KR102020234B1 - Raceway unit and OHT having the raceway unit - Google Patents
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Abstract
레이스웨이 유닛은 천장에 고정되며, 격자 형태를 갖는 다수의 몰드바와, 상기 몰드바의 하방에 배치되며, 상기 몰드바에 작용하는 하중을 분산하기 위해 격자 형태를 갖는 레이스웨이 및 상기 몰드바와 상기 레이스웨이의 교차 지점에서 상기 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하는 고정 부재들을 포함할 수 있다. The raceway unit is fixed to the ceiling, a plurality of mold bars having a lattice shape, and disposed below the mold bar, a raceway having a lattice shape to distribute the load acting on the mold bar, and the mold bar and the raceway. Fixing members for fixing the raceway to the mold bar at the intersection of the.
Description
본 발명은 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 OHT에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천장에 구비되어 하부에 배치되는 구조물을 고정하기 위한 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 OHT에 관한 것이다.The present invention relates to a raceway unit and an OHT having the same, and more particularly, to a raceway unit and an OHT having the same for fixing a structure disposed below the ceiling.
일반적으로, 레이스웨이 유닛은 건물 내부의 천장에 구비되어 비히클이 주행하는 주행 레일 등을 고정한다. In general, the raceway unit is provided on the ceiling inside the building to fix a running rail or the like on which the vehicle runs.
종래 기술에 따르면, 레이스웨이 유닛은 비히클의 주행 방향을 따라 연장하는 레이스웨이들을 가지며, 상기 레이스웨이들을 고정 부재를 이용하여 천장의 몰드바들에 고정한다. 이때, 상기 고정 부재는 상기 몰드바들과 상기 레이스웨이들이 교차하는 지점에 배치된다. According to the prior art, the raceway unit has raceways extending along the driving direction of the vehicle, and fix the raceways to the mold bars of the ceiling by using fixing members. At this time, the fixing member is disposed at the point where the mold bars and the raceways intersect.
상기 몰드바들과 상기 레이스웨이들이 교차하는 지점은 제한되어 있으므로, 상기 고정 부재가 배치되는 위치도 제한된다. 따라서, 상기 레이스웨이 유닛에 고정되는 구조물의 하중이 기 설정된 기준 이상으로 증가하는 경우, 상기 레이스웨이 유닛이 파손될 수 있다. Since the intersection of the mold bars and the raceways is limited, the position where the fixing member is disposed is also limited. Therefore, when the load of the structure fixed to the raceway unit increases above a predetermined reference, the raceway unit may be damaged.
또한, 상기 고정 부재는 1점 지지방식으로 상기 레이스웨이를 고정한다. 그러므로, 상기 구조물의 하중이 상기 고정 부재에 집중될 수 있다. 따라서, 상기 레이스웨이가 상기 구조물을 안정적으로 고정하기 어렵다.In addition, the fixing member fixes the raceway in a one-point support manner. Therefore, the load of the structure can be concentrated on the fixing member. Therefore, it is difficult for the raceway to stably fix the structure.
본 발명은 증가된 하중의 구조물을 안정적으로 고정할 수 있는 레이스웨이 유닛을 제공한다. The present invention provides a raceway unit capable of stably fixing the structure of the increased load.
본 발명은 상기 레이스웨이 유닛을 갖는 OHT를 제공한다.The present invention provides an OHT having the raceway unit.
본 발명에 따른 레이스웨이 유닛은 천장에 고정되며, 격자 형태를 갖는 다수의 몰드바와, 상기 몰드바의 하방에 배치되며, 상기 몰드바에 작용하는 하중을 분산하기 위해 격자 형태를 갖는 레이스웨이 및 상기 몰드바와 상기 레이스웨이의 교차 지점에서 상기 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하는 고정 부재들을 포함할 수 있다. The raceway unit according to the present invention is fixed to the ceiling, a plurality of mold bars having a lattice shape, disposed below the mold bar, the raceway having a lattice shape and the mold to distribute the load acting on the mold bar It may include a fixing member for fixing the raceway to the mold bar at the intersection of the bar and the raceway.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 몰드바는, X축 방향을 따라 연장하며 Y축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제1 몰드바들 및 상기 Y축 방향을 따라 연장하며 상기 X축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제2 몰드바들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the mold bar, a plurality of first mold bars extending along the X-axis direction and spaced apart from each other along the Y-axis direction and extending along the Y-axis direction and the X-axis direction Accordingly, the plurality of second mold bars may be spaced apart from each other.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레이스웨이는, 상기 X축 방향을 따라 연장하며 Y축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제1 레이스웨이들 및 상기 Y축 방향을 따라 연장하며 상기 X축 방향을 따라 서로 이격되고, 상기 제1 레이스웨이들의 하부면과 접촉하여 지지하는 다수의 제2 레이스웨이들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the raceway, a plurality of first raceways extending along the X-axis direction and spaced apart from each other along the Y-axis direction and extending along the Y-axis direction and the X-axis It may include a plurality of second raceways spaced apart from each other along the direction, and in contact with and support the lower surface of the first raceways.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 레이스웨이들은 상기 제2 몰드바들에 고정되고, 상기 제2 레이스웨이들은 상기 제1 몰드바들에 고정될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first raceways may be fixed to the second mold bars, and the second raceways may be fixed to the first mold bars.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 몰드바들은 하부면에 상기 몰드바들의 연장 방향을 따라 T자 형태의 홈이 형성되고, 상기 레이스웨이는 상부면에 플랜지를 가지며, 상기 고정 부재들은, 상기 T자 형태의 홈에 삽입되도록 헤드가 T자 형태를 가지며 상기 레이스웨이의 플랜지를 관통하는 볼트들 및 상기 볼트들에 각각 체결되는 너트들을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, each of the mold bar is formed in the lower surface of the T-shaped groove along the extending direction of the mold bars, the raceway has a flange on the upper surface, the fixing members The head may have a T-shape to be inserted into the T-shaped groove, and may include bolts passing through the flange of the raceway and nuts fastened to the bolts, respectively.
