KR102017732B1 - Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 개시는, 외부 전극과 전기적으로 연결되는 반도체 발광소자에 있어서, 제1 반도체 발광소자 칩; 제2 반도체 발광소자 칩; 도전체; 제1 투광층; 제1 투광층과 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체 사이에 위치하는 공통 전극층; 그리고 반도체 발광소자의 측면으로 나가는 빛을 차단하는 비투광층;을 포함하며, 도전체는 외부 전극과 공통 전극층을 전기적으로 연결하는 반도체 발광소자 및 제조방법에 관한 것이다.The present disclosure provides a semiconductor light emitting device electrically connected to an external electrode, comprising: a first semiconductor light emitting device chip; A second semiconductor light emitting device chip; Conductors; A first light transmitting layer; A common electrode layer positioned between the first light transmitting layer, the first semiconductor light emitting device chip, the second semiconductor light emitting device chip, and the conductor; And a non-transmissive layer that blocks light exiting to the side of the semiconductor light emitting device, wherein the conductor relates to a semiconductor light emitting device and a manufacturing method for electrically connecting the external electrode and the common electrode layer.

Description

반도체 발광소자 및 이의 제조방법{SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Semiconductor Light-Emitting Device and Manufacturing Method Thereof {SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자에 관한 것으로, 특히 서로 다른 색을 발광하는 복수의 반도체 발광소자 칩을 포함하고 있는 반도체 발광소자에 관한 것이다.The present disclosure relates generally to semiconductor light emitting devices, and more particularly, to a semiconductor light emitting device including a plurality of semiconductor light emitting device chips emitting different colors.

여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art). 또한 본 명세서에서 상측/하측, 위/아래 등과 같은 방향 표시는 도면을 기준으로 한다. This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art. In addition, in the present specification, direction indications such as up / down, up / down, etc. are based on the drawings.

도 1은 종래의 반도체 발광소자 칩의 일 예를 나타내는 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device chip.

반도체 발광소자 칩은 성장기판(10; 예: 사파이어 기판), 성장기판(10) 위에, 버퍼층(20), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: n형 GaN층), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예; INGaN/(In)GaN MQWs), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: p형 GaN층)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 전류 확산을 위한 투광성 전도막(60)과, 본딩 패드로 역할하는 전극(70)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 역할하는 전극(80: 예: Cr/Ni/Au 적층 금속 패드)이 형성되어 있다. 도 1과 같은 형태의 반도체 발광소자를 특히 레터럴 칩(Lateral Chip)이라고 한다. 여기서, 성장기판(10) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다. 본 명세서에서 반도체 발광소자 칩 또는 반도체 발광소자가 전기적으로 연결되는 외부는 PCB(Printed Circuit Board), 서브마운트, TFT(Thin Film Transistor) 등을 의미한다.The semiconductor light emitting device chip may include a growth substrate 10 (eg, a sapphire substrate), a growth layer 10, a buffer layer 20, a first semiconductor layer 30 having a first conductivity (eg, an n-type GaN layer), and electrons. The active layer 40 (eg, INGaN / (In) GaN MQWs) that generates light through recombination of holes, and the second semiconductor layer 50 (eg, p-type GaN layer) having a second conductivity different from the first conductivity are sequentially And a transmissive conductive film 60 for spreading current and an electrode 70 serving as a bonding pad, and serving as a bonding pad on the etched and exposed first semiconductor layer 30. An electrode 80, for example, a Cr / Ni / Au laminated metal pad, is formed. The semiconductor light emitting device of the form as shown in FIG. 1 is particularly called a lateral chip. Here, when the growth substrate 10 side is electrically connected to the outside becomes a mounting surface. In the present specification, an externally connected semiconductor light emitting device chip or semiconductor light emitting device means a printed circuit board (PCB), a submount, a thin film transistor (TFT), or the like.

도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 다른 예를 나타내는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 변경하였다.2 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device chip disclosed in US Patent No. 7,262,436. For convenience of description, reference numerals have been changed.

반도체 발광소자 칩은 성장기판(10), 성장기판(10) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 성장기판(10) 측으로 빛을 반사시키기 위한 3층으로 된 전극막(90, 91, 92)이 형성되어 있다. 제1 전극막(90)은 Ag 반사막, 제2 전극막(91)은 Ni 확산 방지막, 제3 전극막(92)은 Au 본딩층일 수 있다. 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 기능하는 전극(80)이 형성되어 있다. 여기서, 전극막(92) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다. 도 2와 같은 형태의 반도체 발광소자 칩을 특히 플립 칩(Flip Chip)이라고 한다. 도 2에 도시된 플립 칩의 경우 제1 반도체층(30) 위에 형성된 전극(80)이 제2 반도체층 위에 형성된 전극막(90, 91, 92)보다 낮은 높이에 있지만, 동일한 높이에 형성될 수 있도록 할 수도 있다. 여기서 높이의 기준은 성장기판(10)으로부터의 높이일 수 있다. The semiconductor light emitting device chip may include a growth substrate 10 and a growth substrate 10, a first semiconductor layer 30 having a first conductivity, an active layer 40 that generates light through recombination of electrons and holes, and a first conductivity. The second semiconductor layer 50 having a second conductivity different from that of the second semiconductor layer 50 is sequentially deposited, and three electrode layers 90, 91, 92 are formed on the growth substrate 10 to reflect light. have. The first electrode film 90 may be an Ag reflecting film, the second electrode film 91 may be a Ni diffusion barrier film, and the third electrode film 92 may be an Au bonding layer. An electrode 80 serving as a bonding pad is formed on the etched and exposed first semiconductor layer 30. Here, when the electrode film 92 side is electrically connected to the outside, it becomes a mounting surface. A semiconductor light emitting device chip of the same type as that of FIG. 2 is particularly referred to as a flip chip. In the flip chip illustrated in FIG. 2, the electrode 80 formed on the first semiconductor layer 30 is at a lower level than the electrode films 90, 91, and 92 formed on the second semiconductor layer, but may be formed at the same height. You can also do that. The height reference may be the height from the growth substrate 10.

도 3은 미국 등록특허공보 제8,008,683호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 또 다른 예를 나타내는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 변경하였다.3 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device chip disclosed in US Patent No. 8,008,683. For convenience of description, reference numerals have been changed.

반도체 발광소자 칩은 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50)이 순차로 형성되어 있으며, 성장 기판이 제거된 측에 형성된 상부 전극(31), 제2 반도체층(50)에 전류를 공급하는 한편 반도체층(30, 40, 50)을 지지하는 지지 기판(51), 그리고 지지 기판(51)에 형성된 하부 전극(52)을 포함한다. 상부 전극(31)은 와이어 본딩을 이용하여 외부와 전기적으로 연결된다. 하부 전극(52)측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면으로 기능한다. 도 3과 같이 전극(31, 52)이 활성층(40)의 위 및 아래에 1개씩 있는 구조의 반도체 발광소자 칩을 수직 칩(Vertical Chip)이라 한다.The semiconductor light emitting device chip may include a first semiconductor layer 30 having a first conductivity, an active layer 40 generating light through recombination of electrons and holes, and a second semiconductor layer 50 having a second conductivity different from the first conductivity. ) Is sequentially formed, and supports the semiconductor layers 30, 40, and 50 while supplying current to the upper electrode 31 and the second semiconductor layer 50 formed on the side from which the growth substrate is removed. 51, and a lower electrode 52 formed on the support substrate 51. The upper electrode 31 is electrically connected to the outside by using wire bonding. When the lower electrode 52 side is electrically connected to the outside, the lower electrode 52 functions as a mounting surface. As shown in FIG. 3, a semiconductor light emitting device chip having a structure in which electrodes 31 and 52 are disposed above and below the active layer 40 is called a vertical chip.

