KR101589678B1 - Gas cylinder information providing system using short range wireless communication for manufacturing semiconductor device - Google Patents

Gas cylinder information providing system using short range wireless communication for manufacturing semiconductor device Download PDF

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Abstract

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 실린더의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와; 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및 근접에 따라 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기를 포함하는 컨트롤러장치; 를 포함하여 구성되며, 컨트롤러장치는 수신된 가스 정보를 표시하는 것을 기술적 특징으로 한다.The present invention relates to a system capable of providing information on a gas cylinder for a semiconductor manufacturing process installed in a cabinet by using short-range communication, and a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using near- A wireless identification tag (Tag) that is attached to the wireless communication terminal and stores gas information; A wireless transceiver comprising a reader module for receiving the gas information stored in the radio identification tag and a writer module for transmitting the gas information received in the reader module; And a wireless identification reader for receiving gas information stored in the wireless transceiver according to proximity; And the controller device displays the received gas information as a technical feature.

Description

근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템{GAS CYLINDER INFORMATION PROVIDING SYSTEM USING SHORT RANGE WIRELESS COMMUNICATION FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using near-

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 보틀(bottle)의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a system capable of providing information on a gas bottle for a semiconductor manufacturing process installed in a cabinet using short-distance communication.

더욱 상세하게는 반도체 제조 공정용 가스 캐비닛(cabinet)에 설치되어 각종 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스 보틀(bottle)의 정보를 취득하고, 취득된 정보를 컨트롤러에 제공하여 가스 보틀을 원격에서 관리할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an information processing apparatus, which is installed in a gas cabinet for a semiconductor manufacturing process to acquire information on a gas bottle that supplies gases used in various processes, And more particularly, to a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication.

반도체 제조공정에서는 많은 종류의 공정가스가 반도체 제조장치 내부로 공급되어 웨이퍼와 상호 반응됨으로써 제조공정이 진행된다.In the semiconductor manufacturing process, many types of process gases are supplied into the semiconductor manufacturing apparatus and reacted with the wafer, thereby progressing the manufacturing process.

이와 같이 각각의 반도체 장치로 공정가스를 공급하는 것은 하나의 공정가스 공급 캐비닛에서 여러 대의 반도체 제조장치로 공정가스를 공급하는 방식으로 이루어지거나, 복수의 캐비닛에서 반도체 제조장치로 공정가스를 공급하는 방식으로 이루어진다.The process gas is supplied to each semiconductor device in such a manner that the process gas is supplied from one process gas supply cabinet to a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses or the process gas is supplied from a plurality of cabinets to a semiconductor manufacturing apparatus Lt; / RTI >

이러한 반도체 제조 공정에 사용되는 공정가스를 공급하는 캐비닛의 구성을 살펴보면 크게, 도 1에 도시된 바와 같이, 공급되는 가스의 종류, 압력, 무게 및 밸브 등을 제어하는 컨트롤러(1)와 가스가 충전된 보틀(3)이 수용되는 보틀 수용부(2)로 구성되며, 컨트롤러(1)와 보틀 수용부(2)는 구획된다.As shown in FIG. 1, the cabinet for supplying the process gas used in the semiconductor manufacturing process includes a controller 1 for controlling the kind, pressure, weight, and valve of the supplied gas, The controller 1 and the bottle receiving portion 2 are partitioned. The controller 1 and the bottle receiving portion 2 are separated from each other.

캐비닛의 보틀 수용부(2)는 통상 2~4개 정도의 보틀(3)이 수용되며, 일반적으로 가스 보틀 중 어느 하나를 사용하여 반도체 제조 장치에 가스를 공급하고 있다. 또한, 반도체 제조 장치에 가스를 공급하고 있는 동안에 가스 잔류 중량, 압력이 측정된다. 이때, 연결되어 공급되는 가스 보틀 내의 가스 잔류 중량 및 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면, 연결된 제1 가스 보틀로부터 제2 가스 보틀로 전환하여 가스 공급을 계속한다.
The bottle accommodating portion 2 of the cabinet generally accommodates about 2 to 4 bottles 3 and generally supplies gas to the semiconductor manufacturing apparatus by using any one of the gas bottles. Further, the gas remaining weight and pressure are measured while supplying gas to the semiconductor manufacturing apparatus. At this time, when the remaining gas weight and the pressure of the gas in the connected gas bottles reach the residual weight of the lower limit or the lower limit of the pressure which can safely be supplied, the first gas bottle is switched from the connected first gas bottle to the second gas bottle, do.

