KR102022440B1

KR102022440B1 - Method for manufacturing fluid control devices and protective devices for fluid control devices and joints

Info

Publication number: KR102022440B1
Application number: KR1020177037930A
Authority: KR
Inventors: 가즈나리 와타나베; 도시오 아오키; 쓰토무 시노하라
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2016-05-27
Publication date: 2019-09-18
Also published as: CN107850254A; JPWO2016194826A1; WO2016194826A1; TW201704669A; CN107850254B; KR20180020180A; TWI597448B; JP6721913B2

Abstract

유체 제어 기기(10)를 효율적으로 제조하는 방법과 이 때 사용되는 조인트용 보호구(20, 30)와 유체 제어 기기(10)를 제공한다. 조인트용 보호구(20, 30)는, 너트의 관통공에 조인트 슬리브(13)를 삽통한 상태에서, 보디(12)에 용접된 조인트 슬리브(13)에 대하여 탈리 가능하게 장착된다. 조인트용 보호구(20, 30)의 본체부(22)는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위 외주면(13B)과 간극을 가지도록 조인트 슬리브(13)의 외측 직경보다도 대경의 내주면(21)을 가지고, 본체부(22)가 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착함으로써, 너트의 축방향으로의 이동을 억제하여, 조인트 슬리브(13)의 실링부가 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 실링부를 보호한다. 보디(12)에 조인트용 보호구(20, 30)를 장착한 채 세정 가능하게 한다. Provided are a method for efficiently manufacturing the fluid control device 10, and a joint protector 20 and 30 and a fluid control device 10 used at this time. The joint protective devices 20 and 30 are detachably attached to the joint sleeve 13 welded to the body 12 in a state where the joint sleeve 13 is inserted into the through hole of the nut. The main body portion 22 of the joint protector 20, 30 has an inner circumferential surface 21 having a larger diameter than the outer diameter of the joint sleeve 13 so as to have a gap with the outer circumferential peripheral surface 13B of the joint sleeve 13. The main body portion 22 includes a slit 24 for attaching and detaching the joint sleeve 13. By attaching the joint protector 20 to the joint sleeve 13, movement of the nut in the axial direction is suppressed, so that the sealing portion of the joint sleeve 13 does not protrude from the nut to protect the sealing portion. The body 12 can be cleaned while the protective fittings 20 and 30 for the joint are attached.

Description

Method for manufacturing fluid control devices and protective devices for fluid control devices and joints

본 발명은, 유체 제어 기기(fluid control device)의 제조 방법 및 유체 제어 기기 및 그에 사용되는 조인트용 보호구에 관한 것이다. The present invention relates to a method of manufacturing a fluid control device and to a fluid control device and a joint protector for use therein.

반도체막, 절연막, 도전성(導電性) 막 등의 박막을 제조하는 시스템에 있어서는, 프로세스 챔버에 가스를 공급하고 있다. 가스 공급계(供給系)는, 개폐 밸브 등의 각종 유체 제어 기기를 배관에 의해 접속하여 구성되어 있다. 유체 제어 기기끼리의 접속 또는 유체 제어 기기와 배관과의 접속에는 조인트가 사용되고 있다. In a system for manufacturing thin films such as semiconductor films, insulating films, and conductive films, gas is supplied to the process chamber. The gas supply system is configured by connecting various fluid control devices such as on / off valves by piping. Joints are used for connecting fluid control devices or connecting fluid control devices and piping.

도 10은, 종래의 유체 제어 기기의 일부를 나타낸 도면이다. 유체 제어 기기(1)는, 너트(4)의 관통공(4A)에 조인트 슬리브(3)를 삽통(揷通)한 상태에서, 구동부(도시하지 않음)를 탑재하는 보디(2)의 양 측면에 조인트 슬리브(3)의 기단부(基端部)를 용접하여 구성되어 있다. 조인트 슬리브(3) 선단의 실링부(3A)의 배면과 너트(4)와의 사이에는 베어링(5)이 구성되어 있고, 너트(4)가 회전하기 용이하게 되어 있다. 유체 제어 기기(1)를 출하(出荷; shipment)할 때는, 너트(4)의 이동을 규제하기 위해, 특히 너트(4)가 보디(2) 측으로 이동하여 실링부(3A)가 돌출하는 것을 방지하기 위해, 수지제의 원통 부재(6A)에 절입(切入) 즉 커트인(cut- in)(6B)을 행하여 스토퍼(6)로 하고, 스토퍼(6)를 조인트 슬리브(3)에 장착하고 있다. 이와 같이 하여, 이동 중에 실링부(3A)가 뜻하지 않게 돌출되어 손상되지 않도록 보호하고 있다. 10 is a view showing a part of a conventional fluid control device. The fluid control device 1 has both side surfaces of the body 2 which mounts a drive unit (not shown) in a state where the joint sleeve 3 is inserted into the through hole 4A of the nut 4. The base end of the joint sleeve 3 is welded. The bearing 5 is comprised between the back surface of the sealing part 3A of the front end of the joint sleeve 3, and the nut 4, and the nut 4 becomes easy to rotate. In shipment of the fluid control device 1, in order to restrict the movement of the nut 4, in particular, the nut 4 moves to the body 2 side to prevent the sealing portion 3A from protruding. To this end, the cylindrical member 6A made of resin is cut in, i.e., cut-in 6B to form a stopper 6, and the stopper 6 is attached to the joint sleeve 3. . In this way, the sealing portion 3A is protected from accidental protrusion and damage during movement.

그런데, 푸시 타입 디스펜서에 있어서, 노즐 헤드에 연동(連動)한 상하동하는 피스톤의 이동을 제한하거나, 이동하는 범위를 조정하거나 하는 수단으로서, 예를 들면, 스토퍼를 탄성적으로 장착하는 것이 고려되고 있다(특허문헌 1 내지 특허문헌 3). By the way, in a push type dispenser, as a means of restricting the movement of the up-and-down piston which interlocked with a nozzle head, or adjusting the range to which it moves, for example, mounting a stopper elastically is considered. (Patent Documents 1 to 3).

일본 공개특허 제2002―273277호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-27177 일본 공개특허 제2004―203456호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-203456 일본 공개특허 제2012―153409호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-153409

발명이 해결하려고 하는 과제Challenges the invention seeks to solve

전술한 유체 제어 기기에 있어서, 너트의 이동을 규제하기 위한 스토퍼는, 수지제의 원통 부재에 절입 즉 커트인을 행하여 제작되므로, 원통 부재의 복원력에 의해 그 원통 형상을 유지하도록 한다. 그러므로, 스토퍼가 조인트 슬리브에 탄성적으로 밀착되어 장착되고, 또한 원통 부재가 얇아 파지하기 어렵기 때문에, 스토퍼를 분리해내는(detach) 데 있어서는 수고를 요한다. 또한, 청정도가 높은 청정실 내에 있어서 유체 제어 기기가 조립될 때, 작업자는 장갑을 장착하여 작업하고 있으므로, 작업자에게 있어 이와 같은 스토퍼의 착탈(着脫)은 어렵다. 특히, 원통 부재로의 절입 즉 커트인에 의해, 원통 단부(端部)의 절단 부분은 예리하게 되기 쉬워, 스토퍼의 착탈의 곤란성이 증가한다. In the above-described fluid control device, the stopper for restricting the movement of the nut is produced by cutting into, or cutting in, a resin cylindrical member, so that the cylindrical shape is maintained by the restoring force of the cylindrical member. Therefore, since the stopper is elastically tightly attached to the joint sleeve and the cylindrical member is thin and difficult to grip, it is troublesome to detach the stopper. In addition, when the fluid control device is assembled in a clean room with high cleanliness, the worker is wearing a glove, and therefore, such a stopper is difficult for the worker. In particular, the cutting part of a cylindrical end part becomes easy to be sharpened by cutting into a cylindrical member or cutting in, and the difficulty of attaching and detaching a stopper increases.

