KR102030292B1 - A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad - Google Patents
A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad Download PDFInfo
- Publication number
- KR102030292B1 KR102030292B1 KR1020180141369A KR20180141369A KR102030292B1 KR 102030292 B1 KR102030292 B1 KR 102030292B1 KR 1020180141369 A KR1020180141369 A KR 1020180141369A KR 20180141369 A KR20180141369 A KR 20180141369A KR 102030292 B1 KR102030292 B1 KR 102030292B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- corona discharge
- discharge sheet
- manufacturing
- resin
- parts
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims abstract description 44
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 42
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 30
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract description 27
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 9
- 229960005191 ferric oxide Drugs 0.000 claims abstract description 8
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 235000013980 iron oxide Nutrition 0.000 claims abstract description 8
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 37
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 27
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 15
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 15
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 13
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/18—Manufacture of films or sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/18—Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
- C08K3/20—Oxides; Hydroxides
- C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L23/00—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L23/02—Compositions of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Compositions of derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C08L23/04—Homopolymers or copolymers of ethene
- C08L23/08—Copolymers of ethene
- C08L23/0846—Copolymers of ethene with unsaturated hydrocarbons containing other atoms than carbon or hydrogen atoms
- C08L23/0853—Vinylacetate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/408—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor with an insulating layer with a particular dielectric or electrostatic property, e.g. with static charges or for controlling trapped charges or moving ions, or with a plate acting on the insulator potential or the insulator charges, e.g. for controlling charges effect or potential distribution in the insulating layer, or with a semi-insulating layer contacting directly the semiconductor surface
Abstract
Description
본 발명은 코로나 방전 시트 및 그 제조방법 그리고, 코로나 방전시트를 이용한 정전기 제거패드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a corona discharge sheet and a method of manufacturing the same, and an electrostatic removing pad using the corona discharge sheet and a method of manufacturing the same.
전자부품 생산 시 생산설비의 표면에 부착된 정전기는 생산 수율 및 제품의 품질에 큰 영향을 미치게 된다. 특히, 반도체용 실리콘 웨이퍼나 디스플레이용 유기발광다이오드(OLED)와 같은 정밀부품들은 정전기에 의한 영향을 크게 받는 문제점이 있다.In the production of electronic components, static electricity attached to the surface of production equipment greatly affects production yield and product quality. In particular, precision components such as semiconductor silicon wafers and organic light emitting diodes (OLEDs) for displays have a problem that is greatly affected by static electricity.
따라서, 종래에는 정전기를 제거하기 위해 부피가 크거나 길이가 긴 접지(earth-grounding) 장치를 생산장비에 부착하거나, 복잡한 정전기 제거 회로를 추가로 구성하는 것이 일반적이었다.Therefore, conventionally, it was common to attach a bulky or long earth-grounding device to the production equipment to remove static electricity, or to additionally configure a complex static electricity removal circuit.
즉, 종래의 정전기 제거 장치는 그 설치비용이나 유지보수 및 공간활용성 등에서 많은 한계점들을 가지고 있다.That is, the conventional static elimination device has a number of limitations in its installation cost, maintenance and space utilization.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 기계 또는 전자 부품장치에 간이하게 부착하여 정전기를 제거할 수 있는 비접지식 정전기 제거패드를 제공하는 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a non-grounding static electricity removing pad that can be easily attached to a mechanical or electronic component device to remove static electricity.
본 발명의 다른 목적은 상기 비접지식 정전기 제거패드에 사용되는 코로나 방전 시트를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a corona discharge sheet used in the non-grounding static elimination pad.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 코로나 방전효과를 이용하여 정전기를 열에너지로 전환하는 코로나 방전 시트에 있어서, EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철 및, 이산화티탄(TiO2);을 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전시트를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, in the corona discharge sheet for converting static electricity into thermal energy by using the corona discharge effect, EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and titanium dioxide (TiO 2); It provides a corona discharge sheet.
예시적인 실시예에 있어서,. 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지는 100 중량부이고, 상기 철은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 20 내지 100 중량부이며, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment,. The EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin is 100 parts by weight, the iron is 20 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, the titanium dioxide (TiO2) is the EVA (Ethylene -vinyl acetate) 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin; may be composed.