도 4는 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating an example of a conventional semiconductor light emitting device.

반도체 발광소자(100)는 리드 프레임(110, 120), 몰드(130), 그리고 캐비티(140) 내에 수직형 반도체 발광소자 칩(150; Vertical Type Light Emitting Chip)이 구비되어 있고, 캐비티(140)는 파장 변환재(160)를 함유하는 봉지제(170)로 채워져 있다. 수직형 반도체 발광소자 칩(150)의 하면이 리드 프레임(110)에 전기적으로 직접 연결되고, 상면이 와이어(180)에 의해 리드 프레임(120)에 전기적으로 연결되어 있다. 수직형 반도체 발광소자 칩(150)에서 나온 광의 일부가 파장 변환재(160)를 여기 시켜 다른 색의 광을 만들어 두 개의 서로 다른 광이 혼합되어 백색광을 만들 수 있다. 예를 들어 반도체 발광소자 칩(150)은 청색광을 만들고 파장 변환재(160)에 여기 되어 만들어진 광은 황색광이며, 청색광과 황색광이 혼합되어 백색광을 만들 수 있다. 도 4는 도 3에 도시된 수직형 반도체 발광소자 칩(150)을 사용한 반도체 발광소자를 보여주고 있지만, 도 1 및 도 2에 도시된 반도체 발광소자 칩을 사용하여 도 4와 같은 형태의 반도체 발광소자를 제조할 수도 있다. The semiconductor light emitting device 100 includes a vertical semiconductor light emitting chip 150 in the lead frames 110 and 120, the mold 130, and the cavity 140, and the cavity 140. Is filled with an encapsulant 170 containing wavelength converting material 160. The lower surface of the vertical semiconductor light emitting device chip 150 is electrically connected directly to the lead frame 110, and the upper surface is electrically connected to the lead frame 120 by the wire 180. A portion of the light emitted from the vertical semiconductor light emitting device chip 150 may excite the wavelength conversion material 160 to produce light of different colors, and two different lights may be mixed to form white light. For example, the semiconductor light emitting device chip 150 may generate blue light, and light generated by being excited by the wavelength converting material 160 may be yellow light, and blue light and yellow light may be mixed to produce white light. Although FIG. 4 shows a semiconductor light emitting device using the vertical semiconductor light emitting device chip 150 shown in FIG. 3, the semiconductor light emitting device having the same shape as that of FIG. 4 using the semiconductor light emitting device chips shown in FIGS. 1 and 2 is shown. It is also possible to manufacture the device.

도 5는 일본 공개특허공보 제1995-288341호에 제시된 LED 디스플레이의 예를 나타내는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 변경하였다.5 is a diagram showing an example of the LED display shown in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 1995-288341. For convenience of description, reference numerals have been changed.

도 5는 LED 디스플레이에서 한 개의 픽셀(pixel) 구조를 나타내는 평면도(190)이다. 픽셀의 구조는 PCB 위에 형성된 전도체층(191)에 반도체 발광소자 칩(194, 195, 196)이 전기적으로 연결되어 있다. 청색을 발광하는 반도체 발광소자 칩(194)은 래터럴 칩으로 와이어 본딩을 통해 전도체층(191)과 전기적으로 연결되고 전도체층(191) 위에 절연성 접착제(193)로 접착되어 있다. 녹색과 적색을 발광하는 반도체 발광소자 칩(195, 196)은 수직 칩으로서 도전성 접착제(197) 및 와이어 본딩을 통해 전도체층(191)과 전기적으로 연결되어 있다. 그리고 인접한 다른 픽셀과 구분하기 위해서 커버부품(192)으로 둘러싸여 있다. 도면에는 도시하지 않았지만 반도체 발광소자 칩(194, 195, 196)을 보호하기 위해서 밀봉재가 반도체 발광소자 칩(194, 195, 196)을 덮고 있다.5 is a plan view 190 illustrating a pixel structure in an LED display. In the pixel structure, semiconductor light emitting device chips 194, 195, and 196 are electrically connected to a conductor layer 191 formed on a PCB. The semiconductor light emitting device chip 194 emitting blue light is a lateral chip electrically connected to the conductor layer 191 through wire bonding, and is bonded to the conductor layer 191 with an insulating adhesive 193. The semiconductor light emitting device chips 195 and 196 emitting green and red light are vertical chips and are electrically connected to the conductor layer 191 through the conductive adhesive 197 and wire bonding. The cover part 192 is surrounded to distinguish it from other adjacent pixels. Although not shown in the figure, a sealing material covers the semiconductor light emitting device chips 194, 195, and 196 in order to protect the semiconductor light emitting device chips 194, 195, and 196.

도 5를 보면 픽셀을 구성하는데 있어서, 반도체 발광소자 칩을 PCB 위에 직접 연결하고 커버부품과 밀봉재를 사용하여 인접한 다른 픽셀과 구분하고 있다. PCB 위에 직접 반도체 발광소자 칩을 연결하여 픽셀을 구성하기 때문에 제조가 어려우며 복수의 픽셀 중 일부에 문제가 발생한 경우 해당 픽셀을 구성하고 있는 반도체 발광소자 칩만을 PCB로부터 각각 분리해야 되는 문제가 있었다.Referring to FIG. 5, in constructing a pixel, a semiconductor light emitting device chip is directly connected to a PCB, and a cover part and a sealing material are used to distinguish it from other adjacent pixels. Since it is difficult to manufacture a pixel by directly connecting a semiconductor light emitting device chip on a PCB, when a problem occurs in some of the plurality of pixels, only a semiconductor light emitting device chip constituting the pixel has to be separated from the PCB.

이에 본 개시는 픽셀을 구성하는 초소형의 반도체 발광소자를 제공하고자 한다. 따라서 LED 디스플레이의 픽셀의 크기보다 작은 초소형의 반도체 발광소자를 제공하고자 한다. 본 개시에 따른 반도체 발광소자를 PCB 등에 연결하고, 문제가 있는 픽셀이 있는 경우 해당 픽셀을 구성하고 있는 반도체 발광소자만을 제거할 수 있도록 하여 LED 디스플레이의 제조를 용이하게 하고자 한다.Accordingly, the present disclosure is to provide a small semiconductor light emitting device constituting the pixel. Accordingly, an object of the present invention is to provide a small semiconductor light emitting device that is smaller than the size of a pixel of an LED display. The semiconductor light emitting device according to the present disclosure is connected to a PCB and the like, and if there are a problem pixel, only the semiconductor light emitting device constituting the pixel can be removed to facilitate the manufacture of the LED display.

