KR101952521B1 - 성막장치, 성막방법, 및 전자 디바이스 제조방법 - Google Patents

성막장치, 성막방법, 및 전자 디바이스 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 성막장치는 증착공정이 이루어지는 공간을 정의하는 진공챔버, 상기 진공챔버 내에 설치되며, 기판을 보유지지하여 반송하기 위한 기판 보유지지 유닛, 상기 진공챔버 내에 상기 기판 보유지지 유닛의 기판지지부상에 설치되며, 기판을 냉각시키기 위한 냉각판, 상기 진공챔버의 제1 외부면상에 설치되며, 상기 기판 보유지지유닛을 제1방향 및 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 이동시키거나 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향을 축으로 한 회전 방향으로 회전시키기 위한 얼라인먼트 스테이지, 및 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 얼라인먼트 스테이지로부터 분리되어 독립적으로 설치되며, 상기 냉각판을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 냉각판 제3방향 구동기구를 포함한다.

Description

성막장치, 성막방법, 및 전자 디바이스 제조방법 {FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은 성막장치 및 성막방법에 관한 것으로, 냉각판/마그넷판의 구동기구를 얼라인먼트 스테이지로부터 분리하여 독립시킨 구조를 가지는 성막장치 및 이를 이용한 성막방법에 관한 것이다.
최근 평판 표시 장치로서 유기 EL 표시 장치가 각광을 받고 있다. 유기 EL 표시장치는 자발광 디스플레이로서, 응답 속도, 시야각, 박형화 등의 특성이 액정 패널 디스플레이보다 우수하여, 모니터, 텔레비전, 스마트폰으로 대표되는 각종 휴대 단말 등에서 기존의 액정 패널 디스플레이를 빠르게 대체하고 있다. 또한, 자동차용 디스플레이 등으로도 그 응용분야를 넓혀가고 있다.
유기 EL 표시장치의 소자는 2개의 마주보는 전극(캐소드 전극, 애노드 전극) 사이에 발광을 일으키는 유기물 층이 형성된 기본 구조를 가진다. 유기 EL 표시 장치 소자의 유기물층 및 전극 금속층은 진공 챔버 내에서 화소 패턴이 형성된 마스크를 통해 기판에 증착물질을 증착시킴으로써 제조되는데, 마스크상의 화소 패턴을 높은 정밀도로 기판상으로 전사하기 위해서는, 기판에의 증착이 이루어지기 전에 마스크와 기판의 상대적 위치를 높은 정밀도로 조정해야 한다.
이를 위해, 기판을 보유지지하는 기판 보유지지 유닛이 탑재된 얼라인먼트 스테이지를 구동하여, 기판 보유지지 유닛상에 보유지지된 기판을 마스크 대(台) 상의 마스크에 대해 위치조정하는 얼라인먼트 공정을 수행한다. 그런데, 종래의 얼라인먼트 스테이지 상에는, 기판 보유지지 유닛의 승강기구 이외에 냉각판/마그넷판의 승강기구도 함께 탑재되기 때문에, 기판 보유지지 유닛상의 기판의 위치를 마스크 대 상의 마스크의 위치에 대해 조정하기 위해 얼라인먼트 스테이지를 X방향 또는 Y방향으로 이동하거나 θ방향으로 회전시키면, 기판뿐만 아니라 냉각판/마그넷판도 함께 이동 및/또는 회전하게 된다.
반송로봇에 의해 기판이 성막장치내로 반입되는 과정에서, 기판이 반송로봇의 핸드상에서 움직여, 반송로봇의 핸드상에서의 기판의 위치가 정해진 위치에서 벗어나는 경우가 있다. 이 경우, 반송로봇의 핸드로부터 기판을 수취한 기판 보유지지 유닛상에서의 기판의 위치도 반송로봇에 의한 기판의 반송오차로 인해 정해진 위치에서 벗어나게 된다.
이러한 반송로봇에 의한 기판의 반송오차에 기인한 기판의 마스크에 대한 위치어긋남은 기판 보유지지 유닛이 연결된 얼라인먼트 스테이지를 XYθ 방향으로 구동시킴으로써 보정한다. 예컨대, 반송로봇의 문제로 기판이 정해진 위치보다 Z축을 중심으로 5°만큼 회전한 상태로 기판 보유지지 유닛상에 놓이게 되면(즉, 기판 보유지지 유닛상의 기판과 마스크 대 상의 마스크가 Z축을 중심으로 5°만큼 어긋나게 되면), 기판 보유지지 유닛이 연결된 얼라인먼트 스테이지를 5°만큼 반대방향으로 회전시킴으로써, 마스크 대 상의 마스크에 대한 기판의 위치 어긋남을 보정한다.
그런데, 얼라인먼트 스테이지상에는 냉각판/마그넷판 승강기구가 기판 보유지지 유닛 승강기구와 함께 설치되기 때문에, 기판의 위치보정을 위해 얼라인먼트 스테이지를 반대방향으로 5°만큼 회전시키면, 냉각판/마그넷판도 마찬가지로 5°만큼 반대방향으로 회전을 하게 된다. 따라서, 얼라인먼트 스테이지의 구동에 의해, 기판의 반송오차로 인한 기판과 마스크간의 위치 어긋남은 해소가능하지만, 냉각판/마그넷판과 기판의 위치어긋남이나 냉각판/마그넷판과 마스크 간의 위치 어긋남이 남게 된다.
더구나, 이러한 반송로봇에 의한 기판의 반송오차의 정도는 반송로봇의 반송 동작시마다 다르기 때문에, 냉각판/마그넷판과 기판간의 위치 어긋남, 냉각판/마그넷판과 마스크간의 위치 어긋남의 정도에 편차가 생긴다. 이는 성막시에 접촉하는 냉각판과 기판 사이의 최종적인 위치 결정 정밀도를 악화시키며(이는 기판에 대한 냉각판의 냉각작용에 편차를 가져온다), 마그넷판에 의해 밀착되는 기판과 마스크의 밀착상태에 편차를 초래한다.
