KR101972704B1 - 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치에 관한 것이다. 이는, 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서, 상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과; 상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷과; 상기 상부재킷 및 하부재킷의 사이에 착탈 가능하게 끼워져, 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지함과 아울러, 상하부재킷의 사이에 상기 무빙케이블을 수용하는 격리된 케이블수용공간을 제공하는 다수의 가요성 접속유지부재를 포함한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치는, 케이블을 수용하는 각 수용공간의 격리 상태가 안정적으로 유지되므로 가혹 환경에서도 성능 신뢰성이 뛰어나며, 필요에 따라 수용공간을 의도적으로 확장할 수 있어 다양한 사이즈의 케이블을 충분히 수용 유지할 수 있다.

Description

반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치{Moving cable protection and maintenance device for semiconductor manufacturing facilities}
본 발명은 반도체 제조설비 등에 설치되는 각종 무빙 케이블을 수용하여 보호하는 무빙케이블 보호 및 유지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 케이블을 수용하는 수용공간의 폭 조절이 가능하여, 케이블의 가닥수나 직경 변화에 효과적으로 대응할 수 있는 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치에 관한 것이다.
가령, 디스플레이 생산 장비나 반도체 제조설비 등의 자동화 장치에는, 장치를 구성하는 이동체에 전기신호나 전력을 공급하기 위한 케이블이 복잡하게 배선된다. 이러한 케이블은, 이동체의 움직임에 따라, 과도히 인장되거나, 또는 서로 간의 마찰에 의해 손상되거나, 비틀어질 수 있다는 문제를 갖는다. 그나마 손상된 케이블을 쉽게 교체할 수 있으면 좋은데, 대부분의 경우 복잡하게 얽혀 있는 케이블 중 문제발생 케이블을 찾아내어 교체하는 것은 쉽제 않은 일이다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 다수의 케이블을 종류별로 수용하여 평행하게 유지하고 보호하는 케이블 보호 및 안내장치가 사용되고 있다. 케이블 보호 장치는, 전체적으로, 일정폭을 가지며 플랙시블한 띠의 형태를 취하고, 구부러진 상태로 이동체의 움직임에 종동 한다. 다수의 케이블을 케이블 보호 안내장치에 장착함으로써 케이블간의 간섭이나 마찰이 없어지고 또한 케이블의 관리가 편해진다.
도 1은 종래 무빙케이블 보호 및 유지장치(10)의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도시한 바와 같이, 종래 무빙케이블 보호 및 유지장치(10)는, 일정폭을 갖는 가요성 상부재킷(11)과, 상부재킷(11)의 일면에 융착되는 하부재킷(12)과, 상하부재킷(11,12)의 대향면에 고정되는 라이너(15)로 구성된다.
상기 상부재킷(11) 및 하부재킷(12)은 열가소성폴리우레탄(TPU)으로 이루어진 원단으로서 상호간에 열융착된다. 도면부호 13이 열융착부이다. 열융착부(13)는 상부재킷(11) 및 하부재킷(12)의 상하면을 가압하며 열을 가하여 형성된 부분으로서, 폭방향으로 일정간격을 이루고 개별 공간부(14)를 형성한다.
라이너(15)는 불소수지(PTFE : Polytetrafluoroethylene)로 제작된 띠형 부재로서, 상부재킷(11)의 저면과 하부재킷(12)의 상면에 고정된 상태로 케이블(Z)을 지지한다. 케이블(Z)은 열융착부(13) 사이의 수용공간(17)에 끼워진 상태로 라이너(15)에 감싸이는 것이다.
그런데, 상기한 종래의 보호 및 유지장치(10)는, 사용 중 열융착부(13)가 쉽게 분리된다는 단점을 갖는다. 이러한 열융착부의 분리현상은, 보호 및 유지장치(10) 자체의 사용방식(아래 웹 사이드 참조) 때문에 더욱 쉽게 발생한다. (참조 : https://www.youtube.com/watch?v=U3BxDV8wngc)
즉, 보호 및 유지장치(10)가 일정 곡률로 구부러지고, 일단부는 이동체에, 타단부는 고정체에 결합한 상태에서, 이동체가 반복적으로 왕복함에 의해, 상부재킷(11)과 하부재킷(12)의 사이에 전단하중이 발생하기 때문에 쉽게 분리되는 것이다.
