KR101976597B1 - 돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치 - Google Patents

돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 외부 동력에 의하여 회전하고, 서로 일정간격 이격되어 평행하게 배치되는 다수의 롤러와; 상기 다수의 롤러에 고정되어 상기 다수의 롤러와 함께 회전하고, 합착된 제1 및 제2마더기판을 지지하면서 이송하는 다수의 지지판과; 상기 다수의 롤러에 장착되고, 상기 제1및 제2마더기판의 제1 내지 제4변을 따라 노출된 돌출부를 제거하는 다수의 브러시와; 다수의 벨트를 통하여 상기 다수의 브러시에 연결되어 회전력을 전달하는 다수의 제1구동판을 포함하는 기판이송장치를 제공한다.

Description

돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치 {Substrate Transfer Apparatus Including Unit For Eliminating Protruding Portion}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 특히 합착된 제1 및 제2기판의 돌출부를 제거할 수 있는 돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는, 화소전극 및 공통전극이 각각 형성되고 마주보며 이격된 제1 및 제2기판과, 제1 및 제2기판 사이에 형성된 액정층을 포함하며, 화소전극 및 공통전극 사이에 생성된 전기장에 의하여 액정층의 투과율을 변화시켜 영상을 표시한다.
이러한 액정표시장치는, TFT공정, CF공정, 셀공정 및 모듈공정을 통하여 제조된다.
TFT공정에서는, 베어(bare)기판 또는 원장기판이라고도 불리는 제1마더기판 상부에 게이트 배선, 데이터 배선, 박막트랜지스터(thin film transistor: TFT), 화소전극 등을 형성하고, CF공정에서는, 제2마더기판 상부에 블랙매트릭스(black matrix), 컬러필터(color filter: CF), 평탄화층, 공통전극 등을 형성한다.
그리고, 셀공정에서는, TFT공정을 거친 제1마더기판 및 CF공정을 거친 제2마더기판 상부에 각각 배향막을 형성하고 러빙(rubbing) 등으로 배향한 후, 씰 패턴(seal pattern) 및 스페이서(spacer)를 형성하여 합착하고, 합착된 제1 및 제2마더기판을 셀(cell) 별로 절단한 후, 액정을 주입하여 액정패널을 완성한다.
모듈공정에서는, 액정패널의 양면에 편광판을 부착한 후, 구동집적회로 등의 구동부를 연결하고, 탑 프레임, 메인 프레임, 바텀 프레임 등을 통하여 액정패널과 백라이트 유닛을 모듈화함으로써 액정표시장치를 완성한다.
그런데, 최근 증가하는 경량화 및 박형화에 대한 요구에 대응하기 위하여, 액정표시장치의 두께를 줄이기 위하여 제1 및 제2기판을 식각하는 기술이 개발되고 있다.
즉, TFT공정 및 CF공정 이후의 셀공정에서, 제1 및 제2마더기판을 합착한 후 합착된 제1 및 제2마더기판을 셀 별로 절단하기 전에, 합착된 제1 및 제2마더기판에 식각액을 공급하여 제1 및 제2마더기판을 식각함으로써, 제1 및 제2마더기판의 두께를 줄일 수 있다.
이러한 기판식각공정에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 기판식각공정을 설명하는 흐름도이고, 도 2a 및 도 2b는 각각 종래의 기판식각공정을 통하여 제작되는 합착된 기판의 식각 전후의 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, TFT공정을 통하여 제작되는 제1마더기판(도 2a의 10)과 CF공정을 통하여 제작되는 제2마더기판(도 2a의 20)을 합착한 후, 기판식각공정으로 입고한다(st10).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)에 식각액을 공급하여 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 식각한다(st20).
즉, 도 2a에 도시한 바와 같이, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)에 식각액을 분사하여 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 습식식각(wet etching)할 수 있다.
이때, 컬러필터층이 형성되는 제2마더기판(20)은 평탄화층(30)을 포함하는데, 예를 들어 평탄화층(30)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene: BCB) 또는 아크릴수지(acrylic resin)와 같은 유기물질로 이루어질 수 있다.
