KR102036252B1 - Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same - Google Patents

Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same Download PDF

Info

Publication number
KR102036252B1
KR102036252B1 KR1020170161535A KR20170161535A KR102036252B1 KR 102036252 B1 KR102036252 B1 KR 102036252B1 KR 1020170161535 A KR1020170161535 A KR 1020170161535A KR 20170161535 A KR20170161535 A KR 20170161535A KR 102036252 B1 KR102036252 B1 KR 102036252B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
enclosure
transport
pollution degree
pollution
transport enclosure
Prior art date
Application number
KR1020170161535A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190062891A (en
Inventor
유승교
노태용
이현욱
김장미
이강하
Original Assignee
주식회사 위드텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 위드텍 filed Critical 주식회사 위드텍
Priority to KR1020170161535A priority Critical patent/KR102036252B1/en
Publication of KR20190062891A publication Critical patent/KR20190062891A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102036252B1 publication Critical patent/KR102036252B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

본 발명은 웨이퍼와 같은 반도체의 운송을 위한 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링 하기 위한 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 운송 인클로저의 외부에 모니터링 장치를 부착시켜 외부 모니터링 장치를 통해 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for monitoring an internal pollution level of a transport enclosure for transporting semiconductors such as wafers. It relates to a device and a method for monitoring the same.

Description

운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법{Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same}Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same}

본 발명은 웨이퍼와 같은 반도체의 운송을 위한 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링 하기 위한 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 운송 인클로저의 외부에 모니터링 장치를 부착시켜 외부 모니터링 장치를 통해 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for monitoring an internal pollution level of a transport enclosure for transporting semiconductors such as wafers. It relates to a device and a method for monitoring the same.

반도체 산업, 디스플레이 산업 핵심 공정에는 매우 다양한 유해성 가스들을 필수적으로 사용하고 있으며, 이러한 유해성 가스들은 불소계, 염소계, 브롬계, 질산계, 황산계와 같은 산성가스와 암모니아, 아민류와 같은 염기성 가스, 유기성 화합물 , Cu, Al, Si과 같은 금속성 물질, P, B와 같은 도판트물질 등이 있다. 일반적으로 이들의 성질은 유독하고 산화력이 매우 강하여 제품의 패턴 이상이나 표면의 과산화 등을 유발하여 제품의 불량을 일으킨다.In the core process of semiconductor industry and display industry, a wide variety of harmful gases are indispensable, and these harmful gases are acid gases such as fluorine, chlorine, bromine, nitric acid and sulfuric acid, and basic gases such as ammonia and amines and organic compounds. , Metallic materials such as Cu, Al, and Si, and dopant materials such as P and B. In general, their properties are toxic and very oxidative, causing product defects or surface peroxides.

특히, 대기 중의 암모니아는 포토레지스터 변형과 산성 가스와 반응을 통해 염을 형성하여 쇼트를 유발시키는 등 반도체 생산 수율과 밀접한 관계를 지니고 있기 때문에 지속적인 모니터링과 관리가 요구되고 있다.In particular, since ammonia in the air has a close relationship with the yield of semiconductor production such as photoresist deformation and salt formation through reaction with acidic gas, it is required to continuously monitor and manage.

특히 반도체, FPD 산업에서는 웨이퍼의 고집적화, 패턴의 미세화에 따라 제품 불량을 방지하고 생산 수율 향상을 위하여 오염 물질을 ppt-ppb의 매우 낮은 수준으로 관리하고 있다. 기존에는 주로 FAB 환경의 모니터링과 관련된 연구에 치중하였으나, 최근에는 국소 환경(mini environment)에서 웨이퍼를 외부와 차단(isolation)하여 대기 중에 존재하는 분자성 오염 물질과의 접촉을 근본적으로 차단(isolation)하는 문제에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.In particular, the semiconductor and FPD industries manage pollutants at very low levels of ppt-ppb to prevent product defects and improve production yields due to high integration of wafers and finer patterns. Previously, the research mainly focused on the monitoring of FAB environment, but recently, in a mini environment, the wafer is isolated from the outside to fundamentally isolate contact with molecular contaminants in the atmosphere. There is a lot of research into the problem.

운송 인클로저라 함은 위와 같은 반도체의 오염을 방지하고 운송하기 위한 수단으로써 대표적으로 FOUP(Front Open Unified Pod) 등을 들 수 있다.The transport enclosure is a FOUP (Front Open Unified Pod) as a means to prevent and transport the contamination of the semiconductor.

반도체에서 웨이퍼(wafer)는 대개 실리콘웨이퍼(siliconwafer)를 의미하며, 이는 반도체의 집적회로를 만드는 토대가 되는 얇은 규소판을 의미한다. 웨이퍼(wafer)는 순도 99.9999999%의 단결정(單結晶) 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은 것이다. 웨이퍼(wafer)의 표면은 결함이나 오염이 없어야 함은 물론, 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문에 고도의 평탄도가 요구된다. 최근에는 두께 0.3㎜, 지름 15~30㎝의 원판 모양의 것이 사용되고 있다.In semiconductors, a wafer usually means a silicon wafer, which means a thin silicon plate on which semiconductors are built. A wafer is made by thinly cutting single crystal silicon having a purity of 99.9999999% and smoothing the surface. The surface of the wafer must be free of defects or contamination, as well as affect the precision of the circuit, requiring a high degree of flatness. In recent years, the disk-shaped thing of thickness 0.3mm and diameter 15-30cm is used.

상기 웨이퍼(wafer)는 조립한 후에 검사가 끝나면 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용된다.The wafer is cut into individual chips after being assembled and used as a finished integrated circuit.

집적회로로 사용될 때까지 웨이퍼(wafer)에는 패턴 공정, 식각 공정, 이온 주입공정 등을 거치며, 운송 인클로저에 수용되어 다음 공정을 위해 이송되거나 수용된 채로 대기하게 된다.Until it is used as an integrated circuit, a wafer goes through a pattern process, an etching process, an ion implantation process, and the like, which is accommodated in a transport enclosure to be transported or accommodated for the next process.

하지만, 웨이퍼는 상기와 같은 공정에서 많은 양의 케미컬(chemical)이 공급되어 화학적 오염이 발생하며, 오염된 웨이퍼(wafer)에 의해 운송 인클로저 내부가 오염될 수 있다.However, the wafer may be supplied with a large amount of chemical in such a process, resulting in chemical contamination, and the inside of the transport enclosure may be contaminated by the contaminated wafer.

