KR102016398B1 - sensor mounted wafer, and apparatus for storaging thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼 기술에 있어서, 특히 충전 상태를 최적으로 유지하는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치에 관한 것으로, 센서 장착 웨이퍼는 센서와, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛과, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛과, 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)를 포함하되, 상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결됨에 따라 상기 제어유닛이 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시키는 것이 일 특징이며, 센서 장착 웨이퍼 보관 장치가 배터리(B)와, 상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로와, 상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로와, 상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 구성되는 것이 다른 특징인 발명이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensor-mounted wafer technology used for semiconductor process monitoring, and more particularly, to a sensor-mounted wafer and its storage device that optimally maintain a state of charge. A communication unit for transmitting a signal and receiving control information for controlling the operation of the sensor, a control unit for controlling the operation of the sensor using the control information, driving the sensor, the communication unit, and the control unit. And a battery (A) for supplying power for the communication unit, wherein the communication unit is connected to a wireless communication circuit provided in the storage device of the sensor-mounted wafer so that the control unit supplies power for driving the sensor. It is characterized by operating in a power saving mode by controlling the wafer storage device equipped with a sensor (B), A wireless charging circuit for wirelessly supplying the power charged in the battery B to the battery A, a wireless communication circuit for wirelessly communicating with the communication unit as the sensor-mounted wafer is mounted therein, and the communication unit And a controller for controlling on / off operation of the wireless charging circuit as the wireless communication between the wireless communication circuit is connected.

Description

센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치{sensor mounted wafer, and apparatus for storaging thereof}Sensor mounted wafer, and apparatus for storaging

본 발명은 반도체공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼 기술에 관한 것으로, 특히 충전 상태를 최적으로 유지하는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to sensor-mounted wafer technology used in semiconductor process monitoring, and more particularly, to sensor-mounted wafers and their storage devices that maintain optimal state of charge.

반도체 제조에는 일반적으로 광학, 증착과 성장, 식각 공정 등 다수의 공정을 거친다.Semiconductor manufacturing typically goes through a number of processes, including optics, deposition and growth, and etching.

반도체 제조 공정에는 각 공정에서 공정 조건과 장비의 작동 상태를 주의 깊게 모니터링해야 한다. 예를 들면, 챔버나 웨이퍼의 온도, 가스 주입 상태, 압력 상태 또는 플라스마 밀도나 노출 거리 등을 제어하면서 최적의 반도체 수율을 위해 정밀한 모니터링이 필수적이다.The semiconductor manufacturing process requires careful monitoring of the operating conditions and equipment operating conditions in each process. For example, precise monitoring is essential for optimum semiconductor yield while controlling the temperature of the chamber or wafer, gas injection, pressure, plasma density or exposure distance.

온도, 플라즈마, 압력, 유량 및 가스 등과 관련된 공정 조건에 오차가 발생하거나 장비가 오동작 하는 경우에는 불량이 다수 발생하여 전체 수율에 치명적이다. In the case of errors in the process conditions related to temperature, plasma, pressure, flow rate and gas, or equipment malfunction, many defects occur and are fatal to the overall yield.

한편, 종래 기술에서는 반도체 제조에서 챔버 내의 공정 조건을 간접적으로 측정하였으나 반도체 수율 향상을 위해 챔버의 내부 조건이나 그 챔버에 로딩된 웨이퍼의 상태 등을 직접 측정하기 위한 연구가 계속되었다. 그 중 하나가 웨이퍼의 온도 센싱 기술로 SOW(Sensor On Wafer)가 소개되었다.Meanwhile, in the prior art, in the semiconductor manufacturing, the process conditions in the chamber were indirectly measured. However, researches for directly measuring the internal conditions of the chamber and the state of the wafer loaded in the chamber have continued to improve semiconductor yield. One of them is SOW (Sensor On Wafer), which is a technology for wafer temperature sensing.

SOW(Sensor On Wafer)는 테스트용 웨이퍼 상에 온도센서를 장착하고, 각각의 온도센서를 이용하여 반도체 제조 공정에서의 온도를 챔버 내에서 직접 센싱하였다.SOW (Sensor On Wafer) mounted a temperature sensor on the test wafer, and sensed the temperature in the semiconductor manufacturing process directly in the chamber using each temperature sensor.

