KR102038247B1 - A static electricity elimination film, and nongrounded static electricity elimination apparatus comprising the same - Google Patents

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KR102038247B1 KR1020190007809A KR20190007809A KR102038247B1 KR 102038247 B1 KR102038247 B1 KR 102038247B1 KR 1020190007809 A KR1020190007809 A KR 1020190007809A KR 20190007809 A KR20190007809 A KR 20190007809A KR 102038247 B1 KR102038247 B1 KR 102038247B1
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Abstract

The present invention relates to a static electricity elimination film, and a nongrounded static electricity elimination apparatus comprising the same. A static elimination film for converting static electricity into heat energy includes a base which is a film made of synthetic resin; and a first layer provided on the base and includes EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and titanium dioxide (TiO2). The static electricity elimination film can be connected to an electrically sensitive mechanical or electronic component.

Description

정전기 제거 필름 및 이를 포함하는 비접지식 정전기 제거 장치 {A static electricity elimination film, and nongrounded static electricity elimination apparatus comprising the same}Static elimination film, and nongrounded static electricity elimination apparatus comprising the same

본 발명은 정전기 제거 필름 및 이를 포함하는 비접지식 정전기 제거 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrostatic eliminating film and an ungrounded electrostatic eliminating device comprising the same.

전자부품 생산 시 생산설비의 표면에 부착된 정전기는 생산 수율 및 제품의 품질에 큰 영향을 미치게 된다.In the production of electronic components, static electricity attached to the surface of production equipment greatly affects production yield and product quality.

특히, 반도체용 실리콘 웨이퍼나 디스플레이용 유기발광다이오드(OLED) 같은 정밀부품들은 정전기로 인해 불량이 발생하며, 이는 당업계에서 품질향상을 위해 반드시 해결해야할 중요한 과제 중 하나로 손꼽히고 있다.In particular, precision parts such as silicon wafers for semiconductors and organic light emitting diodes (OLEDs) for displays are defective due to static electricity, which is one of the important tasks to be solved in the art for quality improvement.

일례로, 반도체 제조설비에서는 웨이퍼 표면 세척에 초순수물(deionized water)이 이용되는데, 이때 주변 설비들에 의해 발생되는 정전기에 의해 초순수물은 그 이동과정에 다시 이온화되고, 이는 곧 웨이퍼 표면을 손상시키게 된다.For example, in semiconductor manufacturing facilities, deionized water is used to clean the wafer surface, whereby the pure water is ionized again during the migration process by static electricity generated by the surrounding equipment, which damages the wafer surface. do.

종래에는 정전기를 제거하기 위해 부피가 크거나 길이가 긴 접지(earth-grounding) 장치를 생산장비에 부착하거나, 복잡한 정전기 제거 회로를 추가로 구성하는 것이 일반적이었다.In the past, it was common to attach bulky or long earth-grounding devices to production equipment to eliminate static electricity, or to additionally construct complex static electricity removal circuits.

즉, 종래의 정전기 제거 장치는 그 설치비용이나 유지보수 및 공간활용성 등에서 많은 한계점들을 가지고 있어, 이를 대체할 만한 장치가 개발될 필요성이 대두되고 있다.That is, the conventional static elimination device has a number of limitations in its installation cost, maintenance and space utilization, so that there is a need to develop a device that can replace it.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 정전기에 민감한 기계 또는 전자 부품장치에 연결되는 비접지 방식의 정전기 제거 필름을 제공하는 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a non-grounding static electricity removing film connected to a static electricity sensitive machine or electronic component device.

본 발명의 다른 목적은 상기 정전기 제거 필름을 포함하며, 기계 또는 전자 부품장치에 간편하게 장착되는 정전기 제거 장치를 제공하는 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide an electrostatic eliminating device including the electrostatic eliminating film, which is simply mounted on a mechanical or electronic component device.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 정전기를 열에너지로 전환하는 정전기 제거 필름에 있어서, 합성수지로 구성된 필름인 베이스; 및 상기 베이스에 구비되며, EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지와 철 그리고 이산화티탄(TiO2)을 포함하는 제1레이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 필름을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the static electricity removing film for converting static electricity into thermal energy, the base is a film composed of a synthetic resin; And a first layer provided on the base and comprising an EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and titanium dioxide (TiO 2).