이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the section titled 'Details of the Invention.'

여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all, provided that this is a summary of the disclosure. of its features).

본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 외부와 전기적으로 연결되는 반도체 발광소자에 있어서, 제1 반도체 발광소자 칩; 제2 반도체 발광소자 칩; 도전체; 제1 투광층; 제1 투광층과 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체 사이에 위치하는 공통 전극층; 그리고 반도체 발광소자의 측면으로 나가는 빛을 차단하는 비투광층;을 포함하며, 도전체는 외부와 공통 전극층을 전기적으로 연결하는 반도체 발광소자가 제공된다.According to one aspect of the present disclosure, an semiconductor light emitting device electrically connected to an external device may include: a first semiconductor light emitting device chip; A second semiconductor light emitting device chip; Conductors; A first light transmitting layer; A common electrode layer positioned between the first light transmitting layer, the first semiconductor light emitting device chip, the second semiconductor light emitting device chip, and the conductor; And a non-transmissive layer that blocks light exiting to the side of the semiconductor light emitting device, wherein the conductor is provided with a semiconductor light emitting device electrically connecting the outside and the common electrode layer.

본 개시에 따른 다른 일 태양에 의하면(According to another aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자 제조방법에 있어서, 제1 투광층을 준비하는 단계; 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계; 공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계; 공통 전극층과 제1 투광층을 관통하는 홈을 형성하는 단계; 그리고 홈, 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 덮는 비투광층을 형성하는 단계;를 포함하는 반도체 발광소자 제조방법이 제공된다.According to another aspect of the present disclosure, there is provided a method of manufacturing a semiconductor light emitting device, the method comprising: preparing a first light transmitting layer; Forming a common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer; Electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors; Forming a groove penetrating the common electrode layer and the first light transmitting layer; And forming a non-transmissive layer covering the groove, the plurality of semiconductor light emitting device chips, and the conductor.

이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the section titled 'Details of the Invention.'

도 1은 종래의 반도체 발광소자 칩의 일 예를 나타내는 도면,
도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 다른 예를 나타내는 도면,
도 3은 미국 등록특허공보 제8,008,683호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 또 다른 예를 나타내는 도면,
도 4는 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면,
도 5는 일본 공개특허공보 제1995-288341호에 제시된 LED 디스플레이의 예를 나타내는 도면,
도 6은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면,
도 7은 본 개시에 따른 공통 전극층의 다양한 실시 예를 보여주는 도면,
도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 작동원리의 일 예를 보여주는 도면,
도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 보여주는 도면,
도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면,
도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자 제조방법의 일 예를 보여주는 도면,
도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자 제조방법의 다른 예를 보여주는 도면,
도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다양한 실시 예를 보여주는 도면.
1 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device chip;
2 is a view showing another example of a semiconductor light emitting device chip disclosed in US Patent No. 7,262,436;
3 is a view showing another example of a semiconductor light emitting device chip disclosed in US Patent No. 8,008,683;
4 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device;
5 is a view showing an example of the LED display shown in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 1995-288341;
6 illustrates an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
7 is a view illustrating various embodiments of a common electrode layer according to the present disclosure;
8 is a view illustrating an example of an operating principle of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
9 illustrates another example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
10 is a view showing another example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
11 is a view showing an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
12 is a view showing another example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure;
13 is a view illustrating various embodiments of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)). The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing (s).

도 6은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.6 is a diagram illustrating an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

도 6(a)는 평면도이며, 도 6(b)는 AA'를 따라 자른 단면도이다.FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along AA ′.

