KR101992263B1 - Recycling method for semiconductor package and recycling semiconductor package - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 재활용 방법, 재활용 반도체 패키지 및 이를 위한 지그에 관한 것으로, 상기 반도체 패키지 재활용 방법은 재활용하고자 하는 반도체 패키지를 회수하는 단계; 상기 회수된 다수의 반도체 패키지를 상기 반도체칩 패키지와 대응되는 크기의 개구부가 다수 형성된 지그에 로딩(Loading)하는 단계; 상기 지그에 로딩된 반도체 패키지의 몰딩면을 재몰딩(Remolding)하는 단계; 및 상기 재몰딩된 반도체 패키지를 절단(Sawing)하는 단계를 포함하고, 상기 재몰딩에 의한 반도체 패키지의 두께 증가는 50~1000㎛인 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a semiconductor package recycling method, a recycle semiconductor package, and a jig for the recycle semiconductor package, the method comprising: collecting a semiconductor package to be recycled; Loading the plurality of recovered semiconductor packages into a jig having a plurality of openings of a size corresponding to the semiconductor chip package; Remolding a molding surface of the semiconductor package loaded on the jig; And sawing the remolded semiconductor package, wherein the thickness increase of the semiconductor package by the remolding is 50 to 1000 mu m.

Description

반도체 패키지 재활용 방법 및 재활용 반도체 패키지{RECYCLING METHOD FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE AND RECYCLING SEMICONDUCTOR PACKAGE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a semiconductor package recycling method,

본 발명은 반도체 패키지의 재활용 방법, 재활용 반도체 패키지 및 이를 위한 지그에 관한 것으로, 제조 공정 중 불량으로 판단되거나 이미 사용된 바 있던 반도체 패키지를 재활용하는 기술에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of recycling a semiconductor package, a recycle semiconductor package, and a jig therefor, and relates to a technique for recycling a semiconductor package that has been judged to be defective or has been used in the manufacturing process.

일반적으로, 반도체의 제조를 위한 후공정은 웨이퍼(wafer)로부터 분리된 반도체칩을 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board) 상에 실장하여 부착하는 다이 본딩(die bonding) 공정과, 금속 와이어(metal wire)등을 이용하여 반도체칩이 부착된 인쇄회로기판을 전기적으로 연결하는 와이어 본딩(wire bonding) 공정과, 봉지재를 사용하여 반도체칩 및 인쇄회로기판을 밀봉함으로써, 집적회로 패키지로 제조하는 몰딩(molding) 공정과, 마지막으로 출하하기 위한 반도체칩 절단 공정(Package Sawing) 등을 포함한다.BACKGROUND ART In general, a post-process for manufacturing a semiconductor includes a die bonding process in which a semiconductor chip separated from a wafer is mounted on a printed circuit board (PCB) a wire bonding process for electrically connecting a printed circuit board on which a semiconductor chip is mounted using a wire or the like to a semiconductor chip and a printed circuit board by using an encapsulant, (molding) process, and a semiconductor chip cutting process (Package Sawing) for final shipment.

한편, 반도체 패키지를 자르는 패키지 절단 과정(Package Sawing)까지는 각각의 IC(Integrated Circuit)가 연속적으로 배열된 스트립(STRIP) 형태로 제조되게 된다. 이때, 반도체칩은 기판(Substrate)이나 리드 프레임(Lead Frame)과 같은 형태로 공정에서 흐르다가 패키지 절단 과정에서 각각의 IC 낱개 형태로 절단된다.Meanwhile, each IC (Integrated Circuit) is manufactured in the form of strips (STRIP) continuously arranged until the package cutting process (Package Sawing) for cutting the semiconductor package. At this time, the semiconductor chip flows in the form of a substrate or a lead frame, and is cut into individual ICs in a package cutting process.

이와 같은 방식으로 제조하다가 레이저 마킹(Laser Marking) 공정에서 IC 상면(Top Surface)에 기재되는 정보(PART NUMBER)를 잘못 적는 경우가 있다. 이러한 경우에는 해당 IC는 판매를 할 수 없어 레이저 마킹을 지우고 다시 레이저 마킹을 하거나 폐기처리 된다. In this way, the information (PART NUMBER) written on the top surface of the IC may be wrongly written in the laser marking process. In this case, the IC can not be sold, so laser marking is erased and laser marking is performed again or discarded.

IC를 폐기처리하게 되면 비용절감 측면에서 불리하기 때문에 레이저 마킹을 지우고 재활용하는 방법들이 강구되고 있다.Since disposal of ICs is disadvantageous in terms of cost reduction, methods of erasing and reusing laser marking are being sought.

이를 위한 방법으로, 첫번째로는 레이저 마킹의 깊이가 50㎛ 정도이다 보니 전면을 50㎛으로 깎아내는 방법이 있고, 둘째로는 레이저 마킹 위에 특수 잉크(Ink)를 도포해서 경화하는 방법이 있다. 상기 첫번째 방법은 색이 변하게 되는 문제가 있으며, 두번째 방법은 특수 잉크를 도포해야 하는데 모든 과정을 수작업으로 진행이 되어 수율이 매우 낮은 문제가 있다. As a method for this, firstly, there is a method of cutting the entire surface to 50 탆 as the laser marking depth is about 50 탆, and secondly, there is a method of applying special ink (Ink) on the laser marking to cure. The first method has a problem that the color changes, and the second method requires application of special ink, and the whole process is performed manually so that the yield is very low.

인쇄회로기판 등의 보드에서 제거한 반도체칩은 고가이기 때문에 폐기하기보다는 재활용하는 것이 바람직한데, 재활용하고자 하는 반도체칩을 작업자가 직접 수작업하기 때문에 시간 소모가 크다는 문제가 있다. Since the semiconductor chip removed from the board such as a printed circuit board is expensive, it is preferable to recycle the semiconductor chip instead of disposing it.

본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다. 또 다른 목적은 제조 공정 또는 기사용된 반도체 패키지를 재활용하는 방법, 이에 의해 제조되는 재활용 반도체 및 이를 위한 장치로서 지그(JIG)을 제공하는 것이다. The present invention is directed to solving the above-mentioned problems and other problems. Another object is to provide a jig (JIG) as a manufacturing process or a method of recycling a used semiconductor package, a recycled semiconductor fabricated thereby and a device therefor.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 재활용하고자 하는 반도체 패키지를 회수하는 단계; 상기 회수된 다수의 반도체 패키지를 상기 반도체칩 패키지와 대응되는 크기의 개구부가 다수 형성된 지그에 로딩(Loading)하는 단계; 상기 지그에 로딩된 반도체 패키지의 몰딩면을 재몰딩(Remolding)하는 단계; 및 상기 재몰딩된 반도체 패키지를 절단(Sawing)하는 단계를 포함하고, 상기 재몰딩에 의한 반도체 패키지의 두께 증가는 50~1000㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법이 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: recovering a semiconductor package to be recycled; Loading the plurality of recovered semiconductor packages into a jig having a plurality of openings of a size corresponding to the semiconductor chip package; Remolding a molding surface of the semiconductor package loaded on the jig; And a step of sawing the remolded semiconductor package, wherein a thickness increase of the semiconductor package by the remolding is 50 to 1000 mu m.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 지그는 금속 플레이트로 형성되고 일면에는 상기 반도체 패키지의 타면과 마주보는 밀봉부재가 부착될 수 있다.According to an aspect of the present invention, the jig may be formed of a metal plate, and a sealing member facing the other surface of the semiconductor package may be attached to one surface of the jig.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 로딩하는 단계에서 상기 회수된 반도체 패키지는 상기 지그 상에서 연속적으로 배열(Strip)될 수 있다.According to an aspect of the present invention, in the loading step, the recovered semiconductor package may be continuously arranged on the jig.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 반도체 패키지를 회수하는 단계는, 2 이상의 반도체 패키지가 적층되어 형성되는 적층형 반도체 패키지로부터 재활용하고자 하는 상기 반도체 패키지를 분리해내는 단계; 및 상기 분리해낸 반도체 패키지의 타면에 형성되어 있는 솔더볼을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, the step of recovering the semiconductor package includes: separating the semiconductor package to be recycled from a stacked semiconductor package in which two or more semiconductor packages are stacked; And removing the solder balls formed on the other surface of the separated semiconductor package.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 재몰딩에 사용되는 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC, Epoxy Molding Compound))의 유리천이온도(Tg)가 180℃ 이상일 수 있다.According to an aspect of the present invention, the glass transition temperature (Tg) of the epoxy molding compound (EMC) used in the remolding may be 180 ° C or higher.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 재몰딩하는 단계 이후에 상기 재활용하고자 하는 상기 반도체 패키지의 타면에 솔더볼을 부착하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, the step of remolding may further include attaching a solder ball to the other surface of the semiconductor package to be recycled.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 솔더볼을 부착하는 단계 이후에, 상기 재몰딩면에 레이저 마킹(Laser Marking)하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, after the step of attaching the solder ball, laser marking may be further performed on the remolded surface.

또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 재활용하고자 하는 반도체 패키지를 회수하고, 상기 회수된 반도체 패키지의 몰딩면을 재몰딩(Remolding)하여 상기 재몰딩에 의한 반도체 패키지의 두께가 50~1000㎛ 증가된 것을 특징으로 하는 재활용 반도체 패키지가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: collecting a semiconductor package to be recycled and remolding a mold surface of the recovered semiconductor package to increase the thickness of the semiconductor package by 50 to 1000 mu m And a second semiconductor package.

또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 몰딩(Molding)이 형성되어 있는 반도체 패키지를 재활용하기 위한 지그에 있어서, 회수된 다수의 반도체 패키지를 상기 반도체 패키지와 대응되는 크기의 개구부가 다수 형성되는 금속 플레이트; 및 상기 금속 플레이트의 일면에 상기 반도체 패키지의 타면과 마주보도록 형성되는 밀봉부재를 포함하는 반도체 패키지를 재활용하기 위한 지그가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a jig for recycling a semiconductor package having a molding on one surface thereof, the jig including a plurality of semiconductor packages, Metal plate; And a sealing member formed on one surface of the metal plate so as to face the other surface of the semiconductor package.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 금속 플레이트는 구리 박판으로 이루어질 수 있다.According to an aspect of the present invention, the metal plate may be formed of a copper thin plate.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 다수의 개구부는 일정 간격으로 연속적으로 형성될 수 있다.According to an aspect of the present invention, the plurality of openings may be continuously formed at regular intervals.

