KR102018433B1 - 액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법에 관한 것으로서, 그 목적으로는 버블관을 태엽 모양으로 벤딩시키면서 하부에 다수개의 분사공을 관통 형성하고, 분사공을 통하여 고압공기가 분사되면 탱크의 바닥판 쪽에 부딪치면서 작은 공기방울로 부상하여 거품을 생성시키게 함으로써, 거품을 이용한 교반장치의 교반 기능을 획기적으로 향상시키고자 하는 데에 있다.
이를 실현하기 위한 본 발명은, 걸림턱(6)을 상단부에 형성한 상자형 탱크(4); 상기 걸림턱(6)에 설치 되면서 회수관(8)을 통하여 분사되는 연마액으로 부터 슬러지를 걸러내는 필터부(10); 상기 필터부(10) 일측에 위치하여 걸림턱(6)에 설치되는 커버플레이트(12); 상기 커버플레이트(12)에 고정 설치되는 펌프(14); 상기 커버플레이트(12)에 고정 설치되는 히터(22); 상기 커버플레이트(12)에 고정 설치되는 온도센서(26); 상기 탱크(4)의 바닥판(30)에 파이프로 관통하여 결합된 드레인밸브(32); 상기 탱크(4) 내부에 설치되어 고압공기로 거품을 생성시켜서 연마액을 교반하는 에어버블교반기(50);로 된 것을 특징으로 한다.

Description

액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법{STIRRING DEVICE FOR LIQUID ABRASIVE AND CLEANNING METHOD THEREOF}

본 발명은 액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 버블관을 태엽 모양으로 벤딩시키면서 하부에 다수개의 분사공을 관통 형성하고, 분사공을 통하여 고압공기가 분사되면 탱크의 바닥판 쪽에 부딪치면서 작은 공기방울로 부상하여 거품을 생성시키게 함으로써, 거품을 이용한 교반장치의 교반 기능을 획기적으로 향상시키고자 하는 데에 있다.

또한, 탱크의 측벽에 원터치커플러를 관통시키면서 나사 결합하여 고정 설치하고, 원터치커플러에는 버블관과 삼방밸브를 원터치 작용으로 결합 및 분리하는 구조로 만듦으로써, 버블관과 삼방밸브를 분리하기 위한 작업의 간소화에 따르는 청소작업 시간의 단축으로 작업비용을 획기적으로 감소시키고자 한 액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법에 관한 것이다.

일반적으로, 교반장치는 폴리싱장치, 실리콘 웨이퍼 연마장치, 그리고 다양한 다른 장치에 연마액을 공급하기 위해 사용 되는데, 이러한 교반장치의 탱크 내부 벽면에는 연마액이 고체화 되어 붙게 됨으로 자주 청소를 해야 되는 번거로움이 있다.

따라서, 최근에는 청소작업을 편리하게 신속히 할 수 있도록 하기 위한 교반장치의 구조를 개선하고 있는 추세에 있다.

한편, 종래의 기술인 KR 10-2006-0072695 A 2006.6.28. "실리콘 웨이퍼 랩핑용 액상 연마제 공급장치"를 도 1 에서 살펴보면, 먼저 연마액이 채워져 있는 탱크(42) 중앙에는 교반기(44)가 회전축 하단부에 교반용 날개(44a)를 결합하면서 설치되고, 상기 탱크(42)의 내부 외측에는 실리콘 웨이퍼의 랩핑장치로 공급하는 펌프(46)가 설치되어 있다.

상기와 같이 설치된 교반기(44)가 작동하면서 회전축에 결합된 날개(44a)를 회전시키면, 상기 탱크(42) 내부에 채워져 있는 연마액은 와류가 발생하면서 교반되고, 동시에 상기 펌프(46)가 작동하면서 연마액을 실리콘 웨이퍼의 랩핑장치로 공급하게 된다.

상기 탱크(42)에 채워져 있는 연마액은 교반기(44)에 의해 교반되어 펌프(46)로 공급되는 과정에서, 상기 연마액의 일부는 고체화 되어 탱크(42) 내부벽면에 붙게 됨으로 주기적으로 청소작업을 하게 된다.

따라서, 상기 탱크(42) 내부를 청소하기 위해서는 교반기(44)를 외부로 들어내야 하는데, 상기 교반기(44)는 중량체인 관계로 크레인 등으로 들어 올린 후 외부로 이동시킨 다음 청소작업을 해야 됨으로 불편함이 따르고, 또한 청소비용이 상승하는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허번호 제10-2006-0072695호 (2006.06.28. 공개)

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로써, 그 목적은 다음과 같다.