반도체 발광소자(200)는 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220), 제1 투광층(230), 제1 투광층(230)과 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220) 사이에 위치하는 공통 전극층(240), 공통 전극층(240)과 외부를 전기적으로 연결하는 도전체(250) 및 반도체 발광소자(200)의 측면으로 나가는 빛을 차단하는 비투광층(260)을 포함한다. 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)은 도 3에 도시된 수직 칩이지만 래터럴 칩 또는 플립 칩을 제외하는 것은 아니다. 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)은 서로 다른 색을 발광할 수 있다. 예를 들어 제1 반도체 발광소자 칩(210)이 청색을 발광하는 경우 제2 반도체 발광소자 칩(220)은 적색을 발광할 수 있다. 제1 투광층(230)은 빛을 투과하는 재질로 이루어진 층이며, 예를 들어 유리 및 사파이어 등 투광성 비전도성 물질로 형성되는 것이 바람직하지만 투광성 전도성 물질로 형성되는 것을 배제하지는 않는다. 제1 투광층(230)이 투광성 전도성 물질로 형성되는 경우 제1 투광층(230)은 공통 전극층(240)의 기능을 갖기 때문에 별도의 공통 전극층(240)이 필요하지 않다. 또한 공통 전극층(240)은 제1 투광층(230) 위에 증착 또는 인쇄 등의 방법으로 형성하기 때문에 제1 투광층(230)은 잘 휘지 않는 딱딱한 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 공통 전극층(240)은 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)와 모두 전기적으로 연결된 도전층이다. 공통 전극층(240)에 대해서는 도 7에서 다시 설명한다. 도전체(250)는 도시하지 않았지만 반도체 발광소자(200)를 외부(예 : PCB, 서브마운트 등)와 전기적으로 연결할 때 외부의 전극과 공통 전극층(240)을 전기적으로 연결해 준다. 특히 도전체(250)는 반도체 발광소자 칩과 달리 빛을 발광하지 않으면서 외부의 전극과 공통 전극층(240)을 전기적으로 연결하기 때문에 반도체 발광소자(200)가 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)에서 나오는 고유의 색이 발광하도록 제어하는 것이 가능하다. 자세한 것은 도 8에서 설명한다. 도전체(250)의 재질은 도전성 물질이며 금속 또는 비금속 모두 가능하다. 예를 들어 도전체(250)는 구리(Cu)로 형성될 수 있다. 또한 도시하지는 않았지만 도 6에 도시한 것처럼 도전체(250)가 도전성 물질로만 이루어진 것이 아니라 도전체는 절연 물질을 관통하는 홀(hole)을 도전성 물질(예 : 구리)로 채운 구조도 가능하다. 비투광층(260)은 반도체 발광소자 칩(210, 220)에서 발광한 빛이 반도체 발광소자(200)의 측면으로 나가는 것을 차단한다. 특히 반도체 발광소자(200)가 LED 디스플레이에서 픽셀에 사용되는 경우 인접한 픽셀에 반도체 발광소자(200)에서 발광한 빛이 영향을 미치지 않도록 하기 위해 중요하다. 비투광층(260)은 빛을 반사하는 성질을 갖는 것이 바람직하다. 또한 LED 디스플레이의 해상도를 향상시키기 위해서 검은 색인 것이 바람직하다. 비투광층(260)은 액정디스플레이(LCD) 등의 블랙매트릭스(Black Matrix)에 사용되는 재질로 형성될 수 있다. 더 나아가 비투광층(260)은 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250) 사이에 위치하여 해상도를 향상시킬 수 있다. 다만 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250) 사이에 위치하는 비투광층(260)에 의해 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)에서 발광하는 빛이 상부로 나가는 것을 방해하지 않도록 비투광층(260)은 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)의 상부(270)에는 형성되지 않는 것이 바람직하다. 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)와 공통 전극층(240) 사이의 전기적 연결 기능을 향상시키기 위해서 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)의 상부에 상부 전극(211, 221, 251)을 형성하고 공통 전극층(240) 하부에 상부 전극(211, 221, 251)에 각각 대응하는 전극(241)을 형성할 수 있다. 또한 반도체 발광소자(200)와 외부의 전극과의 전기적 연결 기능을 향상시키기 위해서 비투광층(260)으로부터 노출된 하부 전극(212, 222, 252)이 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)의 하부에 각각 형성될 수 있다. 물론 도시하지는 않았지만 전극을 사용하지 않고 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)와 공통 전극층(240)을 전기적으로 연결하는 것도 가능하다.The semiconductor light emitting device 200 may include a first semiconductor light emitting device chip 210, a second semiconductor light emitting device chip 220, a first light emitting layer 230, a first light emitting layer 230, and a first semiconductor light emitting device chip ( The common electrode layer 240 positioned between the 210 and the second semiconductor light emitting device chip 220, the conductor 250 electrically connecting the common electrode layer 240 to the outside, and the side surfaces of the semiconductor light emitting device 200 may be disposed. It includes a non-transmissive layer 260 to block light. The first semiconductor light emitting device chip 210 and the second semiconductor light emitting device chip 220 are vertical chips illustrated in FIG. 3, but the lateral chip or the flip chip is not excluded. The first semiconductor light emitting device chip 210 and the second semiconductor light emitting device chip 220 may emit different colors. For example, when the first semiconductor light emitting device chip 210 emits blue, the second semiconductor light emitting device chip 220 may emit red. The first light-transmitting layer 230 is a layer made of a material that transmits light. For example, the first light-transmitting layer 230 may be formed of a light-transmissive non-conductive material such as glass and sapphire, but the light-transmitting material is not excluded. When the first light transmitting layer 230 is formed of a light transmitting conductive material, since the first light transmitting layer 230 has a function of the common electrode layer 240, a separate common electrode layer 240 is not required. In addition, since the common electrode layer 240 is formed on the first light-transmitting layer 230 by deposition or printing, the first light-transmitting layer 230 is preferably made of a hard material that is hard to bend. The common electrode layer 240 is a conductive layer electrically connected to the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the conductor 250. The common electrode layer 240 will be described again with reference to FIG. 7. Although not illustrated, the conductor 250 electrically connects the external electrode and the common electrode layer 240 when the semiconductor light emitting device 200 is electrically connected to the outside (eg, a PCB, a submount, etc.). In particular, since the conductor 250 electrically connects the external electrode and the common electrode layer 240 without emitting light, unlike the semiconductor light emitting device chip, the semiconductor light emitting device 200 is the first semiconductor light emitting device chip 210. And a unique color emitted from the second semiconductor light emitting device chip 220 to emit light. Details will be described with reference to FIG. 8. The material of the conductor 250 is a conductive material and may be metal or nonmetal. For example, the conductor 250 may be formed of copper (Cu). Although not shown in FIG. 6, the conductor 250 may not be made of only a conductive material, but the conductor may have a structure in which a hole penetrating an insulating material is filled with a conductive material (for example, copper). The non-transmissive layer 260 blocks light emitted from the semiconductor light emitting device chips 210 and 220 from going out to the side of the semiconductor light emitting device 200. In particular, when the semiconductor light emitting device 200 is used for a pixel in an LED display, it is important to prevent the light emitted from the semiconductor light emitting device 200 from affecting adjacent pixels. The non-transmissive layer 260 preferably has a property of reflecting light. It is also desirable to have a black index to improve the resolution of the LED display. The non-transmissive layer 260 may be formed of a material used for a black matrix such as a liquid crystal display (LCD). Furthermore, the non-transmissive layer 260 may be positioned between the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the conductor 250 to improve the resolution. However, the first semiconductor light emitting device chip 210 and the second semiconductor may be formed by the non-transmissive layer 260 positioned between the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the conductor 250. The non-transmissive layer 260 is formed on the upper portion 270 of the first semiconductor light emitting device chip 210 and the second semiconductor light emitting device chip 220 so as not to prevent the light emitted from the light emitting device chip 220 from going upward. It is preferable not to. The first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the first semiconductor light emitting device chip 210 to improve an electrical connection function between the conductor 250 and the common electrode layer 240. Upper electrodes 211, 221, and 251 are formed on the second semiconductor light emitting device chip 220 and the conductor 250, respectively, and correspond to the upper electrodes 211, 221, and 251 under the common electrode layer 240, respectively. The electrode 241 may be formed. In addition, the lower electrodes 212, 222, and 252 exposed from the non-transmissive layer 260 may include the first semiconductor light emitting device chip 210 and the second electrode to improve electrical connection between the semiconductor light emitting device 200 and an external electrode. The semiconductor light emitting device chip 220 and the conductor 250 may be formed under each. Although not shown, the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the conductor 250 may be electrically connected to the common electrode layer 240 without using an electrode.

도 7은 본 개시에 따른 공통 전극층의 다양한 실시 예를 보여주는 도면이다.7 is a view illustrating various embodiments of a common electrode layer according to the present disclosure.