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어 외측에 구비되며, 정전기를 상기 제1레이어로 안내하는 실버(Ag)를 포함하는 제2레이어;를 더 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the second layer may be provided on the outside of the first layer, the second layer including silver (Ag) for guiding static electricity to the first layer.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어와 상기 제2레이어 사이에 구비되며, 전도성 카본을 포함하는 제3레이어;를 더 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the third layer is provided between the first layer and the second layer, and may include a third layer including conductive carbon.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어의 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지는 100 중량부이고, 상기 철은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 20 내지 100 중량부이며, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin of the first layer is 100 parts by weight, and the iron is 20 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate (EVA) resin. The titanium dioxide (TiO 2) may be 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어는 실리콘;을 더 포함하며, 상기 실리콘은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1내지 40 중량부로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the first layer further comprises a silicon; the silicon may be composed of 1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate resin.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1레이어는 알루미늄;을 더 포함하고, 상기 알루미늄은 상기 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부;로 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the first layer may further include aluminum; 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the ethylene-vinyl acetate resin.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 정전기 제거 필름; 외관을 형성하며 정전기 제거 대상에 선택적으로 장탈착되는 아우터케이스; 상기 아우터케이스에 삽입되며, 상기 정전기 제거 필름을 수용하는 이너케이스; 및 금속으로 구비되어 상기 정전기 제거 필름과 정전기 제거 대상을 전기적으로 연결하는 단자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 장치를 제공할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, an electrostatic removing film; An outer case which forms an exterior and is selectively detachable to an object for removing static electricity; An inner case inserted into the outer case and accommodating the static electricity removing film; And a terminal provided with a metal to electrically connect the static elimination film and the electrostatic elimination object to each other.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 정전기 제거 필름은 롤링되어 상기 이너케이스에 수용될 수 있다.In an exemplary embodiment, the static electricity removing film may be rolled and accommodated in the inner case.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 이너케이스는 롤링된 상기 정전기 제거 필름의 끝단이 통과하는 슬릿; 및 상기 단자를 고정하는 단자 수용부;를 포함하고, 상기 단자와 상기 단자 수용부 사이에는 상기 슬릿을 통과한 상기 정전기 제거 필름의 끝단이 구비될 수 있다.In an exemplary embodiment, the inner case may include a slit through which an end of the rolled static electricity removing film passes; And a terminal accommodating part for fixing the terminal, wherein an end of the static electricity removing film passing through the slit may be provided between the terminal and the terminal accommodating part.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 아우터케이스는 제1아우터케이스;와 상기 제1아우터케이스와 결합되어 정전기 제거대상에고정되는 제2아우터케이스;를 포함하고, 상기 이너케이스는 상기 제1아우터케이스에 삽입되는 제1이너케이스; 및 상기 제2아우터케이스에 삽입되는 제2이너케이스;를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the outer case includes a first outer case; and a second outer case coupled to the first outer case and fixed to a static elimination object, wherein the inner case is attached to the first outer case. A first inner case inserted; And a second inner case inserted into the second outer case.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 제1아우터케이스의 타단에 구비된 고정부; 및 상기 제2아우터케이스의 일단에 구비되어 상기 고정부와 체결되는 고정부 수용부;를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the fixing portion provided on the other end of the first outer case; And a fixing part accommodating part provided at one end of the second outer case and fastened to the fixing part.

예시적인 실시예에 있어서, 아우터케이스와 이너케이스는 휘어져 정전기 제거 대상의 외주면을 감싸도록 플렉서블한 재질로 이루어질 수 있다.In an exemplary embodiment, the outer case and the inner case may be made of a flexible material to be bent to surround the outer circumferential surface of the static elimination object.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 아우터케이스의 일단에 구비된 고정부; 및 상기 아우터케이스의 타단에 구비되어 상기 고정부와 체결되는 고정부 수용부;를 더 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the fixing portion provided on one end of the outer case; And a fixing part accommodating part provided at the other end of the outer case and fastened to the fixing part.

본 발명은 정전기에 민감한 기계 또는 전자 부품장치에 연결되는 비접지 방식의 정전기 제거 필름을 제공하는 효과가 있다.The present invention has the effect of providing a non-grounding static elimination film connected to the electrostatic sensitive machine or electronic component device.

본 발명은 상기 정전기 제거 필름을 포함하며, 기계 또는 전자 부품장치에 간편하게 장착되는 정전기 제거 장치를 제공하는 효과가 있다.The present invention includes the static elimination film, there is an effect to provide an electrostatic eliminating device that is simply mounted on a mechanical or electronic component device.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거 필름의 단면이다.
도 2는 상기 실시예들에 따른 정전기 제거 필름의 제조방법이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 제거 필름의 단면이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전기 제거 필름의 단면이다.
도 5는 정전기 제거 필름을 포함하는 정전기 제거 장치의 일 실시예에 따른 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 정전기 제거 장치의 A-A' 단면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 정전기 제거 장치의 분해 사시도이다.
도 8은 정전기 제거 필름을 포함하는 정전기 제거 장치의 다른 실시예에 따른 분해사시도이다.1 is a cross-sectional view of the static electricity removing film according to an embodiment of the present invention.
2 is a method of manufacturing an electrostatic removing film according to the embodiments.
3 is a cross-sectional view of the static electricity removing film according to another embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the static electricity removing film according to another embodiment of the present invention.
5 is a perspective view according to an embodiment of an electrostatic eliminating device including an electrostatic eliminating film.
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of the electrostatic eliminator shown in FIG. 5.
FIG. 7 is an exploded perspective view of the static eliminator shown in FIG. 5.
8 is an exploded perspective view according to another embodiment of a static elimination device including a static elimination film.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 대해서 살펴보기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하 도 1을 참조하여, 정전기 제거 필름(1)에 대해 설명한다.Hereinafter, referring to FIG. 1, the static electricity removing film 1 will be described.

본 발명의 일실시예에 따른 정전기 제거 필름(1)은 주변의 정전기를 열로 전환하여 접지없이(earth-grounding) 정전기를 제거할 수 있으며, 상기 정전기 제거 필름(1)은 코로나 방전 현상을 이용할 수 있다.The static elimination film 1 according to an embodiment of the present invention may remove static electricity without grounding by converting surrounding static electricity into heat, and the static elimination film 1 may use a corona discharge phenomenon. have.

코로나 방전 현상이란 대전된 물체에 뾰족한 점이 있으면 그 점 주위의 공기는 다른 곳보다 높은 전위경도를 띠게 되고, 이에 따라 주변 공기에 의한 절연이 파괴되면서 순간적인　스파크, 또는 지속적인　아크가 발생되어 정전기가 빛과 열에너지로 전환되는 현상을 의미한다.The corona discharge phenomenon is that if a charged point has a point on the charged object, the air around the point has a higher potential hardness than other places. Thus, the insulation by the surrounding air is destroyed, causing a momentary spark or continuous arc to generate static electricity. It means the phenomenon of being converted into overheat energy.