이러한 기판의 반송오차에 의한 냉각판/마그넷판과 기판/마스크 간의 위치어긋남 및 그 위치 어긋남량의 편차는 성막 불량, 성막위치 어긋남 등, 제품 불량이나 수율 저하 등의 문제를 일으킨다.
본 발명은, 반송로봇에 의한 기판의 반송오차가 발생하는 경우에도 냉각판/마그넷판과 기판/마스크간의 위치어긋남이 발생하지 않도록 하기 위한 성막장치, 성막방법, 전자디바이스 제조방법을 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 따른 성막장치는 증착공정이 이루어지는 공간을 정의하는 진공챔버, 상기 진공챔버 내에 설치되며, 기판을 보유지지하여 반송하기 위한 기판 보유지지 유닛, 상기 진공챔버 내에 상기 기판 보유지지 유닛의 기판지지부상에 설치되며, 기판을 냉각시키기 위한 냉각판, 상기 진공챔버의 제1 외부면상에 설치되며, 상기 기판 보유지지유닛을 제1방향 및 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 이동시키거나 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향을 축으로 한 회전 방향으로 회전시키기 위한 얼라인먼트 스테이지, 및 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 얼라인먼트 스테이지로부터 분리되어 독립적으로 설치되며, 상기 냉각판을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 냉각판 제3방향 구동기구를 포함한다.
본 발명의 다른 일 양태에 따른 성막방법은 본 발명의 일 양태에 따른 성막장치의 진공챔버내로 반입된 마스크를 마스크 보유지지 유닛에 재치하는 단계, 상기 마스크 보유지지 유닛에 재치된 상태의 마스크를 냉각판에 대해 제1 방향, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3방향을 축으로 한 회전방향으로 위치조정하는 마스크 얼라인먼트 단계, 위치 조정된 마스크를 상기 진공챔버에 고정된 마스크 대 상에 재치하는 단계, 상기 성막장치의 상기 진공챔버내로 기판을 반입하여 기판 보유지지 유닛에 재치하는 단계, 상기 기판 보유지지 유닛에 재치된 기판을 상기 마스크 대 상에 재치된 상태의 마스크에 대해 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로 위치 조정하는 기판 얼라인먼트 단계, 상기 마스크 대 상에 재치된 상태의 마스크에 대하여 위치조정된 기판을 마스크상에 재치하는 단계, 냉각판 및 마그넷판을 상기 제3방향으로 이동시켜 기판상에 접촉시키는 단계, 마스크를 통해 기판상에 증착재료를 성막하는 단계, 기판을 성막장치의 진공챔버로부터 반출하는 단계, 및 사용완료된 마스크를 진공챔버로부터 반출하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 일 양태에 따른 전자 디바이스 제조방법은, 본 발명의 다른 일 양태에 따른 성막방법을 사용하여 전자 디바이스를 제조한다.
본 발명에 의하면, 냉각판/마그넷판 승강기구를 얼라인먼트 스테이지로부터 분리하여 독립시킴으로써, 반송로봇에 의한 기판의 반송오차의 보정을 위해 얼라인먼트 스테이지를 XYθ 방향으로 이동시켜도, 냉각판 및 마그넷판은 XYθ 방향으로 이동하지 않게 된다. 이에 따라, 얼라인먼트 스테이지의 XYθ 이동으로 인해 냉각판/마그넷과 마스크간의 상대적인 위치 어긋남이 생기는 것을 방지할 수 있으며, 성막 불량에 의한 제품 불량을 저감할 수 있다.
도 1은 유기 EL 표시 장치의 제조 라인의 일부의 모식도이다.
도 2는 성막장치의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 4는 마스크 얼라인먼트를 설명하기 위한 모식도이다
도 5는 유기 EL 표시장치의 전체도 및 유기 EL 표시장치의 소자의 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태 및 실시예를 설명한다. 다만, 이하의 실시형태 및 실시예는 본 발명의 바람직한 구성을 예시적으로 나타내는 것일 뿐이며, 본 발명의 범위는 이들 구성에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 장치의 하드웨어 구성 및 소프트웨어 구성, 처리 흐름, 제조조건, 크기, 재질, 형상 등은, 특히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 이것으로 한정하려는 취지인 것은 아니다.
본 발명은, 평행 평판의 기판의 표면에 진공 증착에 의해 소망하는 패턴의 박막(재료층)을 형성하는 장치에 바람직하게 적용할 수 있다. 기판의 재료로는 유리, 고분자재료의 필름, 금속 등의 임의의 재료를 선택할 수 있고, 또한 증착 재료로서도 유기 재료, 금속성 재료(금속, 금속 산화물 등) 등의 임의의 재료를 선택할 수 있다. 본 발명의 기술은, 구체적으로는, 유기 전자 디바이스(예를 들면, 유기 EL 표시장치, 박막 태양 전지), 광학 부재 등의 제조 장치에 적용 가능하다. 그 중에서도, 유기 EL 표시장치의 제조 장치에서 증착재료를 증발시켜 유기 EL 표시 소자를 형성함에 있어서, 본 발명은 바람직한 적용예의 하나이다.
<전자 디바이스 제조 라인>
도 1는 전자 디바이스의 제조 라인의 구성의 일부를 모식적으로 도시한 평면도이다. 도 1는 제조 라인은 예를 들면 스마트폰 용의 유기 EL 표시장치의 표시 패널의 제조에 이용된다. 스마트폰 용의 표시 패널의 경우, 예를 들면 약 1800 ㎜ × 약 1500 ㎜의 사이즈의 기판에 유기 EL의 성막을 행한 후, 해당 기판을 다이싱하여 복수의 작은 사이즈의 패널이 제작된다.
전자 디바이스의 제조 라인은 일반적으로 도 1에 도시한 바와 같이, 복수의 성막실(11, 12)과 반송실(13)을 구비한다. 반송실(13) 내에는 기판(10)을 보유지지하고 반송하는 반송 로봇(14)이 설치되어 있다. 반송 로봇(14)은 예를 들면 다관절 암에, 기판(10)을 보유지지하는 로봇 핸드가 장착된 구조를 갖는 로봇으로서, 각 성막실로의 기판(10)의 반입/반출을 수행한다.