한편, SOW(Sensor On Wafer)에는 센서에 동작 전원을 공급하는 내부 배터리를 더 구비할 수 있는데, 종래 기술에 따른 SOW는 공정 모니터링을 완료한 후에도 센서들이 센싱동작모드를 그대로 유지하기 때문에 내부 배터리의 전원이 지속적으로 소모되는 문제가 있었다. On the other hand, SOW (Sensor On Wafer) may be further provided with an internal battery for supplying the operating power to the sensor, SOW according to the prior art, since the sensors maintain the sensing operation mode intact even after the process monitoring is completed, There was a problem that power was continuously consumed.

특히, SOW(Sensor On Wafer)는 공정 모니터링을 완료한 후에 보호케이스에 보관하게 되는데, 그 보호케이스에 보관한 상태에서도 배터리의 방전은 지속되었다. In particular, SOW (Sensor On Wafer) is stored in a protective case after the process monitoring, the battery discharge continued even in the protective case.

본 발명의 목적은 상기한 점을 감안하여 안출한 것으로, 특히 SOW(Sensor On Wafer)와 같은 센서 장착 웨이퍼가 언제든지 즉시 공정 모니터링에 사용될 수 있도록 센서 장착 웨이퍼에 구비되는 내부 배터리의 충전 상태를 최적으로 유지해주는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention has been devised in view of the above, and in particular, the state of charge of the internal battery provided in the sensor-mounted wafer is optimally optimized so that a sensor-mounted wafer such as a sensor on wafer (SOW) can be immediately used for process monitoring at any time. To provide a sensor-mounted wafer and its storage device for holding.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼의 특징은, 센서; 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛; 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛; 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)를 포함하되, 상기 제어유닛은 상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결됨에 따라, 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시키는 것이다.Features of the sensor-mounted wafer according to the present invention for achieving the above object, the sensor; A communication unit for transmitting sensing information sensed by the sensor and receiving control information for controlling the operation of the sensor; A control unit for controlling the operation of the sensor using the control information; And a battery A for supplying power for driving the sensor, the communication unit, and the control unit, wherein the control unit communicates with a wireless communication circuit in which the communication unit is provided in the storage device of the sensor-mounted wafer. As it is connected, the power supply for driving the sensor is controlled to operate in a power saving mode.

바람직하게, 상기 제어유닛은 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 배터리(B)의 전원을 무선 충전 방식으로 상기 배터리(A)에 충전하도록 제어할 수 있다.Preferably, the control unit may be controlled to charge the battery (A) to the power of the battery (B) provided in the storage device of the sensor-mounted wafer in a wireless charging method.

보다 바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장하는 메모리를 더 구비할 수 있다.More preferably, the sensor-mounted wafer may further include a memory for storing log data recording the process used.

보다 바람직하게, 상기 제어유닛은 상기 배터리(A)가 상기 로그데이터에 기록된 상기 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어할 수 있다.More preferably, the control unit may control the battery A to be charged at a level corresponding to the maximum power consumption in the process recorded in the log data.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼 보관 장치의 특징은, 센서, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛, 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)가 구비된 센서 장착 웨이퍼를 보관하는 장치로서, 배터리(B); 상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로; 상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로; 그리고 상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 구성되는 것이다.Features of a sensor-mounted wafer storage device according to the present invention for achieving the above object, a sensor, a communication unit for transmitting sensing information sensed by the sensor and receiving control information for controlling the operation of the sensor, the An apparatus for storing a sensor-mounted wafer including a control unit for controlling the operation of the sensor using control information, and a battery A for supplying power for driving the sensor, the communication unit, and the control unit, Battery B; A wireless charging circuit which wirelessly supplies the power charged in the battery B to the battery A; A wireless communication circuit for wirelessly communicating with the communication unit as the sensor-mounted wafer is mounted therein; And it is configured to include a controller for controlling the on-off operation of the wireless charging circuit as the wireless communication between the communication unit and the wireless communication circuit is connected.

바람직하게, 상기 무선충전회로의 온오프 동작상태와 상기 배터리(A)의 충전상태와 상기 배터리(B)의 충전상태를 표시하는 LED 표시부를 더 포함할 수 있다.Preferably, the wireless charging circuit may further include an LED display for displaying an on-off operation state of the wireless charging circuit, a charging state of the battery A, and a charging state of the battery B.

바람직하게, 상기 제어기는 상기 센서 장착 웨이퍼의 로그데이터에 기록된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어할 수 있다.Preferably, the controller may control the on / off operation of the wireless charging circuit to supply power to the battery A to a level corresponding to the maximum power consumption in the process recorded in the log data of the sensor-mounted wafer. .

