KR101982691B1 - 슬라이드 마찰식 나노발전기 및 발전 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에서는 슬라이드 마찰식 나노발전기를 제공한다. 슬라이드 마찰식 나노발전기는, 제1 마찰층(10), 상기 제1 마찰층의 하부에 접촉하도록 배치되는 제1 도전소자(11), 제2 마찰층(20), 상기 제2 마찰층의 상부에 접촉하도록 배치되는 제2 도전소자(21)를 구비하고, 상기 제1 마찰층의 상면은 제2 마찰층의 하면에 대향하도록 배치되고, 제1 마찰층의 상면과 제2 마찰층의 하면은, 외력이 작용할 경우 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생하는 한편 마찰하는 면적이 변화하며, 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 이용하여, 전기신호를 외부회로로 출력한다. 본 발명의 슬라이드 마찰식 나노발전기에 주기적인 접선 방향의 외력을 인가할 때, 제1 도전소자와 제2 도전소자 사이에서 교류 펄스 신호의 출력을 형성할 수 있다.

Description

슬라이드 마찰식 나노발전기 및 발전 방법{SLIDING FRICTIONAL NANO GENERATOR AND POWER GENERATION METHOD}

본 발명은 발전기 및 발전 방법에 관한 것으로, 특히 외력을 인가할 때의 역학적 에너지를 전기적 에너지로 전환하는 마찰식 나노발전기 및 상기 발전기를 이용한 발전 방법에 관한 것이다.

최근, 마이크로 전자 기술 및 재료 기술이 고속으로 발전하여, 복수의 기능을 가지는 한편 고도의 집적성을 가지는 새로운 마이크로 전자기기가 대량으로 개발되어 사람들의 일상생활 의 각 분야에서 널리 응용되고 있다. 그러나 이러한 마이크로 전자기기와 매칭되는 전원 시스템에 대한 연구는 상대적으로 뒤떨어져 있다. 일반적으로 이러한 마이크로 전자기기는 배터리로부터 직접 또는 간접적으로 전력을 공급 받는다. 배터리는 부피가 크고 무거울 뿐만 아니라 그가 함유하는 유독 화학 물질은 환경 및 인체에 대한 잠재적인 위험 요소이기도 하다. 따라서 운동, 진동 등 자연계에 존재하는 역학적 에너지를 전기적 에너지로 전환하는 기술을 개발하는 것은 아주 중요한 의의를 가진다.

그러나 현재, 상술한 바와 같이 역학적 에너지를 전기적 에너지로 효과적으로 전환하는 발전기는 모두 전자기 유도를 기초로 하며, 수차, 증기 터빈, 디젤엔진 또는 기타 기계적 에너지에 의하여 구동되고, 수류, 기류, 연료의 연소 또는 원자핵 분열에 의한 에너지를 역학적 에너지로 전환하여 발전기로 전송하며, 발전기는 이를 전기적 에너지로 전환하여 사용한다. 이러한 발전기는 상대적으로 집중된 고강도의 에너지의 입력을 필요로 하는데, 사람들의 일상적인 활동에 의하여 발생되는 운동 에너지 및 자연계에 존재하는 강도가 작은 운동 에너지에 대하여서는 대부분 효과적으로 전기적 에너지로 전환할 수 없다. 또한, 전통적인 발전기는 부피가 크고 구조가 복잡하므로 마이크로 전자기기의 급전(給電) 소자로 사용할 수 없다.

종래 기술중의 상술한 문제점들을 해결하기 위하여, 본 발명에서는, 마찰식 나노발전기에 인가되는 접선 방향의 외력의 역학적 에너지를 전기적 에너지로 전환할 수 있는 슬라이드 마찰식 나노발전기를 제공한다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 마찰식 나노발전기는,

제1 마찰층;

상기 제1 마찰층의 하부에 접촉하도록 배치되는 제1 도전소자;

제2 마찰층;

상기 제2 마찰층의 상부에 접촉하도록 배치되는 제2 도전소자;를 구비하며,

상기 제1 마찰층의 상면은 상기 제2 마찰층의 하면에 대향하도록 배치되고,

상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은, 외력이 작용할 경우 상대적인 슬라이드를 발생하는 동시에 마찰하는 면적이 변화하며, 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자에 의하여 전기신호를 외부회로로 출력한다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면을 구성하는 재료와 상기 제2 마찰층의 하면을 구성하는 재료는 대전열(電列)에서 순서에 차이가 있다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 접촉하도록 배치된다.

바람직하게는, 외력이 작용하지 않을 경우, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 분리되어 있고; 외력이 작용할 경우, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 접촉하며 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생한다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면 및/또는 제2 마찰층의 하면은 절연 재료 또는 반도체 재료로 이루어진다.

바람직하게는, 상기 절연 재료는, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리디메틸실록산, 폴리이미드, 폴리디페닐프로판카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 아닐린포름알데히드 수지, 폴리포름알데히드, 에틸셀룰로오스, 폴리아미드, 멜라민포름알데히드, 폴리에틸렌글리콜석시네이트(polyethylene glycol succinate), 셀룰로오스, 셀룰로오스아세테이트, 폴리에틸렌글리콜아디페이트, 폴리프탈산디아릴(polydiallylphthalate), 재생섬유스펀지, 폴리우레탄일래스터머, 스티렌프로펜공중합체, 스티렌부타디엔공중합체, 인조섬유, 폴리메타크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리에스테르, 폴리이소부틸렌, 폴리우레탄 플렉시블 스펀지, 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene glycol terephthalate), 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral), 페놀 수지, 클로로프렌고무, 부타디엔프로펜공중합체, 천연고무, 폴리아크릴로니트릴, 폴리(염화 비닐 리덴co-아크릴로니트릴)(poly(vinyldene chloride-co-acrylonitrile), 폴리에틸렌비스페놀카보네이트, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리카보네이트, 액정고분자폴리머, 폴리클로로프렌, 폴리아크릴로니트릴, 폴리디페놀카보네이트, 염화폴리에테르(polyetherchloride), 폴리클로로트리플루오르에틸렌, 폴리염화비닐리덴, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐 및 패럴린(Parylene　)으로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 절연 재료는, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리디페닐프로판카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리염화비닐, 폴리디메틸실록산, 폴리클로로트리플루오르에틸렌, 폴리테트라플루오로에틸렌 및 패럴린으로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 반도체 재료는, 규소, 게르마늄, 제Ⅲ족 및 제V족 화합물, 제Ⅱ족 및 제Ⅵ족 화합물, 산화물, Ⅲ-V족 화합물과 Ⅱ-Ⅵ족 화합물로 이루어지는 고용체, 비정질 유리 반도체, 및 유기 반도체로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 제Ⅲ족 및 제V족 화합물은 갈륨비소 및 인화갈륨으로부터 선택되고; 상기 제Ⅱ족 및 제Ⅵ족 화합물은 황화카드뮴 및 황화아연으로부터 선택되고; 상기 산화물은 망간, 크롬, 철 또는 동의 산화물로부터 선택되고; 상기 Ⅲ-V족 화합물 및 Ⅱ-Ⅵ족 화합물로 이루어지는 고용체는 갈륨-알루미늄-비소 및 갈륨-비소-린으로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 마찰층은, 비도전산화물, 반도체 산화물, 또는 복잡한 산화물로 이루어지며, 산화규소, 산화알루미늄, 산화망간, 산화크롬, 산화철, 산화티타늄, 산화동, 산화아연, BiO₂, 또는 Y₂Ｏ₃을 포함한다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면 및/또는 상기 제2 마찰층의 하면에는 마이크로미터 수량급 또는 서브마이크로미터 수량급의 미세 구조가 분포되어 있다.