그리고, 식각액은 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 용해시킬 수 있는 조성물인데, 예를 들어 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 유리를 용해시킬 수 있는 불산(HF)을 포함하는 산성 조성물일 수 있다.
그런데, 산성 조성물은 유기물질을 용해시키지 못하므로, 이러한 식각액으로 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 식각하는 경우 평탄화층(30)은 제거되지 않고 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 가장자리를 따라 돌출된다.
도 2b에 도시한 바와 같이, 제1마더기판(10)의 외면, 제2마더기판(20)의 외면, 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 측면은 식각액에 의하여 부분적으로 제거되는 반면, 평탄화층(30)은 식각액에 의하여 제거되지 않고 그대로 잔존한다.
따라서, 제1 및 제2마더기판(10, 20)은 두께가 감소하고, 그 측면이 내측으로 축소되므로, 잔존하는 평탄화층(30)은 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 측면 가장자리를 따라 노출되어 돌출부(32)가 형성된다.
이러한 평탄화층(30)의 돌출부(32)는 후속공정에서 카세트 등의 이송수단과의 접촉 또는 수작업에서의 접촉에 의하여 가장자리로부터 분리된 후, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 표면에 부착된다.
제1 및 제2마더기판(10, 20)의 표면에 잔존하는 돌출부(32)는, 모듈공정에서 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 외면에 부착되는 편광판의 부분적 들뜸과 같은 불량의 원인이 된다.
따라서, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 식각 이후에는, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 가장자리를 따라 노출된 평탄화층(30)의 돌출부(32)를 제거한다(st30).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 세정하고(st40), 세정여부를 검사한다(st50).
이후, 정전기 방지를 위하여 제2마더기판(20) 외면에 투명도전막을 형성한다(st60).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 외관을 최종적으로 검사하고(st70), 모듈공정으로 출하한다(st80).
여기서, 노출된 평탄화층(30)의 돌출부(32)는 수작업으로 제거되는데, 이 과정에서 불량이 발생하는 문제가 있다.
즉, 돌출부(32) 제거를 위하여 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)을 수작업용 작업대에 거치함으로써, 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)에 휨 변형이 발생하고, 휨 변형은 액정표시장치의 셀갭의 변화를 초래하고 원하는 색상을 구현하지 못하게 됨으로써 표시품질 저하의 원인이 된다.
또한, 수작업에서의 부분적 가압에 의하여 합착된 제1 및 제2마더기판(10, 20)에 부분적 휨 변형이 발생하고, 부분적 휨 변형 역시 액정표시장치의 표시품질 저하의 원인이 된다.
그리고, 수작업으로 돌출부(32)를 제거하기 때문에, 공정시간이 증가하고 생산성이 저하되는 문제가 있다.
한편, 제1 및 제2마더기판(10, 20)의 크기가 점차 증가함에 따라, 수작업에 의한 돌출부(32) 제거가 아예 불가능하게 되는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 기판식각공정에서 합착된 제1 및 제2기판을 이송하면서 제1 및 제2기판의 가장자리를 따라 노출된 돌출부를 제거함으로써, 제1 및 제2기판의 휨 변형과 같은 불량이 방지되는 돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
그리고, 본 발명은, 기판식각공정에서 합착된 제1 및 제2기판을 이송하면서 제1 및 제2기판의 가장자리를 따라 노출된 돌출부를 제거함으로써, 공정시간이 단축되어 생산성이 개선되고 대형기판에 적용이 용이한 돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 외부 동력에 의하여 회전하고, 서로 일정간격 이격되어 평행하게 배치되는 다수의 롤러와; 상기 다수의 롤러에 고정되어 상기 다수의 롤러와 함께 회전하고, 합착된 제1 및 제2마더기판을 지지하면서 이송하는 다수의 지지판과; 상기 다수의 롤러에 장착되고, 상기 제1및 제2마더기판의 제1 내지 제4변을 따라 노출된 돌출부를 제거하는 다수의 브러시와; 다수의 벨트를 통하여 상기 다수의 브러시에 연결되어 회전력을 전달하는 다수의 제1구동판을 포함하는 기판이송장치를 제공한다.
