KR102040640B1 - 누액 감지센서 - Google Patents

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KR102040640B1
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Abstract

본 발명은 누액 감지센서에 관한 것으로서, 본체 측면으로 광케이블이 인입되고, 상기 광케이블과 연결되는 투광부 및 수광부가 본체 내부에 설치되며, 상기 본체 저면에는 투광부 및 수광부의 수직선상에 위치하는 누액 검출부가 형성되고, 상기 투광부의 전면에는 광신호를 90도 굴절시켜 누액 검출부로 송출하기 위한 제1굴절부가 형성되며, 상기 수광부 전면에는 누액 검출부에서 반사된 광신호를 90도 굴절시켜 수광부로 입력받도록 하는 제2굴절부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

누액 감지센서{SENSOR FOR SENSING LEAK}
본 발명은 누액 감지센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 본체 측면으로 광케이블이 인입되는 구조를 제공함으로써, 제품을 슬림화할 수 있는 누액 감지센서에 관한 것이다.
일반적으로 리크센서는 누수 및 누유 등을 감지하는 센서로서, 케이블 또는 전극형태의 패턴을 이용한 필름형 센서나 빛을 이용한 광학식 센서 등 다양한 종류의 것들이 개시되고 있다.
리크 감지센서의 공지기술로는 공개특허 제10-2005-0107128호의 "반도체 제조설비의 리크 감지센서"가 개시된다.
상기 공지기술은 반도체 제조설비내의 스텝퍼장비내에 발생되는 누수 감지장치로서, 상기 스텝퍼장비 내에 설치되고 웨이퍼 스테이지(wafer stage) 및 프로젝션 렌즈 (projection lens)를 바닥으로 부터 띄워 주는 에어마운트아래에 리크감지센서가 부착되어 있으며, 상기 리크감지센서는 상기 에어마운트와 그 외측면에 냉각수(water)가 플로우되도록 설치된 쿨링라인의 연결부위에서 발생하는 누수침투를 감지하는 센싱부와, 상기 누수를 감지하는 신호의 전압레벨과 누수감지가 되지 않을 때의 기준 전압레벨을 비교분석하여 누수감지를 비교분석하는 비교부와, 상기 비교부를 통해 비교분석된 누수침투를 알려주는 경보부를 포함한다.
그러나, 상기한 공지기술은 구조가 복잡하여 설치공간을 많이 차지할 뿐만 아니라, 전기를 사용함으로써 방폭성이 떨어지는 문제가 있었다.
도 1은 현재 시중에 판매되고 있는 리크 감지센서를 도시한 도면대용 사진으로서, 도 1에서와 같은 종래기술은 본체(10) 내부에 투광부 및 수광부가 내설되고, 본체(10) 저면에는 검출부(30)가 설치되며, 상기 본체(10)의 상면에서 수직방향으로 입출력 2개의 라인으로 이루어진 광케이블(20)이 입력되고, 상기 본체(10)의 상면 일측에는 기기에 결합하기 위한 브라켓(30)이 설치된다.
그러나, 상기한 종래기술은 광케이블(20)이 본체(10) 상면에 수직방향으로 입력되는 구조를 제공함에 따라, 제품을 슬림화하는데 제약이 있고, 감지센서를 설치함에 있어서도, 광케이블(20)과 일직선상의 설치공간을 확보해야하는 문제가 있었다.
대한민국 공개특허공보 제10-2005-0107128호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 본체 측면으로 광케이블이 인입되는 구조를 제공함으로써, 본체를 슬림화하는 것이 가능하고, 이로써 좁은 공간(10mm)은 물론 다양한 장소에 설치가 자유로운 누액 감지센서를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 본체를 불소수지를 이용해 성형 제작함으로써, 내약품성 및 내화학성이 우수하여 누액 감지센서를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 본체 측면으로 광케이블이 인입되고, 상기 광케이블과 연결되는 투광부 및 수광부가 본체 내부에 설치되며, 상기 본체 저면에는 투광부 및 수광부의 수직선상에 위치하는 누액 검출부가 형성되고, 상기 투광부의 전면에는 광신호를 90도 굴절시켜 누액 검출부로 송출하기 위한 제1굴절부가 형성되며, 상기 수광부 전면에는 누액 검출부에서 반사된 광신호를 90도 굴절시켜 수광부로 입력받도록 하는 제2굴절부가 형성되는 것을 특징으로 하는 누액 감지센서가 제공될 수 있다.
여기서, 상기 본체는 투광부, 수광부, 검출부가 설치되는 베이스패널과, 상기 베이스패널과 결합되는 커버로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 본체는 불소수지로 형성될 수 있고, 상기 본체 일측에 설치브라켓이 결합될 수 있다.
이때, 상기 설치브라켓은 볼트체결부재가 관통 결합되는 몸체를 형성하고, 상기 몸체의 중간 위치에서 수평방향으로 연장되는 아암부를 형성하며, 상기 아암부의 끝단으로부터 수직방향으로 돌출 연장되어 탄성에 의한 휨 복원력을 갖는 후크돌기를 형성하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 아암부가 수평방향으로 인입되는 인입홈이 본체의 일측 하부에 형성되고, 상기 후크돌기가 수직방향으로 관통하는 후크관통홀이 인입홈 내측 끝단으로부터 수직방향으로 커버를 관통하여 형성될 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명은 본체 측면으로 광케이블이 인입되는 구조를 제공함으로써, 본체를 슬림화하는 것이 가능하고, 이로써 좁은 공간(10mm)은 물론 다양한 장소에 설치가 자유로워 사용이 편리한 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 본체를 불소수지를 이용해 성형 제작함으로써, 내약품성 및 내화학성이 우수하여 고온의 화학성 및 모든 도전성 액체의 누액감지가 가능한 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 투광부 및 수광부가 불소수지 본체에 의해 안전하게 방호됨으로써, 우수한 내구성과 반영구적 수명을 보장받게 되며, 누액 검출 후에도 청소가 간편할 뿐만 아니라, 손상부품이 발생되지 않아 부품교환 및 유지보수에 따른 비용을 절감할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 불소수지 본체에 의해 안전하게 방호됨으로써, 연속사용온도가 260도 까지도 가능하고, 이로써 가연성 액체, 위험 지역에서도 사용가능한 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 전기를 사용하지 않는 광학식으로 방폭성이 높은 효과를 갖는다.
