KR102057546B1 - 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역을 구비한 표시장치에 있어서, 상기 더미 영역에 외부로부터 검사 신호를 공급받는 다수의 검사 패드들과 표시장치에 구동신호 및 데이터 신호를 공급하는 다수개의 게이트 패드들 및 데이터 패드들로 구성된 패드부; 및 상기 패드부의 패드들과 전기적으로 연결된 다수개의 신호라인들을 포함하고, 상기 패드부의 패드들은 동일 금속재질로 형성되고, 상기 신호라인들은 패드들과 다른 금속재질로 형성되거나 상기 패드부의 패드들과 상기 신호라인들은 동일한 금속재질로 형성되며, 상기 신호라인들과 패드들은 절연층을 사이에 두고 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법은, 표시장치의 패드 영역에 형성되는 신호라인들을 패드들과는 다른 물질로 형성함으로써, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판의 구부러짐(bending)에 의한 신호라인들의 단선을 방지한 효과가 있다.

Description

플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}
본 발명은 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회가 발전함에 따라 영상 정보를 출력하는 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되고 있으며, 이에 따라 LCD(Liquid Crystal Display, 이하 액정 표시 장치)나 PDP(Plasma Display Panel), OELD(Organic Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등의 여러 가지 평판 표시 장치가 연구 개발되어 활용되고 있다.
여기서 액정 표시 장치와 유기전계발광표시장치(OLED)는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인해 이동형 평판 표시 장치로 많이 사용되고 있으며, 특히 노트북이나 컴퓨터 모니터, 텔레비젼, 모니터 등으로 다양하게 사용되고 있다.
특히, 모바일 폰의 보급이 확대됨과 아울러, MP3 플레이어, 전자 사전, PMP(Portable Multimedia Player), 휴대용 게임기 등과 같은, 디지털 휴대용 어플리케이션(application)의 보급이 확대됨에 따라, 이러한 디지털 휴대용 어플리케이션(application)에 사용되는 액정 표시 장치와 유기전계발광표시장치의 보급 역시 확대되고 있는 실정이다.
도 1은 휴대용 단말기기에 사용되는 표시장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 표시 장치(10)는, 표시 영역(A/A: Active Area) 및 상기 표시 영역의 둘레에는 패드 영역(20)을 포함한 더미 영역을 구비한다. 상기 표시 영역(A/A)의 테두리 부분에는 액자 형태로 둘러싸고 있는 블랙 매트릭스가 형성될 수 있다.
또한, 상기 패드 영역(20)에는 드라이브 IC가 실장될 수 있도록 패드들과 표시장치(10)의 동작을 검사하기 위해 외부로부터 검사신호들을 공급받는 다수의 검사패드들이 형성된 패드부(30)를 포함한다.
상기 표시 장치(10)는 액정층을 사이로 서로 대향하고 있는 두 장의 제 1 기판 및 제 2 기판이 합착되어 형성되는 액정 표시 장치이거나 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 유기발광층을 포함한 유기전계발광표시장치일 수 있다.
상기 표시 영역(A/A)에는 도시하지는 않았으나, 제 1 기판 상에 다수의 게이트 라인과, 상기 게이트 라인과 교차하여 매트릭스 형태로 배열된 다수의 화소 영역을 정의하는 다수의 데이터 라인과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부분에 구비된 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)와, 상기 박막 트랜지스터에 접속되며 상기 화소 영역에 구비되는 화소 전극이 형성된다. 또한, 제 2 기판 상에 상기 화소 전극과 대응되는 영역에는 컬러 필터층이 구비되어, 화소 전극을 투과한 백색광을 통해 컬러를 구현하게 된다. 유기전계발광표시장치일 경우, 상기 화소 전극 상에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 유기발광층 또는 백색 유기발광층이 형성될 수 있다. 만약, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 유기발광층이 형성될 경우에는 제 2 기판에는 컬러필터층이 형성되지 않는다. 또한 제2 기판은 편광필름과 같은 필름으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 검사패드들과 패드들이 형성된 패드부(30)를 보면, 복수개의 검사패드들에는 검사 신호를 표시 영역으로 공급하기 위한 검사 신호 라인들을 포함한 다수의 신호라인들(40)이 형성되어 있다.
