KR101990529B1

KR101990529B1 - film frame, attachment method, donor film formation method, and transfer method using the same

Info

Publication number: KR101990529B1
Application number: KR1020120142880A
Authority: KR
Inventors: 남연우; 박홍기; 배효대; 정성구; 유태경; 김선호
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-12-10
Filing date: 2012-12-10
Publication date: 2019-06-19
Also published as: KR20140075093A

Abstract

본 발명은, 제1 및 제2 바형(bar-type) 프레임과 필름 고정 수단을 포함하는 필름 프레임에 베이스 필름을 고정하는 단계와; 제1 및 제2 홈을 갖는 롤러를 상기 필름 프레임 상부에 배치하는 단계와; 상기 제1 바형 프레임을 상기 제1 홈에 장착하는 단계와; 상기 롤러를 회전시켜 상기 베이스 필름을 상기 롤러의 외면에 감는 단계와; 상기 제2 바형 프레임을 상기 제2 홈에 장착하는 단계와; 상기 롤러를 회전시키면서 상기 베이스 필름 표면에 유기물질을 증착하는 단계를 포함하는 도너 필름 형성 방법을 제공한다.The present invention provides a method of manufacturing a film frame, comprising: securing a base film to a film frame comprising first and second bar-type frames and film securing means; Disposing rollers having first and second grooves on the film frame; Mounting the first bar shaped frame to the first groove; Winding the base film on the outer surface of the roller by rotating the roller; Mounting the second bar shaped frame to the second groove; And depositing an organic material on the surface of the base film while rotating the roller.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film frame, a method for attaching a film using the same, a method for forming a donor film, and a transfer method using the film frame, an attachment method, a donor film formation method,

본 발명은 유기전기발광표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임과, 이를 이용한 필름 부착 방법, 도너 필름 형성 방법 및 전사 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a film frame for manufacturing an organic electroluminescent display device, a method of attaching a film using the same, a method of forming a donor film, and a transfer method.

최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다. 2. Description of the Related Art Flat panel displays having excellent characteristics such as thinning, lightening, and low power consumption have been widely developed and applied to various fields.

이중, 유기발광다이오드(organic light emitting diode: OLED)라고도 불리는 유기전기발광표시장치 또는 유기전계발광표시장치(organic electroluminescent display)는, 전자 주입 전극인 음극과 정공 주입 전극인 양극 사이에 형성된 발광층에 전하를 주입하여 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다. 이러한 유기전기발광표시장치는 플라스틱과 같은 유연한 기판(flexible substrate) 위에도 형성할 수 있을 뿐 아니라, 자체 발광에 의해 색감이 뛰어나며, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)이나 무기 전기발광(EL) 디스플레이에 비해 낮은 전압에서 (10V이하) 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 적다는 장점이 있다. An organic electroluminescent display device or an organic electroluminescent display device, also referred to as an organic light emitting diode (OLED), has a structure in which charges are injected into a light emitting layer formed between a cathode serving as an electron injecting electrode and a cathode serving as a hole injecting electrode Is injected to form a pair of electrons and holes, and the light is emitted while disappearing. Such an organic electroluminescent display device can be formed not only on a flexible substrate such as a plastic but also has excellent color sensitivity due to self-luminescence and is superior to a plasma display panel or inorganic electroluminescent display It has the advantage that it can be driven at low voltage (10V or less) and has relatively low power consumption.

도 1은 일반적인 유기전기발광표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a structure of a general organic electroluminescent display device in a band diagram. FIG.