공통 전극층(240)은 도 7(a)와 같이 제1 투광층(230) 전면에 형성될 수 있다. 또는 도 7(b)와 같이 제1 투광층(230)의 일부 면에 형성될 수 있다. 또는 도 7(c)와 같이 3 개의 섬과 같은 형태로 떨어져 있으며 각각의 섬이 전선(242)에 의해 전기적으로 연결된 패턴(pattern) 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어 패턴은 그리드(Grid) 패턴일 수 있다. 다만 도 7(b) 및 도 7(c)와 같이 공통 전극층(240)이 형성되는 경우 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)의 위치는 점선과 같이 위치하는 것이 바람직하다. 예를 들어 도 7(b)와 같이 공통 전극층(240)이 형성된 경우 공통 전극층(240)이 형성된 범위 내에 제1 반도체 발광소자 칩(210), 제2 반도체 발광소자 칩(220) 및 도전체(250)가 위치하는 것이 바람직하다. 또한 공통 전극층(240)이 도 7(a) 및 도 7(b)와 같이 제1 투광층(230)에 넓게 형성되는 경우 제1 반도체 발광소자 칩(210) 및 제2 반도체 발광소자 칩(220)에서 발생한 빛이 제1 투광층(230)을 통해 밖으로 나가기 위해서 공통 전극층(240)은 ITO(Indium Tin Oxide)와 같이 투광성 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 도시하지는 않았지만 반도체 발광소자 칩(210, 220) 및 도전체(250)가 상부 전극을 포함하는 경우 상부 전극이 공통 전극층(240)과 전기적으로 연결되는 경우에는 도 7(b) 및 도 7(c)와 다르게 반드시 공통 전극층(230) 내에 반도체 발광소자 칩(210, 220) 및 도전체(250)가 위치하지 않아도 된다. The common electrode layer 240 may be formed on the entire surface of the first light transmitting layer 230 as shown in FIG. 7A. Alternatively, as shown in FIG. 7B, a portion of the first light transmitting layer 230 may be formed. Alternatively, as shown in FIG. 7C, three islands may be separated from each other, and each island may be formed in a pattern form electrically connected by an electric wire 242. For example, the pattern may be a grid pattern. However, when the common electrode layer 240 is formed as shown in FIGS. 7B and 7C, positions of the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220, and the conductor 250 are illustrated. Is preferably located as a dotted line. For example, when the common electrode layer 240 is formed as shown in FIG. 7B, the first semiconductor light emitting device chip 210, the second semiconductor light emitting device chip 220 and the conductor ( 250 is preferably located. In addition, when the common electrode layer 240 is widely formed in the first light emitting layer 230 as shown in FIGS. 7A and 7B, the first semiconductor light emitting device chip 210 and the second semiconductor light emitting device chip 220 may be used. In order for the light generated by the light emitting device to go out through the first light-transmitting layer 230, the common electrode layer 240 may be formed of a light-transmissive material such as indium tin oxide (ITO). Although not shown, when the semiconductor light emitting device chips 210 and 220 and the conductor 250 include the upper electrode, the upper electrode is electrically connected to the common electrode layer 240, FIGS. 7B and 7C. Unlike the semiconductor light emitting diode chip 210, the semiconductor light emitting device chips 210 and 220 and the conductor 250 do not have to be positioned in the common electrode layer 230.

도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 작동원리의 일 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해서 반도체 발광소자의 일부분만 도시하였다. 8 is a view illustrating an example of an operating principle of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure. For convenience of description, only a part of the semiconductor light emitting device is shown.

도 8(a)는 제1 반도체 발광소자(210)만이 발광하는 경우의 전류 흐름(213)을 도시하였으며 도 8(b)는 제1 반도체 발광소자(210) 및 제2 반도체 발광소자(220)가 모두 발광하는 경우의 전류 흐름(213, 223)을 화살표로 도시하였다. 도전체(250)는 빛을 발광하지 않으며 단지 공통 전극층(230)과 외부의 전극을 전기적으로 연결하고 있기 때문에 도 8(a) 및 도 8(b)와 같이 제1 반도체 발광소자 칩(210) 또는 제2 반도체 발광소자 칩(220)이 고유의 색을 발광할 때 영향을 미치지 않는다. 8A illustrates a current flow 213 when only the first semiconductor light emitting device 210 emits light, and FIG. 8B illustrates the first semiconductor light emitting device 210 and the second semiconductor light emitting device 220. The current flows 213 and 223 in the case of all light emittings are shown by arrows. Since the conductor 250 does not emit light and merely electrically connects the common electrode layer 230 and the external electrode, the first semiconductor light emitting device chip 210 as shown in FIGS. 8A and 8B. Alternatively, the second semiconductor light emitting device chip 220 does not have an effect when emitting a unique color.

도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 보여주는 도면이다.9 illustrates another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자(300)는 제1 반도체 발광소자 칩(310), 제2 반도체 발광소자 칩(320) 및 도전체(330) 사이에 위치하는 비투광층(340)과 공통 전극층(350) 사이에 제2 투광층(360)을 포함한다. 제2 투광층(360)이 제1 반도체 발광소자 칩(310) 및 제2 반도체 발광소자 칩(320)의 측면의 일부를 둘러싸고 있어 제1 반도체 발광소자 칩(310) 및 제2 반도체 발광소자 칩(320)의 측면에서 나오는 빛(370)이 도 6에 도시된 반도체 발광소자(200)와 다르게 비투광층(340)에 의해 차단되지 않아서 빛 추출 효율이 향상될 수 있다. 바람직하게는 제2 투광층(360)은 제1 반도체 발광소자 칩(310) 및 제2 반도체 발광소자 칩(320)의 활성층(311, 321)을 덮고 있는 것이 좋다. 도 9에 기재된 것을 제외하고 반도체 발광소자(300)는 도 6에 기재된 반도체 발광소자(200)와 실질적으로 동일하다. The semiconductor light emitting device 300 may be formed between the non-transmissive layer 340 and the common electrode layer 350 positioned between the first semiconductor light emitting device chip 310, the second semiconductor light emitting device chip 320, and the conductor 330. 2 includes a light transmitting layer 360. The second light emitting layer 360 surrounds a part of the side surfaces of the first semiconductor light emitting device chip 310 and the second semiconductor light emitting device chip 320, so that the first semiconductor light emitting device chip 310 and the second semiconductor light emitting device chip Unlike the semiconductor light emitting device 200 illustrated in FIG. 6, the light 370 emitted from the side surface of the 320 is not blocked by the non-transmissive layer 340, thereby improving light extraction efficiency. Preferably, the second light transmitting layer 360 covers the active layers 311 and 321 of the first semiconductor light emitting device chip 310 and the second semiconductor light emitting device chip 320. Except as described in FIG. 9, the semiconductor light emitting device 300 is substantially the same as the semiconductor light emitting device 200 described in FIG. 6.

도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다.10 is a view showing another example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자(400)는 제1 반도체 발광소자 칩(410), 제2 반도체 발광소자 칩(420),도전체(440) 및 제3 반도체 발광소자 칩(430)을 포함하고 있다. 제3 반도체 발광소자 칩(430)은 제1 반도체 발광소자 칩(410) 및 제2 반도체 발광소자 칩(420)과 다른 색을 발광한다. 예를 들어 제1 반도체 발광소자 칩(410)은 청색을 발광하고, 제2 반도체 발광소자 칩(420)은 적색을 발광하고, 제3 반도체 발광소자 칩(430)은 녹색을 발광할 수 있다. 반도체 발광소자(400)를 LED 디스플레이의 픽셀에 사용하는 경우 풀 컬러(Full Color) LED 디스플레이를 구현할 수 있다. 도 10에 기재된 것을 제외하고 반도체 발광소자(400)는 도 9에 기재된 반도체 발광소자(300)와 실질적으로 동일하다.The semiconductor light emitting device 400 includes a first semiconductor light emitting device chip 410, a second semiconductor light emitting device chip 420, a conductor 440, and a third semiconductor light emitting device chip 430. The third semiconductor light emitting device chip 430 emits a color different from that of the first semiconductor light emitting device chip 410 and the second semiconductor light emitting device chip 420. For example, the first semiconductor light emitting device chip 410 may emit blue, the second semiconductor light emitting device chip 420 may emit red, and the third semiconductor light emitting device chip 430 may emit green. When the semiconductor light emitting device 400 is used for a pixel of an LED display, a full color LED display may be implemented. Except as described in FIG. 10, the semiconductor light emitting device 400 is substantially the same as the semiconductor light emitting device 300 described in FIG. 9.

