KR101121597B1 - System for breaking reverse-current - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 설치되어 진공 펌프의 전원 이상 신호 또는 상기 챔버측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 신속하게 기체의 역류 및 상기 진공 챔버 내로 유입되는 유체를 차단할 수 있는 역류 방지 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 역류 방지 시스템은, 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 상기 진공 펌프 측의 대기가 상기 진공 챔버 측으로 역류하는 것을 방지하는 역류 방지 시스템에 있어서, 상기 진공 챔버와 상기 진공 펌프 사이의 배관 및 상기 진공 챔버와 유체 공급 라인 상에 설치되어 상기 배관을 차단하는 차단 밸브; 상기 진공 펌프 전원의 이상 신호 또는 상기 챔버측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 상기 차단 밸브를 제어하는 밸브 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 한다. The present invention is installed between the vacuum chamber and the vacuum pump to quickly the gas by using the faster of the power supply abnormal signal of the vacuum pump, the pressure difference generation signal between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure or the alarm signal of the vacuum pump itself. A backflow prevention system capable of blocking a backflow of a fluid and a fluid flowing into the vacuum chamber, the backflow prevention system according to the present invention is located between a vacuum chamber and a vacuum pump so that the atmosphere on the vacuum pump side is directed to the vacuum chamber side. A backflow prevention system for preventing backflow, comprising: a shutoff valve installed on a pipe between the vacuum chamber and the vacuum pump and on the vacuum chamber and a fluid supply line to block the pipe; And a valve control unit controlling the shutoff valve using a faster signal among an abnormal signal of the vacuum pump power supply, a pressure difference generation signal between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure, or an alarm signal of the vacuum pump itself. It is done.

Description

역류 방지 시스템{SYSTEM FOR BREAKING REVERSE-CURRENT}Backflow Prevention System {SYSTEM FOR BREAKING REVERSE-CURRENT}

본 발명은 역류 방지 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 설치되어 진공 펌프의 전원 이상 신호 또는 상기 챔버측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 신속하게 기체의 역류 및 상기 진공 챔버 내로 유입되는 유체를 차단할 수 있는 역류 방지 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a backflow prevention system, and more particularly, is installed between a vacuum chamber and a vacuum pump to provide a power supply abnormal signal of a vacuum pump or a pressure difference generation signal between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure or the vacuum pump itself. It is directed to a backflow prevention system capable of quickly shutting off backflow of gas and fluid entering the vacuum chamber using the faster of the alarm signals.

반도체나 디스플레이 패널 등의 제조시에는 식각, 증착 또는 배기 등의 공정을 진행하며, 상기 공정의 진행에 거의 진공 챔버를 비롯한 많은 장치를 이용한다. 이러한 진공 챔버에는 챔버 내부의 상태를 진공 상태로 만들기 위하여 진공 펌프를 사용하게 된다. In the manufacture of semiconductors, display panels and the like, processes such as etching, vapor deposition, and exhaust are performed, and many apparatuses, including a vacuum chamber, are used for the progress of the process. In such a vacuum chamber, a vacuum pump is used to bring the state inside the chamber into a vacuum state.

예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(1)에 러핑 펌핑 라인과 터보 펌핑라인이 각각 구비될 수 있다. 즉, 진공 챔버(1) 내의 진공 상태의 압력은, 러핑 펌핑 라인과 터보 펌핑 라인을 통해 순차적으로 형성될 수 있는 것이다. 그리고 러핑 펌핑 라인은 러핑 밸브(20)에 의해서 배기가 단속되며, 터보 펌핑 라인은 게이트 밸브(52)에 의해서 배기가 단속된다. 러핑 펌핑 라인과 터보 펌핑 라인은 다시 설비의 메인 배기 통로인 드라이 펌핑 라인(30)에 연결되고, 특히 터보 펌핑 라인의 게이트 밸브(52) 후방으로는 터보 펌프(40)가 구비되며, 터보 펌프(40)와 드라인 펌핑 라인(30)은 아이솔레이션 밸브(54)에 의해서 단속된다. For example, as shown in FIG. 1, a rough pumping line and a turbo pumping line may be provided in the vacuum chamber 1, respectively. That is, the vacuum pressure in the vacuum chamber 1 may be sequentially formed through the rough pumping line and the turbo pumping line. In addition, exhaust is interrupted by the roughing valve 20 in the rough pumping line, and exhaust is interrupted by the gate valve 52 in the turbo pumping line. The rough pumping line and the turbo pumping line are again connected to the dry pumping line 30 which is the main exhaust passage of the facility, and in particular, the turbo pump 40 is provided behind the gate valve 52 of the turbo pumping line, and the turbo pump ( 40 and the draft pumping line 30 are interrupted by an isolation valve 54.

