KR101962681B1 - 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공장 자동화 설비에 관한 것으로서, 상세하게는 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 1차 열교환기에서 냉수로 1차 열교환시킨 다음, 2차 열교환기에서 다시 냉수를 이용하여 일정 온도를 유지시켜 공장 자동화 설비로 공급하도록 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템에 관한 것이다.

Description

공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템{SYSTEM FOR SUPPLYING CONSTANT-TEMPERATURE COMPRESSION AIR FOR FACTORY AUTOMATION FACILITIES}
본 발명은 공장 자동화 설비에 관한 것으로서, 상세하게는 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 1차 열교환기에서 냉수로 1차 열교환시킨 다음, 2차 열교환기에서 다시 냉수를 이용하여 일정 온도를 유지시켜 공장 자동화 설비로 공급하도록 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템에 관한 것이다.
공장 자동화 설비(Plant and Factory Automation)는 철강산업의 압연제어를 비롯하여 화학 공정제어, 광업의 노기제어, 자동차 공업의 주조 및 라인제어, 기계공업의 로봇제어, 발/변전소 제어 상/하수도제어, 하역제어, 빌딩제어, 반도체 제조 설비 제어 등의 전산업 분야의 제어에 적용되고 있다.
이중 반도체 제조 설비는 웨이퍼나 LCD 패널이나 PDP 패널 등 각종 반도체 장치(반도체 소자)는, 통상 이온주입 공정, 막 증착 공정, 확산공정, 사진공정 등과 같은 다수의 공정들을 거쳐 제조된다.
이러한 공정들 중에서, 원하는 패턴을 형성하기 위한 사진공정은 반도체 소자 제조에 필수적으로 요구되는 공정이다.
이러한, 사진공정은 이온주입이 될 부위와 보호될 부위를 선택적으로 정의하기 위해 마스크나 레티클의 패턴을 소자 위에 만드는 것으로 크게, 소자 상에 포토레지스트를 떨어뜨린 후 고속으로 회전시켜 소자 위에 원하는 두께로 입히는 도포공정, 포토레지스트가 도포된 소자와 정해진 마스크를 서로 정렬시킨 후 자외선과 같은 빛이 상기 마스크를 통하여 소자 상의 포토레지스트에 조사되도록 하여 마스크 또는 레티클의 패턴을 소자에 옮기는 노광공정 및 상기 노광공정이 완료된 소자의 포토레지스트를 현상하여 원하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 현상공정 등으로 이루어진다.
또한, 상기 사진공정에는 반도체 소자를 소정 온도하에서 굽는 베이크 공정이 포함된다. 즉, 상기 베이크 공정은 포토레지스트를 도포하기 전에 소자에 흡착된 수분을 제거하기 위한 베이크, 소정의 유기용제 및 포토레지스트의 도포 후에 소프트 베이크, 노광시 자외선의 산란으로 인한 노광 부위의 화학적 구조의 불안정을 회복시키기 위한 노광 후 베이크 등이 있다.
상기와 같이, 반도체 장치를 베이킹하기 위해서는 실질적으로 베이크 챔버 내에서 웨이퍼의 베이크 공정을 진행하는 반도체 제조 설비의 한 형태인 반도체 장치의 가열 장치 및 가열된 웨이퍼를 다시 냉각시키는 반도체 웨이퍼의 냉각장치 등이 널리 사용된다.
이러한, 상기 반도체 장치의 가열장치나 냉각장치 등은 이러한 사진 공정에서만 활용되는 것이 아니라 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐서 웨이퍼나 LCD 패널이나 PDP 패널 등 각종 반도체 장치(반도체 소자)를 가열하거나 냉각시키기 위하여 매우 널리 사용되는 필수적인 설비이고, 이러한 설비들에는 온수, 냉수가 필수적으로 공급된다.
또한, 반도체 제조 설비의 양호한 기능의 반도체 소자를 제조하기 위해서는 공간내의 온도, 습도, 파티클(particle)등이 인위적으로 조절, 관리되는 청정실의 구비가 필수적인 바, 상술한 반도체 제조용 설비는 대부분 이러한 청정실내에 배치되고, 이러한 설비에는 고압을 유지하는 압축공기가 공급된다.