각 성막실(11, 12)에는 각각 성막 장치(증착 장치라고도 부름)가 설치되어 있다. 반송 로봇(14)과의 기판(10)의 전달, 기판(10)과 마스크의 상대 위치의 조정(얼라인먼트), 마스크 상으로의 기판(10)의 고정, 성막(증착) 등의 일련의 성막 프로세스는, 성막 장치에 의해 자동적으로 행해진다.
이하, 성막실의 성막 장치의 구성에 대하여 설명한다.
<성막 장치>
도 2는 성막 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 이하의 설명에 있어서는, 연직 방향을 Z 방향으로 하는 XYZ 직교 좌표계를 사용한다. 성막 시에 기판이 수평면(XY 평면)과 평행하게 되도록 고정된다고 가정할 때, 기판의 짧은 길이 방향(단변에 평행한 방향)을 X 방향(제1 방향), 긴 길이 방향(장변에 평행한 방향)을 Y 방향(제2 방향)으로 한다. 또 Z 축 주위의 회전각을 θ(회전 방향)로 표시한다.
성막 장치(2)는 성막공정이 이루어지는 공간을 정의하는 진공 챔버(20)를 구비한다. 진공 챔버(20)의 내부는 진공 분위기이거나 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지된다.
성막 장치(2)의 진공챔버(20) 내부의 상부에는, 기판을 보유지지하며 반송하는 기판 보유지지 유닛(21), 마스크를 보유지지하며 반송하는 마스크 보유지지 유닛(22), 기판을 냉각시키기 위한 냉각판(23), 금속재질의 마스크에 자력을 인가하기 위한 마그넷판(24), 위치 조정된 마스크를 올려 놓는 마스크 대(25) 등이 설치되며, 성막장치의 진공챔버(20) 내부의 하부에는 증착재료가 수납되는 증착원(26) 등이 설치된다.
기판 보유지지 유닛(21)은 반송실(13)의 반송 로봇(14)으로부터 수취한 기판(10)을 보유지지 및 반송하는 수단으로, 기판 홀더라고도 부른다.
마스크 보유지지 유닛(22)은 성막장치(2)의 진공챔버(20)내로 반입된 마스크를 마스크 대(25)상에 재치할 때까지 마스크를 보유지지 및 반송하는 수단이다.
기판 보유지지 유닛(21)의 아래에는 진공챔버(20)에 고정된 틀 형상의 마스크 대(25)가 설치되며, 마스크 대(25)에는 기판(10) 상에 형성될 박막 패턴에 대응하는 개구 패턴을 갖는 마스크(251)가 놓여진다. 스마트폰용 유기 EL 소자를 제조하는데 사용되는 마스크는 미세한 개구패턴이 형성된 금속성 마스크로서, FMM(Fine Metal Mask)라고도 부른다.
냉각판(23)은 기판 보유지지 유닛(21)의 지지부 상방에 설치되며, 성막 시에 기판(10)의 마스크(251)와는 반대 측의 면)에 밀착되어 성막시의 기판(10)의 온도 상승을 억제함으로써 유기 재료의 변질이나 열화를 억제하는 역할을 하는 판형 부재이다.
냉각판(23) 위에는 금속성 마스크(251)에 자력을 인가하여 마스크의 처짐을 방지하고 마스크(251)와 기판(10)을 밀착시키기 위한 마그넷판(24)이 설치된다. 마그넷판(24)은 영구자석 또는 전자석으로 이루어질 수 있으며, 복수의 모듈로 구획될 수 있다. 또한, 마그넷판(24)은 냉각판(23)과 일체로 형성될 수도 있다.
증착원(26)은 기판에 성막될 증착 재료가 수납되는 도가니(미도시), 도가니를 가열하기 위한 히터(미도시), 증착원으로부터의 증발 레이트가 일정해질 때까지 증착 재료가 기판으로 비산하는 것을 막는 셔터(미도시) 등을 포함한다. 증착원(26)은 점(point) 증착원, 선형(linear) 증착원, 리볼버 증착원 등 용도에 따라 다양한 구성을 가질 수 있다.
도 2에 도시되지 않았으나, 성막장치(2)는 기판에 증착된 막두께를 측정하기 위한 막두께 모니터(미도시) 및 막두께 산출 유닛(미도시)를 포함한다.
성막장치(2)의 진공챔버(20)의 외부 상면에는, 기판 보유지지 유닛(21), 마스크 보유지지 유닛(22), 냉각판(23)/마그넷판(24) 등을 연직방향(Z방향, 제3방향)으로 승강시키기 위한 승강기구, 및 기판의 마스크에 대한 얼라인먼트 또는 마스크의 냉각판/마그넷판에 대한 얼라인먼트를 위해 수평면에 평행하게(X방향, Y방향, θ 방향으로) 기판보유지지 유닛(21) 및/또는 마스크 보유지지 유닛(22)을 이동시키기 위한 구동기구(얼라인먼트 스테이지) 등이 설치된다.
본 발명에 있어서는, 도 3을 참조하여 후술하는 바와 같이, 냉각판(23) 및 마그넷판(24)을 Z방향으로 승강시키기 위한 승강기구를 기판 보유지지 유닛(21)을 XYθ 방향으로 이동시키기 위한 얼라인먼트 스테이지로부터 분리/독립 시킴으로써, 얼라인먼트 스테이지의 XYθ 이동에 의해 이에 연결된 기판 보유지지 유닛(21)이 XYθ 이동을 하는 경우에도 냉각판/마그넷판 승강기구는 XYθ 이동을 하지 않고 XYθ 방향으로 고정되도록 한다.
또한, 본 발명의 성막장치(2)는 마스크와 기판의 얼라인먼트를 위해 진공챔버(20)의 천장에 설치된 창을 통해 기판 및 마스크에 형성된 얼라인먼트 마크를 촬영하는 얼라인먼트용 카메라(미도시)도 설치된다.
이하 본 발명의 성막장치에서 이루어지는 성막 프로세스의 각 단계를 설명한다.