본 발명에 따른 반도체 패키지 재활용 장치 및 방법의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.Effects of the semiconductor package recycling apparatus and method according to the present invention are as follows.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 불량으로 판단되거나 이미 사용된 바 있는 반도체 패키지를 버리지 않고 재활용할 수 있는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, there is an advantage that the semiconductor package judged to be defective or already used can be recycled without discarding it.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 몰딩된 부분에 중첩하여 몰딩함으로써 외부 충격으로부터 더욱 안전해지는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, there is an advantage in that the molding is superimposed and molded to make it safer from external impacts.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 반도체 패키지의 휨이 방지되므로 조립 정밀도 및 솔더링 신뢰성이 개선되어 반도체 소자 실장시에 생산성이 향상될 수 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, since warping of the semiconductor package is prevented, the assembling accuracy and the soldering reliability are improved, so that the productivity can be improved when the semiconductor device is mounted.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 반도체 패키지의 휨이 발생하지 않음으로써 실장시에 반도체 소자와 전기적 접속이 우수하므로 반도체 패키지의 생산 수율이 향상될 수 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, since the semiconductor package is not warped, the electrical connection with the semiconductor device is excellent at the time of mounting, so that the production yield of the semiconductor package can be improved.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 기존의 공정을 활용하여 반도체칩을 재활용할 수 있는 효과가 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, semiconductor chips can be recycled by utilizing existing processes.

본 발명의 실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 다수의 반도체 패키지를 연속적으로 배열한 스트립(Strip)화 함으로써 일시에 많은 반도체칩을 재활용할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, a plurality of semiconductor packages are continuously arranged in a strip shape, so that many semiconductor chips can be recycled at a time.

본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.Further scope of applicability of the present invention will become apparent from the following detailed description. It should be understood, however, that the detailed description and specific examples, such as the preferred embodiments of the invention, are given by way of illustration only, since various changes and modifications within the spirit and scope of the invention will become apparent to those skilled in the art.

도 1은 본 발명과 관련된 반도체 패키지의 단면도이다.
도 2는 본 발명과 관련된 재활용 반도체 패키지의 전처리 공정 순서도이다.
도 3은 본 발명과 관련된 지그의 사시도이다.
도 4는 본 발명과 관련된 재몰딩된 반도체 패키지의 몰딩면을 도시한 도면이다.
도 5는 도 4의 AA을 따르는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정을 거쳐 반도체 패키지가 로딩된 상태의 지그를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명과 관련된 반도체 패키지 재활용 방법에 따른 플로차트(flowchart)이다.
도 8은 본 발명과 관련된 적층된 반도체 패키지의 모식도이다.1 is a cross-sectional view of a semiconductor package related to the present invention.
2 is a flowchart of a pre-processing process of a recycled semiconductor package related to the present invention.
3 is a perspective view of a jig associated with the present invention.
4 is a view of a molding surface of a remolded semiconductor package in accordance with the present invention.
5 is a cross-sectional view along AA in Fig.
6 is a view illustrating a jig in a state where a semiconductor package is loaded through a process according to an embodiment of the present invention.
7 is a flowchart according to a method of recycling a semiconductor package according to the present invention.
8 is a schematic diagram of a stacked semiconductor package related to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or similar components are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted. The suffix "part" for the constituent elements used in the following description is to be given or mixed with consideration only for ease of specification, and does not have a meaning or role that distinguishes itself. In the following description of the embodiments of the present invention, a detailed description of related arts will be omitted when it is determined that the gist of the embodiments disclosed herein may be blurred. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. , ≪ / RTI > equivalents, and alternatives.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinals, such as first, second, etc., may be used to describe various elements, but the elements are not limited to these terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

일반적으로, 반도체 기술분야에서 패키징은 반도체를 최종 제품화하는 과정으로서 회로가 설계된 반도체칩에 전기적 신호 등을 전달할 수 있도록 연결하고 외부환경으로부터 안전하게 보호하기 위해 몰딩(Molding)하는 과정을 의미한다. 종래에는 반도체칩의 단일 기능만을 중시하여 DIP(Dual Inline Package)와 같은 삽입실장형 패키징이 주류였지만, 실장면적의 축소 요구에 의해 SOP(Small Outline Package)와 QFP(Quad Flat Package), TSOP(Thin Small Outline Package) 등의 표면실장 형태의 패키징 형상을 거쳐, 최근에는 칩 사이즈와 동일한 크기의 CSP(Chip Size Package)와 여러 개의 칩들을 하나의 패키지로 구성한MCP(Multi Chip Package), SiP(System In Package) 등 초소형화되고 복합화된 형태로 발전하고 있다.In general, in the field of semiconductor technology, packaging is a process of finalizing a semiconductor product, which is a process of connecting a circuit to a semiconductor chip on which a circuit is designed so as to transmit an electrical signal, and molding the semiconductor chip in order to safely protect the semiconductor chip from external environment. In the prior art, insertion-type packaging such as a DIP (Dual Inline Package) has been the mainstream by emphasizing only a single function of a semiconductor chip. However, due to a demand for reduction of a mounting area, a small outline package (SOP), a quad flat package (QFP) (Chip Size Package) which is the same size as the chip size, Multi Chip Package (MCP) which consists of several chips in one package, SiP (System In) Package), and the like.

반도체 패키징 기술에 있어서, 몰딩 공정은 반도체 패키지를 물리적, 전기적, 화학적 충격으로부터 보호하기 위하여 몰딩재료를 이용해 밀봉하여 반도체칩을 보호하고 제품 사용 중에 발생하는 열을 발산하도록 하는 공정이다.In the semiconductor packaging technology, the molding process is a process of sealing a semiconductor package with a molding material to protect the semiconductor package from physical, electrical, and chemical impacts, thereby protecting the semiconductor chip and dissipating heat generated during use of the product.

다시 말해, 반도체칩은 수 많은 미세 전기 회로가 집적되어 있으나 그 자체로는 반도체 완제품으로서의 역할을 할 수 없으며, 외부의 물리적, 화학적 충격에 의해 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위한 기술로 반도체 패키징(Packaging) 기술이 있는데, 이는 반도체칩을 기판(Lead-frame or PCB: Printed Circuit Board)에 탑재하여 전기적으로 연결하고, 외부의 습기나 불순물로부터 보호할 수 있게 EMC(Epoxy Molding Compound) 등으로 밀봉 포장하여 반도체로서 기능을 할 수 있게 해주는 기술을 말한다. 나아가, 본 발명의 일 실시예에서는 EMC를 이용하여 패키징 이외에도 반도체칩의 소형화, 패키징 방식의 변화 등에 따라 액상봉지제에 의한 몰딩도 가능하다. In other words, a semiconductor chip has many microelectronic circuits integrated therein, but can not serve as a semiconductor article itself and can be damaged by external physical and chemical impacts. In order to prevent this, there is a semiconductor packaging technology, which is to mount a semiconductor chip on a lead-frame or printed circuit board (PCB) and electrically connect it. To protect it from external moisture and impurities, EMC (Epoxy Molding Compound), etc., to function as a semiconductor. Furthermore, in the embodiment of the present invention, besides packaging using EMC, miniaturization of the semiconductor chip, molding by the liquid encapsulant is also possible according to the change of the packaging method.

상기 반도체 패키징은 반도체칩을 각종 기판(Lead Frame, Package Substrate 등)과 연결하는 단계와 상기 기판(Substrate)과 메인 보드를 연결하는 단계로 구분할 수 있다. 두 번째 단계는 엄밀한 의미에서의 패키징이라기보다는 어셈블리(assembly) 공정으로 정의해야 할 것이나, 광의의 패키징 범위에 포함될 수도 있다. The semiconductor packaging may be divided into a step of connecting the semiconductor chip to various substrates (Lead Frame, Package Substrate, etc.), and a step of connecting the substrate (Substrate) and the main board. The second step should be defined as an assembly process rather than a rigorous packaging, but it may be included in a wide range of packaging.

첫번째 단계를 수행하는 방법으로는 메탈 와이어링(Metal Wiring) 방식과 범핑(Bumping) 방식의 두 가지 방법이 있으며, 두번째 단계를 수행하는 방법으로는 리드 프레임(Lead Frame)을 사용하는 방식과 볼(Ball)을 사용하는 방식(BGA: Ball Grid Array)이 있다.There are two methods to perform the first step: metal wiring method and bumping method. As a method of performing the second step, there are a method using a lead frame and a method using a ball Ball (BGA: Ball Grid Array).

본 발명의 일 실시예에서는 상기 첫번째 단계에 의해 이루어지는 구조를 상부 구조라 칭하고, 두번째 단계에 의해 이루어지는 구조를 하부 구조라 칭하기로 한다.In an embodiment of the present invention, the structure formed by the first step is referred to as an upper structure, and the structure formed by the second step is referred to as a lower structure.

즉, 상기 상부 구조는 반도체칩과 기판(Substrate)간의 연결부를 의미하고, 상기 하부 구조는 기판(Substrate)과 메인 보드(Main Board)간의 연결부를 의미한다. 상기 반도체칩은 CPU, GPU, 각종 ASIC 등 비메모리 반도체와 DRAM, 플래시 메모리(Flash Memory) 등 메모리 반도체 모두를 포함한다. 상기 기판(Substrate)은 전통적인 리드 프레임(Lead Frame) 방식과 볼(Ball) 방식(Package Substrate, BGA, CSP 등으로 다양하게 불림)의 두 가지 모두를 포함한다. 메인 보드는 전자 제품 회로부의 베이스를 이루는 PCB(Printed Circuit Board)를 의미하며, PC의 마더 모드(Mother Board)나 휴대폰 메인 보드(Main Board)등이 여기에 해당된다.That is, the upper structure means a connection portion between a semiconductor chip and a substrate, and the lower structure means a connection portion between a substrate and a main board. The semiconductor chip includes a non-memory semiconductor such as a CPU, a GPU, various ASICs, and a memory semiconductor such as a DRAM and a flash memory. The substrate includes both a conventional lead frame method and a ball method (variously referred to as a package substrate, BGA, CSP, etc.). The main board means a PCB (Printed Circuit Board) which forms the base of the electronic circuit part, and the mother board of the PC, the main board of the mobile phone, and so on.

