KR102041264B1 - 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치 - Google Patents

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KR102041264B1
KR102041264B1 KR1020180083471A KR20180083471A KR102041264B1 KR 102041264 B1 KR102041264 B1 KR 102041264B1 KR 1020180083471 A KR1020180083471 A KR 1020180083471A KR 20180083471 A KR20180083471 A KR 20180083471A KR 102041264 B1 KR102041264 B1 KR 102041264B1
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김영복
김선훈
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한국광기술원
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Abstract

웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부금형 및 상부금형을 이용하여 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하고, 열을 가하여 상기 렌즈용 액상 수지를 경화시켜 렌즈를 제조하는 렌즈 제조장치에 있어서, 상기 렌즈용 액상 수지가 배치되고, 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형, 상기 하부금형을 이동시키는 하부금형 이동모듈, 상기 하부금형에 상기 렌즈용 액상 수지를 공급하는 수지 공급모듈, 상기 하부금형을 가압하도록 상기 상부금형을 이동시키는 상부금형 이동모듈, 상기 상부금형 이동모듈에 의해 하강되어 상기 하부금형에 위치한 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하며, 하부금형의 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 상부금형 및 상기 렌즈용 액상 수지를 경화시키는 열처리모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치를 제공한다.

Description

웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치{Apparatus for Manufacturing Wafer Level Lens}
본 발명은 웨이퍼 레벨 렌즈를 제조하기 위한 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
웨이퍼 레벨 렌즈는 웨이퍼 제조 공정을 이용하여 생산되는 웨이퍼 단위의 렌즈로서, 카메라 모듈 등에 사용된다.
일반적으로, 고정밀의 웨이퍼 레벨 렌즈는 마스터링(Mastering) 공정, 스탬핑(Stamping) 공정, 엠보싱(Embossing) 공정 및 다이싱(Dicing) 공정을 순차적으로 거치며 제작된다.
여기서, 스탬핑 공정은 하부금형에 배치된 렌즈용 액상 수지를 상부금형으로 가압한 후 열을 가하는 공정으로서, 이 공정에 의해 렌즈의 정밀한 형상이 구현된다. 그러나 렌즈의 원재료인 렌즈용 액상 수지는 다음과 같은 특성을 갖고 있기 때문에, 가공 시 문제점이 발생한다.
렌즈용 액상 수지는 도 11에 도시된 그래프와 같은 특성을 갖는다.
도 11은 렌즈용 액상 수지가 온도에 따라 갖는 점도를 도시한 그래프이다.
렌즈용 액상 수지는 온도에 따라 점도가 비례하여 지속적으로 증가하는 것이 아니라, 재료마다 상이한 특성에 의해 특정 온도까지는 오히려 점도가 떨어진다. 이후, 특정 온도보다 온도가 높아질 경우, 다시 점도가 증가하다가 굳어지는 특성을 갖는다.
따라서, 특정 온도에 도달하기 이전 상태에서 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 상부금형을 이용하여 렌즈용 액상 수지에 압력을 가할 경우, 렌즈용 액상 수지의 유변특성(점도 및 용융강도계수)으로 인해 점도가 떨어짐으로서, 과량의 렌즈용 액상 수지가 상부금형으로부터 흘러나오는 현상이 발생한다.
더욱이, 렌즈용 액상 수지가 상부금형으로부터 유출된 상태에서 렌즈용 액상 수지의 열경화가 진행되면, 렌즈의 중심부가 수축되어, 결과적으로, 렌즈와 상부금형 사이에 간극이 발생하는 문제가 발생한다.
본 발명의 일 실시예는, 열이 가해짐에 따라 상부금형으로부터 흘러나오는 렌즈용 액상 수지의 양을 조절할 수 있는 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 레벨 렌즈 제조방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는, 렌즈와 상부금형 사이의 간극을 감소시킬 수 있는 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 레벨 렌즈 제조방법을 제공하는 데 일 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 하부금형 및 상부금형을 이용하여 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하고, 열을 가하여 상기 렌즈용 액상 수지를 경화시켜 렌즈를 제조하는 렌즈 제조장치에 있어서, 상기 렌즈용 액상 수지가 배치되고, 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형, 상기 하부금형을 이동시키는 하부금형 이동모듈, 상기 하부금형에 상기 렌즈용 액상 수지를 공급하는 수지 공급모듈, 상기 하부금형을 가압하도록 상기 상부금형을 이동시키는 상부금형 이동모듈, 상기 상부금형 이동모듈에 의해 하강되어 상기 하부금형에 위치한 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하며, 하부금형의 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 상부금형 및 상기 렌즈용 액상 수지를 경화시키는 열처리모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 하부금형은, 상기 렌즈용 액상 수지가 공급되는 안착면을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 기 설정된 형상의 홈은, 상부금형으로부터 유출된 렌즈용 액상 수지를 수용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 하부금형 이동모듈은,상기 하부금형을 상기 렌즈용 액상 수지가 공급되는 정위치로 위치시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 하부금형 이동모듈은, 상기 하부금형의 일 측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 상부금형은, 상기 렌즈용 액상 수지의 형태를 성형하기 위한 캐비티를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 상부금형은, 하부금형의 기 설정된 형상의 홈보다 작은 면적을 갖는 돌기를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 돌기는, 복수 개의 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 돌기는, 상기 하부금형의 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 