첫째, 버블관을 태엽 모양으로 벤딩시키면서 하부에 다수개의 분사공을 관통 형성하고, 분사공을 통하여 고압공기가 분사되면 탱크의 바닥판 쪽에 부딪치면서 작은 공기방울로 부상하여 거품을 생성시키게 함으로써, 거품을 이용한 교반장치의 교반 기능을 획기적으로 향상시키고자 하는 데에 있다.

둘째, 탱크의 측벽에 원터치커플러를 관통시키면서 나사 결합하여 고정 설치하고, 원터치커플러에는 버블관과 삼방밸브를 원터치 작용으로 결합 및 분리하는 구조를 실현함으로써, 버블관과 삼방밸브를 분리하기 위한 작업의 간소화에 따르는 청소작업 시간의 단축으로 작업비용을 획기적으로 감소시키고자 하는 데에 있다.

본 발명은 첫째, 상부를 개방 형성하면서 걸림턱(6)을 상단부에 형성한 상자형 탱크(4);

상기 걸림턱(6)에 분리 가능하게 설치 되면서 회수관(8)을 통하여 분사되는 연마액으로부터 슬러지를 걸러내는 필터부(10);

상기 필터부(10) 일측에 위치하면서 걸림턱(6)에 분리 가능하게 설치되는 커버플레이트(12);

상기 커버플레이트(12)에 고정 설치 되면서 취수부(18)를 탱크(4) 내부로 배치하고, 취수부(18)에 공급관(16)을 연결하는 펌프(14);

상기 커버플레이트(12)에 고정 설치 되면서 가열봉(20)을 탱크(4) 내부로 배치하여 연마액을 가열하는 히터(22);

상기 커버플레이트(12)에 고정 설치 되면서 센서봉(24)을 탱크(4) 내부로 배치한 온도센서(26);

상기 탱크(4)의 바닥판(30)에 파이프로 관통하여 결합된 드레인밸브(32);

상기 탱크(4) 내부에 설치되어 고압공기로 거품을 생성시켜서 연마액을 교반하는 에어버블교반기(50);로 된 것을 특징으로 한다.

둘째, 상기 에어버블교반기(50)는 태엽 모양으로 벤딩 되면서 길이 방향을 따라 분사공(54) 다수개를 형성하는 버블관(52)으로 구성되고,

상기 버블관(52)은 바닥판(30)에 수평으로 설치 되면서 고압공기를 공급하는 에어탱크(64)에 연결되는 것을 특징으로 한다.

셋째, 상기 버블관(52) 선단부는 마개로 끼워서 막혀 있고, 상기 버블관(52) 후미는 원터치커플러(58) 출구에 분리 가능하게 결합되며, 상기 원터치커플러(58)는 탱크(4)의 측벽을 관통하면서 나사 결합되어 고정 설치되고, 상기 원터치커플러(58) 입구에는 에어탱크(64)가 연결되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 효과는 다음과 같다.

첫째, 버블관(52)을 태엽 모양으로 벤딩시키면서 하부에 다수개의 분사공(54)을 관통 형성하는 구조로 되어 있는데, 따라서 상기 분사공(54)을 통하여 고압공기가 분사되면 탱크(4)의 바닥판(30) 쪽에 부딪치면서 작은 공기방울로 부상하여 거품을 생성시키게 됨으로, 거품을 이용한 교반장치(2)의 교반 기능은 획기적으로 향상되는 효과가 있다.

둘째, 탱크(4)의 측벽에 원터치커플러(58)가 관통하면서 나사 결합되어 고정 설치되고, 상기 원터치커플러(58)에는 버블관(52)과 삼방밸브(60)가 원터치 작용으로 결합 및 분리되는 구조로 되어 있는데, 따라서 버블관(52)과 삼방밸브(60)를 분리하기 위한 작업을 간소화할 수 있는 관계로, 청소작업 시간 단축에 따르는 작업비용을 획기적으로 감소시키는 효과가 있다.

도 1 은 종래의 기술을 나타낸 교반기의 단면도.
도 2 는 본 발명의 실시예인 교반장치의 사시도.
도 3 은 본 발명의 실시예인 교반장치의 분리 사시도.
도 4 는 도 2 의 A - A 선 단면도.
도 5 는 도 2 의 B - B 선 단면도.
도 6a, 6b,6c 는 교반장치의 연마액 교반 및 여과과정을 나타낸 상태도.
도 7a,7b,7c 는 교반장치의 청소를 하기 위해 분리하는 과정을 나타낸
상태도.
도 8 은 본 발명에 따른 제어부의 구성 블록도.