우선, 성막장치의 진공챔버(20)내로 새로운 마스크가 반입되어, 마스크 보유지지 유닛(22)상에 재치되면, 마스크 보유지지 유닛(22)에 놓여진 마스크의 위치를 냉각판(23)의 위치에 대해 조정하는 마스크 얼라인먼트 공정이 이루어진다. 냉각판(23)에 대하여 위치조정된 마스크는 마스크 보유지지 유닛(22)에 의해 하강하여 마스크 대(25)상에 놓여진다.
반송실(13)의 반송 로봇(14)에 의해 기판이 진공챔버(20)내로 반입되어 기판보유지지 유닛(21)에 놓여진다. 이어서, 기판(10)과 마스크(251)의 상대적 위치의 측정 및 조정을 행하는 기판 얼라인먼트 공정이 이루어진다. 기판 얼라인먼트 공정이 완료되면, 기판 보유지지 유닛(21)이 승강기구에 의해 하강하여 기판(10)을 마스크(251)상에 놓으며, 그 후에 냉각판(23)과 마그넷판(24)이 승강기구에 의해 하강함으로써 기판(10)과 마스크(251)를 밀착시킨다.
이 상태에서, 증착원(26)의 셔터가 열려 증착원(26)의 도가니로부터 증발된 증착재료가 마스크의 미세 패턴 개구를 통해 기판에 증착된다.
기판에 증착된 증착재료의 막두께가 소정의 두께에 도달하면, 증착원(26)의 셔터를 닫고, 그 후, 반송로봇(14)이 기판을 진공챔버(20)로부터 반송실(13)로 반출한다. 소정의 매수의 기판에 대하여 기판 반입으로부터 기판 반출까지의 공정을 반복하여 행한 후, 증착재료가 퇴적되어 더 이상 쓸 수 없게 된 마스크를 성막장치로부터 반출하고, 새로운 마스크를 성막장치로 반입한다.
<얼라인먼트 스테이지>
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 얼라인먼트 스테이지(30)의 구성을 설명한다.
진공 챔버(20)의 외부 상면(제1 외부면)에는, 기판(10)의 마스크에 대한 위치조정 및 마스크의 냉각판/마그넷판에 대한 위치조정을 위해 기판 보유지지 유닛(21) 및 마스크 보유지지 유닛(22)을 XYθ 방향으로 이동시키기 위한 얼라인먼트 스테이지(30), 기판 보유지지 유닛(21)을 Z축 방향으로 승강시키기 위한 기판 Z축 승강기구(31, 기판 제3 방향 구동기구), 및 냉각판(23) 및/또는 마그넷판(24)을 Z축 방향으로 승강시키기 위한 냉각판 Z축 승강기구(32, 냉각판 제3방향 구동기구), 마스크(251)를 Z축 방향으로 승강시키기 위한 마스크 Z축 승강기구(33, 마스크 제3방향 구동기구)가 설치된다.
얼라인먼트 스테이지(30)는 진공챔버의 외부 상면에 고정된 얼라인먼트 스테이지 구동용 모터(301, 제1 모터)로부터 리니어 가이드(제1 구동력 전달기구)를 통해 XYθ 방향으로의 구동력을 받는다. 즉, 진공챔버 외측 상면에 가이드 레일(미도시)이 고정되어 설치되고, 가이드 레일상에 리니어 블록이 이동가능하게 설치된다. 리니어 블록상에 얼라인먼트 스테이지 베이스판(302, 제1 베이스 플레이트)이 탑재된다. 진공챔버의 외측 상면에 고정된 얼라인먼트 스테이지 구동용 모터(301)로부터의 구동력에 의해 리니어 블록을 XYθ방향으로 이동시킴으로써, 리니어 블록위에 탑재된 얼라인먼트 스테이지 베이스판(302) 따라서, 얼라인먼트 스테이지(30) 전체를 XYθ방향으로 이동시킬 수 있다.
기판 보유지지 유닛(21)을 승강시키기 위한 승강기구 및 마스크 보유지지 유닛(22)을 승강시키기 위한 승강기구는 후술하는 바와 같이 얼라인먼트 스테이지(30)에 탑재되기 때문에, 기판 보유지지 유닛(21) 및 마스크 보유지지 유닛(22)은 얼라인먼트 스테이지가 XYθ 방향으로 이동함에 따라, 이들 각각에 보유지지된 기판 및 마스크와 함께 XYθ 방향으로 이동한다.
기판 Z축 승강기구(31)는 기판 보유지지 유닛(21)을 Z축 방향으로 승강시키는 기구로서, 얼라인먼트 스테이지 베이스판(302)상에 설치된다. 진공챔버(20)내의 기판 보유지지 유닛(21)은 진공챔버(20)의 외부상면을 통해 기판 Z축 승강기구(31)에 연결된다. 기판 Z축 승강기구(31)는 기판 승강 구동용 모터(311, 제3 모터)와 기판 승강 구동용 모터(311)의 구동력을 기판 보유지지 유닛(21)에 전달하기 위한 기판 승강 구동력 전달기구(제3 구동력 전달기구)로서 리니어 가이드(312)를 포함한다. 본 실시 형태에서는 기판 승강 구동력 전달 기구로서 리니어 가이드(312)를 사용하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 볼나사 등을 사용할 수도 있다.
냉각판 Z축 승강기구(32)는 냉각판(23) 및/또는 마그넷판(24)을 Z 방향으로 구동시키기 위한 냉각판 승강 구동용 모터(321, 제2 모터) 및 냉각판 승강 구동력 전달 기구(제2 구동력 전달기구)로서 볼나사(322)를 포함하며, 진공챔버의 외부상면에 고정된 냉각판 Z축 승강기구 베이스판(323, 제2 베이스 플레이트) 상에 설치된다. 본 실시 형태에서는 냉각판 승강 구동력 전달 기구로서 볼나사(322)를 사용하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 리니어 가이드 등을 사용할 수도 있다.