이와 같이 오염된 운송 인클로저 내부에서 웨이퍼(wafer)가 장시간 보관되어 운송 인클로저가 특정 농도 수치이상으로 오염되는 경우 웨이퍼(wafer)에 악영향을 끼쳐 제품 불량의 원인이 된다. 따라서 웨이퍼(wafer) 생산의 질적 향상을 위해 운송 인클로저 내부의 가스 오염 정도를 신속하고 정확하게 측정하는 것이 매우 중요하다.If the wafer is stored for a long time in the contaminated transport enclosure and the transport enclosure is contaminated above a certain concentration value, the wafer is adversely affected, which may cause product defects. Therefore, it is very important to quickly and accurately measure the degree of gas contamination inside the transport enclosure to improve the quality of wafer production.

운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링하기 위한 기술로는 한국등록특허공보 제10-1565091호(2015.11.16 공고)에 기재된 바와 같이 운송 인클로저의 내부에 오염물질 감지 용 각종 측정장비 및 측정장비로부터 측정된 오염도 수치를 외부 분석기로 전달하기 위한 중계수단을 구비한 반도체 공정 오염 감시용 웨이퍼 이송장치에 관한 기술이 공지된 바 있다. As a technique for monitoring the internal pollution level of the transport enclosure, as described in Korean Patent Publication No. 10-1565091 (announced on November 16, 2015), the pollution degree measured from various measurement devices and measurement devices for detecting contaminants in the transport enclosure is disclosed. BACKGROUND OF THE INVENTION A technique has been known for a wafer transfer device for monitoring semiconductor process contamination having a relay means for transferring the numerical value to an external analyzer.

위와 같은 운송 인클로저 내장 형 모니터링 장치의 경우 인클로저 내부의 상당 공간을 차지하기 때문에 적재 공간이 축소되고, 웨이퍼를 운송 인클로저에 로딩 및 언로딩하기 위한 로봇 암과의 간섭 및 충돌의 위험이 발생한다. Such monitoring enclosures with built-in transport enclosures occupy a significant amount of space inside the enclosure, reducing the load space and creating a risk of interference and collision with the robot arm for loading and unloading wafers into the transport enclosure.

이를 개선하기 위해 한국등록특허공보 제10-1002950호(2010.12.22. 공고)에 기재된 바와 같이 운송 인클로저의 내부 공기를 샘플링하여 외부 분석장치에 직접 전달하여 인클로저의 오염도를 분석한 기술이 공지된 바 있으나, 운송 인클로저가 특정 장소에 배치된 상태에서만 내부 공기의 샘플링이 가능하기 때문에 운송 인클로저가 이동 중인 상태에서는 오염도 모니터링이 불가한 문제가 있다. In order to improve this, as disclosed in Korean Patent Publication No. 10-1002950 (December 22, 2010), a technique of analyzing the contamination of the enclosure by sampling the internal air of the transport enclosure and directly delivering it to an external analyzer is known. However, since the sampling of the internal air is possible only when the transport enclosure is disposed at a specific place, there is a problem that the pollution degree cannot be monitored while the transport enclosure is in motion.

한국등록특허공보 제10-1002950호(2010.12.22. 공고)Korean Registered Patent Publication No. 10-1002950 (August 22, 2010)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링하기 위한 오염도 측정 장치를 운송 인클로저의 외부에 탈착 식으로 구비하고, 운송 인클로저의 내부 공기를 유입 받도록 구성하여 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법을 제공함에 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a detachable pollution measuring device for monitoring the internal pollution of the transport enclosure on the outside of the transport enclosure, the internal air of the transport enclosure The present invention provides a transport enclosure pollution degree monitoring device and a pollution monitoring method using the same, configured to receive inflow to monitor pollution levels in the transport enclosure.

또한, 운송 인클로저 이송 시 공정 진행을 실시간으로 모니터링하여 웨이퍼 제조 공정의 정상적인 진행 유무를 판단할 수 있는 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법을 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a transport enclosure contamination monitoring device and a pollution monitoring method using the same, which can determine whether the wafer manufacturing process is normally performed by monitoring the process progress in real time during transport of the transport enclosure.

본 발명의 일실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치는, 궤도 형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 웨이퍼를 운송하는 운송 인클로저(100); 상기 운송 인클로저(100)의 외면에 구비되되, 상기 운송 인클로저(100)의 측면에 탈착 가능하도록 상기 운송 인클로저(100)의 외면에 형성된 고정부(151)에 결합되고, 상기 인클로저(100)의 내부 오염도를 측정하는 오염도 측정부(500); 일단이 상기 인클로저(100)의 내부와 연통되며, 타단이 오염도 측정부(500)에 연결되어 인클로저(100) 내부 공기를 오염도 측정부(500)에 전달하는 튜브(550); 및 상기 오염도 측정부(500)와 이격 배치되어 상기 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 상기 오염도 측정부(500)에서 측정된 데이터를 수신하는 분석기(300)를 포함하되, 상기 튜브(550)는, 상류단이 상기 운송 인클로저(100)의 상면에 연통되어 상기 운송 인클로저(100) 내부의 상측 공기를 유입 받고, 하류단이 상기 운송 인클로저(100)의 측면에 구비된 오염도 측정부(500)와 연결된다.Transport enclosure pollution degree monitoring apparatus according to an embodiment of the present invention, the transport enclosure 100 is transported to circulate the track formed in a predetermined space by the track-type automatic transport device 200, transporting the wafer 100; Is provided on the outer surface of the transport enclosure 100, coupled to the fixing portion 151 formed on the outer surface of the transport enclosure 100 to be detachable to the side of the transport enclosure 100, the interior of the enclosure 100 Pollution degree measuring unit 500 for measuring the pollution degree; One end is in communication with the interior of the enclosure 100, the other end is connected to the pollution degree measuring unit 500 to deliver the air inside the enclosure 100 to the pollution degree measuring unit 500; And an analyzer 300 disposed to be spaced apart from the pollution measurement unit 500 to control the operation of the pollution measurement unit 500 and to receive data measured by the pollution degree measurement unit 500, wherein the tube ( 550, an upstream end communicates with an upper surface of the transport enclosure 100 to receive the upper air inside the transport enclosure 100, and a downstream end of the contamination measurer provided on the side of the transport enclosure 100 ( 500).

