 있다.(구동전압의 범위는 10V이내)As described above, when the Vth is further shifted by ΔV in the dual gate structure thin film transistor of the present invention, it can be seen that the channel layer width W and the length L of the thin film transistor can be reduced to 4/10 μm. (Drive voltage range is within 10V)

도 13에 도시된 바와 같이, 정전기 방전 회로(ESD)의 방전 특성도 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/25㎛인 것에 비해, 4/10㎛에서 방전 시간이 50% 감소한 것을 볼 수 있다.As shown in FIG. 13, the discharge characteristics of the electrostatic discharge circuit ESD are also reduced by 50% in discharge time at 4/10 μm, compared with the width W and the length L of the channel layer being 4/25 μm. You can see that.

이와 같이, 본 발명에서는 듀얼 게이트 구조를 갖는 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 이용하여, 동일한 채널층 폭(W)과 길이(L)에서 누설 전류를 줄였다. 하지만, 일반적인 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 이용한 정전기 방전 회로의 누설 전류를 유지할 경우, 본 발명의 듀얼 게이트 구조의 박막 트랜지스터의 경우에는 채널층의 길이(L)를 현저히 줄일 수 있는 장점이 있다.As described above, in the present invention, an oxide semiconductor thin film transistor having a dual gate structure is used to reduce leakage current at the same channel layer width W and length L. FIG. However, when maintaining a leakage current of an electrostatic discharge circuit using a general oxide semiconductor thin film transistor, in the case of the dual gate structure thin film transistor of the present invention, the length (L) of the channel layer is remarkably reduced.

예를 들어, 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/25㎛인 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 이용한 정전기 방전 회로(ESD)의 누설 전류는 채널층의 폭(W)과 길이(L)가 4/10㎛인 듀얼 게이트 구조 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 이용한 정전기 방전 회로(ESD)의 누설 전류와 비슷해진다.For example, the leakage current of an electrostatic discharge circuit ESD using an oxide semiconductor thin film transistor having a width W and a length L of 4/25 μm of the channel layer is a width W and a length L of the channel layer. It is similar to the leakage current of an electrostatic discharge circuit (ESD) using a dual gate structure oxide semiconductor thin film transistor having a 4/10 탆.

이와 같이, 본 발명에서는 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하여, 비구동시 정전기 방전 회로에서 발생되는 누설 전류를 줄인 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed in the display display device has a dual gate structure, thereby reducing the leakage current generated in the electrostatic discharge circuit during non-drive.

또한, 본 발명에서는 디스플레이 표시장치에 형성되는 정전기 방전 회로의 박막 트랜지스터를 듀얼 게이트 구조로 형성하고, 게이트 구동 전압과 반대 전압을 상부 게이트 전극에 인가하여 정전기 방전 회로의 누설 전류를 방지한 효과가 있다.In addition, according to the present invention, the thin film transistor of the electrostatic discharge circuit formed on the display display device has a dual gate structure, and a leakage current of the electrostatic discharge circuit is prevented by applying a voltage opposite to the gate driving voltage to the upper gate electrode. .

30: 액정표시패널 40: 게이트 구동부
50: 데이터 구동부 60: 신호 제어부
80: 계조전압 생성부 91: DC-DC 변환부
92: 광원부 150: 제1 상부 게이트 전극
250: 제2 상부 게이트 전극 350: 제3 상부 게이트 전극
T1: 제1 박막 트랜지스터 T2: 제2 박막 트랜지스터
T3: 제3 박막 트랜지스터
30: liquid crystal display panel 40: gate driver
50: data driver 60: signal controller
80: gray voltage generator 91: DC-DC converter
92: light source unit 150: first upper gate electrode
250: second upper gate electrode 350: third upper gate electrode
T1: first thin film transistor T2: second thin film transistor
T3: third thin film transistor

Claims (19)

