KR101998403B1 - 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치 - Google Patents

소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공펌프의 배기단에 연결되어 그 진공펌프로부터 토출되는 토출물로부터 액 드레인을 거쳐 액 성분은 포집 배출하고 배기가스는 외부로 배기함과 아울러 진공펌프로부터 발생되는 소음을 저감시키는 기술로서, 진공펌프의 배기단에 연결된 상태로 진공펌프로부터 토출되어 외부로 배출되는 토출물 중 액 성분이 드레인된 배기가스를 배기 배관으로 이송시킴에 따라 배기 배관의 PM 주기를 연장시키거나 그 내구성을 향상시키는 기술이다. 특히, 진공펌프로부터 토출되는 토출물 중 액 성분이 드레인된 상태로 배기 배관 쪽으로 이동하는 배기가스의 이동통로를 독특한 형태로 구현함에 따라 진공펌프로부터 발생되는 소음이 자연적으로 저감되도록 하는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 복수 개의 소음저감 플레이트가 몸통 부재의 내측으로부터 아웃렛 통공에 인접하는 위치에 상대적으로 더 조밀한 배치구조를 구현함에 따라 진공펌프의 펌핑으로부터 발생한 소음을 더 효과적으로 저감시키는 장점도 있다.

Description

소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치 {Silencer for vacuum chamber with noise reduction and liquid drain function}
본 발명은 진공펌프의 배기단에 연결되어 그 진공펌프로부터 토출되는 토출물로부터 액 드레인을 거쳐 액 성분은 포집 배출하고 배기가스는 외부로 배기함과 아울러 진공펌프로부터 발생되는 소음을 저감시키는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 진공펌프의 배기단에 연결된 상태로 진공펌프로부터 토출되어 외부로 배출되는 토출물 중 액 성분이 드레인된 배기가스를 배기 배관으로 이송시킴에 따라 배기 배관의 PM 주기를 연장시키거나 그 내구성을 향상시키는 기술이다.
특히, 진공펌프로부터 토출되는 토출물 중 액 성분이 드레인된 상태로 배기 배관 쪽으로 이동하는 배기가스의 이동통로를 독특한 형태로 구현함에 따라 진공펌프로부터 발생되는 소음이 자연적으로 저감되도록 하는 기술에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에서는 공정챔버에서 사용된 공정가스는 폐가스(배기가스)이기 때문에 진공펌프의 펌핑에 의해 배기 배관을 통해 이동한 후 배기덕트를 통해 외부로 토출된다.
여기서, 진공펌프로부터 토출되는 토출물은 폐가스 뿐만 아니라 액성분도 포함되어 있기 때문에 그 액 성분이 배기 배관을 경유하여 이동하는 과정에서 배기 배관에 들어붙을 수 있는데, 이러한 경우 그 배기 배관에 대한 정비 주기(예: PM 주기)가 짧아지게 됨은 물론 그 배기 배관과 연결되는 각 구성의 내구성이 떨어지는 문제점이 발생한다.
또한, 진공펌프의 펌핑 동작시 소음이 자연적으로 발생하게 되는데, 반도체 생산 라인에 배치된 수많은 진공펌프로부터 개별적으로 발생된 소음들이 합쳐지면 거대한 소음을 발생시키는 문제점도 발생한다.
