KR101958717B1 - 재사용이 가능한 누설감지센서 - Google Patents

Abstract

본 발명은 재사용이 가능한 누설감지센서에 관한 것으로, 매우 간단한 구조에 의해 화학용액의 누설을 감지하고, 또한 재사용이 가능하도록 한 누설감지센서를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위해 본 발명은 테프론 필름으로 형성되는 베이스 기재(130); 상기 베이스 기재(100) 상에 형성되며, 도전성 불소계 합성수지로서 간격을 두고 나란히 형성되는 한 쌍의 도전라인(131,132); 상기 도전라인(131,132)을 각각 외부의 케이블(150)과 전기적으로 연결시키는 커넥터(111); 상기 베이스 기재(130)를 상부면에 부착시키는 플레이트(120); 상기 커넥터(111) 및 그 커넥터(111)와 연결되는 베이스 기재(130)의 도전라인(131,132)을 내측으로 수용하는 단자부(110);로 구성되며, 상기 플레이트(120)와 단자부(110)는 몰드 성형에 의해 일체로 형성된다.

Description

재사용이 가능한 누설감지센서{Reusable leak detection sensor}

본 발명은 누설감지센서에 관한 것으로, 특히 누설되는 각종 화학용액을 감지하면서도 여러 번 재사용이 가능하도록 한 누설감지센서에 관한 것이다.

반도체 제조 공정 중에 사용되는 각종 약액 즉, 세정액, 감광액, 현상액, 식각액 등의 화학용액이 외부로 누설되는 경우에 환경오염은 물론 인체에도 치명적일 수 있으므로, 누설되는 상태를 빠르게 감지하여야 한다.

이를 위해 등록특허 제10-1505439호에서는 '누설 감지 센서'의 구조를 제안하였으며, 이를 도1을 참조하여 설명한다.

판상의 구조룰로 된 베이스 층(10)의 상부면에 불소계 수지와 도전성 재료를 혼합하여 센서층(200)을 형성하며, 이러한 센서층(200)은 (+)도선(210)과 (-)도선(220)이 서로 지그재그 형상으로 교번적으로 배열된다.

베이스 층(10)의 테두리 부분이 외부로 노출되지 않도록 베이스 층(10)의 테두리 부분에 보호 부재(300)를 형성하게 되는데, 이러한 보호 부재(300)는 베이스 층(10)의 테두리에 고온으로 소성하거나, 용접 또는 접착하여 베이스 층(10)의 테두리에 구비된다.

또한, 센서 층(200)에 전류를 인가하는 단자들(211,221)을 밀봉하는 방수 하우징(400)이 베이스 층(10)에 용착되어 형성되며, 이 방수 하우징(400)은 외부의 전원과 연결된 전선을 통해 전류가 인가되는 단자들(211,221)이 외부로부터 침입하는 액체에 의해 쇼트되는 것을 방지하도록 단자들(211,221)을 밀봉한다.

구체적으로, 방수 하우징(400)은 베이스 층(10)의 하부에 용착되는 하부 부재(410), 베이스 층(100)의 상부에 용착되는 하부 부재(420)를 포함하고, 이 상부 부재(410)와 하부 부재(420)는 서로 대응되는 위치에서 베이스 층(10)에 용착되어 베이스 층(10)의 단자들(211,221)이 외부로 노출되지 않게 밀봉한다.

또한, 방수 하우징(400)은 상부 부재(410)와 베이스 층(10) 사이에서 센서 층(200)의 단자들(211, 221) 주변에 설치되는 오링(430)을 구비한다.

이 오링(430)은 센서 층(200)의 단자들(211, 221)을 각각 측방향으로 둘러싸도록 베이스 층(100)과 상부 부재(410) 사이에 설치된다.

방수 하우징(400)은 오링(430)에 의해 측면이 둘러싸인 센서 층(200)의 단자들(211, 221)의 상부에 위치되는 접속 부재(440) 및 상부 부재(410)의 상단에 구비되는 뚜껑 부재(450)를 구비한다.

접속 부재(440)는 일단이 상부 부재(410)를 관통하고 타단이 오링(430)의 형상과 대응되는 형상으로 형성된다.

구체적으로 접속 부재(440)는 상부 부재(410)의 접속 구멍(411)에 삽입되어 상부 부재(410) 내부에서 전선(10)과 연결되는 수직 봉(441) 및 오링(430) 안에 위치된 단자(211, 221)를 덮는 접속 판(442)으로 이루어진다.

따라서, 외부의 전원으로부터 공급되는 전류는 전선(10), 수직 봉(441), 접속 판(442)을 거쳐 단자들(211, 221)에 인가된다.

그리고, 뚜껑 부재(450)는 상부 부재(410)의 개방된 상면에 착탈 가능하게 구비된다.

따라서, 센서층(200)에 전도성의 화학 약액이 적하되면, (+)도선(210)과 (-)도선(220)이 서로 도전되어 누설을 감지하게 된다.

그런데, 이와 같은 종래의 누설 감지 센서는 그 구조가 매우 복잡하고. 이로 인해 제조원가가 상승하는 문제점이 있다.

이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 주된 목적은, 매우 간단한 구조에 의해 화학용액의 누설을 감지하고, 또한 재사용이 가능하도록 한 누설감지센서를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 재사용이 가능한 누설감지센서는

테프론 필름으로 형성되는 베이스 기재;

상기 베이스 기재 상에 형성되며, 도전성 불소계 합성수지로서 간격을 두고 나란히 형성되는 한 쌍의 도전라인;

상기 도전라인을 각각 외부의 케이블과 전기적으로 연결시키는 커넥터;

상기 베이스 기재를 상부면에 부착시키는 플레이트;

상기 커넥터 및 그 커넥터와 연결되는 베이스 기재의 도전라인을 내측으로 수용하는 단자부;로 구성되며,

상기 플레이트와 단자부는 몰드 성형에 의해 일체로 형성된다.