상기 정전기 제거 필름(1)은 PVC, PE 또는 PET 등의 합성수지로 구성되며 플렉서블한 재질의 제전필름인 베이스(11), 상기 베이스의 일면에 구비되어 정전기를 열에너지로 전환시키는 제1레이어(12)를 포함할 수 있다.The static electricity removing film 1 is made of a synthetic resin such as PVC, PE, or PET, and the base 11, which is a flexible antistatic film, is provided on one surface of the base to convert static electricity into thermal energy. It may include.

구체적으로, 상기 제1레이어(12)는 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe) 및, 이산화티탄(TiO2, 또는 titanium oxide porcelain)을 포함할 수 있다.Specifically, the first layer 12 may include an ethylene-vinyl acetate (EVA) resin, iron (Fe), and titanium dioxide (TiO 2, or titanium oxide porcelain).

정전기는 방전될 때 전자의 흐름에 따라 자기장이 발생하여 손실 주파수가 서로 다른 다양한 노이즈가 발생된다.When static electricity is discharged, a magnetic field is generated according to the flow of electrons, and various noises having different loss frequencies are generated.

손실 주파수들은 그 대역에 따라 각기 다른 재료에 의해 열로 소실되는데, 상기 제1레이어(12)는 상술한 다양한 물질을 이용해 서로 다른 대역의 주파수를 가진 노이즈들을 제거하게 된다.The lost frequencies are lost to heat by different materials depending on the band, and the first layer 12 removes noises having frequencies of different bands using the above-described various materials.

보다 상세하게, 상기 EVA수지는 1GHz이상의 노이즈를 열로 손실 유도하며, 상기 철(Fe)은 1KHz 미만의 노이즈를 열로 손실 유도하게 된다.More specifically, the EVA resin induces loss of noise of 1 GHz or more with heat, and the iron (Fe) causes loss of noise of less than 1 KHz with heat.

또한, 상기 이산화티탄(TiO2)은 정전기를 잠시 보유하고 있는 기능을 가지고 있으며, 이는 콘덴서와 역할을 하여 정전기의 에너지가 열로 손실되기 위한 시간을 담보하게 된다.In addition, the titanium dioxide (TiO 2) has a function of temporarily holding static electricity, which serves as a capacitor to ensure time for energy loss of static electricity to heat.

상술한 조성물의 조합에 따른 기능을 극대화하기 위해, 상기 EVA 수지는 100 중량부로, 상기 철(Fe)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 20 내지 100 중량부로, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 1 내지 30 중량부로 구성될 수 있다.In order to maximize the function according to the combination of the above composition, the EVA resin is 100 parts by weight, the iron (Fe) is 20 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, the titanium dioxide (TiO2) is the EVA It may be composed of 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin.

보다 바람직하게, 상기 철(Fe)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 55 내지 65 중량부로, 상기 이산화티탄(TiO2)은 상기 EVA 수지 100중량부를 기준으로 5 내지 15 중량부로 구성될 수 있다.More preferably, the iron (Fe) is 55 to 65 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, the titanium dioxide (TiO2) may be composed of 5 to 15 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제1레이어(12)는 실리콘(Si)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the first layer 12 according to an embodiment of the present invention may further include silicon (Si).

상기 실리콘은 상기 EVA수지 100중량부를 기준으로 1내지 40 중량부로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 15 내지 25 중량부로 구비될 수 있다.The silicon may be provided as 1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, preferably 15 to 25 parts by weight.

상기 실리콘(Si)은 1KHz 미만의 노이즈를 열로 손실 유도하며, 철(Fe)보다 저항치가 더 높아 비교적 높은 전압의 정전기를 쉽게 제거할 수 있는 효과가 있다.The silicon (Si) leads to loss of noise of less than 1KHz by heat, and has a higher resistance than iron (Fe), thereby effectively removing static electricity of a relatively high voltage.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제1레이어(12)는 알루미늄(Al)을 더 포함할 수 있다.In addition, the first layer 12 according to an embodiment of the present invention may further include aluminum (Al).

상기 알루미늄(Al)은 상기 EVA수지 100중량부를 기준으로 1내지 30 중량부로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 5 내지 15 중량부로 구비될 수 있다.The aluminum (Al) may be provided in 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the EVA resin, preferably 5 to 15 parts by weight.

상기 알루미늄(Al)은 2KHz 이상의 노이즈를 열로 손실 유도하여 중간 대역의 주파수를 가진 노이즈를 제거하는 탁월한 효과가 있다.The aluminum (Al) has an excellent effect of removing noise with a frequency of the middle band by loss-induced noise of more than 2KHz by heat.

결과적으로 상술한 조성물 조합에 따라, 다양한 주파수 대역의 노이즈가 효과적으로 제거될 수 있다.As a result, according to the above-described composition combination, noise of various frequency bands can be effectively removed.

이하 도 2를 참조하여, 상기 정전기 제거 필름(1)의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the static elimination film 1 will be described with reference to FIG. 2.

본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거 필름의 제조방법은 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe), 실리콘 및, 이산화티탄(TiO2) 펠릿을 혼합하는 단계(S1) 및, 상기 혼합된 고체상의 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지, 철(Fe), 실리콘 및, 이산화티탄(TiO2) 펠릿을 50 내지 70도씨에서 가열하는 가열단계(S2)를 포함할 수 있다.Method for producing a static elimination film according to an embodiment of the present invention is a step of mixing the EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron (Fe), silicon, and titanium dioxide (TiO2) pellets (S1), and the mixed Solid phase EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron (Fe), silicon, and titanium dioxide (TiO2) may include a heating step (S2) for heating the pellet at 50 to 70 degrees.