바람직하게는, 상기 미세 구조는, 나노 와이어, 나노 튜브, 나노 입자, 나노 홈, 마이크로미터 홈, 나노 뿔, 마이크로미터 뿔, 나노 스피어, 및 마이크로미터 스피어 구조로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면 및/또는 상기 제2 마찰층의 하면에 나노재료의 장식 또는 도포층이 설치되어 있다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면 및/또는 상기 제2 마찰층의 하면은 화학수식을 통하여 극성이 “+”인 재료의 표면에 전자를 쉽게 잃는 작용기를 도입 및/또는 극성이 “-”인 재료의 표면에 전자를 쉽게 얻는 작용기를 도입한다.

바람직하게는, 상기 전자를 쉽게 잃는 작용기는, 아미노기, 하이드록실기 또는 알콕실기(alkoxyl group)를 포함한다.

바람직하게는, 상기 전자를 쉽게 얻는 작용기는, 아실기, 카복실기, 니트로기 또는 술폰기를 포함한다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층의 상면 및/또는 상기 제2 마찰층의 하면은 화학수식을 통하여 극성이 “+”인 재료의 표면에 양전하를 도입, 및/또는 극성이 “-”인 재료의 표면에 음전하를 도입한다.

바람직하게는, 상기 화학수식은, 화학결합에 의해 하전기(荷電基)를 도입하는 것을 통하여 실현된다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층 또는 상기 제2 마찰층은 도전재료로 구성된다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층 또는 상기 제2 마찰층을 구성하는 도전재료는, 금속 및 도전산화물로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 금속은, 금, 은, 백금, 알루미늄, 니켈, 동, 티타늄, 크롬 또는 셀렌, 및 상술한 금속으로 형성된 합금으로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자 및/또는 상기 제2 도전소자는 금속 및 도전산화물로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자 및/또는 상기 제2 도전소자는, 금, 은, 백금, 알루미늄, 니켈, 동, 티타늄, 크롬 또는 셀렌, 및 상술한 금속으로 형성된 합금으로부터 선택된다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층 및/또는 제2 마찰층은 박막이다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자 및/또는 제2 도전소자는 박막이다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층, 제2 마찰층, 제1 도전소자 및/또는 제2 도전소자는 경질 물질이다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층, 제2 마찰층, 제1 도전소자 및/또는 제2 도전소자는 연질 물질이다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자 및 제2 도전소자는 각각 상기 제1 마찰층 및 제2 마찰층의 표면에 고정되어 있다.

바람직하게는, 상기 도전소자는 퇴적 방식을 통하여 상기 마찰층의 표면에 형성된다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자와 제1 마찰층의 사이즈 및 형상은 동일, 및/또는 상기 제2 도전소자와 제2 마찰층의 사이즈 및 형상은 동일하다.

바람직하게는, 상기 제1 마찰층, 제2 마찰층, 제1 도전소자 및/또는 제2 도전소자는 평면 구조이다.

바람직하게는, 상기 제1 도전소자와 제1 마찰층은 곡면 구조이고, 및/또는 상기 제2 도전소자와 제2 마찰층은 곡면 구조이다.

또한, 본 발명은 발전 방법을 제공한다. 상기 발전 방법은 상술한 발전기를 사용하는 발전 방법으로서,

(1) 상기 제1 마찰층 및 상기 제2 마찰층을 준비하는 단계;

(2) 상기 제1 마찰층의 하부 및 상기 제2 마찰층의 상부에 각각 접촉하도록 배치되는 상기 제1 도전소자 및 제2 도전소자를 형성하는 단계;

(3) 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면을 접촉시키는 단계;

(4) 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 외부회로에 전기적으로 연결하는 단계;

(5) 외력을 인가하여, 상기 제1 마찰층과 제2 마찰층 사이에서 상대적인 슬라이드를 발생시키고, 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생시키며, 슬라이드 과정에 있어서 상대적인 슬라이드 거리를 제어함으로써, 상기 제1 마찰층과 상기 제2 마찰층을 접촉면의 방향에 따라 엇갈리도록 하여, 슬라이드 마찰하는 면적을 변화시키는 단계; 및

(6) 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 통하여 전기신호를 외부회로로 출력하는 단계; 를 포함한다.

바람직하게는, 단계 (3)에 있어서, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면을 완전히 접촉시킨다.

바람직하게는, 단계 (5)에 있어서, 방향이 주기적으로 반전하거나 크기가 주기적으로 변화하는 지속적인 외력을 인가한다.

본 발명의 슬라이드 마찰식 나노발전기는, 주기적인 접선 방향의 외력이 작용할 경우 제1 도전소자와 제2 도전소자 사이에서 교류 펄스 신호를 형성하여 이를 출력할 수 있다. 종래 기술과 비교하면, 본 발명의 슬라이드 마찰식 나노발전기는, 아래와 같은 이점들을 가진다.

1. 원리 및 응용에 있어서 새로운 돌파를 이룬다. 본 발명의 발전기는, 동작 과정에서 마찰이 발생하는 두 층 사이의 간격을 필요하지 않는 바, 마찰이 발생하는 두 층을 주기적으로 완전히 접촉시키거나 완전히 분리시키는 장치에 비하여 그 발전 원리가 부동하므로, 새로운 설계 구상을 제공할 수 있다. 그리고, 간격을 가지지 않는 설계는, 탄성거리를 유지하기 위한 부품의 장착을 생략할 수 있으므로, 패키지 기술에도 편의를 도모하여, 보다 넓은 분야에 적용될 수 있도록 한다.

2. 에너지를 효율적으로 이용한다. 본 발명의 발전기는, 대규모 및 고강도의 에너지를 입력할 필요 없이, 제1 마찰층과 제2 마찰층 사이의 상대적인 슬라이드를 구동 가능한 역학적 에너지만 입력하면 된다. 따라서, 자연과 인류의 일상생활에서 발생하는 다양한 강도를 가지는 역학적 에너지를 효과적으로 수집하여 전기적 에너지로 전환함으로써, 에너지의 효율적인 이용을 실현할 수 있다.

