KR102021613B1 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Abstract

(A), (B) 및 (C)를 포함하는 감광성 수지 조성물:
(A) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위를 포함하는 공중합체로서, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하인 공중합체;
(B) 실리콘 원자를 갖지 않는 중합성 화합물;
(C) 중합 개시제.
Photosensitive resin composition containing (A), (B) and (C):
(A) Structural unit derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. And a structural unit derived from a monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond, wherein the content of the structural unit derived from the monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond is added to all structural units of the copolymer. Copolymer which is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to;
(B) a polymerizable compound having no silicon atom;
(C) polymerization initiator.

Description

감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION}Photosensitive resin composition {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION}

본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition.

최근의 액정 표시 패널 등에는 포토스페이서, 오버코트 및 잉크젯용 격벽 등의 부재가 이용되고 있고, 이들 부재로서는 감광성 수지 조성물로 형성된 수지 패턴이나 경화막이 이용되고 있다.In recent liquid crystal display panels and the like, members such as photospacers, overcoats and inkjet partitions are used, and resin members and cured films formed of photosensitive resin compositions are used as these members.

이러한 감광성 수지 조성물로서는, 예컨대 수지로서 메타크릴산과 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트와의 공중합체를 포함하는 감광성 수지 조성물이 알려져 있다(JP2009-139932-A).As such a photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition containing the copolymer of methacrylic acid and 3, 4- epoxy cyclocyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate as a resin is known (JP2009-139932-A), for example.

감광성 수지 조성물로 형성된 수지 패턴을 포토스페이서로서 이용하는 경우, 그 수지 패턴은, 가중을 없앴을 때에 원래의 형상으로 되돌아가는 기계 특성, 즉 유연성이 요구되고 있다. 이 기계 특성은, 포토스페이서에 하중을 가했을 때의 변위량(총 변위량)에 대한, 이것을 없앴을 때 원래의 형상으로 되돌아가는 변위량(탄성 변위량)의 비율인 회복률로 나타낸다.When using the resin pattern formed from the photosensitive resin composition as a photospacer, the resin pattern is requested | required of the mechanical characteristic, ie, flexibility which returns to an original shape, when weighting is removed. This mechanical characteristic is represented by the recovery rate which is the ratio of the displacement amount (elastic displacement amount) returning to the original shape when this is removed, with respect to the displacement amount (total displacement amount) when a load is applied to the photospacer.

종래부터 알려진 상기한 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 수지 패턴은, 회복률이 반드시 충분히 만족할 수 있는 것은 아니었다.The recovery rate of the resin pattern obtained from the said photosensitive resin composition conventionally known was not necessarily fully satisfying.

본 발명은 이하의 발명을 포함한다.The present invention includes the following inventions.

[1] 하기 (A), (B) 및 (C)를 포함하는 감광성 수지 조성물.[1] A photosensitive resin composition comprising the following (A), (B) and (C).

(A) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위를 포함하는 공중합체로서,(A) Structural unit derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. And a copolymer comprising a structural unit derived from a monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond,

실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하인 공중합체Copolymer whose content of the structural unit derived from the monomer which has a siloxane structure and ethylenically unsaturated bond is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to the total structural units of the said copolymer.

(B) 실리콘 원자를 갖지 않는 중합성 화합물(B) a polymerizable compound having no silicon atom

(C) 중합 개시제(C) polymerization initiator

[2] 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체의 중량 평균 분자량이 300∼50000인 [1]에 기재된 감광성 수지 조성물.[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the weight average molecular weight of the monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond is 300 to 50000.

[3] [1] 또는 [2]에 기재된 감광성 수지 조성물로 형성되는 수지 패턴.[3] A resin pattern formed from the photosensitive resin composition according to [1] or [2].

[4] [3]에 기재된 수지 패턴을 포함하는 표시 장치.[4] A display device comprising the resin pattern according to [3].

[5] 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, 폴리실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위를 포함하는 공중합체로서,[5] Structural units derived from at least one structural unit selected from the group consisting of unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic anhydrides, and monomers having a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms and an ethylenically unsaturated bond And a copolymer comprising a structural unit derived from a monomer having a polysiloxane structure and an ethylenically unsaturated bond,

폴리실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하인 공중합체.The copolymer whose content of the structural unit derived from the monomer which has a polysiloxane structure and an ethylenically unsaturated bond is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to the total structural units of the said copolymer.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 따르면, 이 감광성 수지 조성물로 형성되는 수지 패턴은, 가한 하중을 없앴을 때의 회복률이 높기 때문에, 기계 특성이 우수하다.According to the photosensitive resin composition of this invention, since the recovery rate at the time of removing the applied load is high, the resin pattern formed from this photosensitive resin composition is excellent in mechanical characteristics.

본 명세서에 있어서, 각 성분으로서 예시하는 화합물은 특별히 언급하지 않는 한, 단독으로 또는 복수 종을 조합하여 사용할 수 있다.In this specification, the compound illustrated as each component can be used individually or in combination of multiple types unless there is particular notice.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 하기 (A), (B) 및 (C)를 포함한다.The photosensitive resin composition of this invention contains following (A), (B) and (C).

(A) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위를 포함하는 공중합체로서,(A) Structural unit derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. And a copolymer comprising a structural unit derived from a monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond,

실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하인 공중합체(이하 「수지(A)」라고 하는 경우가 있음)Copolymer whose content of the structural unit derived from the monomer which has a siloxane structure and ethylenically unsaturated bond is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to all the structural units of the said copolymer (henceforth "resin (A)" may be called. )

(B) 실리콘 원자를 갖지 않는 중합성 화합물(이하 「중합성 화합물(B)」이라고 하는 경우가 있음)(B) Polymeric compound which does not have a silicon atom (hereinafter may be called "polymerizable compound (B)")

(C) 중합 개시제(이하 「중합 개시제(C)」라고 하는 경우가 있음)(C) Polymerization initiator (hereinafter may be referred to as "polymerization initiator (C)")

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 용제(E) 및 계면활성제(H)로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains 1 or more types chosen from the group which consists of a solvent (E) and surfactant (H).

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 티올 화합물(T), 산화방지제(F) 및 중합 개시 조제(C1)로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하여도 좋다.Moreover, the photosensitive resin composition of this invention may contain 1 or more types chosen from the group which consists of a thiol compound (T), antioxidant (F), and a polymerization start adjuvant (C1).

<수지><Resin>

수지(A)는 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상(이하 「(a)」라고 하는 경우가 있음)에 유래하는 구조 단위와, 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체(이하 「(b)」라고 하는 경우가 있음)에 유래하는 구조 단위와, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체(이하 「(x)」라고 하는 경우가 있음)에 유래하는 구조 단위를 포함한다. 상기 공중합체는, 또한, (a)와 공중합 가능하고 (b) 및 (x)와는 상이한 단량체(이하 「(c)」라고 하는 경우가 있음)에 유래하는 구조 단위를 갖고 있어도 좋다.Resin (A) is a structural unit derived from 1 or more types (it may be called "(a)" hereafter) chosen from the group which consists of unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and C2-C4 cyclic | annular form Structural units derived from an ether structure and a monomer having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter referred to as "(b)") and a monomer having a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter referred to as "(x)") Structural units derived from the above). The copolymer may further have a structural unit copolymerizable with (a) and derived from a monomer different from (b) and (x) (hereinafter sometimes referred to as "(c)").

수지(A)로서는 예컨대 수지 [K1] 및 수지 [K2]를 들 수 있다.As resin (A), resin [K1] and resin [K2] are mentioned, for example.

수지 [K1]: (a)에 유래하는 구조 단위와 (b)에 유래하는 구조 단위와 (x)에 유래하는 구조 단위로 이루어진 공중합체;Resin [K1]: A copolymer consisting of a structural unit derived from (a), a structural unit derived from (b), and a structural unit derived from (x);

수지 [K2]: (a)에 유래하는 구조 단위와 (b)에 유래하는 구조 단위와 (x)에 유래하는 구조 단위와 (c)에 유래하는 구조 단위로 이루어진 공중합체.Resin [K2]: A copolymer consisting of a structural unit derived from (a), a structural unit derived from (b), a structural unit derived from (x), and a structural unit derived from (c).

수지(A)는 (a), (b) 및 (x) 그리고 필요에 따라 (c)를 공중합시킨 공중합체이다.Resin (A) is a copolymer in which (a), (b) and (x) and (c) were copolymerized as needed.

(a)로서는 예컨대 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, o-, m-, p-비닐안식향산 등의 불포화 모노카르복실산류;Examples of (a) include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, o-, m-, and p-vinyl benzoic acid;

말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산, 3-비닐프탈산, 4-비닐프탈산, 3,4,5,6-테트라히드로프탈산, 1,2,3,6-테트라히드로프탈산, 디메틸테트라히드로프탈산, 1,4-시클로헥센디카르복실산 등의 불포화 디카르복실산류;Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, 3-vinylphthalic acid, 4-vinylphthalic acid, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic acid, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic acid, dimethyl Unsaturated dicarboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid and 1,4-cyclohexenedicarboxylic acid;

메틸-5-노르보넨-2,3-디카르복실산, 5-카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-6-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-6-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 카르복시기를 함유하는 비시클로 불포화 화합물류;Methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene , 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo Bicyclo unsaturated compounds containing carboxyl groups, such as [2.2.1] hept-2-ene and 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene;

무수 말레산, 시트라콘산 무수물, 이타콘산 무수물, 3-비닐프탈산 무수물, 4-비닐프탈산 무수물, 3,4,5,6-테트라히드로프탈산 무수물, 1,2,3,6-테트라히드로프탈산 무수물, 디메틸테트라히드로프탈산 무수물, 5,6-디카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 무수물 등의 불포화 디카르복실산류 무수물;Maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride Unsaturated dicarboxylic acid anhydrides such as dimethyltetrahydrophthalic anhydride and 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride;

호박산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 등의 2가 이상의 다가 카르복실산의 불포화 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르류;Unsaturated mono [(meth) acryloyloxyalkyl of a divalent or higher polyhydric carboxylic acid such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and monophthalate [2- (meth) acryloyloxyethyl] ] Esters;

α-(히드록시메틸)아크릴산 등의 분자 내에 히드록시기 및 카르복시기를 함유하는 불포화 아크릴레이트류 등을 들 수 있다.and unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxyl group in a molecule such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.

이들 중, 공중합 반응성이나 알칼리 수용액에 대한 수지의 용해성의 점에서 (메트)아크릴산 및 무수 말레산 등이 바람직하고, (메트)아크릴산이 보다 바람직하다.Among these, (meth) acrylic acid, maleic anhydride, etc. are preferable at the point of copolymerization reactivity and the solubility of resin to aqueous alkali solution, and (meth) acrylic acid is more preferable.

또한, 본 명세서에 있어서, 「(메트)아크릴로일」이란, 아크릴로일 및 메타크릴로일로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 나타낸다. 「(메트)아크릴산」 및 「(메트)아크릴레이트」 등의 표기도 동일한 의미를 갖는다.In addition, in this specification, "(meth) acryloyl" shows 1 or more types chosen from the group which consists of acryloyl and methacryloyl. Notation, such as "(meth) acrylic acid" and "(meth) acrylate", has the same meaning.

(b)의 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조로서는 예컨대 옥시란 고리, 옥세탄 고리 및 테트라히드로푸란 고리를 들 수 있다. (b)는 탄소수 2∼4의 환상 에테르와 (메트)아크릴로일옥시기를 갖는 단량체가 바람직하다.Examples of the cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms (b) include an oxirane ring, an oxetane ring and a tetrahydrofuran ring. As for (b), the monomer which has a C2-C4 cyclic ether and a (meth) acryloyloxy group is preferable.

(b)로서는 예컨대 옥시라닐기와 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체(b1)(이하 「(b1)」이라고 하는 경우가 있음), 옥세타닐기와 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체(b2)(이하 「(b2)」라고 하는 경우가 있음) 및 테트라히드로푸릴기와 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체(b3)(이하 「(b3)」이라고 하는 경우가 있음)를 들 수 있다.As (b), for example, a monomer (b1) having an oxiranyl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as "(b1)") and a monomer (b2) having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter "( b2) ”and a monomer (b3) (hereinafter sometimes referred to as“ (b3) ”) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond.

(b1)로서는 예컨대 직쇄형 또는 분지쇄형의 지방족 불포화 탄화수소가 에폭시화된 구조를 갖는 단량체(b1-1)(이하 「(b1-1)」이라고 하는 경우가 있음) 및 지환식 불포화 탄화수소가 에폭시화된 구조를 갖는 단량체(b1-2)(이하 「(b1-2)」라고 하는 경우가 있음)를 들 수 있다.As (b1), the monomer (b1-1) (hereinafter sometimes referred to as "(b1-1)") and the alicyclic unsaturated hydrocarbon which have a structure where the linear or branched aliphatic unsaturated hydrocarbon was epoxidized are epoxidized, for example. And monomer (b1-2) (hereinafter sometimes referred to as "(b1-2)") having a structure that is used.

(b1-1)로서는 예컨대 글리시딜(메트)아크릴레이트, β-메틸글리시딜(메트)아크릴레이트, β-에틸글리시딜(메트)아크릴레이트, 글리시딜비닐에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르, α-메틸-o-비닐벤질글리시딜에테르, α-메틸-m-비닐벤질글리시딜에테르, α-메틸-p-비닐벤질글리시딜에테르, 2,3-비스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,4-비스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,5-비스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,6-비스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,3,4-트리스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,3,5-트리스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,3,6-트리스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 3,4,5-트리스(글리시딜옥시메틸)스티렌, 2,4,6-트리스(글리시딜옥시메틸)스티렌 등을 들 수 있다.Examples of (b1-1) include glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, β-ethylglycidyl (meth) acrylate, glycidyl vinyl ether, and o-vinyl benzyl. Glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-o-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-m-vinylbenzyl glycidyl ether, α -Methyl-p-vinylbenzyl glycidyl ether, 2,3-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,4-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,5-bis (glycidyloxy Methyl) styrene, 2,6-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,4-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,6-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 3,4,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,4,6-tris (glycidyloxymethyl) styrene, etc. Can be.

(b1-2)로는 예컨대 비닐시클로헥센모노옥사이드, 1,2-에폭시-4-비닐시클로헥산[예컨대, 셀록사이드 2000; (주)다이셀 제조], 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트[예컨대, 사이클로머 A400; (주)다이셀 제조], 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트[예컨대, 사이클로머 M100; (주)다이셀 제조], 하기 화학식 (I)로 표시되는 단량체, 화학식 (II)로 표시되는 단량체 등을 들 수 있다.(b1-2) include, for example, vinylcyclohexene monooxide, 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane [eg, ceoxide 2000; Daicel Corporation], 3, 4- epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate [for example, cyclomer A400; Daicel Corporation], 3, 4- epoxycyclohexyl methyl (meth) acrylate [For example, cyclomer M100; Daicel Co., Ltd.], the monomer represented by following formula (I), the monomer represented by general formula (II), etc. are mentioned.

Figure 112013008397645-pat00001
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[상기 화학식 (I) 및 화학식 (II)에서, Rb1 및 Rb2는 수소 원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기를 나타내고, 이 알킬기에 포함되는 수소 원자는 히드록시기로 치환되어 있어도 좋다.[In the said Formula (I) and Formula (II), R <b1> and R <b2> represent a hydrogen atom or a C1-C4 alkyl group, and the hydrogen atom contained in this alkyl group may be substituted by the hydroxy group.

Xb1 및 Xb2는 단결합, -Rb3-, *-Rb3-O-, *-Rb3-S- 또는 *-Rb3-NH-를 나타낸다.X b1 and X b2 represent a single bond, -R b3- , * -R b3 -O-, * -R b3 -S- or * -R b3 -NH-.

Rb3은 탄소수 1∼6의 알칸디일기를 나타낸다.R b3 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.

*는 O와의 결합수(結合手)를 나타낸다.]* Represents the number of bonds with O.]

탄소수 1∼4의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group and the like.