예시적인 실시예에 있어서, 실리콘;을 더 포함하며, 상기 실리콘은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1내지 40 중량부로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, further comprising a silicon; the silicon may be composed of 1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin.
예시적인 실시예에 있어서, 알루미늄;을 더 포함하고, 상기 알루미늄은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, further comprising aluminum; wherein the aluminum is 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 코로나 방전 시트를 제조하는 제조방법에 있어서, 고체상의 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철 및, 이산화티탄(TiO2)을 혼합하는 단계;상기 혼합된 고체상의 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철 및, 이산화티탄(TiO2)을 소정온도로 가열하여 교반하는 배합단계; 상기 배합된 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철 및, 이산화티탄(TiO2)를 냉각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트 제조방법를 제공할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, in the manufacturing method for producing the corona discharge sheet, the solid phase of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron and titanium dioxide (TiO2) mixing; the mixed solid phase A blending step of heating and stirring EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and titanium dioxide (TiO 2) to a predetermined temperature; The blended EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and cooling the titanium dioxide (TiO2); can provide a corona discharge sheet manufacturing method comprising a.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1항의 코로나 방전 시트를 포함하는 정전기 제거패드에 있어서, 상기 코로나 방전시트를 포함하는 제1레이어; 상기 제1레이어 외측에 구비되며, 정전기를 상기 제1레이어로 안내하는 금속을 포함하는 제2레이어;를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the electrostatic removal pad comprising the corona discharge sheet of
예시적인 실시예에 있어서, 상기 제2레이어는 실버(Ag)를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the second layer may include silver (Ag).
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제7항의 정전기 제거패드를 제조하는 제조방법에 있어서, 상기 코로나 방전 시트에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계; 및 상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계;를 포함하는 정전기 제거패드 제조방법을 제공할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a manufacturing method of manufacturing the electrostatic removing pad of claim 7, comprising: applying silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the corona discharge sheet; And drying the coated silver (Ag) paint or silver (Ag) paste.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어와 상기 제2레이어 사이에 구비되며, 전도성 카본을 포함하는 제3레이어;를 더 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the third layer is provided between the first layer and the second layer, and may include a third layer including conductive carbon.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 코로나 방전 시트에 도전성 카본을 코팅하는 단계; 상기 코팅된 도전성 카본에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계; 및 상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계;를 포함In another embodiment of the present invention, the step of coating the conductive carbon on the corona discharge sheet; Applying silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the coated conductive carbon; And drying the applied silver (Ag) paint or silver (Ag) paste.
본 발명은 기계 또는 전자 부품장치에 간이하게 부착하여 정전기를 제거할 수 있는 비접지식 정전기 제거패드를 제공한다.The present invention provides an ungrounded static elimination pad that can be easily attached to a mechanical or electronic component device to remove static electricity.
본 발명은 상기 비접지식 정전기 제거패드에 사용되는 코로나 방전 시트를 제공한다.The present invention provides a corona discharge sheet used in the non-grounding static elimination pad.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코로나 방전 시트의 단면이다.
도 2는 도1에 도시된 코로나 방전시트를 제조하는 방법을 플로우 차트로 표현한 것이다.
도 3은 도1에 도시된 코로나 방전시트를 이용한 정전기 제거패드의 단면을 도시한 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 정전기 제거패드의 제조방법을 플로우 차트로 표현한 것이다.
도 5는 코로나 방전시트를 이용한 정전기 제거패드의 다른 실시예에 따른 단면을 도시한 것이다.
도 6은 도 5에 도시된 정전기 제거패드의 제조방법을 플로우 차트로 표현한 것이다.1 is a cross-sectional view of a corona discharge sheet according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the corona discharge sheet shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view of the static elimination pad using the corona discharge sheet shown in FIG.
4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the static elimination pad shown in FIG. 3.
5 is a cross-sectional view according to another embodiment of the static elimination pad using a corona discharge sheet.