공개특허공보 제10-2004-0035387호에 기재된 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치는 가스 라인의 압력을 감지하여 제공하는 압력 센서와 세팅된 압력과 비교하여 기준치 이하일 경우 이를 음성 및 시각으로 표시하는 마이컴을 포함하여 구성되어 실시간으로 가스의 압력을 검출하여 모니터링 할 수 있는 시스템을 제공한다.The gas pressure monitoring apparatus of the semiconductor cabinet disclosed in the patent document 10-2004-0035387 includes a pressure sensor for sensing and providing the pressure of the gas line and a microcomputer for displaying the pressure of the gas line when the pressure is lower than a reference value, And a system capable of detecting and monitoring the pressure of the gas in real time.

이에 제1 가스 보틀은 충전된 가스 보틀로 교환되어 장착된다.
The first gas bottle is exchanged with the filled gas bottle and mounted.

이러한 구성에서 보틀(3)에 충전된 가스는 배관의 노후화 또는 연결 부속의 마모 등에 따라 가스가 누설될 수 있으며, 가스 사용량을 지속적으로 모니터링 할 수 있는 장치(시스템) 등이 개발되었다. 즉, 수용부(2)의 가스 누설 상태를 검출하거나 사용량(무게, 압력)을 모니터링할 수 있는 시스템은 마련되어 있다.In such a configuration, a gas (gas) filled in the bottle 3 may leak due to aging of the piping or wear of the connecting parts, and a device (system) capable of continuously monitoring the gas consumption has been developed. That is, a system is provided that can detect the gas leakage state of the accommodation portion 2 or monitor the usage amount (weight, pressure).

그런데 보틀 수용부(2)에 장착된 가스 재료, 충전한 가스업체, 제품번호, 보틀 번호, 가스 재료의 순도 및 충전 가스의 사용 만기일자 등은 보틀(3)에 부착된 태그(Tag)를 확인하여 수기(手記)로 작성하는 데이터베이스(DB)에 저장하거나 데이터 테이블에 기입하는 실정이다.However, when the tag attached to the bottle 3 is checked, the gas material, the gas supplier, the product number, the bottle number, the purity of the gas material, the expiration date of the filling gas, And stored in a database (DB) created by a handwriting or written in a data table.

이때, 반도체 공정에서 사용되는 가스 재료의 종류만 수 ~ 수십 가지 종류로 분류되는데, 공급되어야 할 가스 재료가 충전된 보틀이 해당 캐비닛의 보틀 수용부에 정확하게 장착되어야 함은 물론, 보틀에 충전된 가스는 사용 만기일자 범위에 있어야 하는바, 사용자가 직접 확인하여 보틀을 장착하는 방법으로는 작업 능률이 저하되는 단점과 잘못된 가스 재료가 공급될 수 있는 문제점이 발생될 수 있다.
In this case, only a few kinds of gas materials used in the semiconductor process are classified into several to several kinds. The bottles filled with the gaseous material to be supplied must be accurately mounted in the bottle receiving portion of the cabinet, The use of the bottle requires that the user manually check the bottle and install the bottle. However, the operation efficiency of the bottle may deteriorate and the wrong gas material may be supplied.

한편, 일부 유해 가스 재료의 경우, 가스의 누설은 근처 작업자의 생명을 위협할 뿐만 아니라 폭발성이 있는 가스의 누설은 작업장의 폭발을 야기시킬 수 있는 문제점이 있다.On the other hand, in the case of some harmful gas materials, leakage of gas not only threatens the lives of nearby workers, but also leakage of explosive gas causes explosion of workplace.

즉, 폭발 가능성이 있는 가스를 충전한 가스 보틀은 스파크(spark) 및 화기 등과 단절되어 있도록 구성되어야 하는 것으로, 보틀 수용부는 일반적으로 금속 재질로 구성되며, 그 내부는 밀폐된다.That is, a gas bottle filled with a gas capable of explosion must be configured so as to be disconnected from a spark, a fire or the like. The bottle accommodating portion is generally made of a metal material, and its interior is sealed.

따라서 이러한 보틀 수용부의 특성에 따라 가스 보틀의 정보를 취득하는 과정에서 스파크 등이 발생되지 않아야 하며 금속 재질에 따른 통신 장애를 극복해야 한다.
Therefore, according to the characteristics of the bottle receiving part, the spark or the like should not be generated in the process of acquiring the information of the gas bottle, and the communication trouble due to the metal material should be overcome.