그래서, 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 유체 제어 기기를 제조할 때, 조인트용 슬리브로부터 스토퍼와 같은 부재를 착탈하는 횟수를 줄인 유체 제어 기기의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그 제조 방법에 있어서 사용되는 조인트용 보호구를 제공하고, 병행하여 그 조인트용 보호구를 장착한 유체 제어 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 조인트 슬리브에 대한 착탈을 행하기 쉬운 조인트용 보호구를 제공하는 것도 목적으로 한다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a fluid control device in which a number of times of detaching a member such as a stopper from a sleeve for a joint when the fluid control device is manufactured is solved. It is an object to provide a joint protector for use in the production method and to provide a fluid control device equipped with the joint protector in parallel. It is also an object of the present invention to provide a joint protector that is easily detachable from the joint sleeve.

상기한 목적 및 그 외에 관련된 목적을 실현하기 위해, 본 발명은, In order to realize the above object and other related objects, the present invention provides a

너트의 관통공에 조인트 슬리브를 삽통하여 유체 제어 기기 본체용의 보디에 상기 조인트 슬리브를 용접함으로써, 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로의 상기 너트의 이동에 의해 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고 또한 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로의 상기 너트의 이동에 의해 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출하는 상태로 하고, The joint sleeve is inserted into the through hole of the nut to weld the joint sleeve to the body for the fluid control apparatus main body, whereby the nut is moved by the movement of the nut in a direction away from the body along the axis of the joint sleeve. The sealing portion protrudes from the nut by the movement of the nut in a direction closer to the body along the axis of the joint sleeve,

상기 조인트 슬리브의 축 주위의 외주면(外周面)과 간극을 가지도록 상기 조인트 슬리브의 외측 직경보다도 대경(大徑)의 내주면(內周面)을 가지는 본체부를 구비하고 또한 상기 본체부가 상기 조인트 슬리브에 장착되기 위한 슬릿(slit)을 구비한 조인트용 보호구를, 상기 조인트 슬리브에 장착함으로써, 상기 너트의 이동을 억제하여 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 상기 실링부를 보호한 상태에서, 상기 조인트 슬리브를 용접한 보디를 세정하는, 유체 제어 기기의 제조 방법에 의해 실현된다. A main body portion having an inner circumferential surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a gap with an outer circumferential surface around an axis of the joint sleeve, and the main body portion is provided on the joint sleeve. By attaching a protective device for a joint having a slit to be mounted to the joint sleeve, the joint sleeve is protected in such a state that the movement of the nut is suppressed so that the sealing portion does not protrude from the nut, thereby protecting the sealing portion. It implements by the manufacturing method of the fluid control apparatus which wash | cleans the body which welded.

본 발명은, 너트의 관통공에 삽통된 상태로 보디에 용접된 조인트 슬리브로서, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로 이동함으로써 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고 또한 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로 이동함으로써 상기 실링부가 상기 너트로부터 돌출하는 상태의 상기 조인트 슬리브에 대하여 착탈 가능한 조인트용 보호구를 제공한다. 상기 조인트용 보호구는, 상기 조인트 슬리브의 축 주위 외주면과 간극을 가지도록 상기 조인트 슬리브의 외측 직경보다도 대경의 내주면을 가지는 본체부를 구비하고, 상기 본체부가 상기 조인트 슬리브에 착탈하기 위한 슬릿을 구비한다. 조인트용 보호구가 상기 조인트 슬리브에 장착됨으로써, 상기 너트의 이동을 억제하여, 상기 조인트 슬리브의 실링부가 상기 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 상기 실링부가 보호된다. The present invention provides a joint sleeve welded to a body while being inserted into a through hole of a nut, wherein the nut moves in a direction away from the body along an axis of the joint sleeve so that the nut receives the sealing portion of the joint sleeve. The nut is moved in a direction approaching the body along the axis of the joint sleeve to provide a protective fitting for the joint detachable to the joint sleeve in a state where the sealing portion protrudes from the nut. The joint protector includes a main body having an inner circumferential surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a gap with an outer circumferential surface of the joint sleeve, and a slit for attaching and detaching the main body to the joint sleeve. By mounting the joint protector on the joint sleeve, the movement of the nut is suppressed, so that the sealing portion of the joint sleeve does not protrude from the nut, thereby protecting the sealing portion.

상기 본체부의 중심을 협지(sandwich)하여 상기 슬릿과는 반대측에 손잡이부를 구비하고 있다. The center of the main body portion is sandwiched to provide a handle portion on the side opposite to the slit.

상기 손잡이부는, 바람직하게는, 돌출되어 형성되고, 그 돌출된 길이는, 상기 조인트 슬리브에 상기 조인트용 보호구를 장착했을 때 상기 보디로부터 돌출되지 않는 길이로 설정된다. 본체부의 내주면의 직경은, 바람직하게는 조인트 슬리브의 외측 직경의 1.1 내지 1.3배로 한다. The handle portion is preferably formed to protrude, and the protruding length is set to a length which does not protrude from the body when the joint protector is attached to the joint sleeve. The diameter of the inner circumferential surface of the body portion is preferably 1.1 to 1.3 times the outer diameter of the joint sleeve.

바람직하게는, 상기 본체부가 상기 내주면을 가지는 통형부로 구성되며, 통형부 중 상기 슬릿을 형성하는 단부에, 상기 조인트 슬리브에 대한 장착을 위한 가이드부의 쌍이 형성된다. 상기 가이드부는, 상기 통형부의 두께보다도 두껍게 설정된다. 상기 가이드부는, 상기 슬릿과 서로 마주 보는 면을 가지고 있고 상기 가이드부의 쌍에 있어서 상기 평면끼리가 70° 내지 100°의 각도로 확개(擴開)되어 있다. 상기 슬릿의 폭은, 상기 조인트 슬리브의 외측 직경에 대하여 0.5 내지 0.6배로 설정된다. Preferably, the main body portion is composed of a cylindrical portion having the inner circumferential surface, and a pair of guide portions for mounting to the joint sleeve is formed at an end of the cylindrical portion forming the slit. The said guide part is set thicker than the thickness of the said cylindrical part. The said guide part has the surface which mutually faces the said slit, and the said plane is extended by the angle of 70 degrees-100 degrees in a pair of said guide parts. The width of the slit is set to 0.5 to 0.6 times the outer diameter of the joint sleeve.

상기 조인트용 보호구에 있어서는, 바람직하게는, 상기 본체부는, 상기 너트의 이동 방향의 중간부에서 상기 슬릿 측으로부터 절결(切缺)되어, 상기 너트의 이동 방향의 양측으로 상기 슬릿을 분리하여 가지고 있다. 상기 너트의 이동 방향으로 나뉜 복수의 피스의 대향하는 측면에는, 접속용의 걸어맞춤부가 형성되고, 상기 걸어맞춤부를 걸어맞추어 상기 복수의 피스를 연결하여 구성해도 된다. In the above joint protector, preferably, the main body portion is cut out from the slit side at an intermediate portion of the moving direction of the nut to separate the slits on both sides of the moving direction of the nut. . The engaging part for a connection is formed in the opposing side surface of several pieces divided | segmented in the movement direction of the said nut, and it may be comprised by engaging the said engaging part, and connecting the said plurality of pieces.

또한, 본 발명의 유체 제어 기기는, 너트의 관통공에 조인트 슬리브를 삽통하여 보디에 상기 조인트 슬리브가 접속되고, 상기 보디에 구동부를 탑재하여 구성되며, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디로부터 멀어지는 방향으로 이동함으로써 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 실링부를 수용하고, 상기 너트가 상기 조인트 슬리브의 축을 따라 상기 보디에 가까워지는 방향으로 이동함으로써 상기 실링부가 돌출하는 유체 제어 기기 본체와, 상기 조인트 슬리브에 대하여 장착된 상기 어느 하나로 이루어지는 조인트용 보호구를 구비하여 구성되어 있다. In addition, the fluid control device of the present invention is configured by inserting a joint sleeve into a through hole of a nut so that the joint sleeve is connected to a body, and a drive unit is mounted on the body, and the nut is configured along the axis of the joint sleeve. A fluid control device body in which the nut receives the sealing portion of the joint sleeve by moving in a direction away from the body, and the nut protrudes in a direction closer to the body along the axis of the joint sleeve, and the joint sleeve. It is comprised including the protective equipment for joints which consists of any one of said mounting | attached with respect to the said.