렌즈를 제조하는 렌즈 제조장치에 있어서, 상면에 렌즈용 액상 수지가 공급되는 안착부를 구비하며, 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형, 상기 하부금형을 가압하고, 상기 렌즈용 액상 수지의 형태를 성형하는 캐비티를 구비하며, 상기 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 돌기를 갖는 상부금형 및 상기 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형의 홈에 상부금형의 돌기가 결합되어 형성되는 간극방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 하부금형의 기 설정된 형상의 홈과 상부금형의 돌기가 결합됨에 따라, 상기 간극방지부를 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 간극방지부는, 상부금형의 캐비티로부터 유출되는 상기 렌즈용 액상 수지의 양을 조절하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 하부금형 및 상부금형은 소정의 간격을 형성하며 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 안착부 및 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형을 이동시키는 과정, 상기 안착부에 렌즈용 액상 수지를 공급하는 과정, 상부금형의 돌기를 상기 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형에 결합시키는 과정, 상부금형에 열을 가하는 과정 및 상기 상부금형을 분리하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조방법을 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 하부금형 및 상부금형에 형성되어 있는 간극방지부에 의해 상부금형으로부터 유출되는 렌즈용 액상 수지의 양이 조절됨으로써, 가공된 렌즈와 상부금형 사이의 간극을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치의 금형을 이용하여 렌즈용 액상 수지가 열에 의해 경화됨에 따라 수축되어 발생하는 간극을 최소화함으로써, 보다 정밀한 형상의 렌즈를 제조할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치의 구성을 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부금형 및 상부금형의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 간극방지부의 단면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 렌즈용 액상 수지를 공급하는 과정을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 상부금형을 이동시키는 과정을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 상부금형에 열을 가하는 과정을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈의 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 11은 렌즈용 액상 수지가 온도에 따라 갖는 점도를 도시한 그래프이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈를 도시한 도면이다.
도 13은 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈를 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈의 회전대칭성을 도시한 그래프이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부금형의 회전대칭성을 도시한 그래프이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치의 구성을 도시한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)는 하부금형 이동모듈(110), 상부금형 이동모듈(120), 하부금형(130), 상부금형(140), 카메라(150), 제어모듈(160), 수지 공급모듈(170) 및 열처리모듈(180)을 포함한다.
하부금형 이동모듈(110)은 제어모듈(160)의 제어에 따라 하부금형(130)을 이동시킨다. 하부금형 이동모듈(110)은 하부금형(130)의 일 측에 연결되어 있으며, 수지 공급모듈(170)이 하부금형(130)의 안착부에 렌즈용 액상 수지를 공급할 수 있는 정위치로 하부금형(130)을 이동시킨다. 하부금형 이동모듈(110)은 하부금형(130)을 동, 서, 남, 북 방향으로 이동시킴으로써, 하부금형(130)이 기 설정된 방향으로 위치하도록 한다.
하부금형 이동모듈(110)은 복수의 이동 유닛을 구비할 수 있다. 이동 유닛은 롤러 또는 로봇 아암 등으로 구성될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 하부금형(130)을 흠집없이 이동시킬 수 있는 수단이면 어떠한 것으로 대체되어도 무방하다.
수지 공급모듈(170)에 의해 하부금형(130)의 안착부에 렌즈용 액상 수지가 공급되면, 상부금형 이동모듈(120)은 제어모듈(160)의 제어에 따라 상부금형(140)을 하부금형(130)의 위에 위치시킨다.
상부금형 이동모듈(120)은 제어모듈(160)의 제어에 의해 상부금형(140)을 상승시키거나 하강시킨다. 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)의 일 측에 고정되어 있으며, 유압 방식 등에 의해 상부금형(140)을 상승시키거나 하강시킬 수 있다. 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)의 돌기가 하부금형(130)의 홈에 결합될 수 있도록 상부금형(140)을 하강시킨다. 여기서, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)이 하부금형(130)에 완전히 밀착되지 않도록 하강시키며, 상부금형(140)과 하부금형(130) 사이의 간격은 약 5㎜ 정도일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 그리고 열처리모듈(180)에 의해 렌즈용 액상 수지가 완전히 경화되면, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)을 상승시켜 초기위치로 복귀시킨다.
나아가, 상부금형 이동모듈(120)은 하부금형(130)과 상부금형(140)의 충돌여부를 파악하기 위한 센서를 포함할 수 있다. 여기서, 센서는 상부금형(140)과 하부금형(130)의 거리를 파악하기 위한 거리 센서일 수 있다. 상부금형 이동모듈(120)은 센서가 센싱한 정보를 제어모듈(160)로 전송함으로써, 제어모듈(160)이 상부금형(140)과 하부금형(130)의 충돌여부를 판단할 수 있도록 한다. 상부금형(140)과 하부금형(130)이 충돌하지 않은 경우, 제어모듈(160)은 후속공정이 수행될 수 있도록 각 구성요소를 제어한다. 반대로, 상부금형(140)이 하부금형(130)과 충돌한 경우, 상부금형(140)을 하부금형(130)쪽으로 더 이상 이동시키지 않도록 상부금형 이동모듈(120)을 제어하고, 후속공정이 수행되지 않도록 각 구성요소를 제어한다.