그리고, 상기 다수의 제1구동판은 상기 다수의 롤러에 고정되어 상기 다수의 롤러와 함께 회전하고, 상기 다수의 브러시는 상기 다수의 롤러에 대하여 독립적으로 회전할 수 있다.
또한, 상기 기판이송장치는, 상기 다수의 벨트를 통하여 상기 다수의 브러시에 연결되어 회전력을 전달하는 다수의 제2구동판을 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 다수의 롤러는 순차적으로 배열되는 제1 내지 제3롤러를 포함하고, 상기 다수의 브러시는 상기 제2롤러의 양단에 장착되는 1쌍의 제1브러시를 포함하고, 상기 다수의 제1구동판은 상기 제1롤러의 양단에 고정되는 1쌍의 제1구동판을 포함하고, 상기 다수의 제2구동판은 상기 제3롤러의 양단에 고정되는 1쌍의 제2구동판을 포함하고, 상기 다수의 벨트는, 상기 1쌍의 브러시와 상기 1쌍의 제1구동판을 연결하는 1쌍의 제1벨트와, 상기 1쌍의 브러시와 상기 1쌍의 제2구동판을 연결하는 1쌍의 제2벨트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1벨트는 상기 제1구동판과 상기 제1브러시의 몸체부를 연결하고, 상기 제2벨트는 상기 제2구동판과 상기 제1브러시의 상기 몸체부를 연결하고, 상기 제1구동판의 직경과 상기 제2구동판의 직경은 동일하고, 상기 제1브러시의 회전속도는, 상기 제1 및 제3롤러 각각의 회전속도와, 상기 제1브러시의 상기 몸체부의 직경과 상기 제1 및 제2구동판 각각의 직경의 비에 의하여 결정될 수 있다.
또한, 상기 다수의 롤러는, 제1제거영역, 전환영역 및 제2제거영역으로 구분되는 "ㄱ"자 형태로 배열되고, 상기 제1제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제1 및 제2변의 상기 돌출부가 제거되고, 상기 제2제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 상기 제1이송방향에 수직한 제2이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제3 및 제4변의 상기 돌출부가 제거될 수 있다.
그리고, 상기 전환영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판의 배치방향은 고정된 상태로, 상기 제1 및 제2마더기판의 이송방향이 상기 제1이송방향으로부터 상기 제2이송방향으로 전환될 수 있다.
또한, 상기 다수의 롤러는, 제1제거영역, 전환영역 및 제2제거영역으로 구분되는 일렬로 배열되고, 상기 제1제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제1 및 제2변의 상기 돌출부가 제거되고, 상기 제2제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 상기 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제3 및 제4변의 상기 돌출부가 제거될 수 있다.
그리고, 상기 전환영역에서는, 회전대에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 배치방향이 전환될 수 있다.
또한, 상기 다수의 지지판 중 1쌍의 지지판 사이의 간격과, 상기 다수의 브러시 중 1쌍의 브러시 사이의 간격은 상기 제1 및 제2마더기판의 크기에 따라 조절될 수 있다.
본 발명은, 기판식각공정에서 합착된 제1 및 제2기판을 이송하면서 제1 및 제2기판의 가장자리를 따라 노출된 돌출부를 제거함으로써, 제1 및 제2기판의 휨 변형과 같은 불량이 방지되는 효과가 있다.
그리고, 본 발명은, 기판식각공정에서 합착된 제1 및 제2기판을 이송하면서 제1 및 제2기판의 가장자리를 따라 노출된 돌출부를 제거함으로써, 공정시간이 단축되어 생산성이 개선되고 대형기판에 적용이 용이해지는 효과가 있다.
도 1은 종래의 기판식각공정을 설명하는 흐름도.
도 2a 및 도 2b는 각각 종래의 기판식각공정을 통하여 제작되는 합착된 기판의 식각 전후의 단면도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면.
도 4는 도 3의 A부분을 확대한 평면도, 정면도 및 측면도.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 기판식각공정을 설명하는 흐름도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 돌출부 제거부를 포함하는 기판이송장치를 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 A부분을 확대한 평면도, 정면도 및 측면도이다.
