KR101867001B1 - System and method for analyzing contaminants in air - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저(1) 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트(2)를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 순환하고, 적어도 일면에 개폐 가능한 도어(110)를 포함하는 하우징부(100) 및 상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 감지 센서를 포함하는 오염 감지부(200)를 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.에 관한 것이다.The present invention relates to a pollutant monitoring system and a monitoring method thereof, and more particularly, to a pollutant monitoring system and a monitoring method thereof, in which a transportation enclosure (1) used in a semiconductor manufacturing line or a track- A housing part 100 including a door 110 circulating through a preform formed by the transportation device 10 and capable of being opened and closed at least on one side thereof and a housing part 100 inserted into the housing part 100, And a contamination detecting unit (200) including a sensor for detecting in real time the harmful compounds in the air collected during the process of being transported by the trajectory-type automatic transportation apparatus (10). will be.

Description

오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법 {System and method for analyzing contaminants in air}TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pollutant monitoring system,

본 발명은 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 궤도형 자동 운송장치의 운송 인클로저 또는 운송 카세트와 동일한 형태로 제조되는 하우징부의 내부에 삽입 결합되는 오염 감지 모듈을 이용하여, 운송 인클로저 또는 운송 카세트가 이동하는 반도체 생상 공정 지역(클린룸 등) 또는 EFEM 내부의 공기 오염을 분석하여, 오염물질에 대한 실시간 모니터링이 가능한, 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pollutant monitoring system and a method for monitoring the pollutant, and more particularly, to a pollutant monitoring system and a method for monitoring the pollutant using the pollution sensing module inserted and coupled into a housing part, which is manufactured in the same manner as a transportation enclosure or a transportation cassette of a track- And more particularly, to a pollutant monitoring system and a monitoring method thereof capable of real-time monitoring of pollutants by analyzing air pollution in a semiconductor manufacturing process area (clean room, etc.) or EFEM in which a transportation enclosure or a transportation cassette moves.

반도체 산업, 디스플레이 산업 핵심 공정에는 매우 다양한 유해성 가스들을 필수적으로 사용하고 있으며, 이러한 유해성 가스들은 불소계, 염소계, 브롬계, 질산계 및 황산계와 같은 산성가스와 암모니아, 아민류와 같은 염기성 가스, 유기성 화합물, Cu, Al, Si과 같은 금속성 물질, P, B와 같은 도판트 물질 등이 있다.In the semiconductor industry and the display industry core processes, a wide variety of hazardous gases are inevitably used. These harmful gases include acidic gases such as fluorine, chlorine, bromine, nitric acid and sulfuric acid, basic gases such as ammonia and amines, , Metallic materials such as Cu, Al and Si, and dopants such as P and B.

일반적으로 이들의 성질은 유독하고 산화력이 매우 강하여 제품의 패턴 이상이나 표면의 과산화 등을 유발하여 제품의 불량을 일으킨다.Generally, these properties are toxic and very strong in oxidizing power, causing abnormal pattern of product or peroxidation of the surface, resulting in defective product.

이에 따라, 반도체, FPD 산업에서는 웨이퍼의 고집적화, 패턴의 미세화에 따라 제품의 불량을 방지하고, 생산 수율 향상을 위하여, 오염물질을 매우 낮은 수준으로 관리하고 있다. 공기 오염 관리 정책의 대상으로 반도체 생상 공정 지역인 클린룸 내부의 공기 뿐 아니라, 국소 환경(mini environment)으로 바뀌고 있다.Accordingly, in the semiconductor and FPD industries, contaminants are managed at a very low level in order to prevent defective products due to high integration of wafers and miniaturization of patterns, and to improve production yield. The air pollution control policy is changing into a mini environment as well as the air inside the clean room, which is a semiconductor manufacturing process area.

즉, 반도체 제조 라인에서 사용되는 반도체 웨이퍼나, 디스플레이 패널 제조 라인에서 디스플레이 글라스를 운송하는 궤도형 자동운송장치의 인터페이스 모듈인 EFEM의 내부 공간 또한 국소 청정 공간으로 확대되고 있다.That is, the internal space of EFEM, which is an interface module of a semiconductor wafer used in a semiconductor manufacturing line or a track-type automatic transportation device for transporting a display glass in a display panel manufacturing line, is also expanded to a local clean space.

여기서, EFEM(Equipment Front End Module)은, 반도체 제조 라인에서 사용되는 반도체 웨이퍼나, 디스플레이 패널 제조 라인에서 디스플레이 글라스를 운송하는 궤도형 자동 운송장치의 운송 인클로저 또는 운송 카세트를 공정 모듈에 공급하는 공정 장비의 인터페이스 모듈이다.Here, the EFEM (Equipment Front End Module) is a semiconductor wafer used in a semiconductor manufacturing line, a transportation enclosure of a track-type automatic transportation device for transporting a display glass in a display panel manufacturing line, or a process equipment for supplying a transportation cassette to a process module Lt; / RTI >

여기서, 운송 인클로저란, 오염을 방지하고 운송하기 위한 수단으로서 FOUP(Front Opening Unified Pod), Reticle chamber 등을 들 수 있다.Here, the transportation enclosure is a front opening unified foam (FOUP), a reticle chamber and the like as a means for preventing and transporting contamination.

일 예를 들자면, 웨이퍼(wafer)는 조립한 후에 검사가 끝나면 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용되며, 집적회로로 사용될 때까지 웨이퍼에는 패턴 공정, 식각 공정, 이옹 주입 공정 등을 거치며, 운송 인클로저에 수용되어 다음 공정을 위해 이송되거나 수용된 채로 대기하게 된다.For example, a wafer is assembled after being assembled and then cut into individual chips when the inspection is completed. The wafer is subjected to a patterning process, an etching process, and an implanting process until the wafer is used as an integrated circuit. It is housed in a transport enclosure and is waiting to be transported or accommodated for the next process.

이와 같이, 운송 인클로저는 반도체 공정 내에서 여러 설비 안에 투입되었다가 공정이 완료된 후, 웨이퍼가 수용된 상태로 다음 공정으로 이송되면서 반도체 공정이 구비되는 생산라인을 골고루 누비며 이동하게 된다.In this way, the transportation enclosure is loaded into various facilities in the semiconductor process, and after the process is completed, the wafer is transferred to the next process while being accommodated, and the entire process line including the semiconductor process is moved evenly.

이 때, 반도체 공정은 상술한 바와 같이, 웨이퍼 상에 고밀도의 집적회로를 구현하는 매우 정밀한 공정이 이루어지기 때문에 외부로부터 오염물질을 차단한 클린룸 내에서 대부분의 공정이 수행된다.At this time, as described above, since a very precise process for realizing a high-density integrated circuit is performed on the wafer, the semiconductor process performs most of the processes in the clean room where the contaminants are blocked from the outside.

또한, EFEM의 내부 공간은 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 글라스가 직접적으로 노출되는 공간으로 고청정의 유지가 반드시 필요하다.Also, the internal space of the EFEM is required to maintain a high cleanliness as a space where the semiconductor wafer or the display glass is directly exposed.

이를 위하여, 종래의 EFEM 상부에는 팬과 입자 필터(particle filter) 또는 선택적으로 화학 필터(chemical filter)가 설치되어, 공기 내 오염물질이 걸러진 고청정 공기를 내부로 공급하도록 되어 있을 뿐 아니라, EFEM의 내부는 외부의 오염된 공기가 유입되지 않도록 항상 양압으로 유지된다.To this end, a fan, a particle filter or an optional chemical filter is installed on the upper part of the conventional EFEM so as to supply the clean air with the filtered pollutants in the air, The inside is always kept at a positive pressure so that contaminated air from the outside is not introduced.

그렇지만, 상기 필터의 성능이 저하되는 경우를 대비하여 공기의 청정도를 상시 확인하기 위하여 각 단위공정 장비들이 놓여지는 클린룸마다 오염도를 측정하는 센서 및 장치가 구비되는데, 무한대로 센서나 장치의 개수를 증가시킬 수 없기 때문에 오염도 측정에 한계가 있으며 그 측정 영역 또한 매우 제한된다는 문제가 있다.However, in order to always check the cleanliness of the air in the case where the performance of the filter is deteriorated, a sensor and an apparatus for measuring the degree of contamination are provided for each clean room in which each unit process equipment is placed. There is a limitation in the measurement of the degree of contamination, and there is a problem that the measurement area is also very limited.

더불어, 클린룸 간에 웨이퍼 또는 글라스가 이송되는 과정에서도 오염원이 발생될 수 있으므로, 웨이퍼 또는 글라스가 이송되는 전 영역의 오염도를 골고루 측정하기란 매우 어려운 것이 사실이다.In addition, contamination may occur in the process of transferring wafers or glass between cleanrooms, so it is very difficult to uniformly measure the contamination degree of the wafer or the whole area to which the glass is transferred.

이와 관련해서, 국내 공개 특허 제2002-0096608호("반도체 설비용 오염 제거 장치", 이하 선행문헌 1)에서는 청정 환경이 유지되는 클린 룸의 내부에서 독자적으로 청정 환경을 유지할 수 있도록 격리된 반도체 설비에 의하여 오염이 발생하였을 때 이를 신속하게 제거하는 반도체 설비용 오염제거 장치가 개시된 바 있다.Regarding this, in the domestic patent application No. 2002-0096608 ("Decontamination apparatus for semiconductor equipment ", hereinafter referred to as Prior Art 1), a semiconductor device A decontamination device for semiconductor equipment is disclosed which quickly removes contamination when it occurs.

