KR102096593B1 - Walkway structure and method of installing the walkway structure - Google Patents

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Abstract

워크웨이 구조물은 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장에 고정되는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 비히클 및 상기 주행 레일의 유지 보수를 위해 작업자가 이동하기 위한 워크웨이를 포함하다. The workway structure is provided to be movable along the guide rail and the guide rail fixed to one ceiling of the traveling rail on which the vehicle travels, and includes a workway for the operator to move for maintenance of the vehicle and the traveling rail.

Description

워크웨이 구조물 및 워크웨이 구조물 설치 방법{Walkway structure and method of installing the walkway structure}Walkway structure and method of installing the walkway structure

본 발명은 워크웨이 구조물 및 워크웨이 구조물 설치 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OHT 장치의 유지 보수를 위해 작업자가 이동하기 위한 워크웨이 구조물 및 워크웨이 구조물 설치 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a workway structure and a workway structure installation method, and more particularly, to a workway structure and a workway structure installation method for a worker to move for maintenance of an OHT device.

일반적으로, OHT 장치는 반도체 설비가 구비된 공간의 천장을 따라 구비된다. 상기 OHT 장치의 유지 보수를 위해 상기 OHT 장치에 인접한 천장에 작업자가 이동하기 위한 워크웨이 구조물이 필요하다.In general, the OHT device is provided along the ceiling of a space equipped with semiconductor equipment. For maintenance of the OHT device, a workway structure is required for the worker to move to a ceiling adjacent to the OHT device.

상기 OHT 장치가 구비된 부위의 하부에 상기 반도체 설비가 위치하지 않는 경우, 리프트 등의 승강 장치를 이용하여 상기 OHT 장치의 일측에 상기 워크웨이 구조물을 용이하게 설치할 수 있다.When the semiconductor facility is not located below the portion where the OHT device is provided, it is possible to easily install the walkway structure on one side of the OHT device using a lift device such as a lift.

그러나 상기 반도체 설비가 지그재그로 배열되어 상기 OHT 장치가 구비된 부위의 하부에 상기 반도체 설비가 위치하는 경우, 상기 승강 장치를 사용할 수 없어 상기 워크웨이 구조물을 설치하기 어렵다. However, when the semiconductor facility is arranged in a zigzag manner and the semiconductor facility is located below the portion where the OHT device is provided, it is difficult to install the walkway structure because the lifting device cannot be used.

본 발명은 반도체 설비의 상방의 천장에 설치가 가능한 워크웨이 구조물을 제공한다. The present invention provides a workway structure that can be installed on the ceiling above the semiconductor equipment.

본 발명은 반도체 설비의 상방의 천장에 워크웨이 구조물을 설치하기 위한 워크웨이 구조물 설치 방법을 제공한다. The present invention provides a method for installing a workway structure for installing a workway structure on a ceiling above a semiconductor facility.

본 발명에 따른 워크웨이 구조물은 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장에 고정되는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 비히클 및 상기 주행 레일의 유지 보수를 위해 작업자가 이동하기 위한 워크웨이를 포함할 수 있다. The workway structure according to the present invention is provided to be movable along a guide rail and the guide rail fixed to one side of the traveling rail on which the vehicle travels, and a workway for workers to move for maintenance of the vehicle and the driving rail It may include.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 워크웨이는, 상기 작업자의 이동을 위해 상기 작업자를 지지하는 바닥부와, 상기 바닥부의 양단으로부터 상방으로 연장하는 연장부 및 상기 연장부의 단부에 구비되며, 상기 가이드 레일과 접촉하여 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 이동부를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the walkway is provided at a bottom portion supporting the operator for movement of the worker, an extension portion extending upwardly from both ends of the bottom portion, and an end portion of the extension portion, It may include a moving portion in contact with the guide rail and moves along the guide rail.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 워크웨이 구조물은 상기 가이드 레일에 대해 상기 워크웨이의 위치가 정해지면 상기 워크웨이의 이동을 방지하기 위해 일단이 상기 워크웨이에 고정되고 타단이 상기 천장에 고정되는 다수의 고정 부재들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the workway structure has a plurality of ends fixed to the walkway and the other end fixed to the ceiling to prevent movement of the walkway when the position of the walkway is determined with respect to the guide rail. Fixing members may be further included.