하부금형(130)은 상부금형(140)의 하부에 위치하며, 열 전도성이 높은 금속의 재질을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 하부금형(130)의 상면에는 렌즈용 액상 수지가 공급되며, 상부금형(140)에 의해 하부금형(130)에 배치된 렌즈용 액상 수지가 가압된다.
하부금형(130)은 안착부 및 홈을 포함한다. 안착부는 수지 공급모듈(170)에 의해 공급된 렌즈용 액상 수지가 배치되는 부분이며, 홈은 상부금형(140)의 캐비티(Cavity)로부터 유출된 렌즈용 액상 수지가 수용되는 공간이다. 홈은 유출된 렌즈용 액상 수지를 수용함으로써, 렌즈용 액상 수지가 하부금형(130)의 표면으로 넓게 퍼지는 것을 방지한다. 홈은 상부금형(140)의 돌기와 결합됨으로써, 간극방지부를 형성한다.
상부금형(140)은 하부금형(130)의 상부에 위치하며, 하부금형(130)과 마찬가지로 열 전도성이 높은 금속의 재질을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 하부금형(130)에 렌즈용 액상 수지가 공급되면, 상부금형(140)은 하부금형(130)이 위치한 방향으로 하강한다. 이에 의해, 상부금형(140)은 렌즈용 액상 수지의 형태를 성형한다. 상술한 바와 같이, 이때, 상부금형(140)은 하부금형(130)에 완전히 밀착되지 않는다. 열경화가 완료되면, 상부금형(140)은 하부금형(130)으로부터 분리되어 초기 위치로 복귀한다.
상부금형(140)은 캐비티 및 돌기를 포함한다. 캐비티는 상부금형(140)의 내부공간으로서, 캐비티의 형태에 따라 웨이퍼 레벨 렌즈를 가공하기 위한 대상인 렌즈용 액상 수지의 형태가 결정된다. 캐비티는 중공(中孔)의 반원구 형태로 구현될 수 있다. 상술한 바와 같이, 상부금형(140)의 돌기는 하부금형(130)의 홈에 결합된다. 돌기는 복수 개의 기 설정된 형상으로 구현될 수 있다.
하부금형(130) 및 상부금형(140)의 구성에 대해서는 도 2 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.
카메라(150)는 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)의 각 구성요소의 동작을 촬영하여 이를 제어모듈(160)로 전송한다. 카메라(150)는 복수 개로 구성될 수 있으며, 각 구성요소의 동작을 촬영할 수 있는 위치에 설치되면, 어느 곳에 설치되어도 무방하다.
카메라(150)는 정위치를 기준으로 하부금형 이동모듈(110) 또는 하부금형(130)의 일정 면적을 촬영한다. 카메라(150)는 촬영한 영상 또는 이미지를 제어모듈(160)로 제공함으로써, 제어모듈(160)이 하부금형(130)이 정위치에 위치하였는지를 확인할 수 있도록 하고, 경우에 따라 하부금형(130)을 어느 방향으로 이동시켜야 하는지를 판단할 수 있도록 한다.
카메라(150)는 상부금형 이동모듈(120) 또는 상부금형(140)의 일정 면적을 촬영한다. 카메라(150)는 촬영한 영상 또는 이미지를 제어모듈(160)로 제공함으로써, 제어모듈(160)이 상부금형(140)의 돌기가 하부금형(130)의 홈에 결합되었는지를 확인할 수 있도록 하고, 경우에 따라 상부금형(140)을 어느 방향으로 이동시켜야 하는지를 판단할 수 있도록 한다.
카메라(150)는 수지 공급모듈(170)에 의해 렌즈용 액상 수지가 하부금형(130)의 안착부에 기 설정된 양만큼 공급되었는지를 촬영한다. 카메라(150)는 하부금형(130)의 안착부에 배치된 렌즈용 액상 수지의 촬영 영상을 제어모듈(160)로 전송한다. 여기서, 카메라(150)는 서로 다른 측면에서 촬영한 복수 개의 영상을 제어모듈(160)로 전송할 수 있다. 이에, 제어모듈(160)은 렌즈용 액상 수지의 부피를 계산하여, 렌즈용 액상 수지가 기 설정된 양만큼 공급되었는지를 판단할 수 있도록 한다.
카메라(150)는 열처리모듈(180)에 의해 열처리 공정이 완료된 후의 렌즈용 액상 수지의 열화상 이미지를 제어모듈(160)로 제공한다. 카메라(150)는 렌즈용 액상 수지의 열화상 이미지를 제어모듈(160)에 전송하고, 제어모듈(160)은 렌즈용 액상 수지의 경화 정도를 분석하여 후속공정을 제어한다.
카메라(150)는 복수 개로 구성될 수 있으며, 가시광선 영역 및 적외선 영역을 촬영할 수 있는 수단이면 어떠한 것으로 구현되어도 무방하다.
제어모듈(160)은 카메라(150)로부터 데이터를 수신하여 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)의 각 구성요소를 제어한다.
제어모듈(160)은 하부금형(130)의 이동 및 렌즈용 액상 수지의 공급을 제어한다. 제어모듈(160)은 카메라(150)로부터 수신한 영상 또는 이미지를 분석하여, 하부금형(130)이 정위치에서 어느 방향으로 얼마나 벗어났는지를 판단하고, 하부금형 이동모듈(110)을 제어한다.