3. 구조가 간단하고 휴대하기 편리하며 호환성이 높다. 본 발명의 발전기는, 자석, 코일, 회전자 등 부품을 필요하지 않으므로, 구조가 간단하고 부피가 작아 제조가 편리하고 원가도 낮다. 따라서, 제1 마찰층과 제2 마찰층을 상대적으로 슬라이드시킬 수 있는 각종 기기에 장착될 수 있다. 또한, 특수 동작환경을 필요하지 않으므로 호환성이 높다.

4. 용도가 넓다. 발전기에서 제1 마찰층의 상면과 제2 마찰층의 하면에 대하여 물리적변화 또는 화학수식을 진행함으로써, 나노 구조의 패턴을 도입하거나 나노 재료 등을 도포할 수 있으며, 나아가서 마찰식 나노발전기가 접선 방향의 외력의 작용하에 두 마찰층을 접촉시켜 상대적으로 슬라이드시킬 때 발생하는 접촉전하밀도를 더욱 향상시켜, 발전기의 출력능력을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 발전기는, 소형 전력원으로 될 수 있을 뿐만 아니라, 고출력 발전에 적용될 수도 있다.

첨부 도면을 통하여, 본 발명의 상술한 목적 및 기타 목적, 특징 및 이점들은 더욱 명확해질 것이다. 첨부 도면에 있어서, 동일한 부호는 동일한 부분을 표시한다. 실제 사이즈에 기초하여 등비례로 확대 또는 축소한 것이 아니라, 본 발명의 주제를 표시하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명의 마찰식 나노발전기의 전형적인 구조를 표시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 마찰식 나노발전기의 발전 원리를 표시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 마찰식 나노발전기의 다른 전형적인 구조를 표시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 마찰식 나노발전기의 또 다른 전형적인 구조를 표시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 마찰식 나노발전기가 손가락으로부터 슬라이드 구동력을 공급받았을 때 80개의 상용 LED 램프를 점등시킨 실시간 사진이다.

이하, 본 발명의 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예 중의 기술방안을 명확하고 완전하게 설명한다. 물론, 여기에서 설명하는 실시예는 본 발명의 일부 실시예일 뿐 전반 실시예는 아니다. 통상의 기술자가 본 발명의 실시예에 기초하여 쉽게 얻을 수 있는 모든 기타 실시예도 본 발명의 보호범위에 포함된다.

또한, 본 발명에 관하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명하나, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명할 경우 상기 도면은 설명의 편의를 위한 예시일 뿐, 본 발명의 보호범위를 한정하는 것은 아니다.

본 발명은, 운동 또는 진동 등 자연계에 존재하는 역학적 에너지를 전기적 에너지로 전환할 수 있는, 구조가 간이한 마찰식 나노발전기를 제공하여, 마이크로 전자기기에 적합한 전원을 공급할 수 있다. 본 발명의 마찰식 나노발전기는, 대전열에서 순서에 차이가 많은 재료가 서로 접촉할 때 발생하는 표면전하의 이동 현상을 이용하여, 외력의 역학적 에너지를 전기에너지로 전환하는 것이다.

본 발명에 기재된 “대전열”은, 재료가 전하에 대한 흡인 정도에 따라 나열한 것으로, 두 재료가 서로 마찰하는 순간, 마찰하는 면에서 음전하가 대전열 중의 극성이 비교적 “+”를 띠는 재료의 표면으로부터, 대전열 중의 극성이 비교적 “-”를 띠는 재료의 표면으로 이동하는 것을 말한다. 현재, 전하 이동의 원리를 완정하게 해석할 수 있는 통일된 이론은 없다. 일반적으로, 이러한 전하의 이동은, 재료 표면의 일함수에 관련된 것으로, 전자 또는 이온이 접촉면에서의 이동에 의하여 전하의 이동을 실현하는 것으로 간주한다. 대전열은 단지 경험에 의하여 통계한 결과로서, 두 물체가 대전열에서 멀리 떨어질 수록, 접촉할 경우에 발생되는 전하의 양, 음 성질이 이 대전열에 부합될 확률이 커진다. 또한, 실제적인 결과는, 재료 표면의 거칠기, 환경의 습도 및 상대적 마찰의 유무 등과 같은 여러 요소의 영향을 받는다.

본 발명에 기재된 “접촉전하”는, 대전열에 있어서 순서에 차이가 있는 두가지 종류의 재료가 접촉마찰하여 분리된 후 그 표면이 가지는 전하를 말하는데, 일반적으로 이러한 전하는 재료의 표면에만 분포되며, 분포되는 최대 깊이는 약 10nm이다. 접촉전하의 부호는, 순전하(net charge)의 부호이다. 다시 말하면, "+"접촉전하를 가지는 재료는, 표면의 일부 영역에 음전하가 집중된 영역이 존재할 수 있으나 표면전체의 순전하의 부호는 “+”이다.

도 1은 본 발명의 마찰식 나노발전기의 전형적인 구조를 표시하는데, 제1 마찰층(10), 제1 마찰층(10)의 하면에 접촉하도록 배치되는 제1 도전소자(11), 제2 마찰층(20), 제2 마찰층(20)의 상면에 접촉하도록 배치되는 제2 도전소자(21)를 포함한다. 제1 마찰층(10)의 상면은 제2 마찰층(20)의 하면과 접촉한다. 외력의 작용 하에, 상기 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)의 접촉면은 상대적으로 미끄는 동시에 접촉하는 면적이 변화하여, 제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)를 통해 전기신호를 외부회로로 출력한다.

설명의 편의를 위하여, 이하, 도 1의 전형적인 구조를 참조하면서 본 발명의 원리, 각 부품을 선택하는 원칙 및 재료의 범위를 설명하나, 이러한 내용은 도 1에 표시하는 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명에 개시되는 모든 기술방안에 적용될 수 있는 것은 물론이다.

도 2를 참조하면서, 본 발명의 마찰식 나노발전기의 동작원리를 설명한다. 외력의 작용 하에, 제1 마찰층(10)의 상면과 제2 마찰층(20)의 하면은 상대적으로 슬라이드하여 마찰이 발생됐을 경우, 제1 마찰층(10)의 상면을 구성하는 재료와 제2 마찰층(20)의 하면을 구성하는 재료가 대전열에서 순서에 차이가 있으므로, 표면전하의 이동이 발생한다(도2(a) 참조). 엇갈림으로 인해 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)에 잔류한 표면전하가 형성하는 전계를 차단하기 위하여, 제1 도전소자(11)의 자유전자를, 외부회로를 경유하여 제2 도전소자(21)로 흐르게 한다. 이로써, 외부 전류를 발생한다(도 2(ｂ) 참조). 외력을 역방향으로 인가할 경우, 제1 마찰층(10) 또는 제2 마찰층(20)의 상대적인 슬라이드의 엇갈림이 소실되어 두 도전소자는 원래의 상태로 되돌아가게 된다. 이렇게 되면, 제2 도전소자(21)의 전자가 제1 도전소자(10)로 흘러 역방향의 외부 전류가 발생한다. 이러한 동작을 반복하여, 교류 펄스 전류를 형성한다.

