KR101736724B1 - Gas Bottle Management Information Providing System for Manufacturing Semiconductor Device - Google Patents

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KR101736724B1 KR1020150138940A KR20150138940A KR101736724B1 KR 101736724 B1 KR101736724 B1 KR 101736724B1 KR 1020150138940 A KR1020150138940 A KR 1020150138940A KR 20150138940 A KR20150138940 A KR 20150138940A KR 101736724 B1 KR101736724 B1 KR 101736724B1
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Abstract

방폭성능을 향상시키고 신속하고 정확한 공정가스 정보 취득 및 전송에 따른 효율적인 관리가 이루어질 수 있도록, 가스용기에 부착되고 공정가스 정보가 저장된 정보태그와, 정보태그를 읽어 획득한 공정가스 정보를 외부로 전송하는 무선단말기와, 무선단말기를 근접시킴에 따라 무선단말기와의 통신으로 공정가스 정보를 수신하는 컨트롤러장치를 포함하여 이루어지는 반도체 제조용 공정 가스용기 관리 정보 제공시스템을 제공한다.An information tag attached to the gas container and storing the process gas information so that the explosion proof performance can be improved and the process gas information can be obtained quickly and accurately and efficient management can be performed; And a controller device for receiving the process gas information by communication with the wireless terminal in proximity to the wireless terminal. The present invention also provides a process gas container management information providing system for semiconductor manufacturing.

Description

반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템 {Gas Bottle Management Information Providing System for Manufacturing Semiconductor Device}Technical Field [0001] The present invention relates to a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process,

본 발명은 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템에 관한 것으로서, 가스공급장치에 가스용기 장착시 가스정보를 신속하고 정확하게 컨트롤러에 전달하는 것이 가능하도록 구성한 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process, which is capable of quickly and accurately transmitting gas information to a controller .

일반적으로 웨이퍼는 사진, 이온확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복적으로 수행한 후 반도체장치인 칩으로 제조된다.Generally, a wafer is manufactured by a chip which is a semiconductor device after repeatedly performing processes such as photography, ion diffusion, etching, chemical vapor deposition and metal deposition.

상기 공정들을 수행하기 위하여 공정설비들이 각각 구성되었으며, 또한 각각의 상기 공정설비로 상기 공정들의 특성에 적합한 케미컬들이 선택되어 기체, 또는 액체상태로 공급됨으로써 공정이 실시된다.In order to carry out the processes, each of the process facilities is constituted, and each process facility is supplied with a chemical or a liquid suitable for the characteristics of the processes, thereby carrying out the process.

종래 기체상태의 케미컬을 공정설비로 공급하는 시스템의 경우 일반적으로 케미컬가스가 저장된 케미컬가스저장용기로 질소(N2)가스나 헬륨(He)가스를 투입시키고, 상기 질소가스나 헬륨가스가 상기 케미컬가스 저장용기로 투입되는 압력에 의해 상기 케미컬가스가 상기 케미컬가스 저장용기에 연결된 케미컬가스 공급관을 통해 유출되며, 유출된 상기 케미컬가스를 상기 공정설비로 공급되도록 구성된다.In the case of a system for supplying a chemical in a gaseous state to a process facility, generally, a nitrogen (N 2) gas or a helium (He) gas is introduced into a chemical gas storage container storing a chemical gas, and the nitrogen gas or helium gas is introduced into the chemical gas The chemical gas flows out through the chemical gas supply pipe connected to the chemical gas storage container by the pressure applied to the storage container and the discharged chemical gas is supplied to the process equipment.

상기와 같이 반도체 제조 공정에 사용되는 케미컬 또는 가스(이하 '공정가스'라 함)는 봄베라 불리우는 가스용기 내에 고압으로 충진되며, 상기 가스용기에는 가스 재료를 코드로 나타낸 자재코드(material code))와 제조번호(lot number) 등의 가스 정보가 담긴 바코드가 부착된다.As described above, the chemical or gas (hereinafter, referred to as 'process gas') used in the semiconductor manufacturing process is filled in a gas container called a spring vessel at a high pressure, and the gas container is provided with a material code, And a lot number are attached to the bar code.

