KR20040035387A - Apparatus for monitoring gas pressure in semiconductor cabinet - Google Patents

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KR20040035387A KR1020020064517A KR20020064517A KR20040035387A KR 20040035387 A KR20040035387 A KR 20040035387A KR 1020020064517 A KR1020020064517 A KR 1020020064517A KR 20020064517 A KR20020064517 A KR 20020064517A KR 20040035387 A KR20040035387 A KR 20040035387A
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Abstract

PURPOSE: An apparatus for monitoring gas pressure of a semiconductor cabinet is provided to reduce a wafer rejection ratio due to gas shortage by comparing a measured gas pressure value to a preset gas pressure value and generating an alarm signal to a compared result. CONSTITUTION: An apparatus for monitoring gas pressure of a semiconductor cabinet includes a plurality of pressure sensors(10,10-1), a plurality of microcomputers(21,21-1), a plurality of speakers(26,26-1), a plurality of LED blocks(24,24-1), and a plurality of reset switches(22,22-1). The pressure sensors(10,10-1) are used for sensing the pressure of gas on a line. The microcomputers(21,21-1) generate speaker driving signals and LED driving signals by comparing the sensed pressure value of the pressure sensors to a preset pressure value. The speakers(26,26-1) generate alarm signals according to the speaker driving signals. The LED blocks(24,24-1) turn on or turn off LEDs according to the LED driving signals. The reset switches(22,22-1) reset operations of the apparatus when the microcomputers generate the speaker driving signals and the LED driving signals.

Description

반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치{APPARATUS FOR MONITORING GAS PRESSURE IN SEMICONDUCTOR CABINET}Device for monitoring gas pressure in semiconductor cabinets {APPARATUS FOR MONITORING GAS PRESSURE IN SEMICONDUCTOR CABINET}

본 발명은 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 가스 라인에서 흐르는 가스의 압력이 기 세팅된 압력의 기준치 이하일 경우, 압력이상 발생 여부를 작업자 및 장비 기술 엔지니어에게 알려주어 웨이퍼의 심각한 데미지 현상을 미연에 방지할 수 있도록 하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas pressure monitoring apparatus of a semiconductor cabinet. In particular, when a pressure of a gas flowing in a gas line is less than a preset value of a preset pressure, a serious damage phenomenon of a wafer is indicated to an operator and a technical engineer of whether a pressure abnormality occurs The present invention relates to a device that can prevent the occurrence of fire.

통상적으로, 반도체의 식각(etch) 공정에서 플라즈마(plasma)를 형성하기 위해 다수의 소스(source) 중 하나인 가스(gas)를 사용한다.In general, a gas, which is one of a plurality of sources, is used to form a plasma in an etching process of a semiconductor.

이러한, 가스들은 웨이퍼 공정을 진행하는 프로세스 챔버(process chamber)에서 플라즈마에 의하여 이온들로 분해되며, 분해된 이온들은 웨이퍼의 표면과 반응 및 충돌함으로써 원하는 계층(layer)를 식각하는 공정을 진행하게 된다.These gases are decomposed into ions by plasma in a process chamber in which a wafer is processed, and the decomposed ions react with and collide with the surface of the wafer to etch a desired layer. .

즉, 가스들은 각각의 가스 보틀(gas bottle)에 저장되어 보관 및 사용되는 스페셜 가스(special gas)와, 보관 탱크에서 중앙 공급 방식으로 해당 장비에 공급하는 벌크 가스(bulk gas)로 구분된다.That is, the gas is divided into a special gas that is stored and stored and used in each gas bottle, and a bulk gas supplied to the equipment by a central supply method from a storage tank.

상술한 바와 같은 방식으로 해당 장비에 공급되는 가스들은 각각의 장비에 설치된 각종 밸브(valve) 및 압력 조절기(regulator)와, 불순물 제거기(filter)를 거친 후, 진행하고자 하는 프로세스 챔버에 최종적으로 도달하게 된다.Gases supplied to the equipment in the manner as described above are passed through various valves and pressure regulators and impurity filters installed in each equipment to finally reach the process chamber to proceed. do.