또한 열융착부(13)가 일정폭을 가져, 수용공간(17)의 용적이 정해져 있으므로, 그 내부에 수용되는 무빙케이블(z)의 직경의 변화에 대응하기가 곤란한 경우가 많다. 이를테면, 사용할 무빙케이블(Z)의 사이즈가 커서 수용공간(17) 내부에 수용되지 못할 경우에는 해당 보호 및 유지장치(10)의 사용 자체가 불가능하게 되는 것이다. 또한, 다행히, 무빙케이블(z)이 수용공간(17)에 들어가더라도, 수용공간(17)에 꽉 찰 경우, 작동시 열융착부(13)는 바로 터져버리게 된다.
국내 등록특허공보 제10-1560788호 (다관절형 케이블류 보호 안내 장치) 국내 등록특허공보 제10-1703496호 (호스를 이용한 케이블지지 보호유닛) 국내 등록특허공보 제10-1775571호 (전선과 에어호스를 연결하기 위한 모듈식 연결형 케이블)
본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 가혹 환경에서도 성능 신뢰성이 뛰어나며, 다양한 사이즈의 케이블을 충분히 수용 유지할 수 있는 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치를 제공함에 목적이 있따.
상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치는, 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서, 상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과; 상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷과; 상기 상부재킷 및 하부재킷의 사이에 착탈 가능하게 끼워져, 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지함과 아울러, 상하부재킷의 사이에 상기 무빙케이블을 수용하는 격리된 케이블수용공간을 제공하는 것으로서, 수용되는 무빙케이블의 가닥수나 직경 변화에 대응하는 필요용적의 케이블수용공간을 형성하는 다수의 가요성 접속유지부재를 포함한다.
또한, 상기 상부재킷 및 하부재킷의 대향면에는, 상하부재킷을 상호 겹쳤을 때 서로 만나, 상기 접속유지부재를 수용할 수 있는 유지부재끼움통로를 형성하는 상부홈 및 하부홈이 각각 형성되어 있고, 상기 접속유지부재는; 길이방향으로 일정단면 형상을 가지며, 상기 상부홈에 끼워지는 상부걸림부, 하부홈에 끼워지는 하부걸림부, 상부걸림부와 하부걸림부를 연결하는 연결부를 가지고, 겹쳐진 상태로 상하부재킷의 일단부로 개방된 상기 유지부재끼움통로에 삽입된 상태로 유지부재끼움통로 내부로 슬라이딩 삽입 장착된다.
또한, 접속유지부재는, 하나의 유지부재끼움통로에 다수개가 끼워지며, 각 접속유지부재는 탄성변형 가능한 연결부를 통해 직렬 연결된다.
상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치는, 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서, 상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과; 상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷을 포함하고, 상기 상부재킷에는, 상부재킷의 길이방향을 따라 연장되며 상호 평행하게 이격되는 다수의 홀딩홈이 형성되고, 하부재킷에는, 상부재킷과 하부재킷을 겹친 상태에서 홀딩홈에 맞추어지고, 상하부재킷을 두께방향으로 가압할 때 각 홀딩홈에 착탈 가능하게 끼워져, 상기 무빙케이블을 격리 수용하는 다수의 케이블수용공간을 형성하는 압입돌기가 마련되며, 상기 상부재킷의 각 홀딩홈의 사이와, 하부재킷의 각 압입돌기의 사이에는, 무빙케이블의 외주면과 접하는 라이너가 각각 구비된다.
아울러, 상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치는, 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서, 상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과; 상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷을 구비하고, 상기 상부재킷에는, 상부재킷의 길이방향으로 연장된 형태를 취하며 일직선상에 일정간격으로 이격 배치되는 다수의 관통유지슬릿을 포함한 선형슬릿그룹이 다수열 형성되고, 상기 하부재킷의 상면에는, 상부재킷에 하부재킷을 겹칠 때 각 관통유지슬릿에 맞추어지고, 상하부재킷을 두께방향으로 가압할 때 각각의 관통유지슬릿에 끼워져 결합하는 것으로서, 상기 관통유지슬릿내에 수용된 상태로 관통유지슬릿의 길이방향으로 위치이동 가능한 목부와, 상기 목부의 상단에 일체를 이루며 관통유지슬릿을 완전히 관통하여 상부재킷의 상부로 돌출된 상태로 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지하는 헤드부를 갖는 삽입돌기가 구비된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치는, 케이블을 수용하는 각 수용공간의 격리 상태가 안정적으로 유지되므로 가혹 환경에서도 성능 신뢰성이 뛰어나며, 필요에 따라 수용공간을 의도적으로 확장할 수 있어 다양한 사이즈의 케이블을 충분히 수용 유지할 수 있다.