상기 플레이트와 단자부는 테프론 재질에 의해 형성되고, 상기 플레이트와 단자부의 하부면에는 자성체가 구비된다.

본 발명에 따른 재사용이 가능한 누설감지센서는 매우 단순한 구조에 의해 화학용액의 누설을 감지하는 구조로서, 제조가 매우 쉽고, 또한 제조원가도 저렴한 장점이 있다.

도1은 종래의 누설 감지 센서의 구조를 보인 도.
도2는 본 발명에 의한 누설 감지 센서의 구조를 보인 도.
도3은 본 발명의 단면 구조를 보인 도.

본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2 내지 도3은 본 발명에 의한 누설 감지 센서의 구조를 보인 도로서, 플레이트(120)의 상부면에 한 쌍의 도전라인(131,132)이 서로 간격을 두고 길이방향으로 형성된 베이스 기재(130)가 부착되는데, 이러한 베이스 기재(130)는 산이나 알칼리 성분에 강한 테프론 필름 재질을 사용하게 된다.

상기 베이스 기재(130)의 상부면에는 누설되는 액체 즉, 물, 산성 용액, 알칼리 용액 등을 검출하기 위하여 도전성 불소계 합성수지에 의해 도전라인(131,132)이 형성되는데, 이러한 한 쌍의 도전라인(131,132)은 서로 간격을 두고 나란히 형성되며, 이러한 도전라인(131,132)은 도전성 불소계 수지로 형성된다.

상기 베이스 기재(130)의 크기는 폭 2~3cm, 길이 4~5cm 이며, 그 길이방향의 후측부위는 단자부(110)의 내측으로 수용된다.

또한, 도전라인(131,132)은 폭이 3~5mm, 간격 또한 3~5mm 정도이다.

이때 단자부(110)의 내측에는 도전라인(131,132)을 각각 외부와 연결되는 케이블(150)에 전기적으로 연결시키기 위하여 도전라인(131,132)과 대응되도록 한 쌍의 커넥터(111)가 구비되어 있는데, 이러한 커넥터(111)는 도전라인(131,132)이 형성된 부위에서 베이스 기재(130)를 핀 형태로 관통하는 구조이다.

이러한 플레이트(120)와 단자부(110)는 몰드 금형에 의해 일체로 성형되는데, 이를 위해 베이스 기재(130)의 도전라인(131,132)에 케이블(150)이 연결된 커넥터(111)를 각각 연결시킨 다음, 몰드 금형에 투입하여 인서트 몰딩하면 된다.

베이스 기재(130)는 인서트 몰딩할 때 플레이트(120)의 상부면에 부착되며, 커넥터(111)는 인서트 몰딩에 의해 자연스럽게 방수가 이루어진다.

베이스 기재(130)를 플레이트(120)의 상부면에 안정적으로 고정시키기 위하여 베이스 기재(130)의 가장자리 부분 상측 즉, 도전라인(131,132)이 형성된 이외의 부분의 상측까지 플레이트(120)의 몰드 성형부분이 연장되도록 연장부위(121)를 형성할 수 있다.

한편, 플레이트(120)와 단자부(110)의 하부면에는 자성체(140)가 더 구비되는데, 이러한 자성체(140)에 의해 금속 부위에 쉽게 부착시켜 고정시킬 수 있다.

통상의 화학 용액을 저장하는 탱크의 하측에는 누설되는 화학 용액을 모으기 위하여 가운데 부분으로 갈수록 경사진 금속재질의 집수판이 위치하는데, 이러한 집수판의 가운데 부분에 본 발명을 자성체(140)에 의해 부착시킴으로써 안정적이게 고정시킬 수 있다.

따라서, 화학용액이 누설되어 베이스 기재(130)의 상부에 적하되면, 두 도전라인(131,132)이 통전되어 누설이 감지되는 것이다.

이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시예일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.

110 : 단자부
111 : 커넥터
120 : 플레이트
130 : 베이스 기재
131,132 : 도전라인
140 : 자성체

Claims (3)

1. 테프론 필름으로 형성되는 베이스 기재(130);
   상기 베이스 기재(100) 상에 형성되며, 도전성 불소계 합성수지로서 간격을 두고 나란히 형성되는 한 쌍의 도전라인(131,132);
   상기 도전라인(131,132)을 각각 외부의 케이블(150)과 전기적으로 연결시키는 커넥터(111);
   상기 베이스 기재(130)를 상부면에 부착시키는 테프론 재질의 플레이트(120);
   상기 커넥터(111) 및 그 커넥터(111)와 연결되는 베이스 기재(130)의 도전라인(131,132)을 내측으로 수용하는 단자부(110);로 구성되며,
   상기 플레이트(120)와 단자부(110)는 몰드 성형에 의해 일체로 형성되되,
   상기 베이스 기재(130)를 플레이트(120)의 상부면에 안정적으로 고정시키기 위하여 상기 베이스 기재(130)의 도전라인(131,132)이 형성된 이외의 부분의 상측까지 플레이트(120)의 몰드 성형부분이 연장되도록 연장부위(121)가 형성되고,
   상기 플레이트(120)와 단자부(110)의 하부면에는 자성체(140)가 구비된 것을 특징으로 하는 재사용이 가능한 누설감지센서.
2. 삭제
3. 삭제

Images