FIG. 6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the static elimination pad shown in FIG. 5.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 대해서 살펴보기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
코로나 방전 현상이란 대전된 물체에 뾰족한 점이 있으면 그 점 주위의 공기는 다른 곳보다 높은 전위경도를 띠게되고, 이에 따라, 주변 공기에 의한 절연이 파괴되면서 순간적인 스파크, 또는 지속적인 아크가 발생되는 현상을 의미한다.Corona discharge phenomenon means that if a charged point has a point on the charged object, the air around the point has a higher potential hardness than that of the other place, and as a result, instantaneous shock or continuous arc occurs while the insulation by the surrounding air is destroyed. it means.
본 발명의 일실시예에 따른 코로나 방전 시트(1)는 이러한 원리를 이용하고 있으며, 주변의 정전기를 열로 전환함으로써 접지없이(earth-grounding) 정전기를 제거함은 물론, 접지 방식이 이용될 수도 있다.Corona
이하 도 1을 참조하여, 코로나 방전 시트(1)에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the
상기 코로나 방전 시트(1)는 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe) 및, 이산화티탄(TiO2, 또는 titanium oxide porcelain);을 포함할 수 있다.The
정전기는 방전될 때 전자의 흐름에 따라 자기장이 발생하여 손실 주파수가 서로 다른 다양한 노이즈가 발생된다.When static electricity is discharged, a magnetic field is generated according to the flow of electrons, and various noises having different loss frequencies are generated.
손실 주파수들은 그 대역에 따라 각기 다른 재료에 의해 열로 소실되는데, 본 발명의 일실시예에 따른 코로나 방전 시트(1)는 상술한 다양한 물질을 이용해 서로 다른 대역의 주파수를 가진 노이즈들을 제거하게 된다.Lost frequencies are lost by heat by different materials according to their bands. The
보다 상세하게, 상기 EVA수지는 1GHz이상의 노이즈를 열로 손실 유도하며, 상기 철(Fe)은 1KHz 미만의 노이즈를 열로 손실 유도하게 된다.More specifically, the EVA resin induces loss of noise of 1 GHz or more with heat, and the iron (Fe) causes loss of noise of less than 1 KHz with heat.
또한, 상기 이산화티탄(TiO2)은 정전기를 잠시 보유하고 있는 기능을 가지고 있으며, 이는 콘덴서와 역할을 하여 정전기의 에너지가 열로 손실되기 위한 시간을 담보하게 된다.In addition, the titanium dioxide (TiO 2) has a function of temporarily holding static electricity, which serves as a capacitor to ensure time for energy loss of static electricity to heat.
상술한 조성물의 조합에 따른 기능을 극대화하기 위해, 상기 EVA 수지는 100 중량부로, 상기 철(Fe)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 20 내지 100 중량부로, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;로 구성될 수 있다.In order to maximize the function according to the combination of the above composition, the EVA resin is 100 parts by weight, the iron (Fe) is 20 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, the titanium dioxide (TiO2) is the EVA It may be composed of; 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin.
보다 바람직하게, 상기 철(Fe)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 55 내지 65 중량부로, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 5 내지 15 중량부로 구성될 수 있다.More preferably, the iron (Fe) is 55 to 65 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, the titanium dioxide (TiO2) may be composed of 5 to 15 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 코로나 방전 시트(1)는 실리콘(Si)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the
상기 실리콘은 상기 EVA수지 100중량부를 기준으로 1내지 40 중량부로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 15 내지 25 중량부로 구비될 수 있다.The silicon may be provided as 1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, preferably 15 to 25 parts by weight.
상기 실리콘(Si)은 1KHz 미만의 노이즈를 열로 손실 유도하며, 철(Fe)보다 저항치가 더 높아 비교적 높은 전압의 정전기를 쉽게 제거할 수 있는 효과가 있다.The silicon (Si) leads to loss of noise of less than 1KHz by heat, and has a higher resistance than iron (Fe), thereby effectively removing static electricity of a relatively high voltage.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코로나 방전 시트(1)는 알루미늄(Al)을 더 포함할 수 있다.In addition, the
상기 알루미늄(Al)은 상기 EVA수지 100중량부를 기준으로 1내지 30 중량부로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 5 내지 15 중량부로 구비될 수 있다.The aluminum (Al) may be provided in 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, preferably 5 to 15 parts by weight.