한편, 반도체 제조 공정에서는 공정가스가 적정량, 적정온도, 적정 배출 등이 유지되는지를 관리하는 것이 반도체 제조의 기본사항 중 하나이고, 가스공급장치의 가스캐비닛에 가스용기를 신규 또는 교체 장착하는 과정에서 적정 위치에 지정된 가스가 장착되는지를 관리하는 것 역시 매우 중요하며, 이러한 가스 장착에 대한 관리가 제대로 이루어지지 않으면 반도체 제조에 막대한 악영향을 끼친다.On the other hand, in semiconductor manufacturing processes, it is one of the basic matters of semiconductor manufacturing to manage whether a proper amount of process gas, proper temperature, proper discharge, etc. are maintained. In a process of newly or replacing a gas container in a gas cabinet of a gas supply device It is also very important to control whether the specified gas is loaded in the proper position, and if the management of such gas loading is not properly performed, it will have a huge adverse effect on the semiconductor manufacturing.

종래 가스공급장치의 가스캐비닛에 가스용기를 신규 또는 교체 장착 과정에서는 관리자가 해당 가스용기에 대한 가스 정보를 취득하여 확인하는 작업이 수행되며, 이 과정에서 바코드리더기를 이용하여 가스용기에 부착된 바코드로부터 가스 정보를 취득하게 된다.In the process of newly or replacing the gas container in the gas cabinet of the conventional gas supply device, the manager acquires and confirms the gas information of the gas container. In this process, the bar code reader attached to the gas container As shown in FIG.

그런데 종래 가스 정보 취득시 사용되는 바코드리더기는 전선을 통해 전원공급 및 통신이 이루어지는 유선식이므로 폭발을 야기시킬 수 있는 스파크가 발생할 가능성이 있다.However, since the bar code reader used in the conventional gas information acquisition is a wire type in which power is supplied and communication is performed through the electric wire, there is a possibility that a spark that may cause an explosion may occur.

특히 반도체 제조 공정용 가스공급장치는 수 십대를 특정 구역에 연이어 밀집시켜 공급 및 관리를 하게 되는데, 가연성 가스를 공급하는 장치의 경우는 구역 내 가스 미세 누출시 조그마한 스파크의 영향을 받는다면 대형사고로 이어질 가능성이 크므로 방폭성능을 강화시킬 필요성이 있다.Especially, the gas supply system for semiconductor manufacturing process is to supply and manage several tens of units in a specific area. In the case of a device for supplying flammable gas, if gas leakage in the area is affected by a small spark, There is a need to enhance the explosion-proof performance.

그리고 수 내지 수십 대의 가스공급장치가 근접 거리차를 두고 연이어 설치됨에 따라 가스 정보 확인시 이웃하는 가스용기 간에 혼동이 발생하지 않도록 정확한 정보를 취득할 수 있는 방안이 필요하다.In addition, since several to several tens of gas supply devices are installed successively with a close distance difference, it is necessary to acquire accurate information so that confusion does not occur between neighboring gas containers when checking gas information.

한편, 공개특허공보 제10-2005-0071154호에는 가스 자동 교체 인식을 위해 관리자가 모니터에 유효기간을 입력할 수 있도록 가스 캐비넷에 모니터가 설치되는 내용기 개시되어 있다.Meanwhile, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2005-0071154 discloses a monitor in which a monitor is installed in a gas cabinet so that an administrator can input an expiration date into a monitor for automatic gas replacement recognition.