본 발명에 의하면, 조인트용 보호구가, 조인트 슬리브의 축 주위에 간극을 두고 장착되므로, 조인트용 보호구를 조인트 슬리브에 장착된 채 세정할 수 있어, 조인트 슬리브의 외주면과 본체부의 내주면과의 사이의 오염을 제거하기 용이해진다. 또한, 조인트용 보호구를 조인트 슬리브에 장착함으로써, 너트의 이동이 억제되어, 조인트 슬리브의 실링부가 너트로부터 돌출되지 않도록 하여 조인트 슬리브의 실링부가 보호된다. 특히, 조인트용 보호구의 본체부의 내주면이, 조인트 슬리브의 축 주위 외주면과 간극을 두고 있고, 또한 본체부의 외주면에 손잡이부를 구비하고 있는 경우에 있어서는, 손잡이부에 의해 조인트 슬리브에 대한 착탈이 용이하게 된다. 따라서, 조인트 슬리브에 대한 착탈을 행하기 쉽고, 또한 조인트 슬리브의 실링부를 보호할 수 있다. According to the present invention, since the joint protector is mounted with a gap around the axis of the joint sleeve, the joint protector can be cleaned while attached to the joint sleeve, so that contamination between the outer circumferential surface of the joint sleeve and the inner circumferential surface of the main body portion can be cleaned. It becomes easy to remove it. In addition, by attaching the joint protector to the joint sleeve, movement of the nut is suppressed, and the sealing portion of the joint sleeve is protected by preventing the sealing portion of the joint sleeve from protruding from the nut. In particular, when the inner circumferential surface of the body portion of the joint protector has a gap with the outer peripheral surface around the axis of the joint sleeve, and the handle portion is provided on the outer circumferential surface of the body portion, the handle portion facilitates attachment and detachment to the joint sleeve. . Therefore, attachment and detachment with respect to a joint sleeve are easy to perform, and the sealing part of a joint sleeve can be protected.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 조인트용 보호구의 단면도(斷面圖)이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타내고, (a) 및 (b)는 조인트용 보호구를 구성하는 각 피스를 나타낸 사시도, (c)는 조인트용 보호구의 사시도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기를 제조하는 방법에 대한 플로우차트이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 관한 조인트용 보호구가 조인트 슬리브에 장착되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 종래의 유체 제어 기기의 일부를 나타낸 도면이다. 1 is a perspective view showing a fluid control device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a joint protector according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a sectional view of the joint protector shown in FIG. 2. FIG.
4 is a perspective view showing a joint protector according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a side view of the joint protector shown in FIG. 4. FIG.
FIG. 6: shows the joint protective equipment which concerns on 3rd Embodiment of this invention, (a) and (b) are the perspective views which showed each piece which comprises the joint protective equipment, (c) is the perspective view of the protective equipment for joints.
FIG. 7 is a side view of the joint protector shown in FIG. 6. FIG.
8 is a flowchart of a method of manufacturing a fluid control device according to an embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the state in which the joint protection tool which concerns on embodiment of this invention is attached to the joint sleeve.
10 is a view showing a part of a conventional fluid control device.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail, referring drawings.

[조인트용 보호구가 장착되는 유체 제어 기기 본체][Fluid control device body equipped with joint protector]

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기(10)를 나타낸 사시도이다. 유체 제어 기기(10)는 유체 제어 기기 본체(11)에 조인트용 보호구(20)를 장착하여 구성된다. 유체 제어 기기 본체(11)는, 내부에 유로(流路; flowpath)를 가지는 보디(12)와, 보디(12)의 측면에 용접하여 기단부가 접속되는 조인트 슬리브(13)와, 조인트 슬리브(13)에 장착되는 너트(14)를 구비한다. 보디(12)는, 예를 들면, 내부의 유체를 제어하기 위한 밸브체를 개폐 구동시키기 위한 유체 조작용 액추에이터와 그 외의 구동부의 받침대(pedestal)로 이루어진다. 1 is a perspective view showing a fluid control device 10 according to an embodiment of the present invention. The fluid control device 10 is constructed by attaching a joint protector 20 to the fluid control device body 11. The fluid control device main body 11 includes a body 12 having a flow path therein, a joint sleeve 13 connected to a proximal end by welding to the side surface of the body 12, and a joint sleeve 13; Nut 14 is mounted on the head). The body 12 consists, for example, of the fluid operation actuator for opening and closing the valve body for controlling the fluid inside, and the pedestal of the other drive part.

조인트 슬리브(13)는, 내부에 축 방향으로 유체가 흐르는 유로가 형성되어 있고, 선단에 실링부(13A)를 가지고 있고, 실링부(13A)로부터 기단부 측[보디(12)에 용접되는 단부 측]으로 됨에 따라 단계적으로 직경이 작아지게 되어, 예를 들면, 대경, 중경(中徑), 소경(小徑)으로 되어 있다. 너트(14)는, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용함으로써, 실링부(13A)를 손상 등으로부터 보호한다. 너트(14)는, 상대방의 커플링(도시하지 않음)으로 체결함으로써, 그 커플링 선단부와 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 개스킷(도시하지 않음)을 협압(挾壓)하여, 유체 공급계의 일부를 구성한다. 유체 공급계를 구축하기 용이하게 하기 위해, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)의 등부(背部; back portion)에 있어서, 외경(外徑)이 단계적으로 작아지도록 되는 부분(플랜지부라고도 함)에 베어링(15)을 장착함으로써, 너트(14)를 회전하기 용이하게 해도 된다. 너트(14)는 양단 개방의 관통공을 가지는 통형(筒形)으로 구성되며, 너트(14)의 보디(12) 측의 단부는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위로 돌출된 플랜지부에 걸어맞추어지도록 소경의 관통공으로 이루어지고, 이것을 이하, 백형(bag type)의 너트라고 한다. The joint sleeve 13 has a flow path through which fluid flows in the axial direction therein, has a sealing portion 13A at its distal end, and an end side welded to the proximal end side (body 12) from the sealing portion 13A. ], The diameter becomes smaller step by step, for example, large diameter, medium diameter, small diameter (small). The nut 14 protects the sealing portion 13A from damage and the like by accommodating the sealing portion 13A of the joint sleeve 13. The nut 14 is fastened by the coupling (not shown) of the counterpart, the coupling end part and the sealing part 13A of the joint sleeve 13 pinch a gasket (not shown), It forms part of the fluid supply system. In order to facilitate the construction of the fluid supply system, a portion of the back portion of the sealing portion 13A of the joint sleeve 13, the outer diameter of which is gradually reduced (also called a flange portion). By attaching the bearing 15 to), the nut 14 may be easily rotated. The nut 14 is formed in a tubular shape having through-holes of both ends open, and an end portion of the nut 12 on the body 12 side hangs on a flange portion projecting around the axis of the joint sleeve 13. It consists of a small diameter through-hole so as to be matched, and this is hereinafter referred to as a bag-type nut.