본 발명에 따른 OHT는 천장에 고정되며, 격자 형태를 갖는 다수의 몰드바와, 상기 몰드바의 하방에 배치되며, 상기 몰드바에 작용하는 하중을 분산하기 위해 격자 형태를 갖는 상부 레이스웨이와, 상기 몰드바와 상기 상부 레이스웨이의 교차 지점에서 상기 상부 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하는 고정 부재들과 상기 상부 레이스웨이에 고정되며, X축 방향으로 연장하는 상부 레일 및 상기 상부 레일을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송하는 상부 비히클을 포함할 수 있다. OHT according to the present invention is fixed to the ceiling, a plurality of mold bars having a grid shape, disposed below the mold bar, the upper raceway having a grid shape to distribute the load acting on the mold bar, and the mold Fixing members for fixing the upper raceway to the mold bar and the upper raceway at the intersection of the bar and the upper raceway, and are driven along the upper rail and the upper rail extending in the X-axis direction, and It may include an upper vehicle for receiving and transporting the cassette.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 OHT는, 상기 상부 레이스웨이로부터 하방으로 연장하는 연장 부재들과, 상기 연장 부재들에 고정되며, 격자 형태를 갖는 하부 레이스웨이와, 상기 하부 레이스웨이에 고정되며, 상기 상부 레일의 하방에서 상기 X축 방향으로 연장하는 하부 레일 및 상기 하부 레일을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송하는 하부 비히클을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the OHT, extending members extending downward from the upper raceway, fixed to the extension members, the lower raceway having a grid shape and the lower raceway It may further include a lower vehicle extending along the lower rail and the lower rail extending in the X-axis direction from the lower side of the upper rail, the lower vehicle for receiving and transporting the cassette therein.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 몰드바는 상기 X축 방향을 따라 연장하는 다수의 제1 몰드바들 및 상기 Y축 방향을 따라 연장하는 다수의 제2 몰드바들을 포함하고, 상기 상부 레이스웨이 및 상기 하부 레이스웨이는 각각, 상기 X축 방향을 따라 연장하는 다수의 제1 레이스웨이들 및 상기 Y축 방향을 따라 연장하는 다수의 제2 레이스웨이들을 포함하고, 상기 상부 레이스웨이의 제1 레이스웨이들은 상기 제2 몰드바들에 고정되고, 상기 상부 레이스웨이의 제2 레이스웨이들은 상기 제1 몰드바들에 고정될 수 있다. According to one embodiment of the invention, the mold bar comprises a plurality of first mold bars extending along the X-axis direction and a plurality of second mold bars extending along the Y-axis direction, the upper race The way and the lower raceway, respectively, a plurality of first raceways extending along the X-axis direction and a plurality of second raceways extending along the Y-axis direction, the first of the upper raceway Raceways may be fixed to the second mold bars, and second raceways of the upper raceway may be fixed to the first mold bars.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 연장 부재들은 상기 상부 레일과의 간섭을 회피하기 위해 상기 상부 레이스웨이의 제2 레이스웨이들과 상기 하부 레이스웨이의 제2 레이스웨이들에 각각 고정될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the extension members may be fixed to the second raceways of the upper raceway and the second raceways of the lower raceway, respectively, to avoid interference with the upper rail. have.