도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자 제조방법의 일 예를 보여주는 도면이다.11 is a view illustrating an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

먼저 제1 투광층(500)을 준비한다(S1). 이후 제1 투광층(500)의 일면에 공통 전극층(510)을 형성한다(S2). 공통 전극층(510)은 투광성의 전도성 물질을 제1 투광층(500) 일면의 전체 또는 일면의 일부분에 도포할 수 있다. 또는 투광성의 전도성 물질을 이용하여 제1 투광층(500)의 일면에 도 7(c)와 같은 패턴을 형성할 수도 있으며 패턴 형성은 예를 들어 은 폐이스트를 이용한 인쇄방법 등을 사용할 수 있다. 이후 공통 전극층(510)과 제1 반도체 발광소자 칩(520), 제2 반도체 발광소자 칩(521) 및 도전체(522)를 전기적으로 연결한다(S3). 필요한 경우 공통 전극층(510) 위에 전극(511)을 형성한 후 제1 반도체 발광소자 칩(520), 제2 반도체 발광소자 칩(521) 및 도전체(522)를 공통 전극층(510)의 전극(511)에 와이어를 사용하지 않고 직접 유테틱 본딩 또는 도전성 접착제를 이용하여 전기적으로 연결할 수 있다. 또한 도시하지는 않았지만 필요한 경우 제3 반도체 발광소자 칩을 추가로 공통 전극층(510)에 전기적으로 연결할 수 있다. 도 11에서는 복수의 반도체 발광소자 칩과 도전체를 일렬로 배열하였지만 이것은 설명의 편의를 위한 것이다. 복수의 반도체 발광소자 칩과 도전체를 배열하는 것에 대해서는 도 13에서 설명한다. 이후 공통 전극층(510)과 제1 투광층(500)을 관통하는 홈(530)을 형성한다(S4). 이후 홈(530), 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)를 덮는 비투광층(540)을 형성한다(S5). 비투광층(540)을 형성할 때는 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)의 상면이 노출되도록 비투광층(540)을 덮거나 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)의 상면을 덮도록 형성한 후 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)의 상면이 노출되도록 비투광층(540)을 제거하여 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)의 하부 전극(523)이 비투광층(540)으로부터 노출되도록 한다. 또한 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521)에서 발광한 빛이 제1 투광층(500)을 통해 나갈 수 있도록 하기 위해 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521)과 제1 투광층(500) 사이의 공간(524)에는 비투광층(540)이 형성되지 않도록 한다. 예를 들어 도시하지는 않았지만 비투광층(540)을 형성하기 전에 투광성 물질로 공간(524)를 채워넣을 수 있다. 이후 절단선(550)을 따라 절단하여 반도체 발광소자를 얻을 수 있다(S6).First, the first light transmitting layer 500 is prepared (S1). Thereafter, the common electrode layer 510 is formed on one surface of the first light transmitting layer 500 (S2). The common electrode layer 510 may apply a light-transmissive conductive material to an entire surface or a portion of one surface of the first light transmitting layer 500. Alternatively, a pattern as shown in FIG. 7C may be formed on one surface of the first light-transmitting layer 500 using a light-transmissive conductive material, and the pattern may be formed using, for example, a printing method using silver waste yeast. Thereafter, the common electrode layer 510 and the first semiconductor light emitting device chip 520, the second semiconductor light emitting device chip 521, and the conductor 522 are electrically connected (S3). If necessary, after forming the electrode 511 on the common electrode layer 510, the first semiconductor light emitting device chip 520, the second semiconductor light emitting device chip 521, and the conductor 522 may be formed on the electrodes of the common electrode layer 510. 511 may be electrically connected using direct bonding or conductive adhesive without using wires. Although not shown, a third semiconductor light emitting device chip may be electrically connected to the common electrode layer 510 if necessary. In FIG. 11, a plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors are arranged in a line, for convenience of description. Arrangement of a plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors will be described with reference to FIG. 13. Thereafter, a groove 530 penetrating the common electrode layer 510 and the first light transmitting layer 500 is formed (S4). Thereafter, a non-transmissive layer 540 is formed to cover the groove 530, the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521, and the conductor 522 (S5). When the non-transmissive layer 540 is formed, the non-transmissive layer 540 is covered or the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 are exposed to expose the top surfaces of the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 and the conductor 522. And a plurality of semiconductor light emitting device chips by forming the upper surface of the conductor 522 and then removing the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 and the non-transmissive layer 540 to expose the top surface of the conductor 522. 520 and 521 and the lower electrode 523 of the conductor 522 are exposed from the non-transmissive layer 540. In addition, the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 and the first light transmitting layer 500 may emit light emitted from the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 through the first light transmitting layer 500. The non-transmissive layer 540 is not formed in the space 524 therebetween. For example, although not shown, the space 524 may be filled with a translucent material before the non-transmissive layer 540 is formed. Thereafter, the semiconductor light emitting device may be obtained by cutting along the cutting line 550 (S6).

도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자 제조방법의 다른 예를 보여주는 도면이다. 12 is a view showing another example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

도 11에 도시된 제조방법에서 S3 단계 이후에 제2 투광층(560)을 형성한다(S3-1). 제2 투광층(560)은 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)를 완전히 덮지 않으며 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521) 및 도전체(522)의 측면 일부만 덮는다. 바람직하게는 복수의 반도체 발광소자 칩(520, 521)의 빛이 발광하는 활성층(525, 526)까지 덮는다. 이후에는 도 11에 기재된 S4 단계가 진행된다. 예를 들어 S4 단계에서 홈(530)은 제1 투광층(500), 공통 전극층(510) 및 제2 투광층(560)을 관통하여 형성된다.In the manufacturing method illustrated in FIG. 11, after the step S3, the second light transmitting layer 560 is formed (S3-1). The second light transmitting layer 560 does not completely cover the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 and the conductor 522 and covers only a portion of the side surfaces of the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 and the conductor 522. . Preferably, the plurality of semiconductor light emitting device chips 520 and 521 may cover the active layers 525 and 526 that emit light. Thereafter, step S4 described in FIG. 11 is performed. For example, in step S4, the groove 530 is formed through the first light transmission layer 500, the common electrode layer 510, and the second light transmission layer 560.

