KR101982654B1 - 고압 이산화탄소 vmb 라인 결로방지 장치 - Google Patents

고압 이산화탄소 vmb 라인 결로방지 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치에 관한 것으로서, 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부와, 상기 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부 및 상기 이산화탄소 정제부에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치로 공급하는 이산화탄소 주입부를 포함하는 고압 이산화탄소 VMB 라인에 설치되되, 상기 이산화탄소 공급부의 제1 벤트라인 상 또는 상기 이산화탄소 주입부의 제2 벤트라인 상에 설치되는 결로발생 방지부를 포함한다.

Description

고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치{Apparatus for Prevent Condensation of high-pressure CO2 valve maniforder box line}
본 발명은 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정장치 특히 이산화탄소 가스를 이용한 건식 웨이퍼 세정장치에 고압 이산화탄소를 공급하기 위한 고압 이산화탄소 VMB(valve maniforder box) 라인에 설치되어 결로발생을 예방하도록 함으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것을 방지하도록 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전계발광표시장치(ELD ; Electroluminiscent Display), 액정표시장치(LCD ; Liquid Crystal Display), 플라즈마표시패널(PDP ; Plasma Display Panel) 등의 평면표시장치(FPD ; Flat-Panel Display)는 생산성 향상 및 대량생산을 위하여 넓은 면적의 기판에 동일한 패턴을 일정하게 배열하여 다수 형성한 다음, 각각 패턴이 형성된 셀(cell)을 하나씩 절단하여 구동회로와 연결 사용한다.
여기서, 기판을 각 패턴이 형성된 셀로 나누어 절단한 후에는 절단면의 날카로움 및 거스러미를 제거하기 위하여 연마를 행하며, 연마 시에 발생하는 기판의 입자나 연마입자 등의 오염물질을 제거하기 위한 세정작업을 수행하게 된다.
종래의 세정작업은 각 셀을 트레이(Tray)에 적재하고, 이 트레이를 초음파조에 침적하여 세정하고 린스한 다음, 열풍건조에 의해 건조하는 순서로 진행한다.
이러한 세정작업은 습식으로 이루어짐으로써, 특히 수분에 매우 취약한 전계발광표시장치의 경우에는 불량률이 높으며, 세정하고 린스하는 공정에서 다량의 물 및 화학약품을 사용하므로 산업용 폐수가 필수적으로 발생하여 환경을 오염시키고 자연보호에 역행하는 결과를 초래하게 되는 단점이 있었다.
또 종래의 세정공정은 스프레이세정, 2단계의 초음파세정, 스프레이린스, 4단계의 초음파린스, 순수열탕조, 열풍건조로 등의 10여 단계로 이루어짐으로써, 그 작업공정이 복잡하고, 설비가 장대해지며 유지비용이 많이 소요되고, 설치공간이 대규모로 필요하며, 설비의 트러블이 발생할 가능성이 높은 단점도 있었다.
이에, 최근에는 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 이산화탄소와 질소 가스를 이용하여 세정을 행하는 방법이 사용되고 있다. 즉 가스를 이용하여 세정하므로 산업용 폐수가 발생하지 않고, 세정공정이 간단하고 소요공간을 최소화할 수 있는 건식 세정공정이 사용되고 있는 실정이다.
종래에 가스를 이용한 세정장치는 트레이에 적재된 셀에 세정용 가스인 이산화탄소와 분위기용 가스인 질소를 분사하는 다수의 노즐이 내부에 설치되는 세정챔버가 설치된다.
상기와 같이 구성되는 종래의 이산화탄소를 이용한 세정장치에 있어서, 이산화탄소를 노즐을 통해 분사 시에 기체상태의 이산화탄소는 대략 5% 정도만이 이산화탄소 스노우(Snow)로 변경되고 95% 정도의 기체상태로 분사되며, 액체상태의 이산화탄소는 45% 정도가 이산화탄소 스노우로 변경되고 55% 정도는 기체상태로 분사된다.