수소 원자가 히드록시로 치환된 알킬기로서는, 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기, 2-히드록시에틸기, 1-히드록시프로필기, 2-히드록시프로필기, 3-히드록시프로필기, 1-히드록시-1-메틸에틸기, 2-히드록시-1-메틸에틸기, 1-히드록시부틸기, 2-히드록시부틸기, 3-히드록시부틸기, 4-히드록시부틸기 등을 들 수 있다.As an alkyl group in which the hydrogen atom was substituted by hydroxy, it is a hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxypropyl group, 2-hydroxypropyl group, 3-hydroxypropyl group, 1-hydroxy A hydroxy-1-methylethyl group, 2-hydroxy-1-methylethyl group, 1-hydroxybutyl group, 2-hydroxybutyl group, 3-hydroxybutyl group, 4-hydroxybutyl group, etc. are mentioned.

Rb1 및 Rb2로서는, 바람직하게는 수소 원자, 메틸기, 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기 및 2-히드록시에틸기를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 수소 원자 및 메틸기를 들 수 있다.As R b1 and R b2 , Preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group, and 2-hydroxyethyl group are mentioned, More preferably, a hydrogen atom and a methyl group are mentioned.

알칸디일기로서는, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로판-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일기, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기 등을 들 수 있다.Examples of the alkanediyl group include methylene group, ethylene group, propane-1,2-diyl group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group and hexane-1 And a 6-diyl group.

Xb1 및 Xb2로서는, 바람직하게는 단결합, 메틸렌기, 에틸렌기, *-CH2-O- 및 *-CH2CH2-O-를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 단결합, *-CH2CH2-O-를 들 수 있다(*는 O와의 결합수를 나타냄).X b1 and X b2 are preferably a single bond, a methylene group, an ethylene group, * -CH 2 -O- and * -CH 2 CH 2 -O-, and more preferably a single bond, *- CH 2 CH 2 —O— (* indicates the number of bonds with O).

화학식 (I)로 표시되는 단량체로서는 하기 화학식 (I-1)∼화학식 (I-15) 중 어느 하나로 표시되는 단량체 등을 들 수 있다. 그 중에서도 화학식 (I-1), 화학식 (I-3), 화학식 (I-5), 화학식 (I-7), 화학식 (I-9) 또는 화학식 (I-11)∼화학식 (I-15)로 표시되는 단량체가 바람직하고, 화학식 (I-1), 화학식 (I-7), 화학식 (I-9) 또는 화학식 (I-15)로 표시되는 단량체가 보다 바람직하다.As a monomer represented by general formula (I), the monomer etc. which are represented by either of the following general formula (I-1)-general formula (I-15) are mentioned. Among them, the formulas (I-1), (I-3), (I-5), (I-7), (I-9) or (I-11) to (I-15) The monomer represented by is preferable, and the monomer represented by general formula (I-1), general formula (I-7), general formula (I-9), or general formula (I-15) is more preferable.

Figure 112013008397645-pat00002
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Figure 112013008397645-pat00003
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화학식 (II)로 표시되는 단량체로서는 하기 화학식 (II-1)∼화학식 (II-15) 중 어느 하나로 표시되는 단량체 등을 들 수 있다. 그 중에서도 화학식 (II-1), 화학식 (II-3), 화학식 (II-5), 화학식 (II-7), 화학식 (II-9) 또는 화학식 (II-11)∼화학식 (II-15)로 표시되는 단량체가 바람직하고, 화학식 (II-1), 화학식 (II-7), 화학식 (II-9) 또는 화학식 (II-15)로 표시되는 단량체가 보다 바람직하다.As a monomer represented by general formula (II), the monomer etc. which are represented by either of the following general formula (II-1)-general formula (II-15) are mentioned. Among them, the formulas (II-1), (II-3), (II-5), (II-7), (II-9) or (II-11) to (II-15) The monomer represented by is preferable, and the monomer represented by general formula (II-1), general formula (II-7), general formula (II-9), or general formula (II-15) is more preferable.

Figure 112013008397645-pat00004
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Figure 112013008397645-pat00005
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화학식 (I)로 표시되는 단량체 및 화학식 (II)로 표시되는 단량체는 각각 단독으로 사용하여도 좋고, 화학식 (I)로 표시되는 단량체와 화학식 (II)로 표시되는 단량체를 병용하여도 좋다. 이들을 병용하는 경우, 화학식 (I)로 표시되는 단량체 및 화학식 (II)로 표시되는 단량체의 함유 비율은 몰 기준으로, 바람직하게는 5:95∼95:5, 보다 바람직하게는 10:90∼90:10, 더욱 바람직하게는 20:80∼80:20이다.The monomer represented by general formula (I) and the monomer represented by general formula (II) may be used independently, respectively, and may use together the monomer represented by general formula (I) and the monomer represented by general formula (II) together. When using these together, the content rate of the monomer represented by general formula (I) and the monomer represented by general formula (II) is based on molar basis, Preferably it is 5: 95-95: 5, More preferably, it is 10: 90-90. : 10, More preferably, it is 20: 80-80: 20.

(b2)로서는 옥세타닐기와 (메트)아크릴로일옥시기를 갖는 단량체가 보다 바람직하다. (b2)로서는, 3-메틸-3-메타크릴로일옥시메틸옥세탄, 3-메틸-3-아크릴로일옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-메타크릴로일옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-아크릴로일옥시메틸옥세탄, 3-메틸-3-메타크릴로일옥시에틸옥세탄, 3-메틸-3-아크릴로일옥시에틸옥세탄, 3-에틸-3-메타크릴로일옥시에틸옥세탄, 3-에틸-3-아크릴로일옥시에틸옥세탄 등을 들 수 있다.As (b2), the monomer which has an oxetanyl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. Examples of (b2) include 3-methyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-methyl-3-acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3 -Ethyl-3-acryloyloxymethyloxetane, 3-methyl-3-methacryloyloxyethyloxetane, 3-methyl-3-acryloyloxyethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryl Royloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, etc. are mentioned.

(b3)으로서는 테트라히드로푸릴기와 (메트)아크릴로일옥시기를 갖는 단량체가 보다 바람직하다. (b3)으로서는 구체적으로는 테트라히드로푸르푸릴아크릴레이트[예컨대, 비스코트 V#150, 오사카유키카가쿠고교(주) 제조], 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트 등을 들 수 있다.As (b3), the monomer which has a tetrahydrofuryl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. Specific examples of (b3) include tetrahydrofurfuryl acrylate (for example, biscoat V # 150, manufactured by Osaka Yukikagaku Kogyo Co., Ltd.), tetrahydrofurfuryl methacrylate, and the like.

(b)로서는, 얻어지는 수지 패턴이나 경화막의 내열성, 내약품성 등의 신뢰성을 보다 높일 수 있다는 점에서 (b1)인 것이 바람직하다. 또한, 감광성 수지 조성물의 보존 안정성이 우수하다고 하는 점에서 (b1-2)가 보다 바람직하다.As (b), it is preferable that it is (b1) from the point which can improve reliability, such as heat resistance of a resin pattern and cured film obtained, chemical-resistance, etc. more. Moreover, (b1-2) is more preferable at the point which is excellent in the storage stability of the photosensitive resin composition.

(x)의 실록산 구조는 예컨대 하기 화학식 (x1)로 표시되는 구조이다.The siloxane structure of (x) is a structure represented by following General formula (x1), for example.

Figure 112013008397645-pat00006
Figure 112013008397645-pat00006

[상기 화학식 (x1)에서, A1 및 A2는 서로 독립적으로 1가의 유기기를 나타낸다.][In the formula (x1), A 1 and A 2 independently represent a monovalent organic group.]

1가의 유기기로서는 예컨대 1가의 탄화수소기를 들 수 있다. 1가의 탄화수소기는 바람직하게는 탄소수 1∼10의 1가의 지방족 탄화수소기, 탄소수 3∼10의 1가의 지환식 탄화수소기 및 탄소수 6∼10의 1가의 방향족 탄화수소기이고, 보다 바람직하게는 탄소수 1∼4의 알킬기 또는 탄소수 6∼10의 1가의 방향족 탄화수소기이며, 더욱 바람직하게는 메틸기 또는 페닐기이다.As monovalent organic group, a monovalent hydrocarbon group is mentioned, for example. Monovalent hydrocarbon group, Preferably it is a C1-C10 monovalent aliphatic hydrocarbon group, a C3-C10 monovalent alicyclic hydrocarbon group, and a C6-C10 monovalent aromatic hydrocarbon group, More preferably, it is C1-C4. It is an alkyl group or a C6-C10 monovalent aromatic hydrocarbon group, More preferably, it is a methyl group or a phenyl group.

(x)의 에틸렌성 불포화 결합은 바람직하게는 (메트)아크릴기이다.The ethylenically unsaturated bond of (x) is preferably a (meth) acryl group.

(x)로서는 예컨대 화학식 (x2)로 표시되는 단량체를 들 수 있다.As (x), the monomer represented by general formula (x2) is mentioned, for example.

Figure 112013008397645-pat00007
Figure 112013008397645-pat00007

[상기 화학식 (x2)에서, Q1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다.[In the formula (x2), Q 1 represents a hydrogen atom or a methyl group.

L1은 -(CH2)r-, -O-(CH2)r- 또는 -C(=O)-O-(CH2)r-을 나타내고, 이들 기에 포함되는 1개 이상의 -CH2-는 헤테로 원자로 치환되어 있어도 좋다.L 1 represents-(CH 2 ) r- , -O- (CH 2 ) r -or -C (= O) -O- (CH 2 ) r -and at least one -CH 2 -contained in these groups. May be substituted with a hetero atom.

r은 0∼8의 정수를 나타낸다.r represents the integer of 0-8.

A3∼A11은 각각 독립적으로 탄소수 1∼12의 지방족 탄화수소기, 탄소수 6∼12의 아릴기 또는 탄소수 7∼12의 아랄킬기를 나타낸다.A 3 to A 11 each independently represent an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms.

s, t 및 u는 각각 독립적으로 0∼200의 정수를 나타낸다.]s, t and u each independently represent an integer of 0 to 200.]

A3∼A11의 지방족 탄화수소기로서는 예컨대 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, 옥틸기 및 도데실기를 들 수 있다.Examples of the aliphatic hydrocarbon group for A 3 to A 11 include a methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, octyl group and dodecyl group.

A3∼A11의 아릴기로서는 예컨대 페닐기, 톨릴기, 크실릴기, 메시틸기, 비페닐기 및 나프틸기를 들 수 있다.The aryl group of A 3 ~A 11 there may be mentioned such as a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a mesityl group, a biphenyl group and a naphthyl group.

A3∼A11의 아랄킬기로서는 예컨대 벤질기 및 페닐에틸기를 들 수 있다.As an aralkyl group of A <3> -A <11> , a benzyl group and a phenylethyl group are mentioned, for example.

화학식 (x2)로 표시되는 단량체로서는 하기 화학식 (x3)으로 표시되는 단량체 및 화학식 (x4)로 표시되는 단량체가 바람직하고, 화학식 (x3)으로 표시되는 단량체가 보다 바람직하다.As a monomer represented by general formula (x2), the monomer represented by the following general formula (x3) and the monomer represented by general formula (x4) are preferable, and the monomer represented by general formula (x3) is more preferable.

Figure 112013008397645-pat00008
Figure 112013008397645-pat00008

[상기 화학식 (x3) 및 화학식 (x4)에서, Q2 및 Q3은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다.[In the formulas (x3) and (x4), Q 2 and Q 3 represent a hydrogen atom or a methyl group.

A12는 탄소수 1∼12의 지방족 탄화수소기, 탄소수 6∼12의 아릴기 또는 탄소수 7∼12의 아랄킬기를 나타낸다.A 12 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms.

v는 0∼200의 정수를 나타낸다.v represents the integer of 0-200.

w 및 y는 각각 독립적으로 0∼30의 정수를 나타낸다.]w and y each independently represent an integer of 0 to 30.]

A12로서는, A3∼A11과 동일한 기를 들 수 있고, 바람직하게는 메틸기 또는 페닐기이다.Examples of A 12 include the same groups as A 3 to A 11, and are preferably methyl or phenyl.

v는 바람직하게는 0∼100의 정수를 나타낸다.v preferably represents an integer of 0 to 100.

(x)로서는 예컨대 (트리메틸실릴메틸)메타크릴레이트, (페닐디메틸실릴)메틸메타크릴레이트, tert-부틸디메틸비닐실란, 알릴디메틸실란, 알릴트리메틸실란, 트리페닐비닐실란, 트리메틸실릴메타크릴레이트, 비닐디에틸메틸실란, 비닐트리스(트리메틸실록시)실란, 비닐트리메틸실란, 비닐메틸비스(트리메틸실록시)실란, 페닐디메틸비닐실란, 페닐메틸비닐실란 및 하기 화학식으로 표시되는 단량체를 들 수 있다. 하기 화학식에 있어서, Q4는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, z는 2∼200을 나타낸다.Examples of (x) include (trimethylsilylmethyl) methacrylate, (phenyldimethylsilyl) methyl methacrylate, tert-butyldimethylvinylsilane, allyldimethylsilane, allyltrimethylsilane, triphenylvinylsilane, trimethylsilylmethacrylate, Vinyldiethylmethylsilane, vinyltris (trimethylsiloxy) silane, vinyltrimethylsilane, vinylmethylbis (trimethylsiloxy) silane, phenyldimethylvinylsilane, phenylmethylvinylsilane and monomers represented by the following formulas. In the following formulae, Q 4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and z represents 2 to 200.

Figure 112013008397645-pat00009
Figure 112013008397645-pat00009

(x)로서는 예컨대 사일라플레인 FM-0711(중량 평균 분자량(이하 「Mw」라고 하는 경우가 있음): 1000, 화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), 사일라플레인 FM-0721(Mw: 5000, 화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), 사일라플레인 FM-0725(Mw: 10000, 화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), 사일라플레인 FM-0701(Mw: 420, 화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), 사일라플레인 FM-0701T(Mw: 420, 화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기)[모두 JNC(주) 제조], X-22-2475(Mw: 420, 화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), X-22-174DX(Mw: 4600, 화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), X-24-8201(Mw: 2100), X-22-2426(Mw: 12000, 화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), X-22-2404(Mw: 420, 화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체, Q4=메틸기), X-22-2406[모두 신에츠카가쿠고교(주) 제조] 등의 시판품을 사용하여도 좋다.As (x), for example, silaplane FM-0711 (weight average molecular weight (hereinafter may be referred to as "Mw"): 1000, monomer represented by the formula (x3-2), Q 4 = methyl group), silaplane FM -0721 (Mw: 5000, monomer represented by the formula (x3-2), Q 4 = methyl group), silaplane FM-0725 (Mw: 10000, monomer represented by the formula (x3-2), Q 4 = methyl group ), Silaplane FM-0701 (Mw: 420, monomer represented by formula (x3-1), Q 4 = methyl group), silaplane FM-0701T (Mw: 420, represented by formula (x4-2) Monomer, Q 4 = methyl group (all manufactured by JNC Corporation), X-22-2475 (Mw: 420, monomer represented by formula (x3-1), Q 4 = methyl group), X-22-174DX (Mw 4600, monomer represented by formula (x3-2), Q 4 = methyl group), X-24-8201 (Mw: 2100), X-22-2426 (Mw: 12000, represented by formula (x3-2) Monomer, Q 4 = methyl group), X-22-2404 (Mw: 420, monomer represented by the formula (x4-2), Q 4 = methyl group), X-22-2406 (all manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) You may use a commercial item, such as a tank.

(x)의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 300∼50000이고, 보다 바람직하게는 350∼7000이며, 더욱 바람직하게는 2000∼6000이다. (x)의 중량 평균 분자량이 상기한 범위 내이면, 수지 패턴의 기계 특성 및 물이나 유기 용제와의 접촉각이 높아지는 경향이 있다.The weight average molecular weight of (x) becomes like this. Preferably it is 300-50000, More preferably, it is 350-7000, More preferably, it is 2000-6000. When the weight average molecular weight of (x) is in the said range, there exists a tendency for the mechanical characteristic of a resin pattern, and the contact angle with water and an organic solvent to become high.