여기서, 각종 밸브(valve) 및 압력 조절기(regulator)와, 불순물 제거기(filter)를 한 곳에 밀집시켜 놓은 부분을 Jungle box 또는 가스 패널(gas panel) 이라 불리며, 최종적으로 원하는 가스 양을 조절하여 프로세스 챔버에 공급되어지는 것이다.Here, a valve, a pressure regulator, and a part in which an impurity filter is concentrated are called a jungle box or a gas panel. Finally, a process chamber is controlled by controlling a desired amount of gas. To be supplied.

이와 같이, Jungle box 또는 가스 패널(gas panel)은 도 1에 도시된 것으로, 이 Jungle box 또는 가스 패널(gas panel) 시스템내의 가스 캐비넷에서 공급되는 가스가 소진되어 공급되지 않을 경우, 이 상황을 검출 할 수 있는 방법이 전혀 없었다.As described above, the jungle box or gas panel is shown in FIG. 1, and when the gas supplied from the gas cabinet in the jungle box or gas panel system is exhausted and not supplied, this situation is detected. There was no way to do it.

즉, 가스가 소진되어 제대로 흐르지 않을 경우, 이온화된 가스 이온의 수 감소 및 플라즈마의 밀도가 감소하여 원하는 계층(layer)의 식각(etch)은 사실상 불가능하게 되며, 이때 진행되는 웨이퍼는 심각한 데미지(damage)로 인하여 리젝(reject) 현상 또는 질드 드롭(yield drop) 현상이 발생되는 문제점이 있다.In other words, if the gas is exhausted and does not flow properly, the number of ionized gas ions and the density of the plasma are reduced, making it impossible to etch the desired layer, and the damaging wafer is severely damaged. There is a problem that a reject phenomenon or a yield drop phenomenon occurs due to).

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 가스 라인에서 흐르는 가스의 압력이 기 세팅된 압력의 기준치 이하일 경우, 압력 이상 발생 여부를 작업자 및 장비 기술 엔지니어에게 알려주어 웨이퍼의 심각한 데미지 현상을 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, the purpose of which is to inform the operator and the equipment technical engineer whether the pressure abnormality occurs when the pressure of the gas flowing in the gas line is less than the reference value of the preset pressure wafer The present invention provides a gas pressure monitoring device for a semiconductor cabinet that can prevent serious damages of the semiconductor cabinet.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에서 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치는 가스 라인의 압력을 감지하여 제공하는 압력 센서; 압력 센서로부터 제공된 압력과 기 세팅된 압력간을 비교하여 기준치 이하일 경우, 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호를 제공하는 마이컴; 마이컴으로부터 제공되는 스피커 구동 신호에 따라 가스 라인의 압력 이상 여부를 알람 신호로서 발생하는 스피커; 마이컴으로부터 제공되는 LED 구동 신호에 따라 가스 라인의 압력 이상 여부를 LED로서 점등하는 다수의 LED 블록; 마이컴에서 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호가 발생될 경우, 가스 압력 모니터링 장치의 동작을 리셋(reset)하도록 스위칭 제어하는 리셋 스위치(reset s/w)를 포함하는 것을 특징으로 한다.Gas pressure monitoring device of the semiconductor cabinet in the present invention for achieving the above object is a pressure sensor for sensing and providing a pressure of the gas line; A microcomputer providing a speaker driving signal and an LED driving signal when the pressure is less than a reference value by comparing the pressure provided from the pressure sensor with a preset pressure; A speaker for generating an alarm signal whether or not the pressure of the gas line is abnormal according to the speaker driving signal provided from the microcomputer; A plurality of LED blocks for lighting as an LED whether or not the pressure of the gas line is abnormal according to the LED driving signal provided from the microcomputer; When the speaker driving signal and the LED driving signal is generated in the microcomputer, it characterized in that it comprises a reset switch (reset s / w) for switching control to reset the operation of the gas pressure monitoring device.