그러나, 이러한 종래의 공장 자동화 설비의 압축공기는 단순히 컴프레셔를 통해 공기를 가압하여 공급하기 때문에 고온의 압축공기를 필요로 하는 곳에 공급하기 위해서는 별도의 가열 장치를 필요로 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 1차 열교환기에서 냉수로 1차 열교환시킨 다음, 2차 열교환기에서 다시 냉수를 이용하여 일정 온도를 유지시켜 공장 자동화 설비로 공급하도록 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 2차 열교환기에서 배출되는 압축공기가 설정 온도보다 높은 경우 2차 열교환기로 바이패스시켜 재냉각시켜 일정 온도로 배출하도록 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템을 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
공장 자동화 설비에 있어서, 외기를 압축시켜 압축공기로 배출하는 컴프레셔와; 상기 컴프레셔에서 배출되는 고온의 압축공기를 저장하고, 상기 공장 자동화 설비로 공급하는 공기 저장 탱크와; 상기 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 냉수를 이용하여 열교환시키는 1차 열교환기와; 상기 1차 열교환기의 압축공기를 전달하는 송풍팬; 및 상기 1차 열교환기로부터 배출되는 1차 냉각된 압축공기를 냉수와 2차 열교환시켜 일정 온도의 압축공기를 배출하는 2차 열교환기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 1차 열교환기는 냉수가 유입되어 배출되는 함체와; 상기 함체 내부에 설치되고, 내부로 고온의 압축공기가 유동되어 냉수와 열교환시켜 고온의 압축공기를 냉각시키는 열교환 코일로 이루어진다.
여기에서 또한, 상기 2차 열교환기는 내부에 냉수가 유입되어 외부로 배출되도록 전단부와 후단부에 각각 냉수 유입구와, 냉수 유출구가 구비되고, 상기 송풍팬을 통해 1차 열교환기의 공기가 유입된 후 열교환되어 배출되도록 양단에 공기 유입구와 공기 유출구가 구비되는 외관과; 상기 외관의 전단부에서 내부에 설치되되, 상기 외관의 공기 유입구와 연통되도록 설치되는 내관과; 상기 외관의 후단부에서 내부에 설치되되, 복수의 채널을 가지도록 설치되는 열교환관; 및 상기 외관의 공기 유입구와 내관, 내관과 열교환관, 열교환관과 외관의 공기 유출구 사이에 각각 설치되어 냉수의 유동을 차단하는 격판으로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 2차 열교환기는 상기 외관의 공기 유출구에서 압축공기 공급라인으로 공급되는 고온의 압축공기를 상기 외관의 후단부로 바이패스 라인을 통해 바이패스시켜 냉수로 2차로 열교환시킨다.
여기에서 또, 상기 1차 열교환기와 2차 열교환기에서 배출되는 온수는 상기 공장 자동화 설비로 공급된다.
여기에서 또, 상기 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템은 상기 압축공기 공급라인과, 바이패스 라인 사이에 설치되어 유로를 가변시키는 3방향 전자 밸브와; 상기 외관의 각각의 냉수 유입구와, 냉수 유출구에 설치되는 비례 제어 밸브와; 상기 1차 열교환기와 2차 열교환기 사이에 설치되는 제 1온도 센서와; 상기 압축공기 공급라인에 설치되는 제 2온도 센서와; 상기 바이패스 라인에 설치되는 제 3온도 센서; 및 상기 제 1온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높거나 낮은 경우 상기 비례 제어 밸브의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량을 제어하고, 상기 제 2온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높은 경우 상기 3방향 전자 밸브의 유로를 가변시켜 상기 바이패스 라인으로 바이패스시켜서 상기 외관의 후단부에서 냉각시키며, 상기 제 3온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도에 따라 상기 비례 제어 밸브의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량을 제어하는 컨트롤러를 더 포함한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템에 따르면, 공장 자동화 설비에 필수적으로 공급되는 온수와, 냉수를 이용하여 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 냉각시켜 일정한 온도로 설비내로 공급함으로써 설비를 안정적으로 운영할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면 2차 열교환기에서 배출되는 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높게 배출되면 이를 다시 2차 열교환기로 바이패스시키고, 2차 열교환기로 공급되는 냉수의 양을 조절하여 압축공기의 일정 온도로 유지시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 1, 2차 열교환기에서 배출되는 열교환된 온수를 공장 자동화 설비로 공급함으로써 에너지를 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 구성을 나타낸 계통도이다.