본 발명인 교반장치(2)는 모바일용 폴리싱(polishing)장치의 연마과정에 사용되는 연마액을 공급하기 위한 것으로, 이러한 교반장치(2)에 사용되는 연마액은 산화세륨(CeO₂)과 물을 혼합한 것을 사용 하는데, 상기 연마액은 쉽게 고체화 되는 특성을 가지고 있음으로 항상 교반시켜서 고체화의 진행을 방지하고, 동시에 연마액을 20℃∼35℃의 사용온도로 유지시켜야 된다.

상기 교반장치(2)에는 도 2 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 상부를 개방한 상자형 탱크(4)(도3참조)가 구성 되면서 상단부의 안쪽으로 걸림턱(6)이 형성되고, 상기 걸림턱(6)의 타측에는 회수관(8)을 통하여 분사되는 연마액으로 부터 슬러지를 걸러내는 필터부(10)가 분리 가능하게 설치되며, 상기 필터부(10) 일측에는 커버플레이트(12)가 위치하면서 걸림턱(6)에 분리 가능하게 설치된다.

상기 커버플레이트(12)에는 연마액을 순환시키는 펌프(14)가 결합 되면서 공급관(16)이 연결된 취수부(18)를 탱크(4) 내부에 배치하고, 상기 펌프(14)의 외측에는 가열봉(20)을 탱크(4) 내부로 배치한 히터(22)와, 센서봉(24)을 탱크(4) 내부로 배치한 온도센서(26)와, 제어부(28)가 각각 위치하면서 커버플레이트(12)에 고정 설치된다.

이때, 상기 필터부(10)와 커버플레이트(12)는 탱크(4)의 상단부에서 좌,우 위치를 바꾸어 배치할 수도 있음으로 위치는 한정하지 않는다.

그리고, 상기 탱크(4)의 바닥판(30)에는 드레인밸브(32)가 파이프를 관통시켜서 결합된다.

상기와 같이 설치되는 필터부(10)에는 탱크(4)의 걸림턱(6)에 분리 가능하게 안착하는 트레이(34)가 구성되고, 상기 트레이(34)의 중앙에는 연마액을 통과시키는 안내공(36)이 관통하여 형성되며, 상기 트레이(34)의 후미 양측에는 걸이대(38)가 용접되어 수직으로 설치된다.

상기 걸이대(38)에는 필터지(40)가 감겨진 필터롤러(42)의 축(44)이 횡 방향으로 배치 되면서 회전 가능하게 결합되고, 상기 트레이(34)의 상부에는 연마액이 통과할 수 있도록 된 타공받침판(46)이 설치 되는데, 이때 상기 타공받침판(46)의 선,후단부에는 후크(48)가 각각 형성되어 있어서 트레이(34)의 측벽 상단부에 분리 가능하게 걸쳐지게 되며, 상기 타공받침판(46) 위에는 필터롤러(42)로 부터 풀려진 필터지(40)의 일부가 놓여지게 된다.

계속하여, 상기 탱크(4) 내부에는 고압공기로 거품을 생성시켜서 연마액을 교반시키는 에어버블교반기(50)가 설치 되는데, 상기 에어버블교반기(50)에는 바닥판(30)에 수평으로 배치 되면서 태엽 모양으로 벤딩되는 버블관(52)으로 구성되고, 상기 버블관(52)(도4참조)의 하부에는 다수개의 분사공(54)이 길이 방향을 따라 동일한 간격으로 배치 되면서 관통 형성된다.

이때, 상기 분사공(54)은 버블관(52)의 외주 둘레를 따라 원형 띠 모양으로 배치하여 형성할 수도 있지만 한정하지는 않는다.

그리고, 상기 버블관(52)의 하부에는 받침대(56) 다수개가 용접되어 고정 설치 되는데, 상기 받침대(56)는 버블관(52)을 탱크(4)의 바닥판(30)으로 부터 이격킴으로써 고압공기가 분사공(54)을 통하여 바닥판(30) 쪽으로 원활하게 분사될 수 있게 한다.