바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정과 상기 공정에 요구되는 조건을 포함하는 상기 제어정보를 설정하기 위한 사용자 인터페이스를 더 포함할 수 있다.Preferably, the method may further include a user interface for setting the control information including a process in which the sensor-mounted wafer is to be used and a condition required for the process.

보다 바람직하게, 상기 제어기는 상기 사용자 인터페이스를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어할 수 있다.More preferably, the controller may control the on / off operation of the wireless charging circuit so that power is supplied to the battery A to a level corresponding to the maximum power consumption in the process set through the user interface.

바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 센서 장착 웨이퍼 보관 장치로부터 이탈 시에, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 RTC(Real-time clock) 회로를 더 포함할 수 있다.Preferably, the sensor-mounted wafer further includes a real-time clock (RTC) circuit that sets a standard time for calculating a process time in a process in which the sensor-mounted wafer is to be used when the sensor-mounted wafer is separated from the sensor-mounted wafer storage device. can do.

본 발명에 따르면, 센서 장착 웨이퍼가 공정 모니터링을 완료한 후에 안정되게 보관될 수 있으며, 특히 센서 장착 웨이퍼가 보관 중일 때는 센서들의 동작으로 절전모드로 자동 전환하여 전원 소모를 최소화할 수 있다.According to the present invention, the sensor-mounted wafer can be stored stably after the process monitoring is completed, and in particular, when the sensor-mounted wafer is being stored, power consumption can be minimized by automatically switching to a power saving mode by the operation of the sensors.

또한, 센서 장착 웨이퍼가 보관 중일 때 자동으로 요구되는 수준으로 전원이 충전되므로, 내부 배터리를 충전하기 위해 외부충전장치에 연결해야 하는 별도의 작업이 요구되지 않으며, 센서 장착 웨이퍼가 충분한 충전상태로 언제든지 즉시 공정 모니터링에 사용될 수 있도록 해준다.In addition, since the power is automatically charged to the required level when the sensor-mounted wafer is being stored, no additional work is required to connect the external charger to charge the internal battery, and the sensor-mounted wafer is always charged with sufficient charge. It can be used for process monitoring immediately.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 구성을 도시한 다이어그램이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 구성을 도시한 다이어그램이고,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 상세 구성을 도시한 블록다이어그램이다.1 is a diagram illustrating a configuration of a sensor-mounted wafer according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram illustrating a configuration of a sensor-mounted wafer and a storage device according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram showing a detailed configuration of a sensor-mounted wafer and a storage device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 목적, 특징 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the detailed description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예의 구성과 그 작용을 설명하며, 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시 예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 상기한 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating the configuration and operation of the embodiment of the present invention, the configuration and operation of the present invention shown in the drawings and described by it will be described by at least one embodiment, By the technical spirit of the present invention described above and its core configuration and operation is not limited.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치의 바람직한 실시 예를 자세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the sensor-mounted wafer and its storage device according to the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 구성을 도시한 다이어그램이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 구성을 도시한 다이어그램이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 상세 구성을 도시한 블록다이어그램이다.1 is a diagram showing a configuration of a sensor-mounted wafer according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a diagram showing the configuration of a sensor-mounted wafer and a storage device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 It is a block diagram showing the detailed configuration of the sensor-mounted wafer and the storage device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명은 센서 장착 웨이퍼(1)와 그를 보관하는 보관 장치(2)로 구성된다.1 to 3, the present invention consists of a sensor-mounted wafer 1 and a storage device 2 for storing it.

센서 장착 웨이퍼(1)는 센서(10)와 통신유닛(20)과 제어유닛(30)과 배터리(A)(40)와 충전회로(41)와 메모리(50)로 구성된다.The sensor-mounted wafer 1 is composed of a sensor 10, a communication unit 20, a control unit 30, a battery A 40, a charging circuit 41, and a memory 50.

센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 다수 개가 구비되며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 정해진 센싱 위치에 내장되어 해당 위치에서 공정 모니터링을 위한 센싱을 담당한다. 센서(10)는 온도센서나 압력센서 등 다양한 공정환경을 센싱한다. 일 예로, 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 로딩된 챔버 내부 상태(온도, 압력, 기체 등)나 챔버에 로딩된 웨이퍼의 자체 상태(온도 등)를 센싱할 수 있다.A plurality of sensors 10 are provided on the sensor-mounted wafer 1, and are embedded in a predetermined sensing position of the sensor-mounted wafer 1 to perform sensing for process monitoring at the corresponding position. The sensor 10 senses various process environments such as a temperature sensor or a pressure sensor. For example, the sensor 10 may sense a state inside a chamber (temperature, pressure, gas, etc.) loaded with the sensor-mounted wafer 1 or a state (temperature, etc.) of the wafer loaded in the chamber.