도 1은 기존 반도체 CenturaⅡ 시스템에 설치되어져 있는 정글 박스(jungle box)에 대하여 도시한 도면이며,1 is a view showing a jungle box installed in a conventional semiconductor Centura II system (jungle box),

도 2는 본 발명에 따른 정글 박스 내 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치에 대하여 도시한 도면이다.2 is a view illustrating a gas pressure monitoring apparatus of a cabinet in a jungle box according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10, 10-1 : 각각의 압력 센서 20, 20-1 : 각각의 압력 상태 모니터링 패널10, 10-1: each pressure sensor 20, 20-1: each pressure state monitoring panel

21, 21-1 : 각각의 마이컴 22, 22-1 : 각각의 리셋 스위치21, 21-1: each microcomputer 22, 22-1: each reset switch

24, 24-1 : 다수의 LED 블록 26, 26-1 : 각각의 스피커24, 24-1: multiple LED blocks 26, 26-1: each speaker

S1, S1-1 : 각각의 가스 라인S1, S1-1: each gas line

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 정글 박스 내 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치에 대하여 도시한 도면으로서, 각각의 압력 센서(10, 10-1) 및 각각의 압력 상태 모니터링 패널(pressure status monitoring panel)(20, 20-1)을 포함한다.FIG. 2 is a diagram illustrating a gas pressure monitoring apparatus of a cabinet in a jungle box according to the present invention, each pressure sensor 10, 10-1 and each pressure status monitoring panel 20, 20-1).

각각의 압력 센서(10, 10-1)는 각각의 가스 라인(S1, S1-1)의 압력을 감지하여 압력 상태 모니터링 패널(20, 20-1) 각각에 제공한다. 여기서, 각각의 압력 센서(10, 10-1)는 내부적으로 압력의 기준치를 본 발명의 다른 실시예로서, 추가적으로 기 세팅하여 지정할 수 있으며, 이 기 세팅된 압력의 기준치와 감지된 압력간을 비교하여 기준치 이하일 경우, 스피커 구동 신호와 발광다이오드(luminescent diode : LED) 구동 신호를 각각의 압력 상태 모니터링 패널(20, 20-1)에 제공할 수도 있다.Each pressure sensor 10, 10-1 senses the pressure of each gas line S 1, S 1-1 and provides it to each of the pressure state monitoring panels 20, 20-1. Here, each of the pressure sensors 10 and 10-1 may internally set a reference value of the pressure as another embodiment of the present invention, and may additionally set the reference value, and compare the reference value of the preset pressure with the detected pressure. When the reference value is less than the reference value, a speaker driving signal and a light emitting diode (LED) driving signal may be provided to each of the pressure state monitoring panels 20 and 20-1.

각각의 압력 상태 모니터링 패널(20, 20-1)은 작업자와 장비 기술 엔지니어에게 청각 및 시각적으로 알려주기 위해 서비스 룸(service room)과 크린 룸(clean room)에 각각 설치하여 곧바로 조치할 수 있도록 하는 것으로, 내부적으로 각각의 마이컴(21, 21-1)과 각각의 리셋 스위치(22, 22-1)와, 다수의 LED 블록(24, 24-1)과, 각각의 스피커(26, 26-1)를 구비한다.Each pressure condition monitoring panel 20, 20-1 is installed in a service room and a clean room for immediate action by the operator and equipment technical engineers for audible and visual cues. Internally, each microcomputer 21, 21-1, each reset switch 22, 22-1, a plurality of LED blocks 24, 24-1, and each speaker 26, 26-1. ).