도 1은 종래 무빙케이블 보호 및 유지장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 보호 및 유지장치의 사용 예를 도시한 단면도이다.
도 4a 내지 4f는 도 2에 도시한 보호 및 유지장치의 다양한 사용방식을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시한 보호 및 유지장치의 일 사용예를 나타내 보인 도면이다.
도 7a는 도 2에 도시한 접속유지부재의 연결방식을 설명하기 위한 측단면도이다.
도 7b는 도 2에 도시한 접속유지부재의 다른 연결방식을 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9a,9b는 도8에 도시한 보호 및 유지장치의 다른 예를 도시한 일부 단면도이다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치(30)의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시한 보호 및 유지장치의 사용 예를 도시한 단면도이다. 또한, 도 4a 내지 4f는 도 2에 도시한 보호 및 유지장치의 다양한 사용방식을 설명하기 위한 단면도이다.
무빙케이블 보호 및 유지장치(30)는, 반도체 제조설비나 정밀 공작기계 등에 구비되는 이동체에, 전력이나 제어신호를 보내는 무빙케이블(moving cable)을 그 내부에 수용 보호하는 역할을 하는 것으로서, 일정폭을 갖는 플렉시블한 띠의 형태를 취한다.
도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 무빙케이블 보호 및 유지장치(30)는, 상부재킷(31), 하부재킷(33), 접속유지부재(35)를 포함한다.
먼저, 상부재킷(31)은, 열가소성 폴리우레탄 또는 불소수지로 제작 된 것으로서, 일정폭을 갖는 띠의 형태를 취한다. 상부재킷(31)의 폭이나 길이는 무빙케이블의 가닥수와 길이에 따라 적절히 설계된다. 커버할 무빙케이블의 가닥수가 많을수록 상부재킷(31)의 폭이 커짐은 물론이다.
상부재킷(31)의 저면에는 다수의 상부홈(31a)이 평행하게 형성된다. 상부홈(31a)은 대략 'T'자의 단면형상을 가지며 하부로 개방된 홈으로서, 상부재킷(31)의 길이방향을 따라 연장된다. 상부홈(31a)은 후술할 접속유지부재(35)의 상부걸림부(35a)와 연결부(35c)의 일부를 수용 지지하는 홈이다.
하부재킷(33)은 상부재킷(31)과 동일한 사이즈를 갖는 가요성 부재로서 상부로 개방된 하부홈(33a)을 갖는다. 하부홈(33a)은 상부홈(31a)과 일대일 대응하는 홈으로서, 대략 '⊥'자의 단면 형상을 갖는다. 하부홈(33a)은 접속유지부재(35)의 하부걸림부(35b)와 연결부(35c)의 일부를 수용한다.
상기 상부홈(31a)과 하부홈(33a)은 상호 마주한 상태로 유지부재끼움통로(34)를 형성한다. 유지부재끼움통로(34)는 상하부재킷(31,33) 적층체의 양단부를 통해 외부로 개방된다.
한편, 상기 접속유지부재(35)는, 상부재킷(31) 및 하부재킷(33)의 사이에 착탈 가능하게 끼워져, 상부재킷(31)에 대한 하부재킷(33)의 결합을 유지함과 아울러, 상하부재킷의 사이에 무빙케이블(Z)을 수용하는 다수의 케이블수용공간(37)을 제공하는 역할을 한다.
이러한 접속유지부재(35)는, 상부걸림부(35a), 하부걸림부(35b), 연결부(35c)를 갖는다. 상부걸림부(35a)와 연결부(35c)와 하부걸림부(35b)는 일체를 이루며 길이방향으로 일정 단면형상을 갖는다.