그렇지만, 선행문헌 1을 통해서도 웨이퍼 또는 글라스가 이송되는 전 영역의 오염도를 모니터링하는 것은 불가능하다.However, it is impossible to monitor the contamination degree of the entire area to which the wafer or glass is transferred through the prior art document 1 as well.

국내공개특허 제10-2002-0096608호 (공개일자 2002.12.31.)Korean Patent Publication No. 10-2002-0096608 (published on December 31, 2002)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 더욱 상세하게는 궤도형 자동 운송장치의 운송 인클로저 또는 운송 카세트와 동일한 형태로 제조되는 하우징부의 내부에 삽입 결합되는 오염 감지 모듈을 이용하여, 운송 인클로저 또는 운송 카세트가 이동하는 반도체 생상 공정 지역(클린룸 등) 또는 EFEM 내부의 공기 오염을 분석하여, 오염물질에 대한 실시간 모니터링이 가능한, 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an automatic transporter of a trajectory type automatic transporter, Contamination monitoring systems, which allow real-time monitoring of contaminants by analyzing air pollution in the semiconductors process area (clean room, etc.) or EFEM where the transport enclosure or transport cassette moves using the associated contamination detection module And to provide a monitoring method thereof.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은, 반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저(1) 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트(2)를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 순환하고, 적어도 일면에 개폐 가능한 도어(110)를 포함하는 하우징부(100) 및 상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 오염도를 실시간 감지하는 감지 센서를 포함하는 오염 감지부(200)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention is a system for monitoring a pollutant in a track enclosure 1 used in a semiconductor manufacturing line or a tracked automatic transport apparatus 10 transporting a transportation cassette 2 used in a display panel manufacturing line (100) including a door (110) capable of opening and closing at least one surface thereof and a housing part (100) inserted into the housing part (100), the housing part (100) And a contamination detecting unit 200 including a sensor for detecting in real time the pollution degree of the air collected in the course of being transported by the air conditioner 10.

더불어, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 하우징부(100)에 삽입 결함되어, 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 송신하는 무선 통신부(300) 및 상기 무선 통신부(300)와 무선 네트워크 통신이 가능하며, 상기 무선 통신부(300)로부터 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 수신하며, 상기 오염 감지부(200)의 동작 상태와 상기 도어(110)의 개폐 상태를 제어하는 제어 신호를 송신하는 제어부(400)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the pollutant monitoring system may include a wireless communication unit 300 that transmits data sensed by the pollution sensing unit 200 and position data of the housing unit 100, which is inserted into the housing unit 100, And wireless network communication with the wireless communication unit 300 and receives data sensed by the contamination sensing unit 200 and position data of the housing unit 100 from the wireless communication unit 300, And a control unit 400 for transmitting a control signal for controlling an operation state of the contamination sensing unit 200 and an opening and closing state of the door 110.

또한, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 오염 감지부(200) 및 무선 통신부(300)의 동작 전원을 공급하는 전원 공급부(500)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The pollutant monitoring system further includes a power supply unit 500 inserted into the housing unit 100 to supply operation power of the pollution sensing unit 200 and the wireless communication unit 300 .

이 때, 상기 제어부(400)는 전달받은 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어(110)를 부분 개방하도록 제어하며, 상기 오염 감지부(200)는 부분 개방된 상기 도어(110)에 의해 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.In this case, when the housing unit 100 is carrying a preformed trajectory by the track-type automatic transportation apparatus 10 using the received position data of the housing unit 100, And controls the door 110 to partially open. The pollution sensing unit 200 senses a harmful compound in the air introduced by the partially opened door 110 in real time.

더불어, 상기 도어(110)는 적어도 하나 이상의 타공(111)이 형성되되, 상기 제어부(400)는 전달받은 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어(110)를 폐쇄하도록 제어하며, 상기 오염 감지부(200)는 상기 도어(110)에 형성된 적어도 하나 이상의 타공(111)에 의해 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.In addition, the door 110 is formed with at least one perforation 111, and the controller 400 controls the position of the housing part 100 using the position data of the housing part 100, The control unit controls the door 110 to close when the trajectory formed by the automatic transportation apparatus 10 is being conveyed and the contamination sensing unit 200 is provided on at least one of the perforations 111 formed in the door 110 And detecting the harmful compounds in the air introduced by the air in real time.

더 나아가, 상기 하우징부(100)는 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 순환하여 EFEM(20)과 결합될 경우, 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 상기 도어(110)가 강제 개방되며, 상기 오염 감지부(200)는 개방된 상기 도어(110)에 의해 유입되는 상기 EFEM(20) 내 공기의 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.When the housing unit 100 is coupled with the EFEM 20 by circulating through the preformed trajectory by the track-type automatic transportation apparatus 10, the door 110 is moved by the operation of the EFEM 20, And the pollution sensing unit 200 senses the harmful compounds of air in the EFEM 20 introduced by the opened door 110 in real time.

상세하게는, 상기 오염 감지부(200)는 입자상 오염을 모니터링하는 입자 계수 수단(210), 염기성 기체 또는 양이온의 오염을 모니터링하는 염기성 가스 모니터링 수단(220), 산성 기체 또는 음이온의 오염을 모니터링하는 산성 가스 모니터링 수단(230), 유기성 기체의 오염을 모니터링하는 유기성 가스 모니터링 수단(240), 온도 센싱 수단(미도시) 및 습도 센싱 수단(미도시) 중 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Specifically, the contamination detecting unit 200 includes a particle counting unit 210 for monitoring particulate contamination, a basic gas monitoring unit 220 for monitoring contamination of a basic gas or a cation, a gas monitoring unit 220 for monitoring contamination of an acidic gas or an anion (Not shown), an acid gas monitoring means 230, an organic gas monitoring means 240 for monitoring the contamination of the organic gas, a temperature sensing means (not shown) and a humidity sensing means (not shown) .

또한, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 오염 감지부(200)의 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 AD 컨버터(600)를 더 포함하며, 상기 AD 컨버터(600)를 통해 변환된 데이터가 상기 무선 통신부(300)에 의해 상기 제어부(400)로 송신되는 것을 특징으로 한다.The pollutant monitoring system further includes an AD converter 600 for converting the analog data of the pollution sensing unit 200 into digital data, and the data converted through the AD converter 600 is transmitted to the wireless communication unit 300 to the control unit (400).

더 나아가, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생하는 알람부(700)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Further, the pollutant monitoring system is connected to the control unit 400, and the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 is higher than a preset contamination level And an alarm unit 700 for generating an alarm.

더 나아가, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지하는 추가 분석부(800)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Further, the pollutant monitoring system is connected to the control unit 400, and the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 is higher than a preset contamination level And an additional analyzing unit 800 for re-sensing harmful compounds in the air at the corresponding position using the position data of the corresponding housing unit 100.

더 나아가, 상기 오염물질 모니터링 시스템은 상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행하는 배기부(900)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Further, the pollutant monitoring system is connected to the control unit 400, and the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 is higher than a preset contamination level And an exhaust unit 900 for performing an exhaust operation.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법은, 적어도 일면에 개폐 가능한 도어를 포함하는 하우징부에 삽입 결합되는 오염 감지부(200)가, 반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도에 따라 순환하는 순환 단계(S100), 제어부의 제어에 따라, 상기 오염 감지부에서 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 감지 단계(S200) 및 제어부에서, 상기 오염 감지부에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도를 분석하는 분석 단계(S300)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The contamination monitoring method according to an embodiment of the present invention includes a contamination sensing unit 200 inserted into and coupled to a housing unit including a door that can be opened and closed at least on one side thereof is installed in a transportation enclosure or a display panel manufacturing line A circulation step (S100) of circulating in accordance with a preformed trajectory by a trajectory-type automatic transportation device for transporting a transportation cassette used in the traction type automatic transportation device (10) (S300) of analyzing the concentration of harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit in a sensing step (S200) of sensing a harmful compound in the air collected in the course of being transported by the sensor .

이 때, 상기 감지 단계(S200)는 상기 오염 감지부에서, 제어부의 제어에 따라, 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어를 부분 개방하여, 부분 개방된 상기 도어에 의해 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.At this time, in the sensing step S200, when the housing part is traversing the preformed trajectory by the track-type automatic transportation device, the contamination sensing part partially opens the door, And the harmful compounds in the air introduced by the door are detected in real time.

더 나아가, 상기 도어는 적어도 하나 이상의 타공이 형성되되, 상기 감지 단계(S200)는 상기 오염 감지부에서, 제어부의 제어에 따라, 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어를 폐쇄하고 형성된 적어도 하나 이상의 타공에 의해 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one perforation is formed in the door, and the sensing step (S200) is performed in the contamination sensing unit, under the control of the control unit, while the housing unit is transporting the preformed trajectory by the track- The door is closed and the harmful compound in the air introduced by the at least one piercing hole formed is detected in real time.

더 나아가, 상기 감지 단계(S200)는 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도를 순환하여 EFEM과 결합될 경우, 상기 EFEM의 동작에 의해 상기 도어가 강제 개방되며, 상기 오염 감지부에서, 개방된 도어에 의해 유입되는 EFEM 내 공기의 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 한다.Further, when the housing part is coupled with the EFEM by circulating the preformed trajectory by the track-type automatic transportation device, the door is forcibly opened by the operation of the EFEM, In which the harmful compound of air in the EFEM introduced by the opened door is detected in real time.

더불어, 상기 오염물질 모니터링 방법은 상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후, 제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생하는 알람 단계(S400)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, if the concentration of the harmful component analyzed in the analysis step (S300) is higher than the predetermined contamination level, the pollution monitoring method may perform an alarm And an alarm step (S400) for generating the alarm.