조인트 슬리브(13)가 너트(14)의 관통공(14A)에 삽통된 상태에서, 조인트 슬리브(13)의 기단부가 보디(12)에 용접되어 있고, 너트(14)의 소경의 관통공(14A)이 조인트 슬리브(13)의 중간부 및 보디(12) 기단부 측의 소경부(小徑部)보다도 크므로, 너트(14)는 조인트 슬리브(13)의 축 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)로부터 멀어지는 방향으로의 너트(14)의 이동에 의해, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용한다. 또한, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)에 가까워지는 방향으로의 너트(14)의 이동에 의해 실링부(13A)가 너트(14)로부터 노출되어 돌출한다. 여기서, 유체 제어 기기 본체에서의 보디(12)를, 유체 제어 기기 본체용의 보디라고도 하는 것으로 한다. With the joint sleeve 13 inserted into the through hole 14A of the nut 14, the proximal end of the joint sleeve 13 is welded to the body 12, and the small diameter through hole 14A of the nut 14 is provided. ) Is larger than the middle portion of the joint sleeve 13 and the small diameter portion on the proximal end of the body 12, the nut 14 can move in the axial direction of the joint sleeve 13. That is, the nut 14 accommodates the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 by the movement of the nut 14 in the direction away from the body 12 along the axis of the joint sleeve 13. In addition, the sealing portion 13A is exposed from the nut 14 and protrudes by the movement of the nut 14 along the axis of the joint sleeve 13 in the direction closer to the body 12. Here, the body 12 in the fluid control apparatus main body is also called the body for a fluid control apparatus main body.

[조인트용 보호구][Joint Protector]

본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 조인트 슬리브(13)가 삽통된 상태에서, 보디(12)에 용접된 조인트 슬리브(13)에 대하여 장착된다. 도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)를 나타낸 사시도이며, 도 3은 그 단면도이다. As shown in FIG. 1, the joint protector 20 according to the first embodiment of the present invention has a body (with the joint sleeve 13 inserted into the through hole 14A of the bag-shaped nut 14). Mounted on a joint sleeve 13 welded to 12). FIG. 2: is a perspective view which shows the joint protection tool 20 which concerns on 1st Embodiment of this invention, and FIG. 3 is sectional drawing.

조인트용 보호구(20)는, 조인트 슬리브(13)의 축 주위의 외주면(13B)과 간극을 가지도록 조인트 슬리브(13)의 외측 직경보다도 대경의 내주면(21)을 가지는 본체부(22)를 구비하고, 본체부(22)는 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 도 1에 나타낸 형태에서는, 손잡이부(23)가, 본체부(22)의 외주면으로부터 돌출되어 형성되어 있고, 본체부(22)의 중심에 대하여 슬릿(24)과는 반대측(반대측)으로 돌출되도록 형성되어 있다. The joint protector 20 includes a main body portion 22 having an inner circumferential surface 21 having a larger diameter than the outer diameter of the joint sleeve 13 so as to have a gap with the outer circumferential surface 13B around the axis of the joint sleeve 13. The main body portion 22 has a slit 24 for attaching and detaching the joint sleeve 13. In the form shown in FIG. 1, the handle part 23 protrudes from the outer peripheral surface of the main-body part 22, and it protrudes on the opposite side (opposite side) with respect to the center of the main-body part 22 with respect to the slit 24. FIG. Formed.

조인트용 보호구(20)가, 조인트 슬리브(13)에 장착됨으로써, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 축방향으로의 이동이 억제된다. 즉, 너트(14)의 배면(14B)과 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)와의 거리가 일정 범위로 규제되고, 또한 너트(14)의 배면(14B)과 보디(12)의 측면(12B)과의 거리가 일정 범위로 규제된다. 따라서, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않도록 하여 실링부(13A)가 보호된다. By attaching the joint protector 20 to the joint sleeve 13, movement of the nut 14 in the axial direction of the joint sleeve 13 is suppressed. That is, the distance between the rear surface 14B of the nut 14 and the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 is restricted to a certain range, and the rear surface 14B of the nut 14 and the side surface of the body 12 ( The distance to 12B) is regulated to a certain range. Accordingly, the sealing portion 13A is protected by preventing the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 from protruding from the nut 14.

다음에, 조인트용 보호구(20)의 구체적인 형태에 대하여, 도 2 및 도 3를 참조하면서 추가로 설명한다. 조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 내주면(21)을 가지는 통형부(25)로 구성되어 있고, 통형부(25) 중 슬릿(24)을 형성하는 단부(25A)에는, 조인트 슬리브(13)에 대한 장착을 위한 가이드부(25B)가 구비되어 있다. 가이드부(25B)는, 통형부(25)의 단부(25A) 이외의 부위의 두께보다도 더 두껍게 되어 있다. 가이드부(25B)의 쌍은, 슬릿(24)으로부터 외측으로 확개되어 있고, 가이드부(25B)는 그 방향에서 평면형으로 형성되어 있다. 따라서, 가이드부(25B)의 평면은, 조인트 슬리브(13)에 대한 장착 시의 안내로서 기능하여, 넣기 용이해진다. 그 평면을 형성하는 부위의 두께는, 통형부(25)의 단부(25A) 이외의 부위의 두께보다도 두껍다. 또한, 가이드부(25B)는, 서로 마주하는 방향과는 반대측에는 라운드부를 형성함으로써, 작업성이 향상된다. Next, the specific form of the joint protection tool 20 is demonstrated further, referring FIG. 2 and FIG. The main body part 22 of the joint protection tool 20 is comprised from the cylindrical part 25 which has the inner peripheral surface 21, and is joined to the edge part 25A which forms the slit 24 among the cylindrical part 25 in the joint part. A guide portion 25B for mounting to the sleeve 13 is provided. The guide portion 25B is thicker than the thickness of a portion other than the end portion 25A of the cylindrical portion 25. The pair of guide portions 25B extends outward from the slit 24, and the guide portions 25B are formed in a planar shape in that direction. Therefore, the plane of the guide part 25B functions as a guide | guide at the time of attachment to the joint sleeve 13, and it becomes easy to put in. The thickness of the site | part which forms the plane is thicker than the thickness of site | parts other than the edge part 25A of the cylindrical part 25. As shown in FIG. Moreover, workability | operativity improves by providing the round part in the guide part 25B on the opposite side to the direction which mutually faces.

조인트용 보호구(20)의 손잡이부(23)는, 본체부(22)의 중심을 협지하여 슬릿(24)과는 반대측으로 돌출하도록 형성되어 있다. 손잡이부(23)는 대략 구형(球形), 대략 타원 구상(球狀) 등의 라운드부를 가지고 있다. 손잡이부(23)의 단면(斷面)은 삼각, 4각인 어느 다각형이라도 되지만, 미립자가 쌓이지 않도록 예각(銳角)이 없는 것으로 된다. 본체부(22)의 외주면으로부터 손잡이부(23)의 돌출하는 길이(도 9에 나타낸 H), 즉 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착했을 때의 조인트용 보호구(20)와 조인트 슬리브(13)와의 접촉 부위로부터 손잡이부(23)의 선단까지의 길이(H)는, 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착했을 때, 도 9에 나타낸 보디(12)로부터 돌출되지 않도록 설정되어 있다. 예를 들면, 보디(12)의 바닥면(12C)으로부터 아래쪽으로 돌출되지 않도록 설정된다. 이것은, 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20)를 장착한 보디(12)를 작업대 등에 탑재했을 때, 손잡이부(23)와 작업대 등이 간섭하여, 작업성을 악화시키는 것을 방지하기 위해서이다. The handle part 23 of the joint protection tool 20 is formed so that the center part of the main-body part 22 may be clamped and it may protrude on the opposite side to the slit 24. The handle portion 23 has a round portion such as a substantially spherical shape, a substantially elliptic spherical shape, and the like. The cross section of the handle portion 23 may be any polygon that is triangular and quadrilateral, but no acute angle is formed so that fine particles do not accumulate. The length of the protruding portion of the handle portion 23 (H shown in FIG. 9) from the outer circumferential surface of the main body portion 22, that is, the joint protective equipment 20 when the joint protective equipment 20 is mounted on the joint sleeve 13 and The length H from the contact portion with the joint sleeve 13 to the tip of the handle portion 23 is from the body 12 shown in FIG. 9 when the joint protector 20 is attached to the joint sleeve 13. It is set not to protrude. For example, it is set so as not to protrude downward from the bottom surface 12C of the body 12. This is to prevent the handle 23 from interfering with the work table and deteriorating workability when the body 12 having the joint protector 20 mounted on the joint sleeve 13 is mounted on a work table or the like. .