상기와 같이 설치된 버블관(52)의 선단부는 마개로 끼워서 막혀 있고, 상기 버블관(52)의 후미는 원터치커플러(58)의 출구에 분리 가능하게 결합되며, 상기 원터치커플러(58)는 탱크(4)의 측벽면을 관통하면서 나사로 결합되어 설치된다.

상기 원터치커플러(58)의 입구에는 보조관(59)이 분리 가능하게 결합되고, 상기 보조관(59)에는 공기의 흐름을 단속하는 삼방밸브(60)와 에어펌프(64)와 컴프레서(66)가 순차적으로 연결되며, 상기 보조관(59)과 삼방밸브(60)에는 저온 공기 발생기인 에어젯쿨러(62)가 병렬로 연결된다.

한편, 상기와 같이 설치되는 펌프(14)와 히터(22)와 온도센서(26)와 삼방밸브(60)에는 도 8 에 도시된 바와 같이 제어부(28)가 연결되고, 상기 제어부(28)는 커버플레이트(12)에 고정 설치된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 공급관(16)(도3참조)과 회수관(8)을 미 도시한 폴리싱 장치에 각각 연결한 다음, 상기 제어부(28)를 통하여 펌프(14)에 작동명령을 전달함으로써 연마액을 폴리싱 장치로 공급하면서 순환시키고, 동시에 상기 히터(22)에 작동명령을 전달하여 가열봉(20)으로 연마액을 가열하면서 온도센서(26)의 센서봉(24)으로 연마액의 온도를 체크한다.

이때, 상기 제어부(28)는 온도센서(26)로 부터 전달되는 연마액의 온도 정보를 바탕으로 히터(22)와 에어젯쿨러(62)로 연마액의 온도를 조절함으로써, 상기 연마액의 온도가 20℃∼35℃ 의 온도범위를 유지하게 하지만 연마액의 온도는 한정하지 않는다.

상기와 같이 연마액의 온도가 20℃∼35℃ 범위에 있는 상태에서 제어부(28)의 명령으로 삼방밸브(60)가 작동하면 컴프레서(66)에 의해 에어탱크(64)에 저장된 고압공기는 삼방밸브(60)를 통과하여 보조관(59)으로 곧바로 이동하게 되고, 이후로 고압공기는 원터치커플러(58)를 통과하여 버블관(52)으로 진입하면서 다수개의 분사공(54)을 통하여 탱크(4)의 바닥판(30) 쪽으로 분사된다.

이때, 상기 히터(22)는 오프 상태를 유지하고 있는다.

상기와 같이 분사된 고압공기는 도 6a 에 도시된 바와 같이 바닥판(30)에 부딪치면서 작은 크기의 공기방울로 만들어져서 거품을 생성하게 되고, 이러한 거품은 부상하면서 연마액을 무질서하게 동요시킴으로써 연마시키는 과정을 진행하게 된다.

상기와 같이 20℃∼35℃ 의 온도 범위를 유지하고 있는 연마액의 일부는 폴리싱 장치에서 연마되는 글라스 위로 분사되어 마찰열을 흡수하면서 회수관(8)을 따라 탱크(4)로 복귀하게 되는데, 이때 상기 탱크(4)에 잔류한 연마액은 복귀한 연마액에 의해 온도가 소폭 상승하게 된다.

이때, 상기 제어부(28)는 온도센서(26)를 통하여 전달받은 연마액의 온도가 35℃ 이상이라고 판단되면, 상기 히터(22)의 오프 상태를 유지시킨 상태에서 삼방밸브(60)에 재차 작동명령을 전달하여 공기의 흐름을 전환함으로써, 상기 에어탱크(64)로 부터 공급되는 고압공기가 에어젯쿨러(62)를 통과하게 한다.

상기 고압공기는 에어젯쿨러(62)를 통과하면서 저온상태로 되고, 이후로 저온 상태의 고압공기는 보조관(59)을 지나 버블관(52)으로 공급된 후 분사공(54)을 통하여 분사 되면서 전술한 바와 같이 부상하게 된다.

상기와 같이 저온 상태로 공급되어 부상하는 고압공기는 35℃의 온도로 상승한 연마액을 냉각하게 되는데, 이때 상기 제어부는 온도센서(26)로 부터 전달되는 온도정보를 바탕으로 연마액의 온도가 20℃∼35℃ 범위로 복귀하였다고 판단되면, 상기 삼방밸브(60)에 재차 명령을 전달하여 에어탱크(64)로 부터 공급되는 고압공기가 에어젯쿨러(62)로 흐르지 않도록 차단함으로써, 상기 고압공기가 삼방밸브(60)에서 보조관(59)으로 곧바로 이동하게 한다.