이 경우에 있어서 스노우로 분사되는 이산화탄소가 많을수록 세정력이 증대되므로, 가능하면 기체상태의 이산화탄소를 액체상태의 이산화탄소로 상변화시켜 분사하는 것이 바람직한바, 세정장치로 공급되는 이산화탄소를 액화시킨 상태로 주입시키기 위한 이산화탄소 공급라인이 설치된다.
이러한 이산화탄소 공급라인은, 이산화탄소 공급부와, 이산화탄소 정제부 및 이산화탄소 주입부를 포함하여 구성된다.
여기서, 이산화탄소 공급부로 공급된 이산화탄소는 가동 시 일부가 금속 분석부로 공급되어 이산화탄소 중 금속 함유량을 측정하게 되고, 이산화탄소 주입부를 통해 세정장치로 이산화탄소가 공급되는 과정에서 세정장치로의 이산화탄소 공급이 잠시 중단되는 등의 경우 벤트라인을 통해 이산화탄소를 외부로 배출시키게 된다.
그런데, 이 경우 금속 분석부로 이산화탄소가 공급될 때, 압력 변화에 따른 온도 변화로 인해 결로가 발생될 우려가 있고, 또한 세정장치로의 이산화탄소 공급이 잠시 중단되는 등의 경우 벤트라인을 통해 이산화탄소가 외부로 배출될 때에도 압력 변화에 따른 온도 변화로 인해 결로가 발생될 우려가 있었다.
이와 같이 이산화탄소 공급라인에서 결로가 발생하는 경우, 결로수가 이산화탄소 공급라인의 각 전장품으로 낙하되어 쇼트 등을 발생시키는 등, 각종 부품을 손상시킬 우려가 큰 문제점이 있었다.
한국등록특허 제10-0863953호(2008.10.10.)
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점에 착안하여 안출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 세정장치 특히 이산화탄소 가스를 이용한 건식 웨이퍼 세정장치에 고압 이산화탄소를 공급하기 위한 고압 이산화탄소 VMB(valve maniforder box) 라인에 설치되어 결로발생을 예방하도록 함으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것을 방지하도록 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치는, 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부와, 상기 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부 및 상기 이산화탄소 정제부에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치로 공급하는 이산화탄소 주입부를 포함하는 고압 이산화탄소 VMB 라인에 설치되는 것으로서, 상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인 상 또는 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 상에 설치되는 결로발생 방지부를 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 결로발생 방지부는, 밀폐 공간을 갖는 본체; 상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 입구단과, 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 출구단 및 상기 입구단과 출구단을 연결하되, 상기 본체의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 볼록부와 오목 공간부가 형성되는 이산화탄소 유동 라인; 상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 건조공기 공급관; 및 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 건조공기 배출관을 포함할 수 있다.
이 때, 상기 건조공기 공급관에서 본체의 내부에 배치되는 선단부는, 한쪽 방향으로 경사지게 경사판이 형성될 수 있다.
또한, 상기 오목 공간부와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 상기 본체의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 차폐부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 이산화탄소 유동 라인의 입구단과, 상기 건조공기 공급관에는 각각 개폐밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치에 의하면, 세정장치 특히 고압의 이산화탄소를 공급하는 VMB 라인에 결로발생이 예방됨으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것이 방지되어 제품의 신뢰도가 크게 향상되는 효과가 제공될 수 있다.
즉, 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 고압의 이산화탄소가 금속 분석부로 유동하는 과정에서 결로수의 발생이 예방되고, 이산화탄소 주입부를 통해 세정장치로 고압의 이산화탄소의 공급이 잠시 중단되는 과정에서 고압의 이산화탄소가 벤트라인을 통해 외부로 배출되는 경우에도 결로수의 발생이 예방됨으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상됨이 방지되어 결국 제품의 신뢰도가 크게 향상되는 효과가 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치의 전체 구성을 개략적으로 도시한 블록도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 공급부의 구성을 도시한 구성도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 주입부의 구성을 도시한 구성도.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에 적용되는 결로방지 장치의 내부 구성을 도시한 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
따라서, 몇몇 실시 예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계 및/또는 동작 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및/또는 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 사시도, 단면도, 측면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 또한, 본 발명의 실시 예에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예에 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치의 전체 구성을 개략적으로 도시한 블록도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 공급부의 구성을 도시한 구성도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 주입부의 구성을 도시한 구성도이다.