통신유닛(20)은 외부와의 무선 통신을 위한 것으로 센서(10)에 의해 센싱된 센싱정보를 무선으로 송신하고, 또한 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 무선으로 수신한다. 여기서, 제어정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함할 수 있는데, 예로써 센서 장착 웨이퍼(1)가 어느 공정에 사용되는지를 정의하고. 그 정의된 공정에서의 센싱온도, 센싱시간, 센싱방식 등에 대한 설정 값을 포함할 수 있다.The communication unit 20 is for wireless communication with the outside and wirelessly transmits sensing information sensed by the sensor 10 and wirelessly receives control information for controlling the operation of the sensor 10. Here, the control information may include the process in which the sensor-mounted wafer 1 is to be used and the conditions required for the process, for example, defining which process the sensor-mounted wafer 1 is used in. It may include a set value for the sensing temperature, sensing time, sensing method and the like in the defined process.

제어유닛(30)은 제어정보를 사용하여 센서(10)의 동작을 제어한다. 즉, 제어유닛(30)은 제어정보에 포함된 설정 값에 기반하여 센서(10)가 동작하도록 제어한다.The control unit 30 controls the operation of the sensor 10 using the control information. That is, the control unit 30 controls the sensor 10 to operate based on the setting value included in the control information.

배터리(A)(40)는 센서(10)와 통신유닛(20)과 제어유닛(30)을 포함하여 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 구성요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다.The battery A 40 includes a sensor 10, a communication unit 20, and a control unit 30 to supply power for driving components included in the sensor-mounted wafer 1.

배터리(A)(40)에 대한 충전 제어는 제어유닛(30)이 담당하며, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정에 사용될 때를 제외하고는 최소한의 전원이 소모되도록 전원 공급을 제어할 수 있다.The control unit 30 is responsible for charge control of the battery (A) 40, and the control unit 30 supplies power so that a minimum amount of power is consumed except when the sensor-mounted wafer 1 is used in a process. Can be controlled.

일예로, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관될 시에 센서(10)의 구동을 위해 공급되는 전원을 차단하는 방식으로 전원 공급을 제어할 수 있다. For example, the control unit 30 may control the power supply by cutting off the power supplied for driving the sensor 10 when the sensor-mounted wafer 1 is stored in the storage device 2.

센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관된 상태인지 아닌지에 대한 판단은 무선 통신의 연결 여부에 기준한다. 즉, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와의 통신이 연결되면, 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)의 웨이퍼 홀더(WAFER HOLDER)에 보관된 것으로 판단한다. 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)의 웨이퍼 홀더(WAFER HOLDER)에 보관된 것으로 판단되는 경우는, 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되지 않는 것을 의미하므로, 제어유닛(30)은 센서(10)의 구동을 위한 전원 공급을 차단하는 식으로 전원 공급을 제어한다. 센서(10)의 구동을 위한 전원 공급을 차단하는 동작모드를 이하에서는 절전모드로 정의한다.The determination as to whether or not the sensor-mounted wafer 1 is stored in the storage device 2 is based on the connection of wireless communication. That is, when the communication unit 20 is connected to the communication with the wireless communication circuit 120 is provided in the storage device 2, the control unit 30, the sensor-mounted wafer 1 is a wafer holder ( WAFER HOLDER). When it is determined that the sensor-mounted wafer 1 is stored in the wafer holder WAFER HOLDER of the storage device 2, it means that the sensor-mounted wafer 1 is not used for process monitoring, and thus the control unit 30 The power supply is controlled by cutting off the power supply for driving the sensor 10. An operation mode for cutting off power supply for driving the sensor 10 is defined as a power saving mode below.

이와 같이, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와 통신이 연결되면 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 구비되는 웨이퍼 홀더에 보관된 것으로 판단하고, 센서(10)의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시킨다.As such, the control unit 30 is a wafer in which the sensor-mounted wafer 1 is provided in the storage device 2 when the communication unit 20 is connected to the wireless communication circuit 120 provided in the storage device 2. It is determined that it is stored in the holder, the power supply for driving the sensor 10 is controlled to operate in a power saving mode.