특히 접속유지부재(35)는, 적층된 상태의 상하부재킷의 일단부로 개방된 유지부재끼움통로(34)의 내부로 화살표 a방향으로 진입되어 슬라이딩 삽입 장착된다. 말하자면 접속유지부(35)의 일단부를 유지부재끼움통로(34)에 끼운 상태로 밀어 넣는 것이다.
접속유지부재(35)가 유지부재끼움통로(34)에 삽입됨으로써, 접속유지부재(35)의 좌우에 케이블수용공간(37)이 형성된다. 각 케이블수용공간(37)은 이웃 케이블수용공간(37)에 대해 격리되며 그 내부에 무빙케이블(z)을 수용한다. 이와 같이, 케이블수용공간(37)을 나눔으로써, 무빙케이블(z)이 상호 접하지 않아 접촉이나 꼬임 현상이 발생하지 않는다.
접속유지부재(35)는 유지부재끼움통로(34)에 삽입된 상태로 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하다. 따라서, 필요시, 유지부재끼움통로(34)에 삽입되어 있는 접속유지부재(35)를 화살표 b방향으로 인출할 수도 있는 것이다.
상기와 같이, 유지부재끼움통로(34)에 대한 접속유지부재(35)의 장착 및 분리가 가능하므로, 접속유지부재(35)를, 선택된 유지부재끼움통로(34)에 끼워 수용공간(37)의 용적을 변화시킬 수 있다.
가령 도 4a에 도시한 바와 같이, 모든 유지부재끼움통로(34)에 접속유지부재(35)를 끼운 경우 최소의 용적을 갖는 케이블수용공간(37)이 형성된다. 또한, 도 4a의 상태에서 좌측으로부터 세 번째 접속유지부재(35)를 분리하면, 도 4b에 도시한 것처럼 보다 넓은 스페이스의 케이블수용공간(37)을 얻게 된다.
상기와 같은 원리에 기초하여, 접속유지부재(35)를 선택적으로 인출하거나 삽입함으로써, 필요한 용적 및 개수의 케이블수용공간(37)을 형성할 수 있다. 가령, 케이블수용공간(37)이, 도 4c에는 4개, 도 4d에는 3개, 도 4e에는 두 개, 도 4f는 한 개가 구현되어 있다. 이러한 케이블수용공간(37)의 구획은, 상기한 바와 같이, 케이블의 종류나 직경에 따라 적절히 결정된다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치(30)의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시한 보호 및 유지장치의 일 사용 예를 나타내 보인 도면이다.
이하, 상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리키며 그에 관한 반복 설명은 생략하기로 한다.
도시한 바와 같이, 상부재킷(31)의 저면과 하부재킷(33)의 상면에 다수의 돌출부(31b,33b)가 형성되어 있다. 상기 돌출부(31b,33b)는 상호 대응하며, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)이 겹쳐진 상태로 서로에 대해 면접한다.
아울러, 상부재킷(31)의 돌출부(31b)에는 상부홈(31a)이 위치하고, 하부재킷(33)의 돌출부(33b)에는 하부홈(33a)이 형성된다. 상하부홈(31a,33a)이 맞대어진 상태에서 유지부재끼움통로(34)를 제공함은 물론이다.
또한 상기 각 돌출부(31b,33b)의 사이에는 라이너(39)가 고정된다. 라이너(39)는 무빙케이블(z)의 외주면과 접하며 무빙케이블을 감싸는 부재로서, 일정두께를 갖는 시트의 형태를 취한다.
상기한 구성을 갖는 제1실시예에 다른 보호 및 유지장치(30)에 있어서, 상부재킷(31)과 접속유지부재(35)와 하부재킷(33)을 단순히 끼움식으로 조립 결합시킬 수도 있고, 열을 가하여 일체로 융착 시킬 수도 있다.
도 7a는 도 2에 도시한 접속유지부재(35)의 연결방식을 설명하기 위한 측단면도이고, 도 7b는 도 2에 도시한 접속유지부재의 다른 연결방식을 설명하기 위한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 상기 유지부재끼움통로(34)에 삽입되는 접속유지부재(35)를 짧게 구성하고 연결스프링(41)이나 연결실리콘(43)으로 연결시킬 수 있다. 물론 접속유지부재(35)의 길이를, 상부재킷(11)이나 하부재킷(12)과 같은 길이로 제작하여 적용할 수 도 있다.