각각의 마이컴(21, 21-1)은 각각의 압력 센서(10, 10-1)로부터 제공된 압력과 기 세팅된 압력간을 비교하여 기준치 이하, 즉 가스의 흐름이 원할하지 않을 경우, 스피커 구동 신호를 각각의 스피커(26, 26-1)에 제공하고, LED 구동 신호를 다수의 LED 블록(24, 24-1)에 제공한다.Each microcomputer 21, 21-1 compares the pressure provided from each of the pressure sensors 10, 10-1 with a preset pressure, and the speaker drive signal when the gas flow is less than the reference value, that is, the gas flow is not desired. Is provided to each of the speakers 26 and 26-1, and an LED drive signal is provided to the plurality of LED blocks 24 and 24-1.

각각의 리셋 스위치(22, 22-1)는 각각의 마이컴(21, 21-1)에서 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호가 발생될 경우, 가스 압력 모니터링 장치의 동작을 리셋(reset)하도록 스위칭 제어한다.Each of the reset switches 22 and 22-1 controls switching to reset the operation of the gas pressure monitoring device when the speaker driving signal and the LED driving signal are generated in each of the microcomputers 21 and 21-1. .

다수의 LED 블록(24, 24-1)은 내부적으로 CL2, BCL3, HBR, O2, N2, CO의 LED를 각각 구비하는 것으로, 각각의 마이컴(21, 21-1)으로부터 제공되는 LED 구동 신호에 따라 각각의 가스 라인(S1, S1-1)의 압력 이상 여부를 LED로서 점등한다.The plurality of LED blocks 24 and 24-1 are internally provided with LEDs of CL2, BCL3, HBR, O2, N2, and CO, respectively, and are adapted to the LED drive signals provided from the respective microcomputers 21 and 21-1. Therefore, whether or not the pressure of each gas line S1, S1-1 is abnormal is lighted as LED.

각각의 스피커(26, 26-1)는 각각의 마이컴(21, 21-1)으로부터 제공되는 스피커 구동 신호에 따라 각각의 가스 라인(S1, S1-1)의 압력 이상 여부를 알람 신호로서 발생한다.Each speaker 26, 26-1 generates as an alarm signal whether or not the pressure of each gas line S1, S1-1 is abnormal according to the speaker drive signal provided from each microcomputer 21, 21-1. .

한편, 도 2를 참조하면, 도 2의 정글 박스 내 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치에서 가스가 흐르고 있는 경우, 즉 웨이퍼(wafer)가 공정을 진행하고 있는 경우에 인터락 신호(inter lock signal)에 의해 인터락 기능을 발생할 수 있는데, 이러한 인터락 신호를 상술한 장치에 연결한다.Meanwhile, referring to FIG. 2, when gas is flowing in the gas pressure monitoring apparatus of the cabinet in the jungle box of FIG. 2, that is, when a wafer is in the process, an interlock signal is used. An interlock function can be generated, which connects this interlock signal to the device described above.

그러면, 각각의 압력 센서(10, 10-1)에 의해 감지된 압력이 기준치 이하일 경우, 즉, 가스의 흐름이 원할하지 않을 경우이므로 상술한 장치를 자체적으로 에러(error)로 판단하여 홀드(hold)시킬 수도 있다.Then, when the pressure sensed by each of the pressure sensors 10, 10-1 is below the reference value, that is, when the flow of gas is not desired, the device described above is held as an error by itself and is held. You can also

그러므로, 본 발명은 가스 라인에서 흐르는 가스의 압력이 기 세팅된 압력의기준치 이하일 경우, 압력 이상 발생 여부를 작업자 및 장비 기술 엔지니어에게 알려줌으로써, 공정 진행 중 가스 결핍(gas shortage)으로 인한 웨이퍼의 리젝 발생 비율을 감소시키며, 또한 이러한 현상을 미연에 방지하여 웨이퍼의 질드 드롭(yield drop) 현상을 향상시킬 수 있으며, 특히, 실시간 모니터링으로 인하여 시스템(system) 다운 시간 및 에러 발생을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, in the present invention, when the pressure of the gas flowing in the gas line is less than the preset value of the preset pressure, the operator and the equipment technical engineer will be informed whether or not the pressure abnormality occurs, thereby rejecting the wafer due to gas shortage during the process It can reduce the occurrence rate and also prevent this phenomenon, thereby improving the wafer's yield drop, and in particular, the real-time monitoring can reduce the system down time and error occurrence. There is.