더 나아가, 상기 오염물질 모니터링 방법은 상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후, 제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부가 위치하는 위치 데이터를 전달받아, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지하는 추가 분석 단계(S500)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, when the concentration of the harmful component analyzed in the analysis step (S300) is higher than the preset contamination level, the pollutant monitoring method may further include a step of, after performing the analysis step (S300) (S500) of receiving the positional data of the housing part and re-sensing the harmful compounds in the air at the corresponding position.

더 나아가, 상기 오염물질 모니터링 방법은 상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후, 제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행하는 배기 단계(S600)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Further, when the concentration of the harmful components analyzed in the analysis step (S300) is higher than the preset contamination level, the pollution monitoring method may further include, after performing the analysis step (S300) And an exhaust step (S600) for performing an operation.

상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법은 궤도형 자동 운송장치로 이송 가능한 하우징부의 내부에 삽입 결합되는 오염 감지 모듈인 오염 감지부를 이용하여, 궤도형 자동 운송장치를 통해 이송되는 운송 인클로저 또는 운송 카세트가 이동하는 반도체 생상 공정 지역(클린룸 등) 또는 EFEM 내부의 공기 오염을 분석하여, 원격으로 오염물질에 대한 실시간 모니터링이 가능한 장점이 있다.The pollutant monitoring system and the monitoring method of the present invention having the above-described structure can be applied to a trajectory-type automatic transportation apparatus by using a contamination detecting unit, which is a contamination detecting module inserted and coupled into a housing part, There is an advantage that real time monitoring of pollutants can be performed remotely by analyzing the air pollution in the semiconductor production process area (clean room, etc.) or the EFEM where the transporting enclosure or the transportation cassette is moved.

또한, 종래의 클린룸 내부 모니터링을 위해 형성되는 클린룸 내부의 공기를 외부로 전달하는 별도의 샘플링 도관 및 샘플링 도관과 연결되어 있는 오염 분석기가 필요치 않아, 공정의 구성이 간단하여 비용이 절감될 뿐 아니라, 신속하게 오염물질에 대한 모니터링이 가능한 장점이 있다.In addition, there is no need for a separate sampling conduit for transferring the air inside the clean room, which is formed for the conventional clean room internal monitoring, and a contamination analyzer connected to the sampling conduit, There is, however, an advantage of being able to monitor for pollutants quickly.

즉, 본 발명의 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법은 오염 감지 모듈인 오염 감지부가 내부에 구비되도록 하고, 기존의 궤도형 자동 운송장치가 각 공정이 수행되는 장소를 순환하는 것과 마찬가지로 반도체 또는 디스플레이 제조 라인 곳곳인 반도체 생상 공정 지역(클린룸 등) 또는 EFEM 내부를 이동할 수 있는 하우징부를 통해서, 이동하는 과정에서 수집된 공기 내 오염물질을 오염 감지부를 통해 실시간으로 모니터링한 후, 무선으로 모니터링 데이터를 송신함으로써, 사람이 출입하기 어려운 공정설비 내부의 공기 오염물질을 감지할 수 있으며, 반도체 제조 라인 곳곳의 오염물질을 실시간으로 모니터링 할 수 있다.That is, the pollutant monitoring system and the monitoring method of the present invention include a contamination detecting unit, which is a contamination detecting module, inside the apparatus, and a conventional track-type automatic transportation apparatus circulates the respective processes, The pollutants in the collected air are monitored in real time through the contamination detecting unit through the semiconductor manufacturing process area (clean room, etc.) or the housing part that can move inside the EFEM in the line, This makes it possible to detect air pollutants in process facilities that are difficult for people to access, and real-time monitoring of pollutants in various parts of semiconductor manufacturing lines.

이에 따라, 본 발명의 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법은 감지된 오염물질로 인해 오염원을 추정하고, 이를 차단함으로써 반도체 또는 디스플레이 제조 라인의 청정도 및 공정 정밀도를 높일 수 있어 생산수율 향상에 기여할 수 있다는 장점이 있다.Accordingly, the pollutant monitoring system and the monitoring method of the present invention can estimate the contamination source due to the pollutants detected and block the pollution source, thereby improving the cleanliness and the process accuracy of the semiconductor or display manufacturing line, .

더 나아가, 본 발명은 유해화합물에 노출되어 근무하는 근로자의 작업 환경을 개선하여 산업발전에 기여할 수 있을 뿐만 아니라, 누출 사고 등에 의해 오염이 심각하여 사람의 접근이 어렵거나 사람 손이 닿기 어려운 지역에서의 유해화합물 오염 정도를 측정할 수 있다는 장점이 있다.Further, the present invention can improve the working environment of workers who are exposed to harmful compounds, thereby contributing to industrial development. In addition, the present invention can be applied not only in a region where human access is difficult, The degree of harmful compound pollution can be measured.

아울러, 본 발명은 반도체 또는 디스플레이 제조 공정뿐만 아니라, 산업 단지 주변을 비롯해, 매립지와 소각장 등 야외 환경오염 물질 모니터링 및 병원, 학교 및 제품 제조 현장 등 실내 오염 상태를 모니터링하거나, 조류 인플루엔자, 구제역 및 신종 플루와 같이 병원균 모니터링 등의 의료 분야로 기술이 활용될 수 있다.In addition, the present invention can be applied not only to the semiconductor or display manufacturing process but also to monitoring of indoor environmental pollutants such as landfills and incinerators, industrial clusters, indoor pollution conditions such as hospitals, schools and product manufacturing sites, and avian influenza, Technology can be applied to medical fields such as pathogen monitoring such as flu.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템의 하우징부(100)가 궤도형 자동 운송장치(10)를 순환하는 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템의 도어(110)가 폐쇄된 하우징부(100)를 나타낸 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템의 도어(110)가 개방된 하우징부(100)를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템의 하우징부(100)가 EFEM(20)에 결합된 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법을 간략하게 나타낸 순서도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법을 상세하게 나타낸 순서도이다.1 is a simplified illustration of a pollutant monitoring system in accordance with an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exemplary view of a housing part 100 of a pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention circulating the tracked automatic transportation device 10.
3 is an exemplary view showing a housing part 100 in which a door 110 of a pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention is closed.
FIG. 4 is an exemplary view showing a housing part 100 in which a door 110 of a pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention is opened.
FIG. 5 is an exemplary view of a housing portion 100 of a pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention coupled to an EFEM 20. FIG.
6 is a flowchart briefly showing a pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a flowchart illustrating a pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention in detail.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한, 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a pollutant monitoring system and a monitoring method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following drawings are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the following drawings, but may be embodied in other forms. In addition, like reference numerals designate like elements throughout the specification.

이 때, 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.In this case, unless otherwise defined, technical terms and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In the following description and the accompanying drawings, A description of known functions and configurations that may unnecessarily obscure the description of the present invention will be omitted.

더불어, 시스템은 필요한 기능을 수행하기 위하여 조직화되고 규칙적으로 상호 작용하는 장치, 기구 및 수단 등을 포함하는 구성 요소들의 집합을 의미한다.In addition, a system refers to a collection of components, including devices, mechanisms, and means that are organized and regularly interact to perform the required function.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법은, 반도체 제조 라인에서 사용되는 반도체 웨이퍼나, 디스플레이 패널 제조 라인에서 디스플레이 글라스를 운송시키는 궤도형 자동 운송장치(10)의 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)와 함께, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 따라 이송하는 하우징부(100)의 내에 삽입 결합되는 오염 감지부(200)가, 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 오염물질을 측정 및 유해성분의 농도를 분석할 수 있다.The pollutant monitoring system and the monitoring method thereof according to an embodiment of the present invention may be applied to a semiconductor wafer used in a semiconductor manufacturing line or a transportation enclosure (not shown) of a track-type automatic transportation device 10 for transporting a display glass in a display panel manufacturing line The contamination sensing part 200 inserted into the housing part 100 to be transported according to the track type automatic transportation device 10 together with the transportation cassette 2 or the transportation cassette 2 is moved in the air The pollutants can be measured and the concentration of harmful components can be analyzed.

이 때, 상기 하우징부(100)는 도 2와 같이, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 따라 이송되면서 반도체 생산 공정 지역(이하, 클린룸)의 오염 모니터링할 수 있으며, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 따라 EFEM(Equipment Front End Module)과 결합(도킹)하여 EFEM 내부의 오염 또한 모니터링할 수 있다.2, the housing unit 100 can be monitored for contamination of a semiconductor manufacturing process area (hereinafter referred to as a "clean room") while being transported along the track-type automatic transportation device 10, The contamination inside the EFEM can also be monitored by docking (docking) with the Equipment Front End Module (EFEM) according to the device 10.

클린룸의 오염 모니터링시, 도 3과 같이, 상기 오염 감지부(200)는 상기 하우징부(100)의 일면에 형성된 도어(110)에 형성된 적어도 하나 이상의 타공(111)을 통해서, 상기 도어(110)의 개폐 동작 없이도, 클린룸 내의 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있으며,3, the contamination sensing unit 200 is connected to the door 110 through at least one hole 111 formed in a door 110 formed on one side of the housing unit 100, It is possible to detect in real time the harmful compounds in the air in the clean room,

EFEM의 오염 모니터링시, 도 4 및 도 5와 같이, 상기 하우징부(100)의 일면에 형성된 도어(110)는 상기 EFEM의 도어와 결합됨과 동시에 개방되면서, 다른 구역의 공기와 혼입되지 않은 순수 EFEM 내의 공기를 감지하여, EFEM 내의 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.4 and 5, the door 110 formed on one side of the housing part 100 is coupled to the door of the EFEM and is opened while being connected to the door of the EFEM, It is possible to detect in real time the harmful compounds in the air in the EFEM.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템을 나타낸 구성도이다. 도 1을 참조로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템을 상세히 설명한다.1 is a block diagram illustrating a pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention. The pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징부(100), 오염 감지부(200), 무선 통신부(300) 및 제어부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.The pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention may include a housing unit 100, a pollution sensing unit 200, a wireless communication unit 300, and a control unit 400, as shown in FIG. have.