도 2는 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템중 1차 열교환기의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템중 2차 열교환기의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도이다.
이하, 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 구성을 나타낸 계통도이고, 도 2는 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템중 1차 열교환기의 구성을 나타낸 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템중 2차 열교환기의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템(1)은 컴프레셔(10)와, 공기 저장 탱크(T)와, 1차 열교환기(20)와, 송풍팬(F)과, 2차 열교환기(30)와, 3방향 전자 밸브(V1)와, 비례 제어 밸브(V2)와, 제 1온도 센서(S1)와, 제 2온도 센서(S2)와, 제 3온도 센서(S3) 및 컨트롤러(40)로 이루어진다.
먼저, 컴프레셔(10)는 공장 자동화 설비(A)에 적용되는 통상의 설비로서 외기를 압축시켜 압축공기로 배출한다. 이때, 컴프레셔(10)의 전단에 외기의 이물질과 습기를 제거하는 전처리하는 전처리 설비(미도시)가 구비될 수도 있다.
그리고, 공기 저장 탱크(T)는 버퍼 역할로서, 컴프레셔(10)에서 배출되는 고온의 압축공기를 저장하고, 공장 자동화 설비(A)로 공급한다.
또한, 1차 열교환기(20)는 공장 자동화 설비(A)에서 배출되는 고온의 압축공기를 냉수를 이용하여 열교환시키도록 함체(21)와, 열교환 코일(23)로 구성된다.
함체(21)는 밀폐된 구조로서, 냉수가 유입되어 배출된다. 이때, 함체(21)에서 배출되는 온수는 공장 자동화 설비(A)로 공급되어 사용되는 것이 바람직하다.
열교환 코일(23)은 함체(21) 내부에 설치되고, 내부로 고온의 압축공기가 유동되어 냉수와 열교환시켜 고온의 압축공기를 냉각시킨다.
또, 송풍팬(F)은 1차 열교환기(20)의 압축공기를 가압 전달한다.
이어서, 2차 열교환기(30)는 외관(31)과, 내관(33)과, 열교환관(35) 및 격판(37)으로 이루어진다.
먼저, 외관(31)은 내부에 냉수가 유입되어 외부로 배출되도록 전단부와 후단부에 각각 냉수 유입구(WI)와, 냉수 유출구(WO)가 구비되고, 송풍팬(F)을 통해 1차 열교환기(20)의 공기가 유입된 후 열교환되어 배출되도록 양단에 공기 유입구(AI)와 공기 유출구(AO)가 구비된다.
내관(33)은 외관(31)의 지름보다 작은 지름을 가지며 외관(31)의 전단부에서 내부에 설치되되, 외관(31)의 공기 유입구(AI)와 연통되도록 설치된다.
열교환관(35)은 외관(31)의 후단부에서 내부에 설치되되, 복수의 채널을 가지도록 설치된다. 이때, 각각의 채널은 내관(33)의 지름보다 작은 지름으로 형성되고, 열교환 효율을 증대시키도록 외측면에 길이 방향으로 원판 형태의 열교환핀(35a)이 설치되는 것이 바람직하다.
격판(37)은 외관(31)의 공기 유입구(AI)와 내관(33) 사이, 내관(33)과 열교환관(35) 사이, 열교환관(35)과 외관(31)의 공기 유출구(AO) 사이에 각각 설치되어 냉수의 유동을 차단한다.
한편, 2차 열교환기(30)는 외관(31)의 공기 유출구(AO)에서 압축공기 공급라인(L1)으로 공급되는 고온의 압축공기를 외관(31)의 후단부로 바이패스 라인(L2)을 통해 바이패스시켜 냉수로 2차로 열교환시킨다. 이때, 바이패스 라인(L2)은 외관(31) 내부에서 외관(31)과 열교환관(35) 사이에 코일 형태로 감긴 형태로 설치되어 접촉 면적과 시간을 증대시키도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 2차 열교환기(30)에서 배출되는 온수는 공장 자동화 설비(A)로 공급되는 것이 바람직하다.
계속해서, 3방향 전자 밸브(V1)는 하기에서 설명할 컨트롤러(40)의 제어에 따라 압축공기 공급라인(L1)과, 바이패스 라인(L2) 사이에 설치되어 유로를 가변시킨다.