또한, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에 적용되는 결로방지 장치의 내부 구성을 도시한 단면도이다.
먼저 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 결로방지 장치가 적용되는 고압 이산화탄소 VMB 라인은, 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부(10)와, 이 이산화탄소 공급부(10)를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부(20)와, 이 이산화탄소 정제부(20)에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치(300)로 공급하는 이산화탄소 주입부(30)를 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
또한, 고압 이산화탄소 VMB 라인은, 이산화탄소 공급부(10)로 공급된 이산화탄소에서 금속 함유량을 분석하기 위한 금속 분석부(40)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 제1 유입구(12)를 통해 이산화탄소 공급부(10)로 이산화탄소가 공급되면, 공급되는 이산화탄소는 복수의 제1 배관(14)을 통해 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지게 되는데, 이 때 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지기에 앞서 최초에 공급되는 이산화탄소는 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 유동되어 이산화탄소 중 금속의 함유량이 분석되게 된다.
즉, 제1 유입구(12)를 통해 이산화탄소 공급부(10)로 이산화탄소가 공급되는 시점에서는 제1 벤트라인(16)의 밸브가 개방되고 제1 배관(14)들의 밸브는 폐쇄됨으로써, 최초에 공급되는 이산화탄소는 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 공급이 이루어지게 된다.
이 때, 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 이산화탄소가 공급되는 경우, 제1 벤트라인(16)을 통과하는 이산화탄소의 압력 변화에 따른 온도 변화에 의해 제1 벤트라인(16)에는 결로가 발생될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 제1 벤트라인(16) 상에는 제1 결로발생 방지부(100)가 설치될 수 있다.
한편, 금속 분석부(40)로 공급되어진 이산화탄소에 대한 금속 함유량 분석이 이루어진 상태에서, 금속 함유량이 설정 값 이하인 것으로 판정되는 경우, 제1 벤트라인(16)의 밸브는 폐쇄되어 더 이상 이산화탄소가 금속 분석부(40)로 유동되지 않도록 하고, 제1 배관(14)들의 밸브를 개방시켜서 제1 유입구(12)를 통해 유입되는 이산화탄소를 제1 배관(14)들을 통해 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지도록 한다.
상기한 바와 같이, 제1 벤트라인(16)에 설치될 수 있는 제1 결로발생 방지부(100)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 밀폐 공간을 갖도록 내부가 차폐된 제1 본체(102)와, 이 제1 본체(102)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제1 개폐밸브(106)가 설치된 제1 입구단(104)과 제1 본체(102)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제1 출구단(108)및 제1 입구단(104)과 제1 출구단(108)을 연결하되 제1 본체(102)의 내부에 나선형으로 형성되어 제1 볼록부(100b)와 제1 오목 공간부(110)가 연속해서 형성된 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)과, 제1 본체(102)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제2 개폐밸브(122)가 설치된 제1 건조공기(CDA) 공급관(120) 및 제1 본체(102)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제1 건조공기 배출관(126)을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
이 때, 제1 건조공기 공급관(120)에서 제1 본체(102)의 내부에 배치되는 선단부는 한쪽 방향으로 경사지게 제1 경사판(124)이 형성됨으로써, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 공급되는 건조공기는 제1 본체(102)의 내부에서 종 방향이 아닌 횡 방향으로 토출이 이루어지게 된다.
한편, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)은, 앞서 설명한 바와 같이 제1 본체(102)의 내부에 나선형으로 형성되는바, 제1 볼록부(100b)와 제1 오목 공간부(110)가 서로 대향되게 형성될 수 있는데, 이 때 제1 오목 공간부(110)와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 제1 본체(102)의 내벽면로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 제1 차폐부(112)가 형성될 수 있다.