또한, 상기 정전기 제거 필름의 제조방법은 교반단계(S3)를 더 포함할 수 있다.In addition, the method of manufacturing the static elimination film may further include a stirring step (S3).

상기 교반단계(S3)는 상기 가열된 조성물이 균질하게 분포될 수 있도록 용융된 펠릿과 용매와 섞는 단계를 의미하며, 상기 용매는 아이소프로필 알코올(Isopropylalkohol])과 폴리우레탄(polyurethane)으로 구성될 수 있다.The stirring step (S3) means mixing the molten pellet and the solvent so that the heated composition can be distributed homogeneously, the solvent may be composed of isopropyl alcohol (Isopropylalkohol) and polyurethane (polyurethane) have.

나아가, 상기 정전기 제거 필름의 제조방법은 상기 교반된 조성물을 상기 베이스(11)에 도포하는 단계(S4) 및, 상기 도포된 조성물을 건조시키는 단계(S5)더 포함할 수 있다.Furthermore, the method of manufacturing the static electricity removing film may further include applying the stirred composition to the base 11 (S4) and drying the applied composition (S5).

이하, 도 3을 참조하여, 상기 정전기 제거 필름(1)의 다른 실시예를 전술한 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, another embodiment of the static electricity removing film 1 will be described with reference to the difference from the above-described embodiment with reference to FIG. 3.

상기 정전기 제거 필름(1)은 상기 제1레이어(12)로 안내하는 금속을 포함하는 제2레이어(13)를 더 포함할 수 있다.The static electricity removing film 1 may further include a second layer 13 including a metal to guide the first layer 12.

상기 제2레이어(13)는 10Ω이하의 가진 실버(Ag)를 포함할 수 있으며, 정전기 제거 대상의 표면(10Ω이상의 저항을 가짐) 보다 낮은 저항을 가지고 있어 주변의 전자가 상기 제1레이어(12)로 이동하도록 한다.The second layer 13 may include silver (Ag) having 10 Ω or less, and have a lower resistance than the surface of the electrostatic removal target (having a resistance of 10 Ω or more). Go to).

상기 제1레이어(12)로 이동한 전자는 전술한 매커니즘에 따라 열에너지를 발산하면서 안정적인 상태로 전환될 수 있다.The electrons moved to the first layer 12 may be converted into a stable state while dissipating heat energy according to the above-described mechanism.

이에 따라, 상기 정전기 제거 필름(1)은 접지없이 정전기를 제거할 수 있으며, 종래기술이 가지고 있던 공간적 제약이 해소됨은 물론, 원하는 크기로 쉽게 재단될 수 있어 범용성이 극대화되는 탁월한 효과를 가지고 있다.Accordingly, the static electricity removing film 1 can remove static electricity without grounding, and the space constraints of the prior art are eliminated, and can be easily cut to a desired size, thereby maximizing versatility.

특히, 전술한 반도체 제조장비나 OLED제조장비에 장착할 경우, 적은 비용으로 정전기를 쉽게 포획하여 불량률을 낮출 수 있는 효과가 있다.In particular, when attached to the above-described semiconductor manufacturing equipment or OLED manufacturing equipment, there is an effect that can easily trap the static electricity at a low cost to lower the defective rate.

이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상기 정전기 제거 필름(1)을 설명한다.Hereinafter, the static elimination film 1 according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4.

전술한 실시예와 차이점으로, 상기 정전기 제거 필름(1)은 상기 제1레이어(12)와 상기 제2레이어(13) 사이에 구비되며, 전도성 카본을 포함하는 제3레이어(14)를 더 포함할 수 있다.In contrast to the above-described embodiment, the static electricity removing film 1 further includes a third layer 14 provided between the first layer 12 and the second layer 13 and including conductive carbon. can do.

상기 전도성 카본은 10^5 Ω 이하의 저항을 가지도록 구비될 수 있으며, 보다 바람직하게는 10^3 Ω 이하의 저항을 가질 수 있다.The conductive carbon may be provided to have a resistance of 10 ^ 5 Ω or less, and more preferably 10 ^ 3 Ω or less.

이에 따라, 비교적 높은 전압을 가진 정전기도 효과적으로 제거될 수 있어 그 본질적 기능이 극대화될 수 있다.Accordingly, static electricity having a relatively high voltage can also be effectively removed, thereby maximizing its essential function.

다음으로 도 5 내지 7을 참조하여, 상기 정전기 제거 필름을 포함하는 정전기 제거 장치의 일 실시예를 설명한다.Next, with reference to FIGS. 5 to 7, an embodiment of an electrostatic eliminating device including the electrostatic eliminating film will be described.

본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거 장치는 상기 정전기 제거 필름(1), 외관을 형성하며 정전기 제거 대상에 선택적으로 장탈착되는 아우터케이스(3), 상기 아우터케이스(3)에 선택적으로 삽탈되며 상기 정전기 제거 필름을 수용하는 이너케이스(2) 및, 전도성 금속(구리, 은 등)으로 구비되어 상기 정전기 제거 필름과 정전기 제거 대상을 전기적으로 연결하는 단자(4)를 포함할 수 있다.Electrostatic eliminating device according to an embodiment of the present invention is the electrostatic eliminating film (1), the outer case (3), which is formed in the external appearance and selectively detachable to the electrostatic removal object, is selectively inserted into the outer case (3) It may include an inner case 2 accommodating the static electricity removing film and a terminal 4 provided with a conductive metal (copper, silver, etc.) to electrically connect the static electricity removing film and the static electricity removing object.