그런데 최근에는 플렉서블 표시장치 구현을 위해 유리기판 대신 폴리이미드 계열의 플렉서블 기판을 사용하고 있다. 플렉서블 기판 상에 박막 트랜지스터, 화소 전극 또는 유기발광다이오드를 형성할 때, 얇은 플렉서블 기판의 평탄화를 위해 배면에 유리기판과 같은 지지기판으로 부착한 후, 공정을 진행한다.
상기 플렉서블 기판 상에 박막 트랜지스터 등의 어레이 소자들이 완성되면, 상기 플렉서블 기판으로부터 지지를 위해 부착한 유리기판을 레이저(Laser) 분리 공정으로 분리하는데, 이때, 분리된 플렉서블 기판의 가장자리 테두리 영역이 말리면서(bending 현상), 패드 영역(20)에 형성된 신호라인들(40)이 단선(open)되는 문제가 발생한다.
도 2의 B 영역을 보면, 특히, 신호라인들(40)이 절곡되는 영역에서 신호라인들(40)의 단선이 심하게 발생되는 것을 볼 수 있다.
이와 같이, 플렉서블 기판에 형성된 신호라인들(40)이 레이저 분리 공정에서 단선되면, 이와 연결된 패드들에 신호를 공급할 수 없어 표시장치(10)를 동작시킬 수 없게 된다.
본 발명은, 표시장치의 패드 영역에 형성되는 신호라인들을 패드들과는 다른 물질로 형성함으로써, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판의 구부러짐(bending)에 의한 신호라인들의 단선을 방지한 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 표시장치의 표시 영역 외곽의 더미 영역에 지지필름을 형성하여, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판의 테두리 영역이 구부러지는 것을 방지한 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 표시 영역의 패드 영역에 형성되는 신호라인들의 구조를 변경하여, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판이 구부러지더라도 단선이 발생하지 않도록 한 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
상기와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역을 구비한 표시장치에 있어서, 상기 더미 영역에 외부로부터 검사 신호를 공급받는 다수의 검사 패드들과 표시장치에 구동신호 및 데이터 신호를 공급하는 다수개의 게이트 패드들 및 데이터 패드들로 구성된 패드부; 및 상기 패드부의 패드들과 전기적으로 연결된 다수개의 신호라인들을 포함하고, 상기 패드부의 패드들은 동일 금속재질로 형성되고, 상기 신호라인들은 패드들과 다른 금속재질로 형성되거나 상기 패드부의 패드들과 상기 신호라인들은 동일한 금속재질로 형성되며, 상기 신호라인들과 패드들은 절연층을 사이에 두고 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 플렉서블 표시 장치의 제조방법은, 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역으로 구획된 플렉서블 기판 배면에 기판을 부착하는 단계; 상기 플렉서블 기판의 표시 영역과 대응되는 영역에 어레이층을 형성하는 단계; 상기 어레이층 상에 필름을 부착하는 단계; 상기 필름이 부착된 플렉서블 기판 전 영역에 지지물을 부착하는 단계; 상기 표시 영역과 대응되는 지지물을 제거하여, 상기 플렉서블 기판의 더미 영역에 지지필름을 형성하는 단계; 및 상기 플렉서블 기판 배면에 부착된 기판을 레이저 분리 공정으로 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법은, 표시장치의 패드 영역에 형성되는 신호라인들을 패드들과는 다른 물질로 형성함으로써, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판의 구부러짐(bending)에 의한 신호라인들의 단선을 방지한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법은, 표시장치의 표시 영역 외곽의 더미 영역에 지지필름을 형성하여, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판의 테두리 영역이 구부러지는 것을 방지한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법은, 표시 영역의 패드 영역에 형성되는 신호라인들의 구조를 변경하여, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판이 구부러지더라도 단선이 발생하지 않도록 한 효과가 있다.
도 1은 휴대용 단말기기에 사용되는 표시장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 C 영역을 확대한 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 플렉서블 표시장치의 패드 영역에 형성된 신호라인의 형성 구조를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 평면도이다.
도 7a 내지 도 7c는 도 6의 플렉서블 표시장치의 지지필름을 이용한 신호라인들의 단선을 방지하는 공정을 도시한 도면이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 플렉서블 표시장치의 패드 영역에 형성되는 신호라인들의 다양한 구조를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 평면도이고, 도 4는 도 3의 C 영역을 확대한 도면이며, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 플렉서블 표시장치의 패드 영역에 형성된 신호라인의 형성 구조를 도시한 도면이다.