제1 하부 게이트 전극, 제1 채널층, 제1 소스전극, 제1 드레인 전극 및 상기 제1 하부 게이트 전극과 제1 채널층에 중첩되는 제1 상부 게이트 전극으로 구성된 제1 박막 트랜지스터;
제2 하부 게이트 전극, 제2 채널층, 상기 제1 소스전극, 제2 드레인 전극 및 상기 제2 하부 게이트 전극과 제2 채널층에 중첩되는 제 2 상부 게이트 전극으로 구성된 제2 박막 트랜지스터; 및
제3 하부 게이트 전극, 제3 채널층, 제2 소스전극, 상기 제1 드레인 전극 및 상기 제3 하부 게이트 전극과 제3 채널층에 중첩되는 제3 상부 게이트 전극으로 구성된 제3 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들은 서로 전기적으로 연결되어 음의 전압을 공급 받고, 상기 제 1 내지 제 3 하부 게이트 전극들은 상기 제 1 내지 제 3 상부 게이트 전극들과 반대 극성의 전압을 공급 받는 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.
A first thin film transistor including a first lower gate electrode, a first channel layer, a first source electrode, a first drain electrode, and a first upper gate electrode overlapping the first lower gate electrode and the first channel layer;
A second thin film transistor including a second lower gate electrode, a second channel layer, the first source electrode, a second drain electrode, and a second upper gate electrode overlapping the second lower gate electrode and the second channel layer; And
A third thin film transistor including a third lower gate electrode, a third channel layer, a second source electrode, the first drain electrode, and a third upper gate electrode overlapping the third lower gate electrode and the third channel layer; ,
The first to third upper gate electrodes may be electrically connected to each other to receive a negative voltage, and the first to third lower gate electrodes may receive voltages of opposite polarity to the first to third upper gate electrodes. Electrostatic discharge circuit, characterized in that.
제1항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 채널층은 산화물 반도체로 형성된 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.
The electrostatic discharge circuit of claim 1, wherein the first to third channel layers are formed of an oxide semiconductor.
제2항에 있어서, 상기 산화물 반도체는 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)인 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.
The electrostatic discharge circuit of claim 2, wherein the oxide semiconductor is indium gallium zinc oxide (IGZO).
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)부터 시프트되는 전압(ΔV)은 0.1~3V인 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.The electrostatic discharge circuit of claim 1, wherein the voltage ΔV shifted from the threshold voltage Vth of the first to third thin film transistors is 0.1 to 3V. 제1항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들에 전압을 공급하기 위한 제어신호라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.
The electrostatic discharge circuit of claim 1, further comprising a control signal line for supplying voltage to the first to third upper gate electrodes.
제6항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들 및 제어신호라인은 제1 내지 제4 연결부에 의해 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 정전기 방전 회로.The electrostatic discharge circuit of claim 6, wherein the first to third upper gate electrodes and the control signal line are electrically connected to each other by first to fourth connectors. 제1항에 있어서, 상기 제1 상부 게이트 전극과 상기 제1 소스전극 및 제1 드레인 전극, 상기 제2 상부 게이트 전극과 상기 제1 소스전극 및 제2 드레인 전극 및 상기 제3 상부 게이트 전극과 제2 소스전극 및 상기 제1 드레인 전극 사이에 보호막을 더 포함하는 정전기 방전 회로.
The display device of claim 1, wherein the first upper gate electrode, the first source electrode and the first drain electrode, the second upper gate electrode, the first source electrode and the second drain electrode, and the third upper gate electrode and the first upper gate electrode And a protective film between the second source electrode and the first drain electrode.
제8항에 있어서, 상기 제1 내지 제 3 상부 게이트 전극과 상기 보호막 사이에 유기막을 더 포함하는 정전기 방전 회로.
The electrostatic discharge circuit of claim 8, further comprising an organic layer between the first to third upper gate electrodes and the passivation layer.
복수개의 게이트 라인들과 데이터 라인들 및 이들에 의해 정의되는 화소 영역을 포함하는 액정표시패널;
상기 액정표시패널에 표시신호를 공급하는 게이트 구동부와 데이터 구동부;
상기 액정표시패널에 광원을 공급하는 백라이트 유닛;
상기 게이트 구동부와 데이터 구동부 및 백라이트 유닛에 표시신호와 제어신호를 공급하는 신호 제어부; 및
상기 액정표시패널에는 상기 복수개의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각에 연결된 적어도 하나 이상의 정전기 방전 회로를 포함하고,
상기 정전기 방전 회로의 일측단은 상기 복수개의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각에 연결되고, 타측단은 공통라인에 연결되며,
상기 정전기 방전 회로는 상부 게이트 전극 및 하부 게이트 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 상부 게이트 전극은 상기 정전기 방전 회로의 타측단이고 상기 공통 라인으로부터 음의 전압을 제공 받으며,
상기 하부 게이트 전극은 상기 정전기 방전 회로의 일측단이고, 상기 복수개의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각에 연결되며 상기 상부 게이트 전극과 반대 극성의 전압을 공급 받는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
A liquid crystal display panel including a plurality of gate lines and data lines and a pixel region defined by the plurality of gate lines and data lines;