한편, 3차원(3D)으로 IC를 적층하는 기술은 웨이퍼-온-웨이퍼(wafer-on-wafer), 다이-온-웨이퍼(die-on-wafer), 다이-온-다이(die-on-die), 및 패키지-온-패키지(package-on-package,PoP)를 포함할 수 있다. 일예로, 상기 패키지-온-패키지 구조물의 전형적인 형성 공정에 있어서, 2개 또는 그 이상의 IC 패키지는 그들 사이의 신호를 라우팅하기 위해 전기 및 통신 인터페이스를 가지면서 서로의 위에 적층된다. 이는 휴대폰, 개인용 정보 단말기(personal digital assistant)(PDA), 및 디지털 카메라와 같은, 디바이스에 더 높은 부품 밀도를 허용한다. 특히, LPDDR(Low Power DDR)은 스마트폰, 태블릿 PC등 모바일 기기에 사용하기 위해 개발된 DDR SDRAM으로 전력소모가 적다는 특징이 있는데, 본 발명의 일 실시예는 이와 관련된 기술이다. 이때, 상기 LPDDR은 NAND 메모리보다 얇고 면적이 크기 때문에 열에 보다 취약하여 보다 쉽게 휨(warpage)이 발생한다는 단점이 있다.On the other hand, the technique of laminating ICs in three-dimensional (3D) form is known as wafer-on-wafer, die-on-wafer, die- die, and package-on-package (PoP). For example, in a typical formation process of the package-on-package structure, two or more IC packages are stacked on top of each other with electrical and communication interfaces to route signals between them. This allows devices with higher component densities, such as mobile phones, personal digital assistants (PDAs), and digital cameras. Particularly, LPDDR (Low Power DDR) is a DDR SDRAM developed for use in a mobile device such as a smart phone, a tablet PC, and the like, and is characterized by low power consumption. At this time, since the LPDDR is thinner than the NAND memory and has a large area, the LPDDR is more vulnerable to heat, resulting in warpage.

한편, 반도체 제조 공정은 웨이퍼 위에 회로를 형성시키는 전 공정(FE:Front-End)과 후 공정(BE:Back-End)으로 구분되어지고, 전 공정은 다시 웨이퍼 확산(Wafer Diffusion) 공정과 웨이퍼 테스트(Wafer Test) 공정으로 나뉘고, 후 공정은 다시 패키징 공정(또는 Assembly 공정)과 테스트 공정으로 나뉘게 된다.Meanwhile, the semiconductor manufacturing process is divided into a front-end (FE) and a back-end (BE) in which a circuit is formed on a wafer, and the entire process is divided into a wafer diffusion process (Wafer test) process, and the post-process is divided into a packaging process (or assembly process) and a test process.

본 발명의 일 실시예는 상기 후공정 중 특히, 패키징 공정과 관련된 것으로, 상기 반도체 패키징 공정을 대략적으로 살펴보면 다음과 같다.One embodiment of the present invention relates to the post-process, particularly, the packaging process, and the semiconductor packaging process will be briefly described below.

반도체 패키징 공정은 비결정실리카, 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 등이 함유된 연마액을 사용하여 반도체 전공정에서 가공된 웨이퍼의 후면을 얇게 갈아내는 공정인 후면연마(Back Grinding) 공정, 계면활성제 등이 함유된 절삭액 등을 사용하여 상기 웨이퍼를 개별 단위(net die)로 잘라내는 공정인 웨이퍼 절단(Wafer Sawing(Dicing)) 공정, 상기 잘려진 칩을 에폭시수지, 페놀수지 등이 함유된 접착제를 사용하여 기판(substrate)에 붙여 고정하는 공정인 칩 접착(Die Attaching) 공정, Gold Wire와 같은 금속선으로 칩을 전기적으로 연결하는 공정인 와이어 접착(Wire Bonding) 공정, 에폭시수지, 페놀수지, 실리카 등으로 구성된 에폭시몰딩컴파운드(EMC) 등을 사용하여 칩을 외부 환경으로부터 보호하기 위하여 수지로 감싸주는 공정인 몰딩(Molding) 공정, 레이저로 개별 제품에 제품 정보를 새기는 공정인 레이저 인쇄(Laser Marking) 공정, 회로기판에 플럭스(flux)를 도포하고, 솔더볼(solder ball)을 붙여 아웃단자를 만드는 공정인 솔더볼 부착(Solder Ball Mount) 공정, 모듈/보드/카드에 실장하도록 개별 반도체로 잘라내는 공정인 패키지 절단(Package Sawing) 공정을 포함하여 이루어진다.The semiconductor packaging process uses a polishing liquid containing amorphous silica, tetramethylammonium hydroxide (TMAH) or the like, a back grinding process which is a process of thinly wiping the rear surface of a wafer processed in a semiconductor whole process, a surfactant and the like A wafer cutting (dicing) process, which is a process of cutting the wafer into individual die (s) using a cutting fluid or the like contained in the wafer, a step of cutting the wafer with an adhesive containing an epoxy resin, It is composed of a die attaching process which is a process of sticking and fixing to a substrate, a wire bonding process which is a process of electrically connecting a chip to a metal wire such as gold wire, an epoxy resin, a phenol resin, Epoxy molding compound (EMC) to protect the chip from the external environment, the molding process, which is the process of wrapping the resin, Laser marking process, process of inserting product information, solder ball mounting process which applies flux to circuit board and attaches solder ball to make out terminal, module / board / Package Sawing process, which is a process of cutting into individual semiconductors to be mounted on a card.

이때, 도 1은 본 발명과 관련된 반도체 패키지(100)의 단면도인데, 도 1을 참조하면, 반도체칩(110)이 기판(120)에 부착된 상태의 반도체 패키지(100)는 일반적으로 반도체칩(110)과 기판(120), 금속선(130)(or 범프), 솔더볼(140)(or 리드프레임), 몰딩 컴파운드(150), 접착제(160) 등으로 구성되어 있다. 각 구성 요소별 기능을 살펴보면 다음과 같다. 본 발명의 일 실시예에서는 상기 반도체칩(110)이 패키지화된 부품을 반도체 패키지(100)로 명명하기로 한다.1 is a cross-sectional view of a semiconductor package 100 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, a semiconductor package 100 with a semiconductor chip 110 attached to a substrate 120 is generally referred to as a semiconductor chip 100 A solder ball 140 or a lead frame, a molding compound 150, an adhesive 160, and the like. The function of each component is as follows. In an embodiment of the present invention, the semiconductor package 110 is referred to as a semiconductor package 100.

먼저, 기판(120)(Substrate)은 반도체칩(110)이 실장되는 부재이며, 반도체칩(110)과 메인 PCB간 전기적 신호의 연결 통로의 역할을 하며, 절연층 위에 전기적 신호를 전달할 수 있는 도체를 배열한 구조로서, 반도체칩(110)의 미세한 배선을 메인 PCB의 스케일로 변환시켜 준다.The substrate 120 is a member on which the semiconductor chip 110 is mounted and serves as a connection path for electrical signals between the semiconductor chip 110 and the main PCB, And converts the fine wiring of the semiconductor chip 110 into a scale of the main PCB.

금속선(130)(Metal Wire)은 반도체칩(110)과 기판(120) 사이를 연결하며, 주로 금(Au)이나 구리(Cu) 등이 사용되는데, 반도체칩(110)의 패드(Pad) 위에 돌기를 형성시킨 범프(Bump)가 금속선(130) 대신 사용되기도 한다.The metal wire 130 connects between the semiconductor chip 110 and the substrate 120 and is mainly made of gold (Au) or copper (Cu). The metal wire 130 is formed on the pad of the semiconductor chip 110 A bump that forms a protrusion may be used instead of the metal wire 130.

솔더볼(140)(Solder Ball)은 기판(120)과 메인 PCB를 연결시켜주는 기능을 하는 것으로, 상기 솔더볼(140) 대신 리드프레임(lead frame)이 사용될 수도 있다. The solder ball 140 serves to connect the substrate 120 to the main PCB. Instead of the solder ball 140, a lead frame may be used.

몰딩 컴파운드(150)(Molding Compound)는 제품 성형 및 부품고정을 위해 사용된다. 몰딩 컴파운드(150)의 재료는 세라믹, 금속, 플라스틱 등이 사용될 수 있으며, 값이 저렴한 플라스틱이 많이 사용된다. 본 발명의 일 실시예에서는, 에폭시 수지에 실리카 등의 무기재료와 각종 부재료(경화재, 난연재, 이형제등)가 첨가된 EMC(Epoxy Molding Compound)를 사용하였다.The molding compound (150) (Molding Compound) is used for product molding and component fixing. Ceramic, metal, plastic and the like can be used as the material of the molding compound 150, and a plastic having a low price is used in many cases. In one embodiment of the present invention, an EMC (Epoxy Molding Compound) to which an inorganic material such as silica and various sub materials (a hardening material, a flame retardant, a release agent, etc.) are added to an epoxy resin is used.

한편, 상기 범프(Bump)는 반도체칩(110)을 기판(120)에 탭(TAB) 또는 플립칩(Flip Chip) 방식으로 연결하거나, BGA와 CSP등을 회로기판에 직접 접속하기 위한 전도성 돌기를 지칭한다. 본딩 와이어(Bonding Wire)와 마찬가지로 범프의 소재로는 금이 사용되거나 솔더(Solder)가 사용될 수 있다. 상기 솔더의 소재로는 납과 주석(Pb+Sn) 또는 SAC(Sn-Ag-Cu: 주석-은-구리)가 사용될 수 있다. The bump connects the semiconductor chip 110 to the substrate 120 by a TAB or a flip chip method or a conductive protrusion for directly connecting the BGA and the CSP to the circuit board Quot; Like the Bonding Wire, gold can be used as the material of the bump or solder can be used. As the material of the solder, lead and tin (Pb + Sn) or SAC (Sn-Ag-Cu: tin-silver-copper) may be used.