또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 상기 인클로저(100)의 내부 공기 오염도를 측정하는 측정 수단(510); 및 상기 측정 수단(510)을 통해 측정된 데이터를 상기 분석기(300)에 전달하고, 상기 분석기(300)의 제어신호를 상기 오염도 측정부(500)에 전달하는 통신 모듈(520)을 포함한다. In addition, the pollution degree measuring unit 500, measuring means for measuring the internal air pollution of the enclosure (100); And a communication module 520 which transmits the data measured by the measuring means 510 to the analyzer 300 and transmits a control signal of the analyzer 300 to the pollution degree measuring unit 500.

또한, 상기 모니터링 장치(1000)는, 상기 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하도록 상기 인클로저(100)의 외면에 부착되는 배터리 팩(590)을 더 포함하며, 상기 배터리 팩(590)은 상기 인클로저(100) 상의 상기 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착된다. In addition, the monitoring apparatus 1000 further includes a battery pack 590 attached to an outer surface of the enclosure 100 to supply power to the pollution degree measuring unit 500, wherein the battery pack 590 is the The pollution degree measuring part 500 on the enclosure 100 is attached to a surface opposite to the surface attached.

또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 튜브(550)를 통해 유입 받도록 상기 튜브(550) 상에 구비된 이송팬(560)을 더 포함한다. In addition, the pollution degree measuring unit 500 further includes a transfer fan 560 provided on the tube 550 to receive the internal air of the transport enclosure 100 through the tube 550.

또한, 상기 운송 인클로저(100)는, 상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 순환시키도록 인클로저(100) 내부에 구비되는 순환팬(120)을 더 포함하되, 상기 순환팬(120)은 상기 운송 인클로저(100)의 하측에 구비되어 상기 운송 인클로저(100) 내부 공기를 하측에서 상측으로 순환시킨다.In addition, the transport enclosure 100 further includes a circulation fan 120 provided inside the enclosure 100 to circulate the internal air of the transport enclosure 100, wherein the circulation fan 120 is the transport fan. It is provided on the lower side of the enclosure 100 to circulate the air inside the transport enclosure 100 from the lower side to the upper side.

또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 단부에 돌출되는 제1 돌출부(501); 및 상기 제1 돌출부(501)의 단부에 돌출되는 제2 돌출부(502)를 포함하며, 상기 운송 인클로저(100)는, 상기 제1 돌출부(501)가 슬라이드 결합되도록 외면에 형성된 고리형 고정부(151) 및 상기 제2 돌출부(502)를 상기 운송 인클로저(100)에 고정 결합시키는 고정 클립(152)을 포함한다. In addition, the contamination measurement unit 500, the first protrusion 501 protruding at the end; And a second protrusion 502 protruding from an end of the first protrusion 501, and the transport enclosure 100 includes an annular fixing portion formed on an outer surface of the first protrusion 501 so as to slide the first protrusion 501. 151 and a securing clip 152 that securely couples the second protrusion 502 to the transport enclosure 100.

본 발명의 일실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법은, 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10); 상기 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20); 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30); 분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S40); 상기 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50); 상기 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 포함한다. Monitoring method using a transport enclosure pollution degree monitoring apparatus according to an embodiment of the present invention, the measurement unit attachment step (S10) for attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure (100); An enclosure mounting step (S20) for mounting the transport enclosure 100 on an orbital type automatic transport apparatus 200; Pollution degree monitoring step (S30) in which the analyzer 300 measures and analyzes the pollution degree inside the transport enclosure 100 in conjunction with the pollution degree measuring unit 500; Pollution determination step (S40) for determining whether or not inside the enclosure 100 contamination through the analyzer 300; A process completion step (S50) of completing the process when the contamination level is determined to be normal in the determination step (S40); And a warning step S60 of stopping or alarming the process when it is determined that the pollution degree is abnormal.

또한, 오염도 모니터링 단계(S30)는, 운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면 수행한다. In addition, the pollution monitoring step S30 is performed when the transport enclosure 100 arrives at a specific process facility to perform a specific process.

또한, 상기 공정 완료 단계(S50); 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며, 상기 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행한다. In addition, the process completion step (S50); Thereafter, a transport enclosure transfer step S70 for moving the transport enclosure 100 to another process facility is performed. After the warning step S60, the pollution degree monitoring step S30 is repeatedly performed until the pollution degree is determined to be normal. do.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법은, 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110); 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120); 운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130); 분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S140); 및 상기 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 포함한다. Monitoring method using a transport enclosure pollution degree monitoring apparatus according to another embodiment of the present invention, the measurement unit attaching step (S110) for attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure (100); An enclosure mounting step (S120) for mounting the transport enclosure 100 on the track type automatic transport apparatus 200; Pollution degree monitoring step (S130) of analyzing and analyzing the contamination level in real time in real time by the analyzer 300 is linked to the pollution degree measuring unit 500 when the transport enclosure 100 is moved; Pollution determination step (S140) of determining whether or not inside the enclosure 100 contamination through the analyzer 300; And if the contamination level is determined to be normal in the determination step (S140) and performs a transport maintenance step (S150) to maintain the transfer, if the contamination level is determined to be a warning step of stopping or alarming the transfer of the enclosure (100) (S160).

아울러, 상기 모니터링 방법은, 상기 경고 단계(S60) 이후 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 더 포함한다. In addition, the monitoring method further includes an enclosure position transferring step S170 of transferring the position information of the enclosure 100 to the analyzer 300 after the warning step S60.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법은, 모니터링 장치가 운송 인클로저 내부 공간을 차지하지 않기 때문에 운송 인클로저 내부 공간 활용도가 높아지는 효과가 있다.The transport enclosure pollution degree monitoring apparatus and pollution level monitoring method using the same according to the present invention having the above configuration have an effect of increasing the space utilization inside the transport enclosure since the monitoring device does not occupy the space inside the transport enclosure.

또한, 운송 인클로저 내부를 출입하는 로봇 암과 모니터링 장치의 간섭이나 충돌을 방지한 효과가 있다.In addition, there is an effect of preventing the interference or collision between the robot arm and the monitoring device entering and leaving the transport enclosure.

또한, 운송 인클로저가 이동 중에도 운송 인클로저 내부 오염도의 실시간 모니터링이 가능한 효과가 있다. In addition, there is an effect that allows the real-time monitoring of the contamination inside the transport enclosure while the transport enclosure is in motion.