도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송장치(110)는, 다수의 롤러(120), 다수의 지지판(122), 다수의 브러시(130), 다수의 제1구동판(132), 다수의 제2구동판(134) 및 다수의 벨트(136)를 포함하는데, 다수의 브러시(130), 다수의 제1구동판(132), 다수의 제2구동판(134) 및 다수의 벨트(136)은 돌출부 제거부를 구성한다.
다수의 롤러(120)는, 구동부(미도시)로부터 전달받은 동력에 의하여 회전할 수 있으며, 서로 일정간격 이격되어 평행하게 배치된다.
다수의 지지판(122)은, 다수의 롤러(120) 각각의 양단에 고정되어 다수의 롤러(120)와 함께 회전할 수 있으며, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 마주보는 양변을 지지하면서 다수의 롤러(120)로부터 전달받은 회전력에 의하여 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)을 이송한다.
여기서, 하나의 롤러(120)의 양단에 고정되는 1쌍의 지지판(122) 사이의 간격은 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 크기에 따라 조절될 수 있다.
다수의 브러시(130)는, 다수의 롤러(120) 중 일부 각각의 양단에 장착되어 회전할 수 있으며, 회전 마찰력에 의하여 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 가장자리를 따라 노출된 평탄화층의 돌출부(162)를 제거한다.
다수의 브러시(130)가 장착되는 다수의 롤러(120)의 개수는 필요에 따라 다양하게 변경할 수 있으며, 예를 들어 인접한 2개의 롤러(120) 중 하나의 양단에 1쌍의 브러시(130)를 장착할 수 있다.
또한, 제1실시예에서는 1쌍의 브러시(130)가 장착되는 롤러(120)에는 1쌍의 지지판(122)이 고정되지 않고 생략되는 것을 예로 들었지만, 다른 실시예에서는 브러시(130)의 직경을 지지판(122)의 직경보다 크게 형성하여 롤러(120) 양단에 1쌍의 지지판(122)과 1쌍의 브러시(130)를 함께 장착할 수도 있다.
여기서, 하나의 롤러(120)의 양단에 장착되는 1쌍의 브러시(130) 사이의 간격은 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 크기에 따라 조절될 수 있다.
한편, 다수의 브러시(130)는, 다수의 롤러(120)에 장착되어 지지되기는 하지만, 다수의 롤러(120)에 고정되지 않고, 다수의 롤러(120)로부터 회전력을 전달받지 않는다.
따라서, 다수의 브러시(130)는, 다수의 롤러(120)에 대하여 자유회전 또는 독립회전이 가능하도록 다수의 롤러(120)에 장착된다.
대신에, 다수의 브러시(130)는, 다수의 벨트(136)를 통하여 다수의 제1구동판(132) 및 다수의 제2구동판(134)으로부터 회전력을 전달받는데, 다수의 제1구동판(132) 및 다수의 제2구동판(134)은 각각 다수의 브러시(130)의 전단 및 후단에 장착되고, 다수의 브러시(130)는 다수의 제1구동판(132) 및 다수의 제2구동판(134)과 다수의 벨트(136)를 통하여 연결된다.
예를 들어, 1쌍의 제1구동판(132)은 1쌍의 브러시(130)가 장착된 롤러(120)의 전단 롤러(120)의 양단에 고정되어 전단 롤러(120)와 함께 회전할 수 있으며, 1쌍의 제2구동판(134)은 각각 1쌍의 브러시(130)가 장착된 롤러(120)의 후단 롤러(120)에 고정되어 후단 롤러(120)와 함께 회전할 수 있다.
그리고, 1쌍의 브러시(130)의 몸체부(130a)와 1쌍의 제1구동판(132)는 벨트(126)로 연결되고, 1쌍의 브러시(130)의 몸체부(130a)와 1쌍의 제2구동판(134)은 벨트(126)로 연결될 수 있다.
따라서, 1쌍의 브러시(130)는 벨트(126)를 통하여 전단의 1쌍의 제1구동판(132)의 회전력과 후단의 1쌍의 제2구동판(132, 134)의 회전력을 전달받고, 이를 이용하여 회전할 수 있다.