도 7a는, 다수의 접속유지부재(35)가 연결스프링(41)으로 연결되어 있는 구조이다. 연결스프링(41)은 다수의 접속유지부재(35)를 일직선상으로 연결하는 판스프링으로서 접속유지부재(35)의 간격을 유지시키는 역할을 겸한다.
또한, 연결스프링(41) 자체의 가요성은 접속유지부재(35)의 가요성보다 크다. 즉, 접속유지부재(35) 보다 잘 구부러지는 것이다. 따라서, 접속유지부재(35)의 길이가 길어지고 개수가 작아질수록 전체적인 가요성은 떨어지고, 접속유지부재(35)의 길이가 짧아지고 연결스프링(41)의 개수가 많아질수록 잘 구부러진다. 접속유지부재(35)와 연결스프링(41) 자체의 길이는 필요에 따라 얼마든지 달라질 수 있다.
상기한 연결스프링(41)을 적용함으로써, 상하부재킷(31,33)의 휘어진 부분의 곡률반경이 작아지더라도 원활한 동작이 가능해진다.
도 7b의 접속유지부재(35)의 사이에는 연결실리콘(43)이 적용되어 있다. 연결실리콘(43)은 이웃하는 접속유지부재(35)를 일직선으로 연결하는 것으로서, 외력에 의해 탄성 변형 가능하다. 이와 같이 접속유지부재(35)의 사이에 연결실리콘(43)을 적용함으로써 상하부재킷(31,33)의 휘어진 부분의 곡률반경이 작아지더라도 원활한 동작이 가능해진다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치(30)의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
제2실시예에 따른 보호 및 유지장치(30)는, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)을 연결 고정시키기 위한 별도의 부재가 적용되는 것이 아니라, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)이 자체적으로 결합하는 구조를 갖는다. 가령 상부재킷(31)에 홀딩홈(31c), 하부재킷(33)에 압입돌기(33c)를 형성하여, 압입돌기(33c)를 홀딩홈(31c)에 억지끼움 방식으로 고정시키는 것이다.
도 8을 참조하면, 상부재킷(31)의 저면에 홀딩홈(31c)이 형성되어 있고, 하부재킷(33)의 상면에 압입돌기(33c)가 위치함을 알 수 있다.
상기 홀딩홈(31c)은 상부재킷(31)의 길이방향을 따라 직선으로 연장되며 상호 평행하게 이격되는 선형홈으로서 하부로 개방되어 있다. 또한, 압입돌기(33c)는, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)을 겹친 상태에서 홀딩홈(31c)에 맞추어지는 돌출부로서, 하부재킷(33)의 길이방향을 따라 연장된 형태를 취한다. 홀딩홈(31c)에 압입돌기(33c)를 결합함에 따라, 결합체의 측부에 케이블수용공간(37)이 형성됨은 물론이다.
특히 압입돌기(33c)와 홀딩홈(31c)은 억지끼움방식으로 고정된다. 즉, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)을 겹친 상태로, 상하부재킷을 두께방향으로 가압할 때, 압입돌기(33c)가 홀딩홈(31c)에 압입되어 결합된 상태를 유지하는 것이다. 압입돌기(33c)와 홀딩홈(31c)은, 억지 끼움 하지 않으면 결합되지 않는다. 즉, 필요에 따라 압입돌기(33c)와 홀딩홈(31c)을 벌려놓을 수 있는 것이다.
또한, 압입돌기(33c)와 홀딩홈(31c)의 결합은, 힘을 가하여 해제할 수도 있다. 말하자면, 홀딩홈(31c)으로부터 압입돌기(33c)를 빼낼 수도 있다. 그리고, 홀딩홈(31c)과 압입돌기(33c) 결합체의 좌우에는 상기한 케이블수용공간(37)이 형성된다.
도 9a,9b는 도8에 도시한 보호 및 유지장치(30)의 다른 예를 도시한 일부 단면도이다.
도 9a를 참조하면, 상부재킷(31)의 저면에 압입돌기(31d)가 형성되어 있고, 하부재킷(33)의 상면에 홀딩홈(33d)이 마련되어 있음을 알 수 있다. 상기 홀딩홈(33d)은, 홀딩홈(33d) 내에 압입돌기(31d)가 압입할 때 탄성적으로 벌어졌다가 압입이 완료되는 순간 다시 오므라져 압입돌기를 고정한다.