모니터링 장치를 통해 운송 인클로저의 위치 파악이 용이하여 운송 인클로저의 로드포드 도착 유무 파악 및 특정 위치에서 오염도 모니터링의 수행이 가능한 효과가 있다.The monitoring device makes it easy to locate the transport enclosure, which makes it possible to determine whether the transport enclosure has arrived at the load pod and to perform pollution monitoring at a specific location.

운송 인클로저 외부에 모니터링 장치가 부착되기 때문에 외부에 구비된 분석 장치와의 중계가 용이하여 중계 수단의 간소화로 인한 비용 절감의 효과가 있다. Since the monitoring device is attached to the outside of the transport enclosure, it is easy to relay with an externally provided analysis device, thereby reducing the cost due to the simplification of the relay means.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치 개념도
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 운송 인클로저 내부 오염도 측정을 위한 구성을 나타낸 개념도
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 확대 개념도
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부가 운송 인클로저에 부착된 실시 예를 나타낸 사시도
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 운송 인클로저 부착 과정을 도시한 공정도
도 8은 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 정지 중 오염도 모니터링 방법의 순서도
도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 이송 중 오염도 모니터링 방법의 순서도1 is a conceptual diagram of a monitoring apparatus according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a conceptual diagram showing the configuration for measuring the pollution degree inside the transport enclosure of the pollution degree measuring unit according to an embodiment of the present invention
3 is an enlarged conceptual view of a pollution degree measuring unit according to an embodiment of the present invention;
Figure 4 is a perspective view showing an embodiment in which the contamination measurement unit attached to the transport enclosure according to an embodiment of the present invention
5 to 7 are process diagrams illustrating a process of attaching a transport enclosure to a pollution degree measuring unit according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating a pollution monitoring method during stopping of an enclosure according to an exemplary embodiment of the present invention.
9 is a flowchart illustrating a pollution monitoring method during transport of an enclosure according to an embodiment of the present invention.

이하, 상기와 같은 본 발명의 일실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)를 나타낸 개념도가 도시되어 있다. 1 is a conceptual diagram illustrating a monitoring apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이 운송 인클로저(100)는 궤도형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 내부에 웨이퍼(W)가 실장되어 운송 인클로저(100)를 따라 이송되어 패턴 공정, 식각 공정, 이온 주입공정 등을 거치도록 이송되거나 위 공정 중 한 곳에 수용된 채로 대기하게 된다. 이때 본 발명의 오염도 측정부(500)는 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되며, 운송 인클로저(100) 내부의 공기를 샘플링하여 실시간 및 원격으로 운송 인클로저(100)의 내부 유해물질의 유무와 그 농도를 측정하게 된다. 아울러, 오염도 측정부(500)를 통해 측정된 수치는 무선 통신을 통해 분석기(300)에 전달되어 운송 인클로저(100)의 내부 오염도를 분석하게 된다. As shown in FIG. 1, the transport enclosure 100 is transported to circulate a track formed in a predetermined space by the orbital type automatic transport device 200, and a wafer W is mounted therein and along the transport enclosure 100. It is transported to go through a patterning process, an etching process, an ion implantation process, or the like, and waits in one of the above processes. At this time, the pollution degree measuring unit 500 of the present invention is attached to the outer surface of the transport enclosure 100, by sampling the air inside the transport enclosure 100 in real time and remotely and whether the presence of the harmful substances inside the transport enclosure 100 The concentration will be measured. In addition, the numerical value measured by the pollution degree measuring unit 500 is transmitted to the analyzer 300 through wireless communication to analyze the internal pollution degree of the transport enclosure 100.

이때, 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)는 운송 인클로저(100)의 외부에 부착된 오염도 측정부(500)를 통해 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 샘플링하여 오염도를 측정한 후 분석기(300)에 측정 정보를 전달함에 그 특징이 있는바 이하 오염도 측정부(500)의 세부 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다. At this time, the monitoring device 1000 according to an embodiment of the present invention after measuring the pollution by sampling the internal air of the transport enclosure 100 through the pollution degree measuring unit 500 attached to the outside of the transport enclosure 100 The characteristic configuration of transmitting the measurement information to the analyzer 300 will be described in detail below with reference to the drawings the detailed configuration of the pollution degree measuring unit 500.

도 2에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 운송 인클로저(100) 내부 오염도 측정을 위한 구성을 나타낸 개념도가 도시되어 있고, 도 3에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 확대 개념도가 도시되어 있다.2 is a conceptual diagram showing a configuration for measuring the pollution degree inside the transport enclosure 100 of the pollution degree measuring unit 500 according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a pollution degree measurement according to an embodiment of the present invention An enlarged conceptual diagram of the unit 500 is shown.

도시된 바와 같이 오염도 측정부(500)는 운송 인클로저(100)의 외면에 부착될 수 있다. 또한, 오염도 측정부(500)는 웨이퍼(W)가 수용된 운송 인클로저(100)의 본체(110) 내부 공기를 유입 받도록 일단이 본체(110) 내부에 연통되고 타단이 오염도 측정부(500)의 측정 수단(510)에 연통된 튜브(550)를 포함한다. As shown, the pollution degree measuring unit 500 may be attached to the outer surface of the transport enclosure 100. In addition, the pollution degree measuring unit 500 has one end communicating with the inside of the main body 110 so that the air in the main body 110 of the transport enclosure 100 in which the wafers W are accommodated and the other end of the contamination measuring unit 500 are measured. A tube 550 in communication with the means 510.

측정 수단(510)은 서로 다른 유해성분을 감지하는 다수개의 센싱수단을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 센싱수단은 NH3, HF, HCl, 휘발성 유기화합물질인 VOC(Volatile Organic Compounds)를 감지하는 센서가 적어도 하나 이상 포함될 수 있다. 또한, 센싱수단은 이 외에도 다른 종류의 유해성분을 감지하는 센서로 구성될 수도 있다. 즉, 상기 센싱수단은 공기 내 NH3, HF, HCl, VOC 외에도 공기 중 기타 분자성 오염(Airborne molecular contamination, AMC) 물질들을 감지하는 수단으로 구성될 수 있다.The measuring means 510 may be formed to include a plurality of sensing means for detecting different harmful components. The sensing means may include at least one sensor for detecting NH 3, HF, HCl, VOC (Volatile Organic Compounds). In addition, the sensing means may be composed of a sensor for detecting other kinds of harmful components. That is, the sensing means may be configured to detect other airborne molecular contamination (AMC) substances in the air, in addition to NH3, HF, HCl, VOC in the air.