이렇듯, 본 발명에서는 냉각판 Z축 승강기구(32)가 종래와 같이 얼라인먼트 스테이지 베이스판(302)에 설치되는 것이 아니라 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리/독립되어 진공챔버(20)의 외부상면에 고정된 냉각판 Z축 승강기구 베이스판(323)에 설치되기 때문에, 얼라인먼트 스테이지(30)가 XYθ 방향으로 이동하더라도, 냉각판 Z축 승강기구(32)는 XYθ 방향으로는 이동하지 않으며 XYθ 방향으로는 고정된다. 본 명세서에 있어서, 냉각판 Z축 승강기구(32)가 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리되어 독립적으로 설치된다는 것은, 넓은 의미로는, 냉각판 Z축 승강기구(32)가 얼라인먼트 스테이지(30)상에 설치되지 않아 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 XYθ 방향으로의 이동을 위한 구동력을 받지 않는다는 의미이며, 좁은 의미로는, 냉각판 Z축 승강기구(32)가 얼라인먼트 스테이지(30)상에 설치되지 않고 XYθ 방향으로 진공챔버(20)의 외부상면에 고정되도록 설치된다(즉, XYθ 방향으로는 이동 내지 회전하지 않고 고정된다)는 의미이다.
마스크 Z축 승강기구(33)는 마스크 보유지지 유닛(22)을 Z축 방향으로 승강시키기 위한 기구로서, 얼라인먼트 스테이지(30)에 탑재된다. 진공챔버(20)내의 마스크 보유지지 유닛(22)은 진공챔버(20)의 외부상면을 통해 마스크 Z축 승강기구(33)에 연결된다. 마스크 Z축 승강기구(33)는 마스크 승강 구동용 모터(331, 제4 모터)와 볼나사(332, 제4 구동력 전달기구)를 포함하며, 마스크 교환시에 사용이 끝난 마스크를 반송로봇으로 배출하고, 새로운 마스크를 전달받아 마스크 얼라인먼트 공정을 거쳐 마스크를 마스크 대(25)상으로 재치할 때까지 마스크 보유지지 유닛(22)을 승강시키는 기능을 수행한다.
<마스크 얼라인먼트>
도 4을 참조하여 마스크의 냉각판(23)/마그넷판(24)에 대한 얼라인먼트 공정을 설명한다.
마스크 교환시기가 되면, 마스크 Z축 승강기구(33)는 마스크 보유지지 유닛(22)을 Z축 방향으로 구동시켜, 사용이 완료된 마스크를 마스크 대(25)상의 증착위치로부터 반송로봇이 마스크를 수취할 수 있는 배출위치로 상승시킨다. 반송로봇은, 사용이 완료된 마스크를 마스크 보유지지 유닛(22)으로부터 수취하여 진공챔버 밖으로 배출하고, 새로운 마스크를 진공챔버내로 반입하여, 배출위치에 머물러 있는 마스크 보유지지 유닛(22)에 새로운 마스크를 전달한다.
이어서, 도 4(a) 및 도 4(b)에 도시한 바와 같이, 진공챔버(20)의 외부 상면에 설치된 러프(rough) 얼라인먼트용 카메라(40)를 사용하여, 냉각판(23)의 하면 또는 마그넷판(24)의 상면에 설치된 얼라인먼트 마크 플레이트(41)의 얼라인먼트 마크(411)와 마스크 보유지지 유닛(22)에 놓여져 있는 마스크(251)의 얼라인먼트 마크(2511)를 촬영하여, 이들간의 상대적인 위치를 측정한다. 본 발명의 얼라인먼트 마크 플레이트(41)는 도 4(c)에 도시한 바와 같이 "ㅜ"자의 평면형상을 가지며, 얼라인먼트 마크 플레이트(41)에 형성된 얼라인먼트 마크는 원형 개구이나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
얼라인먼트 마크의 촬영 결과, 냉각판(23)/마그넷판(24)과 마스크 보유지지 유닛(22)에 놓여진 마스크(251)의 상대적 위치가 XYθ 방향으로 어긋나 있는 것으로 판명된 경우, 얼라인먼트 스테이지(30)에 의해 마스크 보유지지 유닛(22)을 XYθ 방향으로 이동시켜, 마스크를 냉각판(23)/마그넷판(24)에 대해 위치 조정한다. 이때, 냉각판(23)/마그넷판(24)이 설치된 냉각판 Z축 승강기구(32)는 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리 독립되어 설치되기 때문에, 마스크 보유지지 유닛(22)에 보유지지된 마스크에 대해 냉각판(23)/마그넷판(24)을 상대 이동시켜 이들의 위치를 조정할 수 있다.
마그넷판(24)의 상면에 얼라인먼트 마크 플레이트(41)를 설치하는 경우, 마그넷판(24)에의 설치가 간단하고 설치위치를 정확하게 할 수 있다. 이에 비해, 냉각판(23)의 하면에 얼라인먼트 마크 플레이트(41)를 설치하기 위해서는 냉각판(23)의 하면측에 얼라인먼트 마크 플레이트(41)를 매설하여야 하기 때문에 설치가 복잡해지지만 러프 얼라인먼트용 카메라(40)의 초점이 맞춰져 있는 마스크(251)의 얼라인먼트 마크(2511)에 더 가깝게 설치될 수 있기 때문에, 러프 얼라인먼트용 카메라(40)에 의한 얼라인먼트 마크의 인식정밀도를 높일 수 있다.
마스크 얼라인먼트가 완료되면, 마스크 Z축 승강기구(33)에 의해 마스크 보유지지 유닛(22)을 하강시켜 마스크(251)를 배출위치에서 마스크 대(25)상의 증착위치로 하강시킨 후, 마스크 대(25)상에 마스크(251)를 재치한다.
이러한 마스크 얼라인먼트 공정을 통해, 마스크(251)와 냉각판(23)/마그넷판(24)의 위치를 상대적으로 조정할 수 있다. 즉, 종래에서는 냉각판 Z축 승강기구(32)가 마스크 보유지지 유닛(22)을 승강시키기 위한 마스크 Z축 승강기구(33)와 함께 얼라인먼트 스테이지(30) 위에 탑재되어 있었기 때문에, 마스크 보유지지 유닛(22)에 놓인 상태의 마스크(251)를 냉각판(23)/마그넷판(24)에 대해 상대적으로 위치 조정을 할 수 없었으나, 본 발명에 있어서는, 냉각판 Z 축 승강기구(32)가 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리/독립되어 설치되기 때문에, 마스크 보유지지 유닛(22)에 놓인 상태의 마스크(251)를 냉각판(23)/마그넷판(24)과 서로 상대적으로 위치 이동하여 조정할 수 있게 된다.