따라서, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 공급된 건조공기는 제1 본체(102)의 내부로 유입됨과 동시에 제1 경사판(124)에 의해 횡 방향으로 토출이 이루어지게 되며, 이와 같이 횡 방향으로 토출이 이루어진 건조공기는 제1 본체(102)의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되게 형성되되 지그재그 형태로 설치된 복수의 제1 차폐부(112)들에 의해 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 된다.
즉, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 제1 본체(102)의 내부로 유입되는 건조공기는 종 방향으로 이동되지 않고 제1 경사판(124) 및 복수의 제1 차폐부(112)들에 의해 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)의 형상을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 됨으로써, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 통과하는 이산화탄소와의 접촉 면적 및 접촉 시간이 증대됨으로써, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 통과하는 이산화탄소가 압력 변화에 따른 온도 변화로 발생되는 결로를 예방시키게 된다.
따라서, 제1 결로발생 방지부(100)를 통과한 이산화탄소는 건조공기와의 열 교환에 의해 결로 발생 없이 제1 벤트라인(16)을 통과하여 금속 분석부(40)로 공급이 이루어지게 됨으로써, 이산화탄소 공급부(10)에서는 결로 발생의 우려가 불식될 수 있다.
한편, 이산화탄소 공급부(10)의 각 제1 배관(14)들을 통과하여 이산화탄소 정제부(20)로 공급되어 정제가 이루어진 후, 이산화탄소 주입부(30)로 공급이 이루어지게 된다.
즉, 이산화탄소 정제부(20)를 통과하여 정제된 이산화탄소가 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 유입구(32)를 통해 이산화탄소 주입부(30)로 공급되면, 공급되는 이산화탄소는 복수의 제2 배관(34)을 통해 세정장치(300)로 토출이 이루어지게 된다.
이 때, 세정장치(300)로의 이산화탄소 토출이 잠시 중단되는 경우, 제2 배관(34)들의 밸브는 폐쇄되고, 제2 벤트라인(36)을 통해 이산화탄소를 외부로 배출시키게 되는바, 이산화탄소 주입부(30)에도 제2 벤트라인(36)이 설치된다.
그런데, 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 이산화탄소가 배출되는 경우, 제2 벤트라인(36)을 통과하는 이산화탄소의 압력 변화에 따른 온도 변화에 의해 제2 벤트라인(36)에도 결로가 발생될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 제2 벤트라인(36) 상에도 제2 결로발생 방지부(200)가 설치될 수 있다.
한편, 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 이산화탄소가 배출되는 시점에서 다시 세정장치(300)로 이산화탄소를 토출시키고자 하는 경우, 제2 벤트라인(36)에 설치되는 밸브는 폐쇄시키고, 제2 배관(34)들의 밸브를 개방시킴으로써, 이산화탄소 주입부(30)의 제2 유입구(32)를 통해 유입되는 이산화탄소는 세정장치(300)로 토출이 이루어지도록 할 수 있다.
상기한 바와 같이, 제2 벤트라인(36)에 설치될 수 있는 제2 결로발생 방지부(200)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 내부가 차폐되어 밀폐 공간을 이루는 제2 본체(202)와, 이 제2 본체(202)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제3 개폐밸브(206)가 설치된 제2 입구단(204)과 제2 본체(202)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제2 출구단(208) 및 제2 입구단(204)과 제2 출구단(208)을 연결하되 제2 본체(202)의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 제2 볼록부(200b)와 제2 오목 공간부(210)가 연속해서 형성된 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)과, 제2 본체(202)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제4 개폐밸브(222)가 설치된 제2 건조공기(CDA) 공급관(220) 및 제2 본체(202)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제2 건조공기 배출관(226)을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
이 때, 제2 건조공기 공급관(220)에서 제2 본체(202)의 내부에 배치되는 선단부는 경사지게 형성된 제2 경사판(224)이 형성됨으로써, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 공급되는 건조공기는 제2 본체(202)의 내부에서 종 방향이 아닌 횡 방향으로 토출이 이루어지게 된다.
한편, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)은, 앞서 설명한 바와 같이 제2 본체(202)의 내부에 나선형으로 형성되는바, 제2 볼록부(200b)와 제2 오목 공간부(210)가 서로 대향되게 형성될 수 있는데, 이 때 제2 오목 공간부(210)와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 제2 본체(202)의 내벽변으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 제2 차폐부(212)가 형성될 수 있다.