도 3 내지 도 5b를 참조하면, 표시 장치(100)는, 표시 영역(A/A: Active Area) 및 상기 표시 영역의 둘레에는 패드 영역(200)을 포함한 더미 영역을 구비한다. 상기 표시 영역(A/A)의 테두리 부분에는 액자 형태로 둘러싸고 있는 블랙 매트릭스가 형성될 수 있다.
또한, 상기 패드 영역(200)에는 드라이브 IC가 실장될 수 있도록 패드들과 표시장치(10)의 동작을 검사하기 위한 다수의 검사패드들이 형성된 패드부(300)를 포함한다.
상기 표시 장치(100)는 액정표시장치 또는 유기전계발광표시장치 일 수 있다. 본 발명에서는 유기전계발광표시장치를 중심으로 설명하나, 플렉서블 디스플레이 표시 장치인 경우에는 액정표시장치, 유기전계발광표시장치 뿐 아니라 다른 평판형 표시장치에도 적용될 수 있다.
종래 기술에서는 레이저 분리 공정으로 인하여 플렉서블 기판이 구부러지면서 표시장치(100)의 패드 영역(200)에 형성된 신호라인들(400)이 단선되는 문제가 있었다.
하지만, 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 패드(124)와 신호라인(400)의 재질을 서로 다른 재질로 형성함으로써, 플렉서블 기판에 구부러짐이 발생하더라도 신호라인(400)이 단선되지 않도록 하였다.
유기전계발광표시장치는 폴리이미드 계열의 플렉서블 기판(120) 상에 박막 트랜지스터, 화소 전극, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 유기발광층을 포함하는 유기발광다이오드, 게이트 라인, 데이터 라인, 게이트 패드 및 데이터 패드 등이 형성된다.
구체적으로 신호라인(400)의 형성 과정을 보면, 플렉서블 기판(120) 상에 절연층(121)을 형성한 다음, 도시하지 않았지만, 절연층(121) 상에 게이트 전극, 채널층, 중간 절연층(125), 소스/드레인 전극 및 보호층(140)을 순차적으로 형성한다.
상기 게이트 전극은 몰리브덴(molybdenum; Mo)으로 형성할 수 있다.
상기 게이트 전극은 표시장치(100)의 표시영역(A/A)에서 다수의 게이트 라인들과 데이터 라인들에 의해 구획되는 다수의 화소 영역에 형성되는 박막 트랜지스터들의 전극들로 사용된다.
특히, 상기 게이트 전극이 형성될 때, 상기 게이트 전극과 일체로 형성되는 게이트 라인, 게이트 패드 및 이후 형성될 데이터 라인과 접속하는 데이터 패드들 도 함께 형성된다. 따라서, 표시 장치(100)의 패드부(300)에 형성되는 다수개의 패드들(124: 검사 패드들 포함)은 게이트 전극과 동일한 물질로 형성된다.
상기와 같이, 플렉서블 기판(120) 상에 게이트 전극 및 패드들(124)이 형성되면, 화소 영역의 박막 트랜지스터 형성 영역에 게이트 전극과 오버랩되도록 채널층이 형성되고, 채널층이 형성된 플렉서블 기판(120) 상에는 층간절연층(125)이 형성되고, 콘택홀 공정을 통하여 소스/드레인 전극과 접촉될 채널층 영역과 패드부(300)의 패드들을 노출하는 콘택홀을 형성한다.
그런 다음, 소스/드레인 금속막을 플렉서블 기판(120) 상에 형성한 다음, 마스크 공정을 이용하여 채널층 상부에 소스/드레인 전극(미도시)을 형성하고, 표시장치(100)의 패드 영역(200)에서는 패드들(124)과 전기적 접속을 위한 다수개의 신호라인들(300)을 형성한다.
예를 들어, 상기 소스/드레인 금속막은, 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Ti/Al/Ti, AlNd, Al/Mo), 텅스텐, 구리, 니켈, 크롬, 티타늄, 백금, 탄탈 등과 같은 저저항 불투명 도전물질을 사용할 수 있다. 또한, 인듐-틴-옥사이드, 인듐-징크-옥사이드와 같은 투명한 도전물질과 불투명 도전물질이 적층된 다층 구조로 형성할 수 있다.