공개특허공보 제10-2004-0035387호(2004. 04. 29.)Published Patent Publication No. 10-2004-0035387 (Apr. 29, 2004)

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하고 보틀 교환에 따른 작업을 용이하게 하기 위한 요구에 부응하여 안출된 것으로, 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 캐비닛의 보틀 수용부에 교환된 보틀의 정보를 용이하게 습득하여 컨트롤러부에 전송할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and to solve the above problems and to solve the problems of the related art. And to provide a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication that can be transmitted to a controller unit.

또한, 본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 보틀의 정보를 용이하게 습득하여 컨트롤러부에 전송하는 과정에서 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템을 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is to provide a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication that minimizes the risk of explosion in a process of easily acquiring information of a bottle and transmitting it to a controller unit I have to.

위와 같은 과제를 수행하기 위한 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와; 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및 근접에 따라 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기를 포함하는 컨트롤러장치; 를 포함하여 구성되며, 컨트롤러장치는 수신된 가스 정보를 표시하는 것을 기술적 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication, the system comprising: a radio tag attached to a gas bottle and storing gas information; A wireless transceiver comprising a reader module for receiving the gas information stored in the radio identification tag and a writer module for transmitting the gas information received in the reader module; And a wireless identification reader for receiving gas information stored in the wireless transceiver according to proximity; And the controller device displays the received gas information as a technical feature.

여기서, 가스 정보는 가스 재료 코드 및 사용 만기일자를 포함하여 구성된다.Here, the gas information is composed of the gas material code and the use expiration date.

이 구성에서 컨트롤러장치는 무선식별 리더기에서 수신된 가스 재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보와 비교하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하도록 구성된다.In this configuration, the controller device receives the gas information including the gas material code received at the radio identification reader and the use expiration date, and compares the received gas information with the stored gas information to determine whether the gas materials are different, Lt; RTI ID = 0.0 > failure. ≪ / RTI >

또한, 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성될 수 있으며, 리더모듈 및 라이터모듈은 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작될 수 있다.In addition, the wireless transceiver may be configured as a mobile device, and the reader module and the lighter module may be manufactured as an application that can be installed in a mobile device.

또한, 무선식별 태그는 NFC 태그로 구성될 수 있다.
Further, the radio identification tag may be composed of an NFC tag.

본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 교체된 보틀의 정보를 용이하게 컨트롤러부에 전송할 수 있으므로, 교환에 따른 시간이 단축되며, 입력된 정보에 따라 가스 재료의 공급 오류를 방지할 수 있는 효과가 있다.The gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention can easily transmit the information of the replaced bottle to the controller unit so that the time required for the exchange can be shortened and the supply of the gas material There is an effect to prevent errors.

또한, 교체 주기에 따른 가스 사용량을 집계하여 교환 시점을 미리 판단할 수 있으며, 가스 교환에 따른 예산을 미리 가늠할 수 있는 효과가 있다.Further, it is possible to estimate the time of replacement by calculating the amount of gas consumption according to the replacement cycle, and it is possible to estimate the budget for the gas exchange in advance.

뿐만 아니라 가스 정보의 습득 및 가스 정보를 입력하는 과정에서 스파크의 발생을 억제하여 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the risk of explosion can be minimized by suppressing the occurrence of sparks in the process of acquiring gas information and inputting gas information.

도 1은 종래 반도체 가스 보틀 캐비넷의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 구성 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 가스 보틀의 정보를 취득하여 전송하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 개략적인 구성도이다.1 is a perspective view of a conventional semiconductor gas bottle cabinet.
2 is a perspective view of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.
3 is a front view of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.
4 is a diagram illustrating a process of acquiring and transmitting information of a gas bottle in a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.
5 is a schematic block diagram of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: FIG.

또한, 본 발명을 설명하기에 앞서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기 설명에서는 구체적인 구성 소자 등과 같은 특정 사항들이 나타나고 있는데 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 특정 사항들이 본 발명의 범위 내에서 소정의 변형이나 혹은 변경이 이루어질 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다 할 것이다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be appreciated that those skilled in the art will readily observe that certain changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. To those of ordinary skill in the art.

본 발명은 근거리 통신을 이용하여 캐비닛에 설치되는 반도체 제조 공정용 가스 실린더의 정보를 제공할 수 있는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정용 가스 캐비닛(cabinet)에 설치되어 각종 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스 보틀(bottle)의 정보를 취득하고, 취득된 정보를 컨트롤러에 제공하여 가스 보틀을 원격에서 관리할 수 있는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a system capable of providing information on a gas cylinder for a semiconductor manufacturing process installed in a cabinet using short range communication, and more particularly, to a gas cabinet for a semiconductor manufacturing process, And more particularly, to a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using short-range communication that can acquire information on a gas bottle supplying a gas to be supplied to the controller and remotely manage the gas bottle by providing the acquired information to the controller.