하부금형 이동모듈(110)에 의해 하부금형(130)이 정위치에 위치하면, 제어모듈(160)은 렌즈용 액상 수지가 하부금형(130)의 안착부에 공급될 수 있도록 수지 공급모듈(170)을 제어한다. 렌즈용 액상 수지가 하부금형(130)의 안착부에 공급되면, 제어모듈(160)은 렌즈용 액상 수지의 부피를 판단한다. 그리고 제어모듈(160)은 하부금형(130)의 홈에 상부금형(140)의 돌기가 결합될 수 있도록 상부금형 이동모듈(120)을 제어한다.
제어모듈(160)은 상부금형(140)의 이동 및 열의 공급을 제어한다. 제어모듈(160)은 카메라(150)로부터 수신한 영상 또는 이미지를 분석하여, 상부금형(140)의 돌기가 하부금형(130)의 홈에 결합되었는지를 판단한다. 상부금형 이동모듈(120)에 의해 상부금형(140)의 돌기가 하부금형(130)의 홈에 결합되면, 제어모듈(160)은 상부금형(140)에 열이 가해질 수 있도록 열처리모듈(180)을 제어한다. 열처리모듈(180)에 의해 렌즈용 액상 수지가 경화되면, 제어모듈(160)은 렌즈용 액상 수지의 경화 정도를 판단한다.
나아가, 렌즈용 액상 수지가 완전히 경화됨에 따라 웨이퍼 레벨 렌즈가 형성되면, 제어모듈(160)은 상부금형(140)이 웨이퍼 레벨 렌즈로부터 분리되어 초기위치로 이동할 수 있도록 상부금형 이동모듈(120)을 제어한다.
수지 공급모듈(170)은 하부금형(130)의 안착부에 렌즈용 액상 수지를 공급한다. 렌즈용 액상 수지는 열에 의해 경화되는 성질을 갖는 열경화성 수지인 페놀 수지, 요소 수지 및 멜라민 수지 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 수지 공급모듈(170)은 니들(Needle)을 사용하여 하부금형(130)의 안착부에 렌즈용 액상 수지를 토출하거나 드롭(Drop)시키는 방법으로 공급할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 수지 공급모듈(170)은 제어모듈(160)의 제어에 의해 기 설정된 양만큼의 렌즈용 액상 수지를 공급한다.
열처리모듈(180)은 렌즈용 액상 수지를 완전히 경화시키기 위한 열처리 공정을 수행한다. 열처리모듈(180)은 상부금형(140)에 열을 가하여 상부금형(140)의 캐비티에 위치한 렌즈용 액상 수지를 경화시킨다. 열처리모듈(180)은 열 또는 기 설정된 대역의 파장을 갖는 자외선(UV)등을 사용하여 렌즈용 액상 수지를 경화시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부금형 및 상부금형의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 하부금형(130) 및 상부금형(140)은 간극방지부(210), 안착부(220) 및 캐비티(230)를 포함한다.
간극방지부(210)는 웨이퍼 레벨 렌즈의 가공 대상인 렌즈용 액상 수지의 유출량을 감소시킴으로써, 결과적으로, 상부금형(140)의 캐비티(230)와 웨이퍼 레벨 렌즈 사이의 간극을 감소시킨다. 다만, 렌즈용 액상 수지는 도 11에 도시된 것과 같은 특징을 갖는다.
도 11은 렌즈용 액상 수지가 온도에 따라 갖는 점도를 도시한 그래프이다.
배경기술을 설명하며 언급하였듯이, 렌즈용 액상 수지는 온도에 따라 점도가 비례하여 지속적으로 증가하는 것이 아니라, 일정 구간의 온도에서는 점도가 떨어졌다가 해당 구간의 온도를 벗어나(온도 증가)는 경우 점도가 증가하는 특성을 갖는다. 상술한 바와 같이, 렌즈용 액상 수지는 상부금형(140)에 의해 가압된 상태로 상부금형(140)으로부터 열을 전달받아 경화되므로, 경화에 비교적 오랜 시간이 소모된다. 이 때문에, 렌즈용 액상 수지의 점도가 떨어진 상태로 비교적 오랜 시간동안 유지됨에 따라, 렌즈용 액상 수지가 상부금형(140)의 캐비티(230)로부터 흘러나오는 현상이 발생한다.
이러한 문제를 해소하고자 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)는 간극방지부(210)를 구비함으로써, 렌즈용 액상 수지가 상부금형(140)의 캐비티(230)로부터 과도하게 유출되는 것을 방지한다. 이에 따라, 도 12에 도시된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)를 제조할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈를 도시한 도면이고, 도 13은 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈를 도시한 도면이다.
도 12를 참조하면, 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)는 코어부(1210) 및 플랜지부(1220)를 포함한다.
코어부(1210)는 광학 소자 역할을 하는 부분이며, 플랜지부(1220)는 스탬핑(Stamping) 공정 중에 형성된 버(Burr)를 포함한다. 도면에 도시된 바와 같이, 코어부(1210)의 높이가 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈(1300)에 비해 상대적으로 높은 것을 확인할 수 있다. 또한, 플랜지부(1220)의 면적도 상당히 감소한 것을 확인할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)는 간극방지부(210)를 이용하여, 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에서 발생한 문제점을 해소하고자 하였다. 이에 따라, 도 12에 도시된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)는 높은 정밀도를 갖는다. 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 형태 및 효과에 대해서는 도 14를 참조하여 후술하도록 한다.