본 발명에 따른 워크웨이 구조물 설치 방법은 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장에 기본 가이드 레일을 설치하는 단계와, 상기 기본 가이드 레일에 기본 워크웨이를 장착하는 단계와, 상기 기본 워크웨이의 전방을 향해 돌출되도록 발판을 마련하는 단계와, 상기 발판을 이용하여 상기 발판의 상방 천장에 상기 기본 가이드 레일과 연결되는 추가 가이드 레일을 설치하는 단계 및 상기 기본 워크웨이를 상기 추가 가이드 레일까지 이동시키면서 추가 워크웨이를 상기 기본 가이드 레일에 장착하는 단계를 포함할 수 있다. The method for installing a workway structure according to the present invention includes installing a basic guide rail on one side of a traveling rail on which a vehicle travels, mounting a basic walkway on the basic guide rail, and protruding toward the front of the basic walkway. Step of providing a footrest, the step of installing an additional guide rail connected to the base guide rail to the upper ceiling of the footrest using the footrest and moving the basic walkway to the additional guide rail while moving the additional walkway to the basic guide It may include mounting on the rail.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 워크웨이 구조물 설치 방법은 상기 추가 가이드 레일을 설치하는 단계 및 상기 기본 워크웨이를 상기 추가 가이드 레일까지 이동시키면서 추가 워크웨이를 상기 기본 가이드 레일에 장착하는 단계를 반복하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the method for installing the walkway structure repeats the steps of installing the additional guide rail and mounting the additional walkway to the basic guide rail while moving the basic walkway to the additional guide rail. It may further include a step.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 워크웨이 구조물 설치 방법은 상기 가이드 레일들의 설치 및 상기 워크웨이들의 장착이 완료된 후, 상기 워크웨이들의 이동을 방지하기 위해 일단이 상기 워크웨이들이 상기 천장에 고정되도록 다수의 고정 부재들을 설치하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, after the installation of the guide rails and the mounting of the walkways is completed, the method of installing the walkway structures may include a plurality of ends such that the walkways are fixed to the ceiling to prevent movement of the walkways. It may further include the step of installing the fixing member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기본 가이드 레일은 반도체 설비가 없는 구간의 상방 천장에 위치하고, 상기 추가 가이드 레일은 상기 반도체 설비가 구비된 구간의 상방 천장에 위치할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the basic guide rail may be located on the upper ceiling of a section without a semiconductor facility, and the additional guide rail may be located on the upper ceiling of a section with the semiconductor facility.

본 발명에 따른 워크웨이 구조물은 워크웨이들이 가이드 레일을 따라 이동할 수 있다. In the workway structure according to the present invention, walkways can move along a guide rail.

본 발명에 따른 워크웨이 구조물 설치 방법에 따르면, 반도체 설비가 없는 구간의 상방 천장에서부터 상기 반도체 설비가 구비된 구간의 상방 천장까지 가이드 레일을 설치하면서 워크웨이들을 상기 가이드 레일을 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 반도체 설비가 구비된 상태에서 상기 반도체 설비가 구비된 구간의 상방 천장에 상기 워크웨이 구조물을 용이하고 안정적으로 설치할 수 있다. According to the method for installing a walkway structure according to the present invention, the walkways can be moved along the guide rails while installing a guide rail from an upper ceiling in a section without a semiconductor facility to an upper ceiling in a section with a semiconductor facility. Therefore, the workway structure can be easily and stably installed on the ceiling above the section where the semiconductor facility is provided while the semiconductor facility is provided.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크웨이 구조물을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1의 가이드 레일과 워크웨이의 이동부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크웨이 구조물 설치 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4 내지 도 도 8은 도 3에 도시된 워크웨이 구조물 설치 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.1 is a front view for explaining a walkway structure according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view for explaining the moving part of the guide rail and the workway of FIG. 1.
3 is a flowchart illustrating a method of installing a walkway structure according to an embodiment of the present invention.
4 to 8 are side views for explaining the method of installing the walkway structure shown in FIG. 3.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 워크웨이 구조물 및 워크웨이 구조물 설치 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the workway structure and a workway structure installation method according to an embodiment of the present invention. The present invention can be applied to various changes and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention are included. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than the actual for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "include" or "have" are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크웨이 구조물을 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 도 1의 가이드 레일과 워크웨이의 이동부를 설명하기 위한 확대도이다. 1 is a front view for explaining a workway structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view for explaining a moving part of the guide rail and the workway of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참고하면, 워크웨이 구조물(100)은 가이드 레일(110), 워크웨이(120) 및 고정 부재(130)들을 포함한다. 1 and 2, the walkway structure 100 includes a guide rail 110, a walkway 120, and fixing members 130.

가이드 레일(110)은 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장(10)에 고정된다. The guide rail 110 is fixed to the ceiling 10 on one side of the traveling rail through which the vehicle travels.

일 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 가이드 레일(110)은 격자 형태의 몰드 바들 중 어느 한 방향으로 연장하는 몰드 바에 고정될 수 있다. 다른 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 상기 몰드 바들에 레이스웨이가 격자 형태로 고정되며, 가이드 레일(110)은 격자 형태의 레이스웨이들 중 어느 한 방향으로 연장하는 레이스웨이에 고정될 수 있다. For example, the mold bars are fixed to the ceiling 10 in a grid shape, and the guide rail 110 may be fixed to a mold bar extending in any one of the grid-shaped mold bars. As another example, mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, raceways are fixed to the mold bars in a lattice form, and the guide rail 110 is a race extending in any one of the lattice-shaped raceways. Can be fixed to the way.

