KR101984112B1 - 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 마스크 시트의 패턴 셀 개구부 가공을 위한 에칭 공정시 개구홈을 관통하기 전 상단부에 미리 하프 홈을 반가공 형태로 에칭(투 스텝 에칭 방식)하도록 하되, 상기 하프 홈은 개구홈 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓은 간격과 일정한 단차 깊이를 갖도록 함으로서, 패턴 셀에 대한 스펙 정밀화 에칭 가공성을 향상시키도록 하는 것으로, 이러한 단차식 하프 홈은 개구홈을 통해 유기물의 증착시 유리기판에 대하여 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화함은 물론 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하도록 함으로서, 에칭 공정에서 발생되는 유리 기판과 마스크 시트 간의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상을 방지하도록 하는 바, 이는 종전 대비 제품 불량을 현저하게 감소시켜 목적하는 유기물 증착성을 개선하고 최종 디스플레이 제품 성능이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 하프 홈의 에칭 가공 전 소프트 에칭을 수행할 수 있도록 하는 것으로, 이는 상면 또는 하면 보호필름 중 어느 하나 또는 둘 모두 차등 적용된 두께 설정에 따라 높은 접착성이 요구되는 경우 약액 분사 노즐로 하여금 설정된 분사압을 통해 마스크 시트 전면(하프 홈과 개구홈의 에칭 가공 전에 실시)에 대하여 에칭액을 미리 분사하여 마스크 시트의 표면 거칠기를 높일 수 있도록 하는 바, 이는 상면 또는하면 보호필름의 접합성이 크게 개선되어 에칭 성능을 높일 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 마스크 시트의 패턴 셀 개구부 가공을 위한 에칭 공정시 개구홈을 관통하기 전 상단부에 미리 하프 홈을 반가공 형태로 에칭(투 스텝 에칭 방식)하도록 하되, 상기 하프 홈은 개구홈 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓은 간격과 일정한 단차 깊이를 갖도록 함으로서, 패턴 셀에 대한 스펙 정밀화 에칭 가공성을 향상시키도록 하는 것으로, 이러한 단차식 하프 홈은 개구홈을 통해 유기물의 증착시 유리기판에 대하여 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화함은 물론 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하도록 함으로서, 에칭 공정에서 발생되는 유리 기판과 마스크 시트 간의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상을 방지하도록 하는 바, 이는 종전 대비 제품 불량을 현저하게 감소시켜 목적하는 유기물 증착성을 개선하고 최종 디스플레이 제품 성능이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 하프 홈의 에칭 가공 전 소프트 에칭을 수행할 수 있도록 하는 것으로, 이는 상면 또는 하면 보호필름 중 어느 하나 또는 둘 모두 차등 적용된 두께 설정에 따라 높은 접착성이 요구되는 경우 약액 분사 노즐로 하여금 설정된 분사압을 통해 마스크 시트 전면(하프 홈과 개구홈의 에칭 가공 전에 실시)에 대하여 에칭액을 미리 분사하여 마스크 시트의 표면 거칠기를 높일 수 있도록 하는 바, 이는 상면 또는하면 보호필름의 접합성이 크게 개선되어 에칭 성능을 높일 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 마스크 시트의 패턴 셀 개구부 가공을 위한 에칭 공정시 개구홈을 관통하기 전 상단부에 미리 하프 홈을 반가공 형태로 에칭(투 스텝 에칭 방식)하도록 하되, 상기 하프 홈은 개구홈 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓은 간격과 일정한 단차 깊이를 갖도록 함으로서, 패턴 셀에 대한 스펙 정밀화 에칭 가공성을 향상시키도록 하는 것으로, 이러한 단차식 하프 홈은 개구홈을 통해 유기물의 증착시 유리기판에 대하여 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화함은 물론 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하도록 함으로서, 에칭 공정에서 발생되는 유리 기판과 마스크 시트 간의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상을 방지하도록 하는 바, 이는 종전 대비 제품 불량을 현저하게 감소시켜 목적하는 유기물 증착성을 개선하고 최종 디스플레이 제품 성능이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 하는 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 하프 홈의 에칭 가공 전 소프트 에칭을 수행할 수 있도록 하는 것으로, 이는 상면 또는 하면 보호필름 중 어느 하나 또는 둘 모두 차등 적용된 두께 설정에 따라 높은 접착성이 요구되는 경우 약액 분사 노즐로 하여금 설정된 분사압을 통해 마스크 시트 전면(하프 홈과 개구홈의 에칭 가공 전에 실시)에 대하여 에칭액을 미리 분사하여 마스크 시트의 표면 거칠기를 높일 수 있도록 하는 바, 이는 상면 또는하면 보호필름의 접합성이 크게 개선되어 에칭 성능을 높일 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
일반적으로 마스크 시트(Sheet)에 대한 패턴 셀은 다양한 가공 방법을 통해 가공된다.