각 구성에 대해서 자세히 알아보자면,To learn more about each configuration,

상기 하우징부(100)는 반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저(1) 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트(2)를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 순환할 수 있도록 상기 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)와 동일한 형태로 제조되는 것이 가장 바람직하나, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 순환할 수 있는 형태이면 무방하다. 상기 하우징부(100)의 내부는 상기 오염 감지부(200)가 삽입 결합되는 것이 바람직하다.The housing part 100 is configured to circulate a track formed in advance by a track-type automatic transportation device 10 for transporting a transportation cassette 2 used in a transportation enclosure 1 or a display panel manufacturing line used in a semiconductor manufacturing line It is most preferable that they are manufactured in the same form as the transportation enclosure 1 or the transportation cassette 2 so as to be able to circulate the trajectory formed in advance by the trajectory type automatic transportation device 10. The contamination detecting unit 200 may be inserted into the housing unit 100.

도 2와 같이, 기존의 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 반도체 제조 공정 또는 디스플레이 패널 제조 공정의 각 공정이 수행되는 장소를 이동하는 것과 마찬가지로, 상기 하우징부(100) 또한 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도, 즉, 반도체 제조 공정 또는 데스플레이 패널 제조 공정의 각 공정이 수행되는 장소로 이동하면서 수집된 공기 내 유해물질을 상기 오염 감지부(200)를 통해 실시간으로 분석하는 것이 바람직하다.As in the case of Fig. 2, the existing transportation enclosure 1 or the transportation cassette 2 is moved by the track-type automatic transportation device 10 to the place where each process of the semiconductor manufacturing process or the display panel manufacturing process is performed , The housing part 100 is also moved to a place where the process of the semiconductor manufacturing process or the despeckle panel manufacturing process is performed in the track formed in advance by the tracked automatic transportation device 10, May be analyzed in real time through the contamination detection unit (200).

이 때, 상기 하우징부(100)는 적어도 일면에 개폐 가능한 도어(110)가 형성되는 것이 바람직하며, 상기 도어(110)는 적어도 하나 이상의 타공(111)을 포함할 수 있으나, 설계자의 편의에 따라 적절하게 결정할 수 있다.At this time, it is preferable that a door 110 which can be opened and closed at at least one side is formed in the housing part 100. The door 110 may include at least one perforation 111, Can be determined appropriately.

적어도 하나 이상의 타공(111)이 포함되어 있을 경우, 상기 도어(110)는 도 3에 도시된 바와 같이, 적어도 하나 이상의 타공(111)을 통해서 상기 도어(110)의 개폐 제어가 없더라도 일정량의 공기가 상기 하우징부(100) 내부로 전달되어 상기 오염 감지부(200)에서 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.3, when the at least one perforation 111 is included, the door 110 may be opened and closed by a predetermined amount of air even though there is no control for opening and closing the door 110 through at least one perforation 111 The pollution sensing unit 200 can detect the harmful compounds in the air in real time by being transmitted into the housing unit 100.

적어도 하나 이상의 타공(111)이 포함되어 있지 않을 경우, 상기 도어(110)는 부분 개방되어 상기 도어(110)에 의해 상기 하우징부(110)로 유입되는 공기 내 유해화합물을 상기 오염 감지부(200)에서 실시간 감지할 수 있다.When the at least one perforation 111 is not included, the door 110 is partly opened so that harmful compounds in the air flowing into the housing part 110 by the door 110 are discharged to the contamination sensing part 200 ) In real time.

상기 도어(110)의 적어도 하나 이상의 타공(111) 유무는 상기 하우징부(100)의 설계에 따라 충분히 변경 가능하다.The presence or absence of at least one perforation (111) of the door (110) can be sufficiently changed according to the design of the housing part (100).

더불어, 상기 하우징부(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 상기 도어(110)의 개폐가 제어가 이루어질 수 있어, 필요에 따라 상기 도어(110)가 완전 개방(전체 개방)되어 상기 하우징부(100) 내부로 전달되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.4, the opening and closing of the door 110 can be controlled by the operation of the EFEM 20, so that the door 110 can be fully opened It is possible to detect in real time the harmful compounds in the air that is delivered to the inside of the housing part 100.

즉, 상기 EFEM(20)에 형성되어 있는 도어와 도킹되는 과정에서, 상기 EFEM(20)가 상기 하우징부(100)의 도어(110)를 강제 완전 개방시켜, 상기 하우징부(100) 내부로 상기 EFEM(20) 내의 공기를 전달하는 것이 바람직하다.That is, in the process of being docked with the door formed in the EFEM 20, the EFEM 20 forcibly completely opens the door 110 of the housing part 100, It is desirable to deliver air in the EFEM 20.

상기 오염 감지부(200)는 상술한 바와 같이, 상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 감지 센서를 포함하는 것이 바람직하다.As described above, the contamination detecting unit 200 is inserted into the housing unit 100, and the contamination detecting unit 200 detects the contamination of the housing unit 100 in the air collected during the transportation of the housing unit 100 by the track- It is preferable to include a detection sensor for detecting a harmful compound in real time.

다시 말하자면, 상기 하우징부(100)는 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의한 미리 형성된 궤도를 상기 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)와 마찬가지로 이송되게 형성 제조되며, 상기 하우징부(100)의 내부에 상기 오염 감지부(200)가 삽입 결합될 수 있으며, 상기 오염 감지부(200)는 상기 하우징부(100)의 도어(110)를 통해서, 또는 적어도 하나 이상의 타공(111)을 통해서 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.In other words, the housing part 100 is formed so as to be transported in the same manner as the transportation enclosure 1 or the transportation cassette 2 by the track formed by the track-type automatic transportation device 10, and the housing part 100 The contamination detecting unit 200 may be inserted into the interior of the housing unit 100 through the door 110 of the housing unit 100 or through at least one of the perforations 111 It is possible to detect in real time the harmful compounds in the collected air.

상기 오염 감지부(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 입자 계수 수단(210), 염기성 가스 모니터링 수단(220), 산성 가스 모니터링 수단(230), 유기성 가스 모니터링 수단(240), 온도 센싱 수단(미도시) 및 습도 센싱 수단(미도시) 중 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으며, 설계자의 편의, 측정하고자 하는 오염 물질 종류 등에 따라 적절하게 모두 또는 어느 한가지로만 이루어질 수 있다.1, the contamination detecting unit 200 includes a particle counting unit 210, a basic gas monitoring unit 220, an acid gas monitoring unit 230, an organic gas monitoring unit 240, (Not shown) and a humidity sensing means (not shown), and may be suitably selected from all or one of the following methods according to the convenience of the designer, the type of contaminants to be measured, and the like.

상기 입자 계수 수단(210)은 직접 광산란법을 이용한 광학 입자 계수기 또는 입자의 응축 성장을 통한 응축물의 광산란을 이용한 응축 핵 계수기 중 선택되는 어느 한 가지로 이루어지며, 0.005㎛ ~ 1㎛ 범위 내의 크기를 가지는 오염 입자를 측정하는 것이 바람직하다.The particle counting means 210 is composed of either an optical particle counter using a direct light scattering method or a condensation particle counter using light scattering of a condensate through condensation growth of particles and has a size within a range of 0.005 mu m to 1 mu m It is preferable to measure the contaminated particles.

상기 염기성 가스 모니터링 수단(220), 산성 가스 모니터링 수단(230) 및 유기성 가스 모니터링 수단(240)은 형광 분석기, 이온 크로마토그래피 장치, 가시광선-자외선 흡광도 측정 장치, 적외선 분광 광도계, 질량 분석 장치, 가스 크로마토그래피, 가스 크로마토그래피-질량 분석 장치 및 가스 센서 중 선택되는 어느 한 가지 이상으로 이루어질 수 있다. 상기 염기성 가스 모니터링 수단(240) 또는 상기 산성 가스 모니터링 수단(230)을 실제 구현함에 있어서 어떤 기기가 사용되는 지는 설계자의 편의, 측정하고자 하는 오염 물질 종류 등에 따라 적절하게 결정할 수 있다.The basic gas monitoring means 220, the acid gas monitoring means 230 and the organic gas monitoring means 240 may be a fluorescence analyzer, an ion chromatograph, a visible light-ultraviolet absorbance measuring device, an infrared spectrophotometer, Chromatography, gas chromatography-mass spectrometry, and gas sensors. In actual implementation of the basic gas monitoring means 240 or the acid gas monitoring means 230, it is possible to appropriately determine which equipment is used depending on the convenience of the designer, the type of contaminants to be measured, and the like.

이 때, 상기 염기성 가스 모니터링 수단(220)은 암모니아 가스(NH3), 아민류, NMP 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 가스 또는 NH4 +를 포함하는 양이온을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the basic gas monitoring means 220 is capable of measuring a gas containing at least one selected from ammonia gas (NH 3 ), amines and NMP, or cations containing NH 4 + .