이때, 제1 및 제2구동판(132)의 직경은 동일할 수 있으며, 브러시(130)의 회전속도(각속도)는, 제1 및 제2구동판(132)이 고정된 롤러(120)의 회전속도와, 브러시(130)의 몸체부(130a)의 직경과 제1 및 제2구동판(132) 각각의 직경의 비에 의하여 결정될 수 있다.
예를 들어, 브러시(130)의 몸체부(130a)의 직경과 제1 및 제2구동판(132) 각각의 직경의 비는 약 1: 2.5일 수 있으며, 이 경우 브러시(130)의 회전속도는 롤러(130)의 회전속도의 2.5배 일 수 있다.
한편, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 4 가장자리의 돌출부(162)를 제거하기 위하여, 다수의 롤러(130)는 "ㄱ"자 형태로 배열될 수 있으며, 이에 따라 기판이송장치(110)는 제1제거영역(EA1), 전환영역(CA) 및 제2제거영역(EA2)으로 구분될 수 있다.
즉, 제1제거영역(EA1)에서는, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)이 제1이송방향(TD1)으로 이송되면서, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 단변인 마주보는 제1 및 제2변의 돌출부(162)가 제거되며, 이에 따라 다수의 롤러(120)에 장착되는 1쌍의 지지판(122) 및 1쌍의 브러시(130)는 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 장변의 길이에 대응되는 제1폭(w1)만큼 이격될 수 있다.
전환영역(CA)에서는, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 배치방향은 고정된 상태로, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 이송방향이 제1이송방향(TD1)으로부터 제1이송방향(TD1)에 수직한 제2이송방향(TD2)으로 전환되며, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 돌출부(162)가 제거되지 않으므로, 다수의 브러시(130)는 생략된다.
제2제거영역(EA2)에서는, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)이 제1이송방향(TD1)에 수직한 제2이송방향(TD2)으로 이송되면서, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 장변인 마주보는 제3 및 제4변의 돌출부(162)가 제거되며, 이에 따라 다수의 롤러(120)에 장착되는 1쌍의 지지판(122) 및 1쌍의 브러시(130)는 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)의 장변의 길이에 대응되는 제2폭(w2)만큼 이격될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판이송장치(110)에서는, 다수의 롤러(120)에 의한 이송구간을 "ㄱ"자 형태로 구성하고, 다수의 롤러(120)에 다수의 브러시(130)를 장착하여 회전시킴으로써, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)이 이송되는 도중에 4변 가장자리를 따라 돌출된 평탄화층의 돌출부(162)를 제거할 수 있다.
즉, 수작업에 의한 외력을 배제하고 자동으로 돌출부(162)를 제거함으로써, 휨 변형에 의한 영상의 변색을 방지하여 표시품질을 향상시킬 수 있고, 공정시간을 단축하여 생산성을 개선할 수 있으며, 대형기판에도 용이하게 적용할 수 있다.
제1실시예에서는 합착된 마더기판을 식각한 후 돌출부를 제거하는 공정에 기판이송장치(110)를 적용하는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 합착된 마더기판을 수 내지 수십개의 셀영역을 포함하는 다수의 합착된 기판으로 절단한 후 각각의 합착된 기판을 식각하고 돌출부를 제거하는 공정에도 기판이송장치(110)를 적용할 수 있으며, 이 경우 1쌍의 지지판(122) 사이의 간격 및 1쌍의 브러시(130) 사이의 간격을 합착된 기판의 크기에 따라 조절할 수 있다.
한편, 다른 실시예에서는 이송방향을 전환하는 대신 합착된 기판의 배치방향을 전환함으로써 합착된 기판의 4변의 돌출부를 제거할 수도 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면으로, 제1실시예와 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판이송장치(210)는, 다수의 롤러(220), 다수의 지지판(222), 다수의 브러시(230), 다수의 제1구동판(232), 다수의 제2구동판(234), 다수의 다수의 벨트(236) 및 회전대(270)를 포함하는데, 다수의 브러시(230), 다수의 제1구동판(232), 다수의 제2구동판(234) 및 다수의 벨트(236)은 돌출부 제거부를 구성한다.