A gate driver and a data driver supplying a display signal to the liquid crystal display panel;
A backlight unit supplying a light source to the liquid crystal display panel;
A signal controller supplying a display signal and a control signal to the gate driver, the data driver, and the backlight unit; And
The liquid crystal display panel includes at least one electrostatic discharge circuit connected to each of the plurality of gate lines and data lines,
One end of the electrostatic discharge circuit is connected to each of the plurality of gate lines and data lines, and the other end is connected to a common line.
The electrostatic discharge circuit includes a thin film transistor including an upper gate electrode and a lower gate electrode,
The upper gate electrode is the other end of the electrostatic discharge circuit and receives a negative voltage from the common line,
And the lower gate electrode is one end of the electrostatic discharge circuit and is connected to each of the plurality of gate lines and the data lines and is supplied with a voltage having a polarity opposite to that of the upper gate electrode.
제10항에 있어서, 상기 정전기 방전 회로는,
제1 하부 게이트 전극, 제1 채널층, 제1 소스전극, 제1 드레인 및 상기 제1 하부 게이트 전극과 제1 채널층에 중첩되는 제1 상부 게이트 전극으로 구성된 제1 박막 트랜지스터;
제2 하부 게이트 전극, 제2 채널층, 상기 제1 소스전극, 제2 드레인 전극 및 상기 제2 하부 게이트 전극과 제2 채널층에 중첩되는 제 2 상부 게이트 전극으로 구성된 제2 박막 트랜지스터; 및
제3 하부 게이트 전극, 제3 채널층, 제2 소스전극, 상기 제1 드레인 전극 및 상기 제3 하부 게이트 전극과 제3 채널층에 중첩되는 제3 상부 게이트 전극으로 구성된 제3 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
The method of claim 10, wherein the electrostatic discharge circuit,
A first thin film transistor including a first lower gate electrode, a first channel layer, a first source electrode, a first drain, and a first upper gate electrode overlapping the first lower gate electrode and the first channel layer;
A second thin film transistor including a second lower gate electrode, a second channel layer, the first source electrode, a second drain electrode, and a second upper gate electrode overlapping the second lower gate electrode and the second channel layer; And
A third thin film transistor including a third lower gate electrode, a third channel layer, a second source electrode, the first drain electrode, and a third upper gate electrode overlapping the third lower gate electrode and the third channel layer; ,
And the first to third upper gate electrodes are electrically connected to each other.
제11항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 채널층은 산화물 반도체로 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
The display apparatus of claim 11, wherein the first to third channel layers are formed of an oxide semiconductor.
제12항에 있어서, 상기 산화물 반도체는 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)인 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
The display apparatus of claim 12, wherein the oxide semiconductor is indium gallium zinc oxide (IGZO).
삭제delete 제10항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 박막 트랜지스터의 트래시홀드 전압(Vth)부터 시프트되는 전압(ΔV)은 0.1~3V인 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
The display apparatus of claim 10, wherein the voltage ΔV shifted from the threshold voltage Vth of the first to third thin film transistors is 0.1 to 3V.
제10항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들에 전압을 공급하기 위한 제어신호라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
The display apparatus of claim 10, further comprising a control signal line for supplying a voltage to the first to third upper gate electrodes.
제16항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 상부 게이트 전극들 및 제어신호라인은 제1 내지 제4 연결부에 의해 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.The display apparatus of claim 16, wherein the first to third upper gate electrodes and the control signal line are electrically connected to each other by first to fourth connectors. 제11항에 있어서, 상기 제1 상부 게이트 전극과 상기 제1 소스전극 및 제1 드레인 전극, 상기 제2 상부 게이트 전극과 상기 제1 소스전극 및 제2 드레인 전극 및 상기 제3 상부 게이트 전극과 제2 소스전극 및 상기 제1 드레인 전극 사이에 보호막을 더 포함하는 디스플레이 장치.
12. The display device of claim 11, wherein the first upper gate electrode, the first source electrode and the first drain electrode, the second upper gate electrode, the first source electrode and the second drain electrode, and the third upper gate electrode and the first upper gate electrode And a passivation layer between the second source electrode and the first drain electrode.
제18항에 있어서, 상기 제1 내지 제 3 상부 게이트 전극과 상기 보호막 사이에 유기막을 더 포함하는 디스플레이 장치.


The display device of claim 18, further comprising an organic layer between the first to third upper gate electrodes and the passivation layer.


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