도 1에 도시한 바와 같이, 유기전기발광표시장치는 양극인 애노드(anode) 전극(11)과 음극인 캐소드(cathode) 전극(17) 사이에 발광층(emitting layer)(14)이 위치한다. 애노드 전극(11)으로부터의 정공과 캐소드 전극(17)으로부터의 전자를 발광층(14)으로 주입하기 위해, 애노드 전극(11)과 발광층(14) 사이 및 캐소드 전극(17)과 발광층(14) 사이에는 각각 정공수송층(hole transporting layer)(13)과 전자수송층(electron transporting layer)(15)이 위치한다. 이때, 정공과 전자를 좀더 효율적으로 주입하기 위해 애노드 전극(11)과 정공수송층(13) 사이에는 정공주입층(hole injecting layer)(12)을, 전자수송층(15)과 캐소드 전극(17) 사이에는 전자주입층(electron injecting layer)(16)을 더 포함한다. 1, an organic electroluminescent display device includes an emitting layer 14 between an anode electrode 11, which is an anode, and a cathode electrode 17, which is a cathode. Between the anode electrode 11 and the light emitting layer 14 and between the cathode electrode 17 and the light emitting layer 14 in order to inject holes from the anode electrode 11 and electrons from the cathode electrode 17 into the light emitting layer 14. [ A hole transporting layer 13 and an electron transporting layer 15 are respectively disposed. In order to inject holes and electrons more efficiently, a hole injecting layer 12 is formed between the anode electrode 11 and the hole transporting layer 13, a hole injecting layer 12 is formed between the electron transporting layer 15 and the cathode electrode 17, Further includes an electron injecting layer 16.

도 1의 밴드 다이어그램에서, 아래쪽 선은 가전자 띠(valence band)의 가장 높은 에너지 레벨로, HOMO(highest occupied molecular orbital)라고 부르고, 위쪽 선은 전도성 띠(conduction band)의 가장 낮은 에너지 레벨로, LUMO(lowest unoccupied molecular orbital)라 부른다. HOMO 레벨과 LUMO 레벨의 에너지 차이는 밴드 갭(band gap)이 된다. 1, the lower line is the highest energy level of the valence band, the highest occupied molecular orbital (HOMO), the upper line is the lowest energy level of the conduction band, LUMO (lowest unoccupied molecular orbital). The energy difference between the HOMO level and the LUMO level is the band gap.

이러한 구조를 가지는 유기전기발광표시장치에서, 애노드 전극(11)으로부터 정공주입층(12)과 정공수송층(13)을 통해 발광층(14)으로 주입된 정공(+)과, 캐소드 전극(17)으로부터 전자주입층(16) 및 전자수송층(15)을 통해 발광층(14)으로 주입된 전자(-)는 재결합(recombination)을 통해 여기자(exciton)(18)를 형성하게 되고, 이 여기자(18)로부터 발광층(14)의 밴드 갭에 해당하는 색상의 빛을 발하게 된다.In the organic electroluminescent display device having such a structure, holes (+) injected from the anode electrode 11 into the light emitting layer 14 through the hole injecting layer 12 and the hole transporting layer 13 and electrons injected from the cathode electrode 17 Electrons injected into the light emitting layer 14 through the electron injection layer 16 and the electron transport layer 15 are recombined to form an exciton 18, Light of a color corresponding to the band gap of the light emitting layer 14 is emitted.

유기전기발광표시장치는 영상을 표시하기 위해 다수의 화소를 포함하고, 각 화소는 적, 녹, 청의 서브화소를 포함하며, 각 서브화소 마다 박막트랜지스터 및 발광 다이오드를 박막의 형태로 형성한다. The organic electroluminescent display device includes a plurality of pixels for displaying an image, and each pixel includes red, green, and blue sub-pixels, and a thin film transistor and a light emitting diode are formed in a thin film form for each sub-pixel.

적, 녹, 청의 서브화소에는 각 서브화소에 대응하여 패턴된 적, 녹, 청 발광층이 형성되는데, 일반적으로 발광층은 섀도우 마스크(shadow mask)를 이용한 진공증착법을 통해 형성된다. 그런데, 진공증착법의 경우 발광층을 미세하게 패턴하기가 어려워 고해상도에 적용하기가 쉽지 않은 단점이 있다. Red, green, and blue subpixels are patterned with red, green, and blue emission layers corresponding to the respective subpixels. Generally, the emission layer is formed by a vacuum deposition method using a shadow mask. However, the vacuum deposition method has a disadvantage in that it is difficult to finely pattern the light emitting layer and thus it is difficult to apply the light emitting layer to a high resolution.