그에 따라, 진공펌프의 배기단에 연결되는 배기 배관에 장착됨에 따라 진공펌프로부터 토출되는 토출물로부터 액을 드레인하고 그 진공펌프로부터 발생하는 소음을 저감시킴으로써 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술이 요망된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 진공챔버의 배기단에 연결되는 배기 배관과 그 배기 배관에 연결되는 각 구성의 내구성을 향상시키고 그 PM 주기를 연장시킴과 아울러 진공펌프의 펌핑으로부터 발생하는 소음을 자연적으로 차단할 수 있는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치를 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 진공펌프의 토출물로부터 액 드레인된 배기가스가 배기 배관으로 이동하는 과정에서 자연적으로 소음이 저감되도록 하는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 진공펌프의 배기단에 연결되어 상기 진공펌프로부터 발생되는 소음을 저감시키고 상기 진공펌프로부터 나오는 토출물로부터 액 드레인하며 그 액 드레인을 거침에 따라 남겨진 배기가스가 배기 배관을 통해 외부로 이송되도록 인터페이스 하는 진공챔버용 사일런스 장치로서, 속이 빈 원통형의 몸통 부재(110); 일단부가 진공펌프에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 몸통 부재의 측벽을 관통하는 인렛 통공에 연통 연결됨에 따라 진공펌프로부터 나오는 토출물이 인렛 통공을 통해 몸통 부재의 내측으로 이동하도록 가이드하는 토출물 수용부재(120); 일단부가 진공펌프에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 몸통 부재의 일단면을 관통하는 아웃렛 통공에 연통 연결됨에 따라 몸통 부재의 내측으부터 배기되는 배기가스가 아웃렛 통공을 통해 배기 배관으로 이동하도록 가이드하는 가스 배기부재(130); 인렛 통공과 아웃렛 통공의 사이에 대응하는 몸통 부재의 내측에 배치되며 인렛 통공을 통해 진공펌프로부터 몸통 부재의 내측으로 인입되는 소리가 배기 배관으로 이동되는 과정에서 저감되도록 하고 인렛 통공을 통해 진공펌프로부터 몸통 부재의 내측으로 인입되는 토출물 중의 액이 자신에 부딪침에 따라 몸통 부재 내에서 하방향으로 낙하되도록 하는 소음저감 유닛(140); 가스 배기부재와 대향하는 몸통 부재의 타단면을 관통하는 액통공에 연통 연결됨에 따라 몸통 부재 내에 위치한 액을 액통공을 통해 외부로 토출시키는 액드레인 유닛(150);을 포함하여 구성된다.
여기서, 몸통 부재(110)는, 가스 배기부재가 위치하는 쪽의 단부가 개구된 상태로 외향하여 절곡 형성되는 플랜지 부재(111)와, 플랜지 부재에 대응하는 규격의 원반형 플레이트 형태로 이루어지고 중앙에 아웃렛 통공이 구비된 상태로 일면의 테두리가 플랜지 부재에 맞닿아 연결되는 고정 플레이트(112)를 구비하고, 소음저감 유닛(140)은, 몸통 부재의 내측에 대응하는 고정 플레이트의 내측면에 자신의 일단부가 연결된 상태로 몸통 부재의 내측으로 연장되는 복수 개의 지지 샤프트(141); 원반형의 플레이트 형태로 이루어지고 몸통 부재의 내측에서 복수 개의 지지 샤프트에 끼워진 상태로 지지 샤프트의 길이 방향을 따라 상호 이격된 상태로 고정 플레이트와 평행하게 배치되는 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144);를 구비하고, 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 각각 자신을 관통하는 배기 통공(142a,143a,144a)을 구비하며 각각의 배기 통공은 상호 비정렬 배치될 수 있다.
그리고, 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 각각의 테두리가 몸통 부재의 내벽과 소정 거리 이격 배치될 수 있다.
또한, 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144) 중에서 인렛 통공에 가장 인접하는 소음저감 플레이트(이하, '소음저감 기준 플레이트'라 함)를 제외한 나머지 소음저감 플레이트는 소음저감 기준 플레이트와 고정 플레이트 사이의 고정 플레이트 쪽에서 상대적으로 더 조밀하게 배치될 수 있다.
본 발명은 몸통 부재의 측벽 하부나 하면을 관통하는 액통공을 구비함에 따라 진공챔버로부터 몸통 부재의 내측으로 토출되는 토출물 중 액성분이 액통공으로 드레인될 때 중력에 의해 자연적으로 드레인되도록 하는 장점을 나탄내다.
또한, 본 발명은 액통공과 대향하는 위치의 몸통 부재에 아웃렛 통공을 구비하고 인렛 통공으로부터 아웃렛 통공의 사이에 대응하는 몸통 부재의 내측에 소음저감 유닛을 구비함에 따라 인렛 통공으로 인입된 토출물 중의 배기가스가 아웃렛 통공으로 이송되는 과정에서 진공펌프의 소음이 자연적으로 저감되도록 하는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 소음저감 유닛에 복수 개의 소음저감 플레이트를 복수의 단으로 배치하고 그 각각의 소음저감 플레이트와 몸통 부재의 내벽 사이에 소정의 틈을 형성함에 따라 토출물 중의 일부와 배기가스가 아웃렛 통공을 향해 소음저감 유닛을 경유하는 과정에서 액 드레인이 추가적으로 발생하는 장점도 나타낸다.