몰딩 공정이 종료된 후, 개개 단위의 반도체 패키지가 되도록 몰딩수지와 리드의 소잉라인(Sawing Line)을 따라 소잉을 하는 싱귤레이션(Singulation) 공정이 진행된다.After the molding process is completed, a singulation process is performed in which the molding resin and the lead are sowed along a sawing line so as to be an individual semiconductor package.

본 발명의 일 실시예에서는 이미 생산되어 사용되었거나 불량 등의 이유로 사용되지 않은 반도체 패키지를 재활용하는 기술에 관한 것으로, 특히 PoP 패키지에서의 패키지를 재활용하는 기술에 관한 것이다. In particular, the present invention relates to a technique for recycling a semiconductor package that has been produced and used or is not used for reasons such as defects, and more particularly to a technique for recycling a package in a PoP package.

먼저, 도 2는 본 발명과 관련된 재활용 반도체 패키지의 전처리 공정 순서도이고, 도 8은 본 발명과 관련된 적층형 반도체 패키지인 PoP 패키지(200)의 개략적인 모식도인데, 이하에서는 도 2 및 도 8을 참조하여 재활용하고자 하는 반도체 패키지의 전처리(pre-treatment) 공정에 대하여 설명하기로 한다. 상기 전처리 공정은 주로 재활용하고자 하는 반도체 패키지(또는 반도체칩)를 분리해내는 공정과 관련된 것이다. 본 발명의 일 실시예는 PoP(Package on Package)와 같은 형태로 적층 형성된 반도체 패키지(200)의 일부를 회수하여 재활용하는 방법에 관한 것으로, PoP 구조는 일예로 모바일 DRAM(또는 LPDDR) 칩 패키지(이하 제1 반도체 패키지(200a)라 한다)과 모바일 어플리케이션 프로세서(Application Processor, AP) 칩 패키지(이하 제2 반도체 패키지(200b)라 한다)를 적층하는 데에 적용되는 기술이다. PoP는 패키지 위에 패키지를 이중으로 적층하기 때문에 단위 면적당 효율성을 극대화할 수 있다. PoP는 모바일 LPDDR 칩 패키지(200a)와 모바일 AP 칩 패키지(200b)를 적층하는 데 사용될 수 있을 뿐만 아니라 모바일 AP 칩 패키지와 통신용 베이스밴드 칩 패키지를 적층하는 데에도 적용된다.2 is a schematic diagram of a preprocessing process of a recycled semiconductor package according to the present invention. FIG. 8 is a schematic diagram of a PoP package 200 as a stacked semiconductor package according to the present invention. Referring to FIGS. 2 and 8 A pre-treatment process of a semiconductor package to be recycled will be described. The preprocessing process mainly relates to a process of separating a semiconductor package (or a semiconductor chip) to be recycled. One embodiment of the present invention relates to a method for recovering and recycling a part of a semiconductor package 200 stacked in the form of a package on package (PoP), wherein the PoP structure is formed by, for example, a mobile DRAM (or LPDDR) (Hereinafter referred to as a first semiconductor package 200a) and a mobile application processor (AP) chip package (hereinafter referred to as a second semiconductor package 200b). PoP stacks the package on top of the package, maximizing efficiency per unit area. The PoP can be used not only for stacking the mobile LPDDR chip package 200a and the mobile AP chip package 200b but also for stacking the mobile AP chip package and the baseband chip package for communication.

즉, 본 발명의 일 실시예는 주로 PoP, 보다 구체적으로는 모바일 LPDDR 칩 패키지(제1 반도체 패키지(200a))와 모바일 AP 칩 패키지(제2 반도체 패키지(200b))에서의 제1 반도체 패키지(200a) 또는 제2 반도체 패키지(200b)를 재활용하거나, 통신용 베이스밴드 칩 패키지(제1 반도체 패키지(200a))와 모바일 AP 칩 패키지(제2 반도체 패키지(200b))에서의 칩 패키지를 재활용하는데 적용될 수도 있다. 이때, PoP에 적용되는 칩(DRAM, AP, BB)은 다른 칩들에 비하여 상대적으로 크기 때문에 패키징 공간을 최소화할 필요가 있으며, 이를 해결하기 위하여 제2 반도체 패키지(200b) 위에 또 다른 패키지인 제1 반도체 패키지(200a)가 이중으로 적층함으로써 PoP는 패키징 공간을 최소화할 수 있다. In other words, one embodiment of the present invention mainly includes a first semiconductor package (first package) 200 in a PoP, more specifically a mobile LPDDR chip package (first semiconductor package 200a) and a mobile AP chip package (second semiconductor package 200b) The first semiconductor package 200a or the second semiconductor package 200b or to recycle the chip package in the communication baseband chip package (first semiconductor package 200a) and the mobile AP chip package (second semiconductor package 200b) It is possible. At this time, since the chips (DRAM, AP, BB) applied to the PoP are relatively larger than other chips, it is necessary to minimize the packaging space. In order to solve this, the second semiconductor package 200b, The PoP can minimize the packaging space by stacking the semiconductor package 200a in a double-layer structure.

재활용하고자 하는 반도체 패키지(200)가 입고되면 입고 및 수입 검사(S110)를 실시한다. 이 과정에서 반출 수량을 확인함과 동시에 원자재의 불량 여부를 육안으로 확인한다. 이후, 보드(board) 상태로 베이킹(baking) 공정(S120)을 약 125℃에서 240분 정도 실시하여 보드에 남아 있는 습기를 제거한다. 이때, 1차적으로 반도체 패키지에 열이 가해진다. 이때의 보드는 상기 제1 반도체 패키지(200a) 및 제2 반도체 패키지(200b)를 모두 포함한 상태이다.When the semiconductor package 200 to be recycled is received, the goods receipt and import inspection (S110) are performed. In this process, the quantity of the exported material is checked and the raw material is visually checked for defects. Then, a baking step (S120) is performed in a board state at about 125 캜 for 240 minutes to remove moisture remaining on the board. At this time, heat is primarily applied to the semiconductor package. At this time, the board includes both the first semiconductor package 200a and the second semiconductor package 200b.

종래에는 반도체 패키지 공정에서 주석(Sn)과 납(Pb)을 주성분으로 하는 납땜을 실시하여 220℃ 이하의 온도에서 패키징이 가능하였다. 그러나, 최근에는 납을 사용하지 못하게 되어, 주석에 은(Ag) 및 구리(Cu)가 추가됨으로써 녹는점이 약 221℃로 이전 보다 높아졌다. 이에 종래에는 220℃ 이하의 온도에서 가능했던 공정이 불가능하게 되었으며, 원활한 공정을 위해서는 적어도 245℃ 이상의 온도를 유지해야만 한다. 이와 같이, 공정 온도가 높아짐으로써 휨에는 더욱 좋지 않은 영향을 미치게 된 것이다. 만약, 베이킹 작업을 거치지 않은 경우에는 보드에서 크랙(crack) 또는 구멍(hole)이 생길 수 있다.Conventionally, soldering was performed using tin (Sn) and lead (Pb) as main components in a semiconductor package process, and packaging was possible at a temperature of 220 ° C or lower. In recent years, however, lead has been unable to be used, and silver (Ag) and copper (Cu) have been added to the tin, thereby melting it to about 221 캜. Conventionally, a process that can be performed at a temperature of 220 ° C or lower has become impossible, and a temperature of at least 245 ° C must be maintained for a smooth process. As described above, the higher the process temperature, the worse the warpage is. If it is not baked, cracks or holes may be formed on the board.

그리고, 분리(detach) 장비 상에 입고된 반도체 패키지(200)를 적치한 상태에서 245℃ 이상의 온도 에서 분리 툴(detach tool)을 이용하여 목표로 하는 반도체 패키지(200a)를 분리(S130)한다. 이때, 상기 제1 반도체 패키지(200a)에 1차적으로 열을 가하게 된다. 분리 공정 중에 현미경(microscope)으로 타겟 반도체 패키지인 제1 반도체 패키지(200a)에 패키지 크랙(crack) 또는 스크래치(scratch) 등이 있는지 확인한다.Then, the target semiconductor package 200a is separated (S130) by using a detach tool at a temperature of 245 ° C or more under the condition that the semiconductor package 200 is placed on the detachment equipment. At this time, heat is applied to the first semiconductor package 200a. During the separation process, a microscope is used to confirm whether there is a package crack or a scratch in the first semiconductor package 200a, which is a target semiconductor package.

이후 제1 반도체 패키지(200a)의 에지(edge)에 돌출되어 있는 언더필(underfill)이 있는 경우에는 언더필을 제거하고, 상기 제1 반도체 패키지(200a)의 볼 패드(ball pad) 면에 묻어 있는 잔여 솔더 및 언더필을 제거한다. 이때의 언더필은 열경화성 수지일 수 있다. 이러한 공정을 본 발명의 일 실시예에서는 드레싱(dressing) 공정(S140)이라 칭하기로 한다. 상기 드레싱 공정은 약 250℃에서 60초가 수행되면서 상기 제1 반도체 패키지(200a)에 2차적으로 열을 가하게 된다. 이후, 언더필 제거 및 드레싱 공정에서 남은 플럭스 및 잔여물을 제거하는 세척 및 건조(cleaning and dry) 공정(S150)을 거친다. 이때의 세척은 증류수(de-ionized water, DI water)로 실시한다. 상기 플럭스가 수용성인 경우에는 물에 녹을 수 있으므로 순수한 물(pure water)인 DI water를 이용하여 브러시 등으로 세척할 수 있다. 그리고, 상기 제1 반도체 패키지(200a)의 크랙, 스크래치 발생 유무 등을 검사하고, 패턴이 들떴는지(lift) 여부 등을 검사한다. 이와 같은 전처리 공정에 의해 재활용하고자 하는 반도체 패키지(200a)가 입고된 반도체 패키지(200)로부터 분리되고, 솔더(solder)가 제거된 상태가 된다. If there is an underfill protruding from an edge of the first semiconductor package 200a, the underfill is removed and the remaining portion of the first semiconductor package 200a, which is buried on the ball pad surface of the first semiconductor package 200a, Remove solder and underfill. The underfill at this time may be a thermosetting resin. Such a process will be referred to as a dressing process (S140) in an embodiment of the present invention. The dressing process is performed at about 250 ° C for 60 seconds to heat the first semiconductor package 200a. Thereafter, the underfill removal and cleaning and drying process (S150) is performed to remove remaining flux and residues from the dressing process. The cleaning is carried out with de-ionized water (DI water). When the flux is water-soluble, it may be dissolved in water. Therefore, it may be cleaned with pure water using DI water as a pure water. Then, the first semiconductor package 200a is inspected for cracks, scratches, and the like, and it is checked whether the pattern is lifted (lift) or the like. By this pre-treatment process, the semiconductor package 200a to be recycled is separated from the received semiconductor package 200, and the solder is removed.