또한, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와 통신이 연결되면 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 구비되는 웨이퍼 홀더에 보관된 것으로 판단하고, 보관 장치(2)에 구비되는 배터리(B)(140)의 충전 전원을 무선 충전 방식으로 배터리(A)(40)에 충전하도록 제어할 수 있다. 이때, 제어유닛(30)은 무선 충전을 위해 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 충전회로(41)의 동작을 제어할 수 있으며, 동시에 보관 장치(2)에서도 그에 구비되는 무선충전회로(141)의 동작을 제어하여 배터리(B)(140)의 충전 전원이 센서 장착 웨이퍼(1)에 전달되도록 한다.In addition, the control unit 30 is a wafer holder in which the sensor-mounted wafer 1 is provided in the storage device 2 when the communication unit 20 is connected to the wireless communication circuit 120 provided in the storage device 2. As determined to be stored in the storage device 2, the charging power of the battery (B) 140 included in the storage device 2 may be controlled to be charged to the battery A 40 by a wireless charging method. In this case, the control unit 30 may control the operation of the charging circuit 41 provided in the sensor-mounted wafer 1 for wireless charging, and at the same time, the wireless charging circuit 141 provided in the storage device 2. By controlling the operation of the battery (B) 140 so that the charging power is transferred to the sensor-mounted wafer (1).

메모리(50)는 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 저장할 수 있으며, 센서(10)에 의해 센싱된 센싱정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(50)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장할 수 있다. 로그데이터는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어떤 공정에서 어떤 조건으로 사용되었는지에 대한 정보를 포함한다.The memory 50 may store control information for controlling the operation of the sensor 10, and may store sensing information sensed by the sensor 10. In addition, the memory 50 may store log data that records a process in which the sensor-mounted wafer 1 is used. The log data includes information on in what process and under what conditions the sensor-mounted wafer 1 is used.

제어유닛(30)의 배터리(A)(40)에 대한 충전 제어는, 배터리(A)(40)가 만충될 때까지 실시할 수도 있고, 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지만 충전되도록 실시할 수 있다. 바람직하게, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 서로 다른 조건으로 공정 모니터링에 사용되는 것에 대비할 수 있는데, 로그데이터를 참조하여 어떤 공정에 사용되는 지를 판단한 후에 해당 공정의 모니터링 시에 소모되는 최대 전원량을 기준으로 배터리(A)(40)에 대한 충전량을 제어할 수 있다. 즉, 제어유닛(30)은 배터리(A)(40)가 로그데이터에 기록된 특정 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어할 수 있다.Charging control of the battery (A) 40 of the control unit 30 may be carried out until the battery (A) 40 is full, the battery (A) 40 is charged only to the required level for each process It may be carried out as possible. Preferably, the control unit 30 may be prepared for the sensor-mounted wafer (1) used in the process monitoring under different conditions, it is consumed when monitoring the process after determining which process is used in reference to the log data The amount of charge for the battery A 40 may be controlled based on the maximum amount of power. That is, the control unit 30 may control the battery A 40 to be charged at a level corresponding to the maximum power consumption in a specific process recorded in log data.

다음의 보관 장치(2)는 센서 장착 웨이퍼(1)를 웨이퍼 홀더에 보관하는 동안에 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(A)(40)를 충전시키고 센서 장착 웨이퍼(1)의 공정 모니터링을 위한 제어정보를 설정할 수 있다.The following storage device 2 charges the battery A 40 of the sensor-mounted wafer 1 and controls for process monitoring of the sensor-mounted wafer 1 while storing the sensor-mounted wafer 1 in the wafer holder. You can set the information.

보관 장치(2)는 사용자 인터페이스(UI)(110)와 무선통신회로(120)와 제어기(130)와 배터리(B)(140)와 무선충전회로(141)와 LED 표시부(150)와 RTC 회로(160)를 포함하여 구성되며, 배터리(B)(140)로의 전원 충전을 위한 전원라인으로 POWER USB나 ADAPTER, 센싱정보와 제어정보를 저장할 수 있는 메모리, 외부와의 유선 통신을 위한 통신라인으로 USB 단자나 LAN 단자 등을 더 포함할 수 있다. The storage device 2 includes a user interface (UI) 110, a wireless communication circuit 120, a controller 130, a battery (B) 140, a wireless charging circuit 141, an LED display unit 150, and an RTC circuit. And a power line for charging power to the battery (B) 140, a power USB or adapter, a memory for storing sensing information and control information, and a communication line for wired communication with the outside. It may further include a USB terminal or a LAN terminal.