도 1은 종래기술의 누액 감지센서를 도시한 도면대용 사진.
도 2는 본 발명에 따른 누액 감지센서를 도시한 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 누액 감지세서를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 누액 감지센서를 도시한 저면사시도.
도 5는 본 발명의 본체 내부를 도시한 투시도.
도 6은 본 발명의 본체에 설치브라켓을 결합하는 예를 도시한 분해사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 누액 감지센서를 도시한 평면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 누액 감지세서를 도시한 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 누액 감지센서를 도시한 저면사시도이고, 도 5는 본 발명의 본체 내부를 도시한 투시도이다.
도 2내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 누액 감지센서는 본체(110) 측면으로 광케이블(120)이 인입되고, 상기 광케이블(120)과 연결되는 투광부(130) 및 수광부(170)가 본체(110) 내부에 설치되며, 상기 본체(110) 저면에는 투광부(130) 및 수광부(170)의 수직선상에 위치하는 누액 검출부(150)가 형성되고, 상기 투광부(130)의 전면에는 광신호를 90도 굴절시켜 누액 검출부(150)로 송출하기 위한 제1굴절부(140)가 형성되며, 상기 수광부(170) 전면에는 누액 검출부(150)에서 반사된 광신호를 90도 굴절시켜 수광부(170)로 입력받도록 하는 제2굴절부(160)가 형성된다.
상기 본체(110)는 도 2내지 도 4에서 보는 바와 같이 평면이 사각형인 함체형태로 제작될 수 있다.
이때, 내부 설치구조물의 수리 및 부품교체를 위해 본체(110)를 분리가 가능한 구조로 제작하게 되는데, 판형태의 베이스패널(111)과 상기 베이스패널(111)과 결합되는 커버(112)로 각각 제작한 후, 이를 나사체결 방식에 의해 결합되도록 할 수 있다.
상기 베이스패널(111)은 상부에는 투광부(130) 및 수광부(170), 제1굴절부(140), 제2굴절부(160)가 설치되며, 베이스패널(111) 하부에는 누액 검출부(150)가 설치된다.
이때, 상기 투광부(130) 및 수광부(170)는 광케이블(120)과 연결되고, 베이스패널(111)의 저면 모서리부에는 나사체결을 위한 체결홀(111a)이 형성된다.
이때, 상기 체결홀(111a)을 나사부재의 나선부가 관통하여 커버(112) 측에 나선 결합함으로써, 커버(112)와 베이스패널(111)의 상호 결합이 이루어지게 된다.
또한, 상기 커버(112)에는 체결홀(111a)에 대응하여 돌출 형성되고, 나사부재가 결합되기 위한 기둥형태의 결합리브(미도시)를 형성할 수 있다.
그리고, 상기 케이블(120)은 도 2에서 보는 바와 같이 입력라인(121)과 출력라인(122)으로 이루어진 2개의 신호라인이 공급되는데, 상기 입력라인(121)과 출력라인(122)은 커넥터(123)를 지나면서 1개의 라인으로 묶여져 본체(110)로 연결된다.
이때, 상기 커넥터(123)부터 본체(110) 까지의 광케이블(120) 라인은 불소수지 튜브로 피복함으로써, 내약품성 및 내화학성이 유지되도록 한다.
그리고, 상기 커넥터(123) 이전의 광케이블 입력라인(121)과 출력라인(122) 각각은 플렉시블 튜브로 피복함으로써, 휨 변형이 자유롭게 이루어지도록 한다.
그리고, 상기 본체(110)를 불소수지를 이용해 성형 제작할 수 있는데, 불소수지를 이용해 성형된 본체(110)는 내약품성 및 내화학성이 우수하여 고온의 화학성 및 모든 도전성 액체의 누액감지가 가능하고, 투광부 및 수광부가 불소수지 본체에 의해 안전하게 방호됨으로써, 우수한 내구성과 반영구적 수명을 보장받게 되며, 누액 검출 후에도 청소가 간편할 뿐만 아니라, 손상부품이 발생되지 않아 부품교환 및 유지보수에 따른 비용을 절감할 수 있고, 연속사용온도가 260도 까지도 가능하기 때문에 가연성 액체, 위험 지역에서도 사용이 가능한 이점을 갖게 된다.
도 6은 본 발명의 본체에 설치브라켓을 결합하는 예를 도시한 분해사시도이다.
도 6을 참조하면, 상기 본체(110) 일측에 설치브라켓(180)이 결합되도록 할 수 있는데, 상기 설치브라켓(180)은 본 발명의 누액 감지센서를 설치장소에 쉽게 고정되도록 하기 위한 것이다.
상기 설치브라켓(180)은 볼트체결부재(182)가 관통 결합되는 몸체(181)를 형성하고, 상기 몸체(181)의 중간 위치에서 수평방향으로 연장되는 아암부(183)를 형성하며, 상기 아암부(183)의 끝단으로부터 수직방향으로 돌출 연장되어 탄성에 의한 휨 복원력을 갖는 후크돌기(184)를 형성한다.
그리고, 상기 아암부(183)가 수평방향으로 인입되는 인입홈(113)이 본체(110)의 일측 하부에 형성되고, 상기 후크돌기(184)가 수직방향으로 관통하는 후크관통홀(114)이 인입홈(113) 내측 끝단으로부터 수직방향으로 커버(112)를 관통하여 형성된다.
상기 후크돌기(184)는 도 6에서와 같이 한 쌍이 대향구조를 갖도록 형성할 수 있는데, 후크돌기(184)의 단부는 경사면을 갖는 걸림턱이 외측방향으로 형성되어 있어, 후크관통홀(114)의 진입시에는 외력에 의해 한 쌍의 후크돌기(184)가 오므려져서 후크관통홀(114)을 쉽게 통과할 수 있지만, 이후에는 휨 복원력에 의해 후크돌기(184) 펼쳐지게 되고, 단부의 걸림턱이 후크관통홀(114)의 상면에 걸려서 자력에 의한 분리를 방지할 수 있게 된다.
본체(110)로부터 설치브라켓(180)을 분리하기 위해서는 작업자가 외력을 가해 한 쌍의 후크돌기(184)를 중앙으로 오므리는 작업과 함께 설치브라켓(180)을 후크관통홀(114)로부터 이탈시켜야 한다.
이상에서와 같은 본 발명은 본체 측면으로 광케이블이 인입되는 구조를 제공함으로써, 본체를 슬림화하는 것이 가능하고, 이로써 좁은 공간(10mm)은 물론 다양한 장소에 설치가 자유로워 사용이 편리하며, 전기를 사용하지 않는 광학식으로 방폭성이 향상되는 이점이 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
110: 본체 111: 베이스패널
111a: 체결홀 112: 커버
113: 아암가이드홈 114: 후크관통홀
120: 광케이블 121: 입력라인
122: 출력라인 123: 커넥터
130: 투광부 140: 제1굴절부
150: 검출부 160: 제2굴절부
170: 수광부 180: 설치브라켓
181: 몸체 182: 볼트체결부재
183: 아암부 184: 후크돌기