반면, 도 13은 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈(1300)를 도시하고 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 코어부(1310)의 높이가 감소한 것을 확인할 수 있으며, 동시에, 플랜지부(1320)가 과도하게 형성된 것을 알 수 있다. 렌즈용 액상 수지는 경화과정 상에서 일정 시간 동안 낮은 점도를 가지며, 종래의 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치는 간극방지부(210)가 존재하지 않기 때문에, 상부금형(140)의 캐비티(230)로부터 과도하게 유출된다. 더욱이, 열에 의해 렌즈용 액상 수지가 완전히 경화되면서 코어부(1310)가 수축하게 된다. 이에, 코어부(1310)의 곡률이 왜곡되고, 렌즈(1300)의 정밀도가 감소하는 심각한 문제가 발생한다.
다시, 도 2를 참조하면, 상술한 바와 같이, 간극방지부(210)는 렌즈용 액상 수지가 열에 의해 경화됨에 따라, 일정 구간의 온도에서 점도가 떨어지는 현상에 의해 캐비티(230)로부터 흘러나오는 렌즈용 액상 수지의 양을 감소시킨다. 보다 구체적으로 설명하면, 간극방지부(210)에 의해 렌즈용 액상 수지가 흘러나오게 되는 공간이 감소하므로, 캐비티(230)로부터 유출되는 렌즈용 액상 수지의 양이 줄어들게 된다. 동시에, 간극방지부(210)로 유출된 렌즈용 액상 수지가 압력차에 의해 캐비티(230) 내부로 다시 유입됨으로써, 렌즈용 액상 수지의 유입 및 유출량이 상쇄되어, 결과적으로, 캐비티(230)의 중심부와 경화된 렌즈용 액상 수지 간의 간극이 줄어드는 효과가 발생한다. 간극이 줄어듦에 따라, 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈는 정밀도가 높은 형상을 갖게 되며, 이에 따라, 웨이퍼 레벨 렌즈의 성능이 향상될 수 있다.
나아가, 간극방지부(210)는 열처리모듈(180)에 의해 경화되는 과정에서 발생하는 렌즈용 액상 수지의 수축 현상을 보완할 수 있다. 통상적으로, 고분자성 열경화성 렌즈용 액상 수지는 고온에서 수축되는 특성을 갖는다. 여기서, 열처리모듈(180)이 상부금형(140)에 열 또는 자외선을 조사하게 되면, 렌즈용 액상 수지는 상부금형(140)으로부터 열을 전달받아, 상부금형(140)과 가까운 중심부부터 경화되며 수축되는 현상이 발생하게 된다. 이에 의해, 열경화가 완료되어 가공된 웨이퍼 레벨 렌즈와 캐비티(230) 사이에 간극이 발생하게 된다. 즉, 간극방지부(210)는 캐비티(230)로부터 유출되는 렌즈용 액상 수지의 양을 감소시켜, 수축에 의해 발생하는 간극을 보완하는 역할을 한다.
간극방지부(210)는 홈(212) 및 돌기(214)를 포함한다.
홈(212)은 하부금형(130)의 상면에 구비되어 있으며, 렌즈용 액상 수지가 열에 의해 경화됨에 따라 점도가 낮아지는 특성에 의해, 캐비티(230)로부터 흘러나오는 렌즈용 액상 수지를 수용하는 공간이다. 홈(212)은 상부금형(140)이 하강함에 따라 상부금형(140)의 돌기(214)와 결합된다. 홈(212)은 하부금형(130)의 좌측 및 우측에 대칭으로 형성되며, 요(凹)홈 형태로 구현될 수 있으나, 돌기(214)를 수용할 수 있는 형태라면, 어떠한 형태로 구현되어도 무방하다. 홈(212)은 돌기(214)를 수용하므로, 홈(212)의 면적은 돌기(214)의 면적보다 크게 구성될 수 있다.
또한, 홈(212)은 캐비티(230)로부터 흘러나오는 렌즈용 액상 수지를 수용함으로써, 렌즈용 액상 수지가 하부금형(130)의 표면 상에 넓게 퍼지는 것을 방지한다.
돌기(214)는 상부금형(140)의 하면에 구비되어 있으며, 상부금형(140)이 하강함에 따라 하부금형(130)의 홈(212)에 결합된다. 돌기(214)는 상부금형(140)의 좌측 및 우측에 대칭으로 형성된다. 도 2에는 돌기(214)가 역삼각형 형상으로 도시되어 있지만, 돌기(214)는 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 다른 형상으로 구현될 수도 있다.
홈(212) 및 돌기(214)를 포함하는 간극방지부(210)의 형상에 대해서는 도 3 내지 도 6을 참조하여 후술하도록 한다.
안착부(220)는 수지 공급모듈(170)에 의해 렌즈용 액상 수지가 배치된다. 안착부(220)의 상측 표면에는 수지 공급모듈(170)이 안착부(220)에 정확히 렌즈용 액상 수지를 토출하거나 드롭시킬 수 있도록 렌즈용 액상 수지가 공급되는 위치를 설정하기 위한 패턴이 형성될 수 있다.