이러한 설비에 의하여 감압 작업이 이루어지는 과정을 간단하게 설명하면 다음과 같다. 먼저 러핑 밸브(20)를 오픈시키게 되면, 러핑 펌핑 라인을 통해 드라이 펌핑 라인(30)으로 배기가 이루어지는 동시에 진공 챔버(1)를 일정한 압력 수준까지 신속하게 형성시킨다. 러핑 밸브를 통한 압력 형성은 단지 터보 펌프(40)에 의한 공정 압력 형성을 위한 준비 과정에 불과하며, 러핑 밸브(20)의 개방에 의해 진공 챔버(1)를 일정 압력으로 형성시키게 되면 러핑 밸브(20)는 차단시키고, 동시에 게이트 밸브(52)를 오픈시켜 터보 펌프(40)의 구동에 의해서 진공 챔버(1)를 공정 압력 상태가 되도록 한다. When the pressure reduction operation is performed by such a facility briefly described as follows. First, when the roughing valve 20 is opened, the evacuation is performed to the dry pumping line 30 through the roughing pumping line, and the vacuum chamber 1 is rapidly formed to a constant pressure level. Pressure formation through the roughing valve is only a preparation process for forming the process pressure by the turbo pump 40. When the vacuum chamber 1 is formed at a constant pressure by opening the roughing valve 20, the roughing valve ( 20 is shut off, and at the same time, the gate valve 52 is opened to bring the vacuum chamber 1 into the process pressure state by driving the turbo pump 40.

한편 이러한 진공 챔버(1) 내에서는 플라즈마 등을 이용하여 여러가지 공정을 수행하므로, 공정을 통해서 많은 반응 부산물들이 생성되며, 이들 반응 부산물들은 사용되는 가스나 포토레지스트 등과의 반응을 통하여 고분자물질(polymer)를 생성하게 된다. 이렇게 생성된 반응부산물들은 웨이퍼나 기판 표면 또는 진공 챔버의 내벽, 펌핑라인 등에 부착되므로 공정 파라미터의 변동 및 파티클 발생을 초래하게 되고, 공정 수행 중에는 웨이퍼 또는 기판의 디펙트 요인으로 작용하여 수율 저하를 초래한다. Meanwhile, in the vacuum chamber 1, various processes are performed by using a plasma or the like, and many reaction by-products are generated through the process, and these reaction by-products are polymers through reaction with a gas or photoresist used. Will generate The reaction by-products are attached to the surface of the wafer or substrate, the inner wall of the vacuum chamber, the pumping line, etc., resulting in fluctuations in the process parameters and generation of particles. do.

그런데 공정 진행 중에 진공 펌프의 고장, 정전 또는 급작스런 오작동 등에 의한 펌프 다운 및 펌프 성능저하 등의 이유로 진공 펌프가 작동하지 않는 경우에는 펌핑 라인 중의 수증기 기타 오염물질 및 반응 부산물들이 진공 챔버 내로 역류하여 제조 중인 제품이 오염되는 심각한 현상이 발생한다. However, if the vacuum pump does not work due to a failure of the vacuum pump, power failure or sudden malfunction of the pump during the process, and the pump performance does not work, water vapor and other contaminants and reaction byproducts in the pumping line flow back into the vacuum chamber. Severe phenomena of contamination of the product occur.

또한 상기 진공 챔버에는 공정 진행 과정에서는 항상 공정 가스 등이 공급되는데, 펌핑 라인의 역류를 완벽하게 차단하더라도 공정 가스 등의 유입을 차단하지 않으면 챔버 내부에 공정 중인 기판에 부정적인 현상을 초래한다. In addition, the vacuum chamber is always supplied with a process gas during the process, even if the back flow of the pumping line is completely blocked, if the inflow of the process gas, etc. is not blocked, a negative phenomenon occurs on the substrate being processed inside the chamber.