(c)로서는 예컨대 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, tert-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 도데실(메트)아크릴레이트, 라우릴(메트)아크릴레이트, 스테아릴(메트)아크릴레이트, 시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트(해당 기술분야에서는, 관용명으로서 「디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트」라고 되어 있음. 또한, 「트리시클로데실(메트)아크릴레이트」라고 하는 경우가 있음), 트리시클로[5.2.1.02,6]데센-8-일(메트)아크릴레이트(해당 기술분야에서는, 관용명으로서 「디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트」라고 되어 있음), 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 아다만틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 프로파르길(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 나프틸(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산에스테르류;As (c), for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (Meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclo Hexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl (meth) acrylate (in the art, it is commonly known as "dicyclopentanyl (meth) acrylate." , May be referred to as "tricyclodecyl (meth) acrylate", tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decen-8-yl (meth) acrylate (in the technical field, the common name is "dicyclophene" Tenyl (meth) acrylate), dicyclopentanyl jade Cethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, naph (Meth) acrylic acid esters such as methyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate;

2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 히드록시기 함유 (메트)아크릴산 에스테르류;Hydroxy group-containing (meth) acrylic acid esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;

말레산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등의 디카르복실산디에스테르;Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate and diethyl itaconic acid;

비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디히드록시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(히드록시메틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디메톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시메틸-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-tert-부톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-시클로헥실옥시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-페녹시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-비스(tert-부톡시카르보닐)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-비스(시클로헥실옥시카르보닐)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 비시클로 불포화 화합물류;Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxybi Cyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2'-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2 -Ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2.1] hept 2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2'-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept- 2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methyl Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] Hept-2-ene, 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohexyloxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxy Cycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bi Ratios of s (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5,6-bis (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene Cyclo unsaturated compounds;

N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부틸레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(9-아크리디닐)말레이미드 등의 디카르보닐이미드 유도체류;N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidebenzoate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N-succinimidyl Dicarbonylimide derivatives such as -6-maleimide caproate, N-succinimidyl-3-maleimide propionate and N- (9-acridinyl) maleimide;

스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸-1,3-부타디엔 등을 들 수 있다.Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide And vinyl acetate, 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, and the like.

이들 중, 공중합 반응성 및 내열성의 점에서 스티렌, 비닐톨루엔, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드 및 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔이 바람직하다.Among them, styrene, vinyltoluene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide and bicyclo [2.2.1] hept-2-ene are preferable in terms of copolymerization reactivity and heat resistance.

수지(A)에 있어서, (x)에 유래하는 구조 단위의 함유량은 수지(A)의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하이고, 바람직하게는 0.01 질량% 이상 3 질량% 이하이며, 보다 바람직하게는 0.02 질량% 이상 1 질량% 이하이다.In resin (A), content of the structural unit derived from (x) is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to all the structural units of resin (A), Preferably they are 0.01 mass% or more and 3 mass% or less. More preferably, they are 0.02 mass% or more and 1 mass% or less.

수지 [K1]에 있어서 각각의 단량체에 유래하는 구조 단위의 비율은 수지 [K1]을 구성하는 전체 구조 단위에 대하여,The ratio of the structural unit derived from each monomer in resin [K1] is with respect to the whole structural unit which comprises resin [K1],

(a)에 유래하는 구조 단위; 5∼60 몰%structural unit derived from (a); 5 to 60 mol%

(b)에 유래하는 구조 단위; 40∼98 몰%structural unit derived from (b); 40-98 mol%

(x)에 유래하는 구조 단위; 0.01∼5 몰%가 바람직하고,structural unit derived from (x); 0.01-5 mol% is preferable,

(a)에 유래하는 구조 단위; 10∼50 몰%structural unit derived from (a); 10-50 mol%

(b)에 유래하는 구조 단위; 50∼90 몰%structural unit derived from (b); 50 to 90 mol%

(x)에 유래하는 구조 단위; 0.01∼3 몰%가 보다 바람직하다.structural unit derived from (x); 0.01-3 mol% is more preferable.

수지 [K1]을 구성하는 구조 단위의 비율이, 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴 형성시의 현상 속도가 높아, 얻어지는 수지 패턴은 기계 특성, 물이나 유기 용제와의 접촉각, 기판과의 밀착성이 우수하다.If the ratio of the structural unit which comprises resin [K1] exists in the said range, the image development speed | rate at the time of resin pattern formation is high, and the obtained resin pattern is excellent in a mechanical characteristic, a contact angle with water and an organic solvent, and adhesiveness with a board | substrate. Do.

수지 [K1]은 예컨대 문헌 「고분자합성의 실험법」[오오츠 타카유키 지음 핫코쇼(주) 화학동인 제1판 제1쇄 1972년 3월 1일 발행]에 기재된 방법 및 이 문헌에 기재된 인용문헌을 참고로 하여 제조할 수 있다.Resin [K1] is, for example, the method described in the literature "Experimental method of polymer synthesis" [Oct Takayuki Otsu Chemical Co., Ltd. First Edition First Edition March 1, 1972] and the citations described in this document. It can manufacture by reference.

구체적으로는 (a) 및 (b)의 소정량, 중합 개시제 및 용제 등을 반응 용기 속에 넣고, 예컨대 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 탈산소 분위기로 하여, 교반하면서, 가열 및 보온하는 방법을 들 수 있다. 또한, 여기서 사용되는 중합 개시제 및 용제 등은 특별히 한정되지 않고, 해당 분야에서 통상 사용되고 있는 것을 사용할 수 있다. 예컨대, 중합 개시제로서는 아조 화합물[2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 등]이나 유기 과산화물(벤조일퍼옥사이드 등)을 들 수 있으며, 용제로서는 각 모노머를 용해시키는 것이면 되고, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 이용되는 후술하는 용제 등을 들 수 있다.Specifically, a predetermined amount of (a) and (b), a polymerization initiator, a solvent, and the like are put in a reaction vessel, and the method of heating and keeping warm while stirring to form a deoxygen atmosphere by, for example, replacing oxygen with nitrogen, is mentioned. Can be. In addition, the polymerization initiator, solvent, etc. which are used here are not specifically limited, What is normally used in the said field | area can be used. For example, an azo compound [2,2'- azobisisobutyronitrile, 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile), etc.] and an organic peroxide (benzoyl peroxide etc.) are mentioned as a polymerization initiator. As a solvent, what is necessary is just to melt | dissolve each monomer, and the solvent mentioned later used for the photosensitive resin composition of this invention, etc. are mentioned.

또한, 얻어진 수지는, 반응 후의 용액을 그대로 사용하여도 좋고, 농축 혹은 희석한 용액을 사용하여도 좋으며, 재침전 등의 방법으로 고체(분체)로서 뽑아낸 것을 사용하여도 좋다. 특히, 중합 용제로서 본 발명의 감광성 수지 조성물에 이용하는 용제를 사용함으로써, 반응 후의 용액을 감광성 수지 조성물의 제조에 그대로 사용할 수 있으므로, 감광성 수지 조성물의 제조 공정을 간략화할 수 있다.In addition, the obtained resin may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and may use what was extracted as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. In particular, by using the solvent used for the photosensitive resin composition of this invention as a polymerization solvent, since the solution after reaction can be used as it is for manufacture of the photosensitive resin composition, the manufacturing process of the photosensitive resin composition can be simplified.

수지 [K2]에 있어서, 각각에 유래하는 구조 단위의 비율은, 수지 [K2]를 구성하는 전체 구조 단위 중,In resin [K2], the ratio of the structural unit derived from each is in the all the structural units which comprise resin [K2],

(a)에 유래하는 구조 단위; 2∼40 몰%structural unit derived from (a); 2-40 mol%

(b)에 유래하는 구조 단위; 2∼96 몰%structural unit derived from (b); 2 to 96 mol%

(c)에 유래하는 구조 단위; 1∼65 몰%structural unit derived from (c); 1 to 65 mol%

(x)에 유래하는 구조 단위; 0.01∼5 몰%인 것이 바람직하고,structural unit derived from (x); It is preferable that it is 0.01-5 mol%,

(a)에 유래하는 구조 단위; 5∼35 몰%structural unit derived from (a); 5 to 35 mol%

(b)에 유래하는 구조 단위; 5∼80 몰%structural unit derived from (b); 5 to 80 mol%

(c)에 유래하는 구조 단위; 1∼60몰%structural unit derived from (c); 1 to 60 mol%

(x)에 유래하는 구조 단위; 0.01∼3 몰%인 것이 보다 바람직하다.structural unit derived from (x); It is more preferable that it is 0.01-3 mol%.

수지 [K2]의 구조 단위의 비율이 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴 형성시의 현상 속도가 높아, 얻어지는 수지 패턴은 기계 특성, 물이나 유기 용제와의 접촉각, 기판과의 밀착성이 우수하다.If the ratio of the structural unit of resin [K2] is in the said range, the image development speed | rate at the time of resin pattern formation is high, and the resin pattern obtained is excellent in a mechanical characteristic, a contact angle with water and an organic solvent, and adhesiveness with a board | substrate.

수지 [K2]는 수지 [K1]과 동일은 방법에 의해 제조할 수 있다.Resin [K2] can be manufactured by the method similar to resin [K1].

수지 [K1]을 구성하는 단량체의 조합으로서는 예컨대 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체 등을 들 수 있고, 그 중에서도 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체 및 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체가 바람직하다.Examples of the combination of the monomers constituting the resin [K1] include (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x3-2). Monomer represented by (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / formula (x3-2), (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / formula ( monomer represented by x3-2), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / monomer represented by formula (x4-2) , Monomer represented by (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / formula (x4-2), (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / formula (x4-2) Monomer represented by), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x3-1) Monomer, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / monomer represented by formula (x3-1), (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / formula (x3 The monomer etc. represented by -1) are mentioned, Especially, (meth) acrylic acid / [The monomer represented by General formula (I-1) and / or The monomer represented by General formula (II-1)] / Chemical formula (x3- Monomer represented by 2), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / monomer represented by formula (x3-1), and ( Preferred are methacrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / monomer represented by formula (x4-2).

수지 [K2]를 구성하는 단량체의 조합으로서는 예컨대 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/스티렌, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/글리시딜(메트)아크릴레이트/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드 등을 들 수 있고, 그 중에서도 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드, (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x3-1)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드 및 (메트)아크릴산/[화학식 (I-1)로 표시되는 단량체 및/또는 화학식 (II-1)로 표시되는 단량체]/화학식 (x4-2)로 표시되는 단량체/N-시클로헥실말레이미드가 바람직하다.Examples of the combination of the monomers constituting the resin [K2] include (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x3-2). Monomer / styrene, (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acryl represented by monomer / styrene, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / formula (x3-2) Monomer / styrene represented by rate / formula (x3-2), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x4- Monomer / styrene represented by 2), (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / monomer / styrene represented by formula (x4-2), (meth) acrylic acid / glycidyl ( Monomer / styrene represented by meth) acrylate / formula (x4-2), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or chemical formula Monomer represented by (II-1)] / monomer represented by formula (x3-1) / styrene, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / formula (x3-1) Monomer / styrene represented by (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / monomer represented by formula (x3-1) / (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / Or monomer represented by the formula (II-1)] / monomer represented by the formula (x3-2) / N-cyclohexyl maleimide, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexyl methyl (meth) acrylate Monomer / N-cyclohexylmaleimide represented by the formula (x3-2), (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / monomer / N-cyclohexyl maleimide represented by the formula (x3-2) , (Meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / monomer represented by formula (x3-1) / N- Lohexylmaleimide, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / monomer represented by formula (x3-1) / N-cyclohexylmaleimide, (meth) acrylic acid / glycidyl Monomer / N-cyclohexylmaleimide represented by (meth) acrylate / formula (x3-1), (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or formula (II-1) Monomer / N-cyclohexylmaleimide, (meth) acrylic acid / 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / formula (x4-2) Monomer / N-cyclohexyl maleimide to be represented, (meth) acrylic acid / glycidyl (meth) acrylate / monomer / N-cyclohexyl maleimide represented by formula (x4-2), etc. may be mentioned. (Meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x3-2) Is represented by monomer / N-cyclohexylmaleimide, (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / formula (x3-1) Monomer / N-cyclohexylmaleimide and (meth) acrylic acid / [monomer represented by formula (I-1) and / or monomer represented by formula (II-1)] / monomer represented by formula (x4-2) / N-cyclohexylmaleimide is preferred.

수지(A)의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 3,000∼100,000이고, 보다 바람직하게는 5,000∼50,000이며, 더욱 바람직하게는 5,000∼20,000이다. 수지(A)의 중량 평균 분자량이 상기한 범위 내에 있으면, 감광성 수지 조성물의 도포성이 양호해지는 경향이 있다.The weight average molecular weight of polystyrene conversion of resin (A) becomes like this. Preferably it is 3,000-100,000, More preferably, it is 5,000-50,000, More preferably, it is 5,000-20,000. When the weight average molecular weight of resin (A) exists in the said range, there exists a tendency for the applicability | paintability of the photosensitive resin composition to become favorable.

수지(A)의 분자량 분포[중량 평균 분자량(Mw)/수 평균 분자량(Mn)]는 바람직하게는 1.1∼6.0이고, 보다 바람직하게는 1.2∼4.0이다. 분자량 분포가 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴이나 경화막은 내약품성이 우수한 경향이 있다.The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of resin (A) becomes like this. Preferably it is 1.1-6.0, More preferably, it is 1.2-4.0. When molecular weight distribution exists in the said range, a resin pattern and a cured film tend to be excellent in chemical resistance.

수지(A)의 산가는 바람직하게는 30 mg-KOH/g 이상 180 mg-KOH/g 이하이고, 보다 바람직하게는 40 mg-KOH/g 이상 150 mg-KOH/g 이하이다. 여기서 산가는 수지 1 g을 중화시키기 위해서 필요한 수산화칼륨의 양(mg)으로서 측정되는 값이며, 수산화칼륨 수용액을 사용하여 적정(滴定)함으로써 구할 수 있다. 수지(A)의 산가가 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴 제작시의 현상성 및 수지 패턴이나 경화막은 기판과의 밀착성이 우수한 경향이 있다.The acid value of resin (A) becomes like this. Preferably it is 30 mg-KOH / g or more and 180 mg-KOH / g or less, More preferably, it is 40 mg-KOH / g or more and 150 mg-KOH / g or less. The acid value is a value measured as the amount of potassium hydroxide required to neutralize 1 g of the resin (mg), and can be obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution. When the acid value of resin (A) is in the said range, developability at the time of resin pattern preparation, a resin pattern, and a cured film tend to be excellent in adhesiveness with a board | substrate.

수지(A)의 함유량은 본 발명의 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여 바람직하게는 30∼90 질량%, 보다 바람직하게는 35∼80 질량%이며, 더욱 바람직하게는40∼70 질량%이다. 수지(A)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴이나 경화막의 내열성이 우수하고, 또한 기판과의 밀착성 및 내약품성이 우수한 경향이 있다. 여기서, 감광성 수지 조성물의 고형분이란, 본 발명의 감광성 수지 조성물의 총량에서 용제(E)의 함유량을 제외한 양을 말한다.Content of resin (A) becomes like this. Preferably it is 30-90 mass%, More preferably, it is 35-80 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition of this invention, More preferably, it is 40-70 mass%. When content of resin (A) exists in the said range, there exists a tendency which is excellent in the heat resistance of a resin pattern and a cured film, and excellent in adhesiveness with a board | substrate and chemical-resistance. Here, solid content of the photosensitive resin composition means the quantity remove | excluding content of a solvent (E) from the total amount of the photosensitive resin composition of this invention.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 수지(A)와는 상이한 수지를 포함하고 있어도 좋다. 수지(A)와는 상이한 수지로서는, 예컨대The photosensitive resin composition of this invention may contain resin different from resin (A). As resin different from resin (A), for example,

수지 [K1']: (a)에 유래하는 구조 단위와 (b)에 유래하는 구조 단위로 이루어진 공중합체;Resin [K1 ']: A copolymer consisting of a structural unit derived from (a) and a structural unit derived from (b);

수지 [K2']: (a)에 유래하는 구조 단위와 (b)에 유래하는 구조 단위와 (c)에 유래하는 구조 단위로 이루어진 공중합체;Resin [K2 ']: A copolymer consisting of a structural unit derived from (a), a structural unit derived from (b), and a structural unit derived from (c);

수지 [K3]: (a)에 유래하는 구조 단위와 (c)에 유래하는 구조 단위로 이루어진 공중합체Resin [K3]: A copolymer consisting of a structural unit derived from (a) and a structural unit derived from (c)

를 들 수 있다.Can be mentioned.