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d보다도 긴 직경(대경)(D)의 내주면(21)을 가진다. 내주면(21)의 단면이 원형상은 아니고 타원 형상 등인 경우에는, 내주면(21)으로 에워싸인 면적과 등가(等價)인 면적을 가지는 원형상으로 근사(近似)시키고, 그 근사한 원의 직경이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d보다도 대경이면 된다. 본체부(22)의 내주면(21)이 조인트 슬리브(13)에 밀착하면, 후술하는 작업 공정 중, 보디(12)에 조인트 슬리브(13)를 용접한 후 등에 세정을 행해도, 조인트 슬리브(13)의 외표면과 내주면(21)과의 사이에 잔사(殘渣)가 남을 우려가 있다. 반대로 내주면(21)이 너무 크면, 조인트 슬리브(13)로부터 이탈할 우려가 있다. 그러므로, 대략 본체부(22)의 단면 중공(中空)의 등가 단면 직경 d이, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d의 1.1 내지 1.3배 정도의 크기, 특히 바람직하게는 1.2±0.05배의 크기를 가지면 된다. 그리고, 내주면(21)의 단면은 원형상, 타원 형상에 한정되지 않고, 예를 들면, 사각이라도 되고, 조인트 슬리브(13)에 탈착(脫着) 가능하면 된다. The main body part 22 of the joint protection tool 20 has the inner peripheral surface 21 of diameter (large diameter) D longer than the outer diameter d of the joint sleeve 13, as shown in sectional drawing of FIG. If the cross section of the inner circumferential surface 21 is not circular but is elliptical shape or the like, it is approximated to a circular shape having an area equivalent to the area enclosed by the inner circumferential surface 21, and the diameter of the approximate circle is The diameter may be larger than the outer diameter d of the joint sleeve 13. If the inner circumferential surface 21 of the main body portion 22 comes into close contact with the joint sleeve 13, the joint sleeve 13 may be cleaned even after the joint sleeve 13 is welded to the body 12 during the working process described later. There is a fear that a residue remains between the outer surface of the c) and the inner circumferential surface 21. On the contrary, if the inner circumferential surface 21 is too large, there is a fear of detachment from the joint sleeve 13. Therefore, the equivalent cross-sectional diameter d of the hollow cross section of the main body portion 22 is about 1.1 to 1.3 times the outer diameter d of the joint sleeve 13, and particularly preferably 1.2 ± 0.05 times the size. You just have to. The cross section of the inner circumferential surface 21 is not limited to a circular shape and an elliptic shape. For example, the cross section of the inner circumferential surface 21 may be square and may be detachable to the joint sleeve 13.

조인트용 보호구(20)의 소재로서는, 종래의 스토퍼와 같이 테플론(등록상표)을 사용해도 되지만, 내약품성, 내열성을 가지는 폴리프로필렌 등의 저렴한 수지를 사용할 수 있다. As a material of the joint protection tool 20, although Teflon (trademark) may be used like a conventional stopper, inexpensive resin, such as polypropylene which has chemical resistance and heat resistance, can be used.

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 조인트 슬리브(13)에 착탈하기 위한 슬릿(24)을 구비한다. 슬릿(24)이 넓으면 조인트 슬리브(13)로부터 이탈되기 쉬워지는 한편, 슬릿(24)이 좁으면 조인트 슬리브(13)에 장착하기 어려워진다. 조인트용 보호구(20)의 소재가 전술한 재료인 경우에는, 슬릿(24)의 치수 W는, 조인트 슬리브(13)의 외측 직경 d에 대하여 0.5 내지 0.6배가 바람직하다. The main body part 22 of the joint protection tool 20 is equipped with the slit 24 for attaching and detaching to the joint sleeve 13, as shown in sectional drawing of FIG. The wider the slit 24, the easier it is to detach from the joint sleeve 13, while the narrower the slit 24, the harder it is to be attached to the joint sleeve 13. In the case where the material of the joint protector 20 is the material described above, the dimension W of the slit 24 is preferably 0.5 to 0.6 times the outer diameter d of the joint sleeve 13.

조인트용 보호구(20)의 본체부(22)는, 도 3의 단면도에 나타낸 바와 같이, 슬릿(24)을 형성하도록 가이드부(25B)를 구비한다. 가이드부(25B)는, 본체부(22)의 가이드부(25B)를 제외하고 대략 C자형의 링부(22A), 즉 통형부(25)의 두께보다도 두껍다. 가이드부(25B)에 의해 조인트 슬리브(13)에 대한 장착을 용이하게 하기 위해서이다. 가이드부(25B)의 쌍(한 쌍의 가이드부)은 슬릿 측에서 평면을 이루고 있고, 쌍으로 되는 평면끼리는, 70° 내지 100°를 이룬다. 가이드부(25B)의 평면끼리가 이루는 각이 너무 크거나 너무 작거나 하면, 조인트 슬리브(13)의 장착이 용이하게 되지 않기 때문이다. The main body part 22 of the joint protection tool 20 is equipped with the guide part 25B so that the slit 24 may be formed, as shown in sectional drawing of FIG. The guide portion 25B is thicker than the thickness of the substantially C-shaped ring portion 22A, that is, the cylindrical portion 25 except for the guide portion 25B of the main body portion 22. This is for facilitating mounting to the joint sleeve 13 by the guide portion 25B. The pair of guide portions 25B (a pair of guide portions) forms a plane on the slit side, and the paired planes form 70 ° to 100 °. This is because if the angle formed by the planes of the guide portions 25B is too large or too small, the mounting of the joint sleeve 13 is not easy.

도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)를 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 4에 나타낸 조인트용 보호구(20)의 측면도이다. 도 2 및 도 3에 나타낸 조인트용 보호구(20)와 동일한 또는 대응하는 부위에는 동일한 부호를 부여하고 있다. 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)에 있어서는, 본체부(22)의 축 방향 중간부에 슬릿(24) 측으로부터 절결하여 홈(26)을 형성하고, 슬릿(24) 및 가이드부(25B)가 축 방향의 양측으로 분리되어 있다. 여기서, 본체부(22)의 축 방향이란, 조인트 슬리브(13)의 축 방향과 같은 방향이다. 제2 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20)에서는, 제1 실시형태와는 달리, 본체부(22)의 내주면(21)이 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)을 덮는 비율, 즉 면적 비율이 작아져, 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)이 노출되기 쉬워, 세정의 효율화가 도모된다. 4 is a perspective view showing a joint protector 20 according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a side view of the joint protector 20 shown in FIG. 4. The same code | symbol is attached | subjected to the site | part same or corresponding to the joint protection tool 20 shown in FIG.2 and FIG.3. In the joint protection tool 20 which concerns on 2nd Embodiment, the groove | channel 26 is formed by notching from the slit 24 side in the axial direction middle part of the main-body part 22, and the slit 24 and the guide part ( 25B) is separated on both sides in the axial direction. Here, the axial direction of the main body part 22 is the same direction as the axial direction of the joint sleeve 13. In the joint protector 20 according to the second embodiment, unlike the first embodiment, the ratio of the inner circumferential surface 21 of the body portion 22 to the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13, that is, the area ratio This becomes small, and the outer peripheral surface 13B of the joint sleeve 13 is easy to be exposed, and the washing | cleaning efficiency is aimed at.