따라서 이러한 역류 현상 및 공정 가스의 유입 현상을 방지하기 위하여 진공 펌프와 진공 챔버 사이에 역류 차단 밸브 및 공정 가스 차단 밸브가 설치되는 기술이 개시되고 있다. 그러나 이러한 종래의 역류 차단 밸브는 진공 챔버의 이상 상태를 감지하는 감시 시스템에 의하여 작동되므로, 신속하게 작동하지 못하여 일부 오염물질이 역류한 후에 진공 펌프와 진공 챔버 사이를 차단하는 문제점이 있다. 즉, 진공 펌프에 이상이 발생한 시점과 역류 차단 밸브가 작동되는 시점 사이에 시간 간격이 발생하여, 일부 오염물질이 진공 챔버로 이미 역류한 상태에서 차단 밸브가 작동되는 문제점이 있는 것이다. Therefore, in order to prevent such a backflow phenomenon and the inflow of the process gas, a technique is disclosed in which a backflow shutoff valve and a process gas shutoff valve are installed between the vacuum pump and the vacuum chamber. However, such a conventional backflow shutoff valve is operated by a monitoring system that detects an abnormal state of the vacuum chamber, and thus, there is a problem in that it is not able to operate quickly and blocks the contaminants between the vacuum pump and the vacuum chamber after the backflow. That is, there is a problem in that a time interval occurs between a time point at which an abnormality occurs in the vacuum pump and a time point at which the backflow shutoff valve is operated, so that the shutoff valve is operated while some pollutants have already flowed back into the vacuum chamber.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 진공 펌프 전원의 이상 신호 또는 진공 챔버 측 압력과 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 차단 밸브를 구동하는 역류 방지 시스템을 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to prevent the backflow to drive the shut-off valve by using the faster of the abnormal signal of the vacuum pump power source or the pressure difference generation signal between the vacuum chamber side pressure and the vacuum pump side pressure or the alarm signal of the vacuum pump itself To provide a system.

전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 역류 방지 시스템은, 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 상기 진공 펌프 측의 대기가 상기 진공 챔버 측으로 역류하는 것을 방지하는 역류 방지 시스템에 있어서, 상기 진공 챔버와 상기 진공 펌프 사이의 배관 및 상기 진공 챔버와 유체 공급 라인 상에 설치되어 상기 배관을 차단하는 차단 밸브; 상기 진공 펌프 전원의 이상 신호 또는 상기 챔버측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 상기 차단 밸브를 제어하는 밸브 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
In the backflow prevention system according to the present invention for achieving the above object is located between the vacuum chamber and the vacuum pump, in the backflow prevention system for preventing the atmosphere of the vacuum pump side to flow back to the vacuum chamber side, the vacuum chamber And a shutoff valve installed on the pipe between the vacuum pump and the vacuum chamber and the fluid supply line to block the pipe. And a valve control unit controlling the shutoff valve using a faster signal among an abnormal signal of the vacuum pump power supply, a pressure difference generation signal between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure, or an alarm signal of the vacuum pump itself. It is done.

본 발명에서 상기 밸브 제어부는, 상기 진공 펌프 전원의 단상에 직접 연결되어, 상기 전원의 단상에 이상이 발생하는 경우 상기 차단 밸브를 구동시켜 상기 배관을 차단하는 것이, 진공 펌프의 이상 발생시 가장 빠르게 차단 밸브를 작동시킬 수 있어서 바람직하다.
In the present invention, the valve control unit is directly connected to the single phase of the vacuum pump power supply, and when the abnormality occurs in the single phase of the power supply to shut off the pipe by driving the shut-off valve, the fastest blocking when the abnormality of the vacuum pump occurs It is desirable to be able to operate the valve.

