KR101975020B1 - Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 박막 트랜지스터 패널을 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하는 단계, 선형 증착원에서 상기 증착 마스크에 유기물을 경사지게 분사하여 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 유기 발광층을 형성하는 단계, 접착 필름을 이용하여 상기 증착 마스크를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 증착 마스크는 차단각 이하로 분사되는 상기 유기물을 차단하는 복수개의 증착벽을 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하므로 대형 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우에도 증착 마스크의 정렬이 용이하다.A method of fabricating an OLED display according to an embodiment of the present invention includes forming a thin film transistor panel, forming a deposition mask on the thin film transistor panel by a photolithography process, depositing an organic material on the deposition mask in a linear deposition source, Forming an organic light emitting layer on the thin film transistor panel by obliquely spraying the organic light emitting layer, and removing the deposition mask using an adhesive film, wherein the deposition mask includes a plurality of deposition walls . ≪ / RTI > Therefore, the method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention forms a deposition mask by a photolithography process, so that it is easy to align a deposition mask even when a large-sized organic light emitting display is manufactured.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) display device,

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)는 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광층에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.An organic light emitting diode (OLED) display includes two electrodes and an organic light emitting layer disposed therebetween, and electrons injected from one electrode and holes injected from another electrode are injected into the organic light emitting layer To form an exciton, and the exciton emits light while emitting energy.

이러한 유기 발광층을 형성하기 위해서는 유기물을 박막 트랜지스터 패널 위에 증착해야 하며, 이를 위해 유기물이 채워져 있는 증착원을 가열하여 유기물을 증발시켜 박막 트랜지스터 패널 위로 분사시킨다. 이 때, 증발하여 분사된 유기물을 화소 영역에 증착시키기 위하여, 유기물이 통과하는 개구부와 유기물이 차단되는 금속으로 된 차단부를 포함하는 증착 마스크를 사용한다.In order to form the organic light emitting layer, an organic material must be deposited on the thin film transistor panel. To this end, the evaporation source filled with the organic material is heated to evaporate the organic material and spray it onto the thin film transistor panel. At this time, a deposition mask including an opening through which the organic material passes and a barrier made of a metal to block the organic material is used in order to deposit the evaporated organic material in the pixel region.

그러나, 유기 발광 표시 장치가 대형화될수록 금속으로 된 증착 마스크의 정렬이 어려워진다. 이를 해결하기 위해 증착원으로부터 유기물이 경사지게 증착 마스크에 분사되는 방법이 개발되었으나, 이 경우 시차(parallax) 보정을 위해 증착원과 박막 트랜지스터 패널간의 거리가 박막 트랜지스터 패널 크기의 몇배 이상이 되어야 하며, 일반적으로 대형 박막 트랜지스터 패널의 크기는 수 미터(m)이므로 이러한 증착 방법은 구현하기 어렵다.However, as the size of the organic light emitting display increases, the alignment of the metal deposition mask becomes difficult. In order to solve this problem, in order to correct the parallax, the distance between the evaporation source and the thin film transistor panel has to be at least several times that of the thin film transistor panel, And the size of the large-sized thin film transistor panel is several meters (m), making it difficult to implement such a deposition method.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 정렬이 용이하고 대형 유기 발광 표시 장치의 제조에 적용할 수 있는 증착 마스크를 이용한 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공한다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention provides an organic light emitting display device and a method of manufacturing the organic light emitting display device using the deposition mask, which is easy to align and applicable to the manufacture of a large-sized organic light emitting display device.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 패널, 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 서로 이격되어 형성되어 있는 제1색 유기 발광층 및 제2색 유기 발광층, 상기 박막 트랜지스터 패널, 제1색 유기 발광층 및 제2색 유기 발광층을 덮고 있는 제3색 유기 발광층을 포함하고, 적층된 상기 제1색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층은 제1 부화소에 대응되고, 적층된 상기 제2색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층은 제2 부화소에 대응되며, 상기 제1색 유기 발광층 및 제2색 유기 발광층 사이에 형성되어 있는 상기 제3색 유기 발광층은 제3 부화소에 대응될 수 있다.The organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes a thin film transistor panel having a plurality of thin film transistors formed thereon, a first color organic light emitting layer and a second color organic light emitting layer spaced apart from each other on the thin film transistor panel, And a third color organic light emitting layer covering the transistor panel, the first color organic light emitting layer and the second color organic light emitting layer, wherein the first color organic light emitting layer and the third color organic light emitting layer which are laminated correspond to the first sub- The second color organic light emitting layer and the third color organic light emitting layer corresponding to the second subpixel and the third color organic light emitting layer formed between the first color organic light emitting layer and the second color organic light emitting layer correspond to the third subpixel Lt; / RTI >

상기 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소는 하나의 사각 화소를 이룰 수 있다. The first sub-pixel, the second sub-pixel and the third sub-pixel may form one square pixel.

상기 제1색 유기 발광층은 적색 유기 발광층, 상기 제2색 유기 발광층은 녹색 유기 발광층, 상기 제3색 유기 발광층은 청색 유기 발광층일 수 있다.The first color organic light emitting layer may be a red organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer may be a green organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer may be a blue organic light emitting layer.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 패널, 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 서로 인접하여 형성되어 있는 마름모 형상의 제1색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층을 포함하고, 상기 제1색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층은 각각 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소에 대응되고, 상기 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소는 하나의 육각 화소를 이룰 수 있다.According to another embodiment of the present invention, there is provided an organic light emitting display including a thin film transistor panel having a plurality of thin film transistors formed thereon, a rhomboidal first color organic light emitting layer formed adjacent to the thin film transistor panel, Wherein the first color organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer correspond to a first sub-pixel, a second sub-pixel and a third sub-pixel, respectively, The first sub-pixel, the second sub-pixel and the third sub-pixel may form one hexagonal pixel.

복수개의 상기 육각 화소는 서로 이격되어 형성되어 있으며 벌집 형상으로 배치되어 있을 수 있다.The plurality of the hexagonal pixels may be spaced apart from each other and arranged in a honeycomb shape.