캐비티(230)는 안착부(220)에 위치된 렌즈용 액상 수지의 모양을 성형하는 부분으로서, 캐비티(230)의 형태에 따라 웨이퍼 레벨 렌즈의 형태가 결정된다. 이에, 캐비티(230)는 중공의 반원구 형상으로 구현될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 간극방지부의 단면이다. 그리고 도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이며, 도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 간극방지부의 단면도이다.
도 3 내지 도 6은 제1 내지 제4 실시예에 따라 홈(212)과 돌기(214)가 결합함으로써 간극방지부가 형성되는 형상을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 홈(212)은 캐비티(230)로부터 흘러나온 렌즈용 액상 수지를 수용하는 공간으로서, 가로 1mm, 세로 1mm의 정사각형 형태로 구현될 수 있다. 렌즈용 액상 수지의 유출 및 유입을 위하여, 돌기(214)는 역삼각형의 형태로 구현될 수 있으며, 홈(212)의 면적보다 작아야 하므로, 밑변 0.8mm, 높이 0.8mm의 길이를 가질 수 있다.
도 4를 참조하면, 홈(212)은 캐비티(230)로부터 흘러나온 렌즈용 액상 수지를 수용하는 공간으로서, 가로 1mm, 세로 1mm의 정사각형 형태로 구현될 수 있다. 돌기(214)는 홈(212)과 마찬가지로, 정사각형 형태로 구현될 수 있으나, 가로 0.8mm, 세로 0.8mm로 홈(212)의 면적보다 작은 면적을 갖는다.
도 5 내지 도 6을 참조하면, 마찬가지로, 홈(212)은 캐비티(230)로부터 흘러나온 렌즈용 액상 수지를 수용하는 공간으로서, 가로 1mm, 세로 1mm의 정사각형 형태로 구현될 수 있다. 그리고 돌기(214)는 밑변 0.8mm, 높이 0.8mm의 직각삼각형의 형태로 구현될 수 있다.
도 3 내지 도 6에서는 홈(212) 및 돌기(214)의 길이를 명시하고 있으나, 홈(212) 및 돌기(214)의 길이는 장치의 구성에 따라 달라질 수 있으며, 반드시 이에 한정되지 않는다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 렌즈용 액상 수지를 공급하는 과정을 도시한 도면이다.
하부금형 이동모듈(110)은 렌즈용 액상 수지(710)가 공급되는 하부금형(130)을 정위치로 위치시킨다. 수지 공급모듈(170)은 니들 등을 이용하여 하부금형(130)의 안착부(220)에 렌즈용 액상 수지(710)를 토출하거나 드롭시킨다. 이때, 하부금형(130)의 안착부(220)에는 수지 공급모듈(170)이 정위치에 렌즈용 액상 수지(710)를 공급할 수 있도록 패턴이 형성되어 있을 수 있다. 렌즈용 액상 수지(710)는 열에 의해 화학적 물성이 변함으로써, 경화되는 성질을 갖는다. 렌즈용 액상 수지(710)는 열에 의해 경화되는 성질을 갖는 열경화성 수지인 페놀 수지, 요소 수지 및 멜라민 수지 등을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 상부금형을 이동시키는 과정을 도시한 도면이다.
수지 공급모듈(170)이 하부금형(130)의 안착부(220)에 렌즈용 액상 수지(710)를 공급하면, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)을 하부금형(130) 위로 이동시킨다. 상부금형(140)은 기 설정된 형상을 갖는 돌기(214) 및 캐비티(230)를 포함하고 있으며, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)의 돌기(214)가 하부금형(130)의 홈(212)에 결합될 수 있도록 유압 등의 방식을 이용하여 상부금형(140)을 하강시킨다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치가 상부금형에 열을 가하는 과정을 도시한 도면이다.
상부금형(140)이 상부금형 이동모듈(120)에 의해 하강되면, 열처리모듈(180)은 상부금형(140)에 열 또는 자외선을 조사한다. 상술한 바와 같이, 열에 의해 렌즈용 액상 수지(710)의 온도는 상승하게 되고, 일정 구간의 온도에서 렌즈용 액상 수지(710)의 점도가 떨어지는 현상이 발생한다. 이에 따라, 렌즈용 액상 수지(710)가 캐비티(230)로부터 유출된다. 이때, 간극방지부(210)는 렌즈용 액상 수지(710)가 유출되는 공간을 감소키는 역할을 함으로써, 렌즈용 액상 수지(710)의 유속 및 유출량을 감소시킨다. 동시에, 캐비티(230)로부터 흘러나와 간극방지부(210)의 홈(212)에 수용된 렌즈용 액상 수지(710)를 다시 캐비티(230) 내부로 유입시킨다.
보다 구체적으로 설명하면, 돌기(214)가 홈에(212)에 결합됨에 따라, 홈(212) 내부에는 제1 홈(910), 제2 홈(911) 및 제3 홈(912)이 형성된다. 렌즈용 액상 수지(710)는 캐비티(230)로부터 제1 홈(910)으로 유출되며, 유출된 렌즈용 액상 수지(710)는 제2 홈(911) 및 제3 홈(912)에 형성된 공간을 따라 이동한다. 반대로, 제3 홈(912)에 위치한 유출된 렌즈용 액상 수지(710)는 압력 차에 의해 제2 홈(911)에 형성된 공간을 통과하여 제1 홈(910)을 지나 다시 캐비티(230) 내부로 유입된다.