본 발명에 따른 레이스웨이 유닛은 몰드바와 레이스웨이가 각각 격자 형태를 가지므로, 상기 몰드바와 상기 레이스웨이의 교차 지점을 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하기 위한 고정 부재들의 개수를 증가시킬 수 있다. 상기 고정 부재들의 개수가 증가함에 따라 상기 레이스웨이 유닛에 고정되는 구조물로 인한 하중을 분산시킬 수 있고, 각 고정 부재들에 작용하는 하중을 감소시킬 수 있다. 그러므로, 상기 레이스웨이 유닛이 더 큰 하중을 견딜 수 있다. In the raceway unit according to the present invention, since the mold bar and the raceway each have a grid shape, the intersection of the mold bar and the raceway may be increased. Therefore, the number of fixing members for fixing the raceway to the mold bar can be increased. As the number of the fixing members increases, the load due to the structure fixed to the raceway unit may be distributed, and the load acting on each of the fixing members may be reduced. Therefore, the raceway unit can withstand greater loads.
또한, 레이스웨이 유닛은 상기 레이스웨이에 플랜지를 형성하고, 상기 플랜지를 이용하여 몰드바들과 상기 레이스웨이를 1 점 지지방식이 아닌 2 점 이상의 다점 지지방식을 연결한다. 따라서, 상기 몰드바들의 연결 지점에 가해지는 하중을 분산하여 상기 몰드바들이 상기 레이스웨이를 안정적으로 고정할 수 있다. In addition, the raceway unit forms a flange on the raceway, and connects the mold bars and the raceway to two or more multi-point support methods, not the one-point support method, by using the flange. Accordingly, the mold bars may stably fix the raceway by distributing the load applied to the connection points of the mold bars.
그리고, 상기 몰드바들의 하부면에 형성된 T자 형태의 홈과, 상기 레이스웨이의 플랜지를 관통하는 T자형 헤드를 갖는 볼트를 이용하여 상기 몰드바들과 상기 레이스웨이를 체결한다. 따라서, 상기 몰드바들과 상기 레이스웨이의 체결이 간단하게 이루어질 수 있으므로, 상기 레이스웨이 유닛을 용이하게 설치할 수 있다. Then, the mold bars and the raceway are fastened using a bolt having a T-shaped groove formed on the lower surfaces of the mold bars and a T-shaped head passing through the flange of the raceway. Therefore, since the mold bars and the raceway can be fastened easily, the raceway unit can be easily installed.
본 발명에 따른 OHT는 상부 레일 및 하부 레일을 통해 상부 비히클 및 하부 비히클을 각각 주행시킬 수 있다. 그러므로, 상기 OHT의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. The OHT according to the present invention can drive the upper vehicle and the lower vehicle through the upper rail and the lower rail, respectively. Therefore, the transfer efficiency of the OHT can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이스웨이 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 레이스웨이 유닛을 배치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제2 몰드바와 제1 레이스웨이의 고정 구조를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 몰드바와 제1 레이스웨이의 고정 구조를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 T자형 헤드를 갖는 볼트와 너트를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT를 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view for explaining a raceway unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view for explaining an arrangement of the raceway unit illustrated in FIG. 1.
FIG. 3 is a front view illustrating a fixing structure of the second mold bar and the first raceway illustrated in FIG. 1.
FIG. 4 is a side view illustrating the fixing structure of the second mold bar and the first raceway shown in FIG. 1.
FIG. 5 is a perspective view illustrating a bolt and a nut having a T-shaped head shown in FIG. 1.
6 is a front view for explaining the OHT according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 OHT에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a raceway unit and an OHT having the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이스웨이 유닛을 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 레이스웨이 유닛을 배치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 제2 몰드바와 제1 레이스웨이의 고정 구조를 설명하기 위한 정면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 제2 몰드바와 제1 레이스웨이의 고정 구조를 설명하기 위한 측면도이며, 도 5는 도 1에 도시된 T자형 헤드를 갖는 볼트와 너트를 설명하기 위한 사시도이다. 