이러한 전처리 공정이 완료되면, 제1 반도체 패키지(200a)를 재몰딩(remolding)하게 된다. 재몰딩 공정 이후에, 반도체칩 표면에 플럭스를 도포한 다음 매뉴얼 스텐실(manual stencil) 등의 장비로 솔더 볼(solder ball)을 형성하는 솔더 볼 부착(solder ball attach) 공정을 거친 다음, 솔더 볼이 사라지거나 인접해 있는 솔더 볼과 접촉되었는지 유무를 검사한다. 이후, 리플로우(reflow)를 이용하여 약 250℃에서 솔더링(soldering)을 실시한다. 이때의 솔더링 공정에 의해 상기 제1 반도체 패키지(200a)에 3차적으로 열을 가하게 된다. 이때의 검사는 솔더 볼이 분실되었는지(missing ball) 또는 두 개 이상의 솔더 볼이 서로 접촉하고 있는지(double ball) 여부 등을 확인하는 단계이다. When the preprocessing process is completed, the first semiconductor package 200a is remolded. After the remolding process, the flux is applied to the surface of the semiconductor chip, followed by a solder ball attaching process for forming a solder ball with a device such as a manual stencil, Inspect for contact with solder balls that are missing or adjacent. Thereafter, soldering is performed at about 250 캜 using reflow. The first semiconductor package 200a is thermally heated by the soldering process at this time. The test is to check whether the solder ball is missing or whether two or more solder balls are in contact with each other (double ball).

이후에는 고객사의 요청에 맞춰서 진공 포장 등을 하여 납품을 진행한다.After that, we will supply vacuum packaging etc. according to customer's request.

이와 같이, 반도체 패키지를 제조하는 공정에서 뿐만 아니라 재활용하는 과정에서도 반도체 패키지에 열이 3회 정도 가해진다. 이러한 열에 의해 제1 반도체 패키지(200a)는 휨 현상(warpage)이 발생하게 되는데, 본 발명의 일 실시예에서는 이러한 휨 현상을 개선함과 동시에 제1 반도체 패키지(200a)의 재활용이 가능하도록 하였다.As described above, heat is applied to the semiconductor package three times not only in the process of manufacturing the semiconductor package but also in the process of recycling. This heat causes warpage of the first semiconductor package 200a. In one embodiment of the present invention, the first semiconductor package 200a can be recycled while the warping phenomenon is improved.

한편, 반도체 패키지의 휨은 일반적으로 공정 중의 온도에 따라서 다양하게 발생된다. 즉 EMC 몰딩 과정에서 큐어링(curing)과 냉각 공정 중에 발생하며, 또한 솔더를 리플로우(reflow)하는 과정 중에도 발생한다. 휨이 발생하는 이유는 사용된 패키지 재료들의 열팽창계수(Coefficient Thermal Expansion, CTE)의 차이에 의하여 발생된 열응력 때문이다. 보다 구체적으로, 휨 현상 및 깨짐의 발생은 패키징 공정 중 서로 다른 열팽창계수 및 온도 차이에 의해 발생된 열응력과 내부 잔류 응력에 의해 발생된다. 패키지의 휨 현상은 패키지의 구조, 패키지 재료들의 물성 및 공정 조건에 좌우된다. 따라서 적절한 패키지 재료의 선택과 패키지 구조가 필요하다. 이는 반도체 패키지를 재활용하기 위한 패키징(재몰딩) 공정에서도 마찬가지이다.On the other hand, the warpage of the semiconductor package generally varies depending on the temperature during the process. Ie during the curing and cooling process in the EMC molding process and also during the process of reflowing the solder. The reason for the warpage is due to thermal stresses caused by differences in the coefficient of thermal expansion (CTE) of the package materials used. More specifically, the occurrence of warping and cracking is caused by thermal stresses and internal residual stresses caused by different thermal expansion coefficients and temperature differences during the packaging process. The warpage of the package depends on the structure of the package, the physical properties of the package materials, and the process conditions. Therefore, proper package material selection and package structure are required. This is also true of the packaging (remolding) process for recycling semiconductor packages.

반도체 패키지의 휨 현상은 캔틸레버 빔(cantilever beam) 모형을 이용하여 정의할 수 있다. 서로 다른 물성을 갖는 이종 빔이 접합되어 있을 경우, 가해진 온도에 의하여 휨 현상이 발생한다. 패키지에서의 휨 현상을 발생시키는 가장 큰 요인은 이종 재료간의 열팽창계수(단위는 ppm/℃) 차이이다. 패키지를 제조하는 공정 중에 불가피하게 발생하는 고온 공정으로 인하여 휨 현상이 발생하게 되고, 재료의 CTE에 따라 휨의 양상이 결정되게 된다. 가장 대표적으로 휨 현상이 발생하는 공정은 몰딩 공정으로써, 상기 몰딩 공정에서 주로 인가되는 온도는 약 120℃ ~ 180℃이다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서의 재몰딩 공정에서의 온도는 대략 170~180℃로 한정한다. The deflection phenomenon of the semiconductor package can be defined using a cantilever beam model. When a hetero-beam having different physical properties is bonded, a warping phenomenon occurs due to the applied temperature. The largest factor causing the warpage in the package is the thermal expansion coefficient (unit: ppm / ° C) difference between different materials. The warpage phenomenon occurs due to the high temperature process unavoidably generated in the process of manufacturing the package, and the warping aspect is determined according to the CTE of the material. The most typical example of a process in which a bending phenomenon occurs is a molding process, and a temperature mainly applied in the molding process is about 120 ° C to 180 ° C. In particular, the temperature in the remolding process in one embodiment of the present invention is limited to approximately 170-180 占 폚.

EMC와 반도체칩 사이의 CTE 차이에 의해 약 170℃에서 상온(25℃)으로 온도가 변화함에 따라 반도체 패키지의 휨 현상이 발생되며, 패키지가 위로 볼록한 형태의 경우에는 네거티브(negative) 혹은 크라잉(crying) 휨(warpage)이라 칭하고, 아래로 오목한 경우에는 포지티브(positive) 또는 스마일(smile) 휨(warpage) 이라고 칭한다. Due to the difference in CTE between the EMC and the semiconductor chip, a semiconductor package is warped as temperature changes from about 170 ° C to room temperature (25 ° C). When the package is convex, negative or crying Quot; warpage ", and in the case of concave downward, it is referred to as a positive or smile warpage.

반도체 패키지에서 휨(warpage) 변형이 발생하는 구체적인 이유를 살펴보면 다음과 같다. 반도체 패키지 내부를 자세히 들여다보면 반도체 패키지를 구성하는 몇 가지 전형적인 재료가 있다. 실리콘(Si)으로 이루어진 반도체칩, 상기 반도체칩을 고정해 전기적인 배선을 가능하게 하는 구리(Cu)소재의 리드 프레임(Lead frame), 혹은 폴리머(Polymer) 소재의 기판(substrate), 상기 반도체칩을 리드 프레임이나 기판에 접착시키는 열경화성 수지 접착제인 접착제(Adhesive) 혹은 언더필(Underfill,UF), 그리고 이 모든 것을 감싸 덮어 주는 EMC (Epoxy Molding Compound)가 있다. 또한, 상기 반도체칩과 리드프레임/기판과 전기적인 통로가 되는 골드 와이어(Gold(Au) wire) / 주석 범프(Tin (Sn) bump) 등이 있다.The specific reasons why warpage deformation occurs in a semiconductor package are as follows. Looking closely at the interior of a semiconductor package, there are some typical materials that make up a semiconductor package. A semiconductor chip made of silicon (Si), a lead frame made of a copper (Cu) material or a substrate made of a polymer material for fixing the semiconductor chip to enable electrical wiring, (Adhesive) or underfill (UF), which is a thermosetting resin adhesive that adheres to a lead frame or a substrate, and EMC (Epoxy Molding Compound), which covers all of them. Further, gold (Au) wire / tin (Sn) bump which is an electrical path between the semiconductor chip and the lead frame / substrate and the like are available.

본 발명의 일 실시예에서 반도체 패키지를 재활용하는 과정에서 반도체칩을 포함한 반도체 패키지가 가열되는 경우가 있는데, 높게는 270℃ 정도까지 온도가 가해진다. 이러한 과정에서 반도체 패키지(200a)에 휨이 발생하게 된다.In one embodiment of the present invention, a semiconductor package including a semiconductor chip is heated in a process of recycling a semiconductor package. The temperature is as high as about 270 ° C. In this process, the semiconductor package 200a is warped.

상기 반도체칩이 AP(Application Processor), 기판(substrate) 또는 인쇄회로기판(PCB)과 같은 보드(board)에 부착되어 사용되는 경우 반도체칩과 보드 사이의 열팽창의 차이로 솔더 접합부의 수명에 영향을 미치게 되고, 솔더 접합부의 반복적인 변형에 의해 결국 깨짐(crack)이 발생할 수 있다. 이를 위해 반도체칩(또는 반도체 패키지)과 보드와의 열팽창 차이를 줄이는 것이 중요하다.When the semiconductor chip is attached to a board such as an AP (Application Processor), a substrate or a printed circuit board (PCB), the difference in thermal expansion between the semiconductor chip and the board affects the life of the solder joint. And cracks may eventually occur due to repetitive deformation of the solder joint. For this purpose, it is important to reduce the difference in thermal expansion between the semiconductor chip (or semiconductor package) and the board.