<중합성 화합물(B)><Polymeric Compound (B)>

중합성 화합물(B)은, 중합 개시제(C)로부터 발생한 활성 라디칼에 의해 중합할 수 있는 화합물로서, 예컨대, 중합성의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물 등 이며, 바람직하게는 (메트)아크릴산에스테르 화합물이다.A polymerizable compound (B) is a compound which can superpose | polymerize with the active radical which generate | occur | produced from the polymerization initiator (C), For example, it is a compound etc. which have a polymerizable ethylenically unsaturated bond, Preferably it is a (meth) acrylic acid ester compound. .

에틸렌성 불포화 결합을 1개 갖는 중합성 화합물(B)로서는 상기 (a), (b) 및 (c)로서 든 화합물과 같은 것을 들 수 있고, 그 중에서도 (메트)아크릴산에스테르류가 바람직하다.As a polymeric compound (B) which has one ethylenically unsaturated bond, the same thing as the compound mentioned as said (a), (b), and (c) is mentioned, Especially, (meth) acrylic acid ester is preferable.

에틸렌성 불포화 결합을 2개 갖는 중합성 화합물로서는, 1,3-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 1,3-부탄디올(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 비스페놀 A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 에톡시화비스페놀 A 디(메트)아크릴레이트, 프로폭시화네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 에톡시화네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 3-메틸펜탄디올디(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound having two ethylenically unsaturated bonds include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol (meth) acrylate, 1,6-hexanedioldi (meth) acrylate, and ethylene Glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol Diacrylate, bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated neopentylglycol di (meth) acrylate, ethoxylated neopentylglycol di (meth) Acrylate, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

에틸렌성 불포화 결합을 3개 이상 갖는 중합성 화합물로서는, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트, 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메트)아크릴레이트, 에톡시화트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 프로폭시화트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리스리톨헵타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리스리톨옥타(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 트리펜타에리스리톨헵타(메트)아크릴레이트와 산무수물 카프로락톤 변성 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨헵타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨옥타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 카프로락톤 변성 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산무수물과의 반응물, 카프로락톤 변성 트리펜타에리스리톨헵타(메트)아크릴레이트와 산무수물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound having three or more ethylenically unsaturated bonds include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylic. Ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritolhepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (Meth) acrylate, reactant of pentaerythritol tri (meth) acrylate with acid anhydride, di Reaction product of taerythritol penta (meth) acrylate with acid anhydride, tripentaerythritolhepta (meth) acrylate and acid anhydride caprolactone modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tri (meth) acrylic acid Latex, caprolactone modified tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate, capro Lactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol penta (meth) acrylate, caprolactone-modified tripentaerythritol hexa (meth) acrylate Caprolactone-modified tripentaerythritolhepta (meth) a Relate, Caprolactone-modified tripentaerythritol octa (meth) acrylate, Caprolactone-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate and reactants of acid anhydride, Caprolactone-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride And reactant, caprolactone-modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, acid anhydride, and the like.

그 중에서도 에틸렌성 불포화 결합을 3개 이상 갖는 중합성 화합물이 바람직하고, 디펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트가 보다 바람직하다.Especially, the polymeric compound which has three or more ethylenically unsaturated bonds is preferable, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate is more preferable.

또한, 중합성 화합물(C)의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 150 이상 2,900 이하, 보다 바람직하게는 250∼1,500 이하이다.The weight average molecular weight of the polymerizable compound (C) is preferably 150 or more and 2,900 or less, and more preferably 250 to 1,500 or less.

중합성 화합물(B)의 함유량은 수지(A) 및 중합성 화합물(B)의 합계량에 대하여 바람직하게는 5∼95 질량%, 보다 바람직하게는 20∼80 질량%이다. 중합성 화합물(B)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴 제작시의 감도나, 얻어지는 수지 패턴이나 경화막의 강도, 평활성 및 신뢰성이 양호해지는 경향이 있다.Content of a polymeric compound (B) becomes like this. Preferably it is 5-95 mass%, More preferably, it is 20-80 mass% with respect to the total amount of resin (A) and a polymeric compound (B). When content of a polymeric compound (B) exists in the said range, there exists a tendency for the sensitivity at the time of resin pattern preparation, the intensity | strength, smoothness, and reliability of the resin pattern and cured film obtained to become favorable.

<중합 개시제(C)><Polymerization Initiator (C)>

중합 개시제(C)는 빛이나 열의 작용에 의해 활성 라디칼, 산 등을 발생시키고, 중합을 개시할 수 있는 화합물이라면 특별히 한정되지 않으며, 공지된 중합 개시제를 사용할 수 있다.The polymerization initiator (C) is not particularly limited as long as it is a compound capable of generating an active radical, an acid, or the like by the action of light or heat and can initiate polymerization, and a known polymerization initiator can be used.

중합 개시제(C)로서는 예컨대 알킬페논 화합물, 트리아진 화합물, 아실포스핀옥사이드 화합물, O-아실옥심 화합물 및 비이미다졸 화합물을 들 수 있다.Examples of the polymerization initiator (C) include alkylphenone compounds, triazine compounds, acylphosphine oxide compounds, O-acyl oxime compounds, and biimidazole compounds.

상기 O-아실옥심 화합물은 하기 화학식 (d1)로 표시되는 부분 구조를 갖는 화합물이다. 이하, *는 결합수를 나타낸다.The O-acyl oxime compound is a compound having a partial structure represented by the following general formula (d1). Hereinafter, * represents a bond number.

Figure 112013008397645-pat00010
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상기 O-아실옥심 화합물로서는 예컨대 N-벤조일옥시-1-(4-페닐술파닐페닐)부탄-1-온-2-이민, N-벤조일옥시-1-(4-페닐술파닐페닐)옥탄-1-온-2-이민, N-벤조일옥시-1-(4-페닐술파닐페닐)-3-시클로펜틸프로판-1-온-2-이민, N-아세톡시-1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]에탄-1-이민, N-아세톡시-1-[9-에틸-6-{2-메틸-4-(3,3-디메틸-2,4-디옥사시클로펜타닐메틸옥시)벤조일}-9H-카르바졸-3-일]에탄-1-이민, N-아세톡시-1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-3-시클로펜틸프로판-1-이민, N-벤조일옥시-1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-3-시클로펜틸프로판-1-온-2-이민 등을 들 수 있다. 일가큐어(등록상표) OXE01, OXE02(이상, BASF사 제조), N-1919(ADEKA사 제조) 등의 시판품을 사용하여도 좋다.Examples of the O-acyl oxime compound include N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine and N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane- 1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) -3-cyclopentylpropane-1-one-2-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl- 6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (3,3- Dimethyl-2,4-dioxacyclopentanylmethyloxy) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl ) -9H-carbazol-3-yl] -3-cyclopentylpropane-1-imine, N-benzoyloxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3- And the like] -3-cyclopentylpropane-1-one-2-imine. You may use commercially available products, such as Ilgacure (registered trademark) OXE01, OXE02 (above BASF Corporation make), and N-1919 (ADEKA Corporation make).

상기 알킬페논 화합물은 하기 화학식 (d2)로 표시되는 부분 구조 또는 화학식 (d3)으로 표시되는 부분 구조를 갖는 화합물이다. 이들 부분 구조 중, 벤젠고리는 치환기를 갖고 있어도 좋다.The alkylphenone compound is a compound having a partial structure represented by the following general formula (d2) or a partial structure represented by the general formula (d3). In these partial structures, the benzene ring may have a substituent.

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화학식 (d2)로 표시되는 부분 구조를 갖는 화합물로서는 예컨대 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸술파닐페닐)프로판-1-온, 2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-2-벤질부탄-1-온, 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]부탄-1-온 등을 들 수 있다. 일가큐어(등록상표) 369, 907 및 379(이상, BASF사 제조) 등의 시판품을 사용하여도 좋다. 또한, JP2002-544205-A에 기재되어 있는 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 중합 개시제를 사용하여도 좋다.Examples of the compound having a partial structure represented by the formula (d2) include 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one and 2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -2-benzylbutan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] butane-1 -On etc. can be mentioned. You may use commercially available products, such as Ilgacure (trademark) 369, 907, and 379 (above, BASF Corporation make). In addition, a polymerization initiator having a group capable of causing chain transfer described in JP2002-544205-A may be used.

화학식 (d3)으로 표시되는 부분 구조를 갖는 화합물로서는 예컨대 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-(4-이소프로페닐페닐)프로판-1-온의 올리고머, α,α-디에톡시아세토페논, 벤질디메틸케탈 등을 들 수 있다.Examples of the compound having a partial structure represented by the general formula (d3) include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one and 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxy Oligomers of hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-isopropenylphenyl) propan-1-one, α, (alpha)-diethoxy acetophenone, benzyl dimethyl ketal, etc. are mentioned.

감도의 점에서, 알킬페논 화합물로서는 화학식 (d2)로 표시되는 부분 구조를 갖는 화합물이 바람직하다.In terms of sensitivity, as the alkylphenone compound, a compound having a partial structure represented by the general formula (d2) is preferable.

상기 트리아진 화합물로서는 예컨대 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloro Rhomethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) Ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl)- 6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like.

상기 아실포스핀옥사이드 화합물로서는 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드 등을 들 수 있다. 일가큐어(등록상표) 819(BASF사 제조) 등의 시판품을 사용하여도 좋다.2,4,6-trimethylbenzoyl diphenyl phosphine oxide etc. are mentioned as said acylphosphine oxide compound. You may use a commercial item, such as Ilgacure (trademark) 819 (made by BASF Corporation).

상기 비이미다졸 화합물로서는 예컨대 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸(예컨대, JPH06-75372-A, JPH06-75373-A 등 참조), 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(디알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸(예컨대, JPS48-38403-B, JPS62-174204-A 등 참조), 4,4'5,5'-위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물(예컨대, JP7-10913호-A 등 참조) 등을 들 수 있다.Examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole and 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see eg JPH06-75372-A, JPH06-75373-A, etc.), 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'- Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5 ' -Tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole (see, eg, JPS48-38403-B, JPS62-174204-A, etc.), the phenyl group at the 4,4'5,5'-position already substituted by a carboalkoxy group And a dazole compound (see, for example, JP 7-10913-A and the like).

또한, 중합 개시제로서는 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등의 벤조인 화합물; 벤조페논, o-벤조일안식향산메틸, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐술파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등의 벤조페논 화합물; 9,10-페난트렌퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 캄파퀴논 등의 퀴논 화합물; 10-부틸-2-클로로아크리돈, 벤질, 페닐글리옥실산메틸, 티타노센 화합물 등을 들 수 있다. 이들은, 후술하는 중합 개시 조제(C1)(특히 아민류)와 조합하여 사용하는 것이 바람직하다.Moreover, as a polymerization initiator, Benzoin compounds, such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether; Benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone Benzophenone compounds such as 2,4,6-trimethylbenzophenone; Quinone compounds such as 9,10-phenanthrenequinone, 2-ethylanthraquinone and camphor quinone; 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound, etc. are mentioned. It is preferable to use these in combination with the polymerization start adjuvant (C1) (especially amines) mentioned later.

산발생제로는 예컨대 4-히드록시페닐디메틸술포늄 p-톨루엔술포네이트, 4-히드록시페닐디메틸술포늄헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 p-톨루엔술포네이트, 4-아세톡시페닐ㆍ메틸ㆍ벤질술포늄헥사플루오로안티모네이트, 트리페닐술포늄 p-톨루엔술포네이트, 트리페닐술포늄헥사플루오로안티모네이트, 디페닐요오드늄 p-톨루엔술포네이트, 디페닐요오드늄헥사플루오로안티모네이트 등의 오늄염류나, 니트로벤질토실레이트류, 벤조인토실레이트류 등을 들 수 있다.As the acid generator, for example, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4- Acetoxyphenylmethylbenzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodium p-toluenesulfonate, diphenyliodine Onium salts such as nium hexafluoro antimonate, nitrobenzyl tosylates, benzointosylates and the like.

중합 개시제(C)로서는 알킬페논 화합물, 트리아진 화합물, 아실포스핀옥사이드 화합물, O-아실옥심 화합물 및 비이미다졸 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 중합 개시제가 바람직하고, 비이미다졸 화합물을 포함하는 중합 개시제가 보다 바람직하다. 이들 중합 개시제라면, 고감도이며, 또한 가시광 영역에 있어서의 투과율이 높아지는 경향이 있다.As a polymerization initiator (C), the polymerization initiator containing 1 or more types chosen from the group which consists of an alkyl phenone compound, a triazine compound, an acyl phosphine oxide compound, an O-acyl oxime compound, and a biimidazole compound is preferable, The polymerization initiator containing a diazole compound is more preferable. If it is these polymerization initiators, it is highly sensitive and there exists a tendency for the transmittance | permeability in a visible light region to become high.

중합 개시제(C)의 함유량은, 수지(A)와 중합성 화합물(B)의 합계 함유량 100 질량부에 대하여 바람직하게는 0.1∼30 질량부이고, 보다 바람직하게는 0.5∼15 질량부이며, 더욱 바람직하게는 1∼8 질량부이다. 중합 개시제(C)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 고감도화하여 노광 시간이 단축되는 경향이 있기 때문에 생산성이 향상되고, 또한, 얻어지는 수지 패턴의 가시광 투과율이 높은 경향이 있다.Content of a polymerization initiator (C) becomes like this. Preferably it is 0.1-30 mass parts with respect to 100 mass parts of total content of resin (A) and a polymeric compound (B), More preferably, it is 0.5-15 mass parts, Preferably it is 1-8 mass parts. When content of a polymerization initiator (C) exists in the said range, since it exists in the tendency to become high sensitivity and shorten an exposure time, productivity improves and there exists a tendency for the visible light transmittance of the resin pattern obtained to be high.

<중합 개시 조제(C1)><Polymerization start preparation (C1)>

중합 개시 조제(C1)는 중합 개시제(C)와 함께 사용되며, 중합 개시제(C)에 의해 중합이 개시된 화합물[예컨대, 중합성 화합물(B)]의 중합을 촉진시키기 위해서 사용되는 화합물 혹은 증감제이다.The polymerization initiation assistant (C1) is used together with the polymerization initiator (C) and is a compound or sensitizer used to promote the polymerization of a compound (eg, a polymerizable compound (B)) in which polymerization is initiated by the polymerization initiator (C). to be.

중합 개시 조제(C1)로서는 예컨대 티아졸린 화합물, 아민 화합물, 알콕시안트라센 화합물, 티오크산톤 화합물 및 카르복실산 화합물을 들 수 있다.As a polymerization start adjuvant (C1), a thiazoline compound, an amine compound, an alkoxy anthracene compound, a thioxanthone compound, and a carboxylic acid compound are mentioned, for example.

상기 티아졸린 화합물로서는 하기 화학식 (III-1)∼화학식 (III-3)으로 표시되는 화합물, JP2008-65319-A에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the thiazolin compound include compounds represented by the following general formulas (III-1) to (III-3), compounds described in JP2008-65319-A, and the like.

Figure 112013008397645-pat00012
Figure 112013008397645-pat00012

상기 아민 화합물로서는, 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민, 4-디메틸아미노안식향산메틸, 4-디메틸아미노안식향산에틸, 4-디메틸아미노안식향산이소아밀, 안식향산2-디메틸아미노에틸, 4-디메틸아미노안식향산2-에틸헥실, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논(통칭 미힐러케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(에틸메틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있고, 그 중에서도 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하다. EAB-F[호도가야카가쿠고교(주) 제조] 등의 시판품을 사용하여도 좋다.Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, and 4-dimethyl Aminobenzoic acid 2-ethylhexyl, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (collectively Michler's ketone), 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4, 4'-bis (ethylmethylamino) benzophenone etc. are mentioned, Especially, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable. You may use a commercial item, such as EAB-F (made by Hodogaya Kagaku Kogyo Co., Ltd.).