상기 알루미늄(Al)은 2KHz 이상의 노이즈를 열로 손실 유도하여 중간 대역의 주파수를 가진 노이즈를 제거하는 탁원한 효과가 있다.The aluminum (Al) has a turbulent effect of removing noise with a frequency of the middle band by loss-induced noise of 2KHz or more with heat.
결과적으로 상술한 조성물 조합에 따라, 다양한 주파수 대역의 노이즈가 효과적으로 제거될 수 있다. As a result, according to the above-described composition combination, noise of various frequency bands can be effectively removed.
이하 도 2를 참조하여, 상기 코로나 방전 시트(1)를 제조하는 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the
본 발명의 일 실시예에 따른 코로나 방전 시트 제조방법은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe), 실리콘 및, 이산화티탄(TiO2)을 혼합하는 단계(21) 및, 상기 혼합된 고체상의 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe), 실리콘 및, 이산화티탄(TiO2)을 소정온도로 가열하여 교반하는 배합단계(22)를 포함할 수 있다.Corona discharge sheet manufacturing method according to an embodiment of the present invention is a step (21) of mixing the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin, iron (Fe), silicon, and titanium dioxide (TiO2) and the mixed solid phase EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron (Fe), silicon, and titanium dioxide (TiO 2) may include a compounding
상기 혼합단계(21)는 상술한 조성물을 분말상태에서 고르게 섞는 단계로, 배합단계(22)에서의 교반을 용이하게 하는 효과를 가지고 있다.The mixing
또한, 상기 배합단계(22)는 세부적으로 혼합파우더 및 용매 믹싱단계(221), 가열단계(222) 및 교반단계(223)를 포함할 수 있다.In addition, the
먼저, 상기 혼합파우더 및 용매 믹싱단계(221)에서는 전술한 분말 조성물이 균질하게 분포될 수 있도록 용매와 섞는 단계를 의미하며, 상기 용매는 아이소프로필 알코올(Isopropylalkohol])과 폴리우레탄(polyurethane)으로 구성될 수 있다.First, in the mixing powder and the solvent mixing
이후, 상기 가열단계(222)가 진행되는데 이때 온도는 50 내지 70°C로 유지되도록 가열될 수 있으며, 바람직하게는 55 내지 65°C로 유지됨이 바람직하다.Then, the
또한, 상기 교반단계(223)는 용융된 혼합물이 뒤섞이면서 고르게 가열되도록 물리적인 힘으로 혼합물을 휘젓는 것을 의미한다.In addition, the stirring
상기 배합단계(22)에서 혼합물이 고르게 섞이면, 이후 혼합물을 상온으로 냉각하는 단계(21)가 진행될 수 있으며, 상온으로 냉각되면 코로나 방전 시트(1)의 제조가 완료된다.When the mixture is evenly mixed in the compounding
이하, 도 3을 참조하여, 상기 코로나 방전 시트(1)를 이용한 정전기 제거패드(3)의 일 실시예를 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an electrostatic removing
상기 정전기 제거패드(3)는 상기 코로나 방전 시트(1)를 포함하는 제1레이어(31)와, 정전기를 상기 제1레이어(31)로 안내하는 금속을 포함하는 제2레이어(32)를 포함할 수 있다.The static
상기 제2레이어(32)는 10Ω이하의 가진 실버(Ag)를 포함할 수 있으며, 정전기 제거 대상의 표면(10Ω이상의 저항을 가짐) 보다 낮은 저항을 가지고 있어 주변의 전자가 정전기 제거패드(3)로 이동하도록 한다.The
상기 제2레이어(32)로 이동한 전자는 이후 상기 제1레이어(31)로 이동하게 되고, 전술한 매커니즘에 따라 열에너지를 발산하면서 안정적인 상태로 전환될 수 있다.The electrons moved to the
이에 따라, 상기 정전기 제거패드(3)는 접지없이 정전기를 제거할 수 있으며, 종래기술이 가지고 있던 공간적 제약이 해소됨은 물론, 원하는 크기로 쉽게 재단될 수 있어 범용성이 극대화되는 탁월한 효과를 가지고 있다.Accordingly, the static
특히, 전술한 반도체 제조장비나 OLED제조장비에 장착할 경우, 적은 비용으로 정전기를 쉽게 포획하여 불량률을 낮출 수 있는 효과가 있다.In particular, when attached to the above-described semiconductor manufacturing equipment or OLED manufacturing equipment, there is an effect that can easily trap the static electricity at a low cost to lower the defective rate.