즉, 본 발명에서는 표시 장치(100)의 패드 영역(200)에 형성되는 패드부(300)의 패드들(124)과 상기 패드들(124)과 접속된 신호라인들(400)을 서로 다른 재질로 형성하여, 레이저 분리 공정에서 플렉서블 기판(120) 가장자리가 구부러질 때, 신호라인들(400)의 단선을 방지하였다.
예를 들어, 게이트 전극이 몰리브덴(Mo) 재질로 형성될 경우, 표시 장치(100)의 패드 영역(200)에 형성된 패드들(124)도 몰리브덴으로 형성된다. 하지만, 본 발명에서는 패드 영역에서 패드들(124)과 전기적으로 연결되는 신호라인들(400)은 소스/드레인 금속막 재질인 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Ti/Al/Ti)으로 형성하여, 신호라인들(400)의 단선을 방지하였다. 따라서, 상기 소스/드레인 금속막의 재질은 게이트 전극 형성 재질보다 구부러짐에 의한 스트레인(strain) 특성이 우수한 재질을 사용하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명에서는 표시 장치(100)의 패드 영역(200)에 형성되는 다수의 패드들과 패드들과 연결된 신호라인들(400)의 재질을 서로 다르게 함으로써, 기판(100) 구부러짐에 의한 신호라인들의 단선을 방지하였다.
또한, 도 5a에서는 몰리브덴(Mo)으로 패드 영역에 게이트 패드와 데이터 패드 및 검사 패드들이 형성된 구조이지만, 도 5b에서는 각 패드들을 소스/드레인 금속막으로 형성하고, 표시 영역(A/A)에서 연장된 게이트 라인들을 표시 영역(A/A)과 인접한 영역까지만, 형성하고, 상기 게이트 라인들과 연결되는 게이트 링크 라인들과 게이트 패드들을 소스/드레인 금속막으로 형성하였다.
도 5b에 도시된 바와 같이, 표시 영역(A/A)으로부터 연장된 게이트 라인(254)이 절연층(121) 상에 형성되고, 층간절연층(125)을 사이에 두고 소스/드레인 금속막으로 형성된 신호라인(250)이 상기 게이트 라인(254)의 가장자리 영역과 연결되어 있다. 여기서, 신호라인(250)은 상기 게이트 라인(254)과 연결된 게이트 링크 라인, 게이트 패드들 및 도 5a에서 설명한 패드들에 연결되고 패드 영역에 형성되는 신호라인들을 포함한다.
또한, 도 5b에서는 결과적으로 게이트 패드들과 데이터 패드들을 소스/드레인 금속막으로 형성된다. 특히, 도 5b에서는 몰리브덴(Mo)으로 형성되는 게이트 라인들이 패드 영역에서 단선되는 것을 방지하기 위해 표시 영역(A/A)에서부터 인출되는 지점부터 패드 영역까지를 소스/드레인 금속막으로 형성하였다.
즉, 본 발명에서는 몰리브덴(Mo)으로 게이트 라인들과 게이트, 데이터 및 검사 패드들을 포함하는 패들을 형성하고, 이와 연결되는 신호라인들을 스트레인(strain)에 강한 소스/드레인 금속막으로 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 게이트 및 데이터 패드들을 소스/드레인 금속막으로 형성하고, 상기 게이트 라인들과 소스/드레인 금속막으로 형성된 게이트 패드들(게이트 링크 라인을 포함한 신호라인: 250)을 형성하여, 플렉시블 기판이 말리면서 신호라인들이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 평면도이고, 도 7a 내지 도 7c는 도 6의 플렉서블 표시장치의 지지필름을 이용한 신호라인들의 단선을 방지하는 공정을 도시한 도면이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 도 3에 도시한 본 발명의 실시예와 같이 표시장치의 패드 영역의 신호라인들과 패드들을 서로 다른 금속재질로 형성하는 표시장치에 추가적으로 적용하거나 일반적인 표시장치에 적용될 수 있다.
도 6 내지 도 7c을 참조하면, 표시 장치(500)는, 표시 영역(A/A: Active Area) 및 상기 표시 영역의 둘레에는 패드 영역을 포함한 더미 영역을 구비한다.
본 발명의 다른 실시예에서는 표시 장치(500)의 기판이 레이저 분리 공정에서 구부러지는 문제를 해결하기 위해 패드 영역을 포함한 더미 영역에 지지필름(510)을 배치하였다.