도 9b의 경우, 압입돌기(31d)의 외주면과 홀딩홈(33d)의 내부에 톱니부가 형성되어 있다. 압입돌기(31d)가 홀딩홈(33d)에 압입됨에 따라 톱니부가 맞물리며 고정된 상태를 유지한다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치의 구조를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 11은 도 10의 C-C선 단면도이다. 또한 도 12는 도 10의 D-D선 단면도이다.
도시한 바와 같이, 제3실시예에 따른 무빙케이블 보호 및 유지장치(30)는, 다수의 관통유지슬릿(31e)이 마련되어 있는 상부재킷(31)과, 삽입돌기(33e)가 형성되어 있는 하부재킷(33)으로 구성된다.
삽입돌기(33e)는 상부재킷(31)에 하부재킷(33)을 겹칠 때 각 관통유지슬릿(31e)에 일대일 대응한다. 또한, 상부재킷(31)과 하부재킷(33)을 겹친 상태로, 상하부재킷(31,33)을 두께 방향으로 가압하면, 삽입돌기(33e)가 관통유지슬릿(31e)에 끼워져 결합 상태가 된다. 반대로, 하부재킷(31)으로부터 하부재킷(33)을 뜯어내면 삽입돌기(33e)가 관통유지슬릿(31e)으로부터 분리된다.
상기 관통유지슬릿(31e)은 일정폭을 가지며 상부재킷(31)의 길이방향으로 연장된 관통구멍이다. 각 관통유지슬릿(31e)의 길이(S)는 삽입돌기(33e)의 길이(T) 보다 길다. 즉, 삽입돌기(33e)가 관통유지슬릿(31e)의 내부에 끼워진 상태로 관통유지슬릿(31e)의 길이방향으로 움직임이 가능한 것이다.
상기 관통유지슬릿(31e)은 상부재킷(31)의 길이방향을 따라 일직선상에 배치되어 하나의 선형슬릿그룹(A,B)을 이룬다. 상기 선형슬릿그룹은 상호 평행하다.
특히 홀수열의 선형슬릿그룹(A) 내의 관통유지슬릿(31e)은 짝수열의 선형슬릿그룹(B) 내의 관통유지슬릿(31e)의 사이에 배치된다. 즉, A그룹과 B그룹의 관통유지슬릿(31e)이 서로에 대해 반피치씩 어긋나 있는 것이다. 이와 같이 반피치씩 어긋나게 위치시킨 이유는, 상부자켓(31)과 하부자켓(33)이 구부러지더라도 서로에 대해 들뜨는 것을 최대한 억제하기 위한 것이다.
상기 삽입돌기(33e)는, 하부재킷(33)의 상면에 형성되어 있는 돌기로서, 목부(33g)와 헤드부(33f)를 갖는다. 목부(33g)는 관통유지슬릿(31e)내에 수용된 상태로 관통유지슬릿(31e)의 길이방향으로 위치이동 가능하다. 또한, 헤드부(33f)는 목부(33g)의 상단에 일체를 이루며 상부재킷(31)의 상부로 돌출된 상태로 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지하는 부분이다.
헤드부(33f)는 상부재킷(31)과 하부재킷(33)을 겹친 상태로 두께 방향으로 가압할 때, 각 관통유지슬릿(31e)을 통과한다. 위에 언급한 바와 같이, 관통유지슬릿(31e)의 길이(S)가 삽입돌기(33e)의 길이(T) 보다 상대적으로 길기 때문에, 헤드부(33f)가 관통유지슬릿(31e)을 벌리며 통과할 수 있는 것이다.
여하튼 상기 구성을 갖는 제3실시예에 따른 보호 및 유지장치(30)는, 각 선형슬릿그룹의 사이가 상기한 케이블수용공간(37)이 된다. 이웃하는 선형슬릿그룹(A,B)의 사이로 무빙케이블이 수용되는 것이다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10:보호 및 유지장치 11:상부재킷 12:하부재킷
13:열융착부 14:공간부 15:라이너
17:수용공간 30:보호 및 유지장치 31:상부재킷
31a:상부홈 31b:돌출부 31c:홀딩홈
31d:압입돌기 31e:관통유지슬릿 33:하부재킷
33a:하부홈 33b:돌출부 33c:압입돌기
33d:홀딩홈 33e:삽입돌기 33f:헤드부
33g:목부 34:유지부재끼움통로 35:접속유지부재
35a:상부걸림부 35b:하부걸림부 35c:연결부
37:케이블수용공간 39:라이너

Claims (5)

  1. 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서,
    상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과;
    상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷과;
    상기 상부재킷 및 하부재킷의 사이에 착탈 가능하게 끼워져, 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지함과 아울러, 상하부재킷의 사이에 상기 무빙케이블을 수용하는 격리된 케이블수용공간을 제공하는 것으로서, 수용되는 무빙케이블의 가닥수나 직경 변화에 대응하는 필요용적의 케이블수용공간을 형성하는 다수의 가요성 접속유지부재를 포함하는 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부재킷 및 하부재킷의 대향면에는, 상하부재킷을 상호 겹쳤을 때 서로 만나, 상기 접속유지부재를 수용할 수 있는 유지부재끼움통로를 형성하는 상부홈 및 하부홈이 각각 형성되어 있고,
    상기 접속유지부재는;
    길이방향으로 일정단면 형상을 가지며, 상기 상부홈에 끼워지는 상부걸림부, 하부홈에 끼워지는 하부걸림부, 상부걸림부와 하부걸림부를 연결하는 연결부를 가지고, 겹쳐진 상태로 상하부재킷의 일단부로 개방된 상기 유지부재끼움통로에 삽입된 상태로 유지부재끼움통로 내부로 슬라이딩 삽입 장착되는 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    접속유지부재는, 하나의 유지부재끼움통로에 다수개가 끼워지며,
    각 접속유지부재는 탄성변형 가능한 연결부를 통해 직렬 연결된 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치.
  4. 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서,
    상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과;
    상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷을 포함하고,
    상기 상부재킷에는,
    상부재킷의 길이방향을 따라 연장되며 상호 평행하게 이격되는 다수의 홀딩홈이 형성되고,
    하부재킷에는,
    상부재킷과 하부재킷을 겹친 상태에서 홀딩홈에 맞추어지고, 상하부재킷을 두께방향으로 가압할 때 각 홀딩홈에 착탈 가능하게 끼워져, 상기 무빙케이블을 격리 수용하는 다수의 케이블수용공간을 형성하는 압입돌기가 마련되며,
    상기 상부재킷의 각 홀딩홈의 사이와, 하부재킷의 각 압입돌기의 사이에는, 무빙케이블의 외주면과 접하는 라이너가 각각 구비된 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치.
  5. 자동화장치의 이동체에 연결되는 다수의 무빙케이블을 수용하여 평행하게 지지하는 것으로서,
    상기 다수의 무빙케이블을 커버할 수 있는 폭을 가지며, 길이방향으로 연장된 띠 형태의 가요성 상부재킷과;
    상기 상부재킷과 동일한 사이즈를 가지고, 상부재킷에 겹쳐진 상태로 상부재킷과의 사이에 다수의 무빙케이블을 수용하는 가요성 하부재킷을 구비하고,
    상기 상부재킷에는,
    상부재킷의 길이방향으로 연장된 형태를 취하며 일직선상에 일정간격으로 이격 배치되는 다수의 관통유지슬릿을 포함한 선형슬릿그룹이 다수열 형성되고,
    상기 하부재킷의 상면에는,
    상부재킷에 하부재킷을 겹칠 때 각 관통유지슬릿에 맞추어지고, 상하부재킷을 두께방향으로 가압할 때 각각의 관통유지슬릿에 끼워져 결합하는 것으로서,
    상기 관통유지슬릿내에 수용된 상태로 관통유지슬릿의 길이방향으로 위치이동 가능한 목부와, 상기 목부의 상단에 일체를 이루며 관통유지슬릿을 완전히 관통하여 상부재킷의 상부로 돌출된 상태로 상부재킷에 대한 하부재킷의 결합을 유지하는 헤드부를 갖는 삽입돌기가 구비된 반도체 제조설비용 무빙케이블 보호 및 유지장치.
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