또한, 오염도 측정부(500)는, 측정 수단(510)을 통해 측정된 오염도를 분석기(300, 도 1 참조)에 전달하기 위한, 통신 모듈(520)을 포함한다. 통신 모듈(520)은 근거리 통신 또는 원거리 통신이 가능한 모듈일 수 있으며, 통신 모듈(520)과, 분석기(300) 사이에 원격으로 신호가 송수신될 수 있는 것이라면 그 종류 및 통신방법은 얼마든지 다양하게 변경실시가 가능하다.In addition, the pollution degree measuring unit 500 includes a communication module 520 for transmitting the pollution degree measured through the measuring means 510 to the analyzer 300 (see FIG. 1). The communication module 520 may be a module capable of short-range communication or long-distance communication, and if the signal can be transmitted and received remotely between the communication module 520 and the analyzer 300, the type and communication method may vary. Modifications are possible.

또한, 오염도 측정부(500)는 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하기 위한 배터리 팩(590)을 포함한다. 배터리 팩(590)은 오염도 측정부(500)와 마찬가지로 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되며, 전력라인(595)을 통해 오염도 측정부(500)와 전기적으로 연결되어 오염도 측정부(500)의 구동에 필요한 전원을 공급하게 된다. 특히 배터리 팩(590)은 운송 인클로저(100)의 외면상에 부착되되 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착될 수 있다. 이는 오염도 측정부(500)로 인해 운송 인클로저(100)의 무게 중심이 한쪽으로 치우치지 않고 운송 인클로저(100)의 중심에 위치하도록 하여 운송 인클로저(100)의 원활하게 이송되도록 하기 위함이다. In addition, the pollution degree measurement unit 500 includes a battery pack 590 for supplying power to the pollution degree measurement unit 500. The battery pack 590 is attached to the outer surface of the transport enclosure 100 similarly to the pollution degree measuring unit 500, and is electrically connected to the pollution degree measuring unit 500 through the power line 595. Supply the power for driving. In particular, the battery pack 590 may be attached on the outer surface of the transport enclosure 100, but may be attached to a surface opposite to the surface to which the pollution degree measuring unit 500 is attached. This is to allow the transport center 100 to be smoothly transported because the center of gravity of the transport enclosure 100 is located at the center of the transport enclosure 100 without biasing to one side due to the pollution degree measuring unit 500.

또한, 오염도 측정부(500)는, 본체(110) 내부의 샘플링 공기를 측정 수단(510)에 용이하게 전달하도록 이송팬(560)을 구비한다. 이송팬(560)은 팬의 회전을 통해 튜브(550) 일단의 공기를 타단으로 이송하기 위한 통상의 팬의 구성이 적용될 수 있다. 이송팬(560)은 도면상에 튜브(550) 타단에 구비된 것으로 도시되어 있으나, 본체(110) 내부의 공기를 측정 수단(510)에 전달할 목적이면, 튜브(550) 상에 어떠한 곳에 구비되어도 무방하다. In addition, the pollution degree measuring unit 500 includes a transfer fan 560 so as to easily transfer the sampling air inside the main body 110 to the measuring means 510. The transfer fan 560 may be configured with a conventional fan configuration for transferring air at one end of the tube 550 to the other end through rotation of the fan. The conveying fan 560 is shown as being provided at the other end of the tube 550 in the drawing, but if the purpose of delivering the air inside the body 110 to the measuring means 510, it may be provided anywhere on the tube 550 It's okay.

또한, 튜브(550) 일단 주변의 공기만 샘플링 되는 것을 방지하기 위해 본체(110) 내부에는 내부 공기 순환을 위한 순환팬(120)이 구비될 수 있다. 순환팬(120)은 본체(110)의 하단에 구비된 것으로 도시되어 있으나, 본체(110) 내부의 공기를 순환시키기 위한 목적이면, 본체(110) 상의 어떠한 곳에 구비되어도 무방하다. In addition, the circulation fan 120 for internal air circulation may be provided inside the main body 110 to prevent sampling of only the air around one end of the tube 550. The circulation fan 120 is illustrated as being provided at the lower end of the main body 110, but may be provided anywhere on the main body 110 as long as it is for the purpose of circulating air in the main body 110.

한편 분석기(300)는, 오염도 측정부(500)와 분리되어 일정거리 이격되어 배치되며, 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 감지된 데이터를 수신하게 된다. 즉 분석기(300)는, 제어 및 송수신을 담당하며, CPU(Central Processing Unit), GPU(Graphic Processing Unit), AP(application processor), DSP(Digital signal processor) 등의 처리장치와, 통신 모듈(520)과의 통신을 담당하여 무선통신수단이 더 구비된다. 또한, 분석기(300)는, 통신 모듈(520)로부터의 데이터를 무선으로 원거리 전송받을 수 있도록 형성될 수도 있다.On the other hand, the analyzer 300 is separated from the pollution degree measuring unit 500 is disposed spaced apart a certain distance, controls the operation of the pollution degree measuring unit 500, and receives the detected data. That is, the analyzer 300 is responsible for control and transmission and reception, and processing devices such as a central processing unit (CPU), a graphics processing unit (GPU), an application processor (AP), and a digital signal processor (DSP), and a communication module 520. It is in charge of the communication with the wireless communication means is further provided. In addition, the analyzer 300 may be formed to receive data from the communication module 520 remotely.

분석기(300)는, 오염도 측정부(500)가 궤도형 자동 운송 장치(200)를 따라 이송되면서, 실시간으로 시료를 포집하여 유해물질을 측정하는 도중, 일정 지점에서 측정 수단(510)에 의해 감지된 유해물질의 농도가 일정 수치 이상일 경우, 통신 모듈(520)을 통해 상기 본체의 위치데이터를 수집할 수 있다.The analyzer 300 is detected by the measuring means 510 at a certain point while the pollution degree measuring unit 500 is transported along the orbital type automatic transportation device 200 and collects a sample in real time to measure harmful substances. When the concentration of the harmful substance is more than a predetermined value, the location data of the main body may be collected through the communication module 520.

이때, 본 발명의 모니터링 장치(1000)는 측정 수단(510)의 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 AD 컨버터(미도시)를 더 포함하여 형성됨으로써, AD 컨버터를 통해 변환된 데이터가 통신모듈(520)을 통해 분석기(400)로 송신될 수 있다.In this case, the monitoring apparatus 1000 of the present invention further includes an AD converter (not shown) for converting analog data of the measuring means 510 into digital data, whereby the data converted through the AD converter is transferred to the communication module 520. ) May be transmitted to the analyzer 400.