여기서, 다수의 롤러(220), 다수의 지지판(222), 다수의 브러시(230), 다수의 제1구동판(232), 다수의 제2구동판(234) 및 다수의 다수의 벨트(236)의 동작은 제1실시예와 동일하다.
합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 4 가장자리의 돌출부(262)를 제거하기 위하여, 다수의 롤러(230)는 일렬로 배열될 수 있으며, 이에 따라 기판이송장치(210)는 제1제거영역(EA1), 전환영역(CA) 및 제2제거영역(EA2)으로 구분될 수 있다.
즉, 제1제거영역(EA1)에서는, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)이 제1이송방향(TD1)으로 이송되면서, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 단변인 마주보는 제1 및 제2변의 돌출부(262)가 제거되며, 이에 따라 다수의 롤러(220)에 장착되는 1쌍의 지지판(222) 및 1쌍의 브러시(230)는 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 장변의 길이에 대응되는 제1폭(w1)만큼 이격될 수 있다.
전환영역(CA)에서는, 회전대(270)가 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)을 90도 회전함으로써, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 배치방향이 90도 전환되며, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)이 이송되지 않고 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 돌출부(262)가 제거되지 않으므로, 다수의 롤러(220), 다수의 지지판(222) 및 다수의 브러시(130)는 생략된다.
제2제거영역(EA2)에서는, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)이 제1이송방향(TD1)과 동일한 제2이송방향(TD2)으로 이송되면서, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 장변인 마주보는 제3 및 제4변의 돌출부(262)가 제거되며, 이에 따라 다수의 롤러(220)에 장착되는 1쌍의 지지판(222) 및 1쌍의 브러시(230)는 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)의 장변의 길이에 대응되는 제2폭(w2)만큼 이격될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판이송장치(210)에서는, 다수의 롤러(220)에 의한 이송구간 중에 기판의 배치방향 전환 위한 회전대를 설치하고, 다수의 롤러(220)에 다수의 브러시(230)를 장착하여 회전시킴으로써, 합착된 제1 및 제2마더기판(240, 250)이 이송되는 도중에 4변 가장자리를 따라 돌출된 평탄화층의 돌출부(262)를 제거할 수 있다.
즉, 수작업에 의한 외력을 배제하고 자동으로 돌출부(262)를 제거함으로써, 휨 변형에 의한 영상의 변색을 방지하여 표시품질을 향상시킬 수 있고, 공정시간을 단축하여 생산성을 개선할 수 있으며, 대형기판에도 용이하게 적용할 수 있다.
제1 및 제2실시예에 따른 기판식각공정에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 기판식각공정을 설명하는 흐름도로, 도 3 및 도 5를 함께 참조하여 설명한다.
도 6에 도시한 바와 같이, TFT공정을 통하여 제작되는 제1마더기판(140)(240)과 CF공정을 통하여 제작되는 제2마더기판(150)(250)을 합착한 후, 기판식각공정으로 입고한다(st110).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)에 식각액을 공급하여 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)을 식각한다(st120).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)을 기판이송장치(110)(210)를 이용하여 이송하면서, 다수의 브러시(130)(230)에 의하여 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)의 가장자리를 따라 노출된 평탄화층의 돌출부(162)(262)를 제거한다(st130).
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)을 세정하고(st140), 세정여부를 검사한다(st150).
이후, 정전기 방지를 위하여 제2마더기판(150)(250)의 외면에 투명도전막을 형성하는데(st160), 다른 실시예에서는 투명도전막 형성단계는 생략될 수 있다.
이후, 합착된 제1 및 제2마더기판(140, 150)(240, 250)의 외관을 최종적으로 검사하고(st170), 모듈공정으로 출하한다(st180).