상기와는 달리 에어젯쿨러(62)에 의해 연마액이 더욱 냉각되어 20℃ 이하로 되었을 경우에는, 상기 제어부(28)는 히터(22)에 작동명령을 전달하여 가열봉(20)을 통하여 연마액을 가열함으로써 20℃∼35℃ 의 온도범위를 유지하게 하고, 이후로 제어부(28)는 히터(22)를 오프상태로 유지시킨다.

상기와 같은 상태에서 펌프(14)는 계속 작동하면서 연마액의 일부를 취수부(18)로 유입시킨 후 공급관(16)을 통하여 폴리싱 장치로 공급하게 되고, 이후로 연마액은 글라스로 분사 되면서 연마과정에서 발생된 슬러지를 씻어내어 함께 회수관(8)을 따라 필터부(10)로 이동하게 된다.

상기 필터부(10)로 이동한 연마액은 도 6b 에 도시된 바와 같이 회수관(8)으로 부터 분사되어 타공받침판(46) 위에 놓여 있는 필터지(40)로 낙하하게 되는데, 이때 연마액에 포함된 슬러지는 필터지(40)에 남아 있게 되고, 순수한 연마액만 필터지(40)를 통과한 후 타공받침판(46)과 트레이(34)의 안내공(36)을 순차적으로 통과하여 탱크(4)로 낙하하게 된다.

상기 이후로, 연마액은 탱크(4) 내부에서 전술한 바와 같이 교반 되면서 순환하는 과정을 반복하게 된다.

상기와 같이 연마액이 필터지(40)를 반복하여 통과하면 슬러지가 쌓이게 되어 흐름을 저해하게 됨으로, 도 6c 에 도시된 바와 같이 필터지(40)를 당겨서 사용된 부분은 타공받침판(46)으로 부터 벗어나 수거용 상자(68)로 이동하게 하고, 새로운 필터지(40)는 필터롤러(42)로 부터 풀려져 나와서 타공받침판(46) 위에 놓여 있게 한다.

한편, 상기 교반장치(2)는 일정기간 사용하면 탱크(4)의 측면벽과 바닥판(30)에는 연마액의 일부가 고체화 되어 붙게 됨으로, 상기 탱크(4)에 대한 청소작업을 주기적으로 하게 되는데, 그 청소 작업과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상기 탱크(4)의 바닥판(30)에 설치된 드레인밸브(32)를 개방하여 연마액을 외부로 배출하는 과정을 실시한다.

상기 연마액 배출과정 이후로, 도 7a 에 도시된 바와 같이 필터부(10)를 들어 올려서 탱크(4)로부터 분리하는 과정을 실시한다.

상기와 같이 필터부(10)를 들어 올리면 트레이(34)의 하단부는 탱크(4)의 상단부에 형성된 걸림턱(6)으로 부터 이탈하게 되고, 동시에 상기 트레이(34)의 상부에 위치한 타공받침판(46)과 필터롤러(42) 등이 함께 들어 올려지면서 탱크(4)로부터 분리되게 된다.

이때, 상기 커버플레이트(12)는 청소를 위해 탱크(4)로 부터 분리하지 않게 되지만 필요에 따라 분리할 수도 있다.

상기 필터부(10) 분리과정 이후로, 도 7b 에 도시된 바와 같이 버블관(52)을 원터치커플러(58)로 부터 원터치 작용으로 분리하면서 들어 올려서 탱크(4)로부터 분리하는 과정을 실시한다.

상기 탱크(4)에 고정 설치된 원터치커플러(58)의 출구측 부분을 밀어서 원터치 작용으로 버블관(52)의 후미를 분리한 다음, 상기 버블관(52)을 들어 올려서 탱크(4)의 외부로 인출한다.

이때, 상기 원터치커플러(58)의 입구측에 있는 보조관(59)은 분리하지 않게 되지만 필요에 따라 분리할 수도 있다.

상기 버블관(52) 분리과정 이후로, 탱크(4) 내부를 물로 청소하는 과정을 실시한다.

상기 탱크(4) 내부로 고압 세척기용 물분사기(70)로 물을 분사하면 탱크(4)의 측면벽과 바닥판(30)에 붙어 있는 고체 상태의 연마제가 탈락되고, 동시에 분사된 물과 탈락된 연마제가 함께 드레인밸브(32)를 통하여 외부로 빠져나가게 된다.