이에 따라, 작업자는 제조 공정 상, 오염 발생 지역을 신속히 판단할 수 있으며, 오염원을 찾아 제거하거나, 필요에 따라 공정을 중단하는 등의 대응조치를 취하여 피해 발생을 최소화할 수 있다.Accordingly, the worker can quickly determine the area of contamination in the manufacturing process, and can minimize the occurrence of damage by taking countermeasures such as finding and removing the source of contamination or stopping the process as necessary.

다음으로 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)가 어떠한 형태로 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되는지 세부 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. Next, a detailed configuration of how the pollution degree measuring unit 500 is attached to the outer surface of the transport enclosure 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)가 운송 인클로저(100)에 부착된 실시 예를 나타낸 사시도가 도시되어 있고, 도 5 내지 도 7에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 장착 과정을 도시한 공정도가 도시되어 있다. 4 is a perspective view showing an embodiment in which the pollution degree measuring unit 500 is attached to the transport enclosure 100 according to an embodiment of the present invention, Figures 5 to 7 according to an embodiment of the present invention Process diagram illustrating the mounting process of the pollution degree measuring unit 500 is shown.

도시된 바와 같이 오염도 측정부(500)는 하단에 돌출된 제1 돌출부(501)가 운송 인클로저(100)의 외면에 형성된 고리 형 고정부(151)에 슬라이드 결합된다. (도 5 참조) 다음으로 제1 돌출부(501)에서 외측으로 돌출된 제2 돌출부(502)가 고정 클립(152)을 통해 운송 인클로저(100)의 외면에 고정된다. (도 6 참조) 고정 클립(152)은 운송 인클로저(100)의 외면에 후크 결합되거나, 나사 또는 볼트 결합될 수 있다. (도 7 참조) 위와 같은 구성을 통해 오염도 측정부(500)의 탈부착이 용이하도록 하였다. As shown, the pollution degree measurement unit 500 is slide-coupled to the annular fixing portion 151 formed on the outer surface of the transport enclosure 100, the first protrusion 501 protruding from the bottom. (See FIG. 5) Next, the second protrusion 502 protruding outward from the first protrusion 501 is fixed to the outer surface of the transport enclosure 100 through the fixing clip 152. (See FIG. 6) The securing clip 152 may be hooked, screwed or bolted to the outer surface of the transport enclosure 100. (See FIG. 7) Through the above configuration, the pollution degree measuring unit 500 was easily attached and detached.

이하에서는 상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)를 이용한 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법에 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter will be described with reference to the transport enclosure pollution degree monitoring method using the monitoring device 1000 according to an embodiment of the present invention configured as described above.

도 8에는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 정지 중 모니터링 방법의 순서도가 도시되어 있고, 도 9에는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 이송 중 모니터링 방법의 순서도가 도시되어 있다. 8 is a flowchart illustrating a monitoring method during an enclosure stop according to an embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a flowchart illustrating a monitoring method during transport of an enclosure according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 우선 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10)를 수행한다. 다음으로 오염도 측정부(500)가 부착된 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20)를 수행한다. 다음으로 운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면, 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30)를 수행한다. 다음으로 분석기(300)를 통해 오염도를 분석한 값이 정상인지 여부를 판단하는 오염 여부 판단단계(S40)를 수행하게 된다. Referring to FIG. 8, first, a measurement unit attaching step (S10) of attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure 100 is performed. Next, an enclosure mounting step (S20) of mounting the transport enclosure 100 to which the pollution degree measurement unit 500 is attached to the track type automatic transport device 200 is performed. Next, when the transport enclosure 100 arrives at a specific process facility to perform a specific process, the analyzer 300 interlocks with the pollution measurer 500 to measure and analyze the contamination level inside the transport enclosure 100. (S30). Next, a contamination determination step (S40) is performed to determine whether the value of analyzing the pollution degree through the analyzer 300 is normal.

위 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 수행하게 된다. When the contamination level is determined to be normal in the above determination step (S40), the process completion step (S50) of completing the process is performed. When the contamination level is determined to be abnormal, the warning step (S60) to stop or alarm the process is performed. do.

마지막으로 공정 완료 단계(S50) 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며, 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행하게 된다. Finally, after the process completion step (S50), the transport enclosure transfer step (S70) for moving the transport enclosure 100 to another process facility is carried out, and after the warning step (S60) pollution degree monitoring until the pollution level is determined to be normal Step S30 is repeated.

도 9를 참조하면, 우선 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110)를 수행한다. 다음으로 오염도 측정부(500)가 부착된 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120)를 수행한다. 다음으로 운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130)를 수행한다. 다음으로 분석기(300)를 통해 오염도를 분석한 값이 정상인지 여부를 판단하는 오염 여부 판단단계(S140)를 수행하게 된다. Referring to FIG. 9, first, a measurement unit attaching step (S110) of attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure 100 is performed. Next, an enclosure mounting step (S120) of mounting the transport enclosure 100 to which the pollution degree measuring unit 500 is attached to the track type automatic transport device 200 is performed. Next, when the transport enclosure 100 is moved, the analyzer 300 performs a pollution degree monitoring step (S130) of measuring and analyzing the contamination level in real time in real time by interlocking with the pollution degree measuring unit 500. Next, a contamination determination step (S140) is performed to determine whether the value of analyzing the pollution degree through the analyzer 300 is normal.

위 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 수행하게 된다.When the contamination level is determined to be normal in the above determination step (S140), the transport maintaining step (S150) is maintained to maintain the transport. When the pollution degree is determined to be abnormal, a warning step of stopping or alarming the transport of the enclosure 100 ( S160).

추가적으로 경고 단계(S60) 이후에는 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하여 오염된 인클로저(100)에 후속 조치를 하도록 하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 수행하게 된다. In addition, after the warning step S60, the location information of the enclosure 100 is transmitted to the analyzer 300 to perform an enclosure location delivery step S170 to follow up to the contaminated enclosure 100.

본 발명의 상기한 실시 예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안 된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.The technical spirit should not be interpreted as being limited to the above embodiments of the present invention. Various modifications may be made at the level of those skilled in the art without departing from the spirit of the invention as claimed in the claims. Therefore, such improvements and modifications fall within the protection scope of the present invention as long as it will be apparent to those skilled in the art.