이하, 도 4를 참조하여 상기 일 실시예에 따른 정전기 제거패드의 제조방법(4)을 설명한다.Hereinafter, a method (4) of manufacturing a static elimination pad according to the embodiment will be described with reference to FIG. 4.
상기 정전기 제거패드 제조방법(4)은 크게 코로나 방전 시트(31)를 필요한 크기에 맞게 커팅하는 단계(41)와, 상기 커팅된 코로나 방전 시트(31) 표면을 금속 코팅 단계(S42)를 포함할 수 있다.The electrostatic removal pad manufacturing method 4 may include a
보다 상세하게, 상기 금속 코팅 단계(S42)는 상기 코로나 방전 시트(31, 제1레이어)에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계(421) 및 상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계(422)있다.More specifically, the metal coating step (S42) is a step (421) of applying silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the corona discharge sheet 31 (first layer) and the applied silver (Ag) There is a
이에 따라, 상기 제2레이어(32)를 쉽게 만들 수 있어, 정전기 제거패드(3)의 양산성이 극대화될 수 있다.Accordingly, since the
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 제거패드(5)를 설명한다.Hereinafter, an electrostatic removing
전술한 실시예와 차이점으로, 상기 정전기 제거패드(5)는 상기 제1레이어(31, 51)와 상기 제2레이어(32, 52) 사이에 구비되며, 전도성 카본을 포함하는 제3레이어(53)를 더 포함할 수 있다.In contrast to the above-described embodiment, the static
상기 전도성 카본은 10^5 Ω 이하의 저항을 가지도록 구비될 수 있으며, 보다 바람직하게는 10^3 Ω 이하의 저항을 가질 수 있다.The conductive carbon may be provided to have a resistance of 10 ^ 5 Ω or less, and more preferably 10 ^ 3 Ω or less.
이에 따라, 비교적 높은 전압을 가진 정전기도 효과적으로 제거될 수 있어 그 본질적 기능이 극대화될 수 있다.Accordingly, static electricity having a relatively high voltage can also be effectively removed, thereby maximizing its essential function.
이하, 도 6을 참조하여 상기 다른 실시예에 따른 정전기 제거패드의 제조방법(6)을 설명한다.Hereinafter, a method (6) of manufacturing a static elimination pad according to another embodiment will be described with reference to FIG.
상기 다른 실시예에 따른 정전기 제거패드 제조방법(6)은 크게 코로나 방전 시트(51)를 필요한 크기에 맞게 커팅하는 단계(61), 상기 커팅된 코로나 방전 시트(51)에 도전성 카본을 코팅하는 단계(62) 및, 상기 커팅된 코로나 방전 시트(51) 표면을 금속 코팅 단계(S63)를 포함할 수 있다.In the method of manufacturing an electrostatic removing
또한, 상기 금속 코팅 단계(S62)는 상기 도전성 카본(52, 제3레이어)에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계(621) 및 상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계(622)있다.In addition, the metal coating step (S62) is a step of applying a silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the conductive carbon (52, third layer) (621) and the applied silver (Ag) paint or silver (Ag) There is a step 622 of drying the paste.
본 명세서에 기재되어 있지 않은 효과라도, 본 발명은 상술한 각각의 구성들이 다른 효과를 추가적으로 가지고 있을 수 있으며, 상술한 각각의 구성들간 유기적인 결합관계에 따라 종래기술에서 볼 수 없는 새로운 효과를 도출할 수 있다.Even if the effects are not described in the present specification, the present invention may additionally have different effects in each of the above-described configurations, and derive new effects not seen in the prior art according to the organic coupling relationship between the above-described respective configurations. can do.