이러한 문제를 해결하기 위해, 레이저 열전사법(laser induced thermal imaging: LITI)을 통해 발광층을 패터닝하는 방법이 제안되었다. In order to solve this problem, a method of patterning the light emitting layer through laser induced thermal imaging (LITI) has been proposed.

도 2a 내지 도 2d는 종래의 레이저 열전사 과정을 도시한 단면도이다.2A to 2D are cross-sectional views illustrating a conventional laser thermal transfer process.

도 2a에 도시한 바와 같이, 척킹 트레이(30)에 필름을 고정시켜 증발원(52) 상에 배치하고, 오픈 마스크(54)를 이용하여 증발원(52)의 유기물질을 필름에 증착하여 전사용 도너 필름(40)을 형성한다. 2A, the film is fixed on the chucking tray 30 and placed on the evaporation source 52. The organic material of the evaporation source 52 is deposited on the film using the open mask 54, Film 40 is formed.

이어, 도 2b에 도시한 바와 같이, 척킹 트레이(30)에 고정된 도너 필름(40)을 스테이지(60) 상에 놓인 피전사 기판(70) 상에 배치한다. 2B, the donor film 40 fixed to the chucking tray 30 is placed on the transfer target substrate 70 placed on the stage 60. Then, as shown in Fig.

다음, 도 2c에 도시한 바와 같이, 도너 필름(40)을 피전사 기판(70)과 밀착시키고, 레이저 빔을 조사하여 도너 필름(40)의 유기물층을 피전사 기판(70)에 전사한다. Next, as shown in Fig. 2C, the donor film 40 is brought into close contact with the image receiving substrate 70, and the organic layer of the donor film 40 is transferred to the image receiving substrate 70 by irradiating the laser beam.

다음, 도 2d에 도시한 바와 같이, 도너 필름(40)을 피전사 기판(70)으로부터 제거한다. Next, as shown in Fig. 2D, the donor film 40 is removed from the image receiving substrate 70. Then, as shown in Fig.

그런데, 이러한 레이저 열전사 과정에서 도너 필름(40)이 구겨지거나 접히게 되면 피전사 기판(70) 상의 정확한 위치에 배치된다고 하더라도 도너 필름(40)이 피전사 기판(70)에 정확히 밀착되지 않게 되어 전사의 질이 저하되므로 유기전기발광표시장치의 제작 수율이 떨어지는 문제가 있다.If the donor film 40 is wrinkled or folded in the laser thermal transfer process, even if the donor film 40 is disposed at the correct position on the image receiving substrate 70, the donor film 40 is not brought into close contact with the image receiving substrate 70 There is a problem that the yield of the organic electroluminescence display device is lowered because the quality of the transfer is deteriorated.

이를 해결하기 위해, 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0122563호에는 필름의 전면적에 대해 왜곡을 없애도록 필름을 잡아주면서 기판의 증착, 반전, 이송, 전사공정을 진행시킬 수 있는 유기전기발광표시장치용 척킹 트레이가 제안되었다. In order to solve this problem, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2011-0122563 discloses an organic electroluminescence display device capable of advancing a substrate by evaporation, inversion, transfer, and transfer while holding a film so as to eliminate distortion of the entire surface of the film. A drag chucking tray has been proposed.

도 3은 종래의 유기전기발광표시장치용 척킹 트레이를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a chucking tray for a conventional organic electroluminescence display device.

도 3에 도시한 바와 같이, 종래의 척킹 트레이(30)는 사각 프레임 형상의 트레이본체(32)와, 필름을 클램핑하는 클램핑유닛(34)과, 클램핑유닛(34)이 상대회동 가능하게 겹합되며, 트레인본체(32)에 결합되어 클램핑유닛(34)에 클램핑된 필름을 텐션시키는 텐션유닛(36)을 포함한다. 3, the conventional chucking tray 30 includes a rectangular frame-shaped tray main body 32, a clamping unit 34 for clamping the film, and a clamping unit 34 which are relatively rotatably joined And a tension unit 36 coupled to the train main body 32 for tensioning the clamped film to the clamping unit 34.