도 2는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 구성 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 정면도이다.
FIG. 2 is a perspective view of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention, and FIG. 3 is a front view of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.

본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템은 가스 보틀(10)에 부착 설치되는 무선식별 태그(11)와 무선 송수신장치(20) 및 컨트롤러장치(30)를 포함하여 구성된다.
The gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention includes a wireless identification tag 11 attached to a gas bottle 10, a wireless transceiver 20 and a controller device 30, do.

가스 보틀(10)은 반도체 공정에서 사용되는 가스가 충전되며, 캐비닛(cabinet)의 보틀 수용부(40)에 수용되고, 캐비닛에 구성된 배관에 연결되어 장착된다.The gas bottle 10 is filled with a gas used in a semiconductor process, is accommodated in a bottle receiving portion 40 of a cabinet, and is connected to and connected to a pipe configured in the cabinet.

가스가 충전된 가스 보틀(10)에는 충전된 가스의 재료에 대한 가스재료 코드, 충전된 가스의 사용 가능한 일자 정보를 가지는 사용 만기일자, LOT 번호(제품 번호), 충전 가스의 순도, 충전된 업체의 제조사 코드, 충전일자 및 가스 보틀번호 등을 포함하는 가스 정보가 무선식별 태그(Tag, 11)에 저장되어 부착된다.The gas bottle 10 filled with the gas contains a gas material code for the material of the charged gas, an expiration date having usable date information of the charged gas, a LOT number (product number), purity of the filling gas, Gas information including a maker code, a filling date, a gas bottle number, and the like is stored and attached to a wireless identification tag (Tag) 11.

가스재료 코드는 충전된 가스의 재료를 의미하는 것으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 다양한 가스가 각각 충전된다.The gaseous material cord means the material of the filled gas, and various gases used in the semiconductor manufacturing process are charged.

이때, 충전되는 가스의 재료로는 HCl, HF, HBr, SF6, Cl2, SiF4 및 CF4 등 가스상 케이컬 재료 등 반도체 공정에서 사용되는 가스가 충전되며, 다양한 종류의 가스를 충전하는 것이 가능하다.In this case, the material of the charged gas are HCl, HF, HBr, SF 6, Cl 2, SiF 4, and CF 4 such as a gas-phase K curl material or the like and a gas used in a semiconductor process charging, to charge a wide range of gas It is possible.

무선식별 태그(11)는 가스 정보가 저장되는 메모리칩과 안테나로 구성될 수 있으며, 근거리에서 가스 정보를 송출하도록 구성되는 NFC(Near Field Communication) 태그로 구성될 수 있다.The radio frequency identification tag 11 may be composed of a memory chip and an antenna for storing gas information, and may be composed of an NFC (Near Field Communication) tag configured to transmit gas information in a short distance.

NFC는 ISO/IEC 18092, ISO/IEC 14443A 표준통신으로 주파수 13.56MHz에서 424Kbps의 전송속도를 정보를 주고 받을 수 있는 무선통신이다. 전송 거리는 20cm이내이나 통상 10cm이내로 접근하는 리더기로 정보를 전송한다.NFC is a wireless communication system capable of transmitting and receiving data at a transmission rate of 13.56 MHz to 424 Kbps in accordance with ISO / IEC 18092 and ISO / IEC 14443A standard communication. Transmission distance is less than 20cm, but usually less than 10cm.

NFC 통신방식에 따라 능동 통신 모드와 수동 통신 모드로 구분된다.According to the NFC communication method, active communication mode and manual communication mode are distinguished.

능동 통신 모드(Active Communication Mode)는 리더, 다른 하나는 태그가 되어 13.56 MHz의 RF 신호를 전송하는 것이며, 수동 통신 모드(Passive Communication Mode)는 리더가 명령어와 데이터를 송신하고 태그는 리더의 RF Field에 부하변조(Load Modulation) 방식으로 응답 데이터(Data)를 송신하는 방법이다. In the passive communication mode, the reader transmits commands and data, and the tag is the RF field of the reader. The active communication mode is a reader and the other is a tag to transmit an RF signal of 13.56 MHz. And the response data (Data) is transmitted in a load modulation manner.

본 발명에서는 능동 통신 모드 또는 수동 통신 모드 중에서 선택되어 구성될 수 있음은 물론이다.
It is needless to say that the present invention can be configured to be selected from the active communication mode or the manual communication mode.