또한, 본 발명은 소음저감 플레이트에 형성되는 각각의 배기 통공이 소음저감 플레이트 상호간에 비정렬 배치됨에 따라 진공펌프의 펌핑에 의해 발생한 소음이 배기 배관 방향으로 이동하는 짧은 거리에서 효과적으로 감소되는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 소음저감 플레이트에 형성되는 각각의 배기 통공이 소음저감 플레이트 상호간에 비정렬 배치됨에 따라 토출물이 이동하는 짧은 거리에서 추가적인 액드레인을 효과적으로 수행할 수 있는 장점도 나타낸다.
또한, 본 발명은 복수 개의 소음저감 플레이트가 몸통 부재의 내측으로부터 아웃렛 통공에 인접하는 위치에 상대적으로 더 조밀한 배치구조를 구현함에 따라 진공펌프의 펌핑으로부터 발생한 소음을 더 효과적으로 저감시키는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 사일런스 장치의 사용상태도,
[도 2]는 본 발명에 따른 사일런스 장치의 외관사시도,
[도 3]은 본 발명에 따른 사일런스 장치의 저면도로서 플랜지 부재와 고정 플레이트 간의 고정볼트가 제외된 상태의 예시도,
[도 4]는 [도 3]의 정면도,
[도 5]는 [도 4]에서 몸통 부재로부터 고정 플레이트와 소음저감 유닛이 분리된 상태를 도시한 도면,
[도 6]은 [도 5]의 고정 플레이트와 소음저감 유닛을 다른 각도에서 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1]은 본 발명에 따른 사일런스 장치의 사용상태도이다. [도 1]을 참조하면, 본 발명에 따른 사일런스 장치(100)는 공정챔버(10)에서 사용되고 남은 폐가스를 외부로부터 토출시키는 진공펌프(20)의 배기단에 연통 연결되는 배기 배관(31)에 연통 연결됨에 따라 진공펌프(20)로부터 토출되는 배기가스가 자신을 경유하도록 할 수 있다.
이처럼, 본 발명에 따른 사일런스 장치(100)는 진공펌프(20)의 배기단과 배개 배관(31)의 사이에서 장착되어 결국 배기 배관(31)에 연통 연결됨에 따라 진공펌프(20)로부터 토출된 토출물로부터 액 드레인 과정을 거침과 아울러 진공펌프(20)의 펌핑 동작시 발생하는 소음을 저감시키게 된다.
[도 2]는 본 발명에 따른 사일런스 장치의 외관사시도이고, [도 3]은 본 발명에 따른 사일런스 장치의 저면도로서 플랜지 부재와 고정 플레이트 간의 고정볼트가 제외된 상태의 예시도이고, [도 4]는 [도 3]의 정면도이고, [도 5]는 [도 4]에서 몸통 부재로부터 고정 플레이트와 소음저감 유닛이 분리된 상태를 도시한 도면이고, [도 6]은 [도 5]의 고정 플레이트와 소음저감 유닛을 다른 각도에서 도시한 도면이다.
[도 2] 내지 [도 6]을 참조하면, 본 발명은 진공펌프(20)의 배기단에 연결되어 진공펌프(20)로부터 발생되는 소음을 저감시키고 또한 진공펌프(20)로부터 나오는 토출물로부터 액 드레인 과정을 거치며 그 액 드레인을 거침에 따라 남겨진 배기가스가 배기 배관(31)을 통해 외부로 이송되도록 인터페이스 하는 진공챔버용 사일런스 장치(100)로서, 본 발명은 몸통 부재(110), 토출물 수용부재(120), 가스 배기부재(130), 소음저감 유닛(140), 액드레인 유닛(150)을 포함하여 구성될 수 있다.
몸통 부재(110)는 [도 2] 내지 [도 5]에서와 같이 속이 빈 원통형으로 이루어질 수 있다.
토출물 수용부재(120)는 [도 2] 내지 [도 5]에서와 같이 일단부가 진공펌프(20)에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 몸통 부재(110)의 측벽을 관통하는 인렛 통공(110a)에 연통 연결됨에 따라 진공펌프(20)로부터 나오는 토출물이 인렛 통공(110a)을 통해 몸통 부재(110)의 내측으로 이동하도록 가이드한다.
가스 배기부재(130)는 [도 2] 내지 [도 5]에서와 같이 일단부가 진공펌프(20)에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 몸통 부재(110)의 일단면을 관통하는 아웃렛 통공(110b)에 연통 연결됨에 따라 몸통 부재(110)의 내측으부터 배기되는 배기가스가 아웃렛 통공(110b)을 통해 배기 배관(31)으로 이동하도록 가이드한다.