아울러, 도면에 도시된 실시예들이 다른 형태로 변형되어 실시될 수 있으며, 본 발명의 특허청구범위에 청구된 구성을 포함하여 실시되거나 균등범위 내에서 실시되는 경우 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, the embodiments shown in the drawings may be embodied in other forms, and should be regarded as belonging to the scope of the present invention if it is carried out including the configuration claimed in the claims of the present invention or within the equivalent scope. something to do.
Claims (10)
EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철 및, 이산화티탄(TiO2);을 포함하고,
실리콘 또는 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트.In the corona discharge sheet for converting static electricity into thermal energy using the corona discharge effect,
Ethylene-vinyl acetate (EVA) resin, iron, and titanium dioxide (TiO 2);
Corona discharge sheet further comprises at least one of silicon or aluminum.
상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지는 100 중량부이고,
상기 철은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 20 내지 100 중량부이며,
상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;인 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트.The method of claim 1,
EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin is 100 parts by weight,
The iron is 20 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin,
The titanium dioxide (TiO2) is 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin; Corona discharge sheet, characterized in that.
상기 실리콘은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1내지 40 중량부인 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트The method of claim 2,
The silicon is corona discharge sheet, characterized in that 1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin
상기 알루미늄은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;인 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트.The method of claim 2,
The aluminum is corona discharge sheet, characterized in that 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin.
고체상의 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지와 철 및 이산화티탄(TiO2), 그리고 상기 실리콘 또는 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 혼합하는 단계;
상기 혼합된 고체상의 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지와 철 및 이산화티탄(TiO2), 그리고 상기 실리콘 또는 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 소정온도로 가열하여 교반하는 배합단계;
상기 배합된 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지와 철 및 이산화티탄(TiO2), 그리고 상기 실리콘 또는 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 냉각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전 시트 제조방법.In the manufacturing method of manufacturing the corona discharge sheet of claim 1,
Mixing at least one of the above-mentioned EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin with iron and titanium dioxide (TiO 2) and the silicon or aluminum;
A blending step of heating and stirring at least one of the mixed solid-state (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron and titanium dioxide (TiO 2), and the silicon or aluminum to a predetermined temperature;
And cooling the blended EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron and titanium dioxide (TiO 2), and at least one of the silicon or aluminum. 2.
상기 코로나 방전시트를 포함하는 제1레이어;
상기 제1레이어 외측에 구비되며, 정전기를 상기 제1레이어로 안내하는 금속을 포함하는 제2레이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거패드.In the static elimination pad comprising the corona discharge sheet of claim 1,
A first layer comprising the corona discharge sheet;
And a second layer provided outside the first layer and including a metal for guiding static electricity to the first layer.
상기 제2레이어는 실버(Ag)를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거패드.The method of claim 6,
The second layer is a static electricity removal pad, characterized in that containing silver (Ag).
상기 제1레이어와 상기 제2레이어 사이에 구비되며, 전도성 카본을 포함하는 제3레이어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거패드.The method of claim 7, wherein
And a third layer provided between the first layer and the second layer, the third layer including conductive carbon.
상기 코로나 방전 시트에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계; 및
상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계;를 포함하는 정전기 제거패드 제조방법.In the manufacturing method of manufacturing the static elimination pad of claim 7,
Applying silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the corona discharge sheet; And
And drying the applied silver (Ag) paint or silver (Ag) paste.
상기 코로나 방전 시트에 도전성 카본을 코팅하는 단계;
상기 코팅된 도전성 카본에 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 도포하는 단계; 및
상기 도포된 실버(Ag) 페인트 또는 실버(Ag) 페이스트를 건조하는 단계;를 포함하는 정전기 제거패드 제조방법.