그런데, 이러한 척킹 트레이(30)는 그 구조가 복잡하여 크기가 커짐에 따라 무게가 증가하여 물류에 부담이 되고, 척킹 트레이(30)의 크기는 피전사 기판(70)의 면적보다 넓어야 하므로, 유기물질 증착을 위한 챔버의 크기가 더 커져야 한다. However, since the chucking tray 30 has a complicated structure and its size increases, the weight of the chucking tray 30 becomes heavy, and the size of the chucking tray 30 becomes wider than the area of the transfer substrate 70, The size of the chamber for material deposition must be larger.

또한, 필름을 클램핑하기 위한 구조가 복잡하여 고장이 발생할 가능성이 높으며, 필름의 텐션을 조절하기가 어렵다. In addition, the structure for clamping the film is complex, so that there is a high possibility of occurrence of a failure, and it is difficult to control the tension of the film.

게다가, 네 변이 모두 고정되어 있으므로, 도너 필름(40)을 피전사 기판(70)과 밀착시키는 과정에서 전면 합착을 해야 하고, 이때 기포 발생 가능성이 높다. 또한, 도너 필름(40)을 피전사 기판(70)으로부터 제거하는 과정에서, 네 변을 동시에 들어올려야 하는데, 이때 도너 필름(40)의 위치에 따라 들어올려지는 속도 차이가 발생하여 얼룩이 생길 수 있다.
In addition, since all four sides are fixed, it is necessary to perform frontal cementing in the process of bringing the donor film 40 into close contact with the image receiving substrate 70, and the possibility of bubbles is high at this time. In addition, during the process of removing the donor film 40 from the image receiving substrate 70, the four sides must be lifted at the same time. At this time, a difference in speed is raised depending on the position of the donor film 40, .

상기한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 구조가 단순하고 무게를 줄일 수 있는 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임과, 이를 이용한 필름 부착 방법, 도너 필름 형성 방법 및 전사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device having a simple structure and a reduced weight and a method for attaching a film using the same, a method for forming a donor film, and a transfer method .

또한, 본 발명은 텐션 조절이 가능하며 얼룩을 방지할 수 있는 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임과, 이를 이용한 필름 부착 방법, 도너 필름 형성 방법 및 전사 방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device capable of controlling tension and preventing stains, a film adhering method, a donor film forming method and a transfer method using the same.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 일정 간격을 가지고 이격되어 있는 한 쌍의 바형(bar-type) 프레임과; 상기 한 쌍의 바형 프레임 상에 필름을 고정시키기 위한 필름 고정 수단을 포함하는 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a bar-type frame comprising: a pair of bar-type frames spaced apart at regular intervals; And a film fixing means for fixing the film on the pair of bar-shaped frames.

상기 필름 고정 수단은 벨크로나 접착제 또는 클램프이다.The film fixing means is a velcro, an adhesive, or a clamp.

본 발명의 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임은 상기 한 쌍의 바형 프레임 하부에 탈부착 가능한 텐션 유지 수단을 더 포함한다.The film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device of the present invention further includes tension holding means detachably attachable to a lower portion of the pair of bar-shaped frames.

또한, 본 발명은, 한 쌍의 바형(bar-type) 프레임 상에 필름을 배치하는 단계와; 벨크로나 접착제 또는 클램프로 구성된 고정 수단을 통해 상기 필름을 상기 한 쌍의 바형 프레임 상에 고정하는 단계와; 상기 한 쌍의 바형 프레임 방향으로 힘을 가하여 상기 필름을 텐션시키는 단계를 포함하는 필름 부착 방법을 제공한다. The present invention also relates to a method of manufacturing a film, comprising: placing a film on a pair of bar-type frames; Fixing the film on the pair of bar-shaped frames through a fixing means composed of a velcro, an adhesive or a clamp; And applying a force in the direction of the pair of bar-shaped frames to tension the film.