사용자 인터페이스(UI)(110)는 디스플레이(Display)나 키보드와 같은 입출력디바이스를 포함하는 것으로, 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함하는 제어정보를 설정하기 위한 것이다. 예로써 사용자 인터페이스(110)를 통해 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정을 설정하고, 그 설정된 공정에서의 센싱온도, 센싱시간, 센싱방식 등에 대한 값을 설정할 수 있다.The user interface (UI) 110 includes an input / output device such as a display or a keyboard, and is for setting control information including a process in which the sensor-mounted wafer 1 is to be used and conditions required for the process. . For example, a process in which the sensor-mounted wafer 1 is to be used through the user interface 110 may be set, and values for a sensing temperature, a sensing time, and a sensing method in the set process may be set.

무선통신회로(120)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 통신유닛(20)과 무선으로 통신한다. 특히, 무선통신회로(120)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 내부에 탑재 즉, 웨이퍼 홀더에 보관됨에 따라 통신유닛(20)과 무선으로 통신한다. The wireless communication circuit 120 communicates wirelessly with the communication unit 20 provided in the sensor-mounted wafer 1. In particular, the wireless communication circuit 120 wirelessly communicates with the communication unit 20 as the sensor-mounted wafer 1 is mounted therein, that is, stored in the wafer holder.

제어기(130)는 무선통신회로(120)와 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 통신유닛(20)의 통신 연결에 기준하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 내부에 탑재된 상태인지를 판단한다.The controller 130 determines whether the sensor-mounted wafer 1 is mounted on the basis of the communication connection between the wireless communication circuit 120 and the communication unit 20 provided in the sensor-mounted wafer 1.

제어기(130)는 무선통신회로(120)와 통신유닛(20) 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어하여 배터리(B)(140)에서 배터리(A)(40)로 충전이 진행되도록 제어한다.The controller 130 controls the on / off operation of the wireless charging circuit 141 as the wireless communication between the wireless communication circuit 120 and the communication unit 20 is connected to the battery (A) ( 40) to control the charging progress.

제어기(130)는 배터리(A)(40)가 만충될 때까지 실시할 수도 있고, 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지만 충전되도록 충전 제어를 실시할 수 있다. 바람직하게, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 로그데이터를 참조하여 어떤 공정에 사용되는 지를 판단한 후에 해당 공정의 모니터링 시에 소모되는 최대 전원량을 기준으로 배터리(B)(140)의 방전량을 제어할 수 있다. 즉, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 로그데이터에 기록된 특정 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(B)(140)의 충전 전원을 방전시키도록 제어할 수 있다. 이는 제어기(130)가 공정 별로 정의되는 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(A)에 전원이 공급되도록 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어하는 것이다.The controller 130 may be implemented until the battery (A) 40 is full, or may perform the charging control so that the battery (A) 40 is charged only to the required level for each process. Preferably, the controller 130 refers to the log data of the sensor-mounted wafer 1 to determine which process is used, and then, based on the maximum amount of power consumed in monitoring the process, the controller 130 of the battery B 140 The amount of discharge can be controlled. That is, the controller 130 may control to discharge the charging power of the battery B 140 to a level corresponding to the maximum power consumption in a specific process recorded in the log data of the sensor-mounted wafer 1. The controller 130 controls the on / off operation of the wireless charging circuit 141 to supply power to the battery A to a level corresponding to the maximum power consumption defined for each process.

한편, 제어기(130)는 공정 별 최대 전원 소모량을 로그데이터에 기반하여 설정할 수도 있으나, 센서 장착 웨이퍼(1)가 새로운 공정의 모니터링에 사용될 수 있으므로 공정 별로 정의되는 최대 전원 소모량을 사용자 인터페이스(110)를 통해 설정된 정보에 기반하여 설정할 수도 있다. 즉, 제어기(130)는 사용자 인터페이스(110)를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(A)(40)에 전원이 공급되도록 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어할 수 있다.Meanwhile, the controller 130 may set the maximum power consumption for each process based on log data, but since the sensor-mounted wafer 1 may be used for monitoring a new process, the user interface 110 may determine the maximum power consumption defined for each process. It can also be set based on the information set through. That is, the controller 130 controls the on / off operation of the wireless charging circuit 141 to supply power to the battery A 40 to a level corresponding to the maximum power consumption in the process set through the user interface 110. can do.