<기판 얼라인먼트>
성막장치(2)의 진공챔버(20)내로 기판(10)이 반송실(13)의 반송로봇(14)에 의해 반입되어 반입위치에 대기하던 기판보유지지유닛(21)에 재치되면, 기판 Z축 승강기구(31)에 의해 기판보유지지 유닛(21)이 Z 축 방향으로 하강하여 마스크 상방의 정해진 높이의 계측 위치로 이동한다. 이어서, 러프 얼라인먼트용 카메라 및 파인 얼라인먼트용 카메라에 의해 기판의 얼라인먼트 마크와 마스크 대(25)에 놓여진 상태의 마스크(251)의 얼라인먼트 마크가 촬영되어 기판과 마스크의 상대적인 위치 어긋남이 측정된다.
성막장치(2)의 진공챔버(20)내로 기판을 반입하는 과정에서, 반송로봇(14)에 의한 반송오차에 의해, 기판보유지지유닛(21)에 기판이 잘못 놓이게 되면, 기판과 마스크 대(25)에 놓인 마스크(251)간의 상대적인 위치 어긋남이 발생한다. 이 경우, 기판 보유지지유닛(21)이 연결되어 있는 얼라인먼트 스테이지(30)를 XYθ 방향으로 이동시켜, 기판(10)과 마스크(251)의 상대적인 위치를 조정한다. 이렇게 기판을 마스크 대(25)상의 마스크(251)에 대해 위치 조정하기 위해 얼라인먼트 스테이지(30)를 XYθ 방향으로 이동시켜도, 본 발명에서는, 냉각판 Z 축 승강기구(32)가 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리되어 독립적으로 진공챔버(20)의 외부상면에 고정되어 있기 때문에, 냉각판 Z축 승강기구(32)는 XYθ 방향으로 이동하지 않으며, 마스크 얼라인먼트 완료시의 냉각판(23)/마그넷판(24)과 마스크(251)간의 위치 조정 상태를 유지할 수 있게 된다.
또한, 반송로봇(14)에 의한 기판의 반송오차에 의해, 기판(10)이 냉각판(23)에 대하여 상대적으로 어긋난 위치로 기판보유지지 유닛(21)상에 재치되는 경우에, 기판(10)을 마스크 대(25)상의 마스크(251)에 대하여 위치 조정함으로써, 마스크 얼라인먼트 공정을 통해, 마스크 대(25)상의 마스크(251)와 위치 조정되어 있는 냉각판(23)과도 기판(10)을 위치 조정 할 수 있게 된다.
기판의 마스크에 대한 얼라인먼트가 완료되면, 기판 보유지지유닛(21)은 기판 Z축 승강기구(31)에 의해 마스크상으로 하강하여 마스크위에 기판을 내려놓는다.
이어서, 냉각판 Z축 승강기구(32)의 구동에 의해 냉각판(23) 및 마그넷판(24)이 하강하여 기판(10)의 상면상에 놓여진다. 이때 마그넷판(24)의 자기력에 의해 금속성의 마스크(251)가 인력을 받게 되며, 이에 의해, 기판과 마스크가 밀착상태가 된다.
본 발명에 의하면, 반송로봇(14)에 의한 기판의 반송오차에도 불구하고 냉각판(23)과 기판의 위치가 서로 조정되기 때문에 냉각판(23)에 의한 기판의 냉각작용을 극대화시킬 수 있다. 또한, 반송로봇(14)에 의한 기판의 반송오차가 생기는 경우에도 반송오차의 편차를 최소화할 수 있기 때문에, 냉각판과 기판의 상대적 위치 보정을 위한 오프셋을 안정화 시킬 수 있다. 또한, 마그넷판(24)과 마스크(251)의 상대적인 위치 역시 조정되기 때문에, 마그넷판(24)으로부터의 자력에 의해 기판과 마스크가 밀착할 때, 그 밀착상태의 편차를 줄일 수 있다. 그 결과, 성막불량을 효과적으로 저감할 수 있다.
<전자디바이스의 제조방법>
다음으로, 본 실시형태의 성막 장치를 이용한 전자 디바이스의 제조 방법의 일례를 설명한다. 이하, 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시장치의 구성 및 제조 방법을 예시한다.
우선, 제조하는 유기 EL 표시장치에 대해 설명한다. 도 5(a)는 유기 EL 표시장치(60)의 전체도, 도 5(b)는 1 화소의 단면 구조를 나타내고 있다.
도 5(a)에 도시한 바와 같이, 유기 EL 표시장치(60)의 표시 영역(61)에는 발광소자를 복수 구비한 화소(62)가 매트릭스 형태로 복수 개 배치되어 있다. 상세 내용은 후술하지만, 발광소자의 각각은 한 쌍의 전극에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 가지고 있다. 또한, 여기서 말하는 화소란 표시 영역(61)에 있어서 소망의 색 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 지칭한다. 본 실시예에 관한 유기 EL 표시장치의 경우, 서로 다른 발광을 나타내는 제1 발광소자(62R), 제2 발광소자(62G), 제3 발광소자(62B)의 조합에 의해 화소(62)가 구성되어 있다. 화소(62)는 적색 발광소자, 녹색 발광소자, 청색 발광소자의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 황색 발광소자, 시안 발광소자, 백색 발광소자의 조합이어도 되며, 적어도 1 색 이상이면 특히 제한되는 것은 아니다.