따라서 이때에는 반도체칩과 유사한 열팽창계수를 갖는 EMC를 사용하는 것이 휨을 최소화할 수 있는 방안이다. 그러나 현실적으로 반도체칩과 유사한 열팽창계수를 갖는 EMC를 개발하는 것은 매우 힘들기 때문에 EMC의 열팽창계수를 가능한 낮게 하는 것이 필요하다.Therefore, at this time, using the EMC having a thermal expansion coefficient similar to that of the semiconductor chip is a method that minimizes warping. However, in reality, it is very difficult to develop an EMC having a thermal expansion coefficient similar to that of a semiconductor chip, so it is necessary to make the thermal expansion coefficient of EMC as low as possible.

나아가, 열팽창계수가 낮은 EMC를 사용하는 것 외에 유리천이온도(Tg)가 높은 EMC를 사용하는 방법도 고려할 수 있다. 통상적으로 EMC의 열팽창계수는 Tg를 기준으로 크게 증가하기 때문에 EMC 재료의 Tg가 몰딩 온도 보다 높게 되면 Tg 전의 CTE만이 반도체 패키지의 휨에 영향을 미치기 때문에 Tg를 올림으로서 반도체 패키지의 휨을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수도 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 몰딩 컴파운드(150)의 유리천이온도가 180℃ 이상인 것을 사용한다. Furthermore, in addition to using an EMC having a low thermal expansion coefficient, a method using an EMC having a high glass transition temperature (Tg) may be considered. Normally, the thermal expansion coefficient of EMC greatly increases based on Tg. Therefore, if the Tg of the EMC material is higher than the molding temperature, only the CTE before Tg affects the bending of the semiconductor package, Effect can be obtained. That is, in one embodiment of the present invention, the glass transition temperature of the molding compound 150 is 180 ° C or higher.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지(100) 재활용을 위한 장치 및 이를 이용한 반도체 패키지(100) 재활용 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an apparatus for recycling a semiconductor package 100 according to an embodiment of the present invention and a method for recycling a semiconductor package 100 using the apparatus will be described with reference to the drawings.

먼저, 도 3은 본 발명과 관련된 지그의 사시도이고, 도 7은 본 발명과 관련된 반도체칩(110) 재활용 방법에 따른 플로차트(flowchart)인데, 이하에서는 도 3 및 도 7을 참조하여 설명하기로 한다.FIG. 3 is a perspective view of a jig according to the present invention, and FIG. 7 is a flowchart according to a method of recycling a semiconductor chip 110 according to the present invention. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 3 and 7 .

먼저, 본 발명의 일 실시예에서의 반도체 패키지(100)를 재활용하기 위한 지그(10)는 일면에 몰딩(Molding)이 형성되어 있는 반도체 패키지(100)를 재활용하기 위한 장치로, 회수된 다수의 반도체 패키지(100)를 상기 반도체 패키지(100)와 대응되는 크기의 개구부(14, Opening)가 다수 형성되는 금속 플레이트(11)와 상기 금속 플레이트(11)의 일면에 상기 반도체 패키지(100)의 타면과 마주보도록 형성되는 밀봉부재(13)를 포함한다.The jig 10 for recycling the semiconductor package 100 according to an embodiment of the present invention is an apparatus for recycling a semiconductor package 100 having a molding on one surface thereof, The semiconductor package 100 includes a metal plate 11 on which a plurality of openings 14 having a size corresponding to the semiconductor package 100 are formed and a metal plate 11 on one side of the metal plate 11, And a sealing member 13 which is formed to face the sealing member 13.

상기 금속 플레이트(11)는 특별히 제한을 두지는 않으나, 본 발명의 일 실시예에서는 구리 박판으로 제작하여, 비용을 절감함과 동시에 기판과 유사한 기능을 구현할 수 있도록 하였다. Although the metal plate 11 is not particularly limited, it is made of a copper foil in one embodiment of the present invention, so that the cost and the function similar to the board can be realized.

또한, 본 발명의 일 실시예에서는 다수의 반도체칩(110) 또는 반도체 패키지(100)를 동시에 재활용하기 위한 기술에 관한 것이므로, 상기 금속 플레이트(11)에 형성되어 있는 다수의 개구부(14)는 다수의 행과 열로 형성되며 연속적으로 형성된다. 이때의 개구부(14)는 대략 반도체칩(110) 또는 반도체 패키지(100)의 크기와 대응되는 형상으로 대략 정사각형 또는 직사각형의 형상을 갖는다. 엄밀하게는 반도체 패키지(100)의 크기와 대응되는 크기를 갖는다.Since the plurality of semiconductor chips 110 or the semiconductor package 100 are simultaneously recycled in the embodiment of the present invention, the plurality of openings 14 formed in the metal plate 11 may be formed of a plurality of And are continuously formed. The opening 14 at this time corresponds to the size of the semiconductor chip 110 or the semiconductor package 100 and has a substantially square or rectangular shape. It has a size corresponding to the size of the semiconductor package 100 strictly.

본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지(100)을 재활용하는 방법은 휴대폰, SSD, 메모리 모듈 등에 부착되어 있던 것을 분리해낸 반도체칩(110)(Memory IC, Application Processor 등) 또는 제조 공정에서 불량으로 판단된 반도체 패키지(100), 보다 엄밀하게는 반도체칩(110)을 폐기하지 않고 재활용하는 방법에 관한 것이다. A method of recycling the semiconductor package 100 according to an embodiment of the present invention is a method of recycling a semiconductor chip 110 (Memory IC, Application Processor, etc.) that has been attached to a mobile phone, an SSD, a memory module, And more particularly, to a method of recycling the semiconductor chip 110 without discarding it.

일예로, 몰딩면에 레이저 마킹된 부분을 가리기 위한 용도로도 사용될 수 있으며, 일면에 몰딩(Molding)이 형성되어 있는 반도체 패키지(100)을 재활용하는 방법에 대한 것이다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 반도체 패키지(100)의 일면은 반도체 패키지(100)의 정보가 새겨진 상면(Top Surface)을 의미하고, 반도체 패키지(100)의 타면은 솔더볼(140)(Solder Ball)이 형성되는 바닥면(Bottom Surface)을 의미한다.For example, the present invention relates to a method for recycling a semiconductor package 100, which can be used for covering a laser-marked portion on a molding surface and on which molding is formed on one surface. In one embodiment of the present invention, one surface of the semiconductor package 100 is a top surface with information of the semiconductor package 100, and the other surface of the semiconductor package 100 is a solder ball 140 (Bottom Surface).

본 발명의 일 실시예에서 반도체 패키지(100)를 재활용하기 위하여 먼저 재활용하고자 하는 반도체 패키지(100)를 회수(S210)하고, 상기 회수된 반도체 패키지(100)를 상기 반도체 패키지(100)와 대응되는 크기의 개구부(14)가 다수 형성된 지그(10)에 로딩(Loading)(S220)한다. 이때, 상기 개구부(14)는 격벽(12)에 의해 형성되며, 상기 격벽(12)의 내측면에 접촉된 상태로 반도체 패키지(100)가 로딩된다. 상기 격벽(12)은 상기 금속 플레이트(11)에서 개구부(14)를 제외한 나머지 부분으로 이해될 수 있다.In an embodiment of the present invention, in order to recycle the semiconductor package 100, the semiconductor package 100 to be recycled is recovered (S210), and the recovered semiconductor package 100 is removed from the semiconductor package 100 (S220) to a jig 10 having a plurality of openings 14 of a predetermined size. At this time, the opening 14 is formed by the partition 12, and the semiconductor package 100 is loaded in contact with the inner surface of the partition 12. The partition 12 may be understood as a remaining portion of the metal plate 11 except for the opening 14.

한편, 본 발명의 일 실시예에서의 반도체 패키지의 크기는 약간의 오차를 갖지만 일정 크기로 절단되는데, 상기 격벽(12)과 반도체 패키지(100) 사이에는 무시할 수 있을 정도의 간격만 있도록 한다. 이에 의해 상기 반도체 패키지(100)가 상기 지그(10)에 삽입될 때는 억지끼움 방식으로 이루어진다. 이와 같이, 상기 반도체 패키지(100)가 지그(10)에 억지끼움됨으로써 몰딩 컴파운드(150)가 한 곳에 쌓이지 않도록 한다.In the meantime, the size of the semiconductor package in the embodiment of the present invention is cut to a certain size with a slight error. However, there is negligible space between the partition 12 and the semiconductor package 100. Thus, when the semiconductor package 100 is inserted into the jig 10, the semiconductor package 100 is in an interference fit manner. In this manner, the semiconductor package 100 is prevented from being accumulated in the jig 10 due to the interference with the molding compound 150.

상기 회수된 반도체 패키지(100)는 하나의 지그(10)에 다수 개가 동시에 로딩됨으로써 일시에 많은 반도체칩(110)을 재활용할 수 있도록 한다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시예에서는 회수된 다수의 반도체 패키지(100)를 하나의 지그(10)에 로딩하여 일시에 많은 반도체칩(110)을 자동으로 재활용함으로써 종전에 작업자가 직접 수작업으로 하던 것에 비하여 비용 및 시간 측면에서 훨씬 유리하다.The recovered semiconductor packages 100 are loaded on a single jig 10 at the same time so that many semiconductor chips 110 can be recycled at a time. As described above, in one embodiment of the present invention, a plurality of semiconductor packages 100 are loaded on one jig 10 and many semiconductor chips 110 are automatically recycled at a time, Which is much more advantageous in terms of cost and time.