워크웨이(120)는 가이드 레일(110)을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 비히클 및 상기 주행 레일의 유지 보수를 위해 작업자가 이동하기 위한 통로로 이용된다. The walkway 120 is provided to be movable along the guide rail 110, and is used as a passage for workers to move for maintenance of the vehicle and the driving rail.

구체적으로, 워크웨이(120)는 바닥부(122), 연장부(124) 및 이동부(126)를 포함한다. Specifically, the walkway 120 includes a bottom portion 122, an extension portion 124, and a moving portion 126.

바닥부(122)는 대략 평판 형태를 가지며, 작업자의 이동을 위해 작업자를 지지한다. The bottom part 122 has a substantially flat shape, and supports the worker for the movement of the worker.

한편 바닥부(122)는 바닥부(122)의 전방으로 돌출되도록 구비되는 발판(123)(도 6 참조)을 더 포함할 수 있다. Meanwhile, the bottom portion 122 may further include a footrest 123 (see FIG. 6) provided to protrude forward of the bottom portion 122.

일 예로, 발판(123)은 바닥부(122)의 내부 공간에 수납되며, 상기 내부 공간으로부터 인출 가능하도록 구비될 수 있다. For example, the footrest 123 is accommodated in the interior space of the bottom portion 122 and may be provided to be withdrawn from the interior space.

다른 예로, 발판(123)은 바닥부(122)의 전방으로 돌출되도록 구비되는 바닥부(122)에 별도의 부재를 이용하여 체결될 수 있다. As another example, the footrest 123 may be fastened using a separate member to the bottom portion 122 provided to protrude forward of the bottom portion 122.

연장부(124)는 바닥부(122)의 양측 단부들로부터 상방으로 연장한다. 따라서, 워크웨이(120)의 양측면은 연장부(124)에 의해 차단된다. 그러므로, 작업자가 워크웨이(120)의 측면을 통해 추락하는 것을 방지할 수 있다. The extension 124 extends upward from both ends of the bottom 122. Therefore, both sides of the workway 120 are blocked by the extension 124. Therefore, it is possible to prevent the worker from falling through the side surface of the workway 120.

한편, 연장부(124)는 바닥부(122)의 전단 및 후단에는 구비되지 않는다. 따라서, 워크웨이(120)의 전후방은 개방된다. 따라서, 워크웨이(120)를 전후 방향을 따라 연결하여 통로 형태로 형성할 수 있다. Meanwhile, the extension part 124 is not provided at the front end and the rear end of the bottom part 122. Therefore, the front and rear of the workway 120 are opened. Therefore, the walkways 120 may be connected along the front-rear direction to form a passage.

이동부(126)는 연장부(124)의 단부에 구비되며, 가이드 레일(110)을 따라 이동한다. 이동부(126)의 예로는 캐스터(caster), 롤러 등을 들 수 있다. 이동부(126)는 가이드 레일(110)을 따라 이동할 수 있으면 어느 것이나 무방하다. The moving part 126 is provided at the end of the extension part 124 and moves along the guide rail 110. Examples of the moving unit 126 include a caster, a roller, and the like. The moving part 126 may be any one as long as it can move along the guide rail 110.

이동부(126)가 가이드 레일(110)을 따라 이동하므로, 워크웨이(120)를 가이드 레일(110)을 따라 이동시켜 워크웨이(120)의 위치를 용이하게 조절할 수 있다. Since the moving part 126 moves along the guide rail 110, the position of the workway 120 can be easily adjusted by moving the walkway 120 along the guide rail 110.

가이드 레일(110)이 천장(10)을 따라 반도체 설비가 구비되지 않은 구간에서 상기 반도체 설비가 구비된 구간까지 설치되는 경우, 워크웨이(120)를 상기 반도체 설비가 구비되지 않은 구간으로부터 상기 반도체 설비가 구비된 구간으로 이동시킬 수 있다. 그러므로, 상기 반도체 설비가 구비되지 않은 구간에서 상기 반도체 설비가 구비된 구간까지 워크웨이(120)들을 연결하여 작업자가 이동하기 위한 통로를 형성할 수 있다. When the guide rail 110 is installed from the section where the semiconductor facility is not provided along the ceiling 10 to the section where the semiconductor facility is provided, the workway 120 is moved from the section where the semiconductor facility is not provided to the semiconductor facility. It can be moved to the provided section. Therefore, by connecting the workways 120 from the section where the semiconductor facility is not provided to the section where the semiconductor facility is provided, a passage for the worker to move can be formed.