그런데 상기와 같이 가스 캐비넷에 설치되는 모니터를 통해 입력이 이루어지게 되면, 입력할 내용이 많은 경우 시간이 오래 걸리고, 정확한 가스 정보가 입력되지 않을 수 있으므로 작업성이 저하된다.However, if the input is made through the monitor installed in the gas cabinet as described above, it takes a long time when a large amount of input is required, and accurate gas information may not be inputted.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 무선단말기를 통하여 바코드의 가스 정보를 취득함과 아울러 근거리 무선통신으로 취득된 가스 정보를 외부로 전송하므로 스파크 발생 방지로 인한 방폭성능의 향상이 가능하고 가스 정보를 빠르고 편리하게 관리 서버에 제공하여 작업성을 향상시키는 것이 가능한 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템을 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a bar code reading device capable of obtaining gas information of a bar code through a wireless terminal and transmitting gas information acquired by short- The present invention provides a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process, which can improve the workability by providing gas information to the management server quickly and conveniently.

그리고 본 발명의 다른 목적은 정보태그와 무선단말기 간에 약 10cm정도의 근거리로 접근이 이루어진 경우 무선통신을 통해 가스 정보의 전송이 이루어지므로 주변에 위치하는 다른 정보태그와의 오인이나 혼동을 방지하여 정확하고 안전하게 가스 정보를 취득하고 컨트롤러에 전달하는 것이 가능한 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a wireless communication method and a wireless communication method which can prevent misunderstanding and confusion with other information tags located nearby, And to provide a gas container management information providing system for a manufacturing process capable of securely acquiring gas information and delivering it to a controller.

본 발명이 제안하는 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템은 가스용기에 부착되고 공정가스 정보가 저장된 정보태그와, 상기 정보태그를 읽어 획득한 공정가스 정보를 외부로 전송하는 무선단말기와, 상기 무선단말기를 근접시킴에 따라 상기 무선단말기와의 통신으로 공정가스 정보를 수신하는 컨트롤러장치를 포함하여 이루어진다.The present invention provides a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process, comprising an information tag attached to a gas container and storing process gas information, a wireless terminal for transmitting process gas information obtained by reading the information tag to the outside, And a controller device for receiving the process gas information by communicating with the wireless terminal in proximity to the wireless terminal.

상기 무선단말기는 상기 정보태그를 읽어 공정가스 정보를 판독하는 태그판독모듈과, 상기 태그판독모듈을 통해 판독된 공정가스 정보를 저장하는 메모리와, 상기 메모리에 저장된 공정가스 정보를 외부로 송신하는 통신모듈과, 상기 정보태그로부터 수신된 공정가스 정보가 상기 통신모듈을 통해 외부로 송신되도록 제어하는 제어모듈을 포함하여 이루어진다.The wireless terminal includes a tag reading module for reading the information tag and reading the process gas information, a memory for storing the process gas information read through the tag reading module, a communication for transmitting the process gas information stored in the memory to the outside And a control module for controlling the process gas information received from the information tag to be transmitted to the outside through the communication module.

상기 정보태그는 바코드, NFC태그, QR코드 중에서 선택하여 이루어진다.The information tag is selected from a bar code, an NFC tag, and a QR code.

상기 컨트롤러장치에는 상기 무선단말기의 통신모듈에서 전송하는 공정가스 정보를 수신하는 무선식별리더기가 설치된다.The controller device is provided with a wireless identification reader for receiving process gas information transmitted by the communication module of the wireless terminal.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템에 의하면, 무선단말기를 이용하여 공정가스 정보를 취득하고 외부로 전송하므로 가스용기 장착작업이 용이하고 장착시간을 단축하는 것이 가능하다.According to the gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the embodiment of the present invention, since the process gas information is acquired using the wireless terminal and transmitted to the outside, the gas container mounting work is easy and the installation time can be shortened .