도 5(b)는 도 5(a)의 A－B선에 있어서의 부분 단면 모식도이다. 화소(62)는 기판(63) 상에 제1 전극(양극)(64), 정공 수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자 수송층(67), 제2 전극(음극)(68)을 구비한 유기 EL 소자를 가지고 있다. 이들 중 정공 수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자 수송층(67)이 유기층에 해당한다. 또한, 본 실시형태에서는, 발광층(66R)은 적색을 발하는 유기 EL 층, 발광층(66G)는 녹색을 발하는 유기 EL 층, 발광층(66B)는 청색을 발하는 유기 EL 층이다. 발광층(66R, 66G, 66B)은 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광소자(유기 EL 소자라고 부르는 경우도 있음)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다. 또한, 제1 전극(64)은 발광소자별로 분리되어 형성되어 있다. 정공 수송층(65)과 전자 수송층(67)과 제2 전극(68)은, 복수의 발광소자(62R, 62G, 62B)와 공통으로 형성되어 있어도 좋고, 발광소자별로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 제1 전극(64)과 제2 전극(68)이 이물에 의해 단락되는 것을 방지하기 위하여, 제1 전극(64) 사이에 절연층(69)이 설치되어 있다. 또한, 유기 EL 층은 수분이나 산소에 의해 열화되기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(70)이 설치되어 있다.
도 5(b)에서는 정공수송층(65)이나 전자 수송층(67)이 하나의 층으로 도시되었으나, 유기 EL 표시 소자의 구조에 따라서, 정공블록층이나 전자블록층을 포함하는 복수의 층으로 형성될 수도 있다. 또한, 제1 전극(64)과 정공수송층(65) 사이에는 제1 전극(64)으로부터 정공수송층(65)으로의 정공의 주입이 원활하게 이루어지도록 할 수 있는 에너지밴드 구조를 가지는 정공주입층을 형성할 수도 있다. 마찬가지로, 제2 전극(68)과 전자수송층(67) 사이에도 전자주입층이 형성될 수 있다.
다음으로, 유기 EL 표시장치의 제조 방법의 예에 대하여 구체적으로 설명한다.
우선, 유기 EL 표시장치를 구동하기 위한 회로(미도시) 및 제1 전극(64)이 형성된 기판(63)을 준비한다.
제1 전극(64)이 형성된 기판(63) 위에 아크릴 수지를 스핀 코트로 형성하고, 아크릴 수지를 리소그래피 법에 의해 제1 전극(64)이 형성된 부분에 개구가 형성되도록 패터닝하여 절연층(69)을 형성한다. 이 개구부가 발광소자가 실제로 발광하는 발광 영역에 상당한다.
절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 제1 유기재료 성막 장치에 반입하여 기판 보유지지 유닛으로 기판을 보유지지하고, 정공 수송층(65)을 표시 영역의 제1 전극(64) 위에 공통층으로서 성막한다. 정공 수송층(65)은 진공 증착에 의해 성막된다. 실제로는 정공 수송층(65)은 표시 영역(61)보다 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 고정밀의 마스크는 필요치 않다.
다음으로, 정공 수송층(65)까지 형성된 기판(63)을 제2 유기재료 성막 장치에 반입하고, 기판 보유지지 유닛에서 보유지지한다. 기판과 마스크의 얼라인먼트를 행하고, 기판을 마스크 상에 재치하여, 기판(63)의 적색을 발하는 소자를 배치하는 부분에 적색을 발하는 발광층(66R)을 성막한다.
본 발명에 의하면, 성막장치의 냉각판/마그넷판을 승강시키는 냉각판 Z축 승강기구(32)를 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 분리/독립함으로써, 반송로봇(14)에 의한 반송오차를 해소하기 위해 얼라인먼트 스테이지(30)를 구동하여 위치보정을 하는 경우에도 냉각판/마그넷판, 기판, 마스크 간의 상대적 위치를 효과적으로 조정할 수 있으며, 이에 의해 성막불량을 효과적으로 저감시킬 수 있다.
발광층(66R)의 성막과 마찬가지로, 제3 유기재료 성막 장치에 의해 녹색을 발하는 발광층(66G)을 성막하고, 나아가 제4 유기재료 성막 장치에 의해 청색을 발하는 발광층(66B)을 성막한다. 발광층(66R, 66G, 66B)의 성막이 완료된 후, 제5 유기재료 성막 장치에 의해 표시 영역(61)의 전체에 전자 수송층(67)을 성막한다. 전자 수송층(67)은 3 색의 발광층(66R, 66G, 66B)에 공통의 층으로서 형성된다.
전자 수송층(67)까지 형성된 기판을 금속성 증착재료 성막 장치로 이동시켜 제2 전극(68)을 성막한다.
그 후 플라스마 CVD 장치로 이동시켜 보호층(70)을 성막하여, 유기 EL 표시장치(60)를 완성한다.
절연층(69)이 패터닝 된 기판(63)을 성막 장치로 반입하고 나서부터 보호층(70)의 성막이 완료될 때까지는, 수분이나 산소를 포함하는 분위기에 노출되면 유기 EL 재료로 이루어진 발광층이 수분이나 산소에 의해 열화될 우려가 있다. 따라서, 본 예에 있어서, 성막 장치 간의 기판의 반입, 반출은 진공 분위기 또는 불활성 가스 분위기 하에서 행하여진다.
상기 실시예는 본 발명의 일 예를 나타낸 것으로, 본 발명은 상기 실시예의 구성에 한정되지 않으며, 그 기술사상의 범위내에서 적절히 변형하여도 된다.
10: 기판
14: 반송로봇
20: 진공챔버
21: 기판 보유지지 유닛
22: 마스크 보유지지 유닛
23: 냉각판
24: 마그넷판
25: 마스크 대
30: 얼라인먼트 스테이지
31: 기판 Z축 승강기구
32: 냉각판 Z축 승강기구
33: 마스크 Z축 승강기구
41: 얼라인먼트 마크 플레이트

Claims (19)

  1. 마스크를 통해 기판에 증착재료를 성막하기 위한 성막장치로서,
    증착공정이 이루어지는 공간을 정의하는 진공챔버,
    상기 진공챔버 내에 설치되며, 기판을 보유지지하여 반송하기 위한 기판 보유지지 유닛,
    상기 진공챔버 내에 상기 기판 보유지지 유닛의 기판지지부상에 설치되며, 기판을 냉각시키기 위한 냉각판,
    상기 진공챔버의 제1 외부면상에 설치되며, 상기 기판 보유지지유닛을 제1방향 및 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 이동시키거나 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향을 축으로 한 회전 방향으로 회전시키기 위한 얼라인먼트 스테이지, 및
    상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 얼라인먼트 스테이지로부터 분리되어 독립적으로 설치되며, 상기 냉각판을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 냉각판 제3방향 구동기구
    를 포함하는 성막장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 냉각판 제3방향 구동기구는, 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 제1 방향, 상기 제2 방향, 및 상기 회전방향으로 고정되도록 설치되는 성막장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 스테이지는, 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동가능하고 상기 회전방향으로 회전가능하도록 설치된 제1 베이스 플레이트를 포함하는 성막장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 냉각판 제3방향 구동기구는, 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면상에 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로 고정되도록 설치된 제2 베이스 플레이트를 포함하는 성막장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1 베이스 플레이트상에 설치되며, 상기 기판 보유지지 유닛을 상기 제3방향으로 구동시키기 위한 기판 제3 방향 구동기구를 더 포함하는 성막장치.