마찰 대전 현상은 오래전부터 이미 널리 알려진 것으로, 통상의 기술자들이 마찰 대전의 재료 종류에 대한 견해도 공통적이다. 하지만 지금까지 알고 있는 것은, 마찰에 의하여 정전기가 발생할 수 있다는 것이다. 본 발명은 최초로 슬라이드 마찰을 이용하여 발전하고 이를 제품화하는 구상을 제기하였다. 상술한 바와 같이, 본 발명에 개시된 동작원리에 의하여, 통상의 기술자들은 슬라이드 마찰식 나노발전기의 동작 방식을 명확하게 인식할 수 있을 것이고, 각 부품을 구성하는 재료의 선택 원칙도 장악할 수 있을 것이다. 이하, 본 발명의 모든 기술방안에 적합한 각 부품을 구성하는 재료의 선택 가능한 범위를 제공한다. 이는 실제 응용에 있어서, 실제적인 수요에 따라 구체적으로 선택하여 발전기의 출력 성능을 조절하는 목적을 달성할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)은 접촉하도록 배치되며, 외력의 유무와 상관없이 항상 면접촉을 유지한다. 이것은, 본 발명의 발전기의 가장 전형적인 구조로, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)의 사이즈 및 상대적인 변위량을 제어하는 것을 통하여, 상대적인 슬라이드 마찰 과정에서 마찰하는 면적의 변화를 용이하게 실현할 수 있다.

하지만, 본 발명은, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)이 항상 면접촉을 유지하는 것을 한정하는 것은 아니며, 외력이 작용할 경우 양자가 접촉하여 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생하고, 외력이 작용하지 않는 경우 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)이 완전히 분리되도록 구성되어도 된다. 이러한 구성은, 단속적인 발전을 원하는 상황을 만족시킬 수 있다. 그리고, 마찰 과정은 접촉마찰일 수도 있고 슬라이드 마찰일 수도 있다. 이 목적을 실현하는 기술수단에는 여러가지가 있으며, 본 분야에서 거리를 제어하는 부품을 사용할 수도 있는데, 예를 들면 제1 마찰층(10)의 하면 및 제2 마찰층(20)의 상면에 각각 절연 스프링 등을 연결할 수도 있다. 단지 사용되는 스프링은 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20) 사이의 상대적인 슬라이드를 제한하여서는 안 된다는 것에 주의하여야 한다. 또한, 본 실시예는, 다른 제품과 조합되어 사용되는 발전기에 유리하다. 다시 말하면, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)을 기타 제품의 서로 분리된 두개의 부품에 각각 연결하여 이 두 부품 사이의 단속적 접촉 및 상대적인 슬라이드를 통하여, 발전기를 동작시켜, 단속적인 발전을 실현할 수 있다.

제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)은, 각각 부동한 마찰 대전 특성을 가지는 재료로 이루어진다. 상술한 부동한 마찰 대전 특성은, 양자가 대전열에서 부동한 순서에 처해있으며, 마찰이 발생하는 과정에서 표면에 접촉전하를 발생하는 것을 말한다. 일반적인 고분자폴리머는 모두 마찰 대전 특성을 가지므로, 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)을 구성하는 재료로 사용할 수 있다. 여기서, 자주 사용되는 고분자폴리머로서 예시된 것은, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리디메틸실록산, 폴리이미드, 폴리디페닐프로판카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 아닐린포름알데히드 수지, 폴리포름알데히드, 에틸셀룰로오스, 폴리아미드, 멜라민포름알데히드, 폴리에틸렌글리콜석시네이트(polyethylene glycol succinate), 셀룰로오스, 셀룰로오스아세테이트, 폴리에틸렌글리콜아디페이트, 폴리프탈산디아릴, 재생섬유스펀지, 폴리우레탄일래스터머, 스티렌프로펜공중합체, 스티렌부타디엔공중합체, 인조섬유, 폴리메타크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리에스테르, 폴리이소부틸렌, 폴리우레탄 플렉시블 스펀지, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리비닐 부티랄, 페놀 수지, 클로로프렌고무, 부타디엔프로펜공중합체, 천연고무, 폴리아크릴로니트릴, 폴리(염화 비닐 리덴co-아크릴로니트릴), 폴리에틸렌비스페놀카보네이트, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 액정고분자폴리머, 폴리클로로프렌, 폴리아크릴로니트릴, 폴리디페놀카보네이트, 염화폴리에테르, 폴리프로필렌, 폴리클로로트리플루오르에틸렌, 폴리염화비닐리덴, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐, 및 패럴린이 있다. 편폭의 제한으로 사용 가능한 모든 재료를 예시할 수 없으므로, 여기서는 참고로 몇개의 구체적인 물질 만을 예시한다. 물론, 이러한 구체적인 재료는, 본 발명의 보호범위를 한정할 수 있는 요소는 아니다. 통상의 기술자들은, 발명의 시사 하에 이러한 재료의 마찰 대전 특성에 기초하여 유사한 기타 재료를 용이하게 선택할 수 있을 것이다.

절연체에 비하면, 반도체 및 금속은 전자를 쉽게 잃는 마찰 대전 특성을 가지며, 대전열에서 앞부분에 위치한다. 따라서, 반도체 및 금속을 제1 마찰층(10) 또는 제2 마찰층(20)을 형성하는 재료로 사용할 수 있다. 자주 사용되는 반도체는, 규소(Si), 게르마늄(Ge); 갈륨비소, 인화갈륨 등과 같은 제Ⅲ족 및 제V족 화합물; 황화카드뮴, 황화아연 등과 같은 제Ⅱ족 및 제Ⅵ족 화합물; 및, 갈륨-알루미늄-비소, 갈륨-비소-린 등과 같은 Ⅲ－V족 화합물과 Ⅱ-Ⅵ족 화합물로 이루어진 고용체; 를 포함한다. 상술한 결정질 반도체 이외에도, 비정질 유리 반도체, 유기 반도체 등이 있다. 예를 들면, 망간(Mn), 크롬(Cr), 철(Fe), 동(Cu)의 산화물, 산화규소, 산화망간, 산화크롬, 산화철, 산화동, 산화아연, BiO₂ 및 Y₂O₃ 등과 같은 비도전성 산화물, 반도체산화물 및 복잡한 산화물도 마찰 대전 특성을 가져 마찰 과정에서 표면전하를 형성할 수 있으므로, 본 발명의 마찰층으로 사용할 수도 있다. 자주 사용되는 금속으로는, 금, 은, 백금, 알루미늄, 니켈, 동, 티타늄, 크롬 또는 셀렌, 및 상술한 금속들의 합금을 포함한다. 물론, ITO(Indium tin oxide) 및 도핑반도체와 같이 도전특성을 가지는 기타 재료를 전자를 쉽게 잃는 마찰층으로 사용할 수도 있다.