이상과 같이, 본 발명에 따른 기판이송장치에서는, 기판이송을 위한 다수의 롤러에 장착된 다수의 브러시를 이용하여 합착기판이 이송되는 도중에 가장자리를 따라 돌출된 평탄화층의 돌출부를 제거할 수 있으며, 이에 따라 휨 변형에 의한 영상의 변색을 방지하여 표시품질을 향상시킬 수 있고, 공정시간을 단축하여 생산성을 개선할 수 있으며, 대형기판에도 용이하게 적용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110: 기판이송장치 120: 다수의 롤러
122: 다수의 지지판 130: 다수의 브러시
132: 다수의 제1구동판 134: 다수의 제2구동판
136: 벨트 140: 제1마더기판
150: 제2마더기판 162: 돌출부

Claims (10)

  1. 외부 동력에 의하여 회전하고, 서로 일정간격 이격되어 평행하게 배치되는 다수의 롤러와;
    상기 다수의 롤러에 고정되어 상기 다수의 롤러와 함께 회전하고, 합착된 제1 및 제2마더기판을 지지하면서 이송하는 다수의 지지판과;
    상기 다수의 롤러에 장착되고, 상기 제1및 제2마더기판의 제1 내지 제4변을 따라 노출된 돌출부를 제거하는 다수의 브러시와;
    다수의 벨트를 통하여 상기 다수의 브러시에 연결되어 회전력을 전달하는 다수의 제1구동판
    을 포함하는 기판이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 제1구동판은 상기 다수의 롤러에 고정되어 상기 다수의 롤러와 함께 회전하고,
    상기 다수의 브러시는 상기 다수의 롤러에 대하여 독립적으로 회전하는 기판이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 벨트를 통하여 상기 다수의 브러시에 연결되어 회전력을 전달하는 다수의 제2구동판을 더 포함하는 기판이송장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 다수의 롤러는 순차적으로 배열되는 제1 내지 제3롤러를 포함하고,
    상기 다수의 브러시는 상기 제2롤러의 양단에 장착되는 1쌍의 제1브러시를 포함하고,
    상기 다수의 제1구동판은 상기 제1롤러의 양단에 고정되는 1쌍의 제1구동판을 포함하고,
    상기 다수의 제2구동판은 상기 제3롤러의 양단에 고정되는 1쌍의 제2구동판을 포함하고,
    상기 다수의 벨트는, 상기 1쌍의 브러시와 상기 1쌍의 제1구동판을 연결하는 1쌍의 제1벨트와, 상기 1쌍의 브러시와 상기 1쌍의 제2구동판을 연결하는 1쌍의 제2벨트를 포함하는 기판이송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1벨트는 상기 제1구동판과 상기 제1브러시의 몸체부를 연결하고,
    상기 제2벨트는 상기 제2구동판과 상기 제1브러시의 상기 몸체부를 연결하고,
    상기 제1구동판의 직경과 상기 제2구동판의 직경은 동일하고,
    상기 제1브러시의 회전속도는, 상기 제1 및 제3롤러 각각의 회전속도와, 상기 제1브러시의 상기 몸체부의 직경과 상기 제1 및 제2구동판 각각의 직경의 비에 의하여 결정되는 기판이송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 롤러는, 제1제거영역, 전환영역 및 제2제거영역으로 구분되는 "ㄱ"자 형태로 배열되고,
    상기 제1제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제1 및 제2변의 상기 돌출부가 제거되고,
    상기 제2제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 상기 제1이송방향에 수직한 제2이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제3 및 제4변의 상기 돌출부가 제거되는 기판이송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 전환영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판의 배치방향은 고정된 상태로, 상기 제1 및 제2마더기판의 이송방향이 상기 제1이송방향으로부터 상기 제2이송방향으로 전환되는 기판이송장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 롤러는, 제1제거영역, 전환영역 및 제2제거영역으로 구분되는 일렬로 배열되고,
    상기 제1제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제1 및 제2변의 상기 돌출부가 제거되고,
    상기 제2제거영역에서는, 상기 제1 및 제2마더기판이 상기 제1이송방향으로 이송되고, 상기 다수의 브러시에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 마주보는 상기 제3 및 제4변의 상기 돌출부가 제거되는 기판이송장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 전환영역에서는, 회전대에 의하여 상기 제1 및 제2마더기판의 배치방향이 전환되는 기판이송장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 지지판 중 1쌍의 지지판 사이의 간격과, 상기 다수의 브러시 중 1쌍의 브러시 사이의 간격은 상기 제1 및 제2마더기판의 크기에 따라 조절되는 기판이송장치.
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