Claims (5)

반도체의 가스 압력 모니터링 장치에 있어서,In the gas pressure monitoring device of a semiconductor, 상기 가스 라인의 압력을 감지하여 제공하는 압력 센서;A pressure sensor for sensing and providing a pressure of the gas line; 상기 압력 센서로부터 제공된 압력과 기 세팅된 압력간을 비교하여 기준치 이하일 경우, 스피커 구동 신호와 발광다이오드(luminescent diode : LED) 구동 신호를 제공하는 마이컴;A microcomputer providing a speaker driving signal and a light emitting diode (LED) driving signal when the pressure is less than a reference value by comparing the pressure provided from the pressure sensor with a preset pressure; 상기 마이컴으로부터 제공되는 스피커 구동 신호에 따라 상기 가스 라인의 압력 이상 여부를 알람 신호로서 발생하는 스피커;A speaker for generating an alarm signal whether or not the pressure of the gas line is abnormal according to a speaker driving signal provided from the microcomputer; 상기 마이컴으로부터 제공되는 LED 구동 신호에 따라 상기 가스 라인의 압력 이상 여부를 LED로서 점등하는 다수의 LED 블록;A plurality of LED blocks for lighting the gas line as an LED according to an LED driving signal provided from the microcomputer; 상기 마이컴에서 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호가 발생될 경우, 상기 가스 압력 모니터링 장치의 동작을 리셋(reset)하도록 스위칭 제어하는 리셋 스위치(reset s/w)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치.And a reset switch (reset s / w) for controlling switching to reset the operation of the gas pressure monitoring device when the speaker driving signal and the LED driving signal are generated in the microcomputer. Pressure monitoring device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마이컴의 제어에 따라 동작하는 다수의 LED 블록 및 스피커는 작업자와 장비 기술 엔지니어에게 청각 및 시각적으로 알려주기 위해 서비스 룸(service room)과 크린 룸(clean room)에 각각 설치하여 곧바로 조치할 수 있도록 하는 것을특징으로 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치.A plurality of LED blocks and speakers operated under the control of the microcomputer are installed in a service room and a clean room, respectively, so that workers and equipment technical engineers can be audited and visually informed. The gas pressure monitoring device of the semiconductor cabinet characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가스 압력 모니터링 장치를 인터 락 신호(inter lock signal)에 연결하여 상기 감지된 압력이 기준치 이하일 경우, 상기 장치를 자체적으로 에러(error)로 판단하여 홀드(hold)시키는 것을 특징으로 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치.Connecting the gas pressure monitoring device to an inter lock signal to determine and hold the device as an error when the detected pressure is lower than a reference value. Gas pressure monitoring device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기 세팅된 압력의 기준치를 상기 압력 센서에 추가적으로 지정할 수 있으며, 상기 압력 센서를 이용하여 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호를 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치.And a reference value of the preset pressure may be additionally assigned to the pressure sensor, wherein the pressure sensor provides a speaker driving signal and an LED driving signal. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 압력 센서로부터 제공되는 스피커 구동 신호와 LED 구동 신호에 따라 상기 스피커 및 다수의 LED 블록을 구동하는 것을 특징으로 하는 반도체 캐비넷의 가스 압력 모니터링 장치.The gas pressure monitoring device of the semiconductor cabinet, characterized in that for driving the speaker and the plurality of LED blocks in accordance with the speaker drive signal and the LED drive signal provided from the pressure sensor.
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