실험을 통하여, 제1 마찰층(10)의 재료와 제2 마찰층(20)의 재료가 전자를 얻는 능력의 차이가 클수록(즉, 대전열에서 멀리 떨어져 있을수록), 발전기가 출력하는 전기신호가 더 강해진다는 것을 발견하였다. 따라서, 실제 수요에 따라, 적합한 재료를 선택하여 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)을 형성함으로써, 더욱 뛰어난 출력 효과를 얻을 수 있다. 대전열에서 "-" 극성을 가지는 재료로서는, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리디페닐프로판카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리염화비닐, 폴리디메틸실록산, 폴리클로로트리플루오르에틸렌 및 폴리테트라플루오로에틸렌, 및 패럴린(패럴린C, 패럴린N, 패럴린D, 패럴린HT 또는 패럴린AF4을 포함한다)에서 선택하는 것이 바람직하다. “+” 극성을 가지는 대전열에서의 재료로, 아닐린포름알데히드 수지, 폴리포름알데히드, 에틸셀룰로오스, 폴리아미드나이론11, 폴리아미드나이론66, 양모 및 그 직물, 잠사 및 그 직물, 종이, 폴리에틸렌글리콜숙신산, 셀룰로오스, 셀룰로오스아세테이트, 폴리에틸렌글리콜아디페이트, 폴리프탈산디아릴, 재생섬유 스펀지, 면 및 그 직물, 폴리우레탄일래스터머, 스티렌-아크릴로니트릴공중합체, 스티렌부타디엔공중합체, 목재, 경질고무, 아세테이트, 인조섬유, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리비닐알코올, 폴리에스테르, 동, 알루미늄, 금, 은 및 강철이 바람직하다.

제1 마찰층(10)의 상면 및/또는 제2 마찰층(20)의 하면에 대하여 물리적변화를 실시하여, 표면에 마이크로미터 수량급 또는 서브 마이크로미터 수량급의 미세 구조의 어레이가 분포되도록 하여, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20) 사이의 접촉면적을 증가시켜 접촉전하의 량을 증가시킬 수도 있다. 구체적인 변화 방법으로는 포토리소그래피, 화학에칭, 이온에칭 등 방법이 있다. 이 구성은, 나노재료의 장식 또는 도포층을 통하여 실현할 수도 있다.

서로 접촉하는 제1 마찰층(10) 및/또는 제2 마찰층(20)의 표면에 대하여 화학수식을 실시하여, 접촉 순간의 전하의 이동량을 더욱 향상시킬 수도 있다. 이로써, 접촉전하의 밀도 및 발전기의 출력 전력을 향상시킬 수 있다. 화학수식은 아래와 같은 두가지 방법으로 나뉜다.

일 방법으로는, 서로 접촉하는 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)을 구성하는 재료에 대하여, 극성이 “+”인 재료의 표면에, 전자를 쉽게 잃는 작용기(즉, 강한 전자공여기)를 도입하거나, 극성이 “-”인 재료의 표면에 전자를 쉽게 얻는 작용기(즉, 강한 전자흡인기)를 도입함으로써, 서로 슬라이드할 때의 전하의 이동량을 더욱 향상시켜, 마찰 전하의 밀도 및 발전기의 출력 전력을 향상시키는 방법이다. 강한 전자공여기는, 아미노기, 하이드록실기, 알콕실기(alkoxyl group) 등을 포함한다. 강한 전자흡인기는, 아실기, 카복실기, 니트로기, 술폰기 등을 포함한다. 작용기의 도입은, 플라즈마 표면 변화 등 일반적인 방법을 사용할 수 있다. 예를 들면, 산소와 질소의 혼합가스를, 소정의 전력하에서 플라즈마를 형성시킴으로써, 아미노기를 마찰층을 구성하는 재료의 표면으로 도입할 수도 있다.

다른 일 방법으로는, 극성이 "+"인 마찰층을 구성하는 재료의 표면에 양전하를 도입하고, 극성이 "-"인 마찰층을 구성하는 재료의 표면에 음전하를 도입하는 방법이다. 구체적으로, 화학결합을 통하여 실현할 수 있다. 예를 들면, PDMS 마찰층의 표면에 졸-겔 법(sol-gel)을 이용하여 테트라에틸오소실리케이트(TEOS)를 수식하여 음전하를 가지도록 할 수 있다. 또는 금박막층에 대하여 금－유황 결합을 통하여 표면에 헥사데실 트리메틸암모늄 브로마이드(CTAB)가 함유된 금나노 입자를 수식할 수도 있다. CTAB가 양이온이므로, 마찰층 전체는 양전하를 띠도록 한다. 통상의 기술자들은, 마찰층을 구성하는 재료가 전자를 잃고 얻는 성질 및 표면 화학결합의 종류에 의하여 적합한 수식 재료를 선택하여 결합시킴으로써, 본 발명의 목적을 달성할 수 있다. 따라서, 이러한 변형도 본 발명의 보호범위 내에 속한다.

본 발명은, 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)이 반드시 경질재료로 이루어지는 것에 한정되는 것은 아니며, 연질재료로 이루어질 수도 있는데, 이는 재료의 경도가 양자 사이의 슬라이드 마찰 효과에 영향을 주지 않기 때문이다. 통상의 기술자들은, 실제 수요에 따라 선택할 수 있다. 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)의 두께는, 본 발명의 실시에 뚜렷한 영향을 주지 않는다. 본 발명에 있어서, 양자가 박막 또는 얇은 층인 것이 바람직하며, 그 두께는, 50nm~5mm이며, 100nm~2mm인 것이 바람직하고, 1㎛~800㎛인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 두께의 범위는 본 발명의 모든 기술방안에 적용된다.