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템에 의하면, 무선단말기가 정보태그를 읽어 공정가스 정보를 취득함과 아울러 근거리 무선통신으로 취득된 공정가스 정보를 외부로 전송하므로 스파크 발생 방지로 인한 방폭성능이 향상되고 공정가스 정보를 빠르고 편리하게 컨트롤러 및 관리 서버에 제공하는 것이 가능하다.According to the gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the embodiment of the present invention, the wireless terminal reads the information tag to acquire the process gas information, and transmits the process gas information acquired by the near field wireless communication to the outside It is possible to improve the explosion-proof performance due to prevention of spark occurrence and to provide the process gas information to the controller and the management server quickly and conveniently.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템에 의하면, 정보태그와 무선단말기 간에 약 10cm정도의 근거리로 접근이 이루어진 경우 무선통신을 통해 공정가스 정보의 전송이 이루어지므로 서로 인접하여 위치하는 가스용기에 각각 부착된 정보태그 간에 오인이나 혼동을 방지하며 정확하고 안전하게 공정가스 정보의 취득하고 컨트롤러 및 서버에 전달하는 것이 가능하다.In addition, according to the gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the embodiment of the present invention, when the information tag and the wireless terminal are accessed at a close distance of about 10 cm, the process gas information is transmitted through wireless communication It is possible to prevent misunderstanding and confusion between the information tags attached to the gas containers positioned adjacent to each other, and to acquire the process gas information accurately and safely and transmit it to the controller and the server.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보제공시스템을 나타내는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보제공시스템에 있어서 가스 정보를 취득하여 전송하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보제공시스템을 나타내는 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보제공시스템에 있어서 정보태그를 나타내는 정면도이다.1 is a front view showing a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to a first embodiment of the present invention.
2 is a diagram illustrating a process of acquiring and transmitting gas information in a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to a first embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram showing a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the first embodiment of the present invention.
4 is a front view showing an information tag in a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to a second embodiment of the present invention.

다음으로 본 발명에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Next, a preferred embodiment of a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

이하에서 동일한 기능을 하는 기술요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고, 중복 설명을 피하기 위하여 반복되는 상세한 설명은 생략한다.In the following description, the same reference numerals are used for the same technical elements, and detailed descriptions for avoiding redundant description are omitted.

이하에 설명하는 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 효과적으로 보여주기 위하여 예시적으로 나타내는 것으로, 본 발명의 권리범위를 제한하기 위하여 해석되어서는 안 된다.
The embodiments described below are intended to illustrate the preferred embodiments of the present invention in an effective manner and should not be construed to limit the scope of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템은 도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 정보태그(100), 무선단말기(200) 그리고 컨트롤러장치(300)를 포함한다.1 to 3, the gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the first embodiment of the present invention includes an information tag 100, a wireless terminal 200, and a controller device 300 .

상기 정보태그(100)는 가스용기(10)에 부착되고 공정가스 정보가 저장된다.The information tag 100 is attached to the gas container 10 and stores process gas information.

상기 정보태그(100)가 부착되는 가스용기(10)는 반도체 제조공정에서 사용되는 공정가스가 충전되며, 캐비닛(40)의 내부에 수용되고, 캐비닛(40)에 구성된 배관에 연결되어 장착된다.The gas container 10 to which the information tag 100 is attached is filled with the process gas used in the semiconductor manufacturing process and is accommodated in the cabinet 40 and connected to the piping configured in the cabinet 40.

상기 정보태그(100)는 바코드, NFC(Near Field Communication) 태그 중에서 어느 하나로 이루어진다.The information tag 100 includes any one of a barcode and an NFC (Near Field Communication) tag.

상기 정보태그(100)는 바코드인 경우 특성상 많은 공정가스 정보를 저장하기 어려우므로 대략 2~3가지 정도 항목의 공정가스 정보가 주로 저장된다.Since the information tag 100 is difficult to store a large amount of process gas information in the case of a bar code, approximately two to three items of process gas information are mainly stored.

즉 바코드에 저장되는 항목으로는 주로 충전된 공정가스 재료에 대한 코드(material code) 및 제조번호(lot number)가 저장된다.That is, the items stored in the bar code mainly include a material code and a lot number for the charged process gas material.