그 중 에칭 공정을 이용한 패턴 셀의 가공 방식은 챔버 내에서 마스크 시트 면상에 대하여 에칭액을 상하측 양방향에서 동시에 분사하여 한 번에 패턴 셀 구멍을 가공하는 방식이다.
이와 같이, 통상의 에칭 공정을 통해 가공된 패턴 셀은 단면 기준으로 일직선으로 관통된 관통공으로서, 마스크 시트에 부착된 포토 마스크(패턴 셀을 형성하는 부착 필름)에 따라 각각 다른 형태의 패턴 셀이 해당 스펙을 가지면서 다른 모양으로 형성된다.
한편, 종래에 따라 에칭 공정을 통해 제작된 마스크 시트(SHEET)는 그 상면에 유리기판이 안착된 후 챔버 내에서 유기물이 증착되도록 형성된다.
그러나, 이러한 종전 제작 방식은 챔버 내에서 유기물의 증착시 유리기판과 밀착된 패턴 셀 단면 형상이 일자형의 관통공으로서, 유리기판과 맞닿은 패턴 셀의 상측 개구부 접촉면 주변(엣지)에 열이 발원하면서 버닝 현상이 발생하게 되는데, 이는 유기물의 이물화(유기물이 녹거나 수명이 다해서 이물로 변함)를 조장하게 된다.
즉, 이러한 현상은 마스크 시트 자체에서 발생할 수도 있고, 유리기판이나 챔버 내벽으로부터 발생될 수도 있는데, 이는 결국 유리기판에 대한 유기물 증착 불량을 야기하게 되고, 나아가 유기물 증착성 저하로 인해 최종 디스플레이 제품의 품질까지 저하되는 문제가 발생된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 마스크 시트의 패턴 셀 개구부 가공을 위한 에칭 공정시 개구홈을 관통하기 전 상단부에 미리 하프 홈을 반가공 형태로 에칭(투 스텝 에칭 방식)하도록 하되, 상기 하프 홈은 개구홈 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓은 간격과 일정한 단차 깊이를 갖도록 함으로서, 패턴 셀에 대한 스펙 정밀화 에칭 가공성을 향상시키도록 하는 것으로, 이러한 단차식 하프 홈은 개구홈을 통해 유기물의 증착시 유리기판에 대하여 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화함은 물론 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하도록 함으로서, 에칭 공정에서 발생되는 유리 기판과 마스크 시트 간의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상을 방지하도록 하는 바, 이는 종전 대비 제품 불량을 현저하게 감소시켜 목적하는 유기물 증착성을 개선하고 최종 디스플레이 제품 성능이 크게 향상되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 하프 홈의 에칭 가공 전 소프트 에칭을 수행할 수 있도록 하는 것으로, 이는 상면 또는 하면 보호필름 중 어느 하나 또는 둘 모두 차등 적용된 두께 설정에 따라 높은 접착성이 요구되는 경우 약액 분사 노즐로 하여금 설정된 분사압을 통해 마스크 시트 전면(하프 홈과 개구홈의 에칭 가공 전에 실시)에 대하여 에칭액을 미리 분사하여 마스크 시트의 표면 거칠기를 높일 수 있도록 하는 바, 이는 상면 또는하면 보호필름의 접합성이 크게 개선되어 에칭 성능을 높일 수 있도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 마스크 시트(10)의 상면과 하면에 대하여 패턴 셀이 가공된 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 각각 부착되도록 하되, 상기 상면 보호필름(20) 및 하면 보호필름(30)은 얼라인 세팅값에 따라 마스크 시트(10)에 부착되도록 한 뒤 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 부착된 마스크 시트(10)가 챔버(40) 내로 투입되면 작업 테이블(50)에 안착되면서 에칭가공 준비가 세팅되도록 하는 필름접합 세팅단계(S100)와; 상기 마스크 시트(10)에 대하여 상측 약액 분사 노즐(60)이 개방되면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 상면 보호필름(20)의 패턴 셀(21) 형태에 따라 마스크 시트(10)의 상면에 반가공 형태의 하프 홈(11)을 식각하도록 하는 제1에칭 단계(S200)와; 상기 상면 보호필름(20)에 의해 반가공된 하프 홈(11)에 대하여 후속 제2에칭 단계에서의 약액이 스며들지 않도록 덮개 필름(70)을 덮어 기밀을 유지하도록 부착하는 하프 홈 가림단계(S300)와; 상기 하프 홈(11)에 덮개 필름(70)이 부착되면 마스크 시트(10)에 대하여 하측 약액 분사 노즐(80)을 개방하면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 하면 보호필름(30) 상에 배열된 패턴 셀(31) 형태에 따라 마스크 시트(10) 하면에 하프 홈(11)과 연통되는 개구홈(12)을 식각하도록 하는 제2에칭 단계(S400)와; 상기 제1,2에칭 단계가 완료되면 마스크 시트(10)로부터 상,하면 보호필름(20,30) 및 덮개 필름(70)을 제거하도록 하는 필름 제거단계(S500)가; 구성되어 이루어진다.
이에, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 상하면 보호필름(20,30)이 마스크 시트(10)에 접합되기 전에 인바(Invar) 재질의 마스크 시트(10) 상면과 하면에 대하여 약산성 분사액을 설정된 분사압에 따라 분사하여 표면 거칠기(Ra 0.5~1.2)를 높여 상하면 보호필름(20,30)의 접착성을 증대시키도록 하는 거칠기 조정 단계(S110)가; 더 수행되도록 형성된다.(보호필름의 접착성 확대)
또한, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 하프 홈(11)에 대응되는 상면 보호필름의 패턴 셀(21)은 개구홈(12)에 대응되는 하면 보호필름의 패턴 셀(31) 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓게 형성되어 하프 홈(11)이 개구홈(12) 대비 소폭 넓은 간격으로 식각되도록 함으로서 버닝현상을 방지하도록 형성된다.(패턴 셀의 정밀화)
이에, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 상면 보호필름(20)은 하프 홈(11)의 단차(h) 깊이 및 에칭액 분사압에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성되고, 하면 보호필름(30)은 개구홈(12)의 구간 간격(d-1, d-2)의 넓이 및 에칭액 분사압에 따른 식각 정밀도에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성된다.
이때, 상기 하프 홈의 식각 목적 깊이가 낮을 경우 부착되는 두께가 낮은 것을 부착하도록 형성되고, 식각 목적 깊이가 깊을 경우에는 상면 보호필름(20)의 두께가 소폭 두꺼운 것을 적용하여 부착하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하면 보호필름(30)은 개구홈에 대한 스펙 정밀화 가공시 개구홈(12)의 에칭 간격(d-1,d-2)이 좁을수록 하면 보호필름(30)의 두께가 낮은 것을 부착하도록 형성되고, 개구홈(12)의 에칭 간격(d-1,d-2)이 넓을수록 하면 보호필름(30)의 두께가 소폭 두꺼운 것을 적용하여 부착하도록 하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 마스크 시트(10)에 대한 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 부착시 마스크 시트의 최외곽 단부에 기밀용 가림부(90)가 형성되어 투 스텝 에칭시 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 접합면으로 에칭액이 스며들지 않도록 함으로서 패턴 셀(21,31)의 에칭 정밀화를 확보하도록 형성된다.
이와 같이, 본 발명은 마스크 시트의 패턴 셀 개구부 가공을 위한 에칭 공정시 개구홈을 관통하기 전 상단부에 미리 하프 홈을 반가공 형태로 에칭(투 스텝 에칭 방식)하도록 하되, 상기 하프 홈은 개구홈 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓은 간격과 일정한 단차 깊이를 갖도록 함으로서, 패턴 셀에 대한 스펙 정밀화 에칭 가공성을 향상시키도록 하는 효과가 있다.
즉, 이러한 단차식 하프 홈은 개구홈을 통해 유기물의 증착시 유리기판에 대하여 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화함은 물론 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하도록 함으로서, 에칭 공정에서 발생되는 유리 기판과 마스크 시트 간의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상을 방지하도록 하는 바, 이는 종전 대비 제품 불량을 현저하게 감소시켜 목적하는 유기물 증착성을 개선하고 최종 디스플레이 제품 성능이 크게 향상되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 하프 홈의 에칭 가공 전 소프트 에칭을 수행할 수 있도록 하는 것으로, 이는 상면 또는 하면 보호필름 중 어느 하나 또는 둘 모두 차등 적용된 두께 설정에 따라 높은 접착성이 요구되는 경우 약액 분사 노즐로 하여금 설정된 분사압을 통해 마스크 시트 전면(하프 홈과 개구홈의 에칭 가공 전에 실시)에 대하여 에칭액을 미리 분사하여 마스크 시트의 표면 거칠기를 높일 수 있도록 하는 바, 이는 상면 또는하면 보호필름의 접합성이 크게 개선되어 에칭 성능을 높일 수 있도록 하는 효과가 있다.
다시 말해, OLED 진공 증착 공정 중 유리기판과 마스크 시트 간 밀착으로 인해 패턴 셀 주변(엣지)의 버닝(열의 발원으로 인해 타는 현상) 현상시 발생되는 유기물의 이물화(패턴 마스크 시트나 유리 기판 자체 및 챔버 내벽에서도 발생할 수 있음)를 최소화하고, 유리기판 상에 정밀하게 증착이 되어야 하는 부분에만 증착이 유도되게 함으로써, 유기물들이 다른 부분에 증착되는 현상 및 넓게 퍼지면서 증착 되는 쉐도우(Shadow) 현상을 줄여 주는 효과가 있다.
이러한 본 발명은 마스크 시트에 대하여 상면 하프 홈을 반가공 형태로 먼저 식각한 뒤 2단계 과정으로 하프 홈과 대응되는 저면에 개구홈이 관통되도록 에칭함으로써, 에칭 성능이 종전 대비 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1 내지 도 2는 본 발명에 따른 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법 중 필름접합 세팅단계를 나타낸 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 제1에칭 단계를 나타낸 예시도,
도 4는 본 발명에 따른 하프 홈 가림단계를 나타낸 예시도,
도 5는 본 발명에 따른 제2에칭 단계를 나타낸 예시도,
도 6은 본 발명에 따른 필름 제거단계를 나타낸 예시도,
도 7은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 필름접합 세팅단계 중 거칠기 조정 단계를 나타낸 예시도,
도 8은 본 발명에 따른 상면, 하면 보호필름의 세부 접합 상태 및 다른 실시예를 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제1에칭 단계를 나타낸 예시도,
도 4는 본 발명에 따른 하프 홈 가림단계를 나타낸 예시도,
도 5는 본 발명에 따른 제2에칭 단계를 나타낸 예시도,
도 6은 본 발명에 따른 필름 제거단계를 나타낸 예시도,
도 7은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 필름접합 세팅단계 중 거칠기 조정 단계를 나타낸 예시도,
도 8은 본 발명에 따른 상면, 하면 보호필름의 세부 접합 상태 및 다른 실시예를 나타낸 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명은 마스크 시트의 패턴 셀에 대하여 투 스텝(2단계) 에칭 공정으로 가공을 수행하도록 하는 것으로, 이는 마스크 시트에 대하여 기본적으로 하프 홈(11)과 개구홈(12)을 따로 에칭하도록 하되, 필름접합 세팅단계(S100), 제1에칭 단계(S200), 하프 홈 가림단계(S300), 제2에칭 단계(S400) 및 필름 제거단계(S500)가; 구성되어 이루어진다.
즉, 본 발명은 하프 홈에 대하여 에칭 깊이를 조절하면서 에칭할 수 있는 것으로, 하프 홈의 중요성에 대하여 먼저 설명한다.
본 발명에 따른 하프 홈은 실질적인 관통공인 개구홈에 비해 넓은 직경(또는 면적)을 갖는 단차형 확장면으로 요홈에 해당된다.
이러한 하프 홈은 개구된 윗면으로 마스크 시트가 안착되는 경우 개구홈의 상측 엣지 부분이 직접 닿지 않도록 함으로서 버닝 현상을 방지하는 역할을 하게 된다. 이는 종전 일자형 관통공에 비해 현저한 불량 방지 성능을 확보하게 된다.
그런데, 개구홈을 포함한 하프 홈은 정밀한 스펙으로 에칭되어야만 그 효과를 볼 수 있는 것으로, 이러한 하프 홈을 정밀하게 제작하기 위해서는 상면 보호필름의 두께 선택과 에칭액의 분사압의 조정이 필요하게 된다.
즉, 마스크 시트의 두께나 유기물의 특정 및 유리기판의 조건 등에 따라서 하프 홈의 단차 깊이가 설정되는데, 상기 하프 홈은 단차 깊이가 깊거나 폭방향 간격이 클 경우 에칭 정밀성을 높이기 상측 약액 분사 노즐의 에칭액 분사압을 높여야 한다.
이때, 상면 보호필름은 두께가 두꺼운 것을 사용하여 부착해야 하는 것으로, 이는 분사압에 대하여 부착성이 높아 견고한 지지력으로 하여금 에칭성이 확보되도록 해야 하기 때문이다. 이는 높은 고스펙 패턴 셀을 제조하는 경우일 경우 그러한다.
이하, 본 발명에 따른 투 스텝 에칭 공정에 대하여 자세히 설명하도록 한다.
먼저, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 마스크 시트(10)의 상면과 하면에 대하여 패턴 셀이 가공된 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 각각 부착되도록 형성된다.
이때, 상기 상면 보호필름(20) 및 하면 보호필름(30)은 얼라인 세팅값에 따라 마스크 시트(10)에 부착되도록 한 뒤 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 부착된 마스크 시트(10)가 챔버(40) 내로 투입되면 작업 테이블(50)에 안착되면서 에칭가공 준비가 세팅되도록 형성된다.
또한, 상기 제1에칭 단계(S200)는 상기 마스크 시트(10)에 대하여 상측 약액 분사 노즐(60)이 개방되면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 상면 보호필름(20)의 패턴 셀(21) 형태에 따라 마스크 시트(10)의 상면에 반가공 형태의 하프 홈(11)을 식각하도록 형성된다.
이때, 상기 마스크 시트의 상면 하프 홈 에칭시에는 하측 약액 분사 노즐을 잠금 상태로 유지한 채 하면에 대하여는 에칭액이 분사되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
이에, 상기 하프 홈 가림단계(S300)는 상기 상면 보호필름(20)에 의해 반가공된 하프 홈(11)에 대하여 후속 제2에칭 단계에서의 약액이 스며들지 않도록 덮개 필름(70)을 덮어 기밀을 유지하도록 부착한다.
이때, 상기 제2에칭 단계(S400)는 상기 하프 홈(11)에 덮개 필름(70)이 부착되면 마스크 시트(10)에 대하여 하측 약액 분사 노즐(80)을 개방하면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 하면 보호필름(30) 상에 배열된 패턴 셀(31) 형태에 따라 마스크 시트(10) 하면에 하프 홈(11)과 연통되는 개구홈(12)을 식각하도록 형성된다.
이에, 상기 마스크 시트의 하면 개구홈 에칭시에는 상측 약액 분사 노즐을 잠금 상태로 유지한 채 상면에 대하여는 에칭액이 분사되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 필름 제거단계(S500)는 상기 제1,2에칭 단계가 완료되면 마스크 시트(10)로부터 상,하면 보호필름(20,30) 및 덮개 필름(70)을 제거하도록 형성된다.
한편, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 상하면 보호필름(20,30)이 마스크 시트(10)에 접합되기 전에 인바(Invar) 재질의 마스크 시트(10) 상면과 하면에 대하여 약산성 분사액을 설정된 분사압에 따라 분사하여 표면 거칠기(기준 표면 거칠기는 Ra 0.5~1.2)를 높여 상하면 보호필름(20,30)의 접착성을 증대시키도록 하는 거칠기 조정 단계(S110)가; 더 수행되도록 형성된다.
이때, 하프 홈과 개구홈의 정밀도가 높아 스펙이 요구되면 상하면 보호필름은 일정부분 두꺼운 필름으로 부착되어야 하는 바, 이러한 상하면 보호필름이 부착되기 전에는 표면 거칠기를 높이도록 소프트 에칭을 미리 수행해야 한다.
즉, 상기 소프트 에칭은 마스크 시트(10)에 상하면 보호필름이 접합되기 전에 인바(Invar) 재질의 마스크 시트(10)의 상면과 하면에 대하여 약산성 분사액을 설정된 분사압에 따라 분사하여 표면 거칠기가 Ra 1.3~2.0 내외로 설정되도록 높여 상하면 보호필름(20,30)의 접착성을 증대시키도록 형성된다.
또한, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 하프 홈(11)에 대응되는 상면 보호필름의 패턴 셀(21)은 개구홈(12)에 대응되는 하면 보호필름의 패턴 셀(31) 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓게 형성되어 하프 홈(11)이 개구홈(12) 대비 소폭 넓은 간격으로 식각되도록 함으로서 버닝현상을 방지하도록 형성된다.(패턴 셀의 정밀화)
이에, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 상면 보호필름(20)은 하프 홈(11)의 단차(h) 깊이 및 에칭액 분사압에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성되고, 하면 보호필름(30)은 개구홈(12)의 구간 간격(d-1, d-2)의 넓이 및 에칭액 분사압에 따른 식각 정밀도에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성된다.
이때, 상기 하프 홈의 식각 목적 깊이가 낮을 경우 부착되는 두께가 낮은 것을 부착하도록 형성되고, 식각 목적 깊이가 깊을 경우에는 상면 보호필름(20)의 두께가 소폭 두꺼운 것을 적용하여 부착하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하면 보호필름(30)은 개구홈에 대한 스펙 정밀화 가공시 개구홈(12)의 에칭 간격(d-1,d-2)이 좁을수록 하면 보호필름(30)의 두께가 낮은 것을 부착하도록 형성되고, 개구홈(12)의 에칭 간격(d-1,d-2)이 넓을수록 하면 보호필름(30)의 두께가 소폭 두꺼운 것을 적용하여 부착하도록 하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 마스크 시트(10)에 대한 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 부착시 마스크 시트의 최외곽 단부에 기밀용 가림부(90)가 형성되어 투 스텝 에칭시 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 접합면으로 에칭액이 스며들지 않도록 함으로서 패턴 셀(21,31)의 에칭 정밀화를 확보하도록 형성된다.
이때, 상기 기밀용 가림부(90)는 마스크 시트의 최외곽 단부에 대하여 수평으로 접합되는 상하면 보호필름으로부터 직교방향으로 절곡된 꺽임부로서, 기억자 또는 엘자 형태로 형성된다.
이에, 상기 기밀용 가림부(90)는 페턴 셀이나 최외곽 단부에 밀착되는 면상에 하나 이상의 미세 슬릿홈(91)이 형성되어 접합면으로 유입될 소지가 있는 에칭액이 마스크 시트의 표면 또는 이면 상으로 스며들지 않도록 물길 끊기홈 역할을 수행하도록 형성된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 ... 마스크 시트 11 ... 하프 홈
12 ... 개구홈 20 ... 상면 보호필름
21 ... 패턴 셀 30 ... 하면 보호필름
31 ... 패턴 셀 40 ... 챔버
50 ... 작업 테이블 60 ... 상측 약액 분사 노즐
70 ... 덮개 필름 80 ... 하측 약액 분사 노즐
90 ... 접합부
S100 ... 필름접합 세팅단계 S200 ... 제1에칭 단계
S300 ... 하프 홈 가림단계 S400 ... 제2에칭 단계
S500 ... 필름 제거단계
12 ... 개구홈 20 ... 상면 보호필름
21 ... 패턴 셀 30 ... 하면 보호필름
31 ... 패턴 셀 40 ... 챔버
50 ... 작업 테이블 60 ... 상측 약액 분사 노즐
70 ... 덮개 필름 80 ... 하측 약액 분사 노즐
90 ... 접합부
S100 ... 필름접합 세팅단계 S200 ... 제1에칭 단계
S300 ... 하프 홈 가림단계 S400 ... 제2에칭 단계
S500 ... 필름 제거단계
Claims (5)
- 마스크 시트(10)의 상면과 하면에 대하여 패턴 셀이 가공된 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 각각 부착되도록 하되, 상기 상면 보호필름(20) 및 하면 보호필름(30)은 얼라인 세팅값에 따라 마스크 시트(10)에 부착되도록 한 뒤 상면 보호필름(20)과 하면 보호필름(30)이 부착된 마스크 시트(10)가 챔버(40) 내로 투입되면 작업 테이블(50)에 안착되면서 에칭가공 준비가 세팅되도록 하는 필름접합 세팅단계(S100)와; 상기 마스크 시트(10)에 대하여 상측 약액 분사 노즐(60)이 개방되면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 상면 보호필름(20)의 패턴 셀(21) 형태에 따라 마스크 시트(10)의 상면에 반가공 형태의 하프 홈(11)을 식각하도록 하는 제1에칭 단계(S200)와; 상기 상면 보호필름(20)에 의해 반가공된 하프 홈(11)에 대하여 후속 제2에칭 단계에서의 약액이 스며들지 않도록 덮개 필름(70)을 덮어 기밀을 유지하도록 부착하는 하프 홈 가림단계(S300)와; 상기 하프 홈(11)에 덮개 필름(70)이 부착되면 마스크 시트(10)에 대하여 하측 약액 분사 노즐(80)을 개방하면서 에칭액이 분사되도록 하되, 분사된 에칭액은 하면 보호필름(30) 상에 배열된 패턴 셀(31) 형태에 따라 마스크 시트(10) 하면에 하프 홈(11)과 연통되는 개구홈(12)을 식각하도록 하는 제2에칭 단계(S400)와; 상기 제1,2에칭 단계가 완료되면 마스크 시트(10)로부터 상,하면 보호필름(20,30) 및 덮개 필름(70)을 제거하도록 하는 필름 제거단계(S500)가; 구성되어 이루어진 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법에 있어서,
상기 필름접합 세팅단계(S100)는 상하면 보호필름(20,30)이 마스크 시트(10)에 접합되기 전에 인바(Invar) 재질의 마스크 시트(10) 상면과 하면에 대하여 약산성 분사액을 설정된 분사압에 따라 분사하여 표면 거칠기를 높여 상하면 보호필름(20,30)의 접착성을 증대시키도록 하는 거칠기 조정 단계(S110)가; 더 수행되도록 형성되고, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 하프 홈(11)에 대응되는 상면 보호필름의 패턴 셀(21)은 개구홈(12)에 대응되는 하면 보호필름의 패턴 셀(31) 대비 설정된 값에 따라 소폭 넓게 형성되어 하프 홈(11)이 개구홈(12) 대비 소폭 넓은 간격으로 식각되도록 함으로서 버닝현상을 방지하도록 형성되며, 상기 필름접합 세팅단계(S100)에서 상면 보호필름(20)은 하프 홈(11)의 단차(h) 깊이 및 에칭액 분사압에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성되고, 하면 보호필름(30)은 개구홈(12)의 구간 간격(d-1, d-2)의 넓이 및 에칭액 분사압에 따른 식각 정밀도에 따라 두께 설정을 다르게 적용하여 부착할 수 있도록 형성되며, 상기 필름접합 세팅단계(S100)는 마스크 시트(10)에 대한 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 부착시 마스크 시트의 최외곽 단부에 기밀용 가림부(90)가 형성되어 투 스텝 에칭시 상면 및 하면 보호필름(20,30)의 접합면으로 에칭액이 스며들지 않도록 함으로서 패턴 셀(21,31)의 에칭 정밀화를 확보하도록 하되, 상기 기밀용 가림부(90)는 마스크 시트(10)의 최외곽 단부에 기억자 또는 엘자 형태의 꺽임부가 형성되고, 마스크 시트의 최외곽 단부에 밀착되는 상기 꺽임부의 면상에는 하나 이상의 미세 슬릿홈(91)이 형성되어 접합면으로 에칭액이 스며드는 것을 차단하도록 하는 것을 특징으로 하는 투 스텝 에칭 방식에 의한 갭 마스크 제조방법. - 삭제
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2019
- 2019-03-18 KR KR1020190030704A patent/KR101984112B1/ko active IP Right Grant
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