상기 알콕시안트라센 화합물로서는, 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센, 9,10-디부톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디부톡시안트라센 등을 들 수 있다.Examples of the alkoxy anthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, 9,10- Dibutoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10- dibutoxy anthracene, etc. are mentioned.

상기 티오크산톤 화합물로서는, 2-이소프로필티오크산톤, 4-이소프로필티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디클로로티오크산톤, 1-클로로-4-프로폭시티오크산톤 등을 들 수 있다.As said thioxanthone compound, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- dichloro thioxanthone, 1-chloro-4- propoxide Citioxanthone etc. are mentioned.

상기 카르복실산 화합물로서는, 페닐술파닐아세트산, 메틸페닐술파닐아세트산, 에틸페닐술파닐아세트산, 메틸에틸페닐술파닐아세트산, 디메틸페닐술파닐아세트산, 메톡시페닐술파닐아세트산, 디메톡시페닐술파닐아세트산, 클로로페닐술파닐아세트산, 디클로로페닐술파닐아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신, 나프톡시아세트산 등을 들 수 있다.Examples of the carboxylic acid compound include phenylsulfanyl acetic acid, methylphenylsulfanyl acetic acid, ethylphenylsulfanyl acetic acid, methylethylphenylsulfanyl acetic acid, dimethylphenylsulfanyl acetic acid, methoxyphenylsulfanyl acetic acid, dimethoxyphenylsulfanyl acetic acid, Chlorophenylsulfanyl acetic acid, dichlorophenylsulfanyl acetic acid, N-phenylglycine, phenoxy acetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthyl glycine, naphthoxy acetic acid, and the like.

본 발명의 감광성 수지 조성물이 중합 개시 조제(C1)를 포함하는 경우, 그 함유량은, 수지(A)와 중합성 화합물(B)의 합계 함유량 100 질량부에 대하여 바람직하게는 0.1∼30 질량부, 보다 바람직하게는 0.2∼10 질량부이다. 중합 개시 조제(C1)의 양이 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴을 형성할 때, 더욱 고감도가 되는 경향이 있다.When the photosensitive resin composition of this invention contains a polymerization start adjuvant (C1), the content becomes like this. Preferably it is 0.1-30 mass parts with respect to 100 mass parts of total content of resin (A) and a polymeric compound (B), More preferably, it is 0.2-10 mass parts. When the amount of the polymerization initiation assistant (C1) is within the above-described range, there is a tendency to become more sensitive when forming a resin pattern.

<티올 화합물(T)><Thiol compound (T)>

티올 화합물(T)은 분자 내에 술파닐기(-SH)를 갖는 화합물이다.Thiol compound (T) is a compound which has a sulfanyl group (-SH) in a molecule | numerator.

그 중에서도 술파닐기를 2개 이상 갖는 화합물이 바람직하고, 지방족 탄화수소 구조의 탄소 원자와 결합하는 술파닐기를 2개 이상 갖는 화합물이 보다 바람직하다. 티올 화합물(T)은 중합 개시제(D)와 함께 사용하는 것이 바람직하다.Especially, the compound which has two or more sulfanyl groups is preferable, and the compound which has two or more sulfanyl groups couple | bonded with the carbon atom of an aliphatic hydrocarbon structure is more preferable. It is preferable to use a thiol compound (T) with a polymerization initiator (D).

티올 화합물(T)로서는 예컨대 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-비스(메틸술파닐)벤젠, 부탄디올비스(3-술파닐프로피오네이트), 부탄디올비스(3-술파닐아세테이트), 에틸렌글리콜비스(3-술파닐아세테이트), 트리메틸올프로판트리스(3-술파닐아세테이트), 부탄디올비스(3-술파닐프로피오네이트), 트리메틸올프로판트리스(3-술파닐프로피오네이트), 트리메틸올프로판트리스(3-술파닐아세테이트), 펜타에리스리톨테트라키스(3-술파닐프로피오네이트), 펜타에리스리톨테트라키스(3-술파닐아세테이트), 트리스히드록시에틸트리스(3-술파닐프로피오네이트), 펜타에리스리톨테트라키스(3-술파닐부틸레이트), 1,4-비스(3-술파닐부틸옥시)부탄 등을 들 수 있다.Examples of the thiol compound (T) include hexanedithiol, decandithiol, 1,4-bis (methylsulfanyl) benzene, butanediolbis (3-sulfanylpropionate), butanediolbis (3-sulfanyl acetate), and ethylene. Glycolbis (3-Sulfanyl Acetate), Trimethylol Propane Tris (3-Sulfanyl Acetate), Butanediol Bis (3-Sulfanyl Propionate), Trimethylol Propane Tris (3-Sulfanyl Propionate), Trimethylol Propane tris (3-sulfanyl acetate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylpropionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl acetate), trishydroxyethyltris (3-sulfanylpropionate) And pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylbutylate), 1,4-bis (3-sulfanylbutyloxy) butane and the like.

본 발명의 감광성 수지 조성물이 티올 화합물(T)을 포함하는 경우, 그 함유량은, 중합 개시제(C)의 함유량 100 질량부에 대하여 바람직하게는 10∼90 질량부, 보다 바람직하게는 15∼70 질량부이다. 티올 화합물(T)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 감도가 높아지고, 또한 현상성이 양호해지는 경향이 있다.When the photosensitive resin composition of this invention contains a thiol compound (T), the content becomes like this. Preferably it is 10-90 mass parts with respect to 100 mass parts of content of a polymerization initiator (C), More preferably, it is 15-70 mass It is wealth. When content of a thiol compound (T) exists in the said range, there exists a tendency for a sensitivity to become high and developability becomes favorable.

<산화방지제(F)>Antioxidant (F)

산화방지제(F)로서는 예컨대 페놀계 산화방지제, 황계 산화방지제, 인계 산화방지제 및 아민계 산화방지제를 들 수 있다. 그 중에서도 경화막의 착색이 적다고 하는 점에서 페놀계 산화방지제가 바람직하다.Examples of the antioxidant (F) include phenolic antioxidants, sulfur antioxidants, phosphorus antioxidants and amine antioxidants. Especially, since a coloring of a cured film is few, a phenolic antioxidant is preferable.

페놀계 산화방지제로서는 예컨대 2-tert-부틸-6-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸벤질)-4-메틸페닐아크릴레이트, 2-[1-(2-히드록시-3,5-디-tert-펜틸페닐)에틸]-4,6-디-tert-펜틸페닐아크릴레이트, 3,9-비스[2-{3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페닐)프로피오닐옥시}-1,1-디메틸에틸]-2,4,8,10-테트라옥사스피로[5.5]운데칸, 2,2'-메틸렌비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 4,4'-부틸리덴비스(6-tert-부틸-3-메틸페놀), 4,4'-티오비스(2-tert-부틸-5-메틸페놀), 2,2'-티오비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 1,3,5-트리스(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시벤질)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 3,3',3",5,5',5"-헥사-tert-부틸-a,a',a"-(메시틸렌-2,4,6-트리일)트리-p-크레졸, 펜타에리스리톨테트라키스[3-(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트], 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀, 6-[3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페닐)프로폭시]-2,4,8,10-테트라-tert-부틸디벤즈[d,f][1,3,2]디옥사포스페핀 등을 들 수 있다.As the phenolic antioxidant, for example, 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate, 2- [1- (2-hydroxy-3 , 5-di-tert-pentylphenyl) ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenylacrylate, 3,9-bis [2- {3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5 -Methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2'-methylenebis (6-tert-butyl-4-methyl Phenol), 4,4'-butylidenebis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 4,4'-thiobis (2-tert-butyl-5-methylphenol), 2,2'- Thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine-2 , 4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 3,3 ', 3 ", 5,5', 5" -hexa-tert-butyl-a, a ', a "-(mesitylene-2 , 4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2,6-di-tert -Butyl-4-methylphenol, 6- [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy ] -2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphine and the like.

상기 페놀계 산화방지제로서는 시판품을 사용하여도 좋다. 시판되고 있는 페놀계 산화방지제로서는 예컨대 스미라이저(등록상표) BHT, GM, GS, GP[이상, 전부 스미토모카가쿠(주) 제조], 일가녹스(등록상표) 1010, 1076, 1330, 3114(이상, 전부 BASF사 제조) 등을 들 수 있다.You may use a commercial item as said phenolic antioxidant. Commercially available phenolic antioxidants include, for example, Sumerizer (registered trademark) BHT, GM, GS, GP (all manufactured by Sumitomo Kagaku Co., Ltd.), Ilganox (registered trademark) 1010, 1076, 1330, 3114 (more than And BASF Co., Ltd.).

황계 산화방지제로서는 예컨대 디라우릴3,3'-티오디프로피오네이트, 디미리스틸3,3'-티오디프로피오네이트, 디스테아릴3,3'-티오디프로피오네이트, 펜타에리스리틸테트라키스(3-라우릴티오프로피오네이트) 등을 들 수 있다. 상기 황계 산화방지제로서는 시판품을 사용하여도 좋다. 시판되고 있는 황계 산화방지제로서는 예컨대 스미라이저(등록상표) TPL-R, TP-D[이상, 전부 스미토모카가쿠(주) 제조] 등을 들 수 있다.Examples of sulfur-based antioxidants include dilauryl 3,3'-thiodipropionate, dimyristyl 3,3'-thiodipropionate, distearyl 3,3'-thiodipropionate and pentaerythritol tetra Kiss (3-lauryl thio propionate) etc. are mentioned. You may use a commercial item as said sulfur type antioxidant. Commercially available sulfur-based antioxidants include, for example, Sumerizer (TM) TPL-R, TP-D (all of which are manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) and the like.

인계 산화방지제로서는 예컨대 트리옥틸포스파이트, 트리라우릴포스파이트, 트리데실포스파이트, 트리스(노닐페닐)포스파이트, 디스테아릴펜타에리스리톨디포스파이트, 테트라(트리데실)-1,1,3-트리스(2-메틸-5-tert-부틸-4-히드록시페닐)부탄디포스파이트 등을 들 수 있다. 상기 인계 산화방지제로서는 시판품을 사용하여도 좋다. 시판되고 있는 인계 산화방지제로서는 예컨대 일가포스(등록상표) 168, 12, 38(이상, 전부 BASF사 제조), 아데카스타브 329K, 아데카스타브 PEP36(이상, 전부 ADEKA 제조) 등을 들 수 있다.Examples of phosphorus antioxidants include trioctyl phosphite, trilauryl phosphite, tridecyl phosphite, tris (nonylphenyl) phosphite, distearylpentaerythritol diphosphite, tetra (tridecyl) -1,1,3-tris (2-methyl-5-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) butanediphosphite etc. are mentioned. You may use a commercial item as said phosphorus antioxidant. Commercially available phosphorus antioxidants include, for example, Ilgafos (registered trademark) 168, 12, 38 (all manufactured by BASF Corporation), Adecastab 329K, Adecastab PEP36 (all manufactured by ADEKA), and the like.

아민계 산화방지제로서는 예컨대 N,N'-디-sec-부틸-p-페닐렌디아민, N,N'-디-이소프로필-p-페닐렌디아민, N,N'-디시클로헥실-p-페닐렌디아민, N,N'-디페닐-p-페닐렌디아민, N,N'-비스(2-나프틸)-p-페닐렌디아민 등을 들 수 있다. 상기 아민계 산화방지제로서는 시판품을 사용하여도 좋다. 시판되고 있는 아민계 산화방지제로서는 예컨대 스미라이저(등록상표) BPA, BPA-M1, 4ML[이상, 전부 스미토모카가쿠(주) 제조] 등을 들 수 있다.As the amine antioxidant, for example, N, N'-di-sec-butyl-p-phenylenediamine, N, N'-di-isopropyl-p-phenylenediamine, N, N'-dicyclohexyl-p- Phenylenediamine, N, N'- diphenyl-p-phenylenediamine, N, N'-bis (2-naphthyl) -p-phenylenediamine, etc. are mentioned. You may use a commercial item as said amine antioxidant. Commercially available amine antioxidants include, for example, Sumerizer (registered trademark) BPA, BPA-M1, 4ML (all manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) and the like.

본 발명의 경화성 수지 조성물이 산화방지제(F)를 포함하는 경우, 그 함유량은 수지(A)와 중합성 화합물(B)의 합계 함유량 100 질량부에 대하여 0.1 질량부 이상 5 질량부 이하가 바람직하고, 0.5 질량부 이상 3 질량부 이하가 보다 바람직하다. 산화방지제(F)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 수지 패턴이나 경화막의 내열성 및 연필 경도가 우수한 경향이 있다.When curable resin composition of this invention contains antioxidant (F), 0.1 mass part or more and 5 mass parts or less of the content are preferable with respect to 100 mass parts of total content of resin (A) and a polymeric compound (B), More preferably, 0.5 mass part or more and 3 mass parts or less are more preferable. When content of antioxidant (F) exists in the said range, there exists a tendency which is excellent in the heat resistance of a resin pattern and a cured film, and pencil hardness.

<계면활성제(H)><Surfactant (H)>

계면활성제(H)로서는 예컨대 실리콘계 계면활성제, 불소계 계면활성제, 불소 원자를 갖는 실리콘계 계면활성제 등을 들 수 있다.As surfactant (H), silicone type surfactant, a fluorine type surfactant, the silicone type surfactant which has a fluorine atom, etc. are mentioned, for example.

실리콘계 계면활성제로서는 실록산 결합을 갖는 계면활성제 등을 들 수 있다. 구체적으로는 도오레실리콘(상품명) DC3PA, 도오레실리콘 SH7PA, 도오레실리콘 DC11PA, 도오레실리콘 SH21PA, 도오레실리콘 SH28PA, 도오레실리콘 SH29PA, 도오레실리콘 SH30PA, 도오레실리콘 SH8400[도오레 다우코닝(주) 제조], KP321, KP322, KP323, KP324, KP326, KP340, KP341[신에츠카가쿠고교(주) 제조], TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452, TSF4460(모멘티브 퍼포먼스 머트리얼즈 재팬 고도가이샤 제조) 등을 들 수 있다.As silicone type surfactant, surfactant etc. which have a siloxane bond are mentioned. Specifically, doyle silicon (brand name) DC3PA, doyle silicon SH7PA, doyle silicon DC11PA, doyle silicon SH21PA, doyle silicon SH28PA, doyle silicon SH29PA, doyle silicon SH30PA, doyle silicon SH8400 [Doray silicon Do84 Corning] Co., Ltd.], KP321, KP322, KP323, KP324, KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsukagaku Kogyo Co., Ltd.), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452, TSF4460 ( Momentive Performance Materials Japan Co., Ltd.).

상기한 불소계 계면활성제로서는 플루오로카본쇄를 갖는 계면활성제 등을 들 수 있다. 구체적으로는 플루오라드(등록상표) FC430, 플루오라드 FC431[스미토모쓰리엠(주) 제조], 메가팩(등록상표) F142D, 메가팩 F171, 메가팩 F172, 메가팩 F173, 메가팩 F177, 메가팩 F183, 메가팩 F554, 메가팩 R30, 메가팩 RS-718-K[DIC(주) 제조], 에프톱(등록상표) EF301, 에프톱 EF303, 에프톱 EF351, 에프톱 EF352[미쓰비시 머트리얼 덴시카세이(주) 제조], 서프론(등록상표) S381, 서프론 S382,서프론 SC101, 서프론 SC105[아사히가라스(주) 제조], E5844[(주)다이킨파인케미컬 겐큐쇼 제조] 등을 들 수 있다.As said fluorine-type surfactant, surfactant etc. which have a fluorocarbon chain | strand are mentioned. Specifically, Fluorade (registered trademark) FC430, Fluoride FC431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Mega Pack (registered trademark) F142D, Mega Pack F171, Mega Pack F172, Mega Pack F173, Mega Pack F177, Mega Pack F183 , Megapack F554, Megapack R30, Megapack RS-718-K (manufactured by DIC Corporation), FTop® EF301, Ftop EF303, Ftop EF351, Ftop EF352 [Mitsubishi Material Denshi Kasei Ltd.], Supron (registered trademark) S381, Supron S382, Supron SC101, Supron SC105 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), E5844 (manufactured by Daikin Fine Chemical Co., Ltd.) Can be mentioned.