1000 : 모니터링 장치
100 : 운송 인클로저 110 : 본체
120 : 순환팬 151 : 고리형 고정부
152 : 고정 클립
200 : 궤도형 자동 운송 장치
300 : 분석기
500 : 오염도 측정부 510 : 측정 수단
520 : 통신 모듈 550 : 튜브
560 : 이송팬
590 : 배터리 팩1000: monitoring device
100: transport enclosure 110: main body
120: circulation fan 151: annular fixing portion
152: fixed clip
200: Track type automatic transport device
300: Analyzer
500: pollution degree measuring unit 510: measuring means
520: communication module 550: tube
560 feed fan
590 battery pack

Claims (11)

궤도 형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 웨이퍼를 운송하는 운송 인클로저(100);
상기 운송 인클로저(100)의 외면에 구비되되, 상기 운송 인클로저(100)의 측면에 탈착 가능하도록 상기 운송 인클로저(100)의 외면에 형성된 고정부(151)에 결합되고, 상기 인클로저(100)의 내부 오염도를 측정하는 오염도 측정부(500);
일단이 상기 인클로저(100)의 내부와 연통되며, 타단이 오염도 측정부(500)에 연결되어 인클로저(100) 내부 공기를 오염도 측정부(500)에 전달하는 튜브(550);
상기 오염도 측정부(500)와 이격 배치되어 상기 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 상기 오염도 측정부(500)에서 측정된 데이터를 수신하는 분석기(300); 및
상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 순환시키도록 인클로저(100) 내부에 구비되는 순환팬(120)을 포함하되,
상기 오염도 측정부(500)는, 상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 튜브(550)를 통해 유입 받도록 상기 튜브(550) 상에 구비된 이송팬(560)을 더 포함하고,
상기 순환팬(120)은 상기 운송 인클로저(100)의 하측에 구비되어 상기 운송 인클로저(100) 내부 공기를 하측에서 상측으로 순환시키고,
상기 튜브(550)는, 상류단이 상기 운송 인클로저(100)의 상면에 연통되어 상기 운송 인클로저(100) 내부의 상측 공기를 유입 받고, 하류단이 상기 운송 인클로저(100)의 측면에 구비된 오염도 측정부(500)와 연결된 것을 특징으로 하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
A transport enclosure 100 which is transported to circulate a track formed in a predetermined space by the track type automatic transport device 200 and transports a wafer;
Is provided on the outer surface of the transport enclosure 100, coupled to the fixing portion 151 formed on the outer surface of the transport enclosure 100 to be detachable to the side of the transport enclosure 100, the interior of the enclosure 100 Pollution degree measuring unit 500 for measuring the pollution degree;
One end is in communication with the interior of the enclosure 100, the other end is connected to the pollution degree measuring unit 500 to deliver the air inside the enclosure 100 to the pollution degree measuring unit 500;
An analyzer 300 disposed to be spaced apart from the pollution measurer 500 to control the operation of the pollution measurer 500 and to receive data measured by the pollution measurer 500; And
It includes a circulation fan 120 provided in the enclosure 100 to circulate the internal air of the transport enclosure 100,
The pollution degree measuring unit 500 further includes a transfer fan 560 provided on the tube 550 to receive the internal air of the transport enclosure 100 through the tube 550,
The circulation fan 120 is provided below the transport enclosure 100 to circulate air inside the transport enclosure 100 from the lower side to the upper side,
The tube 550 has an upstream end communicating with an upper surface of the transport enclosure 100 to receive the upper air inside the transport enclosure 100, and a downstream end of the tube 550 provided on the side of the transport enclosure 100. Transport enclosure pollution monitoring device, characterized in that connected to the measuring unit (500).
제 1항에 있어서,
상기 오염도 측정부(500)는,
상기 인클로저(100)의 내부 공기 오염도를 측정하는 측정 수단(510); 및
상기 측정 수단(510)을 통해 측정된 데이터를 상기 분석기(300)에 전달하고, 상기 분석기(300)의 제어신호를 상기 오염도 측정부(500)에 전달하는 통신 모듈(520)을 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
The method of claim 1,
The pollution degree measuring unit 500,
Measuring means (510) for measuring an internal air pollution level of the enclosure (100); And
Transport comprising a communication module 520 for transmitting the data measured through the measuring means 510 to the analyzer 300, and transmits a control signal of the analyzer 300 to the pollution degree measuring unit 500, Enclosure pollution monitoring device.
제 1항에 있어서,
상기 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치는,
상기 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하도록 상기 인클로저(100)의 외면에 부착되는 배터리 팩(590)을 더 포함하며,
상기 배터리 팩(590)은 상기 인클로저(100) 상의 상기 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착되는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
The method of claim 1,
The transport enclosure pollution degree monitoring device,
Further comprising a battery pack 590 attached to the outer surface of the enclosure 100 to supply power to the pollution degree measuring unit 500,
The battery pack (590) is attached to the surface facing the surface attached to the contamination measurement unit 500 on the enclosure (100), transport enclosure contamination monitoring device.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 오염도 측정부(500)는,
단부에 돌출되는 제1 돌출부(501); 및
상기 제1 돌출부(501)의 단부에 돌출되는 제2 돌출부(502)를 포함하며,
상기 운송 인클로저(100)는,
상기 제1 돌출부(501)가 슬라이드 결합되도록 외면에 형성된 고리형 고정부(151) 및
상기 제2 돌출부(502)를 상기 운송 인클로저(100)에 고정 결합시키는 고정 클립(152)을 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
The method of claim 1,
The pollution degree measuring unit 500,
A first protrusion 501 protruding at an end portion; And
A second protrusion 502 protruding from an end of the first protrusion 501,
The transport enclosure 100,
Annular fixing portion 151 formed on the outer surface so that the first protrusion 501 is coupled to the slide and
And a securing clip (152) for securely coupling the second protrusion (502) to the transport enclosure (100).
제 1항의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법에 있어서,
오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10);
상기 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20);
분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30);
분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S40);
상기 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50);
상기 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
In the monitoring method using the transport enclosure pollution degree monitoring device of claim 1,
Measuring unit attachment step (S10) for attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure (100);
An enclosure mounting step (S20) for mounting the transport enclosure 100 on an orbital type automatic transport apparatus 200;
Pollution degree monitoring step (S30) in which the analyzer 300 measures and analyzes the pollution degree inside the transport enclosure 100 in conjunction with the pollution degree measuring unit 500;
Pollution determination step (S40) for determining whether or not inside the enclosure 100 contamination through the analyzer 300;
A process completion step (S50) of completing the process when the contamination level is determined to be normal in the determination step (S40);
And a warning step (S60) of stopping or alarming the process when it is determined that the pollution degree is abnormal.
제 7항에 있어서,
오염도 모니터링 단계(S30)는,
운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면 수행하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
The method of claim 7, wherein
Pollution degree monitoring step (S30),
A transport enclosure contamination monitoring method performed when a transport enclosure (100) arrives at a specific process facility to perform a particular process.
제 8항에 있어서,
상기 공정 완료 단계(S50); 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며,
상기 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
The method of claim 8,
The process completion step (S50); Thereafter, a transport enclosure transfer step (S70) of moving the transport enclosure 100 to another process facility is performed.
After the warning step (S60) repeats the pollution degree monitoring step (S30) until the pollution degree is determined to be normal, transport enclosure pollution degree monitoring method.
제 1항의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법에 있어서,
오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110);
운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120);
운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130);
분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S140); 및
상기 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
In the monitoring method using the transport enclosure pollution degree monitoring device of claim 1,
Measurement unit attachment step (S110) for attaching the pollution degree measuring unit 500 to the outer surface of the transport enclosure (100);
An enclosure mounting step (S120) for mounting the transport enclosure 100 on the track type automatic transport apparatus 200;
Pollution degree monitoring step (S130) of analyzing and analyzing the contamination level in real time in real time by the analyzer 300 is linked to the pollution degree measuring unit 500 when the transport enclosure 100 is moved;
Pollution determination step (S140) of determining whether or not inside the enclosure 100 contamination through the analyzer 300; And
If the pollution level is determined to be normal in the determination step (S140), the transport maintenance step (S150) to maintain the transfer is performed, and if the pollution degree is determined to be a warning step of stopping or alarming the transfer of the enclosure (100) S160), the transport enclosure pollution degree monitoring method.
제 10항에 있어서,
상기 모니터링 방법은,
상기 경고 단계(S160) 이후 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 더 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.The method of claim 10,
The monitoring method,
After the warning step (S160) further comprises a location location delivery step (S170) for delivering the location information of the enclosure (100) to the analyzer, transport enclosure contamination monitoring method.
KR1020170161535A 2017-11-29 2017-11-29 Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same KR102036252B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170161535A KR102036252B1 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170161535A KR102036252B1 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190062891A KR20190062891A (en) 2019-06-07
KR102036252B1 true KR102036252B1 (en) 2019-10-24

Family

ID=66850133

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170161535A KR102036252B1 (en) 2017-11-29 2017-11-29 Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102036252B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102267278B1 (en) 2020-10-08 2021-06-21 주식회사 위드텍 Internal pollution sampling device for Front Open Unified Pod and wafer and sampling method of the same
KR102333314B1 (en) 2020-11-19 2021-12-02 주식회사 하이퓨리티 Apparatus for monitoring contamination of semiconductor processes using open path structure
KR102333316B1 (en) 2020-11-19 2021-12-02 주식회사 하이퓨리티 Apparatus with open path structure for monitoring contamination of semiconductor processes
US11733077B2 (en) 2021-03-29 2023-08-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Carrier for measurement and wafer transfer system including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000174109A (en) * 1998-12-01 2000-06-23 Toshiba Corp Wafer housing device and wafer housing method
KR101499691B1 (en) * 2014-05-14 2015-03-09 주식회사 위드텍 Apparatus for analyzing contaminants in air

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100046432A (en) * 2008-10-27 2010-05-07 주식회사 동부하이텍 Device for detecting hume of smif pod
KR101002950B1 (en) 2010-04-07 2010-12-22 주식회사 위드텍 System and method for monitoring gas in conveying enclosure
US9524892B2 (en) * 2011-06-28 2016-12-20 Brooks Automation, Inc. Semiconductor stocker systems and methods

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000174109A (en) * 1998-12-01 2000-06-23 Toshiba Corp Wafer housing device and wafer housing method
KR101499691B1 (en) * 2014-05-14 2015-03-09 주식회사 위드텍 Apparatus for analyzing contaminants in air

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102267278B1 (en) 2020-10-08 2021-06-21 주식회사 위드텍 Internal pollution sampling device for Front Open Unified Pod and wafer and sampling method of the same
KR102333314B1 (en) 2020-11-19 2021-12-02 주식회사 하이퓨리티 Apparatus for monitoring contamination of semiconductor processes using open path structure
KR102333316B1 (en) 2020-11-19 2021-12-02 주식회사 하이퓨리티 Apparatus with open path structure for monitoring contamination of semiconductor processes
US11733077B2 (en) 2021-03-29 2023-08-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Carrier for measurement and wafer transfer system including the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190062891A (en) 2019-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102036252B1 (en) Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same
KR100885010B1 (en) Transportable container including an internal environment monitor
TWI804881B (en) System and method for monitoring parameters of a semiconductor factory automation system
KR102363921B1 (en) Real-time moving carrier system for facility monitoring and control
KR101507436B1 (en) Apparatus for monitoring contaminants in air
KR101565091B1 (en) Wafer Transfer Apparatus for Monitoring Contamination of Semiconductor Processes
KR101780789B1 (en) Substrate transfer container, gas purge monitoring tool, and semiconductor manufacturing equipment with the same
US11584019B2 (en) Substrate carrier deterioration detection and repair
CN110957245B (en) System and method for monitoring machine
US20100129940A1 (en) Vibration monitoring of electronic substrate handling systems
TW201925909A (en) Method for fault detection in fabrication system
US11387123B2 (en) Metrology method in wafer transportation
TWI589852B (en) Apparatus for monitoring contaminants in air
KR101483539B1 (en) Apparatus for analyzing contaminants in air
KR101499691B1 (en) Apparatus for analyzing contaminants in air
TWI270157B (en) Measurement arrangement
KR101867001B1 (en) System and method for analyzing contaminants in air
KR101872761B1 (en) Internal Contamination Measurement Device for Front Open Unified Pod and Measurement Method of the Same
TW201835533A (en) Environment monitoring system
US20240183895A1 (en) Probe card transporting apparatus and method
KR20240044112A (en) Apparatus for sensing temperature and humidity of foup
US20150330885A1 (en) Apparatus and method for inspecting filtering cartridge
JP2023018741A (en) Processing system, and selection method of inspection object
US20130218518A1 (en) Automated, three dimensional mappable environmental sampling system and methods of use
KR20070053477A (en) Semiconductor manufacturing apparatus comprising wafer protrusion sensing device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right