상기 정보태그(100)가 NFC 태그인 경우 상기 바코드보다 많은 공정가스 정보를 저장하는 것이 가능하다. 즉 자재코드(material code) 및 제조번호(lot number), 충전 가스의 순도, 제작(충전)일자, 만기일자(충전가스의 사용 가능한 일자), 크기정보, 무게정보, 가격정보, 주의사항, 제조자에 대한 상세 정보 등이 저장될 수 있다.
If the information tag 100 is an NFC tag, it is possible to store more process gas information than the barcode. The material code and lot number, the purity of the packed gas, the date of manufacture (charge), the expiration date (date the packed gas can be used), the size information, the weight information, the price information, And the like can be stored.

상기 무선단말기(200)는 상기 정보태그(100)를 읽어 획득한 공정가스 정보를 외부로 전송한다.The wireless terminal 200 reads the information tag 100 and transmits the obtained process gas information to the outside.

상기 무선단말기(200)는 상기 정보태그(100)를 읽어 공정가스 정보를 판독하는 태그판독모듈(210)과, 상기 태그판독모듈(210)을 통해 판독된 공정가스 정보를 저장하는 메모리(220)와, 상기 메모리(220)의 공정가스 정보를 외부로 송신하는 통신모듈(230)과, 상기 정보태그(100)로부터 수신된 공정가스 정보가 상기 통신모듈(230)을 통해 외부로 송신되도록 제어하는 제어모듈(240)을 포함하여 이루어진다.The wireless terminal 200 includes a tag reading module 210 that reads the information tag 100 and reads process gas information, a memory 220 that stores process gas information read through the tag reading module 210, A communication module 230 for transmitting the process gas information of the memory 220 to the outside, and a control module 230 for controlling the process gas information received from the information tag 100 to be transmitted to the outside through the communication module 230 And a control module 240.

상기 태그판독모듈(210)은 상기 정보태그(100)가 바코드인 경우 바코드를 읽어들여 공정가스 정보를 판독하는 바코드스캐너로 이루어지는 것이 가능하다.The tag reading module 210 may include a barcode scanner that reads a barcode when the information tag 100 is a barcode and reads the process gas information.

그리고 상기 태그판독모듈(210)은 상기 전자태그(100)가 NFC태그인 경우 상기 통신모듈(230)을 통한 NFC태그와의 통신으로 공정가스 정보를 수신하여 판독하도록 구성한다.The tag reading module 210 is configured to receive and read process gas information through communication with the NFC tag through the communication module 230 when the electronic tag 100 is an NFC tag.

상기 통신모듈(230)은 상기 태그판독모듈(210)에 의해 판독되어 상기 메모리(220)에 저장된 공정가스 정보를 상기 제어모듈(240)의 제어신호에 따라 외부로 전송한다.The communication module 230 transmits the process gas information read by the tag reading module 210 and stored in the memory 220 to the outside according to a control signal of the control module 240.

상기 태그판독모듈(210)과 메모리(220), 제어모듈(240)은 하나의 칩형태로 제조하여 사용하는 것도 가능하다.The tag reading module 210, the memory 220, and the control module 240 may be manufactured in a single chip form.

상기 통신모듈(220)은 통신방식이 서로 호환되는 다른 통신모듈과 약 10㎝ 정도의 거리 내에서 비접촉식 무선통신이 가능하도록 설치된다.The communication module 220 is installed to enable non-contact wireless communication within a distance of about 10 cm from other communication modules compatible with each other.

예를 들면, 상기 통신모듈은 13.56MHz 주파수 대역을 사용하는 비접촉식 근거리 쌍방향 무선통신(Near Field Communication:NFC)방식으로 공정가스 정보를 전송하는 것이 가능하도록 설치된다.
For example, the communication module is installed to transmit process gas information in a non-contact Near Field Communication (NFC) system using a frequency band of 13.56 MHz.