1 is a front view for explaining a raceway unit according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic plan view for explaining the arrangement of the raceway unit shown in Figure 1, Figure 3 is shown in Figure 1 Figure 4 is a front view for explaining the fixing structure of the second mold bar and the first raceway, Figure 4 is a side view for explaining the fixing structure of the second mold bar and the first raceway shown in Figure 1, Figure 5 It is a perspective view for demonstrating the bolt and nut which have the T-shaped head shown in FIG.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 레이스웨이 유닛(100)은 몰드바(110), 레이스웨이(120) 및 고정 부재들(130)을 포함한다. 1 to 5, the
몰드바(110)는 격자 형태를 가지며, 천장(미도시)에 고정된다. 몰드바(110)는 직접 천장에 고정되거나 별도의 부재를 이용하여 천장과 이격되어 고정될 수 있다. 몰드바(110)가 천장에 직접 고정되는 경우, 몰드바(110)는 상기 천장에 매립되거나, 상기 천장으로부터 돌출되도록 구비될 수 있다. The
구체적으로, 몰드바(110)는 제1 몰드바들(110a) 및 제2 몰드바들(110b)을 포함한다. Specifically, the
제1 몰드바들(110a)은 X축 방향을 따라 연장하며, Y축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. The
제2 몰드바들(110b)은 상기 Y축 방향을 따라 연장하며, 상기 X축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. The
몰드바(110)의 하부면에는 홈(112)이 형성된다. 홈(112)은 몰드바(110)의 연장 방향을 따라 길게 형성된다. 이때, 홈(112)은 몰드바(110)의 양단부까지 형성될 수 있다. 즉, 제1 몰드바들(110a)에서 홈(112)은 상기 X축 방향을 따라 형성되고, 제2 몰드바들(110b)에서 홈(112)은 상기 Y축 방향을 따라 형성된다. The
또한, 홈(112)은 몰드바(110)의 상기 양단부에서 볼 때 대략 T자 형태를 갖는다. In addition, the
구체적으로, 홈(112)은 하부홈(112a) 및 상부홈(112b)을 갖는다. Specifically, the
하부홈(112a)은 몰드바(110)의 하부면에 구비되며, 제1 폭을 갖는다. The
상부홈(112b)은 하부홈(112a)의 상면에 하부홈(112a)과 연결되도록 구비되며, 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는다. The
레이스웨이(120)는 몰드바(110)의 하방에 배치되며, 격자 형태를 갖는다. The
구체적으로, 레이스웨이(120)는 제1 레이스웨이들(120a) 및 제2 레이스웨이들(120b)을 포함한다. Specifically, the
제1 레이스웨이들(120a)은 상기 X축 방향을 따라 연장하며, 상기 Y축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. The
제2 레이스웨이들(120b)은 상기 Y축 방향을 따라 연장하며, 상기 X축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. 제2 레이스웨이들(120b)은 제1 레이스웨이들(120a)의 하부면과 접촉하여 제1 레이스웨이들(120a)을 지지한다.The
한편, 제1 레이스웨이들(120a)이 제2 레이스웨이들(120b)의 하부면과 접촉하여 제2 레이스웨이들(120b)을 지지할 수도 있다.Meanwhile, the
레이스웨이(120)의 간격은 몰드바(110)의 간격과 동일할 수도 있고, 다를 수도 있다. The spacing of the
몰드바(110)와 레이스웨이(120)가 각각 격자 형태를 가지므로, 몰드바(110)와 레이스웨이(120)가 각각 상기 X축과 상기 Y축 중 어느 한 방향으로만 연장된 형태일 때보다 몰드바(110)와 레이스웨이(120)의 교차 지점을 증가시킬 수 있다. Since the
레이스웨이(120)는 상부면에 플랜지(122)를 갖는다. 플랜지(122)는 레이스웨이(120)의 폭보다 넓은 폭을 가지며, 레이스웨이(120)를 몰드바(110)에 고정하는데 이용된다.
한편, 레이스웨이(120)는 양측면과 하부면에 각각 홈들을 가질 수 있다. 상기 홈들에는 턴 버클, 행거 볼트 등이 장착되고, 상기 턴 버클이나 상기 행거 볼트 등은 비히클이 주행하는 주행 레일을 고정할 수 있다. On the other hand, the
고정 부재들(130)은 몰드바(110)와 레이스웨이(120)의 교차 지점에 각각 배치되며, 레이스웨이(120)를 몰드바(110)에 고정한다. Fixing
상기 X축 방향을 따라 연장하는 제1 몰드바들(110a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장하는 제2 레이스웨이들(120b)과 교차하고, 상기 Y축 방향을 따라 연장하는 제2 몰드바들(110b)은 상기 X축 방향을 따라 연장하는 제1 레이스웨이들(120a)과 교차한다. 따라서, 고정 부재들(130)은 제1 레이스웨이들(120a)을 제2 몰드바들(110b)에 고정하고, 제2 레이스웨이들(120b)을 제1 몰드바들(110a)에 고정한다. The
몰드바(110)와 레이스웨이(120)의 교차 지점이 증가하므로, 고정 부재들(130)의 개수도 증가한다. 고정 부재들(130)의 개수가 증가함에 따라 레이스웨이 유닛(100)에 고정되는 구조물로 인한 하중을 분산시킬 수 있고, 각 고정 부재들(130)에 작용하는 하중을 감소시킬 수 있다. 그러므로, 레이스웨이 유닛(100)이 더 큰 하중을 견딜 수 있다. Since the intersection of the
고정 부재들(130) 각각은 볼트(132)들과 너트(134)들을 포함한다. Each of the fixing
볼트(132)들과 너트(134)들은 상기 교차 지점에 각각 2개씩 구비되는 것이 바람직하나 2개를 초과하여 구비될 수도 있다. Preferably, two
구체적으로, 도 5와 같이 볼트(132)들은 헤드가 일 방향으로 연장된 T자 형태를 갖는 T 볼트들이다. 구체적으로, 볼트(132)의 헤드에서 단방향 폭은 홈(112)의 하부홈(112a)의 제1 폭과 같거나 작을 수 있고, 장방향 폭은 홈(112)의 하부홈(112a)의 제1 폭보다는 크고 상부홈(112b)의 제2 폭과 같거나 작을 수 있다. Specifically, as shown in FIG. 5, the
볼트(132)에서 상기 헤드의 연장 방향과 홈(112)의 연장 방향을 일치시킨 상태에서 볼트(132)의 헤드를 하부홈(112a)을 거쳐 상부홈(112b)까지 상승시킨 후 볼트(132)를 90도 회전시킴으로써 볼트(132)를 몰드바(110)의 T자 형태의 홈(112)에 삽입할 수 있다. The
또한, 볼트(132)들은 레이스웨이(120)의 플랜지(122)를 관통한다. The
너트(134)들은 상기 헤드가 몰드바(110)의 홈(112)에 삽입되고 플랜지(122)들을 관통한 볼트(132)에 각각 체결된다.