이때, 상기 반도체 패키지(100)를 재몰딩하기 전에 반도체 패키지(100)에 부착되어 있던 이물질을 깨끗이 정리해야 한다. 이러한 과정에서 최초 제조 완성된 반도체 패키지(100)에 형성되어 있던 솔더볼(140)을 제거할 필요가 있다. 왜냐 하면, 반도체 패키지(100)에 형성된 솔더볼(140)을 다른 기판에 1회라도 접착시킨 경우라면 솔더볼(140)에 손상이 가해져 있어 회로기판에 실장하기 곤란하며 전기적으로 기능을 제대로 할 수 없기 때문이다. 즉, 반도체 패키지(100)의 타면에 형성되어 있던 솔더볼(140)의 납을 제거 및 재부착하는 공정(Reball)을 거쳐야 한다. 만약, 솔더볼(140)에 손상이 가해지지 않은 상태의 반도체 패키지(100)라면 솔더볼(140) 제거 및 재부착 공정을 거치지 않을 수 있다.At this time, the foreign substance attached to the semiconductor package 100 must be cleaned up before the semiconductor package 100 is remolded. In this process, it is necessary to remove the solder ball 140 formed in the first semiconductor package 100 manufactured and manufactured. This is because, if the solder ball 140 formed on the semiconductor package 100 is adhered to another substrate even once, the solder ball 140 is damaged and it is difficult to be mounted on the circuit board, to be. That is, the lead of the solder ball 140 formed on the other surface of the semiconductor package 100 must be removed and re-attached. If the semiconductor package 100 is not damaged in the solder ball 140, the solder ball 140 may not be removed and re-attached.

이후, 상기 지그(10)에 로딩된 반도체 패키지(100)의 일면을 재몰딩(Remolding)(S230)한 다. 본 발명의 일 실시예에서는 이미 제조 공정이 완료되었던 반도체 패키지(100)를 재활용하는 것으로, 최초 제조 공정에서 반도체칩(110)에 1차적으로 몰딩된 바 있으며, 이후에 몰딩하는 것이므로 재몰딩(remolding) 또는 2차 몰딩(second molding)이라 칭할 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서는 반도체 패키지(100)에 몰딩된 상태에서 재차 몰딩을 실시하게 된다. 상기 재몰딩 공정은 반도체칩(110)과 기판(120) 부재의 일부를 몰딩 수지로 몰딩하는 집적회로 패키지 몰딩 장치로 수행하는데, 이러한 몰딩 장치는 상부 금형 및 하부 금형으로 이루어진다. 상부 금형에는 몰딩이 이루어지는 몰딩 공간을 형성하기 위해 그 하면 상에 함몰되는 홈 형태의 몰딩홈이 형성되고, 하부 금형의 상면에는 반도체 패키지(100)가 고정 설치된다. 그리고, 상부 금형이 하부 금형에 서로 밀착 가압된 후 몰딩홈 내부에 몰딩수지가 주입되면서 반도체 패키지(100)(SD)에 대한 몰딩 공정이 수행된다.Thereafter, the semiconductor package 100 loaded on the jig 10 is remolded (S230). In one embodiment of the present invention, the semiconductor package 100, which has already been manufactured, is recycled. Since the semiconductor chip 110 is primarily molded on the semiconductor chip 110 in the initial manufacturing process and is then molded, ) Or second molding. That is, in one embodiment of the present invention, molding is performed again in a state that the semiconductor package 100 is molded. The remolding process is performed by an integrated circuit package molding apparatus that molds the semiconductor chip 110 and a part of the substrate 120 with a molding resin. The molding apparatus includes an upper mold and a lower mold. The upper mold has a groove-shaped molding groove recessed on the lower surface thereof to form a molding space for molding, and the semiconductor package 100 is fixed to the upper surface of the lower mold. After the upper mold is pressed against the lower mold, the molding resin is injected into the molding cavity, and the molding process for the semiconductor package 100 (SD) is performed.

이와 같이, 재몰딩을 함으로써 반도체 패키지(100)의 상면에 형성되어 있던 기존의 제품 정보를 가릴 수 있게 된다. 이때의 재몰딩 두께는 인쇄회로기판(PCB)에 실장하였을 때 전자기기가 두꺼워지지 않을 정도여야 한다. 이는 제조 공정에서의 오차를 감안한 것으로, 보다 구체적으로 반도체 패키지(100)에 레이저 인쇄된(laser marking) 경우 레이저에 의해 정보가 새겨지는 부분의 깊이(depth)는 대략 50㎛ 정도인데, 레이저에 의해 정보가 새겨진 음각 부분을 채우고, 나아가 공정에서의 오차를 감안하면 일예로 200㎛정도로 형성할 수 있다. 이와 같이 재몰딩함으로써 이후에 레이저 마킹시에도 제한이 줄어들게 되며, 재활용 공정을 마친 반도체 패키지(100)의 휨을 보다 효율적으로 방지할 수 있게 된다. 본 발명의 일 실시예에서의 재몰딩에 의해 반도체 패키지(100)의 두께 증가는 50~1000㎛로 한정한다. 만약, 상기 반도체 패키지(100)의 두께가 1000㎛를 초과하는 경우에는 전자기기에 실장될 때 전자기기의 두께가 증가시키는 원인이 될 수 있다. 반면, 상기 반도체 패키지(100)의 두께가 50㎛보다 작게 증가하는 경우에는 레이저 마킹이 제대로 가려지지 않을 수 있고, 추가적으로 이루어지는 레이저 마킹 공정에 악영향을 미칠 수도 있다. 뿐만 아니라, 재활용하고자 하는 반도체 패키지(100)의 휨(warpage)에 덜 영향 받기 위해서는 어느 정도의 두께 이상으로 제조되어야 유리하기 때문에 본 발명의 일 실시예에서의 재활용 반도체 패키지(100)의 두께가 증가되는 것을 50㎛이상으로 한정하기로 한다.In this way, by performing the molding, existing product information formed on the upper surface of the semiconductor package 100 can be hidden. At this time, the remolding thickness should be such that the electronic device does not become thick when mounted on a printed circuit board (PCB). More specifically, in the case of laser marking the semiconductor package 100, the depth of the portion where the information is inscribed by the laser is about 50 탆. By the laser, It can be formed to have a thickness of about 200 mu m, for example, by filling in an engraved portion where information is embedded and further considering an error in the process. By performing the molding in this manner, the limitation on the subsequent laser marking is reduced, and the warping of the semiconductor package 100 after the recycling process can be prevented more efficiently. The thickness increase of the semiconductor package 100 by the remolding in the embodiment of the present invention is limited to 50 to 1000 mu m. If the thickness of the semiconductor package 100 exceeds 1000 mu m, the thickness of the electronic device may increase when the semiconductor package 100 is mounted on the electronic device. On the other hand, when the thickness of the semiconductor package 100 is increased to less than 50 탆, the laser marking may not be properly shielded and the additional laser marking process may be adversely affected. In addition, since the thickness of the recycled semiconductor package 100 in the embodiment of the present invention is increased, the thickness of the recycled semiconductor package 100 is increased in order to be less affected by the warpage of the semiconductor package 100 to be recycled. Is limited to 50 mu m or more.

이후, 반도체 패키지(100)를 인쇄회로기판에 실장하기 위하여 솔더볼을 부착(S240)하는 공정을 거친다. 이때의 솔더볼 부착 공정은 앞서 제거(Reball)한 솔더볼을 재부착하는 공정으로 종래의 솔더볼 부착 공정과 동일하다. 이때, 재활용되는 반도체 패키지(100)에 다시 열을 가하게 된다.Thereafter, a solder ball is attached (S240) in order to mount the semiconductor package 100 on the printed circuit board. At this time, the solder ball attaching step is the same as the conventional solder ball attaching step, which is a step of reattaching the solder ball that has been previously reballed. At this time, heat is applied to the semiconductor package 100 to be recycled.

솔더볼 부착 공정 이후에는 인쇄(Marking)(S250) 공정을 거치는데, 이는 반도체 패키지(100)의 상면에 반도체 패키지(100)의 고유번호 등의 정보를 레이저 등으로 새기는 공정을 말한다. 본 발명의 일 실시예에서는 레이저 마킹(Laser Marking) 공정을 의미하고, 이는 종래의 레이저 마킹과 동일하므로 여기에서는 구체적인 설명을 생략하기로 한다.After the solder ball attaching step, a marking step (S250) is performed. This is a step of inserting information such as the unique number of the semiconductor package 100 into the upper surface of the semiconductor package 100 with a laser or the like. In an embodiment of the present invention, this means a laser marking process, which is the same as the conventional laser marking, and thus a detailed description thereof will be omitted.

이후, 상기 재몰딩된 반도체 패키지(100)를 절단(Sawing)(S260)한 다음 테스트를 거쳐 출하하게 된다. Thereafter, the remolded semiconductor package 100 is cut (Sawing) (S260), and then tested and shipped.

본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 재활용 반도체 패키지(100)는 이미 반도체 제조 공정을 완료한 상태이므로 기판(120)(substrate)이 부착되어 있는데, 이를 제거한 상태 또는 제거하지 않은 상태에서 몰딩 및 솔더볼 부착 등의 공정을 수행할 수 있다. 왜냐하면, 본 발명의 일 실시예에서의 반도체 패키지(100) 재활용 방법에 따르면 몰딩 공정부터 다시 반도체 후공정을 따라 반도체 패키지(100)가 제조되기 때문이다. 즉, 반드시 기판(120)을 제거해야만 본 발명에 따른 반도체 패키지 재활용방법을 사용할 수 있는 것은 아니고, 재활용하고자 하는 반도체 패키지(100)에 부착되어 있는 기판(120)에 재몰딩을 할 수도 있다. According to one embodiment of the present invention, the substrate 120 is attached to the recycled semiconductor package 100 because the semiconductor manufacturing process has already been completed. When the semiconductor substrate 100 is removed or is not removed, And the like. This is because, according to the method of recycling semiconductor package 100 in one embodiment of the present invention, semiconductor package 100 is manufactured through the molding process and the post-semiconductor process again. That is, the semiconductor package recycling method according to the present invention can be used only if the substrate 120 is removed, and the substrate 120 attached to the semiconductor package 100 to be recycled may be remolded.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그(10)는 금속 플레이트(11)로 형성되고, 일면에는 상기 솔더볼(140)이 제거된 하면과 마주보는 밀봉부재(13)가 부착되어 있다. 상기 지그(10)의 재질로는 전기전도도가 우수하고 값이 저렴한 구리를 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 밀봉부재(13)로는 투명 또는 반투명의 비닐(vinyl)을 사용할 수 있다. 일예로, 상기 밀봉부재(13)는 비닐로 이루어진 접착 테이프일 수 있다. 이와 같이, 밀봉부재(13)를 접착 테이프로 함으로써 상기 반도체 패키지(100)의 움직임을 고정시킬 수 있으며, 몰딩 컴파운드(150)의 넘침을 방지할 수 있는 효과가 있다.As shown in FIG. 3, the jig 10 is formed of a metal plate 11, and on one side thereof, a sealing member 13 facing the lower surface from which the solder ball 140 is removed is attached. As the material of the jig 10, it is preferable to include copper having excellent electrical conductivity and low cost. As the sealing member 13, transparent or translucent vinyl may be used. For example, the sealing member 13 may be an adhesive tape made of vinyl. As described above, by using the sealing member 13 as the adhesive tape, the motion of the semiconductor package 100 can be fixed, and the molding compound 150 can be prevented from overflowing.