상기 컨트롤러장치(300)는 상기 무선단말기(200)를 근접시킴에 따라 상기 무선단말기(200)와의 통신으로 공정가스 정보를 수신한다.The controller device 300 receives the process gas information through communication with the wireless terminal 200 as the wireless terminal 200 is brought into proximity.

상기 컨트롤러장치(300)에는 상기 무선단말기(200)의 통신모듈(230)에서 전송하는 공정가스 정보를 수신하는 무선식별리더기(310)가 설치된다.The controller device 300 is provided with a wireless ID reader 310 for receiving process gas information transmitted from the communication module 230 of the wireless terminal 200.

상기 무선식별리더기(310)는 상기 통신모듈(230)와 NFC방식으로 통신하면서 공정가스 정보를 수신한다.The wireless identification reader 310 receives the process gas information while communicating with the communication module 230 through the NFC method.

상기 컨트롤러장치(300)는 공정가스 정보를 관리서버(400)로 전송하는 것도 가능하며, 이때 기 저장된 공정가스 정보를 수신된 공정가스 정보로 동기화시켜 관리서버로 전송하는 것이 가능하다.The controller device 300 can transmit the process gas information to the management server 400. In this case, it is possible to synchronize the previously stored process gas information with the received process gas information and transmit the same to the management server.

상기 컨트롤러장치(300)는 상기 무선식별리더기(310), 출력부(320), 제어부(330), 메모리(340), 무게 검출부(350), 압력 검출부(360) 및 통신부(370)를 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.The controller device 300 includes the wireless ID reader 310, the output unit 320, the control unit 330, the memory 340, the weight detection unit 350, the pressure detection unit 360, and the communication unit 370 .

상기 무선식별리더기(310)는 앞서 설명한 바와 같이, 상기 무선단말기(200)로부터 공정가스 정보를 읽어 들인다.The wireless identification reader 310 reads the process gas information from the wireless terminal 200 as described above.

상기 무선식별리더기(310)를 통해 읽어 들인 공정가스 정보는 상기 제어부(330)의 제어에 따라 메모리(340)에 저장된 공정가스 공급정보와 비교하여 출력부(320)를 통해 출력한다.The process gas information read through the wireless identification reader 310 is compared with the process gas supply information stored in the memory 340 under the control of the controller 330 and is output through the output unit 320.

상기 출력부(320)는 상기 무선식별리더기(310)에서 수신된 가스재료 코드와 사용 만기일자를 포함하는 공정가스 정보를 수신하고, 수신된 공정가스 정보와 저장된 공정가스 정보와 비교하여 가스재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하는 것으로, 음성을 출력하기 위한 스피커와 이를 시각적으로 표시하기 위한 경광등(또는 디스플레이)으로 구성될 수 있다.The output 320 receives the process gas information including the gaseous material code and the use expiration date received at the wireless identification reader 310 and compares the received process gas information with the stored process gas information to determine whether the gaseous materials In other cases, or when the use expiration date has elapsed, a mounting error may be outputted, and it may consist of a speaker for outputting voice and a warning light (or display) for visually displaying it.

이에 따라 장착된 가스용기(10)와 공급되어야 하는 가스재료가 상이할 경우 즉각적으로 이를 출력할 수 있으므로, 가스재료의 공급 오류를 방지할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, when the mounted gas container 10 is different from the gas material to be supplied, the gas container 10 can immediately output the gas container 10, thereby making it possible to prevent an error in supplying the gas material.

또한, 사용 만기일자가 경과된 가스용기(10)의 장착을 방지할 수 있으므로, 반도체 제조 공정에 공급되는 공정가스의 상태를 최상으로 하여 공급할 수 있는 효과도 발생된다.In addition, since the mounting of the gas container 10 that has passed the expiration date of use can be prevented, there is also an effect that the state of the process gas supplied to the semiconductor manufacturing process can be best supplied.