무선 송수신장치(20)는 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 수신하며, 수신된 가스 정보를 후술되는 무선식별 리더기(31)에 전송하는 것으로, 가스 정보를 수신하기 위한 리더모듈(21, 도 5 참조)과 리더모듈(21)에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈(23)을 포함하여 구성된다.The wireless transceiver 20 receives the gas information stored in the wireless identification tag 11 and transmits the received gas information to the wireless identification reader 31 to be described later. The wireless transceiver 20 includes a reader module 21, 5), and a writer module 23 for transmitting the gas information received by the reader module 21. The reader module 21, as shown in FIG.

즉, 무선 송수신장치(20)는 가스 보틀(10)에 부착된 무선식별 태그(11)에 전송 가능한 거리로 근접시키면 리더모듈(21)에 의해서 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 획득하여 이를 저장하고, 그 상태에서 컨트롤러장치(30)의 무선식별 리더기(31)에 전송 가능한 거리로 근접시키면 저장된 가스 정보가 무선식별 리더기(31)로 전송된다.
That is, the wireless transceiver 20 acquires the gas information stored in the wireless identification tag 11 by the reader module 21 when the wireless transceiver 20 approaches the wireless identification tag 11 attached to the gas bottle 10 at a distance that can be transmitted The stored gas information is transmitted to the radio frequency identification reader 31 by storing the radio frequency identification signal and bringing the radio frequency identification reader 31 to a distance at which the radio frequency identification reader 31 of the controller device 30 can transmit data.

무선 송수신장치(20)는 휴대용으로 제작될 수 있다.The wireless transceiver 20 may be made portable.

또한, 모바일기기(스마트 폰 등)에는 NFC 태그를 읽고 쓸 수 있는 모듈이 구비되어 있는데, 리더모듈 및 라이터모듈은 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작되어 이 애플리케이션을 모바일기기에 설치하는 것으로 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성될 수 있다.
The reader module and the writer module are manufactured as an application that can be installed in the mobile device and the application is installed in the mobile device, May be configured as a mobile device.

도 4는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 가스 보틀의 정보를 취득하여 전송하는 과정을 나타낸 도면이다.4 is a diagram illustrating a process of acquiring and transmitting information of a gas bottle in a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.

무선 송수신장치(20)를 무선식별 태그(11)에 근접시키면, 무선 송수신장치(20)의 리더모듈(21)은 무선식별 태그(11)에 저장된 가스 정보를 획득하여 무선 송수신장치(20)에 구비된 저장수단에 기록한다.The reader module 21 of the wireless transceiver 20 acquires the gas information stored in the wireless identification tag 11 and transmits the information to the wireless transceiver 20 And records it in the storage means provided.

다음으로, 컨트롤러장치(30)의 무선식별 리더기(31)에 무선 송수신장치(20)를 근접시키면, 무선 송수신장치(20)에 저장된 가스 정보가 무선식별 리더기(31)로 전송된다.Next, when the wireless transceiver 20 is brought close to the wireless identification reader 31 of the controller device 30, the gas information stored in the wireless transceiver 20 is transmitted to the wireless identification reader 31. [

컨트롤러장치(30)는 무선식별 리더기(31)를 통해 수신된 가스 정보와 기 저장된 가스 공급정보를 관리서버(50)로 전송한다.The controller device 30 transmits the gas information received via the radio identification reader 31 and the stored gas supply information to the management server 50. [

여기서 가스 공급정보는 캐비닛 ID, 캐비닛 위치정보, 공급가스정보, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설(leak) 정보 등을 포함하여 구성될 수 있다.
Here, the gas supply information may include a cabinet ID, cabinet position information, supply gas information, weight information of the gas bottle 10, pressure information of the gas bottle, time information, leak information, and the like.

설계조건에 따라서, 컨트롤러장치(30)는 기 저장된 공급가스정보와 수신된 가스 정보를 비교하여 서로 가스 재료가 다른 경우, 경고음을 출력하거나 표시하도록 구성되며, 마찬가지로 수신된 가스 정보 중 사용 만기일자가 시간정보에 근거하여 경과한 경우에도 경고음을 출력하거나 표시하도록 구성될 수 있다.
In accordance with the design conditions, the controller device 30 compares the pre-stored gas supply information with the received gas information, and outputs or displays a warning sound when the gas materials are different from each other. Likewise, And may also be configured to output or display a warning sound even if elapsed based on the information.

이러한 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템에서 전체적인 구성을 통해 설명한다.
The gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention will now be described with reference to the entire structure.

도 5는 본 발명에 따른 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템의 개략적인 구성도이다.
5 is a schematic block diagram of a gas cylinder information providing system for a semiconductor manufacturing process using local communication according to the present invention.