아우터케이스(3)는 내부가 빈 원기둥, 사각기둥 또는 오각 이상의 다각기둥 형상으로 구비될 수 있으며, 도 5 내지 7은 원기둥으로 구비된 것을 일례도 도시한 것이다.The outer case 3 may be provided in a hollow cylinder, a square pillar, or a polygonal pillar shape having five or more pentagons, and FIGS. 5 to 7 also show an example provided in a cylinder.

상기 아우터케이스(3)는 이너케이스 수용공간(3a)과 정전기 제거 대상이 삽입되는 케이스홈(312, 322)를 구비할 수 있으며, 상기 케이스홈(312, 322)은 상기 아우터케이스(3)의 길이방향에 수직한 면을 관통하도록 구비될 수 있다.The outer case 3 may include an inner case accommodating space 3a and case grooves 312 and 322 into which an object for removing static electricity is inserted, and the case grooves 312 and 322 are formed of the outer case 3. It may be provided to penetrate the surface perpendicular to the longitudinal direction.

상기 아우터케이스(3)는 크게 내부에 제1이너케이스 수용공간(31a)을 구비한 제1아우터케이스(31)와, 내부에 제2이너케이스 수용공간(32a)을 구비한 제2아우터케이스(32)로 구성될 수 있다.The outer case 3 has a first outer case 31 having a first inner case accommodating space 31a therein and a second outer case having a second inner case accommodating space 32a therein ( 32).

상기 제1아우터케이스(31)와 제2아우터케이스(32)는 서로 마주보도록 선택적으로 체결될 수 있으며, 제1아우터케이스(31)의 일단과 제2아우터케이스(32)의 타단은 힌지(33)를 통해 결합될 수 있다.The first outer case 31 and the second outer case 32 may be selectively fastened to face each other, one end of the first outer case 31 and the other end of the second outer case 32 may be hinged. ) Can be combined.

제1아우터케이스(31)의 타단에는 고리 형상의 고정부(313)가 구비되고, 상기 제2아우터케이스(32)의 일단에는 상기 고정부(313)와 선택적으로 체결되는 돌기 형상의 고정부 수용부(323)가 구비될 수 있다.The other end of the first outer case 31 is provided with a ring-shaped fixing portion 313, the one end of the second outer case 32 accommodates the projection-shaped fixing portion that is selectively fastened to the fixing portion 313 The unit 323 may be provided.

이에 따라, 상기 아우터케이스(3)는 정전기 제거 대상에 간이하게 장탈착될 수 있다.Accordingly, the outer case 3 may be easily detachable from the object to remove static electricity.

다만, 상기 제1아우터케이스(31)와 상기 제2아우터케이스(32) 각각의 양단에 고정부와 고정부 수용부가 구비되어 서로 분리된 상태를 유지하다가, 정전기 제거 대상에 장착될 때 서로 체결될 수도 있다.However, both ends of each of the first outer case 31 and the second outer case 32 are provided with a fixing part and a fixing part accommodating part so as to be separated from each other, and to be fastened to each other when mounted on the object to be removed. It may be.

보다 상세하게, 상기 제1아우터케이스(31)의 상면에는 제1케이스홈(312)이 구비되고, 상기 제2아우터케이스(32)에는 제2케이스홈(322)이 구비될 수 있다.In more detail, a first case groove 312 may be provided on an upper surface of the first outer case 31, and a second case groove 322 may be provided in the second outer case 32.

아울러, 상기 고정부(313)는 제1아우터케이스(31)의 타단의 상측에 구비된 제1고정부(3131)와 하측에 구비된 제2고정부(3132)를 포함할 수 있고, 상기 고정부 수용부(323)는 제2아우터케이스(32)의 일단의 상측에 구비되어 상기 제1고정부(3131)에 체결되는 제1고정부 수용부(3231) 및 하측에 구비되어 상기 제2고정부(3132)와 체결되는 제2고정부 수용부(3232)를 포함할 수 있다.In addition, the fixing part 313 may include a first fixing part 3131 provided at an upper side of the other end of the first outer case 31 and a second fixing part 3132 provided at a lower side thereof. The government accommodating part 323 is provided at an upper side of one end of the second outer case 32 and is provided at the first fixing part accommodating part 3321 and the lower part which are fastened to the first fixing part 3131. It may include a second fixed part receiving portion (3232) is fastened with the government (3132).

이에 따라, 상기 아우터케이스(3)의 체결력이 강화되어, 상기 정전기 제거대상에 보다 견고하게 체결될 수 있다.Accordingly, the fastening force of the outer case 3 is strengthened, so that the outer case 3 can be more firmly fastened to the static elimination object.

한편, 상기 이너케이스(2)는 몸체를 형성하며 상면이 개방된 케이스바디(211, 221), 상기 케이스바디(211, 221) 내부에 형성되며 상기 정전기 제거 필름(1)을 수용하는 필름수용부(211a, 221a)를 포함할 수 있다.On the other hand, the inner case (2) is formed in the case body (211, 221), the upper surface is open, the inner body (2, 221, 221) formed inside the film accommodating portion for accommodating the static electricity removing film (1) It may include (211a, 221a).