상기 제어부(330)는 수신된 공정가스 정보와 저장된 공정가스 공급정보를 비교 판단하여 가스재료가 서로 다른 경우 또는 사용 만기일자가 경과한 경우에 장착 오류를 출력하도록 제어한다.The control unit 330 compares the received process gas information with the stored process gas supply information and controls to output a mounting error when the gas materials are different or when the expiration date of the gas has passed.

또한, 제어부(330)는 연결되어 공급되는 가스용기 내의 공정가스 잔류 중량 및/또는 가스의 압력이 안전하게 공급할 수 있는 하한의 잔류 중량 또는 하한의 압력에 도달하면 이를 관리서버(400) 등으로 전송하도록 제어한다. 이때, 공정가스 공급의 단속은 전자밸브를 통해 이루어질 수 있다.In addition, when the control unit 330 reaches the remaining weight of the lower limit or the lower limit of the pressure that can safely supply the process gas residual weight and / or the gas pressure in the connected gas supply container, the control unit 330 transmits the residual weight or the lower limit pressure to the management server 400 . At this time, the interruption of the process gas supply can be achieved through the solenoid valve.

메모리(340)에는 캐비닛 ID, 캐비닛 위치정보, 공급가스정보, 가스 보틀(10)의 무게정보, 가스용기 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등을 포함하는 공정가스 공급정보가 저장된다.The memory 340 stores process gas supply information including a cabinet ID, cabinet position information, supply gas information, weight information of the gas bottle 10, gas container pressure information, time information, and leakage information.

상기 공정가스 공급정보 중에서, 가스용기(10)의 무게정보, 가스용기의 압력정보, 시간 정보 및 누설 정보 등은 실시간 또는 일정 주기로 검출하여 저장되며, 특히 가스용기(10)의 무게정보, 가스용기의 압력정보 및 누설정보는 설계조건에 따라서 실시간으로 관리서버(400)에 전송될 수 있다.The weight information of the gas container 10, the pressure information of the gas container, the time information, and the leakage information are detected and stored in real time or at regular intervals among the process gas supply information, And the leakage information can be transmitted to the management server 400 in real time according to the design conditions.

특히 가스용기(10)의 무게정보, 가스용기의 압력정보는 각각 무게검출센서(로드 셀, road cell)를 이용한 무게 검출부(350) 및 압력센서(pressure sensor)를 이용한 압력 검출부(360)를 통해 검출되며, 누설정보는 도면에 도시하지 않았으나 가스검출센서 등으로 검출할 수 있도록 구성될 수 있다.Particularly, the weight information of the gas container 10 and the pressure information of the gas container are respectively transmitted through a weight detecting unit 350 using a weight detecting sensor (load cell) and a pressure detecting unit 360 using a pressure sensor And the leakage information is not shown in the drawing, but can be configured to be detected by a gas detection sensor or the like.

상기 통신부(370)는 제어부(330)의 제어에 따라서 통신을 통해 가스 정보 및 가스 공급정보를 관리서버(400)에 전송한다.
The communication unit 370 transmits the gas information and the gas supply information to the management server 400 through communication under the control of the control unit 330. [

상기와 같이 구성되는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템은 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 정보태그(100)가 QR코드로 이루어지는 것도 가능하다.In the gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process according to the second embodiment of the present invention configured as described above, the information tag 100 may be a QR code as shown in FIG.

상기 QR코드는 가로축과 세로축 모두 데이터를 저장할 수 있으므로 상기 바코드보다 더 많은 정보를 넣을 수 있는 장점이 있다.Since the QR code can store data on both the horizontal and vertical axes, it is possible to store more information than the bar code.

상기 정보태그(100)가 QR코드인 경우 상기 무선단말기(200)의 태그판독모듈(210)은 상기 바코드를 읽어 들일 때와 마찬가지로 QR코드를 읽어들여 공정가스 정보를 판독하는 바코드스캐너로 이루어지는 것이 가능하다.When the information tag 100 is a QR code, the tag reading module 210 of the wireless terminal 200 can be composed of a barcode scanner for reading the process gas information by reading a QR code as in the case of reading the barcode Do.