상기 제1색 유기 발광층은 적색 유기 발광층, 상기 제2색 유기 발광층은 녹색 유기 발광층, 상기 제3색 유기 발광층은 청색 유기 발광층일 수 있다.The first color organic light emitting layer may be a red organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer may be a green organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer may be a blue organic light emitting layer.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 박막 트랜지스터 패널을 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하는 단계, 선형 증착원에서 상기 증착 마스크에 유기물을 경사지게 분사하여 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 유기 발광층을 형성하는 단계, 접착 필름을 이용하여 상기 증착 마스크를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 증착 마스크는 차단각 이하로 분사되는 상기 유기물을 차단하는 복수개의 증착벽을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display, including forming a thin film transistor panel, forming a deposition mask on the thin film transistor panel by a photolithography process, Forming an organic light emitting layer on the thin film transistor panel by obliquely spraying an organic material; and removing the deposition mask using an adhesive film, wherein the deposition mask includes a plurality of And may include a deposition wall.

상기 증착 마스크는 2개의 상기 증착벽이 서로 평행하게 이격된 평행 증착벽을 포함할 수 있다. The deposition mask may include a parallel deposition wall in which the two deposition walls are spaced apart from one another.

상기 증착벽 사이의 간격을 Wp, 상기 증착벽에 의해 상기 유기물이 차단되는 차단각을 α, 상기 평행 증착벽 내부에 상기 유기물이 증착되는 증착 길이를 Wsp라 할 때, 상기 증착벽의 높이 h는 h = (Wp - Wsp)×tan α 일 수 있다.And a deposition length at which the organic material is deposited in the inside of the parallel deposition wall is Wsp, the height h of the deposition wall is represented by Wp, h = (Wp - Wsp) x tan?.

상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 제1 방향에서 제1 유기물을 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제1색 유기 발광층을 형성하는 단계, 상기 제1 방향에서 180도 회전한 제2 방향에서 제2 유기물을 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제2색 유기 발광층을 형성하는 단계, 상기 증착벽의 높이 방향과 평행한 제3 방향에서 제3 유기물을 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제3색 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The forming of the organic light emitting layer may include forming a first color organic light emitting layer in the parallel deposition wall by spraying a first organic material in a first direction, Forming a second color organic light emitting layer in the parallel deposition wall by spraying a third organic material in a third direction parallel to the height direction of the deposition wall, To form a second layer.

상기 제2색 유기 발광층은 상기 제1색 유기 발광층과 이격되어 형성될 수 있다.The second color organic light emitting layer may be spaced apart from the first color organic light emitting layer.

상기 증착 마스크는 6개의 증착벽이 서로 연결되어 육각 형상을 이루는 육각 증착벽을 포함할 수 있다.The deposition mask may include a hexagonal deposition wall having six deposition walls connected to each other to form a hexagonal shape.

상기 증착벽의 길이를 a, 상기 증착벽에 의해 상기 유기물이 차단되는 차단각을 α라 할 때, 상기 증착벽의 높이 h는 h = a×tan α 일 수 있다.When the length of the evaporation wall is a and the blocking angle at which the organic matter is blocked by the evaporation wall is α, the height h of the evaporation wall may be h = a × tan α.

상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 제1 육각 방향에서 제1 유기물을 분사하여 상기 육각 증착벽 내부에 마름모 형상의 제1색 유기 발광층을 형성하는 단계, 상기 제1 육각 방향에서 120도 회전한 제2 육각 방향에서 제2 유기물을 분사하여 상기 육각 증착벽 내부에 마름모 형상의 제2색 유기 발광층을 형성하는 단계, 상기 제2 육각 방향에서 120도 회전한 제3 육각 방향에서 제3 유기물을 분사하여 상기 육각 증착벽 내부에 마름모 형상의 제3색 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The forming of the organic light emitting layer may include forming a first color organic light emitting layer having a rhombic shape in the hexagonal deposition wall by injecting a first organic material in a first hexagonal direction, Forming a second color organic emission layer in the form of a rhomboid within the hexagonal deposition wall by spraying a second organic material in a hexagonal direction, spraying a third organic material in a third hexagonal direction rotated by 120 degrees in the second hexagonal direction, And forming a rhombic third color organic emission layer in the hexagonal deposition wall.

상기 제1 육각 방향, 제2 육각 방향 및 제3 육각 방향 중 어느 한 방향은 상기 육각 증착벽의 마주보는 모서리를 연결하는 방향과 평행할 수 있다.Either the first hexagonal direction, the second hexagonal direction, or the third hexagonal direction may be parallel to a direction connecting opposite edges of the hexagonal deposition wall.

본 발명의 실시예들에 따르면, 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하므로 대형 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우에도 증착 마스크의 정렬이 용이하다.According to embodiments of the present invention, since the deposition mask is formed by a photolithography process, alignment of the deposition mask is easy even when a large-sized organic light emitting display is manufactured.