렌즈용 액상 수지는 열에 의해 경화됨에 따라, 수축되는 성질을 갖는다. 간극방지부(210)는 유출되는 렌즈용 액상 수지(710)의 양을 감소시킴으로써, 결과적으로, 렌즈용 액상 수지(710)가 열에 의해 수축될 때, 캐비티(230)의 중심부와 경화된 렌즈용 액상 수지(710) 사이에 간극이 발생하는 것을 보완할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈의 제조방법을 도시한 순서도이다.
웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)가 하부금형(130)을 이동시킨다(S1010). 하부금형 이동모듈(110)은 수지 공급모듈(170)이 렌즈용 액상 수지(710)를 하부금형(130)의 정위치에 공급할 수 있는 위치로 하부금형(130)을 이동시킨다.
웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)가 하부금형(130)에 렌즈용 액상 수지(710)를 공급한다(S1020). 수지 공급모듈(170)은 니들(Needle) 등을 이용하여 하부금형(130)의 안착부(220)에 기 설정된 양만큼 렌즈용 액상 수지(710)를 토출하거나 드롭(Drop)시킨다.
웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)가 상부금형(140)을 하강시킨다(S1030). 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)을 하부금형(130)의 위로 위치시킨 후, 간극방지부(210)의 홈(212)에 맞춰 돌기(214)가 결합될 수 있도록 상부금형(140)을 하강시킨다. 이에 의해, 하부금형(130)의 안착부(220)에 위치해 있던 렌즈용 액상 수지(710)는 상부금형(140)의 캐비티(230) 내부로 온전히 수용된다. 여기서, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)이 하부금형(130)에 완전히 밀착되지 않도록 하강시키며, 상부금형(140)과 하부금형(130) 사이의 간격은 약 5㎜ 정도일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)가 상부금형(140)에 열을 가한다(S1040). 열처리모듈(180)은 상부금형(140)에 열 또는 자외선을 조사함으로써, 렌즈용 액상 수지(710)가 열에 의해 경화될 수 있도록 한다. 열처리모듈(180)이 열을 가함에 따라, 렌즈용 액상 수지(710)는 온도가 상승하는 일정 구간에서 점도가 떨어지는 현상이 발생하므로, 캐비티(230) 내부의 렌즈용 액상 수지(710)가 간극방지부(210)의 홈(212)으로 유출된다. 이때, 간극방지부(210)는 유출되는 렌즈용 액상 수지(710)의 양을 감소시킴으로써, 상부금형(140)과 렌즈용 액상 수지(710)간에 발생하는 간극을 줄일 수 있다.
웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)가 상부금형(140)을 분리시킨다(S1050). 열처리모듈(180)에 의해 렌즈용 액상 수지(710)가 완전히 경화되어 웨이퍼 레벨 렌즈가 형성되면, 상부금형 이동모듈(120)은 상부금형(140)을 다시 상승시켜 초기위치로 복귀시킨다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 레벨 렌즈의 회전대칭성을 도시한 그래프이다.
도 14는 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)에 의해 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 x축 및 y축의 회전대칭성을 도시한 그래프이다. 도면에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 x축 및 y축의 회전대칭성이 거의 유사한 것을 알 수 있다. 즉, 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 형태에 왜곡이 거의 발생하지 않은 것을 확인할 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부금형의 회전대칭성을 도시한 그래프이다.
도 15(a)는 상부금형(140)의 캐비티(230)의 회전대칭성을 도시한 그래프이며, 도 14를 참조하여 설명하면, 상부금형(140)의 캐비티(230)의 회전대칭성은 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 회전대칭성과 거의 동일한 것을 확인할 수 있다.
도 15(b)는 상부금형(140)의 캐비티(230)의 원래 그래프를 도시한 도면이다. 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 코어부(1210)는 상부금형(140) 캐비티(230)의 오목한 부분이 전사되어 형성된 부분이므로, 도 15(a)의 그래프는 도 15(b)의 그래프를 상하로 대칭시킨 그래프임을 알 수 있다.
결과적으로, 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치(100)에 의해 형성된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)의 형태는 캐비티(230)와 거의 동일한 형태를 가지며, 열경화에 의한 수축 및 간극이 거의 없이 형성된 것을 알 수 있다. 이렇게 제조된 웨이퍼 레벨 렌즈(1200)는 고도의 정밀성을 가지며 해상도가 우수하고, 이미지 왜곡 등의 문제가 거의 발생하지 않는다.
도 10에서는 각각의 과정을 순차적으로 실행하는 것으로 기재하고 있으나, 이는 본 발명의 일 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것이다. 다시 말해, 본 발명의 일 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 일 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 각각의 도면에 기재된 과정의 순서를 변경하여 실행하거나 과정 중 하나 이상의 과정을 병렬적으로 실행하는 것으로 다양하게 수정 및 변형하여 적용 가능할 것이므로, 도 10은 시계열적인 순서로 한정되는 것은 아니다.