그리고 상기 차단 밸브는, 상기 진공 챔버와 상기 차단 밸브 사이에 배치되는 전방 라인 밸브(Foreline Valve)로 부터 15m 이내의 최단 거리에 설치되는 것이, 진공 펌프가 멈추는 경우에 파티클이 챔버 내부로 상승하여 공정 중인 기판을 오염시키지 않을 수 있어서 바람직하다.
The shutoff valve may be installed at a shortest distance within 15 m from a foreline valve disposed between the vacuum chamber and the shutoff valve. It is preferred because it may not contaminate the substrate under construction.

또한 상기 밸브 제어부는, 상기 진공 챔버에 연결되어 상기 진공 챔버 내에 유체를 공급하는 유체 공급 라인에 배치되는 유체 단속 밸브도 상기 역류 차단 밸브와 함께 제어하는 것이, 상기 진공 펌프의 역류에 의한 오염 이외에 다른 유체 공급 라인에 의한 오염도 신속하게 차단할 수 있어서 바람직하다.
In addition, the valve control unit is connected to the vacuum chamber to control the fluid intermittent valve disposed in the fluid supply line for supplying a fluid in the vacuum chamber together with the backflow shutoff valve, in addition to the contamination caused by the backflow of the vacuum pump other Contamination by the fluid supply line is also preferable because it can be quickly blocked.

본 발명에서 상기 유체 단속 밸브는, 전기 신호로 개폐되는 밸브인 것이, 공압에 의하여 작동되는 종래의 유체 단속 밸브보다 신속하게 작동될 수 있어서 바람직하다.
In the present invention, the fluid control valve is preferably a valve that is opened and closed by an electrical signal, since it can be operated faster than a conventional fluid control valve operated by pneumatic pressure.

또한 상기 역류 차단 밸브와 상기 진공 펌프 사이 및 상기 역류 차단 밸브와 상기 진공 챔버 사이에 각각 배치되며, 상기 배관 내의 압력을 측정하는 압력 측정부가 더 구비되고, In addition, a pressure measuring unit is disposed between the backflow shutoff valve and the vacuum pump and between the backflow shutoff valve and the vacuum chamber, respectively, and measures a pressure in the pipe.

상기 밸브 제어부는, 상기 압력 측정부에 의하여 측정된 압력이 미리 정해진 특정 값 이하에 도달하면 상기 역류 차단 밸브를 개방하도록 제어하는 것이, 진공 펌프가 원상 복구 되었을 때, 자동적으로 진공 챔버의 압력 강하 작업을 진행할 수 있으므로 바람직하다.
The valve control unit controls to open the countercurrent shutoff valve when the pressure measured by the pressure measuring unit reaches a predetermined value or less, automatically reducing the pressure of the vacuum chamber when the vacuum pump is restored to its original state. It is preferable because it can proceed.

그리고 상기 진공 펌프는, 저진공 펌프이고, 상기 진공 챔버와 상기 역류 차단 밸브 사이에는 고진공 펌프가 더 구비되는 것이 바람직하다.
The vacuum pump is a low vacuum pump, and a high vacuum pump is further provided between the vacuum chamber and the backflow shutoff valve.

본 발명에 따르면 진공 펌프의 전원의 이상 여부 또는 챔버 측 압력과 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호를 이용하여 직접 역류 차단 밸브를 제어하므로, 다른 이상 감지 회로를 거치는 종래의 역류 차단 밸브보다 훨씬 신속하게 펌핑 라인을 차단하여 기체 및 파티클의 역류를 효과적으로 방지할 수 있다. According to the present invention, since the backflow shutoff valve is directly controlled by using the abnormality of the power supply of the vacuum pump or the pressure difference between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure or the alarm signal of the vacuum pump itself, the conventional backflow through other abnormality detection circuits. The pumping line can be shut off much faster than the shutoff valve, effectively preventing backflow of gas and particles.

이러한 본 발명에 따른 역류 방지 시스템은, 공정 챔버 뿐만아니라, 로드락 챔버와 반송 챔버에 공통적으로 사용될 수 있으며, 종래의 차단 밸브를 그대로 사용할 수 있는 장점도 있다. Such a backflow prevention system according to the present invention, as well as the process chamber, can be commonly used in the load lock chamber and the transfer chamber, there is an advantage that can use the conventional shut-off valve as it is.