도 4는 본 발명과 관련된 재몰딩된 반도체칩의 몰딩면을 도시한 도면으로 지그(10)에 몰딩 컴파운드(150)가 몰딩된 상태를 도시한 것이고, 도 5는 도 4의 AA을 따르는 단면도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정을 거쳐 반도체 패키지(100)가 로딩된 상태의 지그를 솔더볼(140)의 전면에서 바라본 것을 도시한 도면이다. 4 is a view showing a molding surface of a remodeled semiconductor chip according to the present invention, in which a molding compound 150 is molded in a jig 10, and FIG. 5 is a sectional view taken along line AA in FIG. 4 FIG. 6 is a view illustrating a jig in a state where the semiconductor package 100 is loaded through a process according to an embodiment of the present invention, from the front side of the solder ball 140.

도 6은 재활용 반도체 패키지(100)가 재몰딩된 상태로, 재몰딩된 반도체 패키지(100) 절단(S260) 공정 전의 모습을 도시한 것이다. 6 shows a state before the recycled semiconductor package 100 is remolded and the remolded semiconductor package 100 is cut (S260).

또한, 상기 반도체 패키지(100)의 일면을 재몰딩하는 단계는 이미 몰딩된 면에 중첩되도록 2차적으로 몰딩(Second Molding)하는 단계이다. 이로써 최초의 반도체 패키지(100)의 두께보다 다소 두꺼워지는 측면이 있다. 그러나, 이때의 재몰딩하는 두께는 불량 반도체칩(110)의 최초 몰딩면을 가리기 위한 용도이면 충분하기 때문에 두께가 더 두꺼워지는 것으로 인한 문제는 발생하지 않는다. 즉, 상기 회수된 불량 반도체 패키지(100)는 레이저 마킹(Laser Marking)에 오류를 갖고 있는 경우에 이를 해결하기 위한 것이면 된다. Also, the step of remolding one surface of the semiconductor package 100 is a step of secondary molding so as to be superimposed on the surface already molded. Thereby, there is a side that becomes somewhat thicker than the thickness of the first semiconductor package 100. However, since the thickness for remolding at this time is sufficient for covering the initial molding surface of the defective semiconductor chip 110, there is no problem caused by a thicker thickness. That is, the recovered defective semiconductor package 100 may be used for solving the problem when the laser marking has an error.

앞서 설명한 바와 같이, 몰딩부재로는 세라믹, 금속, 플라스틱 등이 사용될 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에서는 에폭시 수지에 실리카 등의 무기재료와 각종 부재료(경화재, 난연재, 이형제등)가 첨가된 EMC(Epoxy Molding Compound)를 사용하였다.As described above, ceramics, metal, plastic, or the like may be used as the molding member. However, in an embodiment of the present invention, an epoxy resin is used in which an inorganic material such as silica and various sub materials (a hardening material, a flame retardant, (Epoxy Molding Compound) was used.

또한, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 회수된 반도체 패키지(100)는 상기 지그(10) 상에서 스트립(Strip)화된 이후에 재몰딩되는 것을 알 수 있다. 따라서 상기 지그(10)는 다수의 반도체 패키지(100)를 위한 지그(10)이므로 공통지그(10)라 명명할 수 있으며, 다수의 개구부(14)는 서로 일정한 간격으로 이격 형성된다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시예에서는 재활용하고자 하는 반도체 패키지(100)를 지그(10)에 다수 연속하여 배열하여 스트립화(strip)한 상태에서 재몰딩함으로써 적은 시간에 많은 양의 반도체 패키지를 자동화할 수 있는 장점이 있다.Also, in one embodiment of the present invention, it can be seen that the recovered semiconductor package 100 is remolded after being stripped on the jig 10. Therefore, the jig 10 is a jig 10 for a plurality of semiconductor packages 100, so that the jig 10 can be called a common jig 10, and the plurality of openings 14 are spaced apart from each other at regular intervals. As described above, in the embodiment of the present invention, a plurality of semiconductor packages 100 to be recycled are arranged continuously in the jig 10 and are strip-molded, There is an advantage to be able to do.

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.The foregoing detailed description should not be construed in all aspects as limiting and should be considered illustrative. The scope of the present invention should be determined by rational interpretation of the appended claims, and all changes within the scope of equivalents of the present invention are included in the scope of the present invention.

10: 지그, 11: 금속 플레이트, 12: 격벽, 13: 밀봉부재, 14: 홈, 100: 반도체 패키지, 110: 반도체칩, 120: 기판, 130: 금속선, 140: 솔더볼, 150: 몰딩 컴파운드, 160: 접착제, 200: 적층형 반도체 패키지, 200a: 제1 반도체 패키지, 200b: 제2 반도체 패키지The present invention relates to a semiconductor device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a semiconductor device having a semiconductor chip, : Adhesive, 200: stacked semiconductor package, 200a: first semiconductor package, 200b: second semiconductor package

Claims (12)

재활용하고자 하는 반도체 패키지를 회수하는 단계;
회수된 다수의 반도체 패키지를 상기 반도체 패키지와 대응되는 크기의 개구부가 다수 형성된 지그에 로딩(Loading)하는 단계;
상기 지그에 로딩된 반도체 패키지의 몰딩면을 재몰딩(Remolding)하는 단계; 및
상기 재몰딩된 반도체 패키지를 절단(Sawing)하는 단계를 포함하고,
상기 몰딩면은 상기 재활용하고자 하는 반도체 패키지의 정보가 새겨진 면인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.Recovering a semiconductor package to be recycled;
Loading a plurality of recovered semiconductor packages into a jig having a plurality of openings of a size corresponding to the semiconductor package;
Remolding a molding surface of the semiconductor package loaded on the jig; And
And sawing the remolded semiconductor package,
Wherein the molding surface is a surface on which information of the semiconductor package to be recycled is engraved. 제1항에 있어서,
상기 재몰딩하는 단계는 170~180℃의 범위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.The method according to claim 1,
Wherein the remolding is performed at a temperature in the range of 170 to 180 占 폚. 제1항에 있어서,
상기 지그는 금속 플레이트로 형성되고 일면에는 상기 반도체 패키지의 타면과 마주보는 밀봉부재가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.The method according to claim 1,
Wherein the jig is formed of a metal plate, and a sealing member facing the other surface of the semiconductor package is attached to a surface of the jig. 제1항에 있어서,
상기 로딩하는 단계에서 상기 회수된 반도체 패키지는 상기 지그 상에서 연속적으로 배열(Strip)되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법. The method according to claim 1,
Wherein the recovered semiconductor package is continuously stripped on the jig in the loading step. 제1항에 있어서,
상기 반도체 패키지를 회수하는 단계는,
2 이상의 반도체 패키지가 적층되어 형성되는 적층형 반도체 패키지로부터 재활용하고자 하는 상기 반도체 패키지를 분리해내는 단계; 및
상기 분리해낸 반도체 패키지의 타면에 형성되어 있는 솔더볼을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of recovering the semiconductor package comprises:
Separating the semiconductor package to be recycled from a stacked semiconductor package formed by stacking two or more semiconductor packages; And
And removing the solder balls formed on the other surface of the separated semiconductor package. 제1항에 있어서,
상기 재몰딩에 사용되는 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC, Epoxy Molding Compound))의 유리천이온도(Tg)가 180℃ 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.The method according to claim 1,
Wherein the glass transition temperature (Tg) of the epoxy molding compound (EMC) used in the remolding is 180 DEG C or higher. 제5항에 있어서,
상기 재몰딩하는 단계 이후에 상기 재활용하고자 하는 상기 반도체 패키지의 타면에 솔더볼을 부착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.6. The method of claim 5,
Further comprising the step of attaching a solder ball to the other side of the semiconductor package to be recycled after the remolding step. 제7항에 있어서,
상기 솔더볼을 부착하는 단계 이후에, 상기 재몰딩하는 단계에서 재몰딩된 면에 레이저 마킹(Laser Marking)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 재활용 방법.8. The method of claim 7,
Further comprising laser marking the remolded surface in the remolding step after attaching the solder balls. ≪ Desc / Clms Page number 20 > 재활용하고자 하는 반도체 패키지를 회수하고, 상기 회수된 반도체 패키지의 몰딩면을 재몰딩(Remolding)하여 상기 재몰딩에 의한 반도체 패키지의 두께가 50~1000㎛ 증가된 것을 특징으로 하고,
상기 몰딩면은 상기 재활용하고자 하는 반도체 패키지의 정보가 새겨진 면인 것을 특징으로 하는 재활용 반도체 패키지.The semiconductor package to be recycled is recovered and the thickness of the semiconductor package by the remolding is increased by 50 to 1000 占 퐉 by remolding the molded surface of the recovered semiconductor package,
Wherein the molding surface is a surface on which information of the semiconductor package to be recycled is engraved. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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