충전된 가스 보틀(10)에는 해당 충전된 가스 재료에 대한 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(11)가 부착된다.The charged gas bottle 10 is provided with a wireless identification tag 11 storing gas information for the charged gaseous material.

무선식별 태그(11)가 부착된 가스 보틀(10)은 캐비닛의 소진된 가스 보틀과 교환되어 캐비닛에 수용 장착된다.The gas bottle 10 to which the wireless identification tag 11 is attached is accommodated in the cabinet in exchange for the exhausted gas bottle of the cabinet.

캐비닛 내부에 기 장착된 다른 가스 보틀을 통해 가스를 공급하고 있으므로, 새로 장착된 가스 보틀(10)은 장착된 상태를 유지하며, 장착된 가스 보틀(10)에 충전된 가스는 공급되지 않는다.Since the gas is supplied through another gas bottle installed in the cabinet, the newly installed gas bottle 10 is kept mounted, and the gas filled in the mounted gas bottle 10 is not supplied.

무선 송수신장치(20)를 무선식별 태그(11)에 근접하면, 무선 송수신장치(20)의 리더모듈(21)은 무선식별 태그(11)에 기록된 가스 정보를 읽어 와서 무선 송수신장치(20)에 저장한다.When the wireless transceiver 20 approaches the wireless identification tag 11, the reader module 21 of the wireless transceiver 20 reads the gas information recorded in the wireless identification tag 11 and transmits it to the wireless transceiver 20, .

이후, 무선 송수신장치(20)를 컨트롤러장치(30)의 무선식별 리더기(31)에 근접시키면, 무선 송수신장치(20)에 기록된 가스 정보는 무선식별 리더기(31)에 전송된다. 무선식별 리더기(31)에 전송된 가스 정보는 자동으로 가스 정보를 삭제하도록 구성되거나 사용자의 조작(예를 들면, 리셋 버튼)에 의해서 삭제되도록 구성될 수 있다.
Then, when the wireless transceiver 20 is brought close to the wireless identification reader 31 of the controller device 30, the gas information recorded in the wireless transceiver 20 is transmitted to the wireless identification reader 31. [ The gas information transmitted to the wireless identification reader 31 may be configured to automatically delete the gas information or be configured to be deleted by a user operation (e.g., a reset button).

컨트롤러장치(30)는 첨부된 도면의 도 5에 도시된 바와 같이, 무선식별 리더기(31), 출력부(32), 제어부(33), 메모리(34), 무게 검출부(35), 압력 검출부(36) 및 통신부(37)를 포함하여 구성된다.
5 of the accompanying drawings, the controller device 30 includes a wireless identification reader 31, an output unit 32, a control unit 33, a memory 34, a weight detection unit 35, a pressure detection unit 36 and a communication unit 37. [

무선식별 리더기(31)는 앞서 설명과 같이, 근접하는 무선 송수신장치(20)로부터 가스 정보를 읽어 들인다.The wireless identification reader 31 reads the gas information from the nearby wireless transceiver 20 as described above.

읽어 들인 가스 정보는 제어부(33)의 제어에 따라 메모리(34)에 저장된 가스 공급정보와 비교하여 출력부(32)에 출력한다.The read gas information is compared with the gas supply information stored in the memory 34 under the control of the control unit 33 and outputted to the output unit 32.

여기서, 출력부(32)는 무선식별 리더기(31)에서 수신된 가스 재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보와 비교하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하는 것으로, 음성을 출력하기 위한 스피커와 이를 시각적으로 표시하기 위한 경광등(또는 디스플레이)으로 구성될 수 있다.Here, the output unit 32 receives the gas information including the gas material code and the use expiration date received from the radio identification reader 31, and compares the received gas information with the stored gas information to determine whether the gas materials are different And outputting a mounting error when the use expiration date has elapsed. The speaker may be constituted by a speaker for outputting voice and a warning light (or display) for visually displaying it.

이에 따라 장착된 가스 보틀(10)과 공급되어야 하는 가스 재료가 상이할 경우 즉각적으로 이를 출력할 수 있으므로, 가스 재료의 공급 오류를 방지할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, when the mounted gas bottle 10 is different from the gas material to be supplied, it is possible to output the gas material immediately, thereby preventing an error in supplying the gas material.

또한, 사용 만기일자가 경과된 가스 보틀(10)의 장착을 방지할 수 있으므로, 반도체 제조 공정에 공급되는 가스의 상태를 최상으로 하여 공급할 수 있는 효과도 발생된다.
Also, since the mounting of the gas bottle 10 which has passed the expiration date of use can be prevented, there is an effect that the state of the gas supplied to the semiconductor manufacturing process can be best supplied.