또한, 육각 증착벽을 포함하는 증착 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성하는 경우에는 청색 유기 발광층이 적색 유기 발광층 및 녹색 유기 발광층과 중첩되지 않으므로 시인성 및 투과율이 향상된다.In addition, when the organic light emitting layer is formed using a deposition mask including a hexagonal deposition wall, the blue organic light emitting layer is not overlapped with the red organic light emitting layer and the green organic light emitting layer, thereby improving visibility and transmittance.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 일 단계로서, 증착 마스크를 형성하는 단계를 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 다음 단계로서, 제1 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에서 증착된 제1 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이다.
도 6은 도 4의 다음 단계로서, 제2 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에서 증착된 제2 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이다.
도 8은 도 6의 다음 단계로서, 제3 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 9는 도 8에서 증착된 제3 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이다.
도 10은 도 8의 다음 단계로서, 접착 필름을 증착 마스크에 접착시키는 단계를 도시한 도면이다.
도 11은 도 10의 다음 단계로서, 접착 필름을 이용하여 증착 마스크를 박막 트랜지스터 패널로부터 분리시키는 단계를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서, 증착 마스크에 유기물을 분사하는 상태를 도시한 도면이다.
도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서, 제1 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 15는 도 14의 다음 단계로서, 제2 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 16은 도 15의 다음 단계로서, 제3 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이다.
도 17은 도 16의 다음 단계로서, 접착 필름을 증착 마스크에 접착시키는 단계를 도시한 도면이다.
도 18은 도 17의 다음 단계로서, 접착 필름을 이용하여 증착 마스크를 박막 트랜지스터 패널로부터 분리시키는 단계를 도시한 도면이다. 1 is a cross-sectional view of an OLED display according to a first embodiment of the present invention.
2 is a plan view of an OLED display according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a step of forming a deposition mask, as one step of the method of manufacturing an organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a view showing the step of spraying the first organic material as the next step in FIG. 3; FIG.
Figure 5 is a top view of a deposition of a first organic material deposited in Figure 4;
FIG. 6 is a view showing a step of spraying a second organic material as a next step in FIG.
Figure 7 is a top view of a deposition of a second organic material deposited in Figure 6;
Fig. 8 is a view showing the step of spraying the third organic material as the next step of Fig. 6. Fig.
Figure 9 is a top view of a deposition of a deposited third organic material in Figure 8;
Fig. 10 is a view showing the step of adhering an adhesive film to a deposition mask as the next step of Fig. 8; Fig.
Fig. 11 is a view showing the step of separating the deposition mask from the thin film transistor panel using the adhesive film as the next step of Fig. 10; Fig.
12 is a plan view of an OLED display according to a second embodiment of the present invention.
13 is a view showing a state in which an organic material is injected into a deposition mask in a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a view showing a step of injecting a first organic material in the method of manufacturing an organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention.
Fig. 15 is a view showing a step of spraying a second organic material as the next step of Fig. 14; Fig.
FIG. 16 is a view showing the step of spraying the third organic material as the next step in FIG. 15. FIG.
Fig. 17 is a view showing the step of adhering an adhesive film to a deposition mask as a next step of Fig. 16. Fig.
FIG. 18 is a view showing the step of separating the deposition mask from the thin film transistor panel using the adhesive film as the next step in FIG.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In the following description, the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In addition, since the sizes and thicknesses of the respective components shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

그러면 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 도 1 및 도 2를 참고로 상세하게 설명한다.The OLED display according to the first embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of an OLED display according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of an OLED display according to a first embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 박막 트랜지스터(110)가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 패널(100), 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 서로 이격되어 형성되어 있는 제1색 유기 발광층(210) 및 제2색 유기 발광층(220), 박막 트랜지스터 패널(100), 제1색 유기 발광층(210) 및 제2색 유기 발광층(220)을 모두 덮고 있는 제3색 유기 발광층(230)을 포함한다.1 and 2, the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention includes a thin film transistor panel 100 having a plurality of thin film transistors 110 formed thereon, The first color organic light emitting layer 210, the second color organic light emitting layer 220, the thin film transistor panel 100, the first color organic light emitting layer 210, and the second color organic light emitting layer 220, which are spaced apart from each other, And a third color organic emission layer 230 covering the organic emission layer.

박막 트랜지스터 패널(100)은 주사 신호를 전달하는 복수의 게이트선, 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선 및 구동 전압을 전달하는 복수의 구동 전압선과, 이들에 연결되어 있으며 복수개의 박막 트랜지스터(110)를 포함한다. 복수개의 박막 트랜지스터(110)는 스위칭 박막 트랜지스터(switching thin film transistor), 구동 박막 트랜지스터(driving thin film transistor), 유지 축전기(storage capacitor), 구동 박막 트랜지스터의 출력 단자에 연결되어 있는 애노드(anode)(120)를 포함한다.The thin film transistor panel 100 includes a plurality of gate lines for transmitting scanning signals, a plurality of data lines for transmitting data signals, a plurality of driving voltage lines for transmitting driving voltages, and a plurality of thin film transistors 110, . The plurality of thin film transistors 110 may include a switching thin film transistor, a driving thin film transistor, a storage capacitor, an anode connected to the output terminal of the driving thin film transistor 120).

스위칭 박막 트랜지스터는 게이트선에 인가되는 주사 신호에 응답하여 데이터선에 인가되는 데이터 신호를 구동 박막 트랜지스터에 전달하며, 구동 박막 트랜지스터는 제어 단자와 출력 단자 사이에 걸리는 전압에 따라 그 크기가 달라지는 출력 전류를 흘린다.The switching thin film transistor transmits a data signal applied to a data line in response to a scanning signal applied to a gate line, and the driving thin film transistor has an output current which varies in magnitude according to a voltage applied between the control terminal and the output terminal. Lt; / RTI >

제3색 유기 발광층(230) 위에는 공통 전압(Vss)에 연결되어 있는 캐소드(cathode)(300)가 형성되어 있다. 애노드(120), 유기 발광층(210, 220, 230) 및 캐소드(300)는 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)를 이루어 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 출력 전류(ILD)에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다.A cathode 300 connected to the common voltage Vss is formed on the third color organic emission layer 230. The anode 120, the organic light emitting layers 210, 220 and 230 and the cathode 300 may be formed of organic light emitting diodes (OLEDs) and may have different intensity depending on the output current ILD of the driving thin film transistor Qd. Thereby displaying an image.

제1색 유기 발광층(210) 및 제3색 유기 발광층(230)은 적층되어 제1 부화소(P1)에 대응되고, 제2색 유기 발광층(220) 및 제3색 유기 발광층(230)은 적층되어 제2 부화소(P2)에 대응되며, 제1색 유기 발광층(210) 및 제2색 유기 발광층(220) 사이에 형성되어 있는 제3색 유기 발광층(230)은 제3 부화소(P3)에 대응된다. 그리고, 제1 부화소(P1), 제2 부화소(P2) 및 제3 부화소(P3)는 하나의 사각 화소(P)를 이루며, 인접하는 사각 화소(P)는 서로 소정 간격만큼 이격되어 배치되어 있다. 인접하는 사각 화소 사이 영역(d)은 제거된 증착 마스크(400)가 형성되어 있었던 영역이다.The first color organic light emitting layer 210 and the third color organic light emitting layer 230 are stacked to correspond to the first subpixel P1 and the second color organic light emitting layer 220 and the third color organic light emitting layer 230 are stacked And the third color organic emission layer 230 formed between the first color organic emission layer 210 and the second color emission organic layer 220 corresponds to the second subpixel P2. . The first subpixel P1, the second subpixel P2 and the third subpixel P3 form one square pixel P, and the adjacent square pixels P are spaced apart from each other by a predetermined distance Respectively. The adjacent rectangular pixel regions d are regions where the removed deposition masks 400 were formed.