볼트(132)들과 너트(134)들을 이용하여 몰드바(110)와 레이스웨이(120)를 고정하는 과정은 다음과 같다. The process of fixing the
볼트(132)들을 제1 레이스웨이들(120a) 및 제2 레이스웨이들(120b)의 상방에서 플랜지(122)를 관통하여 삽입한다. 각각 격자 형태를 갖는 몰드바(110)와 레이스웨이(120)들이 교차하도록 정렬한 후, 제2 몰드바들(110b)의 하부면에 제1 레이스웨이들(120a)을 밀착시키고, 제1 레이스웨이들(120a)의 하부면에 제2 레이스웨이들(120b)을 밀착시킨다. 이후, 볼트(132)들을 제1 몰드바들(110a)의 홈(112) 및 제2 몰드바들(110b)의 홈(112)에 각각 접촉시킨다. 이때, 볼트(132)에서 상기 헤드의 연장 방향과 홈(112)의 연장 방향을 일치시킨다. 이후, 볼트(132)들의 헤드를 홈(112)의 하부홈(112a)을 거쳐 상부홈(112b)까지 상승시킨 후 볼트(132)들을 90도 회전시킴으로써 볼트(132)들을 제1 몰드바들(110a)의 홈(112) 및 제2 몰드바들(110b)의 홈(112)에 각각 삽입한다. 다음으로, 제1 몰드바들(110a)의 홈(112) 및 제2 몰드바들(110b)의 홈(112)에 각각 삽입되고 제2 레이스웨이들(120b)의 플랜지(122) 및 제1 레이스웨이들(120a)의 플랜지(122)를 각각 관통한 볼트(132)들에 너트(134)들을 체결함으로써, 제1 몰드바(110a)에 제2 레이스웨이들(120b)을 고정하고, 제2 몰드바(110b)에 제1 레이스웨이들(120a)을 고정할 수 있다. The
한편, 도시되지는 않았지만, 볼트(132)들과 너트(134)들은 도 3 및 도 4와 다르게 레이스웨이(120)를 몰드바(110)에 고정할 수 있다. Although not shown, the
구체적으로, 너트(134)들을 몰드바(110)의 양측면을 통해 상부홈(112b)에 삽입한다. 이때, 너트(134)들의 폭은 하부홈(112a)의 제1 폭보다는 크고 상부홈(112b)의 제2 폭과 같거나 작을 수 있다. 따라서, 상부홈(112b)에 삽입된 너트(134)들은 하부홈(112a)을 통해 몰드바(110)의 하방으로 이탈되지 않는다. Specifically, the
몰드바(110)와 레이스웨이(120)를 정렬한 후, 몰드바(110)의 하부면과 레이스웨이(120)의 상부면을 밀착시킨다. 다음으로, 볼트(132)들을 레이스웨이(120)의 하방에서 플랜지(122)를 관통시킨 후 상부홈(112b)에 삽입된 너트(134)들과 각각 체결한다. 이때, 볼트(132)들은 T 볼트일 수도 있지만, 일반 볼트일 수도 있다. After aligning the
몰드바(110)의 T자 형태의 홈(112)과 레이스웨이(120)의 플랜지(122)를 관통하는 T자 형태의 헤드를 갖는 볼트(132)를 이용하여 몰드바(110)와 레이스웨이(120)를 단순하면서도 신속하게 체결할 수 있다. 그러므로, 레이스웨이 유닛(100)을 상기 전장에 신속하고 용이하게 설치할 수 있다. The
또한, 레이스웨이(120)가 플랜지(122)를 가지므로, 플랜지(122)와 볼트(132)들 및 너트(134)들을 이용하여 몰드바(110)와 레이스웨이(120)를 1 점 지지방식이 아닌 2 점 이상의 다점 지지방식을 고정할 수 있다. 따라서, 몰드바(110)의 고정 지점에 가해지는 하중을 분산하여 몰드바(110)가 레이스웨이(120)를 안정적으로 고정할 수 있다. In addition, since the
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT를 설명하기 위한 정면도이다. 6 is a front view for explaining the OHT according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, OHT(200)는 몰드바(110), 상부 레이스웨이(120), 고정 부재들(130), 상부 레일(210), 상부 레일 고정 부재들(220), 상부 비히클(230), 연장 부재들(240), 하부 레이스웨이(250), 하부 레일(260), 하부 레일 고정 부재들(270) 및 하부 비히클(280)을 포함한다. Referring to FIG. 6, the
몰드바(110), 상부 레이스웨이(120), 고정 부재들(130)에 대한 구체적인 설명은 도 1 내지 도 5를 참조한 몰드바(110), 레이스웨이(120), 고정 부재들(130)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다. Detailed descriptions of the
상부 레일(210)은 X축 방향으로 연장한다. 상부 레일(210)을 따라 상부 비히클(230)이 주행할 수 있다. 상부 레일(210)은 상부 레이스웨이(120)의 하방에 위치할 수 있다. The
상부 레일(210) 사이의 간격은 상부 레이스웨이(120)의 제1 레이스웨이들(120a) 사이의 간격과 실질적으로 동일할 수 있다. The spacing between the
상부 레일 고정 부재들(220)은 상부 레일(210)을 상부 레이스웨이(120)에 고정한다. 상부 레일(210)이 상기 X축 방향을 따라 연장하므로, 상부 레일 고정 부재들(220)은 상부 레일(210)을 상부 레이스웨이(120) 중 제1 레이스웨이들(120a)에 고정한다. The upper