제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)는, 발전기의 두개의 전극으로서, 도전 가능한 특성을 가지기만 하면 되고, 금속 또는 도전산화물로부터 선택될 수 있으며, 플레이트, 박편 또는 박막일 수 있다. 두께의 선택 가능한 범위는 10nm~5mm이고, 50nm~1mm가 바람직하며, 100nm~500㎛가 더욱 바람직하다. 알루미늄막, 금막, 동막과 같은 금속 박막이 바람직하다. 자주 사용되는 금속은, 금, 은, 백금, 알루미늄, 니켈, 동, 티타늄, 크롬 또는 셀렌, 및 상술한 금속으로 형성된 합금을 포함한다. 자주 사용되는 도전산화물은, ITO(Indium tin oxide) 및 이온이 도핑된 반도체를 포함한다. 전극층은 대응되는 마찰층의 표면과 밀접히 접촉되어 전하의 전송 효율을 확보하는 것이 바람직하다. 퇴적 방식을 이용하여 도전재료를 대응되는 마찰층의 표면에 성막(成膜)시키는 것이 비교적 바람직하다. 구체적인 퇴적 방법으로는 전자빔증착, 플라즈마 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 또는 증착이 있다.

제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)와 외부회로 사이의 연결은, 도선 또는 금속 박막을 통해 실현할 수 있다.

본 발전기의 기계적 강도를 확보하기 위하여, 제1 도전소자의 하면 및/또는 제2 도전소자의 상면에 지지층을 접촉하도록 설치할 수 있다. 예를 들면 , 플라스틱 판 또는 규소 시트 등과 같은 절연 재료 또는 반도체 재료가 바람직하다.

본 발명은, 마찰층 및 도전소자를 반드시 경질재료에 한정하는 것은 아니며, 연질재료를 사용할 수도 있는데, 이는 재료의 경도가 슬라이드 마찰 및 전기신호의 출력 효과에 영향 주지 않기 때문이다. 예를 들면, 동물 섬유는 유연하나 서로 마찰되는 과정에서 많은 정전하를 발생하므로, 통상의 기술자들은 실제 수요에 따라 경질 또는 연질 재료를 선택할 수 있다. 그리고, 연질재료로 형성되는 발전기는, 유연하고 얇은 마찰층이 작은 외력의 작용하에서도 변형 가능하다는 이점을 가진다. 이러한 변형은, 마찰하는 두 층이 상대 변위를 발생하도록 하여, 슬라이드 마찰을 통하여 전기신호를 외부로 출력한다. 연질재료를 사용함으로써, 본 발명의 나노발전기를 생물 및 의학 분야까지 널리 적용할 수 있다. 실제 사용 과정에서는, 유연하고 탄성을 가지는 초박형 고분자재료 및/또는 투명한 고분자재료를 베이스로 사용하여, 편리하게 사용하도록 봉지하므로써, 강도를 향상시킬 수도 있다. 물론, 본 발명에 개시된 모든 구조를, 유연하고 탄성을 가지는 재료로 구성함으로써, 연질의 나노발전기를 형성할 수 있으나 여기서는 설명을 생략한다. 이를 기초로 변경을 가하여 얻을 수 있는 각 변형 설계는 모두 본 출원의 보호범위에 포함된다.

도 3은 본 발명의 두 마찰층이 일부만 접촉하는 것을 표시한 전형적인 실시예이다. 본 실시예의 주요 부분은, 도 1에 표시된 실시예와 동일하다. 여기서는, 양자의 구별 만을 설명한다. 도 3에 표시하는 실시예에 있어서, 제1 마찰층(10)의 상면은 상대적으로 작고, 이 상면과 제2 마찰층(20)의 하면은 모두 평탄하지 않는 구조를 가진다. 양자가 접촉한 후 상대적으로 슬라이드하는 과정에 있어서, 접촉하는 면적이 변화하며, 이로써 전기신호를 외부로 출력하는 목적을 실현한다. 본 실시예는, 제1 마찰층(10)의 상면이 너무 작을 경우 또는 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)의 위치가 상대적으로 변화 가능한 정도가 작을 경우에, 외력의 크기 또는 마찰층의 이동 가능한 공간이 발전기의 적당한 전기신호의 출력에 충분하지 않을 경우, 평탄하지 않는 표면을 설치함으로써, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)의 접촉면적 및 전기신호의 발생에 필요한 유효 상대 변위를 효과적으로 제어할 수 있다. 통상의 기술자들은, 제2 마찰층(20)의 표면적이 작을 때에도 본 실시예의 구성에 의하여 본 발명의 목적을 실현할 수 있으며, 또한 표면이 평탄하지 않는 패턴을 설치하는 것도 실제 상황에 따라 선택 가능하다는 것을 예상할 수 있을 것이다. 따라서, 이러한 변경도 본 발명의 보호범위에 속한다.

도 4는 본 발명의 마찰층의 표면에 미세 구조를 설치한 것을 표시하는 전형적인 실시예이다. 본 실시예의 주요 부분은, 도 1에 표시된 실시예와 동일하다. 여기서는, 양자의 구별 만을 설명한다. 도 4에 표시하는 실시예는, 제1 마찰층(10)의 상면 및 제2 마찰층(20)의 하면에 각각 마이크로미터 수량급의 선형구조(12, 22)를 설치한다. 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)이 접촉하는 과정에서, 이들 표면의 미세 구조가 서로 삽입되거나 중첩되므로, 접촉하여 마찰하는 면적이 크게 증가되어, 발전기의 출력 성능을 효과적으로 향상시킬 수 있다. 미세 구조의 구체적인 형태에 대하여, 통상의 기술자들은 제조 조건이나 실제 수요에 따라 관용 막대기형, 선형 또는 꽃무늬형 등 형상을 선택할 수 있다. 미세 구조를, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)의 표면에 동시에 설치할 때의 효과가 가장 좋으나, 어느 한 표면 만에 설치하여도 유사한 효과를 달성할 수 있음은 물론이다.

또한, 본 발명에서는 발전 방법을 제공하는데, 구체적으로, 상술한 슬라이드 마찰식 나노발전기를 이용하여 발전하며, 이하의 단계를 포함한다.

(1) 우선, 상술한 원칙에 기초하여 재료를 선택하여, 사이즈 및 형상이 적합한 제1 마찰층(10) 및 제2 마찰층(20)을 형성한다.

(2) 제1 마찰층(10)의 하부 및 제2 마찰층(20)의 상부에, 이들과 접촉하도록 배치되는 상기 제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)를 형성하며, 고정배치하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 퇴적 방법에 의하여, 제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)를 각각 제1 마찰층(10)의 하면 및 제2 마찰층(20)의 상면에 직접 고정한다.