제1색 유기 발광층(210)은 적색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층(220)은 녹색 유기 발광층, 제3색 유기 발광층(230)은 청색 유기 발광층일 수 있다. 따라서, 제1 부화소에서는 적색(R)이 발광되며, 제2 부화소에서는 녹색(G)이 발광되며, 제3 부화소에서는 청색(B)이 발광된다. 이는 적색 유기 발광층(210)과 청색 유기 발광층(230)이 적층된 제1 부화소(P1)에서는 적색의 시인성이 청색보다 우수하기 때문이고, 녹색 유기 발광층(220)과 청색 유기 발광층(230)이 적층괸 제2 부화소(P2)에서는 녹색의 시인성이 청색보다 우수하기 때문이다.The first color organic light emitting layer 210 may be a red organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer 220 may be a green organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer 230 may be a blue organic light emitting layer. Therefore, red (R) is emitted in the first sub-pixel, green (G) is emitted in the second sub-pixel, and blue (B) is emitted in the third sub-pixel. This is because the first sub-pixel P1 in which the red organic light emitting layer 210 and the blue organic light emitting layer 230 are stacked has better red visibility than the blue organic light emitting layer 220 and the blue organic light emitting layer 230 This is because the visibility of green is better than that of blue in the stacked second sub-pixel P2.

이하에서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해 도 3 내지 도 11을 참고로 상세히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 11. FIG.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 일 단계로서, 증착 마스크를 형성하는 단계를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 다음 단계로서, 제1 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4에서 증착된 제1 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이고, 도 6은 도 4의 다음 단계로서, 제2 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이며, 도 7은 도 6에서 증착된 제2 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이고, 도 8은 도 6의 다음 단계로서, 제3 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이고, 도 9는 도 8에서 증착된 제3 유기물의 증착 평면도를 도시한 도면이고, 도 10은 도 8의 다음 단계로서, 접착 필름을 증착 마스크에 접착시키는 단계를 도시한 도면이고, 도 11은 도 10의 다음 단계로서, 접착 필름을 이용하여 증착 마스크를 박막 트랜지스터 패널로부터 분리시키는 단계를 도시한 도면이다. FIG. 3 is a view showing a step of forming a deposition mask as one step in the method of manufacturing an organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a step subsequent to FIG. FIG. 5 is a view showing a deposition plan of the first organic material deposited in FIG. 4, FIG. 6 is a step subsequent to FIG. 4, showing the step of spraying the second organic material; FIG. 7 is a view showing a deposition plan of a second organic material deposited in FIG. 6, FIG. 8 is a view showing a step of spraying a third organic material as a next step of FIG. 6, 10 is a view showing a step of adhering an adhesive film to a deposition mask as a next step of Fig. 8, and Fig. 11 is a next step of Fig. 10, Using the adhesive film, And separating it from the LANGUSTER panel.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 우선, 박막 트랜지스터 패널(100)을 형성한다. 그리고, 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 사진 식각 공정으로 증착 마스크(400)를 형성한다. As shown in FIG. 3, in the method of manufacturing an organic light emitting display according to the first embodiment of the present invention, a thin film transistor panel 100 is formed. Then, a deposition mask 400 is formed on the thin film transistor panel 100 by a photolithography process.

이러한 증착 마스크(400)는 차단각(α) 이하로 분사되는 유기물(10, 20, 30)을 차단하는 복수개의 증착벽(410)을 포함하며, 2개의 증착벽(410)이 서로 평행하게 이격되어 평행 증착벽(41)을 이룬다. 증착벽(410)은 상단면(410b), 상단면(410b)으로부터 하방으로 연장되는 제1 벽(410a) 및 제2 벽(410c)을 포함한다. The deposition mask 400 includes a plurality of deposition walls 410 that block the organic substances 10, 20, and 30 that are injected below the blocking angle alpha, and the two deposition walls 410 are spaced apart from each other Thereby forming a parallel evaporation wall 41. The deposition wall 410 includes a top surface 410b, a first wall 410a and a second wall 410c extending downward from the top surface 410b.

이 때, 증착벽(410) 사이의 간격을 Wp, 증착벽(410)에 의해 유기물(10, 20, 30)이 차단되는 차단각을 α, 평행 증착벽(41) 내부에 유기물(10, 20, 30)이 증착되는 증착 길이를 Wsp라 할 때, 증착벽(410)의 높이 h는 아래 수학식 1과 같이 정의된다. In this case, the interval between the deposition walls 410 is Wp, the blocking angle at which the organic substances 10, 20 and 30 are blocked by the vapor deposition wall 410 is α, And 30 is deposited on the deposition surface 410 is defined as Wsp, the height h of the deposition wall 410 is defined as shown in Equation 1 below.

Figure 112012032644220-pat00001
Figure 112012032644220-pat00001

다음으로, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 선형 증착원(500)에서 증착 마스크(400)에 제1 유기물(10)을 경사지게 분사하여 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 제1색 유기 발광층(210)을 형성한다. 이를 위해 선형 증착원(500)에서 분사되는 제1 유기물(10)의 분사 방향과 박막 트랜지스터 패널(100)의 표면 사이에 차단각(α)이 형성되도록 선형 증착원(500)을 경사지게 설치한다. 그리고, 박막 트랜지스터 패널(100)을 고정하고, 선형 증착원(500)을 수평 방향으로 이동시키며 제1 유기물(10)을 분사하거나, 선형 증착원(500)을 고정하고, 박막 트랜지스터 패널(100)을 수평 방향으로 이동시키며 제1 유기물(10)을 분사한다. 4 and 5, the first organic material 10 is obliquely sprayed on the deposition mask 400 in the linear deposition source 500 to form a first color organic emission layer 210 are formed. The linear deposition source 500 is inclined so that a blocking angle α is formed between the spray direction of the first organic material 10 injected from the linear deposition source 500 and the surface of the thin film transistor panel 100. Then, the thin film transistor panel 100 is fixed, the linear deposition source 500 is moved in the horizontal direction, the first organic material 10 is sprayed, the linear deposition source 500 is fixed, And the first organic material 10 is sprayed.

이 때, 제1 유기물(10)의 분사 방향인 제1 방향(k1)에서 제1 유기물(10)을 분사하여 평행 증착벽(41) 내부에 제1색 유기 발광층(210)을 형성한다. 이 때, 제1 방향(k1)을 바라보는 증착벽(410)의 제1 벽(410a), 증착벽(410)의 상단면(410b), 제1 벽(410a)에 인접한 제1 부화소(P1)에 제1 유기물(10)이 증착되며, 제1 벽(410a)에 인접한 제1 부화소에 증착된 제1 유기물(10)이 제1색 유기 발광층(210)이 된다.At this time, the first organic material 10 is sprayed in the first direction k1, which is the spray direction of the first organic material 10, to form the first color organic light emitting layer 210 in the parallel vapor deposition wall 41. [ At this time, the first wall 410a of the deposition window 410 facing the first direction k1, the upper end surface 410b of the deposition window 410, the first sub-pixel 410b adjacent to the first wall 410a, The first organic material 10 deposited on the first sub-pixel adjacent to the first wall 410a becomes the first organic light emitting layer 210. The first organic material 10 deposited on the first sub-

다음으로, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 방향(k1)에서 180도 회전한 제2 방향(k2)에서 제2 유기물(20)을 분사하여 평행 증착벽(41) 내부에 제2색 유기 발광층(220)을 형성한다. 이 때, 박막 트랜지스터 패널(100)을 고정하고, 선형 증착원(500)을 수평 방향으로 이동시키며 제2 유기물(20)을 분사하거나, 선형 증착원(500)을 고정하고, 박막 트랜지스터 패널(100)을 수평 방향으로 이동시키며 제2 유기물(20)을 분사한다.Next, as shown in Figs. 6 and 7, the second organic material 20 is sprayed in the second direction k2 rotated 180 degrees in the first direction k1 to form the second organic material 20 in the parallel deposition wall 41 A two-color organic light emitting layer 220 is formed. At this time, the thin film transistor panel 100 is fixed, the linear deposition source 500 is moved horizontally, the second organic material 20 is sprayed, the linear deposition source 500 is fixed, and the thin film transistor panel 100 Is moved in the horizontal direction and the second organic material 20 is sprayed.

이 때, 제2 유기물(20)은 증착벽(410)의 상단면(410b), 제2 방향(k2)을 바라보는 증착벽(410)의 제2 벽(410c), 제2 벽(410c)에 인접한 제2 부화소(P2)에 증착되며, 제2 벽(410c)에 인접한 제2 부화소(P2)에 증착된 제2 유기물(20)이 제2색 유기 발광층(220)이 된다. 제2색 유기 발광층(220)은 제1색 유기 발광층(210)과 이격되어 형성된다.At this time, the second organic material 20 is deposited on the upper surface 410b of the evaporation wall 410, the second wall 410c of the evaporation wall 410 facing the second direction k2, the second wall 410c, And the second organic material 20 deposited on the second subpixel P2 adjacent to the second wall 410c becomes the second color organic emission layer 220. [ The second color organic light emitting layer 220 is formed apart from the first color organic light emitting layer 210.

다음으로, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 증착벽(410)의 높이 방향과 평행한 제3 방향(k3)에서 제3 유기물(30)을 분사하여 평행 증착벽(41) 내부에 제3색 유기 발광층(230)을 형성한다. 이 때, 박막 트랜지스터 패널(100)을 고정하고, 선형 증착원(500)을 수평 방향으로 이동시키며 제3 유기물(30)을 분사하거나, 선형 증착원(500)을 고정하고, 박막 트랜지스터 패널(100)을 수평 방향으로 이동시키며 제3 유기물(30)을 분사한다.Next, as shown in Figs. 8 and 9, the third organic material 30 is sprayed in the third direction k3 parallel to the height direction of the evaporation wall 410 to form the third organic material 30 in the parallel evaporation wall 41 Thereby forming a three-color organic light emitting layer 230. At this time, the thin film transistor panel 100 is fixed, the linear deposition source 500 is moved in the horizontal direction, the third organic material 30 is sprayed, the linear deposition source 500 is fixed, and the thin film transistor panel 100 ) In the horizontal direction and injects the third organic material (30).

이 때, 제3 유기물(30)은 증착벽(410)의 상단면(410b), 제1 부화소(P1), 제2 부화소(P2) 및 제3 부화소(P3)에 모두 증착되며, 제1 부화소(P1)와 제2 부화소(P2) 사이에 증착된 제3 유기물(3)이 제3색 유기 발광층(230)이 된다. At this time, the third organic material 30 is deposited on the upper surface 410b of the evaporation wall 410, the first sub-pixel P1, the second sub-pixel P2, and the third sub-pixel P3, The third organic material 3 deposited between the first sub-pixel P1 and the second sub-pixel P2 becomes the third color organic light-emitting layer 230.

다음으로, 도 10에 도시한 바와 같이, 접착 필름(600)을 증착 마스크(400)의 상단에 접착시킨다. 그리고, 도 11에 도시한 바와 같이, 접착 필름(600)을 상부로 떼어내며 동시에 증착 마스크(400)를 박막 트랜지스터 패널(100)로부터 분리시킨다. 이는 접착 필름(600)의 접착력에 의해 증착 마스크(400)가 접착 필름(600)에 접착되어 있기 때문이다. Next, as shown in FIG. 10, the adhesive film 600 is adhered to the top of the deposition mask 400. Then, as shown in Fig. 11, the adhesive film 600 is peeled off and the deposition mask 400 is separated from the thin film transistor panel 100 at the same time. This is because the deposition mask 400 is bonded to the adhesive film 600 by the adhesive force of the adhesive film 600.

따라서, 도 2에 도시한 바와 같이, 제3색 유기 발광층(230) 위에 캐소드(300)를 형성함으로써, 서로 분리되어 있는 사각 화소(P)가 완성된다. 이와 같이, 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하므로 대형 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우에도 증착 마스크의 정렬이 용이하다.Therefore, as shown in FIG. 2, the cathode 300 is formed on the third color organic light emitting layer 230 to complete the square pixels P separated from each other. Since the deposition mask is formed by the photolithography process, the deposition mask can be easily aligned even when a large-sized organic light emitting display is manufactured.

한편, 상기 제1 실시예에서는 평행 증착벽을 이용하여 사각 화소를 형성하였으나, 육각 증착벽을 이용하여 육각 화소를 형성하는 제2 실시예도 가능하다. Meanwhile, in the first embodiment, a rectangular pixel is formed using a parallel deposition wall, but a second embodiment in which a hexagonal pixel is formed using a hexagonal deposition wall is also possible.

이하에서 도 12를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, an OLED display according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.12 is a cross-sectional view of an OLED display according to a second embodiment of the present invention.

도 12에 도시된 제2 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 제1 실시예와 비교하여 육각 화소를 형성한 것만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.The second embodiment shown in FIG. 12 is substantially the same as the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 except for the formation of hexagonal pixels.

도 12에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수개의 박막 트랜지스터(110)가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 패널(100), 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 서로 인접하여 형성되어 있는 마름모 형상의 제1색 유기 발광층(210), 제2색 유기 발광층(220) 및 제3색 유기 발광층(230)을 포함한다. 12, the organic light emitting display according to the second embodiment of the present invention includes a thin film transistor panel 100 having a plurality of thin film transistors 110 formed thereon, A first color organic light emitting layer 210, a second color organic light emitting layer 220, and a third color organic light emitting layer 230 which are formed in a rhombic shape.

제1색 유기 발광층(210), 제2색 유기 발광층(220) 및 제3색 유기 발광층(230)은 각각 제1 부화소(Q1), 제2 부화소(Q2) 및 제3 부화소(Q3)에 대응된다. 그리고, 제1 부화소(Q1), 제2 부화소(Q2) 및 제3 부화소(Q3)는 하나의 육각 화소(Q)를 이루며, 인접하는 육각 화소(Q)는 서로 소정 간격만큼 이격되어 벌집 형상으로 배치되어 있다. 인접하는 육각 화소 사이 영역(d2)은 제거된 증착 마스크(400)가 형성되어 있었던 영역이다. The first color organic light emitting layer 210, the second color organic light emitting layer 220 and the third color organic light emitting layer 230 are formed of a first sub-pixel Q1, a second sub-pixel Q2 and a third sub- ). The first sub-pixel Q1, the second sub-pixel Q2 and the third sub-pixel Q3 form one hexagonal pixel Q, and adjacent hexagonal pixels Q are spaced apart from each other by a predetermined distance And are arranged in a honeycomb shape. The adjacent hexagonal pixel region d2 is the region where the removed deposition mask 400 was formed.

제1색 유기 발광층(210)은 적색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층(220)은 녹색 유기 발광층, 제3색 유기 발광층(230)은 청색 유기 발광층일 수 있다. 따라서, 제1 부화소(Q1)에서는 적색(R)이 발광되며, 제2 부화소(Q2)에서는 녹색(G)이 발광되며, 제3 부화소(Q3)에서는 청색(B)이 발광된다. 이 경우, 제1 실시예와 달리 청색 유기 발광층(230)이 적색 유기 발광층(210) 및 녹색 유기 발광층(220)과 중첩되지 않으므로 시인성 및 투과율이 향상된다.The first color organic light emitting layer 210 may be a red organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer 220 may be a green organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer 230 may be a blue organic light emitting layer. Accordingly, red (R) is emitted in the first sub-pixel Q1, green (G) is emitted in the second sub-pixel Q2, and blue (B) is emitted in the third sub-pixel Q3. In this case, unlike the first embodiment, the blue organic light emitting layer 230 does not overlap with the red organic light emitting layer 210 and the green organic light emitting layer 220, thereby improving visibility and transmittance.

이하에서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해 도 13 내지 도 18을 참고로 상세히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 13 to 18. FIG.

도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서, 증착 마스크에 유기물을 분사하는 상태를 도시한 도면이고, 도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서, 제1 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이고, 도 15는 도 14의 다음 단계로서, 제2 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이고, 도 16은 도 15의 다음 단계로서, 제3 유기물을 분사하는 단계를 도시한 도면이고, 도 17은 도 16의 다음 단계로서, 접착 필름을 증착 마스크에 접착시키는 단계를 도시한 도면이고, 도 18은 도 17의 다음 단계로서, 접착 필름을 이용하여 증착 마스크를 박막 트랜지스터 패널로부터 분리시키는 단계를 도시한 도면이다.FIG. 13 is a view illustrating a state in which an organic material is injected into a deposition mask in a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a second embodiment of the present invention. FIG. FIG. 15 is a view showing a step of spraying a second organic material as a next step of FIG. 14, and FIG. 16 is a view showing a step of spraying a second organic material in the next step 17 is a view showing a step of adhering an adhesive film to a deposition mask as the next step of Fig. 16, and Fig. 18 is a next step of Fig. 17, And separating the deposition mask from the thin film transistor panel using an adhesive film.

도 13에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 우선, 박막 트랜지스터 패널(100)을 형성한다. 그리고, 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 사진 식각 공정으로 증착 마스크(400)를 형성한다. As shown in FIG. 13, in the method of manufacturing an organic light emitting display according to the second embodiment of the present invention, a thin film transistor panel 100 is first formed. Then, a deposition mask 400 is formed on the thin film transistor panel 100 by a photolithography process.