In the manufacturing method of manufacturing the static elimination pad of claim 8,
Coating conductive carbon on the corona discharge sheet;
Applying silver (Ag) paint or silver (Ag) paste to the coated conductive carbon; And
And drying the applied silver (Ag) paint or silver (Ag) paste.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180141369A KR102030292B1 (en) | 2018-11-16 | 2018-11-16 | A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180141369A KR102030292B1 (en) | 2018-11-16 | 2018-11-16 | A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102030292B1 true KR102030292B1 (en) | 2019-10-08 |
Family
ID=68208895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180141369A KR102030292B1 (en) | 2018-11-16 | 2018-11-16 | A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102030292B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834599A (en) * | 1981-08-21 | 1983-03-01 | 株式会社共和 | Static eliminator |
| JPH07183093A (en) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Sumiron:Kk | Dust-proofing mat |
| JPH08245932A (en) * | 1995-03-10 | 1996-09-24 | Lintec Corp | Antistatic adhesive sheet |
| JP2014235987A (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 株式会社村田製作所 | Manufacturing method of esd protection device and esd protection device |
-
2018
- 2018-11-16 KR KR1020180141369A patent/KR102030292B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834599A (en) * | 1981-08-21 | 1983-03-01 | 株式会社共和 | Static eliminator |
| JPH07183093A (en) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Sumiron:Kk | Dust-proofing mat |
| JPH08245932A (en) * | 1995-03-10 | 1996-09-24 | Lintec Corp | Antistatic adhesive sheet |
| JP2014235987A (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 株式会社村田製作所 | Manufacturing method of esd protection device and esd protection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2404468C2 (en) | Field control tape based on varistor | |
| US2321587A (en) | Electrical conductive coating | |
| JP5615401B1 (en) | Copper fine particle dispersion, conductive film forming method, and circuit board | |
| US10066141B2 (en) | Graphene sheet combining graphite flake structure and its manufacturing method, and slurry for manufacturing the same | |
| CN107529540A (en) | A kind of thermal dispersant coatings and preparation method thereof | |
| CN103559940A (en) | Copper electronic paste and preparation method and application thereof | |
| CN105199535B (en) | A kind of electromagnetic wire application pure epoxy powdery paints and preparation method thereof | |
| KR102030292B1 (en) | A corona discharge sheet, a method of manufacturing the corona discharge sheet, an non-earth-grounding electrostatic discharge pad using the corona discharge sheet, and a method of manufacturing the electrostatic discharge pad | |
| CN108701534A (en) | Compact dry-type transformer with electrical winding and the method for being used to prepare electrical winding | |
| JP2009146584A (en) | Conductive paste composition | |
| Yan et al. | Designing atmospheric-pressure plasma sources for surface engineering of nanomaterials | |
| CN102157221A (en) | Method for preparing electrode silver paste for environment-friendly semiconductor capacitor | |
| JP2013194241A (en) | Polymer thick film ferrite-containing shielding composition | |
| CN104152051B (en) | Aqueous heat loss through radiation coating and preparation method thereof | |
| US20170121548A1 (en) | Inked Electrical Conductor | |
| JP6948224B2 (en) | Manufacturing method of insulating composition and chip resistor | |
| CN104464992A (en) | Method for preparing functional slurry of chip-type static suppressor | |
| CN103525297A (en) | High-temperature-resistant, adiabatic and insulated coating applied to fuse protector and preparation method of coating | |
| KR101131247B1 (en) | A HEAT RADIATING MATERIAL including C-CNT-Ag AND A MANUFACURING METHOD THEREOF, A HEAT RADIATING TAPE AND A USING METHOD THEREOF | |
| KR20220145933A (en) | Coating composition for heat radiation, printed circuit board coated the composition and methods for manufacturing the circuit board | |
| KR102038247B1 (en) | A static electricity elimination film, and nongrounded static electricity elimination apparatus comprising the same | |
| CN106684044A (en) | Low-melting-point inorganic binder slurry for aluminum material, and preparation method of low-melting-point inorganic binder slurry | |
| US20090309555A1 (en) | Electricity efficiency improving apparatus | |
| CN206179611U (en) | Quick fin formula multilayer piezo -resistor | |
| CN104789114A (en) | Anticorona varnish for generator stator bar and preparation method of anticorona varnish |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |