KR101985346B1 - Linear grating unit and linear gratings stitching and protection apparatus - Google Patents

Linear grating unit and linear gratings stitching and protection apparatus Download PDF

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KR101985346B1 KR1020170160253A KR20170160253A KR101985346B1 KR 101985346 B1 KR101985346 B1 KR 101985346B1 KR 1020170160253 A KR1020170160253 A KR 1020170160253A KR 20170160253 A KR20170160253 A KR 20170160253A KR 101985346 B1 KR101985346 B1 KR 101985346B1
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Abstract

본 발명은 와이어 그리드, 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부 및 와이어 그리드 압착편을 포함하고, 상기 와이어 그리드는 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되며, 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 각각 상기 와이어 그리드의 대응되는 양측에 위치하고, 상기 와이어 그리드는 눈금면이 상기 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부에 향하는 방향으로 설치되며, 상기 와이어 그리드 압착편을 상기 와이어 그리드의 양측 가장자리에 설치하고 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부에 각각 고정하는 것을 통해 상기 와이어 그리드를 고정하는 와이어 그리드 유닛을 공개한다. 상기 와이어 그리드 유닛은 구조가 간단하고 적용범위가 넓다. 본 발명은 상기 와이어 그리드 유닛의 와이어 그리드 결합 보호 장치를 더 공개하고, 상기 보호 장치는 조립식 구조를 사용하여 와이어 그리드의 유효 투광 면적을 증가하고 상기 보호 장치가 위치하는 조립 완제품의 누적량 균일성을 향상시킨다.The present invention relates to a wire grid comprising a wire grid, a first wire grid support, a second wire grid support and a wire grid press fitting, the wire grid being mounted on a first wire grid support and a second wire grid support, The support portion and the second wire grid support portion are respectively located at corresponding sides of the wire grid and the wire grid is installed in a direction in which the scale surface faces the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, And a wire grid unit for fixing the wire grid by fixing the wire grid unit to both the first wire grid support unit and the second wire grid support unit. The wire grid unit has a simple structure and a wide range of applications. The present invention further discloses a wire grid coupling protection device for the wire grid unit which uses a prefabricated structure to increase the effective light emitting area of the wire grid and to improve the uniformity of the cumulative amount of the finished assembly in which the protection device is located .

Description

와이어 그리드 유닛 및 와이어 그리드 결합 보호 장치{LINEAR GRATING UNIT AND LINEAR GRATINGS STITCHING AND PROTECTION APPARATUS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a wire grid unit,

본 발명은 와이어 그리드(wire grid) 유닛 및 와이어 그리드 결합 보호 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wire grid unit and a wire grid coupling protection device.

액정표시기(LCD) 광배향 기기의 핵심부재는 편광방향이 일치한 와이어 그리드 어셈블리 부분이고, 현재 와이어 그리드 생산 제조 수준의 제한으로 인해, 국내외에서 사용 가능한 와이어 그리드 사이즈는 일반적으로 120 mm×120 mm, 100 mm×100 mm와 120 mm×100 mm 3가지이다. 현재 세계적으로 주류 액정표시기의 생산 사이즈는 이미 4.5 G와 6 G에 도달하였고, 다수의 와이어 그리드를 결합 사용해야 하기에 와이어 그리드 결합 보호 장치를 위해 신뢰할 수 있는 와이어 그리드 결합 보호 유닛을 설계할 필요가 있다.The core of the liquid crystal display (LCD) optical alignment device is the part of the wire grid assembly with the matching polarization direction. Due to the limitation of current manufacturing level of the wire grid, the wire grid size available at home and abroad is generally 120 mm × 120 mm, There are three types of 100 mm × 100 mm and 120 mm × 100 mm. Currently, production sizes of mainstream liquid crystal displays have already reached 4.5 G and 6 G, and it is necessary to design a reliable wire grid coupling protection unit for wire grid coupling protection, since many wire grids must be used in combination .

광배향 기기 편광 모듈에 대한 주요 성능 요구는 일반적으로 하기와 같다.The main performance requirements for the polarization-modulating module of the photo-alignment device are generally as follows.

1. 편광 각도 오차: ±870 urad;1. Polarization angle error: ± 870 urad;

2. 소광비: ≥100:1;2. Extinction ratio:? 100: 1;

3. 연합 조명 등 모듈이 와이어 그리드 투과 후 빛의 누적량(accumulated dose)의 균일성: ≤5 %.3. Uniformity of the accumulated dose of light after the combined illumination module penetrates the wire grid: ≤5%.

여기서, 상기 3번째 사항 중의 누적량 균일성은 조립 완제품 종합 지표로서, 편광 모듈에서 출사되는 편광 광선의 전반 품질 또는 성능을 최종적으로 보여준다. 상기 누적량 균일성은 정규화(normalization)된 수치 최대치에서 최소치를 덜고 2를 나눈 값을 사용하여 평가하기에, 균일성의 수치가 작을수록 성능이 좋음을 의미한다. 상기 누적량 균일성의 계산은 선행기술 중의 여러 가지 숙지된 방법을 사용하여 계산할 수 있기에 여기서는 일일이 설명하지 않기로 한다. 여러 번의 분석과 시뮬레이션 실험을 통하여, 선행기술 환경에서 누적량 균일성에 영향을 주는 주요한 파라미터가 바로 편광 모듈에서 와이어 그리드 결합 이음새 폭임을 발견하였다. 기타 구조, 조건이 변하지 않을 경우, 결합 이음새 폭이 각각 6.5 mm, 3 mm일 때 시뮬레이션 데이터를 정리하면 하기 표와 같다.Here, the cumulative amount uniformity in the third item is a composite index of finished articles of the finished product, and finally shows the overall quality or performance of the polarized light emitted from the polarization module. The cumulative amount uniformity is evaluated by using a value obtained by dividing the minimum value by the normalized maximum value minus 2, and the smaller the uniformity value, the better the performance. The calculation of the cumulative amount uniformity can be calculated by using various well-known methods in the prior art, and will not be described here. Through several analysis and simulation experiments, we found that the major parameter that affects the cumulative uniformity in the prior art environment is the width of the wire grid joint in the polarization module. When the other structures and conditions are not changed, when the joint widths are 6.5 mm and 3 mm respectively, the simulation data can be summarized as follows.

와이어 그리드 결합 이음새 폭이 6.5 mm일 때의 시뮬레이션 데이터 정리는 표1과 같다.Table 1 summarizes the simulation data when the wire grid joint width is 6.5 mm.

영향요소Affect Factor 누적 균일성Cumulative uniformity 오차 요구Error requirement 램프 발광 일치성Lamp luminous agreement 3.230 %3.230% 조명 거리가 일으키는 균일성의 오차Errors in the uniformity caused by the illumination distance 2.310 %2.310% 와이어 그리드 결합 이음새 폭Wire grid bond width 2.100 %2.100% 와이어 그리드 이음새 폭이 6.5 mmWire grid joint width 6.5 mm 조립 배향 오차Assembly orientation error 0.220 %0.220% Y향 정밀도(mm)Y direction precision (mm) 램프 조절 해상도Lamp adjustment resolution 0.020 %0.020% 0.10.1 와이어 그리드 조절 해상도Wire grid adjustment resolution 0.020 %0.020% 0.10.1 와이어 그리드 투광홀과 회전 중심 위치 오차Wire grid light hole and rotation center position error 0.040 %0.040% 0.20.2 와이어 그리드 나노라인과 투광홀 장변 방향 평행도(1400 mm 내)Wire grid parallel to the long side (within 1400 mm) 0.040 %0.040% 0.2(대응각은 140 urad)0.2 (corresponding angle is 140 urad) 와이어 그리드 투광홀 사이즈 오차Wire grid projection hole size error 0.040 %0.040% 0.20.2 램프 박스 광반과 램프 박스 회전 중심 위치 오차Lamp box light panel and lamp box rotation center position error 0.040 %0.040% 0.20.2 램프 박스 회전 중심과 와이어 그리드 회전 중심 위치 오차Lamp box rotation center and wire grid rotation center position error 0.020 %0.020% 0.10.1 필터 투과율 균일성Filter transmittance uniformity 4.000 %4.000% 와이어 그리드Wire grid 1.000 %1.000% 와이어 그리드 보호 유리Wire grid protection glass 0.500 %0.500% 램프 박스 어셈블리와 와이어 그리드 어셈블리의 상대 진동 변위Relative vibration displacement of lamp box assembly and wire grid assembly 0.040 %0.040% 상대 동탄성(Relative Dynamic) 변위≤200 μmRelative Dynamic Displacement ≤200 μm 휘도 안정성Luminance stability 1.500 %1.500% ESS 열 이동(thermal drift)ESS thermal drift 0.400 %0.400% 온도변화≤1 →℃/hTemperature change ≤ 1 → ° C / h 합계Sum 5.584 %5.584%

와이어 그리드 결합 이음새 폭이 3 mm일 때의 시뮬레이션 데이터 정리는 표2과 같다.Table 2 summarizes the simulation data when the wire grid joint width is 3 mm.

영향요소Affect Factor 누적 균일성Cumulative uniformity 오차 요구Error requirement 램프 발광 일치성Lamp luminous agreement 3.230 %3.230% 조명 거리가 일으키는 균일성의 오차Errors in the uniformity caused by the illumination distance 2.310 %2.310% 와이어 그리드 결합 이음새 폭Wire grid bond width 1.000 %1.000% 와이어 그리드 이음새 폭≤ 3mm, 높이≤4 mmWire grid joint width ≤ 3 mm, height ≤ 4 mm 조립 배향 오차Assembly orientation error 0.220 %0.220% Y향 정밀도(mm)Y direction precision (mm) 램프 조절 해상도Lamp adjustment resolution 0.020 %0.020% 0.10.1 와이어 그리드 조절 해상도Wire grid adjustment resolution 0.020 %0.020% 0.10.1 와이어 그리드 투광홀과 회전 중심 위치 오차Wire grid light hole and rotation center position error 0.040 %0.040% 0.20.2 와이어 그리드 나노라인과 투광홀 장변 방향 평행도(1400 mm 내)Wire grid parallel to the long side (within 1400 mm) 0.040 %0.040% 0.2(대응각은 140 urad)0.2 (corresponding angle is 140 urad) 와이어 그리드 투광홀 사이즈 오차Wire grid projection hole size error 0.040 %0.040% 0.20.2 램프 박스 광반과 램프 박스 회전 중심 위치 오차Lamp box light panel and lamp box rotation center position error 0.040 %0.040% 0.20.2 램프 박스 회전 중심과 와이어 그리드 회전 중심 위치 오차Lamp box rotation center and wire grid rotation center position error 0.020 %0.020% 0.10.1 필터 투과율 균일성Filter transmittance uniformity 4.000 %4.000% 와이어 그리드Wire grid 1.000 %1.000% 와이어 그리드 보호 유리Wire grid protection glass 0.500 %0.500% 램프 박스 어셈블리와 와이어 그리드 어셈블리의 상대 진동 변위Relative vibration displacement of lamp box assembly and wire grid assembly 0.040 %0.040% 상대 동탄성 변위≤200 μmRelative dynamic displacement ≤ 200 μm 휘도 안정성Luminance stability 1.500 %1.500% ESS 열 이동(thermal drift)ESS thermal drift 0.400 %0.400% 온도변화≤1 →℃/hTemperature change ≤ 1 → ° C / h 합계Sum 4.763 %4.763%

이로부터 보아낼 수 있는 바, 와이어 그리드 결합 이음새 폭이 6.5 mm에서 3 mm로 감소될 때, 조립 완제품 누적량 균일성은 5.58 %에서 4.76 %로 높아진다.From this it can be seen that when the wire grid bond seam width is reduced from 6.5 mm to 3 mm, the cumulative uniformity of assembly finished product increases from 5.58% to 4.76%.

종합해보면, 상기 3가지 성능 요구로부터 와이어 그리드 보호, 결합 방면에 대한 주요 기능 요구로 변화하는 것은, 각 와이어 그리드에서 믿음직한 고정밀도 결합을 실현하는 동시에 고온, 심자외선(Deep Ultraviolet), 평면 내에서 조건 조절이 가능한 경우 최대한 작은 결합 이음새를 유지하는 것이다. 결합 장치에 대한 구체적인 요구는 하기와 같다.Taken together, from the above three performance requirements, changes in the wire grid protection, the main function requirement for the coupling surface, are to realize a reliable high-precision coupling in each wire grid, and to realize high temperature, deep ultraviolet (Deep Ultraviolet) If adjustable, keep the joint as small as possible. Specific requirements for the coupling device are as follows.

와이어 그리드에 대한 기계적 보호가 신뢰할 수 있어야 하고, 고온 작업 환경에서 와이어 그리드 투광 영역, 편광 각도 등 방면에 대한 영향을 방지하며, 와이어 그리드 유효 투광 면적을 최대한으로 크게 하고, 두 개의 와이어 그리드 유효 투광 영역 간의 결합 이음새를 최대한으로 작게 하며, 와이어 그리드 편광 방향을 미세 조정하고, 와이어 그리드 눈금면에 대해 항산화 보호를 진행한다.The mechanical protection against the wire grid must be reliable, the influence on the wire grid light emitting area, polarization angle, etc. in a high-temperature working environment is prevented, the wire grid effective light emitting area is maximized and the two wire grid effective light emitting areas To minimize the joint between the wire grid, to fine-tune the polarization direction of the wire grid, and to conduct antioxidant protection on the wire grid scale surface.

현재 국내외에서 결합에 사용되는 와이어 그리드 결합 유닛은 일반적으로 일체형 박스 유닛 구조로서, 상기 구조에는 하기와 같은 문제가 존재한다.Currently, the wire grid coupling unit used for coupling at home and abroad is generally a one-piece box unit structure, and the following problems exist in the above structure.

가공이 어렵고, 상기 구조는 와이어 그리드 결합 방향 단일 변 폭이 일반적으로 1~5 mm이기에 가공 기기 및 공법의 제한으로 인해 상기 구조 가공이 테두리 형상을 유지하기 어렵다.And it is difficult for the above-mentioned structure to maintain the rim shape due to limitation of the processing equipment and the method because the single-side width of the wire grid bonding direction is generally 1 to 5 mm.

고온에서 변형이 발생하기 쉽고 제품 성능에 영향이 발생하기 쉽다. 상기 구조의 네 각은 모두 고정되었지만 와이어 그리드는 강렬한 심자외선의 조사하에서 작업하고 압축 공기 산열이 추가되는 경우 작업 온도는 일반적으로 150~200 ℃이고 더 높을 수도 있고, 비결합 방향 온도 기울기는 약 50 ℃이며, 이때 상기 구조는 변형이 발생하기 쉽고 변형은 제어가 불가능하다.Deformation is likely to occur at a high temperature and the product performance is liable to be affected. While all of the angles of the structure are fixed, the wire grid is working under intense deep ultraviolet radiation, and when the compressed air heat is added, the working temperature is typically 150-200 ° C and may be higher and the unbonded direction temperature gradient is about 50 ° C., where the structure is prone to deformation and the deformation is not controllable.

결합 간극이 크고, 테두리 단일 변 가공 가능 사이즈 및 하나의 와이어 그리드의 조절 범위를 고려하면, 상기 구조 와이어 그리드와 와이어 그리드 사이의 결합 이음새는 일반적으로 7 mm 및 그 이상이다.Considering the large interlocking clearance, the rim single side machining size and the adjustment range of one wire grid, the joint between the structural wire grid and the wire grid is typically 7 mm and more.

지나치게 폐쇄적이기에, 하나의 와이어 그리드 박스체는 자가적으로 하나의 밀폐된 챔버를 형성하여 와이어 그리드 표면 나노라인을 보호하고, 제품의 사이즈, 와이어 그리드 결합 사이즈의 증가에 따라 외부 보호 기체 통로, 파이프 배치 복잡 정도가 부단히 증가하게 된다.One wire grid box body is self-contained to form a closed chamber to protect the wire grid surface nano-lines, and the external protective gas channel, pipe arrangement The degree of complexity increases steadily.

본 발명은 와이어 그리드 결합 보호 장치의 가공이 어렵고 고온에서 변형이 발생하기 쉬우며 결합 간극이 큰 문제를 해결하기 위한 와이어 그리드 유닛 및 와이어 그리드 결합 보호 장치를 제공한다.The present invention provides a wire grid unit and a wire grid coupling protection device to solve the problem that the wire grid coupling protection device is difficult to process, deformation is likely to occur at high temperature, and the coupling gap is large.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 해결수단은 하기와 같다.Technical solutions of the present invention for solving the technical problems are as follows.

본 발명은 와이어 그리드, 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부 및 와이어 그리드 압착편을 포함하고, 상기 와이어 그리드는 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되며, 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 각각 상기 와이어 그리드의 대응되는 양측에 위치하고, 상기 와이어 그리드는 눈금면이 상기 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부에 향하는 방향으로 설치되며, 상기 와이어 그리드 압착편을 상기 와이어 그리드의 양측 가장자리에 설치하고 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부에 각각 고정하는 것을 통해 상기 와이어 그리드를 고정하는 와이어 그리드 유닛을 공개한다.The present invention relates to a wire grid comprising a wire grid, a first wire grid support, a second wire grid support and a wire grid press fitting, the wire grid being mounted on a first wire grid support and a second wire grid support, The support portion and the second wire grid support portion are respectively located at corresponding sides of the wire grid and the wire grid is installed in a direction in which the scale surface faces the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, And a wire grid unit for fixing the wire grid by fixing the wire grid unit to both the first wire grid support unit and the second wire grid support unit.

바람직하게, 상기 와이어 그리드 유닛은 유닛 차광부를 더 포함하고, 상기 유닛 차광부는 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치된다.Preferably, the wire grid unit further includes a unit shielding portion, and the unit shielding portion is installed in the first wire grid support portion and the second wire grid support portion.

바람직하게, 상기 와이어 그리드 압착편은 상기 유닛 차광부와 일체로 형성될 수 있다.Preferably, the wire grid pressing piece may be integrally formed with the unit light-shielding portion.

바람직하게, 상기 와이어 그리드 압착편은 연성 재료 또는 구조를 사용하여 제조된다.Preferably, the wire grid compression element is manufactured using a soft material or structure.

바람직하게, 상기 와이어 그리드 유닛은 두 개의 연결부를 더 포함하고, 두 개의 상기 연결부는 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부를 연결하며, 상기 연결부는 상기 와이어 그리드와 접촉되지 않고, 와이어 그리드 눈금면에 수직되는 방향에서 상기 연결부와 상기 와이어 그리드 사이의 간극은 0.3 mm보다 크지 않으며, 상기 연결부는 상기 와이어 그리드의 정투영 범위 내에 위치한다.Preferably, the wire grid unit further includes two connection portions, the two connection portions connect the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, and the connection portion is not in contact with the wire grid, The gap between the connection portion and the wire grid in a direction perpendicular to the grid scale surface is not greater than 0.3 mm, and the connection portion is located within the constant projection range of the wire grid.

바람직하게, 상기 연결부의 외측 가장자리는 상기 와이어 그리드의 외측 가장자리와 나란히 형성된다.Preferably, an outer edge of the connection portion is formed alongside an outer edge of the wire grid.

바람직하게, 상기 연결부는 고탄성 탄성계수, 저열 팽창 계수의 재료를 사용하여 제조된다.Preferably, the connecting portion is manufactured using a material having a high elastic modulus and a low thermal expansion coefficient.

바람직하게, 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 모두 저밀도 금속을 사용하여 제조된다.Preferably, both the first wire grid support and the second wire grid support are fabricated using a low density metal.

본 발명에 따른 와이어 그리드 유닛은 구조가 간단하고 공간 점유율이 작으며 적용 범위가 크다.The wire grid unit according to the present invention has a simple structure, a small space occupancy, and a wide application range.

본 발명은 프레임, 다수의 상기 와이어 그리드 유닛, 프레임 차광부, 밀봉부 및 기체 경로 시스템을 포함하고, 다수의 상기 와이어 그리드 유닛은 1자형으로 상기 프레임에 배열 설치되며, 각각의 상기 와이어 그리드 유닛의 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 모두 상기 프레임에 고정되고; 상기 프레임 차광부는 상기 와이어 그리드 유닛 사이의 결합 이음새 하방에 위치하고 상기 프레임에 설치되며; 상기 밀봉부는 상기 프레임에 설치되고 상기 프레임, 상기 제1 차광부 및 상기 와이어 그리드 유닛과 전반 챔버를 형성하며; 상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임 내부에 매설되고, 상기 전반 챔버와 연통되며; 상기 결합 이음새의 폭은 인접한 두 개의 와이어 그리드 유닛 사이의 유효 투광 영역이 결합 방향을 따라 형성한 간격 폭인 와이어 그리드 결합 보호 장치를 더 공개한다.The wire grid unit includes a frame, a plurality of the wire grid units, a frame shielding unit, a sealing unit, and a gas path system, wherein the plurality of wire grid units are arranged in one frame in a shape of one frame, Both the first wire grid support portion and the second wire grid support portion are fixed to the frame; Wherein the frame shielding portion is disposed below the joint between the wire grid units and installed in the frame; Wherein the sealing portion is provided in the frame and forms a transmission chamber with the frame, the first light-shielding portion, and the wire grid unit; The gas path system is embedded in the frame and communicates with the transfer chamber; Wherein the width of the coupling joint is a gap width formed by the effective light-projecting area between two adjacent wire grid units along the coupling direction.

바람직하게, 각각의 상기 와이어 그리드 유닛의 일단은 상기 프레임에 설치되는 위치결정 핀을 통해 위치결정되고, 상기 일단에 대응되는 타단은 상기 프레임에 설치되는 프레임 압착편을 통해 상기 프레임에 압착되며, 상기 프레임에서, 상기 위치결정 핀 양측에 위치하고, 상기 와이어 그리드 유닛을 고정하는 체결부가 각각 설치된다.Preferably, one end of each of the wire grid units is positioned through a positioning pin provided in the frame, and the other end corresponding to the one end is pressed onto the frame through a frame compression piece provided on the frame, In the frame, fastening portions located on both sides of the positioning pin and fixing the wire grid unit are provided, respectively.

바람직하게, 각각의 와이어 그리드 유닛에는 두 개의 상기 프레임 압착편이 대응되게 설치된다.Preferably, each of the wire grid units is provided with two of the frame press-contact pieces correspondingly.

바람직하게, 상기 프레임 압착편은 연성 재료 또는 구조를 사용하여 제조된다.Preferably, the frame compression piece is manufactured using a flexible material or structure.

바람직하게, 상기 와이어 그리드 유닛의 일단은 상기 프레임에 설치되는 위치결정 핀을 통해 상기 제1 와이어 그리드 지지부를 위치결정시키고, 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되는 압착못을 통해 상기 와이어 그리드 유닛을 상기 프레임에 압착시키며, 상기 압착못이 분포된 중심은 상기 와이어 그리드의 무게중심이 와이어 그리드 눈금면에서의 투영과 합쳐지고, 상기 제2 와이어 그리드 지지부에는 상기 위치결정 핀 위치와 대응되고 상기 와이어 그리드 유닛을 뽑기 위한 풀링 로드가 설치된다.Preferably, one end of the wire grid unit locates the first wire grid support portion through positioning pins provided in the frame, and the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, Wherein the center of gravity of the wire grid is merged with the projection on the wire grid scale surface, and the second wire grid support portion corresponds to the position of the positioning pin And a pulling rod for pulling out the wire grid unit is provided.

바람직하게, 상기 압착못은 나사못과 상기 나사못에 씌움설치되는 스프링을 포함하고, 상기 나사못은 상기 스프링에 대해 위치제한을 진행하며, 상기 스프링은 상기 와이어 그리드 유닛을 압착하고, 상기 나사못은 상기 프레임에 조립설치되며, 상기 나사못의 조임(screwing in) 깊이를 제어하는 것을 통해 상기 스프링이 상기 와이어 그리드 유닛에 대한 압착력을 제어한다.Preferably, the compression nail comprises a screw and a spring mounted on the screw, wherein the screw is positionally restricted with respect to the spring, the spring compresses the wire grid unit, And the spring controls the pressing force on the wire grid unit by controlling the depth of the screwing in of the screw.

바람직하게, 상기 나사못에는 댐퍼가 씌움설치되고, 상기 댐퍼는 상기 스프링의 이탈을 방지할 수 있다.Preferably, the screw is provided with a damper, and the damper can prevent the spring from coming off.

바람직하게, 각각의 상기 와이어 그리드 유닛에 대응되게 3개보다 적지 않은 상기 압착못이 설치된다.Preferably, not less than three of the compression nails are provided corresponding to each of the wire grid units.

바람직하게, 상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임 내에 매설된 합류 배기 통로, 배기 우회로 및 흡기 통로를 포함하고, 상기 흡기 통로, 전반 챔버, 배기 우회로 및 합류 배기 통로를 순차적으로 경유하여 기체 통로를 형성한다.Preferably, the gas path system includes a merging exhaust passage, an exhaust bypass, and an intake passage embedded in the frame, and sequentially forms the gas passage through the intake passage, the transfer chamber, the exhaust bypass, and the merging exhaust passage.

본 발명에 따른 상기 와이어 그리드 결합 보호 장치는 조립식 구조를 사용하여, 각 부분이 각자의 기능, 성능 등 요구에 따라 상이한 재료를 선택함으로써, 사용 요구를 만족하는 전제하에 와이어 그리드의 유효 투광 면적을 증가하고 가공이 쉽다. 와이어 그리드 사이의 결합 이음새 폭을 2.5 mm~6.5 mm로 압축하여 와이어 그리드 유효 투광 면적을 더한층 증가하는 동시에 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치가 위치하는 조립 완제품의 누적량 균일성을 향상시킨다.The wire grid coupling protection device according to the present invention uses a prefabricated structure to increase the effective light transmitting area of the wire grid under the premise of satisfying the use requirement by selecting different materials according to requirements such as function and performance of each part And easy to process. Compresses the bond joint width between the wire grids to 2.5 mm to 6.5 mm to further increase the wire grid effective light transmittance area while improving the cumulative amount uniformity of the finished finished product in which the open wire grid bond protector is located.

도1은 본 발명 실시예1에 따른 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치의 구조 모식도이다.
도2는 본 발명 실시예1에 따른 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치의 부분 확대도이다.
도3은 도1의 A-A방향에 따른 단면도이다.
도4는 본 발명 실시예1에 따른 와이어 그리드 유닛의 구조 모식도이다.
도5는 본 발명 실시예1에 따른 와이어 그리드 유닛의 분해도이다.
도6은 본 발명 실시예2에 따른 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치의 구조 모식도이다.
도7은 본 발명 실시예2에 따른 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치의 부분 확대도이다.
도8은 도6의 B-B방향에 따른 단면도이다.
도9는 본 발명 실시예2에 따른 와이어 그리드 유닛의 구조 모식도이다.
도10은 본 발명 실시예2에 따른 와이어 그리드 유닛의 분해도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a structural schematic diagram of an open wire grid coupling protection device according to Embodiment 1 of the present invention. FIG.
2 is a partial enlarged view of an open wire grid coupling protection device according to Embodiment 1 of the present invention.
3 is a cross-sectional view along the AA direction in Fig.
4 is a structural schematic diagram of a wire grid unit according to Embodiment 1 of the present invention.
5 is an exploded view of the wire grid unit according to the first embodiment of the present invention.
6 is a structural schematic diagram of an open wire grid coupling protection device according to Embodiment 2 of the present invention.
7 is a partial enlarged view of an open wire grid coupling protection device according to Embodiment 2 of the present invention.
8 is a cross-sectional view taken along line BB of Fig.
9 is a structural schematic diagram of a wire grid unit according to Embodiment 2 of the present invention.
10 is an exploded view of a wire grid unit according to Embodiment 2 of the present invention.

하기 도면을 결부한 본 발명의 구체적인 실시방식에 대한 설명을 통해 본 발명의 상기 목적, 특징 및 장점이 더욱 명확해질 것이다. 설명해야 할 것은, 본 발명의 도면은 모두 정확하지 않은 비율로 간략하게 도시된 것으로서, 본 발명 실시예를 편리하고 명확하게 보조적으로 설명하기 위한 목적으로 사용된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of a specific embodiment of the present invention in connection with the drawings. It should be noted that the drawings of the present invention are all schematically shown in an inaccurate ratio and are used for convenience and clarification of the embodiments of the present invention.

실시예1Example 1

도1~도3을 참조하면, 도2는 도1의 하나의 와이어 그리드 유닛의 부분 확대도이고, 도3은 도1의 A-A방향 단면도이다, 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는 프레임(1), 다수의 와이어 그리드 유닛(2), 프레임 차광부(3), 밀봉부(4) 및 기체 경로 시스템을 포함하고, 상기 와이어 그리드 유닛(2)은 1자형으로 상기 프레임(1)에 배열 설치되며, 본 실시예에서 14개의 상기 와이어 그리드 유닛(2)을 설치하고, 상기 프레임 차광부(3)는 인접한 와이어 그리드 유닛(2) 사이의 결합 이음새 하방에 위치하고 상기 프레임(1)에 설치되며; 상기 프레임 차광부(3)는 상기 와이어 그리드 유닛(2)과 접촉되지 않고, 상기 프레임 차광부(3)의 폭은 상기 결합 이음새의 폭보다 작지 않으며, 상기 밀봉부(4)는 상기 프레임(1)에 설치되고 상기 프레임(1), 상기 프레임 차광부(3) 및 상기 와이어 그리드 유닛(2)과 전반 챔버(5)를 형성하며, 상기 전반 챔버(5)는 전체 프레임(1) 내부를 관통하여, 각각의 와이어 그리드 유닛의 와이어 그리드 눈금면이 모두 전반 챔버(5) 내에 위치하도록 하고, 상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임(1) 내부에 매설되어 상기 전반 챔버(5) 내에 기체를 공급하며; 상기 결합 이음새 폭은 인접한 두 개의 와이어 그리드 유닛(2) 사이의 유효 투광 영역이 결합 방향을 따라 형성한 간격 폭이다.Fig. 2 is a partial enlarged view of one wire grid unit of Fig. 1, and Fig. 3 is a cross-sectional view in the direction of AA of Fig. 1. Open wire grid bonding protection apparatus includes frame 1, (1), the wire grid unit (2), the frame shielding part (3), the sealing part (4) and the gas path system, In the embodiment, fourteen of the wire grid units 2 are provided, and the frame shielding part 3 is disposed below the joints between the adjacent wire grid units 2 and installed in the frame 1; The frame shielding part 3 does not contact the wire grid unit 2 and the width of the frame shielding part 3 is not smaller than the width of the coupling seams, ) And forms a transmission chamber (5) with the frame (1), the frame shielding part (3) and the wire grid unit (2), and the transmission chamber (5) So that the wire grid graduation planes of the respective wire grid units are all located in the transfer chamber 5, and the gas path system is embedded in the frame 1 to supply the gas into the transfer chamber 5; The combined joint width is an interval width formed by the effective light-transmitting regions between the adjacent two wire grid units 2 along the joining direction.

도 5를 참조하면, 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 유닛은 유닛 차광부(6)를 더 포함하고, 상기 유닛 차광부(6)는 상기 와이어 그리드 유닛(2) 상방에 위치한다. 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는, 액정표시기 가공 공법 및 제품이 편광 가장자리가 나란히 형성되는 등 방면에 대한 구체적인 요구에 따라, 상기 유닛 차광부(6)는 설치되지 않을 수도 있다.5, the open wire grid coupling protection unit further includes a unit shielding portion 6, and the unit shielding portion 6 is located above the wire grid unit 2. [ The unitary light shielding unit 6 may not be installed in accordance with the specific requirements of the liquid crystal display manufacturing method and the back surface where the polarizing edges are formed side by side.

도4 및 도5를 참조하면, 하나의 상기 와이어 그리드 유닛(2)을 예로 들면, 상기 와이어 그리드 유닛(2)은 와이어 그리드(21), 제1 와이어 그리드 지지부(22), 제2 와이어 그리드 지지부(23)와 와이어 그리드 압착편(24)을 포함하고, 상기 와이어 그리드(21)의 눈금면이 상기 전반 챔버(5)를 향하며, 상기 와이어 그리드(21)는 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 제2 와이어 그리드 지지부(23)에 설치되고, 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)는 각각 상기 와이어 그리드(21)의 양측에 설치되어, 상기 와이어 그리드(21)를 지지하고, 상기 와이어 그리드(21)는 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)에 고정된 와이어 그리드 압착편(24)을 통해 위치를 고정하며, 상기 와이어 그리드(21)는 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)를 통해 상기 프레임(1)에 설치되고, 상기 유닛 차광부(6)는 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)에 고정된다. 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)에는 모두 두 개의 상기 와이어 그리드 압착편(24)이 설치된다. 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)에는 상기 와이어 그리드 압착편(24)과 상기 유닛 차광부(6)가 순차적으로 설치되고, 즉 유닛 차광부(6)가 상기 와이어 그리드 압착편(24)에 압착 설치되며, 나사못을 통해 와이어 그리드 압착편(24)과 상기 유닛 차광부(6)를 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)에 고정하고, 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22) 상의 상기 와이어 그리드 압착편(24)과 상기 유닛 차광부(6)도 각각 나사못을 통하여 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)에 고정될 수 있으며, 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23) 상의 상기 와이어 그리드 압착편(24)과 상기 유닛 차광부(6)는 제1 와이어 그리드 지지부(22)상의 와이어 그리드 압착편(24)과 상기 유닛 차광부(6)의 설치위치와 방식이 동일하다. 상기 와이어 그리드 압착편(24)은 내고온, 내자외선 고무를 사용하여 제조되고, 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)는 모두 저밀도 금속을 사용하여 제조되며, 밀도가 2.7 g/cm3보다 작고, 예를 들면 알루미늄 또는 알루미늄 합급이다.4 and 5, in the case of one wire grid unit 2, the wire grid unit 2 includes a wire grid 21, a first wire grid support portion 22, a second wire grid support portion 22, Wherein the wire grid includes a first wire grid support part and a wire grid compression part and wherein a scale surface of the wire grid is directed toward the transmission chamber and the wire grid comprises a first wire grid support part, The first wire grid support portion 22 and the second wire grid support portion 23 are installed on both sides of the wire grid 21 so that the wire grid 21 And the wire grid 21 fixes its position through the wire grid pressing piece 24 fixed to the first wire grid support portion 22 and the second wire grid support portion 23, The grid (21) And the unit shielding part 6 is attached to the first wire grid support part 22 and the second wire grid support part 23 through the second wire grid supporting part 23. [ 23). Two wire grid compression pieces 24 are provided on the first wire grid support portion 22 and the second wire grid support portion 23, respectively. The wire grid pressing part 24 and the unit shielding part 6 are sequentially disposed on the first wire grid supporting part 22, that is, the unit shielding part 6 is pressed against the wire grid pressing part 24 And the wire grid pressing part 24 and the unit shielding part 6 are fixed to the first wire grid supporting part 22 through a screw and the wire grid pressing part 24 on the first wire grid supporting part 22 The wire grid pressing part 24 on the second wire grid supporting part 23 and the wire grid pressing part 24 on the second wire grid supporting part 23 can be fixed to the first wire grid supporting part 22 through screws, The unit shielding part 6 has the same configuration as that of the wire grid pressing part 24 on the first wire grid support part 22 and the installation position of the unit shielding part 6. [ The first wire grid support part 22 and the second wire grid support part 23 are both manufactured using a low density metal, and the first wire grid support part 22 and the second wire grid support part 23 are manufactured using high temperature, The density is less than 2.7 g / cm < 3 >, for example aluminum or aluminum alloy.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 와이어 그리드 유닛(2)의 일단은 상기 프레임(1)에 설치되는 위치결정 핀(11)을 통해 초보적으로 위치결정되고, 타단은 상기 프레임(1)에 설치되는 프레임 압착편(12)을 통해 압착되고 나아가 상기 와이어 그리드 유닛(2)을 상기 프레임(1)에 압착시킨 다음 프레임(1)의 체결 나사못(13)을 통해 체결됨으로써, 하나의 와이어 그리드 유닛(2)을 상기 프레임(1)에 고정시킨다. 상기 프레임 압착편(12)은 내고온, 내자외선의 연성 재료 또는 구조를 사용하여 제조되고, 상기 연성 재료는 비교적 좋은 탄소성 및 연성을 구비하며, 예를 들면 고무이고, 상기 연성 구조는 구조물의 만곡, 변형에 의하거나 또는 탄성을 구비하여 이동, 에너지전달 또는 힘을 발생하는 구조이다. 본 실시예에서, 상기 프레임 압착편(12)은 두 개가 설치된다. 상기 프레임(1)에는 상기 위치결정 핀(11) 양측에 설치되고, 체결 나사못(13)이 각각 설치되며, 상기 와이어 그리드(21)는 상기 체결 나사못(13)을 통해 고정된다.2, one end of the wire grid unit 2 is initially positioned through a positioning pin 11 provided in the frame 1, and the other end is installed in the frame 1 The wire grid unit 2 is pressed on the frame 1 and then fastened through the fastening screw 13 of the frame 1 so that one wire grid unit 2 ) To the frame (1). The frame compression piece 12 is manufactured using a soft material or structure of high temperature and ultraviolet ray resistance, and the soft material has relatively good elasticity and ductility, for example, rubber, It is a structure that generates curvature, deformation, or movement, energy transfer or force with elasticity. In the present embodiment, two frame compression pieces 12 are provided. The frame 1 is provided on both sides of the positioning pin 11 and is provided with fastening screws 13 and the wire grid 21 is fastened through the fastening screw 13.

본 실시예에서, 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)의 하면 평면도는 모두 0.01 mm보다 작지 않고, 와이어 그리드(21)에 대응되는 설치면 평면도 및 평행도는 7급 가공 제조 정밀도보다 작지 말아야 하며, 조립 시 전체 장치는 대응되는 하나의 와이어 그리드 유닛(2) 영역 면적 내 평면도가 0.01 mm보다 낮지 않은 대리석 또는 기타 작업 평면에 수평 설치되어 조립되어야 하고, 각 와이어 그리드 유닛(2)은 상기 프레임(1)에 조립되며, 결합 방향에서의 위치결정 정밀도는 0.2 mm보다 낮지 말아야 한다. 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는 일단이 고정되고 일단이 연성 압착 고정되는 방식을 사용하여, 고온 작업 환경에서 조립 변형이 제어 불가능한 경우를 방지한다.In this embodiment, the bottom plan views of the first wire grid support portion 22 and the second wire grid support portion 23 are not less than 0.01 mm, and the installation plane plan and the parallelism corresponding to the wire grid 21 are 7 And the entire apparatus at the time of assembly should be assembled horizontally in a marble or other working plane whose planarity in the area of one corresponding wire grid unit (2) area is not less than 0.01 mm, and each wire grid unit The unit 2 is assembled to the frame 1 and the positioning accuracy in the joining direction should not be lower than 0.2 mm. The open type wire grid coupling protection device uses a method in which one end is fixed and one end is soft-pressed and fixed, thereby preventing the case where the assembly deformation is uncontrollable in a high temperature working environment.

상기 와이어 그리드 유닛(2)은 두 개의 연결부(25)를 더 포함하고, 두 개의 상기 연결부(25)는 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)를 연결하며, 상기 연결부(25)는 상기 와이어 그리드(21)와 접촉되지 않고, 상기 연결부(25)와 상기 와이어 그리드(21) 사이의 간극은 0.3 mm보다 크지 않으며, 상기 연결부(25)의 외측 가장자리는 상기 와이어 그리드(21)의 외측 가장자리와 나란히 형성되고, 상기 연결부는 상기 와이어 그리드의 정투영 범위 내에 위치하며, 상기 연결부(25)는 고탄성 탄성계수、저열 팽창 계수 재료를 사용하여 제조되고, 열팽창 계수는 1.6x 10-6 /℃보다 낮고, 탄성계수는 2.06 x 105 MPa보다 높다.The wire grid unit 2 further includes two connection portions 25 and the two connection portions 25 connect the first wire grid support portion 22 and the second wire grid support portion 23, The connection part 25 does not contact the wire grid 21 and the gap between the connection part 25 and the wire grid 21 is not greater than 0.3 mm and the outer edge of the connection part 25 is connected to the wire Wherein the connection portion is located within a normal projection range of the wire grid and the connection portion is manufactured using a high elastic modulus and a low thermal expansion coefficient material and has a thermal expansion coefficient of 1.6 x 10 -6 / ° C, and the modulus of elasticity is higher than 2.06 x 10 5 MPa.

도 3을 참조하면, 상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임 내에 매설된 합류 배기 통로(71), 배기 우회로(72)와 흡기 통로(73)를 포함하고, 상기 흡기 통로(73), 상기 전반 챔버(5), 상기 배기 우회로(72)와 상기 합류 배기 통로(71)는 순차적으로 연통된다. 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는 각각의 와이어 그리드 유닛(2) 내부에 기체 통로를 설치하지 않기에, 조립 완제품 투광 영역 내에서 빛 차단을 더 한층 감소할 수 있다. 상기 와이어 그리드(21) 나노라인 산화를 방지하는 전제하에서, 상기 기체 경로 시스템에서 합류 배기 통로(71), 배기 우회로(72)와 흡기 통로(73)는 상기 전반 챔버(5) 내 기체 압력 강도 요구를 만족하는 조건하에서 융통성있게 배치될 수 있다.3, the gas path system includes a merging exhaust passage 71 embedded in the frame, an exhaust bypass 72 and an intake passage 73, and the intake passage 73, the transfer chamber 5 , The exhaust bypass passage 72 and the merging exhaust passage 71 communicate with each other in order. The open-wire-grid coupling protection device does not provide a gas passage inside each wire grid unit 2, so that it is possible to further reduce light interception within the finished article product light-emitting area. The merging exhaust passage 71, the exhaust bypass passage 72 and the intake passage 73 in the gas passage system are connected to each other by the gas pressure intensity demand in the transmission chamber 5 under the premise of preventing the wire grid 21 from being oxidized Lt; / RTI > can be flexibly arranged.

상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는, 상기 와이어 그리드(21) 상에서 눈금선 각도 오차가 비교적 차한 ±1 °일 경우, 상기 연결부(25)의 폭은 1 mm이고, 결합 이음새 폭은 4.5 mm~6.5 mm이며, 상기 와이어 그리드(21)의 눈금선 각도 오차가 비교적 차한 ±0.5 °일 경우, 상기 연결부(25)의 폭은 1 mm이고, 결합 이음새 폭은 2.5 mm~3.5 mm이다. 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치에서 상기 와이어 그리드(21)의 유효 투광 면적이 크게 증가되고, 와이어 그리드(21)의 단일 변이 단지 1 mm가 손실되어 남은 부분에 대해 압착하거나 또는 각도를 미세 조정하며, 두 개의 와이어 그리드(21) 사이의 결합 이음새 폭은 2.5 mm~6.5 mm로 압축될 수 있기에, 전반 모듈의 성능이 크게 증가된다.The open wire grid joint protection device is characterized in that, when the grid line angle error on the wire grid (21) is relatively small ± 1 °, the width of the connection portion (25) is 1 mm and the joint joint width is 4.5 mm to 6.5 mm And when the wire grid angle error of the wire grid 21 is relatively ± 0.5 °, the width of the connecting portion 25 is 1 mm and the width of the connecting joint is 2.5 mm to 3.5 mm. The effective light transmitting area of the wire grid 21 is greatly increased in the open wire grid bonding protection device and only 1 mm of the single side of the wire grid 21 is lost and the remaining portion is squeezed or fine- Since the joint width between the two wire grids 21 can be compressed from 2.5 mm to 6.5 mm, the performance of the module is greatly increased.

상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치는 조립식 구조를 사용하고, 각 부분이 각자의 기능, 성능 등 요구에 따라 상이한 재료를 선택하기에. 사용 요구를 만족하는 전제하에서 가공이 쉽다.The open-wire-grid coupling protection device uses a prefabricated structure, and each part selects materials that are different depending on their functions, performance, and the like. Processing is easy under the premise of satisfying the use requirements.

결합 이음새 폭이 6 mm인 상기 개방식 와이어 그리드 결합 보호 장치가 형성한 편광 모듈에 대해, 시뮬레이션, 이론 계산을 종합적으로 응용하여, 실제 측정하여 얻은 이때의 편광 각도 오차가 618 μrad로서 성능 요구 870 μrad보다 작고, 소광비가 102로서 성능 요구 100보다 높기에 모두 성능 요구를 만족시킨다. 여기서 편광 각도 오차 분석 종합표는 하기 표와 같다.For the polarization module formed by the open-wire-grid coupling protection device with the joint width 6 mm, simulation and theoretical calculations were comprehensively applied. The polarization angle error obtained at the actual measurement was 618 μrad, which was 870 μrad And the extinction ratio is 102, which is higher than the performance requirement 100, all satisfy the performance requirement. Here, the table for analyzing the polarization angle error is shown in the following table.

오차 항목Error item 오차 항목 크기(μrad)Error item size (μrad) 일으키는 편광 각도 오차(μrad)Polarization angle error (μrad) 상이한 영역의 편광 각도 오차Polarization angle error of different areas 174174 174174 결합 시 측정 정밀도 오차Measurement Accuracy Error in Combination 133133 133133 Mounted와이어 그리드 조절 정밀도 오차Mounted Wire grid adjustment accuracy error 6060 6060 결합 플랫폼 직선 가이드 레일 편향Combined platform straight guide rail deflection 9090 9090 결합 시Mounted와이어 그리드Rx 설치 오차
Mounted WireGrid Rx Mounting Error
200200 1010 결합 시Mounted와이어 그리드Ry 설치 오차Mounted wire grid Ry installation error 200200 1010 와이어 그리드 어셈블리 차광부가 편광 각도에 대한 영향Wire Grid Assembly Effect on Shading Part Polarization Angle 9090 9090 편광 각도 측정 시 측정 정밀도Measurement Accuracy at Polarization Angle Measurement 133133 133133 합계Sum 618618

연합 조명 등 모듈이 와이어 그리드 투과 후 빛의 누적량 균일성≤5 %, 요구를 만족한다.The combined illumination module satisfies the requirements of the uniformity of light accumulation ≤ 5% after penetration of the wire grid.

실시예2Example 2

도 6~도 10을 참조하면, 실시예2와 실시예1의 구별점은, 상기 와이어 그리드 유닛(2)의 일단이 상기 프레임(1)에 설치되는 위치결정 핀(11)을 통해 상기 제1 와이어 그리드 지지부(22)를 위치결정시키고, 제1 와이어 그리드 지지부(22)와 제2 와이어 그리드 지지부(23)에 설치되는 압착못(14)을 통해 상기 와이어 그리드 유닛(2)을 압착시킴으로써, 와이어 그리드 유닛(2)을 상기 프레임(1)에 위치결정시키고, 상기 압착못(14)은 상기 와이어 그리드 유닛(2)의 위치를 고정할 수 있는 것이다. 본 실시예에서, 상기 압착못(14)은 3개 설치되고, 상기 위치결정 핀(11)과 3개의 상기 압착못(14)이 형성한 도형의 중심은 상기 와이어 그리드(21)의 무게중심이 와이어 그리드 눈금면에서의 투영과 합쳐진다. 상기 제2 와이어 그리드 지지부(23)에는, 상기 위치결정 핀(11)의 위치와 대응되는 풀링 로드(15)가 설치되고, 상기 와이어 그리드(21)는 상기 풀링 로드(15)를 통해 평면 내 회전 조절을 진행한다.6 to 10, the distinction between the second embodiment and the first embodiment is that one end of the wire grid unit 2 is connected to the first through the positioning pin 11 provided in the frame 1, By positioning the wire grid support 22 and squeezing the wire grid unit 2 through the crimp nails 14 provided on the first wire grid support 22 and the second wire grid support 23, And positioning the grid unit 2 on the frame 1, and the pressing nail 14 is capable of fixing the position of the wire grid unit 2. In this embodiment, three compression nails 14 are provided, and the center of the figure formed by the positioning pin 11 and the three compression nails 14 is the center of gravity of the wire grid 21 It merges with the projections on the wire grid scale surface. The second wire grid support portion 23 is provided with a pulling rod 15 corresponding to the position of the positioning pin 11 and the wire grid 21 is rotated in the plane through the pulling rod 15 Proceed with the adjustment.

상기 압착못(14)은 나사못과 상기 나사못에 씌움설치되는 스프링을 포함하고, 상기 나사못은 상기 스프링에 대해 위치제한을 진행하며, 상기 스프링은 상기 와이어 그리드 유닛(2)을 압착하고, 상기 나사못은 상기 프레임에 조립설치되며, 상기 나사못의 조임 깊이를 제어하는 것을 통해 상기 스프링이 상기 와이어 그리드 유닛(2)에 대한 압착력을 조절하고, 상기 나사못에 댐퍼가 씌움설치될 수 있고, 상기 댐퍼는 상기 스프링의 이탈을 방지할 수 있다.The pressing nail (14) includes a screw and a spring mounted on the screw, the screw progresses a positional restriction with respect to the spring, the spring presses the wire grid unit (2) Wherein the spring adjusts a pressing force with respect to the wire grid unit (2) by controlling the tightening depth of the screw, and the damper is installed on the screw, Can be prevented.

상기 와이어 그리드 압착편(24)은 실시예1의 상기 유닛 차광부(6)에 대응되고, 상기 와이어 그리드 압착편(24)은 상기 와이어 그리드(21)를 압착하고 빛을 차단하는 기능을 동시에 구비한다.The wire grid pressing piece 24 corresponds to the unit shielding part 6 of the first embodiment and the wire grid pressing piece 24 has a function of simultaneously pressing the wire grid 21 and shielding light do.

1: 프레임 11: 위치결정 핀
12: 프레임 압착편 13: 체결 나사못
14: 압착못 15: 풀링 로드
2: 와이어 그리드 유닛 3: 프레임 차광부
4: 밀봉부 5: 챔버
6: 유닛 차광부 21:와이어 그리드
22: 제1 와이어 그리드 지지부 23: 제2 와이어 그리드 지지부
24: 와이어 그리드 압착편 25: 연결부
71: 합류 배기 통로 72: 배기 우회로
73: 흡기 통로1: Frame 11: Positioning pin
12: frame crimping piece 13: fastening screw
14: Squeeze nail 15: Pooling rod
2: wire grid unit 3: frame shielding part
4: Sealing part 5: Chamber
6: unit shielding portion 21: wire grid
22: first wire grid support part 23: second wire grid support part
24: wire grid crimping piece 25:
71: joining exhaust passage 72: exhaust bypass
73: Intake passage

Claims (17)

와이어 그리드, 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부 및 와이어 그리드 압착편을 포함하고, 상기 와이어 그리드는 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되며, 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 각각 상기 와이어 그리드의 대응되는 양측에 위치하고, 상기 와이어 그리드는 눈금면이 상기 제1 와이어 그리드 지지부, 제2 와이어 그리드 지지부에 향하는 방향으로 설치되며,
상기 와이어 그리드 압착편을 상기 와이어 그리드의 양측 가장자리에 설치하고 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부에 각각 고정하는 것을 통해 상기 와이어 그리드를 고정하되,
상기 와이어 그리드 유닛은 두 개의 연결부를 더 포함하고, 두 개의 상기 연결부는 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부를 연결하며, 상기 연결부는 상기 와이어 그리드와 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
A wire grid, a first wire grid support, a second wire grid support, and a wire grid crimp, the wire grid being mounted to a first wire grid support and a second wire grid support, The second wire grid support portions are respectively located on corresponding sides of the wire grid, the wire grid is installed in a direction in which the scale surface faces the first wire grid support portion and the second wire grid support portion,
Wherein the wire grid clamping piece is installed at both side edges of the wire grid and fixed to the first wire grid support part and the second wire grid support part,
Wherein the wire grid unit further comprises two connection portions, the two connection portions connect the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, and the connection portion is not in contact with the wire grid.
Wire grid unit.
제1항에 있어서,
상기 와이어 그리드 유닛은 유닛 차광부를 더 포함하고, 상기 유닛 차광부는 상기 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
The method according to claim 1,
Wherein the wire grid unit further includes a unit shielding portion and the unit shielding portion is installed in the first wire grid support portion and the second wire grid support portion,
Wire grid unit.
제2항에 있어서,
상기 와이어 그리드 압착편은 상기 유닛 차광부와 일체로 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
3. The method of claim 2,
And the wire grid pressing piece may be integrally formed with the unit light-shielding portion.
Wire grid unit.
제1항에 있어서,
상기 와이어 그리드 압착편은 연성 재료 또는 구조를 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
The method according to claim 1,
Characterized in that the wire grid compression element is manufactured using a soft material or structure
Wire grid unit.
제1항에 있어서,
와이어 그리드 눈금면에 수직되는 방향에서 상기 연결부와 상기 와이어 그리드 사이의 간극은 0.3 mm보다 크지 않은 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.