제어부(33)는 수신된 가스 정보와 저장된 가스 공급정보를 비교 판단하여 가스 재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하도록 제어한다.The control unit 33 compares the received gas information with the stored gas supply information and controls to output the mounting error when the gas materials are different or when the expiration date of the use elapses.

또한, 제어부(33)는 연결되어 공급되는 가스 보틀 내의 가스 잔류 중량 및/또는 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면 이를 관리서버(50)로 전송하도록 제어한다. 이때, 가스 공급의 단속은 전자밸브를 통해 이루어질 수 있다.
In addition, the control unit 33 controls the control unit 33 to transmit it to the management server 50 when the residual gas weight and / or the gas pressure in the supplied gas bottle reaches the lower limit of the residual weight or the lower limit pressure that can safely supply . At this time, the interruption of the gas supply can be made through the solenoid valve.

메모리(34)에는 캐비닛 ID, 캐비닛 위치정보, 공급가스정보, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등을 포함하는 가스공급 정보가 저장된다.The memory 34 stores gas supply information including a cabinet ID, cabinet position information, supply gas information, weight information of the gas bottle 10, pressure information of the gas bottle, time information, and leakage information.

이 가스 공급정보 중에서, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등은 실시간 또는 일정 주기로 검출하여 저장되며, 특히 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보 및 누설정보는 설계조건에 따라서 실시간으로 관리서버(50)에 전송될 수 있다.Among the gas supply information, the weight information of the gas bottle 10, the pressure information of the gas bottle, the time information, the leakage information, and the like are detected and stored in real time or at regular intervals. In particular, weight information of the gas bottle 10, The pressure information and the leakage information can be transmitted to the management server 50 in real time according to the design conditions.

특히 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보는 각각 무게검출센서(로드 셀, road cell)를 이용한 무게 검출부(35) 및 압력센서(pressure sensor)를 이용한 압력 검출부(36)를 통해 검출되며, 누설정보는 도면에 도시하지 않았으나 가스검출센서 등으로 검출할 수 있도록 구성될 수 있다.
Particularly, the weight information of the gas bottle 10 and the pressure information of the gas bottle are respectively supplied to the weight detecting part 35 using a weight detecting sensor (load cell) and the pressure detecting part 36 using a pressure sensor And the leakage information is not shown in the drawing, but can be configured to be detected by a gas detection sensor or the like.

통신부(37)는 제어부(33)의 제어에 따라서 통신을 통해 가스 정보 및 가스 공급정보를 관리서버(50)에 전송한다.
The communication unit 37 transmits the gas information and the gas supply information to the management server 50 through communication under the control of the control unit 33. [

관리서버(50)는 각 캐비닛에서 전송된 정보를 취합하여 출력하는 것으로, 교체 주기에 따른 가스 사용량을 집계하여 교환 시점을 미리 판단할 수 있으며, 가스 교환에 따른 예산을 미리 가늠할 수 있다.
The management server 50 collects the information transmitted from each cabinet and outputs the collected information. Thus, the management server 50 can calculate the amount of gas consumption according to the replacement cycle to determine the point of time before the exchange, and can estimate the budget for the gas exchange in advance.

이와 같이, 가스 보틀(10)에 부착된 무선식별 태그(11)를 읽어오는 과정 및 읽어 들인 정보를 컨트롤러장치에 입력하는 과정에서 단순히 무선 송수신장치(20)의 동작에 의해서만 정보를 송수신할 수 있으므로 스파크의 발생을 억제하여 폭발의 위험성을 최소화할 수 있는 효과가 있다.As described above, in the process of reading the RFID tag 11 attached to the gas bottle 10 and the process of inputting the read information to the controller device, information can be transmitted and received only by the operation of the wireless transceiver 20 There is an effect that the risk of explosion can be minimized by suppressing the occurrence of sparks.

또한, 교체된 가스 보틀의 정보를 용이하게 컨트롤러장치에 전송할 수 있으므로, 교환에 따른 시간이 단축되는 효과도 있다.
In addition, since the information on the replaced gas bottle can be easily transferred to the controller device, the time required for the replacement can be shortened.

한편, 상기에서 도 2 내지 도 5를 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명이 도 2 내지 도 5의 구성에 한정되는 것이 아님은 자명하다.
2 to 5 are merely the main points of the present invention, and various designs can be made within the technical scope of the present invention, so that the present invention is limited to the configurations of Figs. 2 to 5 It is self-evident.