(3) 제2 마찰층(20)의 하면과 제1 마찰층(10)의 상면을 접촉하도록 배치하여, 양자 사이에서 슬라이드 마찰을 형성할 수 있도록 한다. 본 단계는, 본 발명의 발전 방법을 실현할 수 있는 전제로서, 접촉/분리식 나노발전기의 발전 방식과 구별되는 포인트이다. 접촉/분리식 발전기는, 동작 과정에 있어서 두 필름층 사이에 거리가 변화할 수 있는 간격이 반드시 존재하여야 하며, 양자는 접촉-분리 동작을 반복할 수 있어야만 전기신호를 발생할 수 있다. 하지만, 본 발명의 발전 방법은, 제2 마찰층(20)과 제1 마찰층(10) 사이에 간격을 형성할 필요 없이, 전기신호의 발생 과정에서 제2 마찰층(20)과 제1 마찰층(10)은 항상 접촉상태에 있다. 초기 상태에서, 제1 마찰층(10)의 상면과 제2 마찰층(20)의 하면을, 형상 및 사이즈가 동일하도록 하며 완전히 접촉시킴으로써, 마찰하는 면적을 최대로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 후속적인 발전 과정에서, 외력만 작용시키면, 마찰하는 면적을 변화시켜, 전기신호를 발생하여 외부로 출력할 수 있다.

(4) 제1 도전소자(11) 및 제2 도전소자(21)를 외부회로에 전기적으로 연결한다. 본 단계는, 발전기로부터 발생한 전기적 에너지를 외부로 출력하는 필요 조건이다. 전기적 연결을 실현하는 방법에는 여러가지가 있는데, 예를 들면 가장 일반적인 도선을 이용하여 연결할 수도 있고, 박층을 이용하여 연결할 수도 있다. 구체적으로, 실제 수요에 따라 선택할 수 있다.

(5) 발전기에 외력을 인가하여, 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20) 사이에 상대적인 슬라이드를 형성시키며, 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생시키는 한편, 슬라이드 과정에서 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)을 접촉면의 방향에 따라 엇갈리게 하여 슬라이드 마찰하는 면적이 변화하도록, 상대적인 슬라이드 거리를 제어한다. 본 단계는, 본 발명의 발전 방법에서 가장 중요한 단계이다. 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20) 사이에는 상대적인 슬라이드 마찰이 발생하여야 할 뿐만 아니라, 마찰하는 면적도 변화하여야 한다. 이로써 비로소 전기신호를 외부회로로 출력할 수 있다. 바람직하게는, 제2 마찰층(20)의 하면 및 제1 마찰층(10)의 상면이 접촉면의 방향에 따라 제한받지 않고 자유로 슬라이드할 수 있어야 한다. 이로써, 외력에 대한 응답 감도를 향상시킬 수 있다. 본 발명의 발전 방법은, 방향이 주기적으로 반전하거나 크기가 주기적으로 변화하는 지속적인 외력을 사용하는 것이 바람직하다. 이로써, 지속적으로 교류 펄스 전기신호를 외부회로로 출력할 수 있다.

방향이 주기적으로 반전하는 지속적인 외력에 있어서, 그 주기는 상대적으로 슬라이드 마찰하는 면적의 변화와 매칭되도록 할 수 있다. 다시 말하면, 상대적으로 슬라이드 마찰하는 면적이 최대에서 최소까지 변화 또는 최소에서 최대까지 변화하는 시간을 하나의 주기로 설정할 수 있다. 이렇게 하면, 외력이 작용하는 과정에 펄스 전기신호가 항상 발생하도록 확보하여, 외력의 방향이 변화하지 않음으로 인하여 제1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)이 접촉하지도 않고 마찰하지도 않는 상황을 방지할 수 있다.

크기가 주기적으로 변화하는 지속적인 외력에 대하여, 외력이 소실된 후 1 마찰층(10)과 제2 마찰층(20)이 자동으로 원래의 상태로 되돌아갈 수 있는 외력을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 초기 상태에서, 제1 마찰층(10)의 상면과 제2 마찰층(20)의 하면이 완전히 접촉하고, 제2 마찰층(20)의 일단에 절연 스프링이 연결되며, 제1 마찰층(10)과 그 하면의 제1 도전소자(11)의 위치가 고정된다. 이때, 제2 마찰층(20)의 타단에 외력을 인가하면, 절연 스프링이 점차 인장되어, 제2 마찰층(20)과 제1 마찰층(10) 사이의 접촉마찰하는 면적이 점차 작아진다. 접촉마찰하는 면적이 최소치가 될 때, 외력을 감소하여, 제2 마찰층(20)이 절연 스프링의 작용하에 점차 초기 위치로 되돌아가도록 한다. 이렇게 되면, 제2 마찰층(20)과 제1 마찰층(10)은 또다시 완전히 접촉하게 된다. 이러한 과정을 하나의 주기로 반복하면 펄스 전기신호를 지속적으로 외부회로에 전송할 수 있다.

<실시예 1>

제1 도전소자는 두께다 100nm인 동 필름층을 사용하고, 제1 마찰층은 두께가 25㎛인 테플론(폴리테트라플루오로에틸렌) 필름을 사용하고, 제2 마찰층은 두께가 100nm인 알루미늄 필름층을 사용하고, 제2 도전소자는 ITO 필름을 사용하는데, 이러한 필름층의 마크로 사이즈(macro-size)는 5cm×7cm이다. 동 필름층과 ITO 필름층은, 도선를 통하여 전류계에 연결되며, 테플론 필름과 알루미늄 필름은 완전히 중첩되게 접촉하도록 배치된다. 절연 장갑을 낀 손가락으로 동 필름층을 밀거나 당기는 동작을 반복하여, 테플론 필름층과 알루미늄 필름층 사이에 주기적인 상대적 슬라이드를 발생시킨다. 단락 전류가 전류계로 출력된다면, 발전기가 정상적으로 동작한다는 것을 나타낸다. 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발전기를 이용하여 80개의 상용 LED 램프를 점등시킬 수 있다.

대전열에서 폴리테트라플루오로에틸렌은 극히 강한 “-” 극성을 가지고 알루미늄은 “+” 극성을 가지므로, 본 실시예의 재료의 조합은 마찰식 나노발전기의 출력을 향상시키는데 유리하다.

<실시예 2>

두께가 50㎛이고 3cm×8cm인 PDMS(polydimethylsiloxane)를 제1 마찰층(10)으로 하고, 동일한 마크로 사이즈의 규소 시트를 제2 마찰층으로 한다. 규소 시트에 포토레지스트를 회전 도포하고, 포토리소그래피 방법을 통하여 포토레지스트 상에 변의 길이가 마이크로미터 수량급 또는 서브 마이크로미터 수량급인 정사각형 윈도우 어레이를 형성한다. 포토리소그래피가 완료된 규소 시트에 대하여, 뜨거운 수산화칼륨을 이용한 화학에칭을 실시하여, 윈도우에 피라미드형 오목 구조 어레이를 형성한다. 규소 시트와 PDMS가 외력의 작용 하에 접촉하여 상대적으로 미끌 때, PDMS는 비교적 양호한 탄성을 가지므로, 규소 시트 표면의 오목 구조에 진입하여 그를 충진할 수 있다. 이로써, 규소 시트와의 마찰 접촉면적이 증가되여 더욱 뛰어난 전기적 출력 효과를 얻을 수 있다.