고정 부재(130)들은 워크웨이(120)를 전창(10)에 고정한다. 고정 부재(130)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다. 가이드 레일(110)에 대해 워크웨이(120)의 위치가 정해진 상태에서 고정 부재(130)들이 워크웨이(120)를 고정하므로, 가이드 레일(110)에 대해 워크웨이(120)가 이동하는 것을 방지한다. 따라서, 워크웨이(120)를 안정적으로 고정할 수 있다. The fixing members 130 fix the workway 120 to the front window 10. Examples of the fixing member 130 include a turn buckle, a hanger bolt, and the like. Since the fixing members 130 fix the workway 120 in a state where the workway 120 is positioned relative to the guide rail 110, the workway 120 is prevented from moving relative to the guide rail 110. Therefore, the workway 120 can be stably fixed.

구체적으로, 고정 부재(130)들은 일단이 워크웨이(120)에 고정되고 타단이 천장(10)에 고정될 수 있다. Specifically, the fixing members 130 may have one end fixed to the workway 120 and the other end fixed to the ceiling 10.

일 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 고정 부재(130)의 타단은 가이드 레일(110)이 고정되지 않은 나머지 한 방향으로 연장하는 몰드 바에 고정될 수 있다. 다른 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 상기 몰드 바들에 레이스웨이가 격자 형태로 고정되며, 고정 부재(130)의 타단은 가이드 레일(110)이 고정되지 않은 나머지 한 방향으로 연장하는 레이스웨이에 고정될 수 있다. For example, the mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, and the other end of the fixing member 130 may be fixed to a mold bar extending in one direction in which the guide rail 110 is not fixed. As another example, mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, raceways are fixed to the mold bars in a lattice form, and the other end of the fixing member 130 is guide rail 110 is not fixed in the other direction It can be fixed to the raceway to extend.

가이드 레일(110)과 고정 부재(130)가 격자 형태를 갖는 몰드 바들에서 서로 다른 방향으로 연장하는 몰드 바에 각각 고정되거나, 격자 형태를 갖는 레이스웨이들에서 서로 다른 방향으로 연장하는 레이스웨이에 각각 고정되므로, 상기 몰드 바들 또는 상기 레이스웨이에 작용하는 하중을 분산시킬 수 있다. 그러므로, 워크웨이 구조물(100)은 상대적으로 큰 하중을 견딜 수 있다. The guide rail 110 and the fixing member 130 are respectively fixed to mold bars extending in different directions from mold bars having a grid shape, or fixed to raceways extending in different directions from raceways having a grid shape. Therefore, it is possible to distribute the load acting on the mold bars or the raceway. Therefore, the walkway structure 100 can withstand relatively large loads.

고정 부재(130)는 제1 고정 부재(132) 및 제2 고정 부재(134)를 포함한다. The fixing member 130 includes a first fixing member 132 and a second fixing member 134.

제1 고정 부재(132)는 일단이 바닥부(122)의 양측 단부에 고정되며, 타단이 천장(10)에 고정된다. 이때, 제1 고정 부재(132)는 바닥부(122)의 외측 상방을 향해 경사지도록 배치될 수 있다. One end of the first fixing member 132 is fixed to both ends of the bottom portion 122, and the other end is fixed to the ceiling 10. At this time, the first fixing member 132 may be arranged to be inclined toward the outside of the bottom portion 122.

제2 고정 부재(134)는 일단이 바닥부(122)의 중앙에 고정되며, 타단이 천장(10)에 고정된다. 이때, 제2 고정 부재(134)는 바닥부(122)에 수직하도록 배치될 수 있다. The second fixing member 134 has one end fixed to the center of the bottom portion 122 and the other end fixed to the ceiling 10. At this time, the second fixing member 134 may be disposed to be perpendicular to the bottom portion 122.

고정 부재(130)가 바닥부(122)의 양측 단부 및 중앙을 각각 고정하므로, 워크웨이(120)가 천장(10)에 보다 안정적으로 고정될 수 있다. 또한, 제1 고정 부재(132) 및 제2 고정 부재(134)가 워크웨이(120)에 작용하는 하중을 분산시킬 수 있다. 그러므로, 워크웨이 구조물(100)은 더욱 큰 하중을 견딜 수 있다. Since the fixing member 130 fixes the both ends and the center of the bottom portion 122, the workway 120 can be fixed to the ceiling 10 more stably. In addition, the first fixing member 132 and the second fixing member 134 can distribute the load acting on the workway 120. Therefore, the walkway structure 100 can withstand a greater load.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크웨이 구조물 설치 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 4 내지 도 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 워크웨이 구조물 설치 방법을 설명하기 위한 측면도들이다.3 is a flowchart illustrating a method for installing a walkway structure according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 4 to 8 are side views for explaining a method for installing a walkway structure according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장(10)에 기본 가이드 레일(110a)을 설치한다.(S110) 3 and 4, the basic guide rail 110a is installed on one side of the ceiling 10 of the traveling rail through which the vehicle travels. (S110)

일 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 기본 가이드 레일(110a)은 격자 형태의 몰드 바들 중 어느 한 방향으로 연장하는 몰드 바에 고정될 수 있다. 다른 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 상기 몰드 바들에 레이스웨이가 격자 형태로 고정되며, 기본 가이드 레일(110a)은 격자 형태의 레이스웨이들 중 어느 한 방향으로 연장하는 레이스웨이에 고정될 수 있다. For example, the mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, and the basic guide rail 110a may be fixed to a mold bar extending in any one of the lattice-shaped mold bars. As another example, mold bars are fixed to the ceiling 10 in a grid shape, raceways are fixed to the mold bars in a grid shape, and the basic guide rail 110a extends in any one of the grid-shaped raceways. It can be secured to the raceway.