다음에, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구에 대하여 설명한다. 조인트용 보호구(20)가 장착되는 조인트 슬리브(13)는, 유체 공급 라인의 사양 등에 의해 축 방향의 길이가 설정된다. 그러므로, 축 방향으로 비교적 긴 조인트 슬리브에 대하여 장착되는 조인트용 보호구(20)에 있어서는, 본체부(22), 손잡이부(23), 가이드부(25B) 중 1 또는 복수의 부위가 축 방향으로 피스로서 분할되어, 피스끼리의 대향 측면에 걸어맞춤부를 형성하여 둠으로써, 복수의 피스의 대향 측면을 서로 걸어맞추어 일체화시킬 수 있다. 걸어맞춤부는, 예를 들면, 피스의 한쪽 및 다른 쪽의 대향하는 측면에 오목부 및 볼록부를 형성하고, 이들을 서로 접합하도록 요철부(凹凸部)에 의해 끼워맞추어 일체로서 구성해도 된다. 요철부는, 형상의 요철뿐아니라, 핀과 핀 삽입공과 같은 것이라도 된다. 적절히 설정되는 축 방향의 길이에 대응할 수 있어, 부품의 공통화가 도모된다. Next, a joint protector according to a third embodiment of the present invention will be described. In the joint sleeve 13 to which the joint protection tool 20 is mounted, the length in the axial direction is set by the specification of the fluid supply line or the like. Therefore, in the joint protector 20 mounted with respect to the joint sleeve relatively long in the axial direction, one or a plurality of portions of the main body portion 22, the handle portion 23, and the guide portion 25B piece in the axial direction. By dividing into pieces, and engaging portions are formed on opposite sides of the pieces, the opposite sides of the plurality of pieces can be engaged with each other to be integrated. For example, the engaging portion may be formed integrally by being fitted by the uneven portion so as to form a recess and a convex portion on one side and the opposite side of the piece, and to join them to each other. The uneven portion may be the same as the pin and the pin insertion hole as well as the uneven shape of the shape. It can correspond to the length of the axial direction suitably set, and common parts are aimed at.

도 6은 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구를 나타내고, (a) 및 (b)는 조인트용 보호구를 구성하는 각 피스를 나타낸 사시도, (c)는 조인트용 보호구의 사시도이며, 도 7은 도 6에 나타낸 조인트용 보호구의 측면도이다. 도 6의 (a)와 도 6의 (b)는, 피스끼리의 대향하는 면이 지면(紙面)에 대하여 바로 앞으로 되도록 나타내고 있다. 예를 들면, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 조인트용 보호구(30)는, 복수의 피스(27A, 27B)를 조립하여 구성되어 있다. 본체부(22), 손잡이부(23) 및 가이드부(25B)가, 장착 전의 조인트 슬리브(13)의 축 방향에 대응하여 복수의 피스(27A, 27B)마다 나누어져 있고, 조인트용 보호구(30)는, 복수의 피스(27A, 27B)가 조립됨으로써 구성되어 있다. 각 피스(27A, 27B)의 대향면(28)에, 조립용의 볼록부(29A), 오목부(29B) 중 어느 하나를 각각 형성하여, 볼록부(29A)를 오목부(29B)에 끼워맞춤으로써 복수의 피스(27A)와 피스(27B)가 일체화된다. 제3 실시형태에 있어서도, 제2 실시형태와 같이 홈을 형성하여 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)을 세정하기 쉽게 하는 것이 바람직하다. FIG. 6: shows the joint protective equipment which concerns on 3rd embodiment of this invention, (a) and (b) is a perspective view which showed each piece which comprises the joint protective equipment, (c) is a perspective view of the joint protective equipment, FIG. 7 is a side view of the joint protector shown in FIG. 6. FIG.6 (a) and FIG.6 (b) have shown so that the surface in which the pieces oppose may be directly forward with respect to the ground surface. For example, as shown to FIG. 6 and FIG. 7, the joint protection tool 30 which concerns on 3rd Embodiment of this invention is comprised by combining several pieces 27A and 27B. The main body part 22, the handle part 23, and the guide part 25B are divided into several pieces 27A and 27B corresponding to the axial direction of the joint sleeve 13 before mounting, and the joint protection device 30 ) Is configured by assembling a plurality of pieces 27A and 27B. On the opposing surface 28 of each piece 27A, 27B, any one of the convex part 29A and the concave part 29B for assembly is formed, respectively, and the convex part 29A is inserted in the concave part 29B. By fitting, the plurality of pieces 27A and the pieces 27B are integrated. Also in 3rd Embodiment, it is preferable to form a groove like 2nd Embodiment, and to make it easy to wash | clean the outer peripheral surface 13B of the joint sleeve 13. As shown in FIG.

[유체 제어 기기][Fluid Control Device]

본 실시형태에 관한 유체 제어 기기(10)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 조인트 슬리브(13)를 삽통하여 보디(12)에 조인트 슬리브(13)가 용접되고, 보디(12)에 구동부로서, 예를 들면, 유체 조작용 액추에이터(16)를 탑재하여 구성된 유체 제어 기기 본체(11)와, 유체 제어 기기 본체(11)의 조인트 슬리브(13)에 대하여 장착된 조인트용 보호구(20)를 구비하여 구성되며, 조인트용 보호구(20)가 조인트 슬리브(13)로부터 작업자에 의해 탈착 가능하게 되어 있다. In the fluid control device 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 1, the joint sleeve 13 is inserted into the through hole 14A of the bag-shaped nut 14 and the joint sleeve 13 is inserted into the body 12. ) Is welded to the body 12, for example, the fluid control device main body 11 configured by mounting the actuator 16 for fluid operation, and the joint sleeve 13 of the fluid control device main body 11. The joint protector 20 is provided, and the joint protector 20 is detachable by the operator from the joint sleeve 13.

조인트용 보호구(20)가 조인트 슬리브(13)에 장착되어 있으므로, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 축방향으로 이동하는 것을 억제하여, 너트(14)가 보디(12) 측으로 필요 이상으로 이동하지 않게 되므로, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않는다. 따라서, 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)가 충격이나 손상 등으로부터 보호된다. 유체 제어 기기(10)로서는 에어나 수동에 의한 개폐 밸브 등을 들 수 있다. Since the joint protector 20 is attached to the joint sleeve 13, the nut 14 is prevented from moving in the axial direction of the joint sleeve 13, and the nut 14 is more than necessary toward the body 12 side. Since it does not move, the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 does not protrude from the nut 14. Thus, the sealing portion 13A of the joint sleeve 13 is protected from impact or damage. Examples of the fluid control device 10 include air and manual shut-off valves.

[유체 제어 기기의 제조 방법][Method of Manufacturing Fluid Control Device]

본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 실시형태에 관한 유체 제어 기기의 제조 방법을 나타낸 플로우차트이다. The manufacturing method of the fluid control apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated. 8 is a flowchart showing a method of manufacturing a fluid control device according to an embodiment of the present invention.

먼저, 용접 장소에서, 보디(12) 내의 유로에 대응시켜 조인트 슬리브(13)를 용접하여 접속한다(STEP1). 이 때, 조인트 슬리브(13)는 백형의 너트(14)의 관통공(14A)에 삽통되어 있다. 이 상태에서는, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)로부터 멀어지는 방향으로 너트(14)가 이동함으로써, 너트(14)가 조인트 슬리브(13)의 실링부(13A)를 수용하고, 조인트 슬리브(13)의 축을 따라 보디(12)에 가까워지는 방향으로의 너트(14)가 이동함으로써, 실링부(13A)가 너트(14)로부터 노출되어 돌출된다. First, the joint sleeve 13 is welded and connected corresponding to the flow path in the body 12 at a welding place (STEP1). At this time, the joint sleeve 13 is inserted into the through hole 14A of the bag-shaped nut 14. In this state, the nut 14 moves in the direction away from the body 12 along the axis of the joint sleeve 13, so that the nut 14 receives the sealing portion 13A of the joint sleeve 13, and the joint sleeve By moving the nut 14 in the direction closer to the body 12 along the axis of (13), the sealing portion 13A is exposed from the nut 14 to protrude.