10 : 가스용기 40 : 가스캐비닛
100 : 정보태그 200 : 무선단말기
210 : 태그판독모듈 220 : 메모리
230 : 통신모듈 240 : 제어모듈
300 : 컨트롤러장치 310 : 무선식별리더기
320 : 출력부 330 : 메모리
350 : 무게검출부 360 : 압력 검출부
370 : 통신부 400 : 관리서버10: Gas container 40: Gas cabinet
100: information tag 200: wireless terminal
210: tag reading module 220: memory
230: communication module 240: control module
300: Controller device 310: Wireless identification reader
320: output unit 330: memory
350: Weight detector 360: Pressure detector
370: communication unit 400: management server

Claims (4)

가스용기(10)에 부착되고 공정가스 정보가 저장된 정보태그(100)와,
상기 정보태그(100)를 읽어 획득한 공정가스 정보를 외부로 전송하는 무선단말기(200)와,
상기 무선단말기(200)를 근접시킴에 따라 상기 무선단말기(200)와의 통신으로 공정가스 정보를 수신하며, 기 저장된 공정가스 정보를 수신된 공정가스 정보로 동기화시켜 관리서버로 전송하는 컨트롤러장치(300)를 포함하고,
상기 정보태그(100)는 NFC태그로 이루어지며, 상기 정보태그(100)에 저장되는 공정가스 정보는 자재코드(material code) 및 제조번호(lot number), 충전 가스의 순도, 제작일자, 만기일자를 포함하고,
상기 무선단말기(200)는 상기 정보태그(100)를 읽어 공정가스 정보를 판독하는 태그판독모듈(210)과, 상기 태그판독모듈(210)을 통해 판독된 공정가스 정보를 저장하는 메모리(220)와, 상기 메모리(220)에 저장된 공정가스 정보를 외부로 송신하는 통신모듈(230)과, 상기 정보태그(100)로부터 수신된 공정가스 정보가 상기 통신모듈(230)을 통해 외부로 송신되도록 제어하는 제어모듈(240)을 포함하고,
상기 컨트롤러장치(300)는 상기 무선단말기(200)의 통신모듈(230)에서 전송하는 공정가스 정보를 수신하는 무선식별리더기(310)를 포함하며, 상기 무선식별리더기(310)는 상기 통신모듈(230)과 10㎝ 이내의 거리에서 NFC방식으로 통신하면서 공정가스 정보를 수신하는 반도체 제조 공정용 가스용기 관리 정보 제공시스템An information tag 100 attached to the gas container 10 and storing process gas information,
A wireless terminal 200 for transmitting process gas information obtained by reading the information tag 100 to the outside,
A controller device 300 for receiving the process gas information through communication with the wireless terminal 200 in proximity to the wireless terminal 200 and for synchronizing the previously stored process gas information with the received process gas information and transmitting the same to the management server 300 ),
The process gas information stored in the information tag 100 includes a material code and a lot number, a purity of the fill gas, a production date, and an expiration date Including,
The wireless terminal 200 includes a tag reading module 210 that reads the information tag 100 and reads process gas information, a memory 220 that stores process gas information read through the tag reading module 210, A communication module 230 for transmitting the process gas information stored in the memory 220 to the outside, a control module 230 for controlling the process gas information received from the information tag 100 to be transmitted to the outside through the communication module 230, And a control module (240)
The controller device 300 includes a wireless identification reader 310 for receiving process gas information transmitted from the communication module 230 of the wireless terminal 200. The wireless identification reader 310 may be connected to the communication module 230 230) and a gas container management information providing system for a semiconductor manufacturing process which receives process gas information while communicating with an NFC system at a distance of 10 cm or less 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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