또한, 본 발명은, 제1 및 제2 바형(bar-type) 프레임과 필름 고정 수단을 포함하는 필름 프레임에 베이스 필름을 고정하는 단계와; 제1 및 제2 홈을 갖는 롤러를 상기 필름 프레임 상부에 배치하는 단계와; 상기 제1 바형 프레임을 상기 제1 홈에 장착하는 단계와; 상기 롤러를 회전시켜 상기 베이스 필름을 상기 롤러의 외면에 감는 단계와; 상기 제2 바형 프레임을 상기 제2 홈에 장착하는 단계와; 상기 롤러를 회전시키면서 상기 베이스 필름 표면에 유기물질을 증착하는 단계를 포함하는 도너 필름 형성 방법을 제공한다.The present invention also provides a method of manufacturing a film, comprising: securing a base film to a film frame comprising first and second bar-type frames and film securing means; Disposing rollers having first and second grooves on the film frame; Mounting the first bar shaped frame to the first groove; Winding the base film on the outer surface of the roller by rotating the roller; Mounting the second bar shaped frame to the second groove; And depositing an organic material on the surface of the base film while rotating the roller.

여기서, 상기 롤러의 외경은 상기 베이스 필름의 길이와 같거나 크며, 제1 및 제2 홈은 인접하게 위치한다.Here, the outer diameter of the roller is equal to or greater than the length of the base film, and the first and second grooves are adjacent to each other.

또한, 본 발명은, 앞서 언급된 방법에 따라 형성된 도너 필름이 감겨 있는 롤러를 피전사 기판이 놓여 있는 스테이지의 일측에 배치하는 단계와; 상기 제1 바형 프레임을 상기 스테이지에 고정하는 단계와; 상기 롤러를 회전시켜 상기 도너 필름을 상기 피전사 기판과 밀착시키는 단계와; 상기 롤러를 제거하여 상기 제2 바형 프레임을 상기 롤러로부터 분리하는 단계와; 레이저 빔을 선택적으로 조사하여 상기 도너 필름의 유기물층을 상기 피전사 기판에 전사하는 단계와; 상기 필름 프레임과 함께 상기 도너 필름을 상기 피전사 기판으로부터 제거하는 단계를 포함하는 전사 방법을 제공한다.The present invention also provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: disposing a roller on which a donor film formed according to the above-mentioned method is wound, on one side of a stage on which an image receiving substrate is placed; Fixing the first bar shaped frame to the stage; Rotating the roller to bring the donor film into close contact with the image receiving substrate; Removing the roller to separate the second bar-shaped frame from the roller; Selectively irradiating a laser beam to transfer the organic layer of the donor film to the substrate to be transferred; And removing the donor film from the substrate to be transferred together with the film frame.

여기서, 상기 제2 바형 프레임을 상기 롤러로부터 분리하는 단계는 상기 제2 바형 프레임을 상기 스테이지에 고정시키는 단계를 포함한다.
Wherein separating the second bar shaped frame from the roller includes securing the second bar shaped frame to the stage.

본 발명에서는, 한 쌍의 바형 프레임과 필름 고정 수단을 이용하여 필름을 고정함으로써, 필름 프레임의 구조가 간단하고 무게를 줄일 수 있으며, 필름의 텐션 조절이 용이하다. In the present invention, by fixing the film using a pair of bar-shaped frames and a film fixing means, the structure of the film frame is simple, the weight can be reduced, and the tension of the film can be easily adjusted.

또한, 필름 프레임에 고정된 필름을 롤러에 감아 도너 필름을 형성함으로써, 롤 증착이 가능하고 증착 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. In addition, by forming a donor film by winding a film fixed on a film frame on a roller, roll deposition is possible and the size of the deposition equipment can be reduced.

또한, 도너 필름을 피전사 기판과 밀착 및 제거하는 과정이 용이하고 얼룩을 방지할 수 있다.
Further, the process of adhering and removing the donor film to and from the substrate to be transferred is easy, and the stain can be prevented.