  6. 제3항에 있어서, 마스크를 보유지지 하여 반송하기 위한 마스크 보유지지 유닛, 및 상기 제1 베이스 플레이트상에 설치되며 상기 마스크 보유지지 유닛을 상기 제3 방향으로 구동시키기 위한 마스크 제3 방향 구동기구를 더 포함하는 성막장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 냉각판 제3방향 구동기구는 마스크에 자력을 인가하기 위한 마그넷판을 상기 냉각판과 함께 상기 제3방향으로 구동하는 성막장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 냉각판의 하부에는, 상기 냉각판과 상기 마스크 보유 지지 유닛에 보유지지된 마스크의 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로의 위치 조정을 위한 얼라인먼트 마크가 형성된 얼라인먼트 마크 플레이트가 설치되는 성막장치
  9. 제8항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크 플레이트에 형성된 상기 얼라인먼트 마크는 상기 얼라인먼트 마크 플레이트에 형성된 개구인 성막장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 마그넷판의 상부에는, 상기 마그넷판과 상기 마스크 보유 지지 유닛에 보유지지된 마스크의 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로의 위치 조정을 위한 얼라인먼트 마크 플레이트가 설치되는 성막장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크 플레이트에 형성된 상기 얼라인먼트 마크는 상기 얼라인먼트 마크 플레이트에 형성된 개구인 성막장치.
  12. 제3항에 있어서, 상기 진공챔버의 상기 제1 외부면에 고정된 제1 모터, 및 상기 제1 모터로부터의 구동력을 상기 제1 베이스 플레이트로 전달하는 제1 구동력 전달기구를 더 포함하는 성막장치.
  13. 제4항에 있어서, 상기 냉각판 제3방향 구동기구는 냉각판을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 구동력을 발생시키는 제2 모터, 및 상기 제2 모터로부터의 구동력을 냉각판으로 전달하기 위한 제2 구동력 전달기구를 더 포함하는 성막장치.
  14. 제5항에 있어서, 상기 기판 제3방향 구동기구는 상기 기판 보유지지 유닛을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 구동력을 발생시키는 제3 모터, 및 상기 제3 모터로부터의 구동력을 상기 기판보유지지 유닛으로 전달하기 위한 제3 구동력 전달기구를 더 포함하는 성막장치.
  15. 제6항에 있어서, 상기 마스크 제3방향 구동기구는 상기 마스크 보유지지 유닛을 상기 제3방향으로 구동하기 위한 구동력을 발생시키는 제4 모터 및 상기 제4 모터로부터의 구동력을 상기 마스크 보유지지 유닛으로 전달하는 제4 구동력 전달기구를 포함하는 성막장치.
  16. 마스크를 통하여 기판에 증착재료를 증착하기 위한 성막방법으로서,
    제1항 내지 제15항 중 어느 한 항의 성막장치의 진공챔버내로 반입된 마스크를 마스크 보유지지 유닛에 재치하는 단계,
    상기 마스크 보유지지 유닛에 재치된 상태의 마스크를 냉각판에 대해, 제1 방향, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3방향을 축으로 한 회전방향으로 위치조정하는 마스크 얼라인먼트 단계,
    위치 조정된 마스크를 상기 진공챔버에 고정된 마스크 대 상에 재치하는 단계,
    상기 성막장치의 상기 진공챔버내로 기판을 반입하여 기판 보유지지 유닛에 재치하는 단계,
    상기 기판 보유지지 유닛에 재치된 기판을 상기 마스크 대 상에 재치된 상태의 마스크에 대해 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로 위치 조정하는 기판 얼라인먼트 단계,
    상기 마스크 대 상에 재치된 상태의 마스크에 대하여 위치조정된 기판을 마스크상에 재치하는 단계,
    냉각판 및 마그넷판을 상기 제3방향으로 이동시켜 기판상에 접촉시키는 단계,
    마스크를 통해 기판상에 증착재료를 성막하는 단계,
    기판을 성막장치의 진공챔버로부터 반출하는 단계, 및
    사용완료된 마스크를 진공챔버로부터 반출하는 단계
    를 포함하는 성막방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 마스크 얼라인먼트 단계에서는 성막장치의 얼라인먼트 스테이지를 냉각판이 탑재된 냉각판 제3방향 구동기구에 대해 상기 제1 방향, 상기 제2 방향 및 상기 회전방향으로 상대적으로 이동 또는 회전시킴으로써, 상기 얼라인먼트 스테이지에 연결된 상기 마스크 보유지지 유닛에 재치된 마스크를 냉각판에 대하여 위치 조정하는 성막방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 마스크 얼라인먼트 단계는 상기 냉각판의 하부 또는 상기 마그넷판의 상부에 설치된 얼라인먼트 마크 플레이트상의 얼라인먼트 마크와 마스크의 얼라인먼트 마크를 촬영하여 냉각판과 상기 마스크 보유지지 유닛에 재치된 마스크간의 상대적인 위치 어긋남 또는 마그넷판과 마스크 보유지지 유닛에 재치된 마스크간의 상대적인 위치 어긋남을 측정하는 단계를 포함하는 성막방법.
  19. 제16항에 기재된 성막방법을 사용하여 전자 디바이스를 제조하는 방법.
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