이때, 상기 탱크(4)의 내부에 대한 청소는 물걸레로 청소하여도 무방하다.

상기와 같이 탱크(4)에 대한 내부 청소작업을 완료하면, 전술한 바와는 반대로 원터치커플러(58)에 버블관(52)을 원터치 작용으로 결합한 다음, 상기 필터부(10)를 탱크(4)의 걸림턱(6)에 안착시키고 연마액을 채우면, 상기 교반장치(2)는 최초와 같이 연마액을 공급하기 위한 준비상태가 된다.

한편, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 에어젯쿨러(62)와 에어버블교반기(50)는 동일인에 의해 선출원된 특허출원번호 제10-2017-0116055호 "액상 연마제 교반장치 및 교반장치의 청소방법"에 적용하여 사용할 수도 있다.

그리고, 상기 교반장치(2)는 폴리싱장치와 실리콘 웨이퍼 연마장치 및 다양한 다른 장치에도 연결하여 사용할 수 있음으로 용도에 있어서는 한정하지 않는다.

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하였지만, 본 발명은 여기에 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있을 것이다.

2:교반장치 4:탱크
6:걸림턱 8:회수관
10:필터부 12:커버플레이트
14:펌프 16:공급관
18:취수부 20:가열봉
22:히터 24:센서봉
26:온도센서 28:제어부
30:바닥판 32:드레인밸브
34:트레이 36:안내공
38:걸이대 40:필터지
42:필터롤러 44:축
46:타공받침판 48:후크
50:에어버블교반기 52:버블관
54:분사공 56:받침대
58:원터치커플러 60:삼방밸브
62:에어젯쿨러 64:에어탱크
66:컴프레서 68:상자
70:물분사기

Claims (12)

1. 걸림턱(6)을 상단부에 형성한 상자형 탱크(4);
   상기 걸림턱(6)에 설치되는 커버플레이트(12) 및 필터부(10);
   상기 커버플레이트(12)에 고정 설치되는 펌프(14), 히터(22), 온도센서(26);
   상기 탱크(4) 내부에 설치되는 에어버블교반기(50);로 된 액상 연마제 교반장치에 있어서,
   상기 에어버블교반기(50)는 분사공(54)이 다수 형성된 버블관(52)을 태엽 모양으로 벤딩하면서 받침대(56)를 저면에 설치하여 구성하고,
   상기 버블관(52)의 끝단부는 원터치커플러(58)로 탱크(4)의 측벽에 결합하며,
   상기 원터치커플러(58)에는 삼방밸브(60)를 연결 하면서 에어탱크(64)와 에어젯쿨러(62)를 연결한 것을 특징으로 하는 액상 연마제 교반장치.
2. 청구항 1 에 있어서,
   상기 필터부(10)에는 탱크(4)의 걸림턱(6)에 안착하면서 중앙에 안내공(36)을 관통 형성한 트레이(34)가 구성되고,
   상기 트레이(34)의 후미 양측에는 걸이대(38)가 수직으로 고정 설치되면서 필터지(40)가 감겨진 필터롤러(42)의 축(44)을 회전 가능하게 결합하며,
   상기 트레이(34)의 상부에는 연마액이 통과하는 타공받침판(46)이 분리 가능하게 설치되고,
   상기 필터지(40)는 필터롤러(42)로 부터 풀려져서 타공받침판(46) 위에 놓여져 사용된 후, 필터롤러(42)로부터 풀려지는 새로운 필터지(40)가 타공받침판(46) 위에 놓여지면 사용된 필터지(40)는 연속 밀려져서 상자(68)로 이동되어 폐기되는 것을 특징으로 한 액상 연마제 교반장치.
3. 청구항 1 에 있어서,
   상기 펌프(14)와 히터(22)와 온도센서(26)와 삼방밸브(60)에 제어부(28)가 연결되고,
   상기 제어부(28)는 온도센서(26)로부터 전달되는 정보를 바탕으로 연마액의 온도가 20℃∼35℃ 범위를 넘은 상승된 온도라고 판단되면 삼방밸브(60)에 작동명령을 전달하여 공기의 흐름 방향을 전환하며,
   상기 에어탱크(64)의 고압공기는 에어젯쿨러(62)를 통과하여 저온으로 낮아지면서 보조관(59)과 버블관(52)을 지나 탱크(4)로 공급되어 연마액을 냉각시키는 것을 특징으로 한 액상 연마제 교반장치.
   
   
   
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