LED 표시부(150)는 제어기(130)의 제어에 따라 무선충전회로(141)의 온오프 동작상태와 배터리(A)(40)의 충전상태와 배터리(B)(140)의 충전상태를 표시할 수 있다. LED 표시부(150)에 의해 표시되는 배터리(A)(40)의 충전상태는 그 배터리(A)(40)가 만충된 상태임을 나타낼 수 있고 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지 충전된 상태임을 나타낼 수도 있다. 사용자는 LED 표시부(150)에 의해 표시되는 배터리(A)(40)의 충전상태를 확인하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 현재 공정 모니터링에 사용 가능한지를 판단할 수 있을 것이다.The LED display unit 150 may display the on-off operation state of the wireless charging circuit 141, the charging state of the battery A 40, and the charging state of the battery B 140 under the control of the controller 130. Can be. The state of charge of the battery (A) 40 displayed by the LED display unit 150 may indicate that the battery (A) 40 is full and the battery (A) 40 is charged to the required level for each process. It can also indicate that it is in a closed state. The user may determine whether the sensor-mounted wafer 1 is currently available for process monitoring by checking the state of charge of the battery A 40 displayed by the LED display unit 150.

이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관된 상태에서는 충전과 공정 모니터링의 조건 설정을 위한 동작이 실시된다.As described above, in the state where the sensor-mounted wafer 1 is stored in the storage device 2, an operation for setting conditions for filling and process monitoring is performed.

반면에, 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)로부터 이탈할 시에는 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되는 경우일 수 있다. 그에 따라 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간이 설정되어야 한다.On the other hand, when the sensor-mounted wafer 1 is separated from the storage device 2, it may be the case that the sensor-mounted wafer 1 is used for process monitoring. The standard time for calculating the process time in the process should be set accordingly.

RTC(Real-time clock) 회로(160)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 것으로, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부에 따라 RTC 회로(160)의 동작을 제어한다. RTC 회로(160)는 센서 장착 웨이터(1)의 제어정보 중에서 공정시간을 계산하기 위해 설정되는 표준시간을 제공한다. 여기서, 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부는 통신유닛(20)과 무선통신회로(120) 간의 통신 연결 여부나 웨이퍼 홀더에 구비되는 감지센서 등으로 판단할 수 있다.The RTC (Real-time clock) circuit 160 sets a standard time for calculating a process time in a process in which the sensor-mounted wafer 1 is to be used, and the controller 130 determines whether the sensor-mounted wafer 1 is displaced. In accordance with this, the operation of the RTC circuit 160 is controlled. The RTC circuit 160 provides a standard time set for calculating a process time among the control information of the sensor-equipped waiter 1. Here, whether the sensor-mounted wafer 1 is separated may be determined by a communication connection between the communication unit 20 and the wireless communication circuit 120 or a sensing sensor provided in the wafer holder.

지금까지 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형된 형태로 구현할 수 있을 것이다. While the preferred embodiments of the present invention have been described so far, those skilled in the art may implement the present invention in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention.

그러므로 여기서 설명한 본 발명의 실시 예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 상술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the embodiments of the present invention described herein are to be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation, and the scope of the present invention is shown in the appended claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope are equivalent to the present invention. Should be interpreted as being included in.

1: 웨이퍼 2: 보관 장치
10: 센서 20: 통신유닛
30: 제어유닛 40: 배터리(A)
41: 충전회로 50: 메모리
110: 사용자 인터페이스(UI) 120: 무선통신회로
130: 제어기 140: 배터리(B)
141: 무선충전회로 150: LED 표시부
160: RTC 회로1: wafer 2: storage device
10: sensor 20: communication unit
30: control unit 40: battery (A)
41: charging circuit 50: memory
110: user interface (UI) 120: wireless communication circuit
130: controller 140: battery (B)
141: wireless charging circuit 150: LED display unit
160: RTC circuit

Claims (10)