이때, 기본 가이드 레일(110a)은 반도체 설비(20)가 없는 구간의 상방 천장(10)에 위치한다. 반도체 설비(20)가 없으므로 리프트 등의 승강 장치를 이용하여 기본 가이드 레일(110a)을 용이하게 설치할 수 있다. At this time, the basic guide rail 110a is located on the upper ceiling 10 in a section without the semiconductor facility 20. Since there is no semiconductor facility 20, it is possible to easily install the basic guide rail 110a using a lift device such as a lift.

도 3 및 도 5를 참조하면, 기본 가이드 레일(110a)에 기본 워크웨이(120a)를 장착한다.(S120) 3 and 5, the basic walkway 120a is mounted on the basic guide rail 110a. (S120)

기본 가이드 레일(110a)이 설치된 구간에는 반도체 설비(20)가 없으므로 리프트 등의 승강 장치를 이용하여 기본 가이드 레일(110a)에 기본 워크웨이(120a)를 용이하게 설치할 수 있다. Since there is no semiconductor facility 20 in the section where the basic guide rail 110a is installed, it is possible to easily install the basic walkway 120a on the basic guide rail 110a using a lift device such as a lift.

구체적으로, 기본 워크웨이(120a)의 이동부(126)의 높이가 기본 가이드 레일(110a)의 높이와 동일하도록 기본 워크웨이(120a)를 상승시킨 후 기본 가이드 레일(110a)을 따라 기본 가이드 레일(110a)의 후방에서 전방을 향해 수평 이동시켜 기본 가이드 레일(110a)에 기본 워크웨이(120a)를 장착할 수 있다. Specifically, after raising the basic walkway 120a so that the height of the moving part 126 of the basic walkway 120a is equal to the height of the basic guide rail 110a, the basic guide rail 110a is moved along the basic guide rail 110a. ) By moving horizontally from the rear toward the front, the basic walkway 120a can be mounted on the basic guide rail 110a.

도 4 및 도 5에서 기본 가이드 레일(110a)의 길이와 기본 워크웨이(120a)의 개수는 반도체 설비(20)가 있는 구간까지의 거리에 따라 달라질 수 있다. 예를 들면, 기본 가이드 레일(110a)의 길이는 워크웨이(120)를 하나 또는 두 개 정도 장착할 수 있을 정도인 것이 바람직하며, 기본 워크웨이(120a)의 개수도 하나 또는 두 개 정도인 것이 바람직하다. 4 and 5, the length of the basic guide rail 110a and the number of the basic walkways 120a may vary depending on the distance to the section where the semiconductor facility 20 is located. For example, the length of the basic guide rail 110a is preferably such that one or two of the workways 120 can be mounted, and the number of the basic walkways 120a is also one or two. .

도 3 및 도 6을 참조하면, 기본 워크웨이(120a)의 전방을 향해 돌출되도록 발판(123)을 마련한다. (S130)3 and 6, the footrest 123 is provided to protrude toward the front of the basic walkway 120a. (S130)

구체적으로, 발판(123)은 기본 워크웨이(120a)의 바닥부(122)로부터 인출되거나, 별도의 부재에 의해 바닥부(122)의 전방으로 돌출되도록 체결될 수 있다. Specifically, the footrest 123 may be withdrawn from the bottom portion 122 of the basic walkway 120a or fastened to protrude forward of the bottom portion 122 by a separate member.

이후, 발판(123)을 이용하여 발판(123)의 상방 천장(10)에 기본 가이드 레일(110a)과 연결되는 추가 가이드 레일(110b)을 설치한다. (S140)Thereafter, an additional guide rail 110b connected to the basic guide rail 110a is installed on the upper ceiling 10 of the scaffold 123 using the scaffold 123. (S140)

일 예로, 추가 가이드 레일(110b)은 기본 가이드 레일(110a)이 고정된 몰드 바에 고정될 수 있다. 다른 예로, 추가 가이드 레일(110b)은 기본 가이드 레일(110a)이 고정된 레이스웨이에 고정될 수 있다.For example, the additional guide rail 110b may be fixed to a mold bar to which the basic guide rail 110a is fixed. As another example, the additional guide rail 110b may be fixed to a raceway to which the basic guide rail 110a is fixed.