상기한 불소 원자를 갖는 실리콘계 계면활성제로서는 실록산 결합 및 플루오로카본쇄를 갖는 계면활성제 등을 들 수 있다. 구체적으로는 메가팩(등록상표) R08, 메가팩 BL20, 메가팩 F475, 메가팩 F477, 메가팩 F443[DIC(주) 제조] 등을 들 수 있다.As silicone type surfactant which has the said fluorine atom, surfactant etc. which have a siloxane bond and a fluorocarbon chain | strand are mentioned. Specifically, Mega Pack (R) R08, Mega Pack BL20, Mega Pack F475, Mega Pack F477, Mega Pack F443 (manufactured by DIC Corporation), and the like.

본 발명의 감광성 수지 조성물이 계면활성제(H)를 포함하는 경우, 그 함유량은 본 발명의 감광성 수지 조성물의 총량에 대하여 0.001 질량% 이상 0.2 질량% 이하이며, 바람직하게는 0.002 질량% 이상 0.1 질량% 이하, 보다 바람직하게는 0.01 질량% 이상 0.05 질량% 이하이다. 계면활성제(H)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 조성물층의 평탄성을 향상시킬 수 있기 때문에, 수지 패턴에서는 높이 편차가 작아지고, 경화막에서는 평탄성이 높아지는 경향이 있다.When the photosensitive resin composition of this invention contains surfactant (H), the content is 0.001 mass% or more and 0.2 mass% or less with respect to the total amount of the photosensitive resin composition of this invention, Preferably it is 0.002 mass% or more and 0.1 mass% Hereinafter, More preferably, they are 0.01 mass% or more and 0.05 mass% or less. When content of surfactant (H) exists in the said range, since the flatness of a composition layer can be improved, height deviation becomes small in a resin pattern, and flatness tends to become high in a cured film.

<용제(E)><Solvent (E)>

용제(E)는 특별히 한정되지 않고, 해당 분야에서 통상 사용되는 용제를 이용할 수 있다. 예컨대, 에스테르 용제(분자 내에 -COO-를 포함하고, -O-를 포함하지 않는 용제), 에테르 용제(분자 내에 -O-를 포함하고, -COO-를 포함하지 않는 용제), 에테르에스테르 용제(분자 내에 -COO-와 -O-를 포함하는 용제), 케톤 용제(분자 내에 -CO-를 포함하고, -COO-를 포함하지 않는 용제), 알코올 용제(분자 내에 OH를 포함하고, -O-, -CO- 및 -COO-를 포함하지 않는 용제), 방향족 탄화수소 용제, 아미드 용제, 디메틸술폭시드 등 중에서 선택하여 사용할 수 있다.Solvent (E) is not specifically limited, The solvent normally used in the said field | area can be used. For example, an ester solvent (solvent containing -COO- in a molecule and no -O-), an ether solvent (solvent containing -O- in a molecule and not containing -COO-), an ether ester solvent ( A solvent containing -COO- and -O- in a molecule, a ketone solvent (a solvent containing -CO- in a molecule and no -COO-), an alcoholic solvent (containing OH in a molecule, -O- , -CO- and -COO- free solvents), aromatic hydrocarbon solvents, amide solvents, dimethyl sulfoxide and the like can be used.

에스테르 용제로서는, 젖산메틸, 젖산에틸, 젖산부틸, 2-히드록시이소부탄산메틸, 아세트산에틸, 아세트산 n-부틸, 아세트산이소부틸, 포름산펜틸, 아세트산이소펜틸, 프로피온산부틸, 부티르산이소프로필, 부티르산에틸, 부티르산부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 시클로헥산올아세테이트, γ-부티로락톤 등을 들 수 있다.As the ester solvent, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutyrate, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, pentyl formate, isopentyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, Butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, cyclohexanol acetate, γ-butyrolactone and the like.

에테르 용제로서는, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르, 3-메톡시-1-부탄올, 3-메톡시-3-메틸부탄올, 테트라히드로푸란, 테트라히드로피란, 1,4-디옥산, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 아니솔, 페네톨, 메틸아니솔 등을 들 수 있다.As the ether solvent, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene Glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutanol, tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, anisole, phentol, methyl anisole Etc. can be mentioned.

에테르에스테르 용제로서는, 메톡시아세트산메틸, 메톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 등을 들 수 있다.As the ether ester solvent, methyl methoxy acetate, ethyl methoxy acetate, methoxy acetate, methyl ethoxy acetate, ethyl ethoxy acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate and methyl 3-ethoxypropionate , Ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, 2-methoxy-2- Methyl methyl propionate, 2-ethoxy-2-methyl propionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol mono Propyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate Bit, di, and the like ethylene glycol monobutyl ether acetate.

케톤 용제로서는, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 아세톤, 2-부타논, 2-헵타논, 3-헵타논, 4-헵타논, 4-메틸-2-펜타논, 시클로펜타논, 시클로헥사논, 이소포론 등을 들 수 있다.As the ketone solvent, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclo Pentanone, cyclohexanone, isophorone, etc. are mentioned.

알코올 용제로서는, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 글리세린 등을 들 수 있다.Examples of the alcohol solvent include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, and the like.

방향족 탄화수소 용제로서는, 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 메시틸렌 등을 들 수 있다.As an aromatic hydrocarbon solvent, benzene, toluene, xylene, mesitylene, etc. are mentioned.

아미드 용제로서는, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등을 들 수 있다.Examples of the amide solvents include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, and the like.

상기한 용제 중, 도포성, 건조성의 점에서 1 atm에 있어서의 비점이 120℃ 이상 180℃ 이하인 유기 용제가 바람직하다. 그 중에서도 상기 유기 용제로서는 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 3-메톡시부틸아세테이트 및 3-메톡시-1-부탄올이 바람직하다. 용제(E)는 이들을 포함하는 혼합 용제가 바람직하다.Among the solvents described above, organic solvents having a boiling point of 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower at 1 atm are preferable in view of coatability and dryness. Especially, as said organic solvent, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol methyl ethyl ether, 3-methoxy butyl acetate, and 3-methoxy- 1-butanol are preferable. The solvent (E) is preferably a mixed solvent containing these.

용제(E)의 함유량은 본 발명의 감광성 수지 조성물의 총량에 대하여 바람직하게는 60∼95 질량%이며, 보다 바람직하게는 70∼95 질량%이다. 다시 말하면, 본 발명의 감광성 수지 조성물의 고형분은 바람직하게는 5∼40 질량%이며, 보다 바람직하게는 5∼30 질량%이다. 용제(E)의 함유량이 상기한 범위 내에 있으면, 본 발명의 감광성 수지 조성물로 형성되는 조성물층의 평탄성이 높은 경향이 있기 때문에, 수지 패턴에서는 높이 편차가 작아지고, 경화막에서는 평탄성이 높아지는 경향이 있다.Content of a solvent (E) becomes like this. Preferably it is 60-95 mass% with respect to the total amount of the photosensitive resin composition of this invention, More preferably, it is 70-95 mass%. In other words, solid content of the photosensitive resin composition of this invention becomes like this. Preferably it is 5-40 mass%, More preferably, it is 5-30 mass%. When content of a solvent (E) exists in the said range, since the flatness of the composition layer formed from the photosensitive resin composition of this invention tends to be high, height deviation becomes small in a resin pattern, and flatness tends to become high in a cured film. have.

<그 밖의 성분><Other ingredients>

본 발명의 감광성 수지 조성물에는 필요에 따라 충전제, 그 밖의 고분자 화합물, 열라디칼 발생제, 자외선흡수제, 연쇄이동제, 밀착촉진제 등, 해당 기술분야에 있어서 공지된 첨가제를 함유하고 있어도 좋다.The photosensitive resin composition of this invention may contain additives known in the said technical field, such as a filler, another high molecular compound, a thermal radical generating agent, a ultraviolet absorber, a chain transfer agent, and an adhesion promoter, as needed.

충전제로서는 유리, 실리카, 알루미나 등을 들 수 있다.Glass, silica, alumina, etc. are mentioned as a filler.

그 밖의 고분자 화합물로서, 말레이미드 수지 등의 열경화성 수지나 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등을 들 수 있다.As another high molecular compound, thermosetting resins, such as maleimide resin, thermoplastic resins, such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethyleneglycol monoalkyl ether, polyfluoroalkylacrylate, polyester, and polyurethane, etc. are mentioned.

열라디칼 발생제로서 구체적으로는 2,2'-아조비스(2-메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 등을 들 수 있다.Specific examples of the thermal radical generator include 2,2'-azobis (2-methylvaleronitrile), 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), and the like.

자외선흡수제로서 구체적으로는 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다.Specific examples of the ultraviolet absorbent include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone and the like.

연쇄이동제로서는 도데칸티올, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 등을 들 수 있다.Examples of the chain transfer agent include dodecanethiol, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, and the like.

밀착촉진제로서는 예컨대 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란, 3-술파닐프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디에톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디에톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of adhesion promoters include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, and 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane. , 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3 -Chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-sulfanylpropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatepropyltriethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldiethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltri Methoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxy Column, and 3-amino propyl triethoxysilane, N- phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N- phenyl-3-amino propyl silane in the tree.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 안료 및 염료 등의 착색제를 실질적으로 함유하지 않는다. 즉, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 조성물 전체에 대한 착색제의 함량은 예컨대 1 질량% 미만, 바람직하게는, 0.5 질량% 미만이다.The photosensitive resin composition of this invention does not contain coloring agents, such as a pigment and dye, substantially. That is, in the photosensitive resin composition of this invention, the content of the coloring agent with respect to the whole composition is for example less than 1 mass%, Preferably it is less than 0.5 mass%.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 광로 길이가 1 ㎝인 석영 셀에 충전하여, 분광 광도계를 사용하여, 측정 파장 400∼700 ㎚의 조건 하에서 투과율을 측정한 경우, 평균 투과율이 바람직하게는 70% 이상이며, 보다 바람직하게는 80% 이상이다.Moreover, when the photosensitive resin composition of this invention is filled into the quartz cell whose optical path length is 1 cm, and the transmittance | permeability was measured on the conditions of 400-700 nm of measurement wavelengths using the spectrophotometer, average transmittance becomes like this. It is% or more, More preferably, it is 80% or more.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 경화막으로 했을 때에, 경화막의 평균 투과율이 바람직하게는 90% 이상이며, 보다 바람직하게는 95% 이상이다. 이 평균 투과율은, 가열 경화(예컨대, 100℃∼250℃, 5분∼3시간) 후의 두께가 2 ㎛인 경화막에 대하여 분광 광도계를 사용하여 측정 파장 400∼700 ㎚의 조건 하에서 측정한 경우의 평균값이다. 이에 따라, 가시광 영역에서의 투명성이 우수한 수지 패턴이나 경화막을 제공할 수 있다.When the photosensitive resin composition of this invention is used as a cured film, the average transmittance of a cured film becomes like this. Preferably it is 90% or more, More preferably, it is 95% or more. This average transmittance | permeability is measured on the cured film whose thickness after heat-hardening (for example, 100 degreeC-250 degreeC, 5 minutes-3 hours) is 2 micrometers using the spectrophotometer on the conditions of the measurement wavelength 400-700 nm. Average value. Thereby, the resin pattern and cured film excellent in transparency in visible region can be provided.

<감광성 수지 조성물의 제조 방법><The manufacturing method of the photosensitive resin composition>

본 발명의 감광성 수지 조성물은 수지, 중합성 화합물(B) 및 중합 개시제(C)와, 필요에 따라 사용되는 용제(E), 계면활성제(H) 및 그 밖의 성분을, 공지된 방법으로 혼합함으로써 제조할 수 있다. 혼합 후에는 구멍 직경 0.05∼1.0 ㎛ 정도의 필터로 여과하는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of this invention mixes resin, a polymeric compound (B), and a polymerization initiator (C) with the solvent (E), surfactant (H), and other components which are used as needed by a well-known method. It can manufacture. After mixing, it is preferable to filter with a filter having a pore diameter of about 0.05 to 1.0 m.

<수지 패턴의 제조 방법><Method for producing resin pattern>

본 발명의 감광성 수지 조성물에 의해 형성되는 수지 패턴은 예컨대 하기의 공정 (1)∼(4)를 행함으로써 제조할 수 있다. 공정 (4) 뒤에 공정 (5)를 더 행하는 것이 바람직하다.The resin pattern formed by the photosensitive resin composition of this invention can be manufactured by performing the following process (1)-(4), for example. It is preferable to perform process (5) further after process (4).

공정 (1) 본 발명의 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 공정Process (1) Process of apply | coating the photosensitive resin composition of this invention to a board | substrate

공정 (2) 도포 후의 감광성 수지 조성물을 건조시켜 조성물층을 형성하는 공정Process (2) The process of drying the photosensitive resin composition after application | coating and forming a composition layer

공정 (3) 조성물층을 포토마스크를 통해 노광하는 공정Process (3) Process of exposing composition layer through photomask

공정 (4) 노광 후의 조성물층을 현상하는 공정Process (4) The process of developing the composition layer after exposure

공정 (5) 현상 후의 조성물층을 가열하는 공정Process (5) Process of heating composition layer after image development

공정 (1)은 본 발명의 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 공정이다.Step (1) is a step of applying the photosensitive resin composition of the present invention to a substrate.

기판으로서는, 유리, 금속, 플라스틱 등을 들 수 있고, 기판 상에 컬러 필터, 절연막, 도전막 및/또는 구동 회로 등이 형성되어 있어도 좋다.Examples of the substrate include glass, metal, plastic, and the like, and a color filter, an insulating film, a conductive film and / or a driving circuit may be formed on the substrate.

기판 상에의 도포는 스핀 코터, 슬릿 & 스핀 코터, 슬릿 코터, 잉크젯, 롤 코터, 딥 코터 등의 도포 장치를 이용하여 행하는 것이 바람직하다. Application | coating on a board | substrate is performed using coating apparatuses, such as a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater, an inkjet, a roll coater, and a dip coater.

공정 (2)는 도포 후의 감광성 수지 조성물을 건조시켜 조성물층을 형성하는 공정이다. 이 공정을 행함으로써, 감광성 수지 조성물 중의 용제 등의 휘발 성분을 제거할 수 있다. 건조시키는 방법으로는 가열 건조(프리베이크) 및 감압 건조를 들 수 있다.Step (2) is a step of drying the photosensitive resin composition after application to form a composition layer. By performing this process, volatile components, such as a solvent in the photosensitive resin composition, can be removed. As a method of drying, heat drying (prebaking) and reduced pressure drying are mentioned.

가열 건조를 행하는 경우, 건조 온도는 바람직하게는 30℃∼120℃, 보다 바람직하게는 50℃∼110℃의 범위이며, 건조 시간은 바람직하게는 10초간∼60분간, 보다 바람직하게는 30초간∼30분간이다. 가열 건조는 통상 오븐 및 핫 플레이트 등의 가열 장치를 이용하여 행한다.When carrying out heat drying, the drying temperature is preferably in the range of 30 ° C to 120 ° C, more preferably 50 ° C to 110 ° C, and the drying time is preferably 10 seconds to 60 minutes, more preferably 30 seconds to 30 minutes. Heat drying is normally performed using heating apparatuses, such as an oven and a hotplate.

감압 건조를 행하는 경우, 50∼150 Pa의 압력 하, 20℃∼25℃의 온도 범위에서 행하는 것이 바람직하다.When drying under reduced pressure, it is preferable to carry out in the temperature range of 20 degreeC-25 degreeC under the pressure of 50-150 Pa.

공정 (3)은 공정 (2)에 의해 형성된 조성물층을, 포토마스크를 통해 노광하는 공정이다. 이 포토마스크는 조성물층의 제거하고 싶은 부분에 대응하여 차광부가 형성된 것을 사용한다. 차광부의 형상은 특별히 한정되지 않고, 목적으로 하는 용도에 따라 선택할 수 있다. 하프톤 마스크 또는 그레이 스케일 마스크를 사용하여도 좋다.Step (3) is a step of exposing the composition layer formed by step (2) through a photomask. This photomask uses the thing in which the light shielding part was formed corresponding to the part to remove of a composition layer. The shape of the light shielding portion is not particularly limited and can be selected according to the intended use. You may use a halftone mask or a gray scale mask.