도 1은 일반적인 유기전기발광표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다.
도 2a 내지 도 2d는 종래의 레이저 열전사 과정을 도시한 단면도이다.
도 3은 종래의 유기전기발광표시장치용 척킹 트레이를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4의 필름 프레임을 이용한 필름 고정 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임의 다른 예를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 이용한 도너 필름 형성 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 이용한 전사 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a structure of a general organic electroluminescent display device in a band diagram. FIG.
2A to 2D are cross-sectional views illustrating a conventional laser thermal transfer process.
3 is a perspective view illustrating a chucking tray for a conventional organic electroluminescence display device.
4 is a perspective view schematically showing a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device according to an embodiment of the present invention.
5A to 5C are perspective views schematically showing a film fixing structure using the film frame of FIG.
6 is a perspective view schematically showing another example of a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device according to an embodiment of the present invention.
7A to 7D are schematic views illustrating a process of forming a donor film using a film frame for manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.
8A to 8C are views schematically illustrating a transfer process using a film frame for manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 개략적으로 도시한 사시도이다. 4 is a perspective view schematically showing a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임(100)은 한 쌍의 바형(bar-type) 프레임(110)을 포함한다. 한 쌍의 바형 프레임(110)의 마주 대하는 면에는 다수의 홀(110a)이 형성된다. 여기서, 다수의 홀(110a)은 바형 프레임(110) 상에 고정된 필름을 텐션시키는데 사용된다. As shown in FIG. 4, the film frame 100 for manufacturing an organic EL display of the present invention includes a pair of bar-type frames 110. A plurality of holes 110a are formed in a surface of the pair of bar-shaped frames 110 facing each other. Here, the plurality of holes 110a are used to tension the film fixed on the bar-shaped frame 110. [

일례로, 한 쌍의 바형 프레임(110) 사이에 다수의 돌출부(도시하지 않음)를 가지는 텐션 발생 유닛(도시하지 않음)을 배치하고, 돌출부를 마주 대하는 홀(110a)에 삽입하여 양쪽으로 힘을 가함으로써 필름을 텐션시킬 수 있다. For example, a tension generating unit (not shown) having a plurality of projections (not shown) is disposed between the pair of bar-shaped frames 110, and the projections are inserted into the opposing holes 110a, The film can be tensioned.

이러한 필름 프레임은 필름 고정 수단을 더 포함한다. 도 5a 내지 도 5c는 도 4의 필름 프레임을 이용한 필름 고정 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.The film frame further includes film securing means. 5A to 5C are perspective views schematically showing a film fixing structure using the film frame of FIG.

도 5a에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 바형 프레임(110) 상부에 제1 벨크로(Velcro)(112a)를 설치하고, 필름(120)의 하면 양 가장자리에 제2 벨크로(112b)를 설치하여, 제1 및 제2 벨크로(112a, 112b)의 합착에 의해 필름(120)을 한 쌍의 바형 프레임(110) 상에 고정한다.5A, a first Velcro 112a is provided on a pair of bar-shaped frames 110, a second Velcro 112b is provided on both lower edges of the film 120, The film 120 is fixed on the pair of bar-shaped frames 110 by coalescence of the first and second Velcro parts 112a and 112b.

또는, 도 5b에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 바형 프레임(110) 상부에 접착제(114)를 도포하여, 필름(120)을 한 쌍의 바형 프레임(110) 상에 고정할 수 있다.Alternatively, as shown in FIG. 5B, an adhesive 114 may be applied on the pair of bar-shaped frames 110 to fix the film 120 on the pair of bar-shaped frames 110.

또는, 도 5c에 도시한 바와 같이, 필름(120)을 한 쌍의 바형 프레임(110) 상부에 놓고, 다수의 클램프(116)를 이용하여 필름(120)과 한 쌍의 바형 프레임(110)의 가장자리를 고정할 수도 있다. 이때, 필름(120)의 양쪽 가장자리는 한 쌍의 바형 프레임(110)의 측면 또는 측면과 하면에 위치할 수 있다. 5C, the film 120 is placed on top of a pair of bar-shaped frames 110, and the film 120 and the pair of bar-shaped frames 110 are bonded to each other using a plurality of clamps 116 The edges may be fixed. At this time, both edges of the film 120 may be located on the side surface, the side surface and the bottom surface of the pair of bar-shaped frames 110.