구체적으로, 작업자가 발판(123)에 위치한 상태에서 발판(123)의 상방 천장(10)에 추가 가이드 레일(110b)을 설치한다. 추가 가이드 레일(110b)은 발판(123)을 이용하여 설치하므로 상기 승강 장치가 불필요하다. 따라서, 추가 가이드 레일(110b)은 반도체 설비(20)가 있는 구간의 상방 천장(10)에 설치가 가능하다. 즉, 추가 가이드 레일(110b)은 반도체 설비(20)가 구비된 구간의 상방 천장(10)에 위치할 수 있다. Specifically, an additional guide rail 110b is installed on the upper ceiling 10 of the scaffold 123 in a state where the operator is located on the scaffold 123. Since the additional guide rail 110b is installed using a footrest 123, the lifting device is unnecessary. Therefore, the additional guide rail 110b can be installed on the upper ceiling 10 in the section where the semiconductor facility 20 is located. That is, the additional guide rail 110b may be located on the upper ceiling 10 in a section in which the semiconductor facility 20 is provided.

도 3 및 도 7을 참조하면, 기본 워크웨이(120a)를 추가 가이드 레일(110b)까지 이동시키면서 추가 워크웨이(120b)를 기본 가이드 레일(110a)에 장착한다. (S150)3 and 7, the additional walkway 120b is mounted on the basic guide rail 110a while moving the basic walkway 120a to the additional guide rail 110b. (S150)

구체적으로, 기본 워크웨이(120a)를 기본 가이드 레일(110a) 및 추가 가이드 레일(110b)을 따라 추가 가이드 레일(110b)의 전방가지 수평 이동한다. 또한, 추가 워크웨이(120b)의 이동부(126)의 높이가 기본 가이드 레일(110a)의 높이와 동일하도록 추가 워크웨이(120b)를 상승시킨 후 기본 가이드 레일(110a)을 따라 기본 가이드 레일(110a)의 후방에서 전방을 향해 수평 이동시켜 기본 가이드 레일(110a)에 추가 워크웨이(120b)를 장착한다. 이때, 기본 워크웨이(120a)와 추가 워크웨이(120b)는 밀착되어 전후 방향으로 통로를 형성할 수 있다. Specifically, the basic walkway 120a is horizontally moved to the front of the additional guide rail 110b along the basic guide rail 110a and the additional guide rail 110b. In addition, after raising the additional walkway 120b so that the height of the moving part 126 of the additional walkway 120b is the same as the height of the basic guide rail 110a, the basic guide rail 110a is moved along the basic guide rail 110a. Horizontally moving from the rear to the front of the base guide rail (110a) to mount the additional walkway (120b). At this time, the basic walkway 120a and the additional walkway 120b may be in close contact to form a passage in the front-rear direction.

도 3 및 도 8을 참조하면, 추가 가이드 레일(110b)을 설치하는 단계(S140, 도 6 참조) 및 기본 워크웨이(120a)를 추가 가이드 레일(110b)까지 이동시키면서 추가 워크웨이(120b)를 기본 가이드 레일(110a)에 장착하는 단계(S150, 도 7 참조)를 반복한다. (S160)3 and 8, the step of installing the additional guide rail 110b (S140, see FIG. 6) and the basic guide of the additional walkway 120b while moving the basic walkway 120a to the additional guide rail 110b The step of mounting on the rail 110a (S150, see FIG. 7) is repeated. (S160)

상기 반복을 통해 추가 가이드 레일(110b)을 반도체 설비(20)가 구비된 구간의 상방 천장(10)까지 설치할 수 있다. 따라서, 반도체 설비(20)가 구비된 구간의 상방 천장(10)에 가이드 레일(110)과 워크웨이(120)를 용이하면서도 안정적으로 설치할 수 있다. Through the repetition, the additional guide rail 110b may be installed up to the upper ceiling 10 of the section provided with the semiconductor facility 20. Therefore, the guide rail 110 and the walkway 120 can be easily and stably installed on the upper ceiling 10 in the section provided with the semiconductor facility 20.

한편, 상기 반복 횟수를 조절함으로써 워크웨이 구조물(100)의 길이를 조절할 수 있다. 그러므로, 워크웨이 구조물(100)을 필요한 구간만 선택적으로 설치할 수 있다. Meanwhile, the length of the walkway structure 100 may be adjusted by adjusting the number of repetitions. Therefore, only the required section of the walkway structure 100 can be selectively installed.