이때, 상기 필름수용부(211a, 221a)에 삽입되는 상기 정전기 제거 필름(1)의 면적이 극대화될 수 있도록, 상기 정전기 제거 필름(1)은 롤링되어 필름수용부(211a, 221a)에 삽입될 수 있다.At this time, the static elimination film 1 is rolled to be inserted into the film receiving portions 211a and 221a so that the area of the static elimination film 1 inserted into the film receiving portions 211a and 221a can be maximized. Can be.

상기 정전기 제거 필름(1)의 면적이 넓을수록 정전용량이 커지므로, 단위 시간당 제거할 수 있는 정전기량이 획기적으로 커질 수 있는 탁월한 효과가 있다.Since the larger the area of the static electricity removal film 1, the larger the capacitance, there is an excellent effect that can significantly increase the amount of static electricity that can be removed per unit time.

나아가, 상기 이너케이스(2)는 정전기 제거 대상에 접촉하여 정전기 제거 장치의 유동을 방지하도록 반경방향 외측으로 함입된 접촉부(212, 222)와, 상기 필름수용부(211a, 221a)에 수용된 정전기 제거 필름(1)의 끝단이 관통하도록 상기 케이스바디(211, 221)의 길이방향을 따라 형성된 슬릿(214, 224)을 더 포함할 수 있다.In addition, the inner case 2 includes contact portions 212 and 222 radially outwardly contacted with the object for removing static electricity and prevents flow of the static electricity removing device, and static electricity contained in the film accommodating portions 211a and 221a. The ends of the film 1 may further include slits 214 and 224 formed along the longitudinal direction of the case bodies 211 and 221.

또한, 상기 이너케이스(2)에는 상기 단자(4)를 고정하는 단자수용부(213, 223)를 더 포함할 수 있으며, 상기 단자 수용부(213, 223)는 상기 슬릿(214, 224)과 상기 접촉부(212, 222)와 맞닿도록 반경방향 외측으로 함입되어 형성될 수 있다.In addition, the inner case 2 may further include terminal accommodating parts 213 and 223 for fixing the terminal 4, and the terminal accommodating parts 213 and 223 may include the slits 214 and 224. The contact portion 212, 222 may be formed to be recessed radially outward to contact.

상기 단자 수용부(213, 223)는 상기 단자(4)가 억지끼움되도록 구비될 수 있으며, 상기 단자 수용부(213, 223)에 끼워진 상기 단자(4)는 상기 접촉부(212, 222)와 나란한 면을 유지하도록 그 일측이 만곡될 수 있다.The terminal accommodating parts 213 and 223 may be provided such that the terminal 4 is forcibly fitted, and the terminal 4 fitted to the terminal accommodating parts 213 and 223 may be parallel to the contact parts 212 and 222. One side may be curved to keep the face.

또한, 상기 정전기 제거 필름(1)의 끝단 중 일부는 상기 단자 수용부(213, 223)에 고정될 수 있는데, 상기 단자(4)와 상기 단자 수용부(213, 223) 사이에 끼워져 고정될 수 있다.In addition, some of the ends of the static electricity removing film 1 may be fixed to the terminal accommodating parts 213 and 223, and may be inserted and fixed between the terminal 4 and the terminal accommodating parts 213 and 223. have.

이때, 상기 정전기 제거 필름(1)은 끝단의 제1레이어(12) 또는 제2레이어(13, 구비된 경우)는 상기 단자(4)의 일면과 맞닿도록 끼워질 수 있다.In this case, the static elimination film 1 may be fitted such that the first layer 12 or the second layer 13 (if provided) at an end thereof comes into contact with one surface of the terminal 4.

이에 따라, 정전기 제거 대상에서 상기 단자(4)를 통해 이동한 정전기는 상기 정전기 제거 필름(1)으로 자연스럽게 이동하여 제거될 수 있다.Accordingly, the static electricity moved through the terminal 4 in the object of static electricity removal may be naturally moved to the static electricity removal film 1 and removed.

이는, 별도의 고정부재 없이도, 주요 구성의 형상만으로 상기 정전기 제거 필름(1)을 고정할 수 있는 장점이 있다.This, there is an advantage that can be fixed to the static electricity removing film 1 only in the shape of the main configuration, without a separate fixing member.

상기 아우터케이스(3)와 마찬가지로, 상기 이너케이스(2)는 상기 제1아우터케이스(31)에 삽입되는 제1이너케이스(21)와, 상기 제2아우터케이스(32)에 삽입되는 제2이너케이스(22)를 포함할 수 있다.Similar to the outer case 3, the inner case 2 may include a first inner case 21 inserted into the first outer case 31 and a second inner case inserted into the second outer case 32. It may include a case 22.

상기 제1이너케이스(21)는 몸체를 형성하며 상면이 개방된 제1케이스바디(211), 상기 제1케이스바디(211) 내부에 형성되며 상기 정전기 제거 필름(1)을 수용하는 제1필름수용부(211a)를 포함할 수 있다.The first inner case 21 forms a body and has a first case body 211 having an open upper surface, a first film formed inside the first case body 211 and accommodating the static electricity removing film 1. It may include a receiving portion (211a).

또한, 상기 제1이너케이스(21)는 정전기 제거 대상에 접촉하여 정전기 제거 장치의 유동을 방지하도록 반경방향 외측으로 함입된 제1접촉부(212)와, 제1상기 필름수용부(211a)에 수용된 정전기 제거 필름(1)의 끝단이 관통하도록 상기 제1케이스바디(211)의 길이방향을 따라 형성된 제1슬릿(214), 그리고 상기 단자(4)를 수용하는 제1단자수용부(213)를 포함할 수 있다.In addition, the first inner case 21 may be accommodated in the first contact portion 212 and the first accommodating film accommodating portion 211a radially outward so as to contact the object of static electricity removal and prevent the flow of the static electricity removal device. The first slit 214 formed along the longitudinal direction of the first case body 211 so that the end of the static electricity removing film 1 penetrates, and the first terminal accommodating part 213 accommodating the terminal 4 are provided. It may include.