센서 장착 웨이퍼에 있어서,
센서;
상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛;
상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛;
상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A);
상기 배터리(A)로의 무선 충전을 위해 구비되는 충전회로; 그리고
상기 센서 장착 웨이퍼가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장하는 메모리를 포함하되,
상기 제어유닛은,
상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결되면, 상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 보관 장치에 보관된 것으로 판단하여 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 차단하는 절전모드로 동작시키고,
상기 제어유닛은,
상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결되면, 상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 보관 장치에 보관된 것으로 판단하여 상기 센서 장착 웨이퍼의 상기 보관 장치에 구비되는 배터리(B)의 전원을 무선 충전 방식으로 상기 배터리(A)에 충전하도록 상기 충전회로를 제어하고,
상기 제어유닛은,
상기 배터리(A)가 상기 로그데이터에 기록된 상기 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼.In the sensor-mounted wafer,
sensor;
A communication unit for transmitting sensing information sensed by the sensor and receiving control information for controlling the operation of the sensor;
A control unit for controlling the operation of the sensor using the control information;
A battery (A) for supplying power for driving the sensor, the communication unit, and the control unit;
A charging circuit provided for wireless charging to the battery (A); And
And a memory for storing log data recording a process in which the sensor-mounted wafer is used,
The control unit,
When the communication unit is connected to the communication with the wireless communication circuit provided in the storage device of the sensor-mounted wafer, it is determined that the sensor-mounted wafer is stored in the storage device to cut off the power supply for driving the sensor Mode,
The control unit,
When the communication unit is connected with the wireless communication circuit provided in the storage device of the sensor-mounted wafer, it is determined that the sensor-mounted wafer is stored in the storage device, the battery provided in the storage device of the sensor-mounted wafer ( The charging circuit is controlled to charge the power of B) to the battery A by a wireless charging method.
The control unit,
And the battery (A) is controlled to be charged to a level corresponding to the maximum power consumption in the process recorded in the log data. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 센서, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛, 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)가 구비된 센서 장착 웨이퍼를 보관하는 장치에 있어서,
배터리(B);
상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로;
상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로;
상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기; 그리고
상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정과 상기 공정에 요구되는 조건을 포함하는 상기 제어정보를 설정하기 위한 사용자 인터페이스를 포함하되,
상기 제어기는,
상기 무선통신회로와 상기 센서 장착 웨이퍼에 구비되는 상기 통신유닛 간의 무선 통신 연결에 기준하여 상기 센서 장착 웨이퍼가 장치 내부에 탑재된 상태인지를 판단하고,
상기 제어기는,
상기 무선통신회로와 상기 통신유닛 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하여 상기 배터리(B)에서 상기 배터리(A)로 충전이 진행되도록 제어하고,
상기 제어기는,
상기 사용자 인터페이스를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.A communication unit for transmitting a sensor, sensing information sensed by the sensor and receiving control information for controlling the operation of the sensor, a control unit for controlling the operation of the sensor using the control information, and the sensor and the An apparatus for storing a sensor-mounted wafer having a battery A for supplying power for driving a communication unit and the control unit,
Battery B;
A wireless charging circuit which wirelessly supplies the power charged in the battery B to the battery A;
A wireless communication circuit for wirelessly communicating with the communication unit as the sensor-mounted wafer is mounted therein;
A controller controlling on / off operation of the wireless charging circuit as the wireless communication between the communication unit and the wireless communication circuit is connected; And
A user interface for setting the control information including a process in which the sensor-mounted wafer is to be used and conditions required for the process,
The controller,
Determining whether the sensor-mounted wafer is mounted inside the device based on a wireless communication connection between the wireless communication circuit and the communication unit provided on the sensor-mounted wafer,
The controller,
As the wireless communication between the wireless communication circuit and the communication unit is connected, the on-off operation of the wireless charging circuit is controlled to control the charging to proceed from the battery B to the battery A,
The controller,
Sensor storage wafer storage device, characterized in that for controlling the on-off operation of the wireless charging circuit to supply power to the battery (A) to a level corresponding to the maximum power consumption in the process set through the user interface. 제 5 항에 있어서,
상기 무선충전회로의 온오프 동작상태와 상기 배터리(A)의 충전상태와 상기 배터리(B)의 충전상태를 표시하는 LED 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.The method of claim 5,
And a LED display unit for displaying an on-off operation state of the wireless charging circuit, a state of charge of the battery (A), and a state of charge of the battery (B). 제 5 항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 센서 장착 웨이퍼의 로그데이터에 기록된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.The method of claim 5,
The controller,
Storing the sensor-mounted wafer, characterized in that to control the on-off operation of the wireless charging circuit to supply power to the battery (A) to a level corresponding to the maximum power consumption in the process recorded in the log data of the sensor-mounted wafer Device. 삭제delete 삭제delete 제 5 항에 있어서,
상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 센서 장착 웨이퍼 보관 장치로부터 이탈 시에, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 RTC(Real-time clock) 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.The method of claim 5,
And a real-time clock (RTC) circuit that sets a standard time for calculating a process time in a process in which the sensor-mounted wafer is to be used when the sensor-mounted wafer is separated from the sensor-mounted wafer storage device. Sensor-mounted wafer storage device.
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