폴리이미드 계열의 플렉서블 기판(S)은 플렉서블 표시 장치 형성을 위해 공정 중 배면에 유리기판(G)을 부착한다. 그런 다음, 상기 플렉서블 기판(S) 상에 도 3 내지 도 5에서 설명한 바와 같이, 박막 트랜지스터(TFT), 화소 전극, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 유기발광층을 포함하는 유기발광다이오드, 게이트 라인, 데이터 라인, 게이트 패드 및 데이터 패드의 어레이층(AL: Array Layer)을 형성한다.
상기 유리기판(G)은 플렉서블 표시장치 제조공정이 완료되면 레이저 분리 공정에 의해 분리되지만, 경우에 따라서는 필름을 부착하여 공정을 진행할 수 있고, 완제품 상태에서도 필름은 계속적으로 부착된 상태로 사용할 수 있다.
상기와 같이, 플렉서블 기판(S) 상에 어레이층(AL)이 형성되면, 상기 어레이층(AL) 상에 백 필름(Back Film) 또는 편광 필름(Polarizer Film) 과 같은 필름(F: Film)을 부착한다.
그런 다음, 상기 어레이층(AL)과 필름(F)을 포함한 플렉서블 기판(S)의 전 영역에 지지물(510a)을 형성하고, 이후, 어레이층(AL)이 형성된 표시영역 상의 지지물(510a)을 제거하여 표시 장치(500)의 더미 영역에 지지필름(510)을 형성한다. 상기 지지물(510a)은 PET, PMMA, PC와 같은 재질일 수 있다.
상기와 같이, 표시 장치(500)에 지지필름(510)이 형성된 상태에서 플렉서블 기판(S) 배면에 부착된 유리기판(G)을 레이저 분리 공정으로 제거하면, 지지필름(510)이 형성되지 않은 종래 표시장치에서는 플렉서블 기판(S)의 테두리 영역이 말려(Bending) 올라갔으나, 본 발명에서는 지지필름(510)에 의해 플렉서블 기판(S)의 구부러짐 불량이 발생되지 않는다.
상기와 같이, 유리기판(G)이 레이저 분리 공정에 의해 분리되면, 표시 장치(500)의 더미 영역에 형성된 지지필름(510)을 제거한다.
이와 같이, 본 발명에서는 플렉서블 표시 장치에 사용되는 얇은 기판에 부착된 유리기판을 분리하는 과정에서 기판의 가장자리가 구부러지는 것을 방지하기 위해 더미 영역에 지지필름을 부착하여 구부러짐 불량을 방지한 효과가 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 플렉서블 표시장치의 패드 영역에 형성되는 신호라인들의 다양한 구조를 도시한 도면이다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 신호라인들의 구조는 도 3 및 도 6의 실시예에 적용될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 표시 장치(100)의 더미 영역에 형성된 신호라인들(400) 중 "D" 영역에 형성된 신호라인들(400)의 구조를 직선형태가 아니라 톱니산 모양(a) 또는 유선형 톱니산 모양(b)으로 신호라인들(400)을 형성한다.
즉, 도 3의 실시예에 적용할 경우에는 신호라인들(400)과 패드들은 서로 다른 물질로 형성되고, 특히 플렉서블 기판이 구부러지면서 단선이 발생하는 신호라인들(400)의 절곡 영역(D 영역)에서는 톱니산 모양 또는 유선형 톱니산 모양으로 신호라인들(400)을 형성한다.
도면에는 도시하지 않았지만, 신호라인들(400)은 마름모 구조 또는 벌집 구조(Honeycomb)로 형성하거나 다양하게 변형하여 구현할 수 있다.
이와 같이, 신호라인들(400)을 톱니산 모양으로 형성할 경우, 직선형 구조보다 스트레인 특성이 개선되어, 기판이 구부러지더라도 신호라인들(400)의 단선을 방지할 수 있다.
또한, 도 6에서 설명한 바와 같이, 표시 장치(500)의 더미 영역에 지지필름(510)을 형성하면서, 플렉서블 기판의 구부러짐을 방지하는 실시예에서도 더미 영역에 형성되는 신호라인들의 절곡 영역에서는 도 8a 및 도 8b 와 같이 신호라인들의 구조를 톱니산 모양 또는 유선형 톱니산 모양으로 형성할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은, 표시 영역의 패드 영역에 형성되는 신호라인들의 구조를 변경하여, 레이저 분리 공정시 플렉서블 기판이 구부러지더라도 단선이 발생하지 않도록 한 효과가 있다.