한편, 본 발명의 필름 프레임은 필요에 따라 텐션 유지용 지지 수단을 더 포함할 수 있다. 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임의 다른 예를 개략적으로 도시한 사시도이다. On the other hand, the film frame of the present invention may further include support means for tension holding as required. 6 is a perspective view schematically showing another example of a film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device according to an embodiment of the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 바형 프레임(110) 하부에 탈부착이 가능한 텐션 유지용 수단(118)이 결합된다. 텐션 유지용 수단(118)은 한 쌍의 바(bar)로 구성되어 하나는 한 쌍의 바형 프레임(110)의 제1단에 결합되고, 다른 하나는 제2단에 결합될 수 있다. 또는, 텐션 유지용 수단(118)은 한 쌍의 바형 프레임(110)의 제1단 및 제2단과 결합되는 판(plate) 형상일 수 있다.
As shown in Fig. 6, a tension holding means 118 capable of being detachably attached to the lower portion of the pair of bar-shaped frames 110 is engaged. The tension holding means 118 may be composed of a pair of bars, one of which may be coupled to the first end of the pair of bar-shaped frames 110, and the other of which may be coupled to the second end. Alternatively, the tension holding means 118 may be in the form of a plate coupled with the first and second ends of the pair of bar-shaped frames 110.

이러한 본 발명의 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 이용한 도너 필름 형성 방법과 전사 방법에 대하여 도면을 참조하여 이하에서 설명한다.The donor film forming method and the transfer method using the film frame for manufacturing an organic electroluminescence display device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 이용한 도너 필름 형성 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. 7A to 7D are schematic views illustrating a process of forming a donor film using a film frame for manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 7a에 도시한 바와 같이, 베이스 필름(120)이 고정된 필름 프레임(100) 상부에 롤러(130)를 배치한다. 여기서, 롤러(130)는 인접한 두 개의 홈(132)을 가지며, 홈(132)이 필름 프레임(100)과 마주 대하도록 배치된다. First, as shown in FIG. 7A, a roller 130 is disposed on a film frame 100 on which a base film 120 is fixed. Here, the roller 130 has two adjacent grooves 132, and the grooves 132 are disposed so as to face the film frame 100.

한편, 롤러(130)의 외경은 베이스 필름(120)의 길이와 같거나 큰 것이 바람직하다. On the other hand, the outer diameter of the roller 130 is preferably equal to or larger than the length of the base film 120.

다음, 도 7b에 도시한 바와 같이, 필름 프레임(100)의 첫 번째 바형 프레임을 롤러(130)의 홈(132) 중 하나에 장착한다. 이어, 롤러(130)를 일 방향으로 회전시켜, 롤러(130)의 외면에 베이스 필름(120)을 감는다. Next, as shown in Fig. 7B, the first bar-shaped frame of the film frame 100 is mounted on one of the grooves 132 of the roller 130. Then, as shown in Fig. Next, the roller 130 is rotated in one direction to wind the base film 120 on the outer surface of the roller 130.

다음, 7c에 도시한 바와 같이, 필름 프레임(100)의 두 번째 바형 프레임을 롤러(130)의 나머지 홈(132)에 장착한다. Next, a second bar-shaped frame of the film frame 100 is mounted in the remaining groove 132 of the roller 130, as shown in 7c.

다음, 도 7d에 도시한 바와 같이, 필름 프레임(100)에 고정된 베이스 필름(도 7c의 120)이 감겨 있는 롤러(130)를 일 방향으로 회전시키면서 증발원(140)의 유기물질을 베이스 필름(도 7c의 120) 표면에 증착하여 도너 필름(122)을 완성한다.Next, as shown in FIG. 7D, the roller 130 on which the base film (120 of FIG. 7C) fixed to the film frame 100 is rotated in one direction and the organic material of the evaporation source 140 is coated on the base film 7C) to complete the donor film 122. The donor film 122 shown in FIG.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치 제조용 필름 프레임을 이용한 전사 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.8A to 8C are views schematically illustrating a transfer process using a film frame for manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

도 8a에 도시한 바와 같이, 피전사 기판(160)이 놓여 있는 스테이지(150) 의 일측에 도너 필름(122)이 감겨 있는 롤러(130)를 배치하고, 필름 프레임(100)의 첫 번째 바형 프레임을 스테이지(150)에 고정한다. A roller 130 on which a donor film 122 is wound is disposed on one side of a stage 150 on which an image receiving substrate 160 is placed and a first bar- Is fixed to the stage (150).