상부 레일(210)의 상부면에는 상기 X축 방향을 따라 T자형 홈이 형성되고, 상부 레일 고정 부재들(220)은 상기 T자형 홈을 이용하여 상부 레일(210)을 상부 레이스웨이(120)에 고정할 수 있다. 상부 레일 고정 부재들(220)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다. An upper surface of the
상부 비히클(130)은 상부 레일(210)을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송할 수 있다. 상부 비히클(130)에 대한 구체적인 설명은 일반적인 비히클과 실질적으로 동일하므로 생략한다. The
연장 부재들(240)은 상부 레이스웨이(120)로부터 하방으로 연장한다. 이때, 연장 부재들(240)의 연장 단부는 상부 비히클(130)의 하부면보다 하방에 위치할 수 있다. 연장 부재들(240)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다.
하부 레이스웨이(250)는 연장 부재들(240)에 고정되며, 격자 형태를 갖는다.The
구체적으로, 하부 레이스웨이(250)는 제1 레이스웨이들(250a) 및 제2 레이스웨이들(250b)을 포함한다. Specifically, the
제1 레이스웨이들(250a)은 상기 X축 방향을 따라 연장하며, Y축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. 이때, 제1 레이스웨이들(250a) 사이의 간격은 상부 레이스웨이(120)의 제1 레이스웨이들(120a) 사이의 간격 및 상부 레일(210) 사이의 간격이 실질적으로 동일할 수 있다. The
제2 레이스웨이들(250b)은 상기 Y축 방향을 따라 연장하며, 상기 X축 방향을 따라 일정 간격 서로 이격될 수 있다. The
제1 레이스웨이들(250a)이 제2 레이스웨이들(250b)의 하부면과 접촉하여 제2 레이스웨이들(250b)을 지지한다. 한편, 제2 레이스웨이들(250b)은 제1 레이스웨이들(250a)의 하부면과 접촉하여 제1 레이스웨이들(250a)을 지지할 수 있다. The
제1 레이스웨이들(250a)과 제2 레이스웨이들(250b)은 서로 고정될 수 있다. 예를 들면, 제1 레이스웨이들(250a)은 상부면에 플랜지를 가지고, 제2 레이스웨이들(250b)은 하부면에 플랜지를 가질 수 있다. 제1 레이스웨이들(250a)의 플랜지와 제2 레이스웨이들(250b)의 플랜지를 볼트와 너트로 체결함으로써 제1 레이스웨이들(250a)과 제2 레이스웨이들(250b)을 서로 고정할 수 있다.The
한편, 제1 레이스웨이들(250a)과 제2 레이스웨이들(250b)은 별도의 고정 부재를 이용하여 서로 고정될 수도 있다. Meanwhile, the
상부 레일(210) 사이의 간격이 상부 레이스웨이(120)의 제1 레이스웨이들(120a) 사이의 간격 및 하부 레이스웨이(250)의 제1 레이스웨이들(250a)의 간격과 실질적으로 동일하므로, 연장 부재들(240)이 상부 레이스웨이(120)의 제1 레이스웨이들(120a) 및 하부 레이스웨이(250)의 제1 레이스웨이들(250a)에 각각 고정되는 경우, 연장 부재들(240)이 상부 레일(210)을 간섭할 수 있다. Since the spacing between the
상부 레이스웨이(120)의 제2 레이스웨이들(120b) 및 하부 레이스웨이(250)의 제2 레이스웨이들(250b)은 상부 레일(210)의 연장 방향인 X축과 수직하는 Y축 방향을 따라 연장한다. 따라서, 연장 부재들(240)이 상부 레이스웨이(120)의 제2 레이스웨이들(120b) 및 하부 레이스웨이(250)의 제2 레이스웨이들(250b)에 각각 고정되는 경우, 연장 부재들(240)이 상부 레일(210)을 간섭하는 것을 회피할 수 있다. The
하부 레일(260)은 상부 레일(210)과 마찬가지로 X축 방향으로 연장한다. 하부 레일(260)을 따라 하부 비히클(270)이 주행할 수 있다. 하부 레일(260)은 하부 레이스웨이(250)의 하방에 위치할 수 있다. The
하부 레일(260) 사이의 간격은 상부 레일(210) 사이의 간격과 실질적으로 동일할 수 있다. The spacing between the
하부 레일 고정 부재들(270)은 하부 레일(260)을 하부 레이스웨이(250)에 고정한다. 하부 레일(260)이 상기 X축 방향을 따라 연장하므로, 하부 레일 고정 부재들(270)은 하부 레일(260)을 하부 레이스웨이(250) 중 제1 레이스웨이들(250a)에 고정한다. The lower
하부 레일(260)의 상부면에는 상기 X축 방향을 따라 T자형 홈이 형성되고, 하부 레일 고정 부재들(270)은 상기 T자형 홈을 이용하여 하부 레일(260)을 하부 레이스웨이(250)에 고정할 수 있다. 하부 레일 고정 부재들(270)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다. An upper surface of the
하부 비히클(280)은 하부 레일(260)을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송할 수 있다.The
OHT(200)는 도 1 내지 도 5에 개시된 레이스웨이 유닛(100)을 구성하는 몰드바(110), 상부 레이스웨이(120), 고정 부재들(130)을 포함하므로, OHT(200)이 큰 하중을 견딜 수 있다. 따라서, OHT(200)는 상부 레일(210) 및 하부 레일(260)을 포함하는 이중 레일을 안정적으로 구현할 수 있다. The