가이드 레일(110)의 설치 및 워크웨이(120)의 장착이 완료되면, 일단이 워크웨이(120)에 고정되고 타단이 천장(10)에 고정되는 고정 부재들(130)을 설치한다. (S170)When the installation of the guide rail 110 and the installation of the workway 120 are completed, one end is fixed to the workway 120 and the other end is fixed to the ceiling 10 to install the fixing members 130. (S170)

고정 부재(130)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다. 가이드 레일(110)에 대해 워크웨이(120)의 위치가 정해진 상태에서 고정 부재(130)들이 워크웨이(120)를 고정하므로, 가이드 레일(110)에 대해 워크웨이(120)가 이동하는 것을 방지한다. 따라서, 워크웨이(120)를 안정적으로 고정할 수 있다. Examples of the fixing member 130 include a turn buckle, a hanger bolt, and the like. Since the fixing members 130 fix the workway 120 in a state where the workway 120 is positioned relative to the guide rail 110, the workway 120 is prevented from moving relative to the guide rail 110. Therefore, the workway 120 can be stably fixed.

일 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 고정 부재(130)의 타단은 가이드 레일(110)이 고정되지 않은 나머지 한 방향으로 연장하는 몰드 바에 고정될 수 있다. 다른 예로, 천장(10)에 몰드 바들이 격자 형태로 고정되고, 상기 몰드 바들에 레이스웨이가 격자 형태로 고정되며, 고정 부재(130)의 타단은 가이드 레일(110)이 고정되지 않은 나머지 한 방향으로 연장하는 레이스웨이에 고정될 수 있다. For example, the mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, and the other end of the fixing member 130 may be fixed to a mold bar extending in one direction in which the guide rail 110 is not fixed. As another example, mold bars are fixed to the ceiling 10 in a lattice form, raceways are fixed to the mold bars in a lattice form, and the other end of the fixing member 130 is guide rail 110 is not fixed in the other direction It can be fixed to the raceway to extend.

가이드 레일(110)과 고정 부재(130)가 격자 형태를 갖는 몰드 바들에서 서로 다른 방향으로 연장하는 몰드 바에 각각 고정되거나, 격자 형태를 갖는 레이스웨이들에서 서로 다른 방향으로 연장하는 레이스웨이에 각각 고정되므로, 상기 몰드 바들 또는 상기 레이스웨이에 작용하는 하중을 분산시킬 수 있다. 그러므로, 워크웨이 구조물(100)은 상대적으로 큰 하중을 견딜 수 있다. The guide rail 110 and the fixing member 130 are respectively fixed to mold bars extending in different directions from mold bars having a grid shape, or fixed to raceways extending in different directions from raceways having a grid shape. Therefore, it is possible to distribute the load acting on the mold bars or the raceway. Therefore, the walkway structure 100 can withstand relatively large loads.

고정 부재(130)는 제1 고정 부재(132) 및 제2 고정 부재(134)를 포함한다. The fixing member 130 includes a first fixing member 132 and a second fixing member 134.

제1 고정 부재(132)는 일단이 바닥부(122)의 양측 단부에 고정되며, 타단이 천장(10)에 고정된다. 이때, 제1 고정 부재(132)는 바닥부(122)의 외측 상방을 향해 경사지도록 배치될 수 있다. One end of the first fixing member 132 is fixed to both ends of the bottom portion 122, and the other end is fixed to the ceiling 10. At this time, the first fixing member 132 may be arranged to be inclined toward the outside of the bottom portion 122.

제2 고정 부재(134)는 일단이 바닥부(122)의 중앙에 고정되며, 타단이 천장(10)에 고정된다. 이때, 제2 고정 부재(134)는 바닥부(122)에 수직하도록 배치될 수 있다. The second fixing member 134 has one end fixed to the center of the bottom portion 122 and the other end fixed to the ceiling 10. At this time, the second fixing member 134 may be disposed to be perpendicular to the bottom portion 122.

고정 부재(130)가 바닥부(122)의 양측 단부 및 중앙을 각각 고정하므로, 워크웨이(120)가 천장(10)에 보다 안정적으로 고정될 수 있다. 또한, 제1 고정 부재(132) 및 제2 고정 부재(134)가 워크웨이(120)에 작용하는 하중을 분산시킬 수 있다. 그러므로, 워크웨이 구조물(100)은 더욱 큰 하중을 견딜 수 있다. Since the fixing member 130 fixes the both ends and the center of the bottom portion 122, the workway 120 can be fixed to the ceiling 10 more stably. In addition, the first fixing member 132 and the second fixing member 134 can distribute the load acting on the workway 120. Therefore, the walkway structure 100 can withstand a greater load.