여기서, 스테이지(150)의 크기는 도너 필름(122)의 크기와 같거나 클 수 있다.Here, the size of the stage 150 may be equal to or greater than the size of the donor film 122.

다음, 도 8b에 도시한 바와 같이, 롤러(130)를 일방향으로 회전시켜 도너 필름(122)을 피전사 기판(160)과 밀착시킨다. Next, as shown in Fig. 8B, the roller 130 is rotated in one direction to bring the donor film 122 into close contact with the image receiving substrate 160.

다음, 도 8c에 도시한 바와 같이, 롤러(도 8b의 130)를 제거하여, 필름 프레임(100)의 두 번째 바형 프레임을 롤러(도 8b의 130)로부터 분리한다. 이때, 두 번째 바형 프레임은 스테이지(150)에 고정될 수 있다. 이어, 레이저 빔을 선택적으로 조사하여 도너 필름(122)의 유기물층을 피전사 기판(160)에 전사한다.Next, as shown in Fig. 8C, the roller (130 in Fig. 8B) is removed to separate the second bar-shaped frame of the film frame 100 from the roller (130 in Fig. 8B). At this time, the second bar type frame may be fixed to the stage 150. Then, the organic layer of the donor film 122 is transferred to the transfer target substrate 160 by selectively irradiating the laser beam.

다음, 도 8d에 도시한 바와 같이, 필름 프레임(100)과 함께 도너 필름(122)을 피전사 기판(160)으로부터 제거한다.
Next, as shown in Fig. 8D, the donor film 122 is removed from the transfer source substrate 160 together with the film frame 100. Then, as shown in Fig.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

100: 필름 프레임 122: 도너 필름
130: 롤러 132: 홈
150: 스테이지 160: 피전사 기판100: film frame 122: donor film
130: roller 132: groove
150: stage 160:

Claims

A film frame including first and second bar-type frames spaced apart at regular intervals, and film fixing means for fixing the film on the first and second bar-shaped frames;
And a first and a second grooves on which the first and second bar-shaped frames are respectively mounted,
The donor film forming apparatus comprising:

The method according to claim 1,
Wherein the film fixing means is a velcro, an adhesive, or a clamp.

The method according to claim 1,
Further comprising tension holding means detachably attachable to a lower portion of the first and second bar-shaped frames.

delete

Securing the base film to a film frame comprising first and second bar-type frames and film securing means;
Disposing rollers having first and second grooves on the film frame;
Mounting the first bar shaped frame to the first groove;
Winding the base film on the outer surface of the roller by rotating the roller;
Mounting the second bar shaped frame to the second groove;
Depositing an organic material on the surface of the base film while rotating the roller
&Lt; / RTI >

6. The method of claim 5,
Wherein an outer diameter of the roller is equal to or greater than a length of the base film, and the first and second grooves are adjacent to each other.

Placing a roller on which a donor film formed according to claim 5 or 6 is wound on one side of a stage on which an image receiving substrate is placed;
Fixing the first bar shaped frame to the stage;
Rotating the roller to bring the donor film into close contact with the image receiving substrate;
Removing the roller to separate the second bar-shaped frame from the roller;
Selectively irradiating a laser beam to transfer the organic layer of the donor film to the substrate to be transferred;
Removing the donor film from the transfer source substrate together with the film frame
/ RTI >

8. The method of claim 7,
Wherein separating the second bar shaped frame from the roller comprises securing the second bar shaped frame to the stage.