한편, 도 10에 도시된 과정들은 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 즉, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 마그네틱 저장매체(예를 들면, 롬, 플로피 디스크, 하드디스크 등), 광학적 판독 매체(예를 들면, 시디롬, 디브이디 등) 및 캐리어 웨이브(예를 들면, 인터넷을 통한 전송)와 같은 저장매체를 포함한다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 웨이퍼 레벨 렌즈 제조장치
110: 하부금형 이동모듈
120: 상부금형 이동모듈
130: 하부금형
140: 상부금형
150: 카메라
160: 제어모듈
170: 수지 공급모듈
180: 열처리모듈
210: 간극방지부
212: 홈
214: 돌기
220: 안착부
230: 캐비티
710: 렌즈용 액상 수지
910: 제1 홈
911: 제2 홈
912: 제3 홈
1200: 웨이퍼 레벨 렌즈
1210: 코어부
1220: 플랜지부
1300: 웨이퍼 레벨 렌즈
1310: 코어부
1320: 플랜지부

Claims (14)

  1. 하부금형 및 상부금형을 이용하여 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하고, 열을 가하여 상기 렌즈용 액상 수지를 경화시켜 렌즈를 제조하는 렌즈 제조장치에 있어서,
    상기 렌즈용 액상 수지가 배치되고, 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형;
    상기 하부금형을 이동시키는 하부금형 이동모듈;
    상기 하부금형에 상기 렌즈용 액상 수지를 공급하는 수지 공급모듈;
    상기 하부금형을 가압하도록 상기 상부금형을 이동시키는 상부금형 이동모듈;
    상기 상부금형 이동모듈에 의해 하강되어 상기 하부금형에 위치한 렌즈용 액상 수지에 압력을 가하며, 하부금형의 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 상부금형; 및
    상기 렌즈용 액상 수지를 경화시키는 열처리모듈을 포함하며,
    상기 상부금형은 상기 렌즈용 액상 수지의 형태를 렌즈의 형태로 성형하기 위한 캐비티 및 상기 상부금형의 하면에 형성된 돌기를 포함하며,
    상기 기 설정된 형상의 홈은 상기 하부금형의 상면에 형성되며, 상기 캐비티로부터 유출된 렌즈용 액상 수지를 수용하고,
    상기 돌기는 상기 기 설정된 형상의 홈의 면적보다 작은 면적을 가지며, 상기 기 설정된 형상의 홈에 결합되어 상기 기 설정된 형상의 홈으로 유출되는 렌즈용 액상 수지의 양을 감소시키며,
    상기 열처리모듈은 상기 상부금형에 열을 가함으로써, 상기 상부 금형과 가까운 렌즈용 액상 수지로부터 경화되도록 하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부금형은,
    상기 렌즈용 액상 수지가 공급되는 안착면을 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하부금형 이동모듈은,
    상기 하부금형을 상기 렌즈용 액상 수지가 공급되는 정위치로 위치시키는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하부금형 이동모듈은,
    상기 하부금형의 일 측에 배치되는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 렌즈를 제조하는 렌즈 제조장치에 있어서,
    상면에 렌즈용 액상 수지가 공급되는 안착부를 구비하며, 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형;
    상기 하부금형을 가압하고, 상기 렌즈용 액상 수지의 형태를 렌즈의 형태로 성형하는 캐비티를 구비하며, 상기 기 설정된 형상의 홈에 결합되는 돌기를 갖는 상부금형; 및
    상기 기 설정된 형상의 홈을 갖는 하부금형의 홈에 상부금형의 돌기가 결합되어 형성되는 간극방지부를 포함하며,
    상기 기 설정된 형상의 홈은 상기 하부금형의 상면에 형성되며, 상기 캐비티로부터 유출된 렌즈용 액상 수지를 수용하고,
    상기 돌기는 상기 기 설정된 형상의 홈의 면적보다 작은 면적을 가지며, 상기 기 설정된 형상의 홈에 결합되어 상기 기 설정된 형상의 홈으로 유출되는 렌즈용 액상 수지의 양을 감소시키며,
    상기 상부금형은 외부로부터 열을 전달받음음로써, 상기 상부 금형과 가까운 렌즈용 액상 수지로부터 경화되도록 하는 것을 특징으로 하는 렌즈 제조장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230076994A (ko) * 2021-11-24 2023-06-01 한국광기술원 프레스 타입 웨이퍼 렌즈 성형 장치 및 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60149421A (ja) * 1984-01-17 1985-08-06 Mitsubishi Plastics Ind Ltd 抜孔部を有する圧縮成形用金型
KR20110092138A (ko) * 2010-02-08 2011-08-17 주식회사 세코닉스 렌즈용 금형, 이의 제조 방법 및 상기 렌즈용 금형을 이용한 렌즈
JP2014069556A (ja) * 2012-10-02 2014-04-21 Ricoh Co Ltd モールド成形品製造方法及びモールド成形品製造装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60149421A (ja) * 1984-01-17 1985-08-06 Mitsubishi Plastics Ind Ltd 抜孔部を有する圧縮成形用金型
KR20110092138A (ko) * 2010-02-08 2011-08-17 주식회사 세코닉스 렌즈용 금형, 이의 제조 방법 및 상기 렌즈용 금형을 이용한 렌즈
JP2014069556A (ja) * 2012-10-02 2014-04-21 Ricoh Co Ltd モールド成形品製造方法及びモールド成形品製造装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230076994A (ko) * 2021-11-24 2023-06-01 한국광기술원 프레스 타입 웨이퍼 렌즈 성형 장치 및 방법
KR102586718B1 (ko) * 2021-11-24 2023-10-11 한국광기술원 프레스 타입 웨이퍼 렌즈 성형 장치 및 방법

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