노광에 이용되는 광원으로서는 250∼450 ㎚의 파장의 빛을 발생시키는 광원이 바람직하다. 예컨대 350 ㎚ 미만의 빛을, 이 파장 영역을 차단하는 필터를 이용하여 차단하거나 436 ㎚ 부근, 408 ㎚ 부근, 365 ㎚ 부근의 빛을, 이들 파장 영역을 골라내는 밴드패스 필터를 이용하여 선택적으로 골라내거나 하여도 좋다. 구체적으로는 수은등, 발광 다이오드, 메탈 할라이드 램프, 할로겐 램프 등을 들 수 있다.As a light source used for exposure, the light source which produces the light of 250-450 nm wavelength is preferable. For example, light below 350 nm can be selectively blocked using a filter that blocks this wavelength range, or selectively selected around 436 nm, 408 nm or 365 nm, using a bandpass filter that picks out these wavelength ranges. You may pay. Specifically, a mercury lamp, a light emitting diode, a metal halide lamp, a halogen lamp etc. are mentioned.

노광면 전체에 균일하게 평행 광선을 조사하거나, 포토마스크와 조성물층과의 정확한 위치 맞춤을 행할 수 있기 때문에, 마스크 얼라이너 및 스테퍼 등의 노광 장치를 이용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use exposure apparatuses, such as a mask aligner and a stepper, since it can irradiate a parallel light beam uniformly to the whole exposure surface, or can perform exact alignment of a photomask and a composition layer.

공정 (4)는 노광 후의 조성물층을 현상하는 공정이다. 노광 후의 조성물층을 현상액에 접촉시켜 현상함으로써, 조성물층의 미노광부가 현상액에 용해되어 제거되어 기판 상에 수지 패턴이 형성된다.Process (4) is a process of developing the composition layer after exposure. By developing the composition layer after exposure in contact with the developer, the unexposed part of the composition layer is dissolved in the developer and removed, thereby forming a resin pattern on the substrate.

현상액으로서는 예컨대 수산화칼륨, 탄산수소나트륨, 탄산나트륨, 수산화테트라메틸암모늄 등의 알칼리성 화합물의 수용액이 바람직하다. 이들 알칼리성 화합물의 수용액 중의 농도는 바람직하게는 0.01∼10 질량%이고, 보다 바람직하게는 0.03∼5 질량%이다. 또한, 현상액은 계면활성제를 포함하고 있어도 좋다.As a developing solution, aqueous solution of alkaline compounds, such as potassium hydroxide, sodium hydrogencarbonate, sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide, is preferable, for example. The concentration in the aqueous solution of these alkaline compounds is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass. In addition, the developing solution may contain surfactant.

현상 방법은 퍼들법, 디핑법 및 스프레이법 등 중 어느 것이라도 좋다. 또한, 현상시에 기판을 임의의 각도로 기울여도 좋다.The developing method may be any of a puddle method, a dipping method and a spray method. In addition, you may tilt the board | substrate at arbitrary angles at the time of image development.

현상 후에는 수세하는 것이 바람직하다.It is preferable to wash with water after image development.

공정 (5)는 현상 후의 조성물층을 가열(포스트 베이크)하는 공정이다. 가열을 행함으로써 수지 패턴의 내구성, 예컨대, 내열성, 내약품성 및 기계 특성 등이 향상된다. 가열은 통상 오븐 및 핫 플레이트 등의 가열 장치를 이용하여 행한다. 가열 온도는 120℃∼250℃가 바람직하고, 150℃∼235℃가 보다 바람직하다. 가열 시간은 1∼180분간이 바람직하고, 10∼60분간이 보다 바람직하다.Process (5) is a process of heating (post-baking) the composition layer after image development. By heating, the durability of the resin pattern, for example, heat resistance, chemical resistance, mechanical properties, and the like are improved. Heating is usually performed using heating apparatuses, such as an oven and a hotplate. 120 to 250 degreeC is preferable and 150 to 235 degreeC of heating temperature is more preferable. 1 to 180 minutes are preferable and, as for a heat time, 10 to 60 minutes are more preferable.

본 발명의 감광성 수지 조성물로부터는, 패턴화되어 있지 않은 경화막도 하기의 공정에 의해 제조할 수 있다. 각 공정의 바람직한 조건은 수지 패턴의 제조 방법과 동일하다.From the photosensitive resin composition of this invention, the cured film which is not patterned can also be manufactured by the following process. Preferable conditions of each process are the same as the manufacturing method of a resin pattern.

공정 (1) 본 발명의 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 공정Process (1) Process of apply | coating the photosensitive resin composition of this invention to a board | substrate

공정 (2) 도포 후의 감광성 수지 조성물을 건조시켜 조성물층을 형성하는 공정Process (2) The process of drying the photosensitive resin composition after application | coating and forming a composition layer

공정 (5) 현상 후의 조성물층을 가열하는 공정Process (5) Process of heating composition layer after image development

필요에 따라 공정 (2) 뒤에,Behind the process (2), as required

공정 (3') 조성물층을, 포토마스크를 통하지 않고 노광하는 공정을 행하여도 좋다. 또한, 공정 (3')를 행하는 경우,Process (3 ') You may perform the process of exposing a composition layer without passing through a photomask. In addition, when performing a process (3 '),

공정 (4) 노광 후의 조성물층을 현상하는 공정을 행하여도 좋다.Process (4) You may perform the process of developing the composition layer after exposure.

이와 같이 하여 본 발명의 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 수지 패턴은, 특히 기계 특성이 우수하기 때문에, 예컨대 컬러 필터 기판 및/또는 어레이 기판의 일부를 구성하는 포토스페이서, 패터닝 가능한 오버코트, 층간 절연막, 액정 배향 제어용 돌기, 마이크로 렌즈, 막 두께 조정을 위한 코트층 등, 터치 패널용 부재, 컬러 필터 기판 및/또는 어레이 기판의 일부를 구성하는 오버코트로서 유용하다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물로부터 얻어지는 수지 패턴은, 발액성이 우수하기 때문에, 잉크젯법으로 컬러 필터, 액정 표시 소자의 ITO 전극, 유기 EL 표시 소자 및 회로 배선 기판 등을 제작하기 위해서 사용되는 격벽으로서도 유용하다. 상기한 컬러 필터 기판 및 어레이 기판은 액정 표시 장치, 유기 EL 표시 장치, 전자 페이퍼 등에 적합하게 이용된다.Thus, since the resin pattern obtained from the photosensitive resin composition of this invention is especially excellent in mechanical characteristics, the photospacer which comprises a part of a color filter board | substrate and / or an array board | substrate, a patternable overcoat, an interlayer insulation film, and a liquid crystal orientation control, for example It is useful as an overcoat which comprises a part of a touch panel member, a color filter substrate, and / or an array substrate, such as a projection, a micro lens, and a coating layer for adjusting film thickness. Moreover, since the resin pattern obtained from the photosensitive resin composition of this invention is excellent in liquid repellency, the partition used in order to manufacture a color filter, the ITO electrode of a liquid crystal display element, an organic electroluminescence display element, a circuit wiring board, etc. by the inkjet method. It is also useful as. The color filter substrate and the array substrate described above are suitably used for liquid crystal display devices, organic EL display devices, electronic papers, and the like.

실시예Example

이하, 실시예에 의해 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 예에서 「%」 및 「부」는 특별히 기재가 없는 한, 질량% 및 질량부이다.Hereinafter, an Example demonstrates this invention in more detail. In the examples, "%" and "parts" are% by mass and parts by mass unless otherwise specified.

(합성예 1)Synthesis Example 1

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 플라스크 안에 질소를 0.02 ℓ/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 3-메톡시부틸아세테이트 140 질량부를 넣어 교반하면서 70℃까지 가열하였다.In a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, and 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added and heated to 70 ° C while stirring.

계속해서, 메타크릴산 40 질량부, 화학식 (x3-2-1)로 표시되는 단량체[신에츠카가쿠고교(주) 제조, 상품명 X-22-174DX, Mw; 4600] 4 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트[화학식 (I-1)로 표시되는 화합물 및 화학식 (II-1)로 표시되는 화합물의 50:50(몰비) 혼합물] 356 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 190 질량부에 용해하여 용액을 조제하였다. 이 용액을 적하 펌프를 이용하여 4시간에 걸쳐 70℃로 보온한 플라스크 안에 적하하였다.Subsequently, 40 mass parts of methacrylic acid and the monomer represented by general formula (x3-2-1) [made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. make, brand names X-22-174DX, Mw; 4600] 4: 50 (molar ratio of 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate [compound represented by formula (I-1) and compound represented by formula (II-1)] ) Mixture] 356 parts by mass was dissolved in 190 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate to prepare a solution. This solution was added dropwise into a flask kept at 70 ° C. over 4 hours using a dropping pump.

Figure 112013008397645-pat00013
Figure 112013008397645-pat00013

한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 240 질량부에 용해한 용액을, 별도의 적하 펌프를 이용하여 5시간에 걸쳐 플라스크 안에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4시간 동안 70℃로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켜 고형분 42.5 질량%의 공중합체(수지 Aa) 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Aa의 중량 평균 분자량(Mw)은 8000, 분자량 분포는 1.95, 고형분 환산의 산가는 60 mg-KOH/g이었다. 수지 Aa는 하기의 구조 단위를 갖는다.On the other hand, the flask which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 240 mass parts of 3-methoxybutyl acetate, the flask over 5 hours using the other dropping pump. It was dripped inside. After the dropping of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a copolymer (resin Aa) solution having a solid content of 42.5% by mass. The weight average molecular weight (Mw) of obtained resin Aa was 8000, the molecular weight distribution was 1.95, and the acid value of conversion of solid content was 60 mg-KOH / g. Resin Aa has the following structural units.

Figure 112013008397645-pat00014
Figure 112013008397645-pat00014

(합성예 2)Synthesis Example 2

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 플라스크 안에 질소를 0.02 ℓ/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 3-메톡시부틸아세테이트 140 질량부를 넣어 교반하면서 70℃까지 가열하였다.In a flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, and 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate was added and heated to 70 ° C while stirring.

계속해서, 메타크릴산 40 질량부, 화학식 (x3-1-1)로 표시되는 단량체[신에츠카가쿠고교(주) 제조, 상품명 X-22-2475, 평균 분자량 420] 4 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트[화학식 (I-1)로 표시되는 화합물 및 화학식 (II-1)로 표시되는 화합물을 몰비로 50:50의 혼합물] 356 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 190 질량부에 용해하여 용액을 조제하였다. 이 용액을 적하 펌프를 이용하여 4시간에 걸쳐 70℃로 보온한 플라스크 안에 적하하였다.Subsequently, 40 mass parts of methacrylic acid, 4 mass parts of monomers [Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. make, brand name X-22-2475, average molecular weight 420] represented by general formula (x3-1-1), 3,4 356 parts by mass of epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate [a mixture of 50:50 in molar ratio of the compound represented by the formula (I-1) and the compound represented by the formula (II-1)]. It dissolved in 190 parts by mass of oxybutyl acetate to prepare a solution. This solution was added dropwise into a flask kept at 70 ° C. over 4 hours using a dropping pump.

Figure 112013008397645-pat00015
Figure 112013008397645-pat00015

한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 240 질량부에 용해한 용액을 별도의 적하 펌프를 이용하여 5시간에 걸쳐 플라스크 안에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4시간 동안 70℃로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켜 고형분 42.3 질량%의 공중합체(수지 Ab) 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ab의 중량 평균 분자량(Mw)은 9300, 분자량 분포는 2.11, 고형분 환산의 산가는 60 mg-KOH/g이었다. 수지 Ab는 하기의 구조 단위를 갖는다.On the other hand, the solution which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 240 mass parts of 3-methoxybutyl acetates was put into the flask over 5 hours using the separate dropping pump. It dripped. After the dropping of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a copolymer (resin Ab) solution having a solid content of 42.3% by mass. The weight average molecular weight (Mw) of obtained resin Ab was 9300, the molecular weight distribution was 2.11, and the acid value of conversion of solid content was 60 mg-KOH / g. Resin Ab has the following structural unit.

Figure 112013008397645-pat00016
Figure 112013008397645-pat00016

(합성예 3)Synthesis Example 3

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 플라스크 안에 질소를 0.02 ℓ/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 3-메톡시-1-부탄올 200 질량부 및 3-메톡시부틸아세테이트 105 질량부를 넣어 교반하면서 70℃까지 가열하였다. 계속해서, 메타크릴산 60 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트[화학식 (I-1)로 표시되는 화합물 및 화학식 (II-1)로 표시되는 화합물을 몰비로 50:50으로 혼합] 240 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 140 질량부에 용해하여 용액을 조제하고, 이 용액을 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 70℃로 보온한 플라스크 안에 적하하였다.In a flask equipped with a reflux cooler, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to form a nitrogen atmosphere, and 200 parts by mass of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate were added thereto while stirring. Heated to 70 ° C. Subsequently, the molar ratio of 60 parts by mass of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate [compound represented by formula (I-1) and compound represented by formula (II-1) Mixture at 50:50] 240 parts by mass was dissolved in 140 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate to prepare a solution, and the solution was added dropwise into a flask kept at 70 ° C. over 4 hours using a dropping funnel.

한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 3-메톡시부틸아세테이트 225 질량부에 용해한 용액을 별도의 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 플라스크 안에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4시간 동안 70℃로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켜 고형분 32.6 질량%의 공중합체(수지 Ac)의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ac의 중량 평균 분자량(Mw)은 13,400, 분자량 분포는 2.50, 고형분 환산의 산가는 110 mg-KOH/g이었다. 수지 Ac는 하기의 구조 단위를 갖는다.On the other hand, the solution which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 225 mass parts of 3-methoxybutyl acetates in the flask over 4 hours using the separate dropping funnel. It dripped. After the dropwise addition of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a solution of a copolymer (resin Ac) having a solid content of 32.6% by mass. The weight average molecular weight (Mw) of obtained resin Ac was 13,400, the molecular weight distribution was 2.50, and the acid value of conversion of solid content was 110 mg-KOH / g. Resin Ac has the following structural unit.

Figure 112013008397645-pat00017
Figure 112013008397645-pat00017

얻어진 수지의 중량 평균 분자량(Mw) 및 수 평균 분자량(Mn)의 측정은 GPC법을 이용하여 이하의 조건으로 행하였다.The measurement of the weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of obtained resin was performed on condition of the following using GPC method.

장치: K2479[(주) 시마즈세이사쿠쇼 제조]Apparatus: K2479 [manufactured by Shimadzu Seisakusho Corporation]

칼럼: SHIMADZU Shim-pack GPC-80MColumn: SHIMADZU Shim-pack GPC-80M

칼럼 온도: 40℃Column temperature: 40 ℃

용매: THF(테트라히드로푸란)Solvent: THF (tetrahydrofuran)

유속: 1.0 ㎖/minFlow rate: 1.0 ml / min

검출기: RIDetector: RI

교정용 표준 물질; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-288, A-2500, A-500[도소(주) 제조]Calibration standards; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-288, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

상기에서 얻어진 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 및 수 평균 분자량의 비(Mw/Mn)를 분자량 분포로 하였다.The ratio (Mw / Mn) of the weight average molecular weight and number average molecular weight of polystyrene conversion obtained above was made into molecular weight distribution.

실시예 1∼5 및 비교예 1Examples 1-5 and Comparative Example 1

<감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of the photosensitive resin composition>

표 1에 나타내는 각 성분을 표 1에 나타내는 비율로 혼합하여 감광성 수지 조성물을 얻었다.Each component shown in Table 1 was mixed in the ratio shown in Table 1, and the photosensitive resin composition was obtained.

[표 1]TABLE 1

Figure 112013008397645-pat00018
Figure 112013008397645-pat00018

또한, 표 1에서 수지(A)의 함유량은 고형분 환산의 질량부를 나타낸다.In addition, in Table 1, content of resin (A) shows the mass part of solid content conversion.

수지(A); Aa; 수지 AaResin (A); Aa; Resin Aa

수지(A); Ab; 수지 AbResin (A); Ab; Resin Ab

수지(A); Ac; 수지 AcResin (A); Ac; Resin Ac

중합성 화합물(B); 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트[KAYARAD(등록상표) DPHA; 니혼카야쿠(주) 제조]Polymerizable compound (B); Dipentaerythritol hexaacrylate [KAYARAD® DPHA; Nihon Kayaku Co., Ltd.]