도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다양한 실시 예를 보여주는 도면이다.13 is a view illustrating various embodiments of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자의 외형은 원형(610, 620)이나 사각형(600)이 가능하나 이에 제한을 받지 않는다. 또한 반도체 발광소자에 포함된 반도체 발광소자 칩(601, 602, 611, 612, 613, 621, 622, 623)과 도전체(603, 614, 624)는 반도체 발광소자(600, 610, 620)의 외형에 따라 반도체 발광소자의 크기를 최소하는데 적합한 형태 또는 각각의 반도체 발광소자 칩에서 나오는 빛의 혼합이 잘 이루어질 수 있는 형태에 따라 다양하게 배치될 수 있다. The external shape of the semiconductor light emitting device may be a circle (610, 620) or a square 600, but is not limited thereto. Also, the semiconductor light emitting device chips 601, 602, 611, 612, 613, 621, 622, and 623 and the conductors 603, 614, and 624 included in the semiconductor light emitting devices may be formed of the semiconductor light emitting devices 600, 610, and 620. Depending on the appearance, it may be variously arranged according to a form suitable for minimizing the size of the semiconductor light emitting device or a form in which light from each semiconductor light emitting device chip may be well mixed.

본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다. Various embodiments of the present disclosure will be described.

(1) 외부와 전기적으로 연결되는 반도체 발광소자에 있어서, 제1 반도체 발광소자 칩; 제2 반도체 발광소자 칩; 도전체; 제1 투광층; 제1 투광층과 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체 사이에 위치하는 공통 전극층; 그리고 반도체 발광소자의 측면으로 나가는 빛을 차단하는 비투광층;을 포함하며, 도전체는 외부와 공통 전극층을 전기적으로 연결하는 반도체 발광소자.(1) A semiconductor light emitting device electrically connected to the outside, comprising: a first semiconductor light emitting device chip; A second semiconductor light emitting device chip; Conductors; A first light transmitting layer; A common electrode layer positioned between the first light transmitting layer, the first semiconductor light emitting device chip, the second semiconductor light emitting device chip, and the conductor; And a non-transmissive layer blocking light exiting to the side of the semiconductor light emitting device, wherein the conductor is electrically connected to the outside and the common electrode layer.

(2) 제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩은 서로 다른 색을 발광하는 반도체 발광소자.(2) The first semiconductor light emitting device chip and the second semiconductor light emitting device chip emit light of different colors.

(3) 비투광층이 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체 사이에 위치하는 반도체 발광소자.(3) A semiconductor light emitting element wherein the non-transmissive layer is positioned between the first semiconductor light emitting element chip, the second semiconductor light emitting element chip, and the conductor.

(4) 공통 전극층과 비투광층 사이에 위치하는 제2 투광층;을 포함하는 반도체 발광소자.(4) a second light emitting layer positioned between the common electrode layer and the non-light transmitting layer.

(5) 제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩과 다른 색을 발광하는 제3 반도체 발광소자 칩;을 포함하는 반도체 발광소자.(5) a third semiconductor light emitting device chip which emits a different color from the first semiconductor light emitting device chip and the second semiconductor light emitting device chip;

(6) 비투광층은 검은 색인 반도체 발광소자.(6) The non-transmissive layer is a black index semiconductor light emitting element.

(7) 비투광층은 빛을 반사하는 물질로 이루어진 반도체 발광소자.(7) The non-transmissive layer is a semiconductor light emitting element made of a material that reflects light.

(8) 공통 전극층은 투광성인 반도체 발광소자.(8) A semiconductor light emitting element in which the common electrode layer is transparent.

(9) 제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩 각각은 상부에 공통 전극층과 전기적으로 연결되는 상부 전극이 구비된 반도체 발광소자.(9) Each of the first semiconductor light emitting device chip and the second semiconductor light emitting device chip is provided with a top electrode electrically connected to a common electrode layer thereon.

(10) 공통 전극층 하부에 제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩의 상부 전극과 전기적으로 연결되는 전극이 형성된 반도체 발광소자.(10) A semiconductor light emitting device having an electrode electrically connected to an upper electrode of a first semiconductor light emitting device chip and a second semiconductor light emitting device chip under a common electrode layer.

(11) 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체의 하부에 비투광층으로부터 노출된 하부 전극이 각각 형성된 반도체 발광소자.(11) A semiconductor light emitting device in which lower electrodes exposed from a non-transmissive layer are formed below the first semiconductor light emitting device chip, the second semiconductor light emitting device chip, and the conductor, respectively.

(12) 반도체 발광소자 제조방법에 있어서, 제1 투광층을 준비하는 단계; 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계; 공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계; 공통 전극층과 제1 투광층을 관통하는 홈을 형성하는 단계; 그리고 홈, 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 덮는 비투광층을 형성하는 단계;를 포함하는 반도체 발광소자 제조방법.(12) A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: preparing a first light transmitting layer; Forming a common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer; Electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors; Forming a groove penetrating the common electrode layer and the first light transmitting layer; And forming a non-transmissive layer covering the groove, the plurality of semiconductor light emitting device chips, and the conductor.

(13) 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는 제1 투광층의 일면 전체에 공통 전극층을 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.(13) forming the common electrode layer on one surface of the first light-transmitting layer to form the common electrode layer on the entire surface of the first light-transmitting layer.

(14) 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 패턴 형태로 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.The forming of the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer may include forming the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer in a pattern form.

(15) 제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는 제1 투광층의 일면에 형성된 공통 전극층 위에 전극을 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.(15) The forming of the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer may include forming an electrode on the common electrode layer formed on one surface of the first light transmitting layer.

(16) 공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계는 복수의 반도체 발광소자 칩으로서 서로 다른 색을 발광하는 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 제3 반도체 발광소자 칩을 공통 전극층과 전기적으로 연결하는 반도체 발광소자 제조방법.(16) The step of electrically connecting the common electrode layer, the plurality of semiconductor light emitting device chips and the conductor may include a first semiconductor light emitting device chip, a second semiconductor light emitting device chip, and a plurality of semiconductor light emitting device chips that emit different colors. 3 A semiconductor light emitting device manufacturing method for electrically connecting a semiconductor light emitting device chip with a common electrode layer.

(17) 공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계 및 공통 전극층과 제1 투광층을 관통하는 홈을 형성하는 단계 사이에 제2 투광층을 형성하는 단계;를 포함하는 반도체 발광소자 제조방법.(17) forming a second light transmitting layer between electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors and forming a groove penetrating the common electrode layer and the first light transmitting layer; A semiconductor light emitting device manufacturing method.

(18) 제2 투광층을 형성하는 단계는 제2 투광층이 복수의 반도체 발광소자 칩의 활성층까지 형성되는 반도체 발광소자 제조방법.(18) The forming of the second light transmitting layer is a method of manufacturing a semiconductor light emitting device wherein the second light transmitting layer is formed up to an active layer of the plurality of semiconductor light emitting device chips.

본 개시에 따르면 LED 디스플레이에서 픽셀을 구성하는 초소형 반도체 발광소자를 얻을 수 있다.According to the present disclosure, a micro semiconductor light emitting device constituting a pixel in an LED display can be obtained.

본 개시에 따른 반도체 발광소자를 사용하는 경우 LED 디스플레이를 용이하게 제조할 수 있다.When the semiconductor light emitting device according to the present disclosure is used, an LED display can be easily manufactured.