또한 본 발명에 따른 역류 방지 시스템은, 진공 펌핑 라인의 역류 방지 뿐만아니라, 다른 유체 공급 라인에 의한 진공 챔버 및 기판의 오염도 방지할 수 있는 장점도 있다.
In addition, the backflow prevention system according to the present invention has the advantage of preventing backflow of the vacuum pumping line as well as contamination of the vacuum chamber and the substrate by other fluid supply lines.

도 1은 종래의 진공 챔버의 펌핑 라인을 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 역류 차단 시스템을 설명하는 개념도이다. 1 shows a pumping line of a conventional vacuum chamber.
2 is a conceptual diagram illustrating a backflow blocking system according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 역류 방지 시스템은 도 2에 도시된 바와 같이, 차단 밸브(110)와 밸브 제어부(120)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 2, the backflow prevention system according to the present exemplary embodiment includes a shutoff valve 110 and a valve controller 120.

먼저 차단 밸브(110)는, 상기 진공 챔버(1)와 상기 진공 펌프(30) 사이를 연결하는 배관(60)에 설치되어 상기 배관을 차단하는 구성요소이다. 이 차단 밸브(110)는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 공압에 의하여 구동될 수도 있고, 별도의 모터에 의하여 구동될 수도 있다. First, the shutoff valve 110 is a component installed in a pipe 60 connecting between the vacuum chamber 1 and the vacuum pump 30 to block the pipe. The shutoff valve 110 may have a variety of structures, for example, may be driven by pneumatic, or may be driven by a separate motor.

이 차단 밸브(110)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 진공 챔버(1)와 상기 진공 펌프(30)를 연결하는 배관(60)에 배치된다. 특히, 이 차단 밸브(110)는, 상기 배관(60) 중에서 상기 진공 챔버(1) 측에 설치되는 전방 라인 밸브(Foreline valve, 130)로 부터 15m 이내의 최단 거리 내에 설치되는 것이 바람직하다. 이는 차단 밸브(110)와 진공 챔버(1) 사이의 간격을 작게하여, 배관(60) 내에 존재하는 파티클의 수를 최소화하기 위함이다. As shown in FIG. 2, the shutoff valve 110 is disposed in a pipe 60 connecting the vacuum chamber 1 and the vacuum pump 30. In particular, the shut-off valve 110 is preferably installed within the shortest distance of less than 15m from the foreline valve 130 installed on the vacuum chamber 1 side of the pipe (60). This is to minimize the number of particles present in the pipe 60 by reducing the gap between the shutoff valve 110 and the vacuum chamber 1.

그리고 본 실시예에 따른 역류 방지 시스템에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 압력 측정부(140)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 압력 측정부(140)는 상기 역류 차단 밸브(110)와 상기 진공 챔버(1) 사이에 배치되는 챔버측 압력 측정부(142)와, 상기 역류 차단 밸브(110)와 상기 진공 펌프(30) 사이에 배치되는 펌프측 압력 측정부(144)로 구성되며, 각각 상기 배관(60) 내의 압력을 측정하는 구성요소이다. 이 압력 측정부(140)는 각각 배관(60) 내의 압력을 측정하고, 양자 간에 차이가 발생하는 경우 밸브 제어부(120)에 신호를 준다. And the reverse flow prevention system according to the present embodiment, as shown in Figure 2, it is preferable that the pressure measuring unit 140 is further provided. The pressure measuring unit 140 includes a chamber side pressure measuring unit 142 disposed between the backflow shutoff valve 110 and the vacuum chamber 1, the backflow shutoff valve 110, and the vacuum pump 30. It is composed of a pump-side pressure measuring unit 144 disposed between, respectively is a component for measuring the pressure in the pipe (60). The pressure measuring unit 140 measures the pressure in the pipe 60, respectively, and gives a signal to the valve control unit 120 when a difference occurs between the two.