그리고, 비례 제어 밸브(V2)는 외관(31)의 각각의 냉수 유입구(WI)와, 냉수 유출구(WO)에 설치되어 컨트롤러(40)의 제어에 따라 개폐도가 조절된다.
또한, 제 1온도 센서(S1)는 1차 열교환기(20)와 2차 열교환기(30) 사이에 설치되어 센싱값을 컨트롤러(40)로 전송한다.
또, 제 2온도 센서(S2)는 압축공기 공급라인(L1)에 설치되어 센싱값을 컨트롤러(40)로 전송한다.
또, 제 3온도 센서(S3)는 바이패스 라인(L2)에 설치되어 센싱값을 컨트롤러(40)로 전송한다.
계속해서, 컨트롤러(40)는 제 1온도 센서(S1)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높은 경우 비례 제어 밸브(V2)의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량, 즉 온도가 높은 경우 냉수 유입량을 증대시키고, 온도가 낮은 경우 냉수 유입량이 낮춰지도록 제어하고, 제 2온도 센서(S2)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높은 경우 3방향 전자 밸브(V1)의 유로를 가변시켜 바이패스 라인(L2)으로 바이패스시켜서 외관(31)의 후단부에서 냉각시킨 다음 압축공기 공급라인(L1)으로 재배출하며, 제 3온도 센서(S3)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높거나 낮은 경우 비례 제어 밸브(V2)의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량, 즉 온도가 높은 경우 냉수 유입량을 증대시키고, 온도가 낮은 경우 냉수 유입량이 낮춰지도록 제어한다.
이하, 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도이다.
먼저, 공장 자동화 설비(A)로 압축 공기를 공급하기 위하여 컴프레셔(10)가 동작되어 외기를 압축시켜 공기 저장 탱크(T)에 저장한 다음 공장 자동화 설비(A)로 공급한다.
그리고, 공장 자동화 설비(A)에는 온수와 냉수(상수도)가 각각 별도로 공급된다.
공장 자동화 설비(A)가 동작중 고온의 압축 공기가 배출되면, 이는 송풍팬(F)을 통해 1차 열교환기(20)의 열교환 코일(23)로 공급된다.
그러면, 1차 열교환기(20)의 함체(21)에 채워진 냉수와 열교환 코일(23) 내부의 고온의 압축 공기가 열교환되면서 냉각되어 2차 열교환기(31)로 배출된다.
이때, 컨트롤러(40)는 제 1온도 센서(S1)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높거나 낮은 경우 비례 제어 밸브(V2)의 개폐도를 제어하여 2차 열교환기(30)의 외관(31) 전단부와 후단부로 유입되는 냉수 유입량, 즉 온도가 높은 경우 냉수 유입량을 증대시키고, 온도가 낮은 경우 냉수 유입량이 낮춰지도록 제어한다.
계속해서, 외관(31)의 공기 유입구(AI)로 1차 열교환된 고온의 압축공기가 유입되면, 압축공기는 내관(33)으로 유동되면서 내관(31)의 외측에 채워진 냉수와 열교환되어 냉각된다.
계속해서, 내관(33)에서 냉각된 압축공기는 다시 열교환관(35)을 통해 각기 다른 채널을 유동하면서 냉수와 열교환된다. 이때, 열교환핀(35a)에 의해 열교환 효율이 증대된다.
한편, 컨트롤러(40)는 제 2온도 센서(S2)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도 범위에 있으면, 도 4에 도시된 바와 같이 열교환되어 냉각된 압축공기를 압축공기 공급라인(L1)을 통해 배출하여 다시 공장 자동화 설비(A)로 재공급되도록 한다. 이때, 선택에 따라 압축공기 공급라인(L1)에 컴프레셔(10)보다 작은 용량의 보조 컴프레셔(미도시)를 설치하여 압력을 증대시킬 수도 있다.
반대로, 컨트롤러(40)는 제 2온도 센서(S2)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높으면, 도 5에 도시된 바와 같이 3방향 전자 밸브(V1)의 유로를 가변시켜 바이패스 라인(L2)으로 바이패스시켜서 외관(31)의 후단부에서 냉각시킨 다음 압축공기 공급라인(L1)으로 재배출되도록 한다. 이때, 제 2온도 센서(S2)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 낮으면, 비례 제어 밸브(V2)를 통해 냉수 공급량을 줄이거나 차단하는 것이 바람직하다.