또한, OHT(200)는 상부 레일(210) 및 하부 레일(260)을 통해 상부 비히클(230) 및 하부 비히클(280)을 동시에 주행시킬 수 있으므로, 카세트의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. In addition, the
한편, 도시되지는 않았지만, OHT(200)에는 상부 레일(210)과 하부 레일(260) 사이에 구비되며, 상부 비히클(230)을 하부 레일(260)로 하강시키거나 하부 비히클(280)을 상부 레일(210)로 상승시키기 위한 리프트 구조물, 상부 레일(210)과 하부 레일(260)의 일측에 구비되며, 작업자의 이동을 위한 통로 구조물 등을 포함할 수도 있다. On the other hand, although not shown, the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 레이스웨이 유닛은 하중을 분산시킬 수 있는 구조를 가지므로, 높은 하중을 견딜 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 OHT는 이중 레일을 구성하여 비히클을 주행시킬 수 있으므로, 카세트의 이송 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, the raceway unit according to the present invention has a structure that can distribute the load, it can withstand high load. In addition, the OHT according to the present invention can configure the double rail to drive the vehicle, it is possible to improve the transfer efficiency of the cassette.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
100 : 레이스웨이 유닛 110 : 몰드바100: raceway unit 110: mold bar
112 : 홈 120 : 레이스웨이112: home 120: raceway
122 : 플랜지 130 : 고정 부재122: flange 130: fixing member
132 : 볼트 134 : 너트132: Bolt 134: Nut
Claims (9)
상기 몰드바의 하방에 배치되며, 상기 몰드바에 작용하는 하중을 분산하기 위해 격자 형태를 갖는 레이스웨이; 및
상기 몰드바와 상기 레이스웨이의 교차 지점에서 상기 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하는 고정 부재들을 포함하고,
상기 레이스웨이는,
X축 방향을 따라 연장하며 Y축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제1 레이스웨이들; 및
상기 Y축 방향을 따라 연장하며 상기 X축 방향을 따라 서로 이격되고, 상기 제1 레이스웨이들의 하부면과 접촉하여 지지하는 다수의 제2 레이스웨이들을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이스웨이 유닛. A plurality of mold bars fixed to the ceiling and having a grid shape;
A raceway disposed below the mold bar, the raceway having a lattice shape to distribute a load applied to the mold bar; And
Fixing members fixing the raceway to the mold bar at an intersection point of the mold bar and the raceway,
The raceway,
A plurality of first raceways extending along the X axis direction and spaced apart from each other along the Y axis direction; And
And a plurality of second raceways extending along the Y-axis direction and spaced apart from each other along the X-axis direction, the second raceways supporting and supporting the lower surfaces of the first raceways.
상기 X축 방향을 따라 연장하며 상기 Y축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제1 몰드바들; 및
상기 Y축 방향을 따라 연장하며 상기 X축 방향을 따라 서로 이격되는 다수의 제2 몰드바들을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이스웨이 유닛. The method of claim 1, wherein the mold bar,
A plurality of first mold bars extending along the X axis direction and spaced apart from each other along the Y axis direction; And
And a plurality of second mold bars extending along the Y axis direction and spaced apart from each other along the X axis direction.