상기 산성 가스 모니터링 수단(230)은 HF, HCl, HBr, HNO3, H3PO4, H2SO4, CH3COOH, HCOOH, 유기산들 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 가스 또는 F-, Cl-, NO2-, Br-, NO3 -, SO4 2- 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 음이온을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.The acid gas monitoring means 230 is HF, HCl, HBr, HNO 3 , H 3 PO 4, H 2 SO 4, CH 3 COOH, HCOOH, a gas containing one or more which is selected among the organic acid or F - , Cl -, NO2 -, Br -, NO 3 -, sO 4 is preferably to be able to measure the anion containing one or more selected from 2-.

상기 유기성 가스 모니터링 수단(240)은 휘발성 유기 화합물, 비휘발성 유기 화합물, DOP, DBP, BHT, TEP, HMDS, Siloxane류, Silanol류 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.It is preferable that the organic gas monitoring means 240 is capable of measuring at least one selected from volatile organic compounds, non-volatile organic compounds, DOP, DBP, BHT, TEP, HMDS, siloxanes and silanols.

상기 온도 센싱 수단 및 습도 센싱 수단은 상기 하우징부(100)로 수집되는 공기의 온도 및 습도를 센싱하는 수단으로서, 실제 구현함에 있어서 어떤 기기가 사용되는 지는 설계자의 편의에 따라 적절하게 결정할 수 있다.The temperature sensing means and the humidity sensing means sense the temperature and humidity of the air collected by the housing portion 100. In actual implementation, it is possible to appropriately determine which device is used according to the convenience of the designer.

상기 무선 통신부(300)는 상기 하우징부(100)에 상기 오염 감지부(200)와 마찬가지로 삽입 결합되어, 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 상기 제어부(400)로 송신할 수 있으며, 근거리 통신 또는 원거리 통신이 가능한 모듈인 것이 바람직하다.The wireless communication unit 300 is inserted into the housing unit 100 in the same manner as the contamination detecting unit 200 and detects data detected by the contamination detecting unit 200 and position data of the housing unit 100 To the control unit 400, and may be a module capable of short-range communication or long-distance communication.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은, 상기 오염 감지부(200)의 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 AD 컨버터(600)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.At this time, the pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention preferably further includes an AD converter 600 for converting analog data of the pollution sensing unit 200 into digital data.

상기 AD 컨버터(600)를 통해 변환된 데이터가 상기 무선 통신부(300)를 통해서 상기 제어부(400)로 송신될 수 있다.The data converted through the AD converter 600 can be transmitted to the controller 400 through the wireless communication unit 300. [

더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은, 상기 오염 감지부(200) 및 무선 통신부(300)의 동작 전원을 공급하는 전원 공급부(500)를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention may further include a power supply unit 500 for supplying operation power of the pollution sensing unit 200 and the wireless communication unit 300.

상기 전원 공급부(500)는 배터리 형태로 구성되어 상기 하우징부(100)에 삽입 결합되는 것이 가장 바람직하나, 무선 전력 전송, 무선 충전 등을 통해서도 동작 전원의 공급이 가능하다. 즉, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)를 따라 이동하는데 불편함이 없도록 설계 가능한 전원 공급 수단은 모두 이용 가능하다.It is most preferable that the power supply unit 500 is configured as a battery and inserted into the housing unit 100, but it is also possible to supply operation power through wireless power transmission or wireless charging. That is, all of the power supply means that can be designed so that the housing portion 100 does not inconvenience in moving along the track-type automatic transportation device 10 are all available.

상기 제어부(400)는 상기 무선 통신부(300)와 무선 네트워크 통신이 가능하며, 상기 무선 통신부(300)로부터 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 수신하여, 상기 오염 감지부(200)의 동작 상태와 상기 도어(110)의 개폐 상태를 제어할 수 있으며, 상기 오염 감지부(200)의 데이터를 분석하여 유해성분의 농도를 판단할 수 있다.The control unit 400 is capable of wireless network communication with the wireless communication unit 300 and receives data detected by the contamination sensing unit 200 and position data of the housing unit 100 from the wireless communication unit 300, And can control the operation state of the contamination detection unit 200 and the opening and closing state of the door 110 and can analyze the data of the contamination detection unit 200 to determine the concentration of the harmful component .

즉, 상기 제어부(400)는 도 1, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 하우징부(100)와 일정거리 이격되어 배치되며, 상기 오염 감지부(200)의 동작을 제어하여, 감지된 데이터를 수신할 수 있다.1, 2, and 5, the controller 400 is disposed at a predetermined distance from the housing unit 100, and controls the operation of the contamination detecting unit 200 to detect Data can be received.

이를 위해, 상기 제어부(400)는 CPU, GPU, AP, DSP 등의 처리장치와 상기 무선 통신부(300)와의 통신을 담당하는 무선통신수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제어부(400)는 상기 궤도형 자동 운송장치(10)의 제어가 가능하도록 AMHS(Automated Material Handling System)과 FMS(Facility Monitoring System)을 포함하여 형성되는 것이 바람직하다.To this end, the control unit 400 preferably further includes wireless communication means for performing communication between the processing unit such as a CPU, a GPU, an AP, a DSP, and the wireless communication unit 300. The control unit 400 may include an Automated Material Handling System (AMHS) and a Facility Monitoring System (FMS) to control the trajectory-type automatic transportation apparatus 10.

상기 제어부(400)는 상술한 바와 같이, 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 수신하여, 상기 오염 감지부(200)의 동작 상태와 상기 도어(110)의 개폐 상태를 제어할 수 있다.The control unit 400 receives the data sensed by the contamination sensing unit 200 and the position data of the housing unit 100 as described above and determines the operation state of the contamination sensing unit 200, The open / closed state of the door 110 can be controlled.

상세하게는, 상기 제어부(400)는 전달받은 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 이송 중일 경우, 다시 말하자면, 클린룸 모니터링시, 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)를 폐쇄하도록 제어할 수 있다.In detail, when the housing part 100 is carrying a trajectory formed by the track-type automatic transportation device 10 using the received position data of the housing part 100 That is, when the clean room is monitored, the door 110 formed in the housing unit 100 may be closed.

상기 도어(110)가 폐쇄 상태일지라도, 상기 도어(110)에 형성된 적어도 하나 이상의 타공(111)에 의해 유입되는 공기를 이용하여, 상기 오염 감지부(200)는 클린룸 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다. 즉, 불필요한 동작 제어 없이 지속적으로 클린룸 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.Even if the door 110 is in the closed state, the contamination detecting unit 200 detects the harmful compounds in the clean room in real time using the air introduced by the at least one perforation 111 formed in the door 110 . That is, it is possible to continuously detect harmful compounds in the clean room without unnecessary operation control.

이 때, 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)의 개방 상태를 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 강제 제어되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the opened state of the door 110 formed in the housing part 100 is forcibly controlled by the operation of the EFEM 20. [

즉, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 순환하여 상기 EFEM(20)과 결합될 경우, 다시 말하자면, EFEM 내부 모니터링시, 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)를 개방하도록 제어할 수 있다.That is, when the housing part 100 is coupled with the EFEM 20 by circulating through a track previously formed by the track-type automatic transportation device 10, that is, in the EFEM internal monitoring, So that the door 110 formed in the housing part 100 can be controlled to be opened.

즉, 상기 EFEM(20)에 형성되어 있는 도어와 도킹되는 과정에서, 상기 EFEM(20)가 상기 하우징부(100)의 도어(110)를 강제 완전 개방시켜, 상기 하우징부(100) 내부로 상기 EFEM(20) 내의 공기를 전달하는 것이 바람직하며,That is, in the process of being docked with the door formed in the EFEM 20, the EFEM 20 forcibly completely opens the door 110 of the housing part 100, It is preferred to deliver air in the EFEM 20,

이를 통해서, 상기 오염 감지부(200)는 상기 EFEM(20)에 미리 형성되어 있는 도어와 결합되어 외부의 다른 공간의 공기 유입 없이 온전히 상기 EFEM(20) 내의 공기를 수집하여 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.Accordingly, the contamination detecting unit 200 is combined with a door previously formed in the EFEM 20, and collects air in the EFEM 20 completely without introducing air into the other external space, Can be detected.

종래에는 클린룸과 EFEM 내부 각각의 다수 개의 오염물질 센싱 수단이 필요한 반면에, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은 상기 오염 감지부(200)가 상기 하우징부(100) 내부에 결합된 채 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 이송하면서, 클린룸과 EFEM 내부 모두의 공기를 수집하고, 유해화합물을 실시간 감지할 수 있어, 다수 개의 오염물질 센싱 수단을 관리함으로써 나타나는 불편함을 해결할 수 있다.Conventionally, a plurality of pollutant sensing means for each of the clean room and the inside of the EFEM is required. On the other hand, the pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention is characterized in that the pollution sensing portion 200 is coupled to the inside of the housing portion 100 Air can be collected from both the clean room and the inside of the EFEM while the trajectory formed in advance by the track-type automatic transportation device 10 is transported, and the toxic compounds can be detected in real time, thereby managing a plurality of pollutant sensing means The inconvenience that appears can be solved.

또한, 종래의 클린룸 내부 모니터링을 위해 형성되어 있는 클린룸 내부의 공기를 외부로 전달하는 별도의 샘플링 도관 및 샘플링 도관과 연결되어 있는 오염 분석기가 필요치 않아, 공정을 간단히 하는 장점이 있다.In addition, there is no need for a separate sampling conduit for transferring the air inside the clean room, which is formed for the conventional clean room internal monitoring, and a contamination analyzer connected to the sampling conduit, thereby simplifying the process.