소음저감 유닛(140)은 [도 2] 내지 [도 5]에서와 같이 인렛 통공(110a)과 아웃렛 통공(110b)의 사이에 대응하는 몸통 부재(110)의 내측에 배치됨이 바람직하다.
그 결과, 소음저감 유닛(140)은 인렛 통공(110a)을 통해 진공펌프(20)로부터 몸통 부재(110)의 내측으로 인입되는 소리가 배기 배관(31)으로 이동되는 과정에서 저감되도록 하고 인렛 통공(110a)을 통해 진공펌프(20)로부터 몸통 부재(110)의 내측으로 인입되는 토출물 중의 액이 자신에 부딪침에 따라 몸통 부재(110) 내에서 하방향으로 낙하되도록 한다.
이처럼, 액통공(110c)과 대향하는 위치의 몸통 부재(110)에 아웃렛 통공(110b)을 구비하고 인렛 통공(110a)으로부터 아웃렛 통공(110b)의 사이에 대응하는 몸통 부재(110)의 내측에 소음저감 유닛(140)을 구비함에 따라 인렛 통공(110a)으로 인입된 토출물 중의 배기가스가 아웃렛 통공(110b)으로 이송되는 과정에서 진공펌프(20)의 소음이 자연적으로 저감되도록 할 수 있다.
액드레인 유닛(150)은 가스 배기부재(130)와 대향하는 몸통 부재(110)의 타단면을 관통하는 액통공(110c)에 연통 연결됨에 따라 몸통 부재(110) 내에 위치한 액을 액통공(110c)을 통해 외부로 토출시킨다.
여기서, 몸통 부재(110)가 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 수평으로 길게 배치되는 경우 몸통 부재(110) 내의 액이 중력에 의해 액통공(110c)으로 드레인될 수 있도록 액통공(110c)은 [도 3]에서와 같이 자신의 측벽 하부에 배치됨이 바람직하다.
이때, 몸통 부재(110)가 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 수평으로 길게 배치되는 경우 몸통 부재(110)의 하부를 지지할 수 있도록 몸통 부재(110)의 하부에 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 거치 부재(160)가 구비될 수 있다.
또한, 몸통 부재(110)가 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 상하방향으로 길게 배치되는 경우에도 몸통 부재(110) 내의 액이 중력에 의해 액통공(110c)으로 드레인될 수 있도록 액통공(110c)은 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 자신의 하면에 배치됨이 바람직하다.
한편, 몸통 부재(110)는 플랜지 부재(111)와 고정 플레이트(112)를 구비하고, 소음저감 유닛(140)은 복수 개의 지지 샤프트(141)와 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)를 구비할 수 있다.
먼저, 플랜지 부재(111)는 [도 3] 내지 [도 5]에서와 같이 가스 배기부재(130)가 위치하는 쪽의 단부가 개구된 상태로 외향하여 절곡 형성된다.
고정 플레이트(112)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 플랜지 부재(111)에 대응하는 규격의 원반형 플레이트 형태로 이루어지고 중앙에 아웃렛 통공(110b)이 구비된 상태로 일면의 테두리가 플랜지 부재(111)에 맞닿아 연결된다.
이와 같이, 고정 플레이트(112)가 고정볼트를 통해 플랜지 부재(111)에 착탈 가능하게 연결됨에 따라 고정 플레이트(112)의 일면에 연결되는 소음저감 유닛(140)을 고정 플레이트(112)의 배치 구조에 따라 몸통 부재(110)의 내측에 안정적으로 배치 고정할 수 있게 된다.
또한, 고정 플레이트(112)의 일면에 소음저감 유닛(140)을 연결함에 따라 몸통 부재(110)의 내측에 배치되는 소음저감 유닛(140)을 몸통 부재(110)에 대해 간편하게 거치하거나 이탈시킬 수 있게 된다.
그리고, 지지 샤프트(141)는 [도 4] 내지 [도 6]에서와 같이 복수 개 구비되며 몸통 부재(110)의 내측에 대응하는 고정 플레이트(112)의 내측면에 자신의 일단부가 연결된 상태로 몸통 부재(110)의 내측으로 연장된다.