상기 제2 레이스웨이들은 상기 제1 몰드바들에 고정되는 것을 특징으로 하는 레이스웨이 유닛. The method of claim 2, wherein the first raceways are fixed to the second mold bars,
And the second raceways are fixed to the first mold bars.
상기 고정 부재들은, 상기 T자 형태의 홈에 삽입되도록 헤드가 T자 형태를 가지며 상기 레이스웨이의 플랜지를 관통하는 볼트들 및 상기 볼트들에 각각 체결되는 너트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이스웨이 유닛. According to claim 1, wherein each of the mold bar is formed on the lower surface of the T-shaped groove along the extending direction of the mold bar, the raceway has a flange on the upper surface,
The fixing members may include a bolt having a T-shape and bolts passing through a flange of the raceway and nuts fastened to the bolts so that the head is inserted into the T-shaped groove. .
상기 몰드바의 하방에 배치되며, 상기 몰드바에 작용하는 하중을 분산하기 위해 격자 형태를 갖는 상부 레이스웨이;
상기 몰드바와 상기 상부 레이스웨이의 교차 지점에서 상기 상부 레이스웨이를 상기 몰드바에 고정하는 고정 부재들;
상기 상부 레이스웨이에 고정되며, X축 방향으로 연장하는 상부 레일; 및
상기 상부 레일을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송하는 상부 비히클을 포함하고,
상기 상부 레이스웨이로부터 하방으로 연장하는 연장 부재들;
상기 연장 부재들에 고정되며, 격자 형태를 갖는 하부 레이스웨이;
상기 하부 레이스웨이에 고정되며, 상기 상부 레일의 하방에서 상기 X축 방향으로 연장하는 하부 레일; 및
상기 하부 레일을 따라 주행하며, 내부에 카세트를 수용하여 이송하는 하부 비히클을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT.A plurality of mold bars fixed to the ceiling and having a grid shape;
An upper raceway disposed below the mold bar, the upper raceway having a lattice shape to distribute a load applied to the mold bar;
Fixing members for fixing the upper raceway to the mold bar at an intersection point of the mold bar and the upper raceway;
An upper rail fixed to the upper raceway and extending in an X-axis direction; And
It runs along the upper rail, and includes an upper vehicle for receiving and transporting the cassette therein,
Extending members extending downward from the upper raceway;
A lower raceway fixed to the extension members and having a lattice shape;
A lower rail fixed to the lower raceway and extending in the X-axis direction from below the upper rail; And
OHT traveling along the lower rail, characterized in that it further comprises a lower vehicle for receiving and transporting the cassette therein.
상기 상부 레이스웨이 및 상기 하부 레이스웨이는 각각, 상기 X축 방향을 따라 연장하는 다수의 제1 레이스웨이들 및 상기 Y축 방향을 따라 연장하는 다수의 제2 레이스웨이들을 포함하고,
상기 상부 레이스웨이의 제1 레이스웨이들은 상기 제2 몰드바들에 고정되고, 상기 상부 레이스웨이의 제2 레이스웨이들은 상기 제1 몰드바들에 고정되는 것을 특징으로 하는 OHT. The method of claim 6, wherein the mold bar comprises a plurality of first mold bars extending along the X-axis direction and a plurality of second mold bars extending along the Y-axis direction,
The upper raceway and the lower raceway each include a plurality of first raceways extending along the X axis direction and a plurality of second raceways extending along the Y axis direction,
The first raceways of the upper raceway are fixed to the second mold bars, and the second raceways of the upper raceway are fixed to the first mold bars.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170115013A KR102020234B1 (en) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | Raceway unit and OHT having the raceway unit |
CN201811044962.1A CN109467006B (en) | 2017-09-08 | 2018-09-07 | Raceway unit and OHT with same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170115013A KR102020234B1 (en) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | Raceway unit and OHT having the raceway unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190028585A KR20190028585A (en) | 2019-03-19 |
KR102020234B1 true KR102020234B1 (en) | 2019-09-11 |
Family
ID=65663096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170115013A KR102020234B1 (en) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | Raceway unit and OHT having the raceway unit |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102020234B1 (en) |
CN (1) | CN109467006B (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102207874B1 (en) * | 2019-07-18 | 2021-01-26 | 세메스 주식회사 | Transferring apparatus |
KR102252736B1 (en) * | 2019-07-29 | 2021-05-17 | 세메스 주식회사 | Transferring apparatus |
KR20230101532A (en) | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 세메스 주식회사 | Logistics handling system and method |
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---|---|
CN109467006A (en) | 2019-03-15 |
KR20190028585A (en) | 2019-03-19 |
CN109467006B (en) | 2020-10-02 |
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