반도체 발광소자 : 100, 200, 300, 400, 600, 610, 620
반도체 발광소자 칩 : 150, 194, 195, 196, 210, 220, 310, 320, 410, 420, 430, 520, 521, 601, 602, 611, 612, 613, 621, 622, 623
도전체 : 250, 330, 440, 522, 603, 614, 624
공통 전극층 : 240, 350, 510
비투광층 : 192, 260, 340, 540
Semiconductor light emitting device: 100, 200, 300, 400, 600, 610, 620
Semiconductor light emitting chip: 150, 194, 195, 196, 210, 220, 310, 320, 410, 420, 430, 520, 521, 601, 602, 611, 612, 613, 621, 622, 623
Conductor: 250, 330, 440, 522, 603, 614, 624
Common electrode layer: 240, 350, 510
Non-transmissive layer: 192, 260, 340, 540

Claims (18)

외부와 전기적으로 연결되는 반도체 발광소자에 있어서,
제1 반도체 발광소자 칩;
제2 반도체 발광소자 칩;
도전체;
제1 투광층;
제1 투광층과 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 도전체 사이에 위치하는 공통 전극층; 그리고
반도체 발광소자의 측면으로 나가는 빛을 차단하는 비투광층;으로서, 제1 및 제2 반도체 발광소자 칩의 측면의 적어도 일부분을 접촉하여 감싸는 비투광층;을 포함하며,
도전체는 외부와 공통 전극층을 전기적으로 연결하며,
제1 및 제2 반도체 발광소자 칩은 성장기판이 제거된 측에 형성된 상부 전극과 하부 전극을 포함하는 수직 칩이며,
수직 칩의 상부 전극의 평면적이 수직 칩의 평면적보다 작고,
수직 칩의 상부 전극이 공통 전극층과 전기적으로 연결되며,
수직 칩의 하부 전극은 비투광층으로부터 노출되어 외부와 직접 전기적으로 연결되는 반도체 발광소자.
In the semiconductor light emitting device electrically connected to the outside,
A first semiconductor light emitting device chip;
A second semiconductor light emitting device chip;
Conductors;
A first light transmitting layer;
A common electrode layer positioned between the first light transmitting layer, the first semiconductor light emitting device chip, the second semiconductor light emitting device chip, and the conductor; And
Non-transmissive layer for blocking the light exiting to the side of the semiconductor light emitting device; A non-transmissive layer that wraps in contact with at least a portion of the side of the first and second semiconductor light emitting device chip;
The conductor electrically connects the external and common electrode layers,
The first and second semiconductor light emitting device chips are vertical chips including an upper electrode and a lower electrode formed on the side from which the growth substrate is removed.
The plane of the upper electrode of the vertical chip is smaller than the plane of the vertical chip,
The upper electrode of the vertical chip is electrically connected with the common electrode layer,
The lower electrode of the vertical chip is exposed from the non-transmissive layer is a semiconductor light emitting device that is directly connected to the outside.
청구항 1에 있어서,
제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩은 서로 다른 색을 발광하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
The first semiconductor light emitting device chip and the second semiconductor light emitting device chip emit light of different colors.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
공통 전극층과 비투광층 사이에 위치하는 제2 투광층;을 포함하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
And a second transmissive layer positioned between the common electrode layer and the non-transmissive layer.
청구항 1에 있어서,
제1 반도체 발광소자 칩 및 제2 반도체 발광소자 칩과 다른 색을 발광하는 제3 반도체 발광소자 칩;을 포함하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
And a third semiconductor light emitting device chip emitting a different color from the first semiconductor light emitting device chip and the second semiconductor light emitting device chip.
청구항 1에 있어서,
비투광층은 검은 색인 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
The non-transmissive layer is a black index semiconductor light emitting device.
청구항 6있어서,
비투광층은 빛을 반사하는 물질로 이루어진 반도체 발광소자.
In claim 6,
The non-transmissive layer is a semiconductor light emitting device made of a material that reflects light.
청구항 1에 있어서,
공통 전극층은 투광성인 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
The common electrode layer is a light emitting semiconductor light emitting device.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 반도체 발광소자 제조방법에 있어서,
제1 투광층을 준비하는 단계;
제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계;
공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계;
공통 전극층과 제1 투광층을 관통하는 홈을 형성하는 단계; 그리고
홈, 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 덮는 비투광층을 형성하는 단계;를 포함하는 반도체 발광소자 제조방법.
In the semiconductor light emitting device manufacturing method,
Preparing a first light transmitting layer;
Forming a common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer;
Electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors;
Forming a groove penetrating the common electrode layer and the first light transmitting layer; And
Forming a non-transmissive layer covering the groove, the plurality of semiconductor light emitting device chips, and the conductor.
청구항 12에 있어서,
제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는
제1 투광층의 일면 전체에 공통 전극층을 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 12,
Forming the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer
A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, in which a common electrode layer is formed on an entire surface of the first light transmitting layer.
청구항 12에 있어서,
제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는
제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 패턴 형태로 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 12,
Forming the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer
A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, in which a common electrode layer is formed in a pattern form on one surface of a first light transmitting layer.
청구항 12에 있어서,
제1 투광층의 일면에 공통 전극층을 형성하는 단계는
제1 투광층의 일면에 형성된 공통 전극층 위에 전극을 형성하는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 12,
Forming the common electrode layer on one surface of the first light transmitting layer
A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, wherein an electrode is formed on a common electrode layer formed on one surface of a first light transmitting layer.
청구항 12에 있어서,
공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계는
복수의 반도체 발광소자 칩으로서 서로 다른 색을 발광하는 제1 반도체 발광소자 칩, 제2 반도체 발광소자 칩 및 제3 반도체 발광소자 칩을 공통 전극층과 전기적으로 연결하는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 12,
Electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors
A semiconductor light emitting device manufacturing method comprising: electrically connecting a first semiconductor light emitting device chip, a second semiconductor light emitting device chip, and a third semiconductor light emitting device chip to a common electrode layer as a plurality of semiconductor light emitting device chips.
청구항 12에 있어서,
공통 전극층과 복수의 반도체 발광소자 칩 및 도전체를 전기적으로 연결하는 단계 및 공통 전극층과 제1 투광층을 관통하는 홈을 형성하는 단계 사이에 제2 투광층을 형성하는 단계;를 포함하는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 12,
Forming a second transmissive layer between electrically connecting the common electrode layer and the plurality of semiconductor light emitting device chips and conductors, and forming a groove penetrating the common electrode layer and the first transmissive layer; Device manufacturing method.
청구항 17에 있어서,
제2 투광층을 형성하는 단계는
제2 투광층이 복수의 반도체 발광소자 칩의 활성층까지 형성되는 반도체 발광소자 제조방법.
The method according to claim 17,
Forming the second light transmitting layer is
A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, wherein the second light transmitting layer is formed up to an active layer of the plurality of semiconductor light emitting device chips.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101646261B1 (en) * 2010-02-25 2016-08-08 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device and method for fabricating the same
KR102555242B1 (en) * 2015-09-30 2023-07-17 삼성전자주식회사 Light emitting device package

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009099716A (en) * 2007-10-16 2009-05-07 Kyocera Corp Light emitting device

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