소음저감 플레이트(142,143,144)는 [도 4] 내지 [도 6]에서와 같이 복수 개 구비되며, 소음저감 플레이트(142,143,144)는 원반형의 플레이트 형태로 이루어지고 몸통 부재(110)의 내측에서 복수 개의 지지 샤프트(141)에 끼워진 상태로 지지 샤프트(141)의 길이 방향을 따라 상호 이격된 상태로 고정 플레이트(112)와 평행하게 배치될 수 있다.
이때, 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 각각 자신을 관통하는 배기 통공(142a,143a,144a)을 구비하며 각각의 배기 통공(142a,143a,144a)은 상호 비정렬 배치됨이 바람직하다.
이처럼, 소음저감 플레이트(142,143,144)에 형성되는 각각의 배기 통공(142a,143a,144a)이 소음저감 플레이트(142,143,144) 상호간에 비정렬 배치됨에 따라 진공펌프(20)의 펌핑에 의해 발생한 소음이 배기 배관(31) 방향으로 이동하는 짧은 거리에서 효과적으로 감소될 수 있게 된다.
또한, 소음저감 플레이트(142,143,144)에 형성되는 각각의 배기 통공(142a,143a,144a)이 소음저감 플레이트(142,143,144) 상호간에 비정렬 배치됨에 따라 진공펌프(20)로부터의 토출물이 몸통 부재(110) 내의 짧은 거리를 이동하는 과정에서 효과적으로 추가적인 액 드레인이 이루어진다.
즉, 몸통 부재(110) 내에서 아웃렛 통공(110b) 쪽으로 이동하는 토출물과 배기가스가 비정렬 상태의 각 배기 통공(142a,143a,144a)을 쉽게 빠져나가지 못하고 소음저감 플레이트(142,143,144)의 외표면에 부딪치는 시간과 면적을 늘릴 수 있게 된다.
다른 한편, 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 각각의 테두리가 몸통 부재(110)의 내벽과 소정 거리 이격 배치됨이 바람직하다.
그 결과, 소음저감 유닛(140)에 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)를 복수의 단으로 배치하고 그 각각의 소음저감 플레이트(142,143,144)와 몸통 부재(110)의 내벽 사이에 소정의 틈을 형성함에 따라 토출물 중의 일부와 배기가스가 아웃렛 통공(110b)을 향해 소음저감 유닛(140)을 경유하는 과정에서 액 드레인이 추가적으로 발생할 수 있다.
즉, 몸통 부재(110) 내에서 아웃렛 통공(110b) 쪽으로 이동하는 토출물과 배기가스가 비정렬 상태의 각 배기 통공(142a,143a,144a)을 쉽게 빠져나가지 못하고 소음저감 플레이트(142,143,144)의 외표면에 부딪침에 따라 추가적으로 발생하는 액 성분이 각 소음저감 플레이트(142,143,144) 표면에서 각 소음저감 플레이트(142,143,144)의 테두리 부분으로 이동한 후 각 소음저감 플레이트(142,143,144)와 몸통 부재(110) 내벽 사이의 틈을 통해 액통공(110c) 방향으로 흘러갈 수 있게 된다.
다른 한편, [도 4] 내지 [도 6]을 참조하면 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144) 중에서 인렛 통공(110a)에 가장 인접하는 소음저감 플레이트(142; 이하, '소음저감 기준 플레이트')를 제외한 나머지 소음저감 플레이트(143,144)는 소음저감 기준 플레이트(142)와 고정 플레이트(112) 사이의 고정 플레이트(112) 쪽에서 상대적으로 더 조밀하게 배치됨이 바람직하다.
그 결과, 진공펌프(20)의 펌핑 동작에 의해 발생하는 소리는 소음저감 기준 플레이트(142)로부터 아웃렛 통공(110b)을 향해 배치되는 복수의 소음저감 플레이트(143,144)를 순차적으로 경유하는 과정에서 그 파장이 점차적으로 작아지게 되어 결국 소음을 효과적으로 저감시킬 수 있게 된다.