Claims (6)

  1. 본체(110) 측면으로 광케이블(120)이 인입되고, 상기 광케이블(120)과 연결되는 투광부(130) 및 수광부(170)가 본체(110) 내부에 설치되며, 상기 본체(110) 저면에는 투광부(130) 및 수광부(170)의 수직선상에 위치하는 누액 검출부(150)가 형성되고, 상기 투광부(130)의 전면에는 광신호를 90도 굴절시켜 누액 검출부(150)로 송출하기 위한 제1굴절부(140)가 형성되며, 상기 수광부(170) 전면에는 누액 검출부(150)에서 반사된 광신호를 90도 굴절시켜 수광부(170)로 입력받도록 하는 제2굴절부(160)가 형성되고,
    상기 본체(110) 일측에는 설치브라켓(180)이 설치되고, 상기 설치브라켓(180)은 볼트체결부재(182)가 관통 결합되는 몸체(181)를 형성하고, 상기 몸체(181)의 중간 위치에서 수평방향으로 연장되는 아암부(183)를 형성하며, 상기 아암부(183)의 끝단으로부터 수직방향으로 돌출 연장되어 탄성에 의한 휨 복원력을 갖는 후크돌기(184)를 형성하며, 상기 아암부(183)가 수평방향으로 인입되는 인입홈(113)이 본체(110)의 일측 하부에 형성되고, 상기 후크돌기(184)가 수직방향으로 관통하는 후크관통홀(114)이 인입홈(113) 내측 끝단으로부터 수직방향으로 커버(112)를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 누액 감지센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 투광부(130), 수광부(170), 검출부(150)가 설치되는 베이스패널(111)과, 상기 베이스패널(111)과 결합되는 커버(112)로 형성되는 것을 특징으로 하는 누액 감지센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 본체(110)는 불소수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 누액 감지센서.
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