이러한 증착 마스크(400)는 차단각(α) 이하로 분사되는 유기물(10, 20, 30)을 차단하는 복수개의 증착벽(410)을 포함하며, 6개의 증착벽(410)이 서로 연결되어 육각 형상을 이루는 육각 증착벽(42)을 이룬다. 증착벽(410)은 상단면(410b), 상단면(410b)으로부터 하방으로 연장되는 제1 벽(410a) 및 제2 벽(410c)을 포함한다. The deposition mask 400 includes a plurality of deposition walls 410 for blocking the organic substances 10, 20 and 30 injected below the blocking angle alpha and the six deposition walls 410 are connected to each other, Forming a hexagonal vapor deposition wall 42 that forms a shape. The deposition wall 410 includes a top surface 410b, a first wall 410a and a second wall 410c extending downward from the top surface 410b.

이 때, 증착벽(410)의 길이를 a, 증착벽(410)에 의해 유기물(10, 20, 30)이 차단되는 차단각을 α라 할 때, 증착벽(410)의 높이 h는 아래 수학식 2과 같이 정의된다. Assuming that the length of the deposition wall 410 is a and the blocking angle at which the organic material 10,20 and 30 is blocked by the deposition wall 410 is the height h of the deposition wall 410, Is defined as Equation 2.

Figure 112012032644220-pat00002
Figure 112012032644220-pat00002

다음으로, 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 선형 증착원(500)에서 증착 마스크(400)에 제1 유기물을 경사지게 분사하여 박막 트랜지스터 패널(100) 위에 제1색 유기 발광층(210)을 형성한다. 이를 위해 선형 증착원(500)에서 분사되는 제1 유기물의 분사 방향과 박막 트랜지스터 패널의 표면 사이에 차단각(α)이 형성되도록 선형 증착원(500)을 경사지게 설치한다. Next, as shown in FIGS. 13 and 14, the first organic material is injected obliquely onto the deposition mask 400 in the linear deposition source 500 to form the first color organic emission layer 210 on the thin film transistor panel 100 . For this purpose, the linear deposition source 500 is inclined so that a blocking angle alpha is formed between the spray direction of the first organic material injected from the linear deposition source 500 and the surface of the thin film transistor panel.

이 때, 제1 유기물의 분사 방향인 제1 육각 방향(j1)에서 제1 유기물(10)을 분사하여 육각 증착벽(42) 내부에 제1색 유기 발광층(210)을 형성한다. 이 때, 육각 증착벽(42)에 의해 차단되지 않는 육각 증착벽(42)의 내부에 마름모 형상의 제1색 유기 발광층(210)이 형성된다. 이러한 제1 육각 방향(j1)은 육각 증착벽(42)의 마주보는 모서리를 연결하는 방향과 평행하다. At this time, the first organic material 10 is sprayed in the first hexagonal direction j1, which is the spraying direction of the first organic material, to form the first color organic light emitting layer 210 in the hexagonal vapor deposition wall 42. At this time, a rhombic first color organic emission layer 210 is formed inside the hexagonal vapor deposition wall 42 which is not blocked by the hexagonal vapor deposition wall 42. This first hexagonal direction j1 is parallel to the direction connecting the opposite corners of the hexagonal deposition wall 42. [

다음으로, 도 13 및 도 15에 도시한 바와 같이, 제1 육각 방향(j1)에서 120도 회전한 제2 육각 방향(j2)에서 제2 유기물을 분사하여 육각 증착벽(42) 내부에 마름모 형상의 제2색 유기 발광층(220)을 형성한다.Next, as shown in Figs. 13 and 15, the second organic material is sprayed in the second hexagonal direction (j2) rotated 120 degrees in the first hexagonal direction (j1) to form a rhombic shape The second color organic light emitting layer 220 is formed.

다음으로, 도 13 및 도 16에 도시한 바와 같이, 제2 육각 방향(j2)에서 120도 회전한 제3 육각 방향(j3)에서 제3 유기물을 분사하여 육각 증착벽(42) 내부에 마름모 형상의 제3색 유기 발광층(230)을 형성한다.Next, as shown in Figs. 13 and 16, the third organic material is sprayed in the third hexagonal direction j3 rotated 120 degrees in the second hexagonal direction j2 to form a rhombic shape The third color organic light emitting layer 230 is formed.

다음으로, 도 17에 도시한 바와 같이, 접착 필름(600)을 증착 마스크(400)의 상단에 접착시킨다. 그리고, 도 18에 도시한 바와 같이, 접착 필름(600)을 상방으로 힘을 가하여 떼어내며 동시에 증착 마스크(400)를 박막 트랜지스터 패널(100)로부터 분리시킨다. 이는 접착 필름(600)의 접착력에 의해 증착 마스크(400)가 접착 필름(600)에 접착되어 있기 때문이다. Next, as shown in Fig. 17, the adhesive film 600 is adhered to the top of the deposition mask 400. Then, as shown in Fig. Then, as shown in Fig. 18, the adhesive film 600 is removed by applying force upward, and at the same time, the deposition mask 400 is separated from the thin film transistor panel 100. Next, as shown in Fig. This is because the deposition mask 400 is bonded to the adhesive film 600 by the adhesive force of the adhesive film 600.

따라서, 도 12에 도시한 바와 같이, 서로 분리되어 있는 육각 화소(Q)가 완성된다. Hence, as shown in Fig. 12, the hexagonal pixels Q separated from each other are completed.

이와 같이, 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하므로 대형 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우에도 증착 마스크의 정렬이 용이하다.Since the deposition mask is formed by the photolithography process, the deposition mask can be easily aligned even when a large-sized organic light emitting display is manufactured.

또한, 육각 증착벽을 포함하는 증착 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성하므로, 청색 유기 발광층이 적색 유기 발광층 및 녹색 유기 발광층과 중첩되지 않으므로 시인성 및 투과율이 향상된다.In addition, since the organic light emitting layer is formed using a deposition mask including a hexagonal deposition wall, the blue organic light emitting layer is not overlapped with the red organic light emitting layer and the green organic light emitting layer, thereby improving visibility and transmittance.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the following claims. Those who are engaged in the technology field will understand easily.