<실시예 3>

본 실시예는, 실시예 1을 기초로, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 만을 변화시켰을 뿐, 다른 구성은 실시예 1과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다. 폴리테트라플루오로에틸렌 필름의 표면에, 유도 결합 플라즈마 에칭 방법을 이용하여, 나노 와이어 어레이를 형성한다. 우선, 폴리테트라플루오로에틸렌의 표면에, 스퍼터링 장치를 이용하여 약 10nm 두께의 금을 퇴적시킨 후, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름을 유도 결합 플라즈마 에칭장치로 넣어, 금이 퇴적된 면을 에칭하는데, 유량을 각각 10sccm, 15sccm 및 30sccm로, 압력의 세기를 15mTorr로, 동작 온도를 55°C로 제어한 O₂, Ar 및 CF₄ 기체를 도입하여, 400W의 전력으로 플라즈마를 발생하고, 100W의 전력으로 플라즈마를 가속한다. 이렇게 약 5분간 에칭을 진행하면, 절연필름층에 거의 수직되며 길이가 약 1．5㎛인 고분자 폴리테트라플루오로에틸렌의 나노 막대기 어레이를 얻는다.

본 발명의 마찰식 나노발전기는, 평행운동의 운동 에너지를 이용하여 전기적 에너지를 발생할 수 있으므로, 배터리 등 전원 없이도 소형 전자기기에 전력을 제공할 수 있다. 그러므로, 편리하게 사용할 수 있는 발전기에 속한다. 또한, 본 발명의 마찰식 나노발전기의 제조방법은 간단하고 원가가 저렴한 바, 널리 응용될 수 있는 마찰식 나노발전기 및 발전기 그룹을 제공할 수 있다.

상술한 설명은 본 발명의 비교적 바람직한 실시예일 뿐, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 통상의 기술자들은, 본 발명의 주지를 이탈하지 않는 범위 내에서, 상기 개시된 방법 및 기술내용에 기초하여 본 발명에 대하여 여러가지 변경 및 개선을 진행할 수도 있고, 동등하게 변화시킨 균등 실시예로 변경할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 주지를 이탈하지 않는 한, 본 발명의 사상에 기초하여 상기 실시예에 대하여 진행한 간단한 수정, 균등한 변경 및 개선은 모두 본 발명의 기술방안이 보호하고자 하는 범위 내에 속한다.

Claims (33)

1. 제1 마찰층;
   상기 제1 마찰층의 하부에 접촉하도록 배치되는 제1 도전소자;
   제2 마찰층; 및
   상기 제2 마찰층의 상부에 접촉하도록 배치되는 제2 도전소자;
   를 구비하고,
   상기 제1 마찰층의 상면은 상기 제2 마찰층의 하면에 대향하도록 배치되고,
   상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은, 외력이 작용할 경우 상대적인 슬라이드 마찰을 발생하는 동시에 마찰하는 면적이 변화하며, 상기 제1 도전소자는 상기 제1 마찰층과 함께 움직이고, 상기 제2 도전소자는 상기 제2 마찰층과 함께 움직이며, 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 통하여 전기신호를 외부회로로 출력하는
   것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 마찰층의 상면을 구성하는 재료와 상기 제2 마찰층의 하면을 구성하는 재료는 대전열에서 순서에 차이가 있는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
4. 제2항에 있어서,
   외력이 작용하지 않을 경우, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 분리되고; 외력이 작용하는 경우, 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면은 접촉하며 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생하는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 마찰층의 상면 및 제2 마찰층의 하면 중 하나 이상은, 절연 재료 또는 반도체 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
6. 제5항에 있어서,
   상기 절연 재료는, 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리디페닐프로판카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리염화비닐, 폴리디메틸실록산, 폴리클로로트리플루오르에틸렌, 폴리테트라플루오로에틸렌, 및 패럴린으로부터 선택되고,
   상기 반도체 재료는 갈륨비소, 인화갈륨 황화카드뮴, 황화아연, 갈륨-알루미늄-비소 및 갈륨-비소-린으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 마찰층은, 비도전산화물, 반도체산화물, 또는 복잡한 산화물로 이루어지며, 산화규소, 산화알루미늄, 산화망간, 산화크롬, 산화철, 산화티타늄, 산화동, 산화아연, BiO₂ 또는 Y₂Ｏ₃을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 마찰층의 상면 및 상기 제2 마찰층의 하면 중 하나 이상에는, 마이크로미터 수량급 또는 서브 마이크로미터 수량급의 미세 구조가 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 마찰층의 상면 및 상기 제2 마찰층의 하면 중 하나 이상은, 화학수식을 통하여 극성이 “+”인 재료의 표면에 전자를 쉽게 잃는 작용기 또는 정전하를 도입하거나, 극성이 “-”인 재료의 표면에 전자를 쉽게 얻는 작용기 또는 음전하를 도입하는 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 마찰층, 상기 제2 마찰층, 상기 제1 도전소자, 또는 상기 제2 도전소자는, 박막인 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
11. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 마찰층, 상기 제2 마찰층, 상기 제1 도전소자, 또는 상기 제2 도전소자은, 연질 물질인 것을 특징으로 하는 슬라이드 마찰식 나노발전기.
12. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 슬라이드 마찰식 나노발전기를 사용하는 발전 방법에 있어서,
    (1) 상기 제1 마찰층 및 제2 마찰층을 준비하는 단계;
    (2) 상기 제1 마찰층의 하부 및 상기 제2 마찰층의 상부에 각각 접촉하도록 배치되는 제1 도전소자 및 제2 도전소자를 형성하는 단계;
    (3) 상기 제1 마찰층의 상면과 상기 제2 마찰층의 하면을 접촉시키는 단계;
    (4) 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 외부회로와 전기적으로 연결하는 단계;
    (5) 외력을 인가하여, 상기 제1 마찰층과 제2 마찰층 사이에 상대적인 슬라이드를 발생시키고, 접촉면에 접하는 상대적인 슬라이드 마찰을 발생시키며, 슬라이드 과정에 있어서, 상대적인 슬라이드 거리를 제어함으로써, 상기 제1 마찰층과 상기 제2 마찰층을 접촉면의 방향에 따라 엇갈리도록 하여 슬라이드 마찰하는 면적을 변화시키는 단계; 및
    (6) 상기 제1 도전소자가 상기 제1 마찰층과 함께 움직이고, 상기 제2 도전소자가 상기 제2 마찰층과 함께 움직이고, 상기 제1 도전소자 및 상기 제2 도전소자를 통해 전기신호를 외부회로로 출력하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 발전 방법.
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