10: 가스 보틀 11: 무선식별 태그
20: 무선 송수신장치 21: 리더모듈
23: 라이터모듈 30: 컨트롤러장치
31: 무선식별 리더기 32: 출력부
33: 제어부 34: 메모리
35: 무게 검출부 36: 압력 검출부
37: 통신부 40: 보틀 수용부
50: 관리서버10: gas bottle 11: wireless identification tag
20: wireless transceiver 21: reader module
23: Writer module 30: Controller device
31: wireless identification reader 32: output unit
33: control unit 34: memory
35: weight detection unit 36: pressure detection unit
37: communication unit 40: bottle accommodating unit
50: management server

Claims (5)

캐비닛(cabinet)에 장착되는 반도체 제조 공정용 가스 보틀(bottle)의 정보를 제공할 수 있는 시스템으로서,
상기 가스 보틀에 부착되며 가스 정보가 저장된 무선식별 태그(Tag)와;
상기 무선식별 태그에 저장된 가스 정보를 수신하는 리더모듈과 상기 리더모듈에서 수신된 가스 정보를 송신하는 라이터모듈을 포함하는 무선 송수신장치; 및
근접에 따라 상기 무선 송수신장치에 저장된 가스 정보를 수신하는 무선식별 리더기가 설치되고 수신된 가스 정보를 표시하며 관리서버로 전송하는 컨트롤러장치; 를 포함하고,
상기 가스 정보는 가스 재료 코드 및 사용 만기일자를 포함하고,
상기 무선식별 태그는 NFC(Near Field Communication) 태그로 이루어지고,
상기 무선 송수신장치는 모바일기기로 구성되며, 상기 리더모듈 및 라이터모듈은 상기 모바일기기에 설치 가능한 애플리케이션으로 제작되어 모바일기기에 설치하고,
상기 컨트롤러장치는 상기 무선식별 리더기에서 수신된 가스 재료 코드를 포함하는 가스 정보를 수신하고, 수신된 가스 정보와 저장된 가스 정보를 비교하여 가스 재료 코드가 서로 다른 경우에 스피커 및 경광등으로 구성되는 출력부를 통해 장착 오류를 표시하도록 구성하며,
상기 컨트롤러장치는 상기 가스 보틀의 무게를 검출하는 무게 검출부와, 상기 가스 보틀의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 상기 가스 보틀이 수용되는 캐비닛 ID, 가스 보틀의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보, 가스검출센서로 검출되는 가스 누설정보를 포함하는 가스 공급정보가 저장되는 메모리와, 통신을 통해 가스 정보 및 가스 공급정보를 관리서버에 전송하는 통신부와, 상기 메모리에 저장되는 가스 보틀의 무게정보, 가스 보틀의 압력정보 및 가스 누설정보를 실시간으로 관리서버에 전송하도록 제어하고 상기 가스 보틀 내의 가스 잔류 중량 또는 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면 이를 관리서버로 전송하도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 근거리 통신을 이용한 반도체 제조 공정용 가스 실린더 정보 제공 시스템.As a system capable of providing information on a gas bottle for a semiconductor manufacturing process mounted on a cabinet,
A wireless identification tag (Tag) attached to the gas bottle and storing gas information;
A wireless transceiver comprising a reader module for receiving the gas information stored in the radio identification tag and a writer module for transmitting the gas information received in the reader module; And
A controller device installed with a wireless identification reader for receiving the gas information stored in the wireless transceiver according to proximity and displaying the received gas information and transmitting the information to a management server; Lt; / RTI >
Wherein the gas information comprises a gaseous material code and a use expiration date,
Wherein the radio identification tag is composed of an NFC (Near Field Communication) tag,
Wherein the wireless transceiver is configured as a mobile device, and the reader module and the lighter module are installed in the mobile device as an application that can be installed in the mobile device,
The controller device receives the gas information containing the gaseous material code received at the radio identification reader and compares the received gaseous information with the stored gaseous information to obtain an output part consisting of a speaker and a warning light when the gaseous material code is different To indicate a mounting error,
The controller device includes a weight detecting section for detecting the weight of the gas bottle, a pressure detecting section for detecting the pressure of the gas bottle, a cabinet ID for storing the gas bottle, weight information of the gas bottle, pressure information of the gas bottle, A memory for storing gas supply information including gas leakage information detected by a detection sensor; a communication unit for transmitting gas information and gas supply information to the management server through communication; The control unit controls to transmit the pressure information of the bottle and the gas leakage information to the management server in real time and when the gas remaining weight in the gas bottle or the pressure of the gas reaches the lower limit of the residual weight or the lower limit pressure which can safely supply, And a controller for controlling the semiconductor integrated circuit Cylinder information providing system. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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