100: 표시 장치 200: 패드 영역
300: 패드부 400: 신호라인들
120: 플렉서블 기판 124: 패드들
121: 절연층 125: 중간 절연층
140: 보호층

Claims (12)

  1. 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역을 구비한 표시장치에 있어서,
    상기 더미 영역에 외부로부터 검사 신호를 공급받는 다수의 검사 패드들과 표시장치에 구동신호 및 데이터 신호를 공급하는 다수개의 게이트 패드들 및 데이터 패드들로 구성된 패드부; 및
    상기 더미 영역에 상기 패드부의 패드들과 전기적으로 연결된 다수개의 신호라인들이 형성되고, 상기 신호라인들은 데이터 라인, 게이트 라인 및 상기 게이트 라인과 연결되는 게이트 링크 라인을 포함하고,
    상기 패드부의 패드들은 동일 금속재질로 형성되고, 상기 더미 영역의 상기 신호라인들은 패드들과 다른 금속재질로 형성되며,
    상기 게이트 라인은 상기 게이트 패드와 동일 금속재질로 형성되고, 상기 게이트 링크 라인과 다른 금속재질로 형성되고,
    상기 신호라인들과 패드들은 절연층을 사이에 두고 컨택홀을 통해 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 표시 영역은 다수개의 게이트 라인들과,
    상기 다수개의 게이트 라인들과 교차하여 다수개의 화소 영역을 구획하는 다수개의 데이터 라인들과,
    상기 화소 영역에 배치된 박막 트랜지스터와,
    상기 다수개의 화소 영역에 각각에 배치된 화소 전극을 포함하는 플렉서블 표시 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 각각의 화소 전극 상에는 적색(R), 녹색(G) 또는 청색(B) 유기발광층들 중 어느 하나가 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 패드부에 형성된 패드들은 박막 트랜지스터 게이트 전극과 동일한 물질로 형성되고, 상기 신호라인들은 박막 트랜지스터의 소스 및 드레인 전극과 동일한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 패드부의 패드들은 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 동일한 물질로 형성되고, 상기 게이트 패드들과 연결된 게이트 라인들은 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 몰리브덴(molybdenum; Mo)인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  7. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 박막 트랜지스터의 소스/드레인 전극은 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Ti/Al/Ti, AlNd, Al/Mo)들 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 다수개의 신호라인들 중 절곡된 영역의 신호라인들은 톱니산 모양, 마름모 모양, 벌집 모양 또는 유선형 톱니산 모양 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치.
  9. 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역을 구비하고, 더미 영역에 다수의 검사 패드들, 다수개의 게이트 패드들 및 데이터 패드들로 구성된 패드부; 및 패드부의 패드들과 전기적으로 연결된 다수개의 신호라인들을 포함하는 표시장치를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 표시 영역과 패드 영역을 포함하는 더미 영역으로 구획된 플렉서블 기판 배면에 기판을 부착하는 단계;
    상기 플렉서블 기판의 표시 영역과 대응되는 영역에 어레이층을 형성하는 단계;
    상기 어레이층 상에 필름을 부착하는 단계;
    상기 필름이 부착된 플렉서블 기판 전 영역에 지지물을 부착하는 단계;
    상기 표시 영역과 대응되는 지지물을 제거하여, 상기 플렉서블 기판의 더미 영역에 지지필름을 형성하는 단계 및
    상기 플렉서블 기판 배면에 부착된 기판을 레이저 분리 공정으로 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 패드부의 패드들은 동일 금속재질로 형성되고, 상기 더미 영역의 상기 신호라인들은 패드들과 다른 금속재질로 형성되는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 어레이층은 다수개의 게이트 라인들과,
    상기 다수개의 게이트 라인들과 교차하여 다수개의 화소 영역을 구획하는 다수개의 데이터 라인들과,
    상기 화소 영역에 배치된 박막 트랜지스터와,
    상기 다수개의 화소 영역에 각각에 배치된 화소 전극을 포함하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 각각의 화소 전극 상에는 적색(R), 녹색(G) 또는 청색(B) 유기발광층들을 형성하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 패드부에 형성된 패드들은 박막 트랜지스터 및 게이트 라인과 동일한 물질로 형성되고, 상기 신호라인들은 박막 트랜지스터 및 데이터 라인과 동일한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.

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