다음에, 보디(12)에 조인트 슬리브(13)를 용접한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 본 발명의 각각의 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20, 30)를 장착한다. 장착 시에는, 손잡이부(23)를 작업자가 손잡이, 가이드부(25B)를 이용하면서 슬릿(24)으로부터 삽입하여 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)에 장착한다. 이 상태에서는, 너트(14)의 이동이 억제되어, 실링부(13A)가 너트(14)로부터 돌출되지 않으므로, 실링부(13A)가 보호되고 있다. 그 후, 조인트 슬리브(13)가 용접되어 있는 보디(12)를, 복수, 세정 장소로 운반한다. Next, the joint protection devices 20 and 30 according to each embodiment of the present invention are attached to the joint sleeve 13 of the article under construction in which the joint sleeve 13 is welded to the body 12. At the time of mounting, the handle part 23 is inserted from the slit 24 by a worker using a handle and guide part 25B, and the joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13. In this state, movement of the nut 14 is suppressed, and since the sealing part 13A does not protrude from the nut 14, the sealing part 13A is protected. Thereafter, the body 12 to which the joint sleeve 13 is welded is transported to a plurality of washing locations.

그 후, 세정 장소에 있어서, 필요에 따라 이와 같은 1 또는 복수의 제작 중인 물품을 세정용 망에 수용한 후, 초음파 등에 의한 세정을 행한다(STEP2). 도 9에 나타낸 바와 같이, 손잡이부(23)의 질량으로 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)가 연직(沿直) 아래쪽을 향한다. 그와 같은 상태에서 제작 중인 물품이 세정액에 침지(浸漬)되므로, 본체부(22)의 가이드부(25B) 및 그 근방이 조인트 슬리브(13)와 접촉한 채로 되기 쉽다. 그러나, 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)과 조인트 슬리브(13)와의 접촉 부분을 가급적으로 줄여, 세정 시의 요동(搖動)에 의해 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B) 전체를 세정할 수 있다. 이로써, 조인트 슬리브(13)에 부착된 잔류물을 제거할 수 있다. 또한, 세정액을 흐르게 하면서 세정하는 경우에 있어서는, 손잡이부(23)가 조인트 슬리브(13)에 당겨 걸린 상태인 채, 세정액의 흐름에 의해 손잡이부(23)에 힘이 가해져, 조인트 슬리브(13)의 주위를 손잡이부(23)가 회전한다. 따라서, 더욱 양호한 효율로, 조인트 슬리브(13)와 보디(12)와의 용접 부분 및 그 주위, 조인트 슬리브(13)의 외주면 등을, 더욱 양호한 효율로, 세정할 수 있다. Thereafter, in the washing place, such one or a plurality of articles being manufactured are accommodated in the washing net as needed, followed by washing with ultrasonic waves or the like (STEP2). As shown in FIG. 9, the handle part 23 of the joint protection tools 20 and 30 faces a perpendicular downward direction by the mass of the handle part 23. As shown in FIG. Since the article being manufactured in such a state is immersed in the washing | cleaning liquid, the guide part 25B of the main-body part 22 and its vicinity tend to be in contact with the joint sleeve 13. However, the contact portion between the inner circumferential surface 21 of the joint protector 20 and 30 and the joint sleeve 13 is reduced as much as possible, and the entire outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 is removed due to swinging during cleaning. It can be washed. Thereby, the residue adhering to the joint sleeve 13 can be removed. In addition, in the case of washing while flowing the cleaning liquid, the handle 23 is pulled by the joint sleeve 13 and a force is applied to the handle 23 by the flow of the cleaning liquid, and the joint sleeve 13 The handle portion 23 rotates around. Therefore, the welding part of the joint sleeve 13 and the body 12, the circumference | surroundings, the outer peripheral surface of the joint sleeve 13, etc. can be wash | cleaned with more favorable efficiency with more favorable efficiency.

도 9는, 조인트용 보호구(20, 30)가 조인트 슬리브(13)에 장착되어 있는 상태를 나타낸 도면이다. 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)과 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)은, 부호 "40"으로 나타낸 바와 같이, 근소한 부위에서 밖에 접촉하지 않는다. 즉, 조인트 슬리브(13)의 외주면(13B)과 조인트용 보호구(20, 30)의 내주면(21)과의 사이에 초승달형의 간극이 생긴다. 그러므로, 이 간극에 의해 세정이나 건조 등의 작업이 용이하게 된다. 9 is a view showing a state where the joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13. The outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 and the inner circumferential surface 21 of the joint protectors 20 and 30 are only in contact with each other at a small portion, as indicated by reference numeral 40. That is, a crescent gap is formed between the outer circumferential surface 13B of the joint sleeve 13 and the inner circumferential surface 21 of the joint protectors 20 and 30. Therefore, this gap facilitates operations such as washing and drying.

종래에는, 세정 장소로 운반된 제작 중인 물품의 조인트 슬리브로부터 스토퍼를 분리하여 세정하고, 세정이 종료되면, 검사 장소로 운반하기 위해 스토퍼를 조인트 슬리브에 장착하고 있었다. 본 발명의 실시형태에서는, 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)에 장착된 채 세정하므로, 작업 효율이 향상된다. 세정 시에는 조인트용 보호구(20, 30) 그 자체도 세정되므로, 유체 제어 기기의 청정도도 향상된다. Conventionally, the stopper was detached from the joint sleeve of the article under construction transported to the cleaning place and cleaned, and when the cleaning was completed, the stopper was attached to the joint sleeve for transport to the inspection site. In the embodiment of the present invention, since the joint protectors 20 and 30 are cleaned while being attached to the joint sleeve 13, the work efficiency is improved. At the time of cleaning, since the joint protection devices 20 and 30 themselves are also cleaned, the cleanliness of the fluid control device is also improved.

세정이 종료되면, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 검사 장소로 운반된다. 그리고, 검사 장소에 있어서, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)를 잡고, 조인트 슬리브(13)로부터 떼어내 분리해내고, 손상이나 오염의 유무가 없는지 등 사양을 따라 검사를 행한다(STEP3). 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20, 30)를, 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착한다. When washing | cleaning is complete | finished, the body with a joint sleeve in manufacture is conveyed to a test | inspection place. At the inspection site, the worker grasps the handle 23 of the joint protection devices 20 and 30, removes it from the joint sleeve 13, removes it, and inspects it according to specifications such as whether there is no damage or contamination. (STEP3). The joint protection devices 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under manufacture which passed the inspection in the same procedure as described above.

다음에, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 청정도가 높은 슈퍼 청정실 내의 세정 장소로 운반된다. 그래서, 작업자는, STEP2와 마찬가지로, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디의 세정을 행하고(STEP4), 그 후, 소정의 프로세스를 거쳐, 조립 장소로 반송(搬送)된다. 조립 장소에 있어서, 사양으로 정해져 있는 유체 조작용 액추에이터(16)를 보디(12)에 장착하는 등의 조립 작업을 행한다(STEP5). Next, the joint sleeve body being manufactured is conveyed to the washing place in the super clean room with high cleanliness. Thus, the worker washes the body with the joint sleeve under fabrication in the same manner as in STEP 2 (STEP 4), and is then returned to the assembly site through a predetermined process. In the assembly place, an assembling work such as mounting the fluid operation actuator 16 determined on the specification to the body 12 is performed (STEP5).

다음에, 제작 중인 조인트 슬리브 부착 보디는, 슈퍼 청정실 내의 검사 장소로 운반된다. 그래서, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)를 분리해내고, 조인트 슬리브(13) 및 보디(12)의 유로 내에 리크 검사용의 가스를 흐르게 하여 리크 검사를 행하여, 최종 검사를 행한다(STEP6). 최종 검사를 행할 때는, 작업자는 조인트용 보호구(20, 30)의 손잡이부(23)를 잡고, 조인트 슬리브(13)로부터 분리해내고, 최종 검사가 검사 항목에 따라 행해진다. 최종 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 대하여 조인트용 보호구(20, 30)를, 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착한다. Next, the joint sleeve body under manufacture is transported to the inspection site in the super clean room. Thus, the operator removes the joint protective devices 20 and 30, performs a leak inspection by flowing a gas for leak inspection in the flow paths of the joint sleeve 13 and the body 12, and performs a final inspection (STEP 6). . When carrying out a final inspection, the operator grasps the handle 23 of the joint protective devices 20 and 30, separates it from the joint sleeve 13, and the final inspection is performed according to the inspection item. The joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under manufacture which has passed the final inspection in the same procedure as described above.