100: 박막 트랜지스터 패널 210: 제1색 유기 발광층
220: 제2색 유기 발광층 230: 제3색 유기 발광층
400: 증착 마스크 410: 증착벽
500: 선형 증착원 600: 접착 필름100: thin film transistor panel 210: first color organic light emitting layer
220: second color organic emission layer 230: third color organic emission layer
400: deposition mask 410: deposition wall
500: linear deposition source 600: adhesive film

Claims (15)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 패널,
상기 박막 트랜지스터 패널 위에 서로 인접하여 형성되어 있는 마름모 형상의 제1색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층
을 포함하고,
상기 제1색 유기 발광층, 제2색 유기 발광층 및 제3색 유기 발광층은 각각 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소와 면적이 동일하고,
상기 제1 부화소, 제2 부화소 및 제3 부화소는 서로 인접하여 하나의 육각 화소를 이루며,
상기 제1 부화소의 상기 제1 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 한 변은 상기 제2 부화소의 상기 제2 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 한 변과 인접하고,
상기 제1 부화소의 상기 제1 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 또 다른 한 변은 상기 제3 부화소의 상기 제3 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 한 변과 인접하고,
상기 제2 부화소의 상기 제2 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 또 다른 한 변은 상기 제3 부화소의 상기 제3 색 유기 발광층의 상기 마름모 형상의 또 다른 한 변과 인접하는 유기 발광 표시 장치.A thin film transistor panel in which a plurality of thin film transistors are formed,
A first color organic light emitting layer, a second color organic light emitting layer, and a third color organic light emitting layer formed in a rhomboidal shape adjacent to each other on the thin film transistor panel,
/ RTI >
The first color organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer have the same area as the first subpixel, the second subpixel, and the third subpixel, respectively,
The first sub-pixel, the second sub-pixel and the third sub-pixel are adjacent to each other to form one hexagonal pixel,
One side of the rhombic shape of the first color organic emission layer of the first sub-pixel is adjacent to one side of the rhombus of the second color organic emission layer of the second sub-
The other side of the rhombic shape of the first color organic emission layer of the first sub-pixel is adjacent to one side of the rhombic shape of the third color organic emission layer of the third sub-
And the other side of the rhombic shape of the second color organic emission layer of the second sub-pixel is adjacent to the other side of the rhombus of the third color organic emission layer of the third sub- . 제4항에서,
복수개의 상기 육각 화소는 서로 이격되어 형성되어 있으며 벌집 형상으로 배치되어 있는 유기 발광 표시 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the plurality of the hexagonal pixels are spaced apart from each other and arranged in a honeycomb shape. 제5항에서,
상기 제1색 유기 발광층은 적색 유기 발광층, 상기 제2색 유기 발광층은 녹색 유기 발광층, 상기 제3색 유기 발광층은 청색 유기 발광층인 유기 발광 표시 장치.The method of claim 5,
Wherein the first color organic light emitting layer is a red organic light emitting layer, the second color organic light emitting layer is a green organic light emitting layer, and the third color organic light emitting layer is a blue organic light emitting layer. 박막 트랜지스터 패널을 형성하는 단계,
상기 박막 트랜지스터 패널 위에 사진 식각 공정으로 증착 마스크를 형성하는 단계,
선형 증착원에서 상기 증착 마스크에 유기물을 분사하여 상기 박막 트랜지스터 패널 위에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및
접착 필름을 이용하여 상기 증착 마스크를 제거하는 단계
를 포함하고,
상기 증착 마스크는 차단각 이하로 분사되는 상기 유기물을 차단하는 복수개의 증착벽을 포함하며,
상기 복수개의 증착벽은 2개의 상기 증착벽이 서로 평행하게 이격된 평행 증착벽이고,
상기 유기 발광층을 형성하는 단계는
제1 방향에서 제1 유기물을 경사지게 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제1색 유기 발광층을 형성하는 단계,
상기 제1 방향에서 180도 회전한 제2 방향에서 제2 유기물을 경사지게 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제2색 유기 발광층을 형성하는 단계, 및
상기 증착벽의 높이 방향과 평행하고 기판에 수직인 제3 방향에서 제3 유기물을 분사하여 상기 평행 증착벽 내부에 제3색 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Forming a thin film transistor panel,
Forming a deposition mask on the thin film transistor panel by a photolithography process,
Forming an organic light emitting layer on the thin film transistor panel by spraying an organic material onto the deposition mask in a linear deposition source,
Removing the deposition mask using an adhesive film
Lt; / RTI >
Wherein the deposition mask includes a plurality of deposition walls for blocking the organic material injected below a blocking angle,
Wherein the plurality of evaporation walls are parallel evaporation walls in which the two evaporation walls are spaced apart from each other in parallel,
The step of forming the organic light emitting layer
Forming a first color organic light emitting layer in the parallel deposition wall by obliquely injecting a first organic material in a first direction,
Forming a second color organic emission layer inside the parallel deposition wall by obliquely injecting a second organic material in a second direction rotated 180 degrees in the first direction;
And forming a third color organic emission layer in the parallel deposition wall by spraying a third organic material in a third direction parallel to a height direction of the deposition wall and perpendicular to the substrate. 삭제delete 제7항에서,
상기 증착벽 사이의 간격을 Wp, 상기 증착벽에 의해 상기 유기물이 차단되는 차단각을 α, 상기 평행 증착벽 내부에 상기 유기물이 증착되는 증착 길이를 Wsp라 할 때, 상기 증착벽의 높이 h는
h = (Wp - Wsp)×tan α
인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.8. The method of claim 7,
And a deposition length at which the organic material is deposited in the inside of the parallel deposition wall is Wsp, the height h of the deposition wall is represented by Wp,
h = (Wp - Wsp) x tan alpha
Gt; < / RTI > 삭제delete 제7항에서,
상기 제2색 유기 발광층은 상기 제1색 유기 발광층과 이격되어 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.8. The method of claim 7,
Wherein the second color organic light emitting layer is spaced apart from the first color organic light emitting layer. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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