The method according to claim 1,
And a gap between the connection portion and the wire grid in a direction perpendicular to the wire grid scale surface is not larger than 0.3 mm.
Wire grid unit.

제5항에 있어서,
상기 연결부의 외측 가장자리는 상기 와이어 그리드의 외측 가장자리와 나란히 형성되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
6. The method of claim 5,
And an outer edge of the connection portion is formed in parallel with an outer edge of the wire grid.
Wire grid unit.
제5항에 있어서,
상기 연결부는 고탄성 탄성계수, 저열 팽창 계수의 재료를 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.
6. The method of claim 5,
Wherein the connecting portion is manufactured using a material having a high elastic modulus and a low thermal expansion coefficient
Wire grid unit.
제1항에 있어서,
상기 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 모두 저밀도 금속을 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the first wire grid support portion and the second wire grid support portion are both fabricated using a low density metal
Wire grid unit. 프레임, 다수의 청구항1에 따른 와이어 그리드 유닛, 프레임 차광부, 밀봉부 및 기체 경로 시스템을 포함하고,
다수의 상기 와이어 그리드 유닛은 1자형으로 상기 프레임에 배열 설치되며,
각각의 상기 와이어 그리드 유닛의 제1 와이어 그리드 지지부와 상기 제2 와이어 그리드 지지부는 모두 상기 프레임에 고정되고;
상기 프레임 차광부는 상기 와이어 그리드 유닛 사이의 결합 이음새 하방에 위치하고 상기 프레임에 설치되며;
상기 밀봉부는 상기 프레임에 설치되고 상기 프레임, 상기 프레임 차광부 및 상기 와이어 그리드 유닛과 전반 챔버를 형성하며;
상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임 내부에 매설되고, 상기 전반 챔버와 연통되며;
상기 결합 이음새의 폭은 인접한 두 개의 와이어 그리드 유닛 사이의 유효 투광 영역이 결합 방향을 따라 형성한 간격 폭인 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
Frame, a wire grid unit according to claim 1, a frame shield, a seal, and a gas path system,
Wherein a plurality of the wire grid units are arranged in a one-letter shape in the frame,
Wherein the first wire grid support portion and the second wire grid support portion of each of the wire grid units are both fixed to the frame;
Wherein the frame shielding portion is disposed below the joint between the wire grid units and installed in the frame;
Wherein the sealing portion is provided in the frame and forms a transmission chamber with the frame, the frame shielding portion and the wire grid unit;
The gas path system is embedded in the frame and communicates with the transfer chamber;
And the width of the coupling joint is an interval width formed by the effective light-transmitting regions between the adjacent two wire grid units along the coupling direction
Wire grid coupling protection device.
제9항에 있어서,
각각의 상기 와이어 그리드 유닛의 일단은 상기 프레임에 설치되는 위치결정 핀을 통해 위치결정되고, 상기 일단에 대응되는 타단은 상기 프레임에 설치되는 프레임 압착편을 통해 상기 프레임에 압착되며, 상기 프레임에서, 상기 위치결정 핀 양측에 위치하고, 상기 와이어 그리드 유닛을 고정하는 체결부가 각각 설치되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein one end of each of the wire grid units is positioned through a positioning pin provided in the frame and the other end corresponding to the one end is pressed onto the frame through a frame crimping piece provided on the frame, And a fastening portion located on both sides of the positioning pin and fixing the wire grid unit,
Wire grid coupling protection device.
제10항에 있어서,
각각의 와이어 그리드 유닛에는 두 개의 상기 프레임 압착편이 대응되게 설치되는 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
11. The method of claim 10,
And each of the wire grid units is provided with two of the frame compression members corresponding to each other
Wire grid coupling protection device.
제10항에 있어서,
상기 프레임 압착편은 연성 재료 또는 구조를 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 결합 보호 장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the frame crimping piece is manufactured using a flexible material or structure.
제9항에 있어서,
상기 와이어 그리드 유닛의 일단은 상기 프레임에 설치되는 위치결정 핀을 통해 위치결정되고, 제1 와이어 그리드 지지부와 제2 와이어 그리드 지지부에 설치되는 압착못을 통해 상기 와이어 그리드 유닛을 상기 프레임에 압착시키며, 상기 압착못이 분포된 중심은 상기 와이어 그리드의 무게중심이 와이어 그리드 눈금면에서의 투영과 합쳐지고, 상기 제2 와이어 그리드 지지부에는 상기 위치결정 핀 위치와 대응되고 상기 와이어 그리드 유닛을 뽑기 위한 풀링 로드(pulling rod)가 설치되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
10. The method of claim 9,
One end of the wire grid unit is positioned through a positioning pin provided on the frame and the wire grid unit is pressed onto the frame through a pressing nail provided on the first wire grid support portion and the second wire grid support portion, The center of gravity of the wire grid is combined with the projection on the wire grid scale surface, and the second wire grid support portion corresponds to the positioning pin position and the pulling rod and a pulling rod is installed
Wire grid coupling protection device.
제13항에 있어서,
상기 압착못은 나사못과 상기 나사못에 씌움설치되는 스프링을 포함하고, 상기 나사못은 상기 스프링에 대해 위치제한을 진행하며, 상기 스프링은 상기 와이어 그리드 유닛을 압착하고, 상기 나사못은 상기 프레임에 조립설치되며, 상기 나사못의 조임(screwing in) 깊이를 제어하는 것을 통해 상기 스프링이 상기 와이어 그리드 유닛에 대한 압착력을 제어하는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.

14. The method of claim 13,
Wherein the pressing nail includes a screw and a spring mounted on the screw, wherein the screw pushes a position of the spring against the spring, the spring compresses the wire grid unit, and the screw is assembled to the frame , And the spring controls the pressing force on the wire grid unit by controlling the depth of the screwing in of the screw
Wire grid coupling protection device.

제14항에 있어서,
상기 나사못에는 댐퍼가 씌움설치되고, 상기 댐퍼는 상기 스프링의 이탈을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
15. The method of claim 14,
Wherein the screw is provided with a damper, and the damper is capable of preventing the release of the spring
Wire grid coupling protection device.
제13항에 있어서,
각각의 상기 와이어 그리드 유닛에 대응되게 3개보다 적지 않은 상기 압착못이 설치되는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.
14. The method of claim 13,
Characterized in that the pressing nails are installed so as not to be less than three in correspondence with each of the wire grid units
Wire grid coupling protection device.
제9항에 있어서,
상기 기체 경로 시스템은 상기 프레임 내에 매설된 합류 배기 통로, 배기 우회로 및 흡기 통로를 포함하고, 상기 흡기 통로, 전반 챔버, 배기 우회로 및 합류 배기 통로를 순차적으로 경유하여 기체 통로를 형성하는 것을 특징으로 하는
와이어 그리드 결합 보호 장치.



10. The method of claim 9,
Wherein the gas path system includes a merging exhaust passage, an exhaust bypass, and an intake passage embedded in the frame, and sequentially forms a gas passage through the intake passage, the transfer chamber, the exhaust bypass, and the merging exhaust passage
Wire grid coupling protection device.



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