마찬가지로, 상기 제2이너케이스(22)는 몸체를 형성하며 상면이 개방된 제2케이스바디(221), 상기 제2케이스바디(221) 내부에 형성되며 상기 정전기 제거 필름(1)을 수용하는 제2필름수용부(221a)를 포함할 수 있다.Similarly, the second inner case 22 forms a body and has a second case body 221 having an open upper surface, a second case body 221 formed in the second case body 221 and receiving the static electricity removing film 1. It may include a film receiving portion (221a).

아울러, 상기 제2이너케이스(22)는 정전기 제거 대상에 접촉하여 정전기 제거 장치의 유동을 방지하도록 반경방향 외측으로 함입된 제2접촉부(222)와, 제2상기 필름수용부(221a)에 수용된 정전기 제거 필름(1)의 끝단이 관통하도록 상기 제2케이스바디(221)의 길이방향을 따라 형성된 제2슬릿(224), 그리고 상기 단자(4)를 수용하는 제2단자수용부(223)를 포함할 수 있다.In addition, the second inner case 22 is accommodated in the second contact portion 222 and the second film receiving portion 221a which are recessed radially outward to prevent the flow of the static electricity removal device in contact with the static electricity removal object. A second slit 224 formed along the longitudinal direction of the second case body 221 so that an end of the static electricity removing film 1 passes, and a second terminal accommodating part 223 accommodating the terminal 4. It may include.

이하 도 8을 참조하여, 정전기 제거 장치의 다른 실시예를 설명한다.Hereinafter, another embodiment of the static eliminating device will be described with reference to FIG. 8.

본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기 제거 장치는 정전기 제거 필름(1)과, 이너케이스(2) 및 이너케이스 수용공간(3a)을 구비한 아우터케이스(3)를 포함할 수 있으며, 상기 이너케이스(2)와 아우터케이스(3)는 휘어져 정전기 제거 대상의 외주면을 감싸도록 플렉서블한 재질로 이루어질 수 있다.Electrostatic eliminating device according to another embodiment of the present invention may include an outer case (3) having an electrostatic removal film (1), the inner case 2 and the inner case receiving space (3a), the inner case 2 and the outer case 3 may be made of a flexible material to be bent to surround the outer circumferential surface of the static elimination object.

일례로, 상기 이너케이스(2)와 아우터케이스(3)는 실리콘 또는 고무재질로 구성될 수 있으며, 휘어짐에 따라 양단이 서로 만날 수 있도록 유연할 재질로 이루어질 수 있다.For example, the inner case 2 and the outer case 3 may be made of a silicon or rubber material, and may be made of a flexible material so that both ends thereof may meet each other as it is bent.

이에 따라, 본 실시예에 따른 정전기 제거 장치는 전술한 실시예에 비해 정전기 제거 대상의 형상에 구애받지 않고, 범용적으로 이용될 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the electrostatic eliminating device according to the present embodiment has an advantage that it can be used universally, regardless of the shape of the electrostatic eliminating object, compared to the above-described embodiment.

또한, 상기 아우터케이스(3)의 일단에는 고정부(313)가 구비되고, 타단에는 상기 고정부(313)와 체결되는 고정부 수용부(323)가 구비될 수 있다.In addition, one end of the outer case 3 may be provided with a fixing part 313, and the other end may be provided with a fixing part accommodating part 323 fastened to the fixing part 313.

상기 고정부(313)는 제1고정부(3131)와 제2고정부(3132)를 포함할 수 있으며, 상기 고정부 수용부(323)는 제1고정부 수용부(3231) 및 제2고정부 수용부(3232)를 포함할 수 있다.The fixing part 313 may include a first fixing part 3131 and a second fixing part 3132, and the fixing part receiving part 323 may include a first fixing part receiving part 3321 and a second height. It may include a government receiving unit (3232).

마찬가지로, 상기 이너케이스(2)는 필름수용부(211a)를 형성하며 상면이 개방된 케이스바디(211), 정전기 제거대상과 접촉하는 접촉부(212), 정전기 제거 필름(1)의 끝단이 관통하는 슬릿(214) 및, 상기 단자(4)를 수용하며 상기 슬릿(214)과 맞닿는 단자수용부(213)를 포함할 수 있다.Similarly, the inner case 2 forms a film accommodating part 211 a and a case body 211 having an open upper surface, a contact part 212 contacting an object for removing static electricity, and an end of the static electricity removing film 1 penetrating through the inner case 2. It may include a slit 214 and a terminal accommodating portion 213 that receives the terminal 4 and contacts the slit 214.

본 명세서에 기재되어 있지 않은 효과라도, 본 발명은 상술한 각각의 구성들이 다른 효과를 추가적으로 가지고 있을 수 있으며, 상술한 각각의 구성들간 유기적인 결합관계에 따라 종래기술에서 볼 수 없는 새로운 효과를 도출할 수 있다.Even if the effects are not described in the present specification, the present invention may additionally have different effects in each of the above-described configurations, and derive new effects not seen in the prior art according to the organic coupling relationship between the above-described respective configurations. can do.