더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은, 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도를 기준으로, 클린룸 또는 EFEM을 자동으로 정화하는 수단을 제어할 수 있어, 생산수율 향상에 기여할 수 있다.In addition, the pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention controls the means for automatically purifying the clean room or the EFEM based on the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 And it can contribute to improvement of the production yield.

상세하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 알람부(700), 추가 분석부(800) 및 배기부(900)를 더 포함하여 구성될 수 있다.In detail, the pollutant monitoring system according to an embodiment of the present invention may further include an alarm unit 700, an additional analysis unit 800 and an exhaust unit 900 as shown in FIG. 1 have.

상기 알람부(700)는 상기 제어부(400)와 연결되어 상기 제어부(400)의 제어에 따라, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생시킬 수 있다.The alarm unit 700 is connected to the control unit 400 and controls the concentration of the harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 under the control of the control unit 400 An alarm may be generated when the water level is higher than a preset contamination level.

이를 통해서, 외부의 관리자가 오염 수위를 신속하게 확인하고, 제조 공정을 중단하거나 오염 수위가 높은 특정 EFEM의 도어를 폐쇄함으로써, 오염이 확산되는 것을 방지하도록 할 수 있다.This allows external administrators to quickly check the level of contamination, stop the manufacturing process, or close the doors of certain EFEMs with high levels of contamination to prevent contamination from spreading.

상기 추가 분석부(800)는 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지할 수 있다.If the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the controller 400 is higher than a preset contamination level, It is possible to re-detect harmful compounds in the air at the corresponding position.

이 때, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지하기 위하여, 주변에 위치하고 있는 상기 하우징부(100)가 해당하는 위치 데이터로 이송되어 상기 추가 분석부(800)의 역할을 수행하거나,At this time, in order to re-detect harmful compounds in the air at the corresponding position, the housing part 100 located at the periphery is transferred to the corresponding position data to perform the role of the additional analyzing part 800,

외부에 위치하고 있는 관리자가 해당하는 위치에 특정 오염 감지 수단을 추가 배치시켜, 공기 내 유해화합물을 재감지할 수 있다.The administrator located outside can additionally dispose a specific pollution detecting means at the corresponding position, so that the harmful compound in the air can be re-detected.

이를 통해서, 분석한 유해성분의 농도에 대한 확인 분석 진행과 더불어 그 정확도를 높일 수 있다..Through this, it is possible to increase the accuracy of the harmful component concentration as well as the analysis of the concentration of the analyzed harmful components.

상기 배기부(900)는 상기 제어부(400)와 연결되어 상기 제어부(400)의 제어에 따라, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행할 수 있다. 즉, 외부의 관리자가 오염 수위에 따른 대처 동작(조치 동작)을 수행하기 앞서서, 자동적으로 대처 동작(조치 동작)을 수행하여 신속하게 오염이 확산되는 것을 방지하도록 할 수 있다.The exhaust unit 900 is connected to the control unit 400 and controls the concentration of the harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 under the control of the control unit 400 Is higher than a preset contamination level, an exhaust operation can be performed. That is, it is possible to prevent the contamination from spreading quickly by performing a coping action (action operation) automatically before an external manager performs a coping action (action action) according to the contaminated water level.

도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법을 나타낸 구성도이다. 도 6 및 도 7를 참조로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법을 상세히 설명한다.FIGS. 6 and 7 are block diagrams illustrating a pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention. The pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7. FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법은 도 6에 도시된 바와 같이, 순환 단계(S100), 감지 단계(S200) 및 분석 단계(S300)로 이루어질 수 있다.The pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention may include a circulation step S100, a sensing step S200, and an analysis step S300, as shown in FIG.

각 단계에 대해서 자세히 알아보자면,To learn more about each step,

상기 순환 단계(S100)는 상기 오염 감지부(200)가 삽입 결합된 상기 하우징부(100)가, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기존의 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)가 반도체 제조 공정 또는 디스플레이 패널 제조 공정의 각 공정이 수행되는 장소를 이동하는 것과 마찬가지로, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도, 즉, 반도체 제조 공정 또는 디스플레이 패널 제조 공정의 각 공정이 수행되는 장소로 이동할 수 있다.In the circulation step S100, the housing part 100 into which the contamination sensing part 200 is inserted is coupled to the existing transportation enclosure 1 or the transportation cassette 2 by the tracked automatic transportation device 10, Like the moving process of the semiconductor manufacturing process or the display panel manufacturing process, the orbit formed beforehand by the track-type automatic transportation device 10, that is, each process of the semiconductor manufacturing process or the display panel manufacturing process Can be moved to the place where it is performed.

상기 감지 단계(S200)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라, 상기 오염 감지부(200)에서 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.The sensing step S200 may include sensing the amount of air collected in the course of being transported by the traction type automatic transportation apparatus 10 from the contamination detection unit 200 under the control of the control unit 400 It can detect the hazardous compounds in real time.

이 때, 상기 감지 단계(S200)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)의 도어(110) 개폐 상태가 제어되어, 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.At this time, the door opening / closing state of the housing part 100 is controlled using the position data of the housing part 100 under the control of the control part 400, It is possible to detect in real time the harmful compounds in the collected air.

상세하게는, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 이송 중일 경우, 다시 말하자면, 클린룸 모니터링시, 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)를 폐쇄하도록 제어한 후, 적어도 하나 이상의 타공(111)이 형성된 상기 도어(110)의 경우, 상기 도어(110)에 형성된 적어도 하나 이상의 타공(111)에 의해 유입되는 공기를 이용하여, 상기 오염 감지부(200)는 클린룸 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다. Specifically, when the housing part 100 is carrying a trajectory formed in advance by the track-type automatic transportation device 10 using the position data of the housing part 100, that is, At least one of the at least one piercing hole 111 formed in the door 110 may be formed in the case of the door 110 having at least one piercing hole 111 after the door 110 formed in the housing part 100 is closed, 111), the contamination detecting unit 200 can detect the toxic compounds in the clean room in real time.

적어도 하나 이상의 타공(111)이 형성되어 있지 않은 도어(110)의 경우, 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)를 부분 개방한 후, 상기 도어(110)를 통해서 유입되는 공기를 상기 오염 감지부(200)에서 감지할 수 있다.In the case of the door 110 in which at least one perforation 111 is not formed, the door 110 formed in the housing part 100 is partly opened, Can be detected by the contamination detection unit (200).

즉, 불필요한 동작 제어 없이 지속적으로 클린룸 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.That is, it is possible to continuously detect harmful compounds in the clean room without unnecessary operation control.

이 때, 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)의 개방 상태를 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 강제 제어되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the opened state of the door 110 formed in the housing part 100 is forcibly controlled by the operation of the EFEM 20. [

즉, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 미리 형성된 궤도를 순환하여 상기 EFEM(20)과 결합될 경우, 다시 말하자면, EFEM 내부 모니터링시, 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 상기 하우징부(100)에 형성된 상기 도어(110)를 완전 개방(전체 개방)하도록 제어할 수 있다.That is, when the housing part 100 is coupled with the EFEM 20 by circulating through a track previously formed by the track-type automatic transportation device 10, that is, in the EFEM internal monitoring, It is possible to control the door 110 formed in the housing part 100 to be fully opened (fully opened) by the operation.

즉, 상기 EFEM(20)에 형성되어 있는 도어와 도킹되는 과정에서, 상기 EFEM(20)가 상기 하우징부(100)의 도어(110)를 강제 완전 개방시켜, 상기 하우징부(100) 내부로 상기 EFEM(20) 내의 공기를 전달하는 것이 바람직하며,That is, in the process of being docked with the door formed in the EFEM 20, the EFEM 20 forcibly completely opens the door 110 of the housing part 100, It is preferred to deliver air in the EFEM 20,

이를 통해서, 상기 오염 감지부(200)는 상기 EFEM(20)에 미리 형성되어 있는 도어와 결합되어 외부의 다른 공간의 공기 유입 없이 온전히 상기 EFEM(20) 내의 공기를 수집하여 공기 내 유해화합물을 실시간 감지할 수 있다.Accordingly, the contamination detecting unit 200 is combined with a door previously formed in the EFEM 20, and collects air in the EFEM 20 completely without introducing air into the other external space, Can be detected.

상기 분석 단계(S300)는 상기 제어부(400)에서 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도를 분석할 수 있다.In the analysis step S300, the control unit 400 may analyze the concentration of harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit 200. [

상기 오염 감지부(200)는 입자 계수 수단(210), 염기성 가스 모니터링 수단(220), 산성 가스 모니터링 수단(230), 유기성 가스 모니터링 수단(240), 온도 센싱 수단(미도시) 및 습도 센싱 수단(미도시) 중 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있다.The contamination sensing unit 200 includes a particle counting unit 210, a basic gas monitoring unit 220, an acid gas monitoring unit 230, an organic gas monitoring unit 240, a temperature sensing unit (not shown) (Not shown).

상기 입자 계수 수단(210)은 직접 광산란법을 이용한 광학 입자 계수기 또는 입자의 응축 성장을 통한 응축물의 광산란을 이용한 응축 핵 계수기 중 선택되는 어느 한 가지로 이루어지며, 0.005㎛ ~ 1㎛ 범위 내의 크기를 가지는 오염 입자를 측정하는 것이 바람직하다.The particle counting means 210 is composed of either an optical particle counter using a direct light scattering method or a condensation particle counter using light scattering of a condensate through condensation growth of particles and has a size within a range of 0.005 mu m to 1 mu m It is preferable to measure the contaminated particles.

상기 염기성 가스 모니터링 수단(220), 산성 가스 모니터링 수단(230) 및 유기성 가스 모니터링 수단(240)은 형광 분석기, 이온 크로마토그래피 장치, 가시광선-자외선 흡광도 측정 장치, 적외선 분광 광도계, 질량 분석 장치, 가스 크로마토그래피, 가스 크로마토그래피-질량 분석 장치 및 가스 센서 중 선택되는 어느 한 가지 이상으로 이루어질 수 있다.The basic gas monitoring means 220, the acid gas monitoring means 230 and the organic gas monitoring means 240 may be a fluorescence analyzer, an ion chromatograph, a visible light-ultraviolet absorbance measuring device, an infrared spectrophotometer, Chromatography, gas chromatography-mass spectrometry, and gas sensors.

이 때, 상기 염기성 가스 모니터링 수단(220)은 암모니아 가스(NH3), 아민류, NMP 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 가스 또는 NH4 +를 포함하는 양이온을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the basic gas monitoring means 220 is capable of measuring a gas containing at least one selected from ammonia gas (NH 3 ), amines and NMP, or cations containing NH 4 + .

상기 산성 가스 모니터링 수단(230)은 HF, HCl, HBr, HNO3, H3PO4, H2SO4, CH3COOH, HCOOH, 유기산들 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 가스 또는 F-, Cl-, NO2-, Br-, NO3 -, SO4 2- 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 포함하는 음이온을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.The acid gas monitoring means 230 is HF, HCl, HBr, HNO 3 , H 3 PO 4, H 2 SO 4, CH 3 COOH, HCOOH, a gas containing one or more which is selected among the organic acid or F - , Cl -, NO2 -, Br -, NO 3 -, sO 4 is preferably to be able to measure the anion containing one or more selected from 2-.

상기 유기성 가스 모니터링 수단(240)은 휘발성 유기 화합물, 비휘발성 유기 화합물, DOP, DBP, BHT, TEP, HMDS, Siloxane류, Silanol류 중 선택되는 어느 한 가지 이상을 측정할 수 있도록 되는 것이 바람직하다.It is preferable that the organic gas monitoring means 240 is capable of measuring at least one selected from volatile organic compounds, non-volatile organic compounds, DOP, DBP, BHT, TEP, HMDS, siloxanes and silanols.

상기 온도 센싱 수단 및 습도 센싱 수단은 상기 하우징부(100)로 수집되는 공기의 온도 및 습도를 센싱하는 수단으로서, 실제 구현함에 있어서 어떤 기기가 사용되는 지는 설계자의 편의에 따라 적절하게 결정할 수 있다.The temperature sensing means and the humidity sensing means sense the temperature and humidity of the air collected by the housing portion 100. In actual implementation, it is possible to appropriately determine which device is used according to the convenience of the designer.

더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 방법은, 상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도에 따라 알람 단계(S400), 추가 분석 단계(S500) 및 배기 단계(S600)를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the pollutant monitoring method according to an embodiment of the present invention may further include an alarm step (S400), an alarm step (S400), and an alarm step (S400) according to the concentration of the harmful component analyzed in the analysis step (S300) An analysis step S500 and an evacuation step S600.

상기 알람 단계(S400)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라 상기 알람부(700)에서 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생시킬 수 있다.The alarming step S400 is a step in which the concentration of the harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 in the alarm unit 700 according to the control of the control unit 400 If it is higher than the set level, an alarm can be generated.

이를 통해서, 외부의 관리자가 오염 수위를 신속하게 확인하고, 제조 공정을 중단하거나 오염 수위가 높은 특정 EFEM의 도어를 폐쇄함으로써, 오염이 확산되는 것을 방지하도록 할 수 있다.This allows external administrators to quickly check the level of contamination, stop the manufacturing process, or close the doors of certain EFEMs with high levels of contamination to prevent contamination from spreading.

상기 추가 분석 단계(S500)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 상기 추가 분석부(800)를 이용하여 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높게 분석된 위치의 공기를 추가 분석할 수 있다.In the additional analysis step S500, the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the controller 400 is higher than the preset contamination level, under the control of the controller 400 , It is possible to further analyze the air at the position where the concentration of the harmful component is higher than the predetermined contamination level by using the additional analyzer 800.

즉, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부가 위치하는 위치 데이터를 전달받아, 상기 추가 분석부(800)를 이용하여 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지할 수 있다.That is, when the concentration of the harmful component of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the controller 400 is higher than a preset contamination level, the controller receives the position data corresponding to the housing unit, The additional analyzer 800 can be used to re-detect harmful compounds in the air at the corresponding positions.

이 때, 추가 분석부(800)로는 주변에 위치하고 있는 상기 하우징부(100)가 해당하는 위치 데이터로 이송되어 상기 추가 분석 단계(S500)를 수행하거나,At this time, the housing part 100 located in the periphery is transferred to the corresponding position data to perform the additional analysis step (S500)

외부에 위치하고 있는 관리자가 해당하는 위치에 특정 오염 감지 수단을 추가 배치시켜, 상기 추가 분석 단계(S500)를 수행할 수 있다.The manager located outside may additionally place a specific pollution detection means at the corresponding location and perform the additional analysis step S500.

이를 통해서, 분석한 유해성분의 농도에 대한 확인 분석 진행과 더불어 그 정확도를 높일 수 있다..Through this, it is possible to increase the accuracy of the harmful component concentration as well as the analysis of the concentration of the analyzed harmful components.

상기 배기 단계(S600)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라 상기 배기부(900)에서 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 미리 설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행할 수 있다. 즉, 외부의 관리자가 오염 수위에 따른 대처 동작(조치 동작)을 수행하기 앞서서, 자동적으로 대처 동작(조치 동작)을 수행하여 신속하게 오염이 확산되는 것을 방지하도록 할 수 있다.The exhausting step S600 is a step in which the concentration of the harmful components of the data sensed by the contamination sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 in the exhaust unit 900 according to the control of the controller 400 If it is higher than the set contaminated water level, the exhaust operation can be performed. That is, it is possible to prevent the contamination from spreading quickly by performing a coping action (action operation) automatically before an external manager performs a coping action (action action) according to the contaminated water level.

본 발명의 일 실시예에 따른 오염물질 모니터링 시스템 및 그 모니터링 방법은, 하우징부(100)의 내부에 오염 감지 모듈인 오염 감지부(200)가 구비되도록 하고, 기존의 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 운송 인클로저(1) 또는 운송 카세트(2)가 각 공정이 수행되는 장소를 순환하는 것과 마찬가지로, 상기 궤도형 자동 운송장치(10)를 따라 상기 하우징부(100)가 반도체 또는 디스플레이 제조 라인 곳곳인 반도체 생상 공정 지역(클린룸 등) 또는 EFEM 내부를 이동하면서 상기 오염 감지부(200)로 수집된 공기 내 오염물질을 실시간으로 모니터링한 후, 무선으로 모니터링 데이터를 송신함으로써, 사람이 출입하기 어려운 공정설비 내부의 공기 오염물질을 감지할 수 있으며, 반도체 제조 라인 곳곳의 오염물질을 실시간으로 모니터링 할 수 있다.The pollutant monitoring system and the monitoring method thereof according to an embodiment of the present invention may include a pollution sensing unit 200 as a contamination detection module in the housing unit 100, The housing part 100 along the tracked automatic transportation device 10 is moved to the semiconductor or display manufacturing line 1 along with the transporting enclosure 1 or the transportation cassette 2, It is possible to monitor the contaminants in the air collected by the contamination detecting unit 200 in real time while moving in various semiconductor manufacturing process areas (clean room, etc.) or EFEM, and then transmit monitoring data by radio, It can detect air pollutants inside difficult process facilities and can monitor real-time pollutants around semiconductor manufacturing lines.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 소자 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것 일 뿐, 본 발명은 상기의 일 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And various modifications and changes may be made thereto by those skilled in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허 청구 범위뿐 아니라 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Accordingly, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, belong to the scope of the present invention .

1 : 운송 인클로저
2 : 운송 카세트
10 : 궤도형 자동 운송장치
20 : EFEM(Equipment Front End Module)
100 : 하우징부
110 : 도어 111 : 타공
200 : 오염 감지부
210 : 입자 계수 수단 220 : 염기성 가스 모니터링 수단
230 : 산성 가스 모니터링 수단 240 : 유기성 가스 모니터링 수단
300 : 무선 통신부
400 : 제어부
500 : 전원 공급부
600 : AD 컨버터
700 : 알람부
800 : 추가 분석부
900 : 배기부1: Transportation Enclosure
2: Transport cassette
10: Track-type automatic transportation device
20: Equipment Front End Module (EFEM)
100: housing part
110: door 111: perforation
200:
210: Particle counting means 220: Basic gas monitoring means
230: acid gas monitoring means 240: organic gas monitoring means
300:
400:
500: Power supply
600: AD converter
700: Alarm section
800: Additional Analysis Department
900:

Claims (18)