다음으로 상기 밸브 제어부(120)는, 상기 진공 펌프(30) 전원의 이상 신호 또는 상기 진공 챔버 측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 상기 차단 밸브(110)를 제어하는 구성요소이다. 보다 구체적으로 본 실시예에 따른 밸브 제어부(120)는 상기 진공 펌프(30) 전원의 단상에 직접 연결되어, 상기 전원의 단상에 이상이 발생하는 경우 그 신호 또는 상기 차단 밸브(110)의 전방과 후방에서 각각 측정되는 챔버측 압력값과 펌프측 압력값을 비교하여 양자 간에 차이가 발생하는 경우 그 신호 또는 진공 펌프 자체에서 발생하는 알람 신호를 이용하여 상기 차단 밸브(110)를 구동시켜 상기 배관을 차단한다. Next, the valve control unit 120 uses a faster signal, such as an abnormal signal of the power supply of the vacuum pump 30, a pressure difference generation signal between the vacuum chamber side pressure and the vacuum pump side pressure, or an alarm signal of the vacuum pump itself. A component for controlling the shutoff valve 110. More specifically, the valve control unit 120 according to the present embodiment is directly connected to the single-phase of the power supply of the vacuum pump 30, and when an abnormality occurs in the single-phase of the power supply, the signal or the front of the shutoff valve 110 is When the pressure difference between the chamber-side pressure value and the pump-side pressure value respectively measured at the rear side is generated, the shutoff valve 110 is driven by using the signal or the alarm signal generated by the vacuum pump itself. Block it.

따라서 본 실시예에 따른 밸브 제어부(120)는, 진공 펌프(30)의 알람 신호 만에 의하여 제어되는 종래의 차단 밸브에 비하여 매우 빠른 속도로 차단 밸브(110)를 차단시킬 수 있다. 즉, 진공 펌프(1)의 이상 여부와 직접적으로 연관되어 있는 진공 펌프 전원 즉, 진공 펌프 전원의 단상에 직접 연결되어, 그 전원의 이상이 발생하면 즉시 상기 차단 밸브(110)를 차단시키는 것이다. 이렇게 하여 최단 시간 내에 상기 차단 밸브(110)를 차단하게 되면, 상기 진공 펌프(30)의 멈춤에 의하여 발생할 수 있는 역류 현상을 가장 신속하게 방지할 수 있는 것이다. 본 실시예에서 상기 진공 펌프의 전원은 메인 드라이 펌프의 모터 전원부와 부스터 펌프의 모터 전원인 것이 바람직하다. Therefore, the valve control unit 120 according to the present embodiment may block the shutoff valve 110 at a very high speed as compared with the conventional shutoff valve controlled by only the alarm signal of the vacuum pump 30. That is, it is directly connected to the stage of the vacuum pump power source, that is, the vacuum pump power source that is directly related to the abnormality of the vacuum pump 1, and immediately shuts off the shutoff valve 110 when an abnormality of the power source occurs. In this way, when the shutoff valve 110 is cut off in the shortest time, it is possible to most quickly prevent the backflow phenomenon that may occur due to the stopping of the vacuum pump 30. In the present embodiment, the power supply of the vacuum pump is preferably the motor power supply of the main dry pump and the booster pump.

본 실시예에 따른 밸브 제어부(120)는 다양한 회로 구성을 가질 수 있으며, 진공 펌프(30) 모터 전원의 단상에 릴레이를 이용하여, 상기 차단 밸브의 온/오프 신호로 이용할 수 있다. 또한 상기 챔버측 압력 측정부(142)와 상기 펌프측 압력 측정부(144)에서 각각 측정되는 압력값에 차이가 발생하는 경우 그 신호를 온/오프 신호로 이용할 수 있다. The valve control unit 120 according to the present exemplary embodiment may have various circuit configurations, and may be used as an on / off signal of the shutoff valve by using a relay on a single stage of the motor power of the vacuum pump 30. In addition, when a difference occurs in the pressure values measured by the chamber-side pressure measuring unit 142 and the pump-side pressure measuring unit 144, the signal may be used as an on / off signal.

한편 상기 밸브 제어부(120)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 진공 챔버(1)에 연결되어 상기 진공 챔버(1) 내에 유체를 공급하는 유체 공급 라인에 배치되는 유체 단속 밸브(162, 164, 166, 168)도 상기 역류 차단 밸브(110)와 함께 제어하는 것이 바람직하다. Meanwhile, as shown in FIG. 2, the valve control unit 120 is connected to the vacuum chamber 1 and is arranged in a fluid supply line for supplying a fluid into the vacuum chamber 1. , 166 and 168 are also preferably controlled together with the backflow shutoff valve 110.