또한, 컨트롤러(40)는 압축공기가 바이패스되면 제 3온도 센서(S3)에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높은 경우 비례 제어 밸브(V2)의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량, 즉 온도가 높은 경우 냉수 유입량을 증대시킨다. 반대로 온도가 낮은 경우 컨트롤러(40)는 3방향 전자 밸브(V1)의 유로를 원위치로 변경하여 압공축공기가 바이패스되는 것을 중지하고, 곧바로 배출시킨다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10 : 컴프레셔 20 : 1차 열교환기
30 : 2차 열교환기 40 : 컨트롤러
F : 송풍팬 S1, S2, S3 : 제 1, 2, 3온도 센서
T : 공기 저장 탱크 V1 : 3방향 전자 밸브
V2 : 비례 제어 밸브

Claims (6)

  1. 공장 자동화 설비에 있어서,
    외기를 압축시켜 압축공기로 배출하는 컴프레셔와;
    상기 컴프레셔에서 배출되는 고온의 압축공기를 저장하고, 상기 공장 자동화 설비로 공급하는 공기 저장 탱크와;
    상기 공장 자동화 설비에서 배출되는 고온의 압축공기를 냉수를 이용하여 열교환시키는 1차 열교환기와;
    상기 1차 열교환기의 압축공기를 전달하는 송풍팬; 및
    상기 1차 열교환기로부터 배출되는 1차 냉각된 압축공기를 냉수와 2차 열교환시켜 일정 온도의 압축공기를 배출하는 2차 열교환기를 포함하되,
    상기 2차 열교환기는,
    내부에 냉수가 유입되어 외부로 배출되도록 전단부와 후단부에 각각 냉수 유입구와, 냉수 유출구가 구비되고, 상기 송풍팬을 통해 1차 열교환기의 공기가 유입된 후 열교환되어 배출되도록 양단에 공기 유입구와 공기 유출구가 구비되는 외관과;
    상기 외관의 전단부에서 내부에 설치되되, 상기 외관의 공기 유입구와 연통되도록 설치되는 내관과;
    상기 외관의 후단부에서 내부에 설치되되, 복수의 채널을 가지도록 설치되는 열교환관; 및
    상기 외관의 공기 유입구와 내관, 내관과 열교환관, 열교환관과 외관의 공기 유출구 사이에 각각 설치되어 냉수의 유동을 차단하는 격판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 1차 열교환기는,
    냉수가 유입되어 배출되는 함체와;
    상기 함체 내부에 설치되고, 내부로 고온의 압축공기가 유동되어 냉수와 열교환시켜 고온의 압축공기를 냉각시키는 열교환 코일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 2차 열교환기는,
    상기 외관의 공기 유출구에서 압축공기 공급라인으로 공급되는 고온의 압축공기를 상기 외관의 후단부로 바이패스 라인을 통해 바이패스시켜 냉수로 2차로 열교환시키는 것을 특징으로 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 1차 열교환기와 2차 열교환기에서 배출되는 온수는,
    상기 공장 자동화 설비로 공급되는 것을 특징으로 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템은,
    상기 압축공기 공급라인과, 바이패스 라인 사이에 설치되어 유로를 가변시키는 3방향 전자 밸브와;
    상기 외관의 각각의 냉수 유입구와, 냉수 유출구에 설치되는 비례 제어 밸브와;
    상기 1차 열교환기와 2차 열교환기 사이에 설치되는 제 1온도 센서와;
    상기 압축공기 공급라인에 설치되는 제 2온도 센서와;
    상기 바이패스 라인에 설치되는 제 3온도 센서; 및
    상기 제 1온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높거나 낮은 경우 상기 비례 제어 밸브의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량을 제어하고, 상기 제 2온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도가 설정 온도보다 높은 경우 상기 3방향 전자 밸브의 유로를 가변시켜 상기 바이패스 라인으로 바이패스시켜서 상기 외관의 후단부에서 냉각시키며, 상기 제 3온도 센서에서 센싱된 압축공기의 온도에 따라 상기 비례 제어 밸브의 개폐도를 제어하여 냉수 유입량을 제어하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공장 자동화 설비용 항온 압축공기 공급시스템.
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