따라서, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 공급된 건조공기는 제2 본체(202)의 내부로 유입됨과 동시에 제2 경사판(224)에 의해 횡 방향으로 토출이 이루어지게 되며, 이와 같이 횡 방향으로 토출이 이루어진 건조공기는 제2 본체(202)의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되게 형성되되 지그재그 형태로 설치된 복수의 제2 차폐부(212)들에 의해 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 된다.
즉, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 제2 본체(202)의 내부로 유입되는 건조공기는 종 방향으로 이동되지 않고 제2 경사판(224) 및 복수의 제2 차폐부(212)들에 의해 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)의 형상을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 됨으로써, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 통과하는 이산화탄소와의 접촉 면적 및 접촉 시간이 증대됨으로써, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 통과하는 이산화탄소가 압력 변화에 따른 온도 변화로 발생되는 결로를 예방시키게 된다.
따라서, 제2 결로발생 방지부(200)를 통과한 이산화탄소는 건조공기와의 열 교환에 의해 결로 발생없이 제2 벤트라인(36)을 통과하여 외부로 배출됨으로써, 이산화탄소 주입부(30)에서도 결로 발생의 우려가 불식될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치에 의하면, 이산화탄소 공급부(10)로 유입된 이산화탄소가 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 유동될 때, 제1 결로발생 방지부(100)에 의해 결로발생이 방지되고, 이산화탄소 주입부(30)로 유입된 이산화탄소가 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 배출될 때, 제2 결로발생 방지부(200)에 의해 결로 발생이 방지되는바, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 들이 쇼트가 발생되는 등, 손상의 우려가 불식되는 매우 유용한 효과가 제공될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 이산화탄소 공급부 12 : 제1 유입구
14 : 제1 배관 16 : 제1 벤트라인
20 : 이산화탄소 정제부 30 : 이산화탄소 주입부
32 : 제2 유입구 34 : 제2 배관
36 : 제2 벤트라인 40 : 금속 분석부
100 : 제1 결로발생 방지부 100a : 제1 이산화탄소 유동 라인
100b : 제1 볼록부 102 : 제1 본체
104 : 제1 입구단 106 : 제1 개폐밸브
108 : 제1 출구단 110 : 제1 오목 공간부
112 : 제1 차폐부 120 : 제1 건조공기 공급관
122 : 제2 개폐밸브 124 : 제1 경사판
126 : 제1 건조공기 배출관 200 : 제2 결로발생 방지부
200a : 제2 이산화탄소 유동 라인
200b : 제2 볼록부 202 : 제2 본체
204 : 제2 입구단 206 : 제3 개폐밸브
208 : 제2 출구단 210 : 제2 오목 공간부
212 : 제2 차폐부 220 : 제2 건조공기 공급관
222 : 제4 개폐밸브 224 : 제2 경사판
226 : 제2 건조공기 배출관 300 : 세정장치

Claims (5)

  1. 고압의 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부와, 상기 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부 및 상기 이산화탄소 정제부에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치로 공급하는 이산화탄소 주입부를 포함하는 고압 이산화탄소 VMB 라인에 설치되는 것으로서,
    상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인 상 또는 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 상에 설치되는 결로발생 방지부를 포함하되,
    상기 결로발생 방지부는,
    밀폐 공간을 갖는 본체;
    상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 입구단과, 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 출구단 및 상기 입구단과 출구단을 연결하되, 상기 본체의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 볼록부와 오목 공간부가 형성되는 이산화탄소 유동 라인;
    상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 건조공기 공급관; 및
    상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 건조공기 배출관을 포함하고,
    상기 건조공기 공급관에서 본체의 내부에 배치되는 선단부는, 한쪽 방향으로 경사지게 경사판이 형성된 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 오목 공간부와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 상기 본체의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 차폐부가 형성되는 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 이산화탄소 유동 라인의 입구단과, 상기 건조공기 공급관에는 각각 개폐밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 장치.
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