그 후, 최종 검사에 합격한 제작 중인 물품의 조인트 슬리브(13)에 조인트용 보호구(20, 30)를 전술한 바와 마찬가지의 수순으로 장착하고, 슈퍼 청정실 내의 포장 작업 장소로 운반한다. Thereafter, the joint protectors 20 and 30 are attached to the joint sleeve 13 of the article under construction that has passed the final inspection in the same procedure as described above, and transported to the packaging work place in the super clean room.

마지막으로, 포장 장소에 있어서, 제작 중인 물품을 진공용 팩에 수용하여 진공 패키징을 한다(STEP7). Finally, in the packaging place, the article being manufactured is accommodated in a vacuum pack and vacuum-packed (STEP7).

이와 같이, 본 발명의 실시형태에 관한 제조 방법에서는, 세정 전에 조인트용 보호구(20, 30)를 조인트 슬리브(13)로부터 분리해내고, 세정 종료 후에 조인트 슬리브(13)에 장착할 필요가 없어, 작업 효율이 향상된다. 본 발명의 실시형태에 관한 조인트용 보호구(20, 30)를 사용함으로써, 조인트 슬리브(13)에 장착된 채, 세정, 반입(搬入) 및 반출(搬出)의 운반의 각종 작업을 행할 수 있고, 또한 조인트 슬리브(13)에 대한 탈착을 용이하게 할 수 있으므로, 또한 작업 효율성이 향상된다. Thus, in the manufacturing method which concerns on embodiment of this invention, it is not necessary to remove the joint protection equipment 20 and 30 from the joint sleeve 13 before washing | cleaning, and to attach to the joint sleeve 13 after completion | finish of washing | cleaning, Work efficiency is improved. By using the joint protectors 20 and 30 according to the embodiment of the present invention, various operations of cleaning, carrying in and carrying out of transport can be performed while being attached to the joint sleeve 13, In addition, since the attachment and detachment to the joint sleeve 13 can be facilitated, the work efficiency is also improved.

그리고, 유체 제어 기기의 제조 방법의 수순은, 적절히 변경할 수 있고, 예를 들면, 조인트 슬리브(13)를 보디(12)에 용접한 후에, 기준을 만족시킬 것인지의 여부의 검사를 행하고, 그 후, 조인트용 보호구(20)를 조인트 슬리브(13)에 장착하여 세정해도 된다. And the procedure of the manufacturing method of a fluid control apparatus can be changed suitably, For example, after welding the joint sleeve 13 to the body 12, it carries out the inspection of whether it satisfy | fills a criterion, and after that The joint protection device 20 may be attached to the joint sleeve 13 for cleaning.

본 발명의 실시형태는, 도시한 태양(態樣), 전술한 사항에 한정되지 않고, 본 발명의 범위에 있어서 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 조인트 슬리브(13)의 길이에 따라서, 베어링의 유무에 따라, 조인트용 보호구(20, 30)를 착색함으로써, 작업 상부 부품의 차이를 없앨 수가 있다. Embodiment of this invention is not limited to the aspect of illustration and the above-mentioned matter, You may change suitably in the scope of this invention. For example, depending on the length of the joint sleeve 13, the coloring of the joint protectors 20 and 30 depending on the presence or absence of the bearings can eliminate the difference between the work upper components.

10: 유체 제어 기기
11: 유체 제어 기기 본체
12: 보디
13: 조인트 슬리브
13A: 실링부
13B: 외주면
14: 너트
14A: 관통공
14B: 배면
15: 베어링
16: 유체 조작용 액추에이터
20, 30: 조인트용 보호구
21: 내주면
22: 본체부
22A: 링부
23: 손잡이부
24: 슬릿
25: 통형부
25A: 통형부의 단부
25B: 가이드부
26: 홈
27A, 27B: 피스
28: 대향면
29A: 볼록부
29B: 오목부10: fluid control device
11: fluid control device body
12: body
13: joint sleeve
13A: sealing part
13B: outer circumference
14: Nut
14A: through hole
14B: back
15: bearing
16: Actuator for fluid operation
20, 30: Joint protector
21: Inner circle
22: main body
22A: Ring Section
23: handle
24: slit
25: tube part
25A: end of cylindrical part
25B: guide part
26: home
27A, 27B: Piece
28: facing side
29A: convex
29B: recess

Claims

A joint sleeve is inserted into a through hole of a nut, and the joint sleeve is welded to a body for a fluid control device body in a direction away from the body along an axis of the joint sleeve. Movement of the nut in the direction in which the nut receives a sealing part of the joint sleeve and in the direction in which the nut approaches the body along an axis of the joint sleeve, Making it protrude; And
A main body portion having an inner circumferential surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a gap with an outer circumferential surface around an axis of the joint sleeve, and the main body portion is provided on the joint sleeve. By attaching a protective device for a joint having a slit to be mounted to the joint sleeve, the joint sleeve is protected in such a state that the movement of the nut is suppressed so that the sealing portion does not protrude from the nut, thereby protecting the sealing portion. Cleaning the body welded to the body;
Method of manufacturing a fluid control device comprising a.

A joint sleeve welded to a body while being inserted into a through hole of a nut, wherein the nut moves in a direction away from the body along an axis of the joint sleeve so that the nut receives the sealing portion of the joint sleeve and the nut It is a joint protector detachable to the said joint sleeve of the state in which the said sealing part protrudes from the said nut by moving in the direction approaching the said body along the axis of a joint sleeve,
The joint protector includes a main body having an inner circumferential surface having a larger diameter than an outer diameter of the joint sleeve so as to have a gap with an outer circumferential surface of the joint sleeve, and a slit for attaching and detaching the main body to the joint sleeve.
The joint protector is attached to the joint sleeve to suppress movement of the nut and prevent the sealing portion of the joint sleeve from protruding from the nut, thereby protecting the sealing portion.
Protective gear for joints.

The method of claim 2,
The joint protector which clamps the center of the said main-body part, and is provided with the handle part on the opposite side to the said slit.

The method of claim 3,
The handle part is formed to protrude to the main body part, the protruding length is set to a length which does not protrude from the body when the joint protector is attached to the joint sleeve.

The method of claim 2,
The protector for joints whose diameter of the inner peripheral surface of the said main-body part is 1.1 to 1.3 times the outer diameter of the said joint sleeve.

The method of claim 2,
The main body portion is composed of a cylindrical portion having the inner peripheral surface,
The joint protector in which the pair of guide parts for attachment to the said joint sleeve is formed in the edge part which forms the said slit among the said cylindrical parts.

The method of claim 6,
The said guide part is a joint protective device set thicker than the thickness of the said cylindrical part.

The method of claim 7, wherein
The said guide part has a plane which faces the said slit, and the said joint guard is extended in the angle of 70 degrees-100 degrees in the pair of said guide parts.

The method of claim 2,
The width | variety of the said slit is the joint protector set to 0.5 to 0.6 times the outer diameter of the said joint sleeve.

The method of claim 2,
The said main body part is a joint protective device which cut | disconnects the intermediate part of the moving direction of the said nut from the said slit side, and isolate | separates the said slit on both sides of the moving direction of the said nut.

The method of claim 2,
A joint protector, wherein an engaging portion for connection is formed on opposing side surfaces of the plurality of pieces divided in the moving direction of the nut, and the engaging portion is engaged by connecting the plurality of pieces.

The joint sleeve is connected to the body by inserting a joint sleeve into the through hole of the nut, and a body is mounted on the body, and the nut moves in a direction away from the body along the axis of the joint sleeve so that the nut A fluid control device body which receives the sealing portion of the joint sleeve and protrudes the sealing portion by moving the nut in a direction approaching the body along the axis of the joint sleeve; And
A joint protector according to any one of claims 2 to 11 attached to the joint sleeve;
Fluid control device comprising a.