반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저(1) 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트(2)를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 순환하고, 적어도 일면에 개폐 가능한 도어(110)를 포함하는 하우징부(100);
상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 이송되는 과정에서 상기 하우징부(100) 내부로 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 감지 센서를 포함하는 오염 감지부(200);
상기 하우징부(100)에 삽입 결함되어, 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 송신하는 무선 통신부(300); 및
상기 무선 통신부(300)와 무선 네트워크 통신이 가능하며, 상기 무선 통신부(300)로부터 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터와, 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 수신하며, 상기 오염 감지부(200)의 동작 상태와 상기 도어(110)의 개폐 상태를 제어하는 제어 신호를 송신하는 제어부(400);
를 포함하되,
상기 도어(110)는 적어도 하나 이상의 타공(111)이 형성되며,
상기 제어부(400)는 전달받은 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어(110)를 폐쇄하도록 제어하며,
상기 오염 감지부(200)는 상기 도어(110)에 형성된 적어도 하나 이상의 타공(111)에 의해 상기 하우징부(100) 내로 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하고,
상기 하우징부(100)가 상기 궤도형 자동 운송장치(10)에 의해 기형성된 궤도를 순환하여 EFEM(20)과 결합될 경우, 상기 EFEM(20)의 동작에 의해 상기 도어(110)가 강제 개방되며,
상기 오염 감지부(200)는 개방된 상기 도어(110)에 의해 상기 하우징부(100) 내부로 유입되는 상기 EFEM(20) 내 공기의 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
(1) that is used in a semiconductor manufacturing line or a track cassette (2) used in a display panel manufacturing line, and which can be opened and closed on at least one side of the door (100) comprising a housing (110);
The housing unit 100 is inserted into the housing unit 100 and detects harmful compounds in the air collected into the housing unit 100 during the transportation of the housing unit 100 by the track- A contamination detection unit 200 including a detection sensor for detecting the presence or absence of pollution;
A wireless communication unit 300 for inserting data sensed by the contamination sensing unit 200 inserted into the housing unit 100 and transmitting position data of the housing unit 100; And
The wireless communication unit 300 is capable of wireless network communication and receives the data sensed by the contamination sensing unit 200 and the position data of the housing unit 100 from the wireless communication unit 300, A control unit 400 for transmitting a control signal for controlling an operation state of the sensing unit 200 and an opening / closing state of the door 110;
, ≪ / RTI &
The door 110 is formed with at least one perforation 111,
When the housing unit 100 is carrying a trajectory formed by the track-type automatic transportation apparatus 10 using the received position data of the housing unit 100, the controller 400 controls the door (not shown) 110 to close,
The pollution sensing unit 200 senses the harmful compounds in the air flowing into the housing unit 100 in real time by at least one bore 111 formed in the door 110,
When the housing part 100 is coupled with the EFEM 20 by circulating through the preformed trajectory by the track-type automatic transportation device 10, the operation of the EFEM 20 causes the door 110 to be forcibly opened And,
Wherein the pollution sensing unit (200) senses in real time harmful compounds of air in the EFEM (20) flowing into the housing part (100) by the opened door (110).
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 시스템은
상기 하우징부(100)에 삽입 결합되어, 상기 오염 감지부(200) 및 무선 통신부(300)의 동작 전원을 공급하는 전원 공급부(500);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The pollutant monitoring system
A power supply unit 500 inserted into the housing unit 100 to supply operation power of the pollution sensing unit 200 and the wireless communication unit 300;
Wherein the pollutant monitoring system further comprises:
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 오염 감지부(200)는
입자상 오염을 모니터링하는 입자 계수 수단(210);
염기성 기체 또는 양이온의 오염을 모니터링하는 염기성 가스 모니터링 수단(220);
산성 기체 또는 음이온의 오염을 모니터링하는 산성 가스 모니터링 수단(230);
유기성 기체의 오염을 모니터링하는 유기성 가스 모니터링 수단(240);
공기의 온도를 센싱하는 온도 센싱 수단(미도시); 및
공기의 습도를 센싱하는 습도 센싱 수단(미도시);
중 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The contamination sensing unit 200
Particle counting means 210 for monitoring particulate contamination;
Basic gas monitoring means (220) for monitoring the contamination of the basic gas or the cation;
Acid gas monitoring means (230) for monitoring the contamination of the acidic gas or anion;
An organic gas monitoring means (240) for monitoring the contamination of the organic gas;
Temperature sensing means (not shown) for sensing the temperature of the air; And
A humidity sensing means (not shown) for sensing the humidity of the air;
Wherein the pollutant monitoring system comprises:
제 1항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 시스템은
상기 오염 감지부(200)의 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 AD 컨버터(600);
를 더 포함하며,
상기 AD 컨버터(600)를 통해 변환된 데이터가 상기 무선 통신부(300)에 의해 상기 제어부(400)로 송신되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The pollutant monitoring system
An AD converter 600 for converting the analog data of the contamination detecting unit 200 into digital data;
Further comprising:
And the data converted through the AD converter (600) is transmitted to the control unit (400) by the wireless communication unit (300).
제 1항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 시스템은
상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생하는 알람부(700);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The pollutant monitoring system
An alarm unit 500 connected to the control unit 400 for generating an alarm when the concentration of harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the control unit 400 is higher than a preset contamination level, 700);
Wherein the pollutant monitoring system further comprises:
제 1항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 시스템은
상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부(100)의 위치 데이터를 이용하여, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지하는 추가 분석부(800);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The pollutant monitoring system
When the concentration of the harmful components of the data sensed by the pollution sensing unit 200 analyzed by the controller 400 is higher than the preset contamination level, An additional analyzing unit 800 for re-sensing the harmful compounds in the air at the corresponding position by using the position data of the corresponding positional data;
Wherein the pollutant monitoring system further comprises:
제 1항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 시스템은
상기 제어부(400)와 연결되어, 상기 제어부(400)에서 분석한 상기 오염 감지부(200)에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행하는 배기부(900);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The pollutant monitoring system
The control unit 400 controls the concentration of the harmful components of the data detected by the pollution sensing unit 200 to be higher than the predetermined level of contamination, (900);
Wherein the pollutant monitoring system further comprises:
적어도 일면에 개폐 가능한 도어를 포함하는 하우징부에 삽입 결합되는 오염 감지부가, 반도체 제조 라인에서 사용되는 운송 인클로저 또는 디스플레이 패널 제조 라인에서 사용되는 운송 카세트를 이송시키는 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도에 따라 순환하는 순환 단계(S100);
제어부의 제어에 따라, 상기 오염 감지부에서 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 이송되는 과정에서 상기 하우징부 내부로 수집되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 감지 단계(S200); 및
제어부에서, 상기 오염 감지부에 의해 감지된 데이터의 유해성분의 농도를 분석하는 분석 단계(S300);
로 이루어지며,
상기 도어는
적어도 하나 이상의 타공이 형성되되,
상기 감지 단계(S200)는
상기 오염 감지부에서, 제어부의 제어에 따라, 상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도를 이송 중일 경우, 상기 도어를 폐쇄하고 상기 도어에 형성된 적어도 하나 이상의 타공에 의해 상기 하우징부 내부로 유입되는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하며,
상기 하우징부가 상기 궤도형 자동 운송장치에 의해 기형성된 궤도를 순환하여 EFEM과 결합될 경우, 상기 EFEM의 동작에 의해 상기 도어가 강제 개방되며, 상기 오염 감지부에서, 개방된 도어에 의해 상기 하우징부 내부로 유입되는 EFEM 내 공기의 유해화합물을 실시간 감지하는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 방법.
A contamination detecting portion inserted and coupled to a housing portion including at least a door that can be opened and closed on at least one side thereof, a trajectory type automatic traverse device for transporting a transportation cassette used in a transportation enclosure or a display panel manufacturing line used in a semiconductor manufacturing line, (S100);
A sensing step (S200) of sensing, in real time, harmful compounds in the air collected in the housing part during the transportation of the housing part by the track-type automatic transportation device, under control of the control part; And
An analysis step (S300) of analyzing the concentration of harmful components of the data sensed by the contamination detection part in the control part;
Lt; / RTI >
The door
At least one perforation is formed,
The detecting step S200
The contamination detecting unit may be configured to control the contamination detecting unit to close the door when at least one of the holes is formed in the housing part, In real time, the harmful compounds in the air,
When the housing part is coupled with the EFEM by circulating through the preformed trajectory by the track-type automatic transportation device, the door is forcibly opened by the operation of the EFEM, and in the contamination detecting part, And detecting the harmful compounds of air in the EFEM flowing into the inside of the EFEM in real time.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 12항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 방법은
상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후,
제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 알람을 발생하는 알람 단계(S400);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 방법.
13. The method of claim 12,
The pollutant monitoring method
After performing the analysis step S300,
An alarm step (S400) for generating an alarm when the concentration of the harmful component analyzed in the analysis step (S300) is higher than the predetermined contaminated water level under the control of the control unit;
Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
제 12항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 방법은
상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후,
제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 해당하는 상기 하우징부가 위치하는 위치 데이터를 전달받아, 해당하는 위치의 공기 내 유해화합물을 재감지하는 추가 분석 단계(S500);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 방법.
13. The method of claim 12,
The pollutant monitoring method
After performing the analysis step S300,
According to the control of the control unit, when the concentration of the harmful component analyzed in the analysis step (S300) is higher than the predetermined contaminated water level, the position data of the corresponding housing part is received and the harmful compounds in the air at the corresponding position Further analysis step of re-sensing (S500);
Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
제 12항에 있어서,
상기 오염물질 모니터링 방법은
상기 분석 단계(S300)를 수행하고 난 후,
제어부의 제어에 따라, 상기 분석 단계(S300)에서 분석한 유해성분의 농도가 기설정된 오염 수위보다 높을 경우, 배기 동작을 수행하는 배기 단계(S600);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 오염물질 모니터링 방법.13. The method of claim 12,
The pollutant monitoring method
After performing the analysis step S300,
An exhaust step (S600) for performing an exhaust operation when the concentration of the harmful components analyzed in the analysis step (S300) is higher than a predetermined contaminated water level under the control of the control part;
Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
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