10 : 공정챔버
20 : 진공펌프
31 : 배기 배관
100 : 본 발명에 따른 사일런스 장치
110 : 몸통 부재
110a : 인렛 통공
110b : 아웃렛 통공
110c : 액통공
111 : 플랜지 부재
112 : 고정 플레이트
120 : 토출물 수용부재
130 : 가스 배기부재
140 : 소음저감 유닛
141 : 지지 샤프트
142,143,144 : 소음저감 플레이트
142a,143a,144a : 배기 통공
150 : 액드레인 유닛
160 : 거치 부재

Claims (4)

  1. 진공펌프의 배기단에 연결되어 상기 진공펌프로부터 발생되는 소음을 저감시키고 상기 진공펌프로부터 나오는 토출물로부터 액 드레인하며 그 액 드레인을 거침에 따라 남겨진 배기가스가 배기 배관을 통해 외부로 이송되도록 인터페이스 하는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치로서,
    속이 빈 원통형의 몸통 부재(110);
    일단부가 상기 진공펌프에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 상기 몸통 부재의 측벽을 관통하는 인렛 통공에 연통 연결됨에 따라 상기 진공펌프로부터 나오는 토출물이 상기 인렛 통공을 통해 상기 몸통 부재의 내측으로 이동하도록 가이드하는 토출물 수용부재(120);
    일단부가 상기 진공펌프에 배관을 통해 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어지고 타단부는 상기 몸통 부재의 일단면을 관통하는 아웃렛 통공에 연통 연결됨에 따라 상기 몸통 부재의 내측으부터 배기되는 배기가스가 상기 아웃렛 통공을 통해 상기 배기 배관으로 이동하도록 가이드하는 가스 배기부재(130);
    상기 인렛 통공과 상기 아웃렛 통공의 사이에 대응하는 상기 몸통 부재의 내측에 배치되며 상기 인렛 통공을 통해 상기 진공펌프로부터 상기 몸통 부재의 내측으로 인입되는 소리가 상기 배기 배관으로 이동되는 과정에서 저감되도록 하고 상기 인렛 통공을 통해 상기 진공펌프로부터 상기 몸통 부재의 내측으로 인입되는 토출물 중의 액이 자신에 부딪침에 따라 상기 몸통 부재 내에서 하방향으로 낙하되도록 하는 소음저감 유닛(140);
    상기 가스 배기부재와 대향하는 상기 몸통 부재의 타단면을 관통하는 액통공에 연통 연결됨에 따라 상기 몸통 부재 내에 위치한 액을 상기 액통공을 통해 외부로 토출시키는 액드레인 유닛(150);
    을 포함하여 구성되며,
    상기 몸통 부재(110)는,
    상기 가스 배기부재가 위치하는 쪽의 단부가 개구된 상태로 외향하여 절곡 형성되는 플랜지 부재(111)와, 상기 플랜지 부재에 대응하는 규격의 원반형 플레이트 형태로 이루어지고 중앙에 상기 아웃렛 통공이 구비된 상태로 일면의 테두리가 상기 플랜지 부재에 맞닿아 연결되는 고정 플레이트(112)를 구비하고,
    상기 소음저감 유닛(140)은,
    상기 몸통 부재의 내측에 대응하는 상기 고정 플레이트의 내측면에 자신의 일단부가 연결된 상태로 상기 몸통 부재의 내측으로 연장되는 복수 개의 지지 샤프트(141);
    원반형의 플레이트 형태로 이루어지고 상기 몸통 부재의 내측에서 상기 복수 개의 지지 샤프트에 끼워진 상태로 상기 지지 샤프트의 길이 방향을 따라 상호 이격된 상태로 상기 고정 플레이트와 평행하게 배치되는 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144);
    를 구비하고,
    상기 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 각각 자신을 관통하는 배기 통공(142a,143a,144a)을 구비하며 각각의 상기 배기 통공은 상호 비정렬 배치되는 것을 특징으로 하는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144)는 각각의 테두리가 상기 몸통 부재의 내벽과 소정 거리 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수 개의 소음저감 플레이트(142,143,144) 중에서 상기 인렛 통공에 가장 인접하는 소음저감 플레이트(이하, '소음저감 기준 플레이트'라 함)를 제외한 나머지 소음저감 플레이트는 상기 소음저감 기준 플레이트와 상기 고정 플레이트 사이의 상기 고정 플레이트 쪽에서 상대적으로 더 조밀하게 배치된 것을 특징으로 하는 소음저감 및 액드레인 기능을 구비한 진공챔버용 사일런스 장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990013721U (ko) * 1997-09-29 1999-04-26 구본준 반도체 웨이퍼 제조장치용 펌프
KR200415220Y1 (ko) * 2006-02-16 2006-04-28 주식회사 동화엔텍 소음기

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