한편, 워크웨이 구조물(100)을 설치하는 순서를 반대로 적용하여 설치된 워크웨이 구조물(100)을 해체할 수 있다. 따라서, 워크웨이 구조물(100)의 해제도 용이하다. Meanwhile, the installed workway structure 100 may be disassembled by reversing the order in which the workway structures 100 are installed. Therefore, it is easy to release the workway structure 100.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 워크웨이 구조물 및 워크웨이 구조물 설치 방법에 따르면, 반도체 설비가 구비된 상태에서 상기 반도체 설비가 구비된 구간의 상방 천장에 워크웨이 구조물을 용이하고 안정적으로 설치할 수 있다. 그러므로, 설치 장소의 제한없이 상기 워크웨이 구조물을 설치할 수 있다. As described above, according to the workway structure and the workway structure installation method according to the present invention, it is possible to easily and stably install the workway structure on the ceiling above the section where the semiconductor facility is provided in the state where the semiconductor facility is provided. Therefore, the walkway structure can be installed without limitation of the installation location.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 워크웨이 구조물 110 : 가이드 레일
120 : 워크웨이 122 : 바닥부
123 : 발판 124 : 연장부
126 : 이동부 130 : 고정 부재
132 : 제1 고정 부재 134 : 제2 고정 부재
10 : 천장 20 : 반도체 설비100: walkway structure 110: guide rail
120: walkway 122: bottom
123: footrest 124: extension
126: moving part 130: fixing member
132: first fixing member 134: second fixing member
10: ceiling 20: semiconductor equipment

Claims (7)

비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장에 고정되는 가이드 레일; 및
상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 비히클 및 상기 주행 레일의 유지 보수를 위해 작업자가 이동하기 위한 워크웨이를 포함하고,
상기 가이드 레일에 대해 상기 워크웨이의 위치가 정해지면 상기 워크웨이의 이동을 방지하기 위해 일단이 상기 워크웨이에 고정되고 타단이 상기 천장에 고정되는 다수의 고정 부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물. A guide rail fixed to one ceiling of a driving rail on which the vehicle travels; And
It is provided to be movable along the guide rail, and includes a workway for the operator to move for maintenance of the vehicle and the driving rail,
When the position of the walkway is determined with respect to the guide rail, the walkway structure further comprises a plurality of fixing members, one end being fixed to the walkway and the other end being fixed to the ceiling to prevent movement of the walkway. 제1항에 있어서, 상기 워크웨이는,
상기 작업자의 이동을 위해 상기 작업자를 지지하는 바닥부;
상기 바닥부의 양측 단부으로부터 상방으로 연장하는 연장부; 및
상기 연장부의 단부에 구비되며, 상기 가이드 레일과 접촉하여 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물. According to claim 1, The walkway,
A bottom part supporting the worker for movement of the worker;
Extensions extending upwardly from both ends of the bottom portion; And
A walkway structure provided at an end portion of the extension portion and including a moving portion in contact with the guide rail and moving along the guide rail. 삭제delete 비히클이 주행하는 주행 레일의 일측 천장에 기본 가이드 레일을 설치하는 단계;
상기 기본 가이드 레일에 기본 워크웨이를 장착하는 단계;
상기 기본 워크웨이의 전방을 향해 돌출되도록 발판을 마련하는 단계;
상기 발판을 이용하여 상기 발판의 상방 천장에 상기 기본 가이드 레일과 연결되는 추가 가이드 레일을 설치하는 단계; 및
상기 기본 워크웨이를 상기 추가 가이드 레일까지 이동시키면서 추가 워크웨이를 상기 기본 가이드 레일에 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물 설치 방법. Installing a basic guide rail on one side of the traveling rail on which the vehicle travels;
Mounting a basic walkway on the basic guide rail;
Providing a footrest so as to protrude toward the front of the basic walkway;
Installing an additional guide rail connected to the basic guide rail on the upper ceiling of the scaffold using the scaffold; And
And mounting the additional walkway to the basic guide rail while moving the basic walkway to the additional guide rail. 제4항에 있어서, 상기 추가 가이드 레일을 설치하는 단계 및 상기 기본 워크웨이를 상기 추가 가이드 레일까지 이동시키면서 추가 워크웨이를 상기 기본 가이드 레일에 장착하는 단계를 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물 설치 방법. The walkway according to claim 4, further comprising the steps of installing the additional guide rail and repeating the step of mounting the additional walkway to the basic guide rail while moving the basic walkway to the additional guide rail. How to install structures. 제5항에 있어서, 상기 가이드 레일들의 설치 및 상기 워크웨이들의 장착이 완료된 후, 상기 워크웨이들의 이동을 방지하기 위해 일단이 상기 워크웨이들이 상기 천장에 고정되도록 다수의 고정 부재들을 설치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물 설치 방법. According to claim 5, After the installation of the guide rails and the mounting of the walkway is completed, further comprising the step of installing a plurality of fixing members so that the walkways are fixed to the ceiling to prevent movement of the walkways. Method of installing a walkway structure, characterized in that. 제4항에 있어서, 상기 기본 가이드 레일은 반도체 설비가 없는 구간의 상방 천장에 위치하고,
상기 추가 가이드 레일은 상기 반도체 설비가 구비된 구간의 상방 천장에 위치하는 것을 특징으로 하는 워크웨이 구조물 설치 방법. According to claim 4, The basic guide rail is located on the upper ceiling of the section without semiconductor equipment,
The additional guide rail is a method for installing a walkway structure, characterized in that located on the upper ceiling of the section equipped with the semiconductor facility.
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