중합 개시제(C); 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸[B-CIM; 호도가야카가쿠(주) 제조]Polymerization initiator (C); 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole [B-CIM; Hodogaya Kagaku Co., Ltd.]

중합 개시 조제(C1); 9,10-디부톡시안트라센[안트라큐어(등록상표) UVS-1331; 가와사키카세이(주) 제조]Polymerization initiation aid (C1); 9,10-dibutoxy anthracene [anthracure® UVS-1331; Kawasaki Kasei Co., Ltd. manufacture]

티올 화합물(T); 펜타에리스리톨테트라키스(3-술파닐프로피오네이트)[PEMP; SC 유키카가쿠(주) 제조]Thiol compound (T); Pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylpropionate) [PEMP; SC Yukikagaku Co., Ltd. product]

계면활성제(H); 폴리에테르 변성 실리콘 오일[도오레실리콘 SH8400; 도오레 다우코닝(주) 제조]Surfactant (H); Polyether modified silicone oils [doresilicone SH8400; Toore Dow Corning Co., Ltd.]

산화방지제(F); 1,3,5-트리스(4-히드록시-3,5-디-tert-부틸벤질)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온[IRGANOX(등록상표) 3114; BASF사 제조]Antioxidant (F); 1,3,5-tris (4-hydroxy-3,5-di-tert-butylbenzyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione [ IRGANOX® 3114; BASF Corporation]

용제(E); Ea; 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트Solvent (E); Ea; Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate

용제(E); Eb; 3-에톡시프로피온산에틸Solvent (E); Eb; Ethyl 3-ethoxypropionate

용제(E); Ec; 3-메톡시-1-부탄올Solvent (E); Ec; 3-methoxy-1-butanol

용제(E); Ed; 3-메톡시부틸아세테이트Solvent (E); Ed; 3-methoxybutyl acetate

용제(E)는 감광성 수지 조성물의 고형분량이 표 1의 「고형분량(%)」이 되도록 혼합하였다. 용제(E) 중의 각 성분 Ea∼Ed의 값은 용제(E) 중의 질량비(%)를 나타낸다.The solvent (E) was mixed so that solid content of the photosensitive resin composition might be "solid content (%)" of Table 1. The value of each component Ea-Ed in a solvent (E) shows the mass ratio (%) in a solvent (E).

<조성물의 투과율 측정><Measurement of transmittance of the composition>

얻어진 감광성 수지 조성물에 대해서 각각 자외 가시 근적외 분광 광도계[V-650; 니혼분코(주) 제조](석영 셀, 광로 길이; 1 ㎝)를 이용하여 400∼700 ㎚에 있어서의 평균 투과율(%)을 측정하였다. 결과를 표 2에 나타낸다.An ultraviolet-visible near-infrared spectrophotometer [V-650; respectively about the obtained photosensitive resin composition]; The average transmittance (%) in 400-700 nm was measured using Nippon Bunco Co., Ltd. product (quartz cell, optical path length; 1 cm). The results are shown in Table 2.

<경화막의 형성><Formation of Curing Film>

1변이 2인치인 정사각형 유리 기판(#1737; 코닝사 제조)을 중성 세제, 물 및 이소프로판올로 순차 세정하고 나서 건조시켰다. 이 유리 기판 상에 감광성 수지 조성물을 포스트 베이크 후의 막 두께가 3.0 ㎛가 되도록 스핀 코트하고, 감압 건조기[마이크로텍(주) 제조]에서 감압도가 66 kPa가 될 때까지 감압하여 건조시킨후, 핫 플레이트에서 80℃에서 2분간 프리베이크하여 건조시켜 조성물층을 형성하였다. 방냉 후, 이 조성물층에 노광기[TME-150 RSK; 탑콘(주) 제조, 광원; 초고압 수은등]를 사용하여 대기 분위기 하에 노광량 100 mJ/㎠(405 ㎚ 기준)로 노광하였다. 또한, 이 때의 조성물층에 대한 노광은 초고압 수은등으로부터의 방사광을 광학 필터[LU0400; 아사히분코(주) 제조]를 통과시켜 행하였다. 노광 후, 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 포함하는 수계 현상액에 노광 후의 조성물층을 25℃에서 100초간 요동시키면서 침지하여 현상하고, 더 수세하였다. 그 후, 오븐 안에서 235℃로 15분간 포스트 베이크를 행하여 경화막을 얻었다.A square glass substrate (# 1737; manufactured by Corning) with one side of 2 inches was washed sequentially with a neutral detergent, water, and isopropanol, and dried. After spin-coating the photosensitive resin composition on this glass substrate so that the film thickness after post-baking may be set to 3.0 micrometers, it is made to dry by depressurizing and drying until a pressure reduction degree becomes 66 kPa in a pressure reduction dryer (manufactured by Microtec Co., Ltd.) Prebaked at 80 ° C. for 2 minutes and dried to form a composition layer. After cooling, the composition layer was exposed to an exposure machine [TME-150 RSK; Topcon Co., Ltd. light source; Ultra-high pressure mercury lamp] was used for exposure at an exposure dose of 100 mJ / cm 2 (405 nm standard) under an atmospheric atmosphere. In addition, the exposure to the composition layer at this time is performed by the optical filter [LU0400; Asahi Bunko Co., Ltd.] was passed through. After exposure, the aqueous layer containing 0.12% of nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide was immersed and developed while shaking the composition layer after exposure for 100 seconds at 25 ° C, and further washed with water. Then, post-baking was performed at 235 degreeC for 15 minutes in oven, and the cured film was obtained.

<경화막의 투과율 측정><Measurement of transmittance of the cured film>

얻어진 경화막을 현미 분광 측광 장치(OSP-SP200; OLYMPUS사 제조)를 이용하여 400∼700 ㎚에 있어서의 평균 투과율(%)을 측정하였다. 결과를 표 2에 나타낸다.The average transmittance | permeability (%) in 400-700 nm was measured for the obtained cured film using the microscopic spectrophotometer (OSP-SP200; OLYMPUS company make). The results are shown in Table 2.

<수지 패턴의 형성><Formation of Resin Pattern>

노광할 때에 포토마스크를 사용한 것 이외에는 경화막의 제작과 동일한 조작을 행하여 수지 패턴을 얻었다. 포토마스크로서는 패턴(1변이 20 ㎛인 정방형의 투광부를 가지며, 이 정방형의 간격이 100 ㎛)(즉 투광부)이 동일 평면 상에 형성된 것을 사용하였다.Except having used the photomask at the time of exposure, operation similar to preparation of a cured film was performed and the resin pattern was obtained. As a photomask, a pattern (one side having a square light transmitting portion having a thickness of 20 μm and having a square interval of 100 μm) (that is, a light transmitting portion) formed on the same plane was used.

<평가; 수지 패턴의 폭 및 높이의 측정>Evaluation; Measuring Width and Height of Resin Patterns>

얻어진 수지 패턴의 폭 및 높이를 3차원 비접촉 표면 형상 계측 시스템[Micromap MM527N-PS-M100; (주)료카시스템사 제조]으로 계측하였다. 수지 패턴의 폭은 기판면으로부터 수지 패턴 높이의 5%의 높이 위치에서 계측하였다.The width and height of the obtained resin pattern were measured using a three-dimensional non-contact surface shape measurement system [Micromap MM527N-PS-M100; Manufactured by Ryoka Systems Co., Ltd.]. The width of the resin pattern was measured at a height position of 5% of the resin pattern height from the substrate surface.

수지 패턴의 폭이 클수록 고감도인 것을 나타낸다. 결과를 표 2에 나타낸다.The larger the width of the resin pattern, the higher the sensitivity. The results are shown in Table 2.

<기계 특성(총 변위량 및 회복률)>Mechanical Characteristics (Total Displacement and Recovery Rate)

얻어진 수지 패턴에 대해서 다이내믹 초미소 경도계[DUH-W201; (주)시마즈세이사큐쇼 제조]를 사용하여 총 변위량(㎛) 및 탄성 변위량(㎛)을 측정하여 회복률(%)을 산출하였다. 패턴의 회복률이 높을수록 유연성이 높기 때문에, 포토스페이서로서 유용하다고 할 수 있다. 이러한 수지 패턴을 포토스페이서로서 사용하면, 강도가 우수한 액정 패널을 제조하는 것이 가능하다. 결과를 표 2에 나타낸다. 동일한 감광성 수지 조성물로 형성되는 수지 패턴과 경화막은 동일한 기계 특성을 나타낸다.Dynamic ultra-fine hardness tester [DUH-W201; The total recovery amount (micrometer) and the elastic displacement amount (micrometer) were measured using the Shimadzu Corporation make, and the recovery rate (%) was computed. The higher the recovery rate of the pattern, the higher the flexibility, which can be said to be useful as a photospacer. When such a resin pattern is used as a photo spacer, it is possible to manufacture the liquid crystal panel excellent in intensity. The results are shown in Table 2. The resin pattern and cured film formed from the same photosensitive resin composition exhibit the same mechanical properties.

-측정 조건--Measuring conditions-

시험 모드; 부하-제하(除荷) 시험Test mode; Load-Unload Test

시험력; 50 mNTest force; 50 mN

부하 속도; 4.41 mN/secLoad speed; 4.41 mN / sec

유지 시간; 5 secRetention time; 5 sec

압자; 원추대 압자(직경 50 ㎛)Indenter; Conical indenter (diameter 50 μm)

회복률(%); (탄성 변위량(㎛)/총 변위량(㎛))×100Recovery rate (%); (Elastic displacement amount (micrometer) / total displacement amount (micrometer)) * 100

<접촉각><Contact angle>

얻어진 경화막에 대해서 접촉각계(DGD Fast/60; GBX사 제조)를 사용하여 이온 교환수, 톨루엔의 접촉각을 측정하였다. 접촉각이 높을수록 발액성이 높은 것을 의미한다. 경화막에 있어서의 접촉각이 높으면, 동일한 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 수지 패턴에 있어서도 접촉각은 높다. 접촉각이 높은 수지 패턴을 잉크젯용 격벽으로서 이용하면, 격벽이 잉크를 스며들지 않게 함으로써, 인접한 화소 영역 사이에 있어서의 잉크의 혼색을 억제하는 경향이 있기 때문에 바람직하다. 결과를 표 2에 나타낸다.About the obtained cured film, the contact angle of ion-exchange water and toluene was measured using the contact angle meter (DGD Fast / 60; GBX Corporation make). Higher contact angle means higher liquid repellency. When the contact angle in a cured film is high, the contact angle is also high also in the resin pattern formed using the same photosensitive resin composition. It is preferable to use a resin pattern having a high contact angle as an ink jet partition because the partition does not seep ink, so that there is a tendency to suppress the color mixture of the ink between adjacent pixel regions. The results are shown in Table 2.

[표 2]TABLE 2

Figure 112013008397645-pat00019
Figure 112013008397645-pat00019

표 2의 결과로부터, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 의하면, 회복률이 높은 것을 알 수 있다. 이것으로부터, 본 발명의 감광성 수지 조성물로 형성되는 수지 패턴은 기계 특성이 우수하다는 것이 확인되었다.From the result of Table 2, according to the photosensitive resin composition of this invention, it turns out that a recovery rate is high. From this, it was confirmed that the resin pattern formed from the photosensitive resin composition of this invention is excellent in a mechanical characteristic.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 의하면, 기계 특성이 우수한 패턴을 얻을 수 있다.According to the photosensitive resin composition of this invention, the pattern excellent in a mechanical characteristic can be obtained.

Claims (7)

하기 (A), (B) 및 (C)를 포함하는 감광성 수지 조성물:
(A) (a) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, (b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (x) 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위만으로 이루어진 공중합체, 또는
(a) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, (b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (x) 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (c) (메트)아크릴산 에스테르, 히드록시기 함유 (메트)아크릴산 에스테르, 디카르복실산디에스테르, 비시클로 불포화화합물, 디카르보닐이미드 유도체, 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌 및 2,3-디메틸-1,3-부타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위만으로 이루어진 공중합체로서,
실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하이고,
(b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체가 (b1-2) 지환식 불포화 탄화수소가 에폭시화된 구조를 갖는 단량체인 공중합체
(B) 실리콘 원자를 갖지 않는 중합성 화합물
(C) 중합 개시제.
The photosensitive resin composition containing following (A), (B) and (C):
(A) a structural unit derived from at least one member selected from the group consisting of (a) unsaturated carboxylic acids and unsaturated carboxylic anhydrides, and (b) a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms and an ethylenically unsaturated bond A copolymer consisting of only a structural unit derived from a monomer and a structural unit derived from a monomer having a (x) siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond, or
It is derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of (a) unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and (b) the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. A structural unit derived from a monomer having a (x) siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond, (c) a (meth) acrylic acid ester, a hydroxy group-containing (meth) acrylic acid ester, a dicarboxylic acid diester, and a bicyclo Unsaturated compounds, dicarbonylimide derivatives, styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, Structure derived from at least one member selected from the group consisting of vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene, isoprene and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene A copolymer consisting of Wiman,
Content of the structural unit derived from the monomer which has a siloxane structure and an ethylenically unsaturated bond is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to the total structural units of the said copolymer,
(b) a copolymer wherein the monomer having a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms and an ethylenically unsaturated bond is a monomer having a structure in which the alicyclic unsaturated hydrocarbon is epoxidized (b1-2);
(B) a polymerizable compound having no silicon atom
(C) polymerization initiator.
제1항에 있어서, 실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체의 중량 평균 분자량이 300∼50000인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of Claim 1 whose weight average molecular weights of the monomer which has a siloxane structure and ethylenically unsaturated bond are 300-50000. 제1항에 있어서, (C) 중합 개시제가 비이미다졸 화합물을 포함하는 중합 개시제인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of Claim 1 whose (C) polymerization initiator is a polymerization initiator containing a biimidazole compound. 삭제delete 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물로 형성되는 수지 패턴.The resin pattern formed from the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-3. 제5항에 기재된 수지 패턴을 포함하는 표시 장치.The display apparatus containing the resin pattern of Claim 5. (a) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, (b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (x) 폴리실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위만으로 이루어진 공중합체, 또는
(a) 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위와, (b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (x) 폴리실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위와, (c) (메트)아크릴산 에스테르, 히드록시기 함유 (메트)아크릴산 에스테르, 디카르복실산디에스테르, 비시클로 불포화화합물, 디카르보닐이미드 유도체, 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화비닐, 염화비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌 및 2,3-디메틸-1,3-부타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상에 유래하는 구조 단위만으로 이루어진 공중합체로서,
폴리실록산 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체에 유래하는 구조 단위의 함유량이 상기 공중합체의 전체 구조 단위에 대하여 0.01 질량% 이상 5 질량% 이하이고,
(b) 탄소수 2∼4의 환상 에테르 구조 및 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 단량체가 (b1-2) 지환식 불포화 탄화수소가 에폭시화된 구조를 갖는 단량체인 공중합체.
It is derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of (a) unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and (b) the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. A copolymer consisting of only a structural unit derived from a monomer having a structural unit and (x) a polysiloxane structure and an ethylenically unsaturated bond, or
It is derived from the structural unit derived from 1 or more types chosen from the group which consists of (a) unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and (b) the monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond. A structural unit derived from a monomer having a (x) polysiloxane structure and a monomer having an ethylenically unsaturated bond, (c) a (meth) acrylic acid ester, a hydroxy group-containing (meth) acrylic acid ester, a dicarboxylic acid diester and a bicyclo Unsaturated compounds, dicarbonylimide derivatives, styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, Derived from one or more selected from the group consisting of vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene, isoprene, and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene A copolymer consisting of only tank unit,
Content of the structural unit derived from the monomer which has a polysiloxane structure and an ethylenically unsaturated bond is 0.01 mass% or more and 5 mass% or less with respect to the total structural units of the said copolymer,
(b) The copolymer whose monomer which has a C2-C4 cyclic ether structure and ethylenically unsaturated bond is a monomer in which the (b1-2) alicyclic unsaturated hydrocarbon has a epoxidized structure.
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