이는 진공 펌프(30)가 멈추는 이상이 발생한 경우에, 상기 진공 챔버(1) 내부의 압력이 상승되거나 불필요한 공정 가스의 유입을 차단하여 상기 진공 챔버(1) 내부 또는 챔버 내부에 존재하는 공정 중의 기판을 보호하기 위함이다. In the case where an abnormality in stopping the vacuum pump 30 occurs, the pressure in the vacuum chamber 1 increases or blocks unnecessary flow of process gas, thereby preventing the substrate from being in the vacuum chamber 1 or in the chamber. To protect.

본 실시예에서 상기 유체 단속 밸브(162, 164, 166, 168)는, 전기 신호로 개폐되는 밸브인 것이 바람직하다. 이는 가장 빠른 신호인 전기 신호로 상기 유체 단속 밸브를 제어하기 위한 신호를 전송하여 신속하게 상기 유체 단속 밸브를 단속하기 위함이다. 이러한 유체 단속 밸브(162, 164, 166, 168)에는 여러가지 밸브가 포함될 수 있으며, 상기 진공 챔버 내부로 기체 또는 액체 등의 유체를 공급하는 배관에 설치되는 단속 밸브를 말한다. 예를 들어 이러한 유체 단속 밸브에는 공정 가스 밸브, 압력 조절 밸브(팬들럼 밸브류), 포라인 밸브 또는 N2 퍼지 밸브 등이 포함될 수 있다. In the present embodiment, the fluid control valves 162, 164, 166, and 168 are preferably valves that are opened and closed by an electrical signal. This is to quickly control the fluid control valve by transmitting a signal for controlling the fluid control valve with an electrical signal which is the fastest signal. The fluid control valves 162, 164, 166, and 168 may include various valves, and refer to an intermittent valve installed in a pipe for supplying a fluid such as gas or liquid into the vacuum chamber. For example, such a fluid control valve may include a process gas valve, a pressure regulating valve (pendula valves), a four -line valve, or an N 2 purge valve.

한편 상기 역류 차단 밸브(110)가 차단된 후에, 상기 압력 측정부(140)에서 측정된 압력값이 일정한 압력값 이하로 되어서, 상기 압력 측정부(140)로부터 신호가 오면 상기 밸브 제어부(120)는 상기 역류 차단 밸브(110)를 개방하도록 제어한다. 즉, 상기 압력 측정부(140)에 의하여 상기 진공 펌프(30)가 정상 작동하여 압력이 일정한 값 이하로 떨어지고, 역류 현상이 발생하지 않는 상황이 되면, 상기 차단 밸브(110)를 자동으로 개방하여 상기 진공 챔버(1) 내에서 정상적인 공정이 진행될 수 있도록 하는 것이다. On the other hand, after the back flow shutoff valve 110 is shut off, the pressure value measured by the pressure measuring unit 140 becomes equal to or less than a predetermined pressure value, and when the signal comes from the pressure measuring unit 140, the valve control unit 120. Is controlled to open the back flow shutoff valve (110). That is, when the vacuum pump 30 operates normally by the pressure measuring unit 140, the pressure drops below a predetermined value, and when the backflow phenomenon does not occur, the shutoff valve 110 is automatically opened. It is to allow the normal process to proceed in the vacuum chamber (1).

110 : 차단 밸브 120 : 밸브 제어부110: shutoff valve 120: valve control unit

Claims (10)