아울러, 도면에 도시된 실시예들이 다른 형태로 변형되어 실시될 수 있으며, 본 발명의 특허청구범위에 청구된 구성을 포함하여 실시되거나 균등범위 내에서 실시되는 경우 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, the embodiments shown in the drawings may be embodied in other forms, and should be regarded as belonging to the scope of the present invention if it is carried out including the configuration claimed in the claims of the present invention or within the equivalent scope. something to do.

정전기 제거 필름 1 이너케이스 2 아우터케이스 3Static electricity removal film 1 inner case 2 outer case 3

Claims (10)

합성수지로 구성된 필름인 베이스와, 상기 베이스에 구비되며 EVA(Ethylene-vinyl acetate) 수지와 철 그리고 이산화티탄(TiO2)을 포함하는 제1레이어를 포함하는 정전기 제거 필름;
상기 정전기 제거 필름을 수용하는 이너케이스;
상기 이너케이스를 수용하며, 정전기 제거 대상에 선택적으로 장탈착되는 아우터케이스; 및
금속으로 구비되어 상기 정전기 제거 필름과 정전기 제거 대상을 전기적으로 연결하는 단자;를 포함하고,
상기 아우터케이스는 상기 이너케이스가 선택적으로 삽탈되도록 구비되며,
상기 이너케이스는
상기 정전기 제거 필름의 끝단이 통과하는 슬릿; 및
상기 단자를 고정하는 단자 수용부;를 포함하고,
상기 단자와 상기 단자 수용부 사이에는 상기 슬릿을 통과한 상기 정전기 제거 필름의 끝단이 구비되는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.A static electricity removing film comprising a base, which is a film composed of a synthetic resin, and a first layer provided on the base, the first layer comprising EVA (Ethylene-vinyl acetate) resin, iron, and titanium dioxide (TiO 2);
An inner case accommodating the static electricity removing film;
An outer case accommodating the inner case and selectively detachable from an electrostatic removal object; And
And a terminal provided with a metal to electrically connect the static elimination film and the static elimination object.
The outer case is provided to selectively insert the inner case,
The inner case
A slit through which an end of the static electricity removing film passes; And
And a terminal accommodating part for fixing the terminal.
An end of the static elimination film passing through the slit is provided between the terminal and the terminal receiving portion, characterized in that the non-grounding static elimination device. 제1항에 있어서,
상기 제1레이어는 실리콘과 알루미늄 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 1,
And the first layer further comprises at least one of silicon and aluminum. 제1항에 있어서,
상기 정전기 제거 필름은
상기 제1레이어 외측에 구비되며, 정전기를 상기 제1레이어로 안내하는 실버(Ag)를 포함하는 제2레이어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 1,
The static elimination film is
And a second layer provided outside the first layer and including silver (Ag) for guiding static electricity to the first layer. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 정전기 제거 필름은 롤링되어 상기 이너케이스에 수용되는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 1,
And the static elimination film is rolled and accommodated in the inner case. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 아우터케이스는
제1아우터케이스;와
상기 제1아우터케이스와 결합되어 정전기 제거대상에 고정되는 제2아우터케이스;를 포함하고,
상기 이너케이스는
상기 제1아우터케이스에 삽입되는 제1이너케이스; 및
상기 제2아우터케이스에 삽입되는 제2이너케이스;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 1,
The outer case is
First outer case; and
And a second outer case coupled to the first outer case and fixed to the static electricity removing object.
The inner case
A first inner case inserted into the first outer case; And
And a second inner case inserted into the second outer case. 제7항에 있어서,
상기 제1아우터케이스의 타단에 구비된 고정부; 및
상기 제2아우터케이스의 일단에 구비되어 상기 고정부와 체결되는 고정부 수용부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 7, wherein
A fixing part provided at the other end of the first outer case; And
And a fixed part accommodating part provided at one end of the second outer case and fastened to the fixed part. 제1항에 있어서,
상기 아우터케이스와 상기 이너케이스는 휘어져 정전기 제거 대상의 외주면을 감싸도록 플렉서블한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 1,
And the outer case and the inner case are bent and made of a flexible material to surround the outer circumferential surface of the object to be removed. 제9항에 있어서,
상기 아우터케이스의 일단에 구비된 고정부; 및
상기 아우터케이스의 타단에 구비되어 상기 고정부와 체결되는 고정부 수용부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접지식 정전기 제거 장치.The method of claim 9,
A fixing part provided at one end of the outer case; And
And a fixed part accommodating part provided at the other end of the outer case and fastened to the fixed part.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5834599A (en) * 1981-08-21 1983-03-01 株式会社共和 Static eliminator
JPH07183093A (en) * 1993-12-24 1995-07-21 Sumiron:Kk Dust-proofing mat
JPH08245932A (en) * 1995-03-10 1996-09-24 Lintec Corp Antistatic adhesive sheet
JP2000264390A (en) * 1999-03-16 2000-09-26 Fujimori Kogyo Co Ltd Antistatic bag
JP2009019063A (en) * 2007-06-11 2009-01-29 Du Pont Mitsui Polychem Co Ltd Thermoplastic resin film

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5834599A (en) * 1981-08-21 1983-03-01 株式会社共和 Static eliminator
JPH07183093A (en) * 1993-12-24 1995-07-21 Sumiron:Kk Dust-proofing mat
JPH08245932A (en) * 1995-03-10 1996-09-24 Lintec Corp Antistatic adhesive sheet
JP2000264390A (en) * 1999-03-16 2000-09-26 Fujimori Kogyo Co Ltd Antistatic bag
JP2009019063A (en) * 2007-06-11 2009-01-29 Du Pont Mitsui Polychem Co Ltd Thermoplastic resin film

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