진공 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 상기 진공 펌프 측의 대기가 상기 진공 챔버 측으로 역류하는 것을 방지하는 역류 방지 시스템에 있어서,
상기 진공 챔버와 상기 진공 펌프 사이의 배관 및 상기 진공 챔버와 유체 공급 라인 상에 설치되어 상기 배관을 차단하는 차단 밸브;
상기 진공 펌프 전원의 이상 신호 또는 상기 챔버측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차 발생 신호 또는 진공 펌프 자체의 알람 신호 중 더 빠른 것을 이용하여 상기 차단 밸브를 제어하는 밸브 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.A backflow prevention system positioned between a vacuum chamber and a vacuum pump to prevent the air on the vacuum pump side from flowing back to the vacuum chamber side.
A shutoff valve installed on the pipe between the vacuum chamber and the vacuum pump and on the vacuum chamber and the fluid supply line to block the pipe;
And a valve control unit controlling the shutoff valve using a faster signal among an abnormal signal of the vacuum pump power supply, a pressure difference generation signal between the chamber side pressure and the vacuum pump side pressure, or an alarm signal of the vacuum pump itself. Backflow prevention system. 제1항에 있어서, 상기 밸브 제어부는,
상기 진공 펌프 전원의 단상에 직접 연결되어, 상기 전원의 단상에 이상이 발생하는 경우 또는 상기 진공 챔버 측 압력과 상기 진공 펌프 측 압력 간의 압력차가 발생하는 경우 또는 상기 진공 펌프 자체의 알람 신호가 발생하는 경우 상기 차단 밸브를 구동시켜 상기 배관을 차단하는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 1, wherein the valve control unit,
Directly connected to the single-phase of the vacuum pump power supply, when an abnormality occurs in the single-phase of the power supply or when a pressure difference between the vacuum chamber side pressure and the vacuum pump side pressure occurs or an alarm signal of the vacuum pump itself is generated. In case of back flow prevention system, characterized in that to shut off the pipe by driving the shut-off valve. 제2항에 있어서, 상기 차단 밸브는,
상기 진공 챔버와 상기 차단 밸브 사이에 배치되는 전방 라인 밸브(Foreline Valve)로 부터 15m 이내의 거리에 설치되거나, 상기 진공 펌프와 상기 유체 공급 라인 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 2, wherein the shutoff valve,
And a back flow prevention system installed on the vacuum pump and the fluid supply line within a distance of 15 m from a foreline valve disposed between the vacuum chamber and the shutoff valve. 제3항에 있어서, 상기 밸브 제어부는,
상기 진공 챔버에 연결되어 상기 진공 챔버 내에 유체를 공급하는 유체 공급 라인에 배치되는 유체 단속 밸브도 상기 역류 차단 밸브와 함께 제어하는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 3, wherein the valve control unit,
And a flow control valve connected to the vacuum chamber and disposed in a fluid supply line for supplying the fluid into the vacuum chamber, together with the backflow shutoff valve. 제4항에 있어서, 상기 유체 단속 밸브는,
전기 신호로 개폐되는 밸브인 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 4, wherein the fluid control valve,
A backflow prevention system, characterized in that the valve is opened and closed by an electrical signal. 제4항에 있어서, 상기 유체 단속 밸브는,
상기 진공 챔버로 통하는 공정 가스 밸브, 질소(N2) 퍼지 밸브, 팬들럼 밸브 또는 포라인 밸브인 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 4, wherein the fluid control valve,
And a process gas valve, a nitrogen (N 2 ) purge valve, a pendulum valve, or a foreline valve leading to the vacuum chamber. 제4항에 있어서,
상기 역류 차단 밸브와 상기 진공 펌프 사이 및 상기 역류 차단 밸브와 상기 진공 챔버 사이에 각각 배치되며, 상기 배관 내의 압력을 측정하는 압력 측정부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 4, wherein
And a pressure measuring part disposed between the backflow shutoff valve and the vacuum pump and between the backflow shutoff valve and the vacuum chamber, respectively, for measuring a pressure in the pipe. 제7항에 있어서, 상기 밸브 제어부는,
상기 압력 측정부에 의하여 측정된 압력이 미리 정해진 특정 값 이하에 도달하면 상기 역류 차단 밸브를 개방하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 7, wherein the valve control unit,
And when the pressure measured by the pressure measuring unit reaches a predetermined value or less, controls the backflow shutoff valve to open. 제4항에 있어서, 상기 진공 펌프는,
저진공 펌프인 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 4, wherein the vacuum pump,
Backflow prevention system, characterized in that the low vacuum pump. 제4항에 있어서,
상기 진공 챔버와 상기 역류 차단 밸브 사이에는 고진공 펌프가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 역류 방지 시스템.The method of claim 4, wherein
And a high vacuum pump is further provided between the vacuum chamber and the backflow shutoff valve.
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