KR101943954B1 - Ionizer having removable waterproof soft X-ray tube module - Google Patents

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박진철
허시환
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(주)선재하이테크
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Abstract

본 발명은 전방에 다수의 가이드홈이 형성된 가이드바; 상기 가이드홈에 서로 일정간격 이격되게 다수 삽입되며, 상기 가이드홈의 외부로 돌출되는 헤드를 가진 연X선관; 상기 연X선관을 지지하도록 상기 가이드바의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 전방에 상기 헤드가 노출되는 바디창이 형성된 튜브바디; 상기 바디창을 덮으며 상기 헤드에서 발생한 엑스선을 외부로 방출하는 방수형 차단막; 및 상기 방수형 차단막을 지지하도록 상기 튜브바디의 전방에 탈착가능하게 결합되는 튜브커버;을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저에 관한 것이다.The present invention relates to a guide bar having a plurality of guide grooves formed in front thereof; A soft X-ray tube inserted into the guide groove at a predetermined distance from the guide groove and having a head protruding from the guide groove; A tube body detachably coupled to the front of the guide bar to support the soft X-ray tube and having a body window through which the head is exposed in front; A waterproof type barrier film covering the body window and discharging X-rays generated in the head to the outside; And a tube cover detachably coupled to the tube body in front of the tube body to support the waterproof type shielding film. [0002] The present invention relates to an ionizer having a detachable waterproof type X-ray tube module.

Description

탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저{Ionizer having removable waterproof soft X-ray tube module}[0001] The present invention relates to an ionizer having a removable waterproof soft X-ray tube module,

본 발명은 물체에 축적되어 있는 정전기를 제전할 수 있는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저에 관한 것이다.The present invention relates to an ionizer having a detachable waterproof soft X-ray tube module capable of discharging static electricity accumulated in an object.

반도체 칩 패키지의 제조공정에 있어서, 전기적 특성 검사(EDS ; Electrical die sorting)가 완료된 웨이퍼를 각각의 개별 반도체 칩으로 분리하기 위한 공정을 웨이퍼 절단 공정이라 하며, 이러한 웨이퍼 절단 공정은 곧바로 리드프레임 위에 개개의 반도체 칩을 부착하는 공정인 다이 본딩 공정과 연결되는 것이 일반적이다.In the process of manufacturing a semiconductor chip package, a process for separating a wafer into which electrical dies (EDS) has been completed into individual semiconductor chips is referred to as a wafer cutting process. The wafer cutting process is directly performed on a lead frame Bonding process, which is a process of attaching the semiconductor chip of the present invention.

좀 더 상세하게, 웨이퍼 절단 공정은 웨이퍼의 표면에 자외선 테이프(UV tape)를 접착하는 제1단계와, 웨이퍼를 블레이드의 회전에 의하여 개개의 반도체 칩으로 절단하는 제2단계와, 웨이퍼에 접착된 자외선 테이프를 제거하는 제3단계로 이루어지며, 제2단계에서는 블레이드의 냉각을 위하여 블레이드로 냉각수를 공급한다.More specifically, the wafer cutting process includes a first step of bonding an ultraviolet (UV) tape to the surface of the wafer, a second step of cutting the wafer into individual semiconductor chips by rotation of the blades, And a third step of removing the ultraviolet tape. In the second step, the cooling water is supplied to the blade for cooling the blade.

이 때, 제2단계에서는 웨이퍼를 블레이드로 절단하는 과정에서 블레이드와 자외선 테이프의 마찰로 인해 정전기가 발생함으로써, 웨이퍼의 절단에 의해 발생하는 슬래그와 불순물이 반도체 칩에 부착되는 문제점이 있었다.At this time, in the second step, static electricity is generated due to the friction between the blade and the ultraviolet ray tape in the process of cutting the wafer into the blades, so that the slag and the impurities generated by cutting the wafer adhere to the semiconductor chip.

이렇게 반도체 칩에 슬래그와 불순물에 부착된 상태에서 반도체 칩 패키지로 조립될 때, 반도체 칩 패키지 표면의 보호층(Passivation layer)을 파괴하여 신뢰성 불량을 초래하고, 반도체 칩 패키지 표면의 금속배선을 연결 또는 단절시켜서 전기적 특성 불량을 초래하여 조립불량 및 특성불량으로 이어져서 공정 수율 저하는 물론 생산성 향상에 막대한 지장이 발생함에 따라, 웨이퍼를 개개의 반도체칩으로 절단할 때 발생하는 정전기를 반드시 제거할 필요성이 있었다.When the semiconductor chip is assembled into the semiconductor chip package in a state where the semiconductor chip is attached to the slag and the impurity, the passivation layer on the surface of the semiconductor chip package is destroyed to cause a reliability failure. It is necessary to remove the static electricity generated when the wafer is cut into individual semiconductor chips because the electrical characteristics are deteriorated to cause defective assembling and defective characteristics, there was.

웨이퍼를 개개의 반도체칩으로 절단할 때 발생하는 정전기를 제거하기 위한 방법에는, 접지하는 방법, 가습에 의한 방법, 대전방지제나 대전용품을 사용하는 방법 또는 이오나이저를 사용하는 방법 등이 있다.Methods for removing static electricity generated when a wafer is cut into individual semiconductor chips include a method of grounding, a method of humidifying, a method of using an antistatic agent or a charging device, or a method of using an ionizer.

이 때, 이오나이저는 고전압을 방전시켜 얻어지는 양이온과 음이온을 소재로 보내서 대전된 정전기와 반대극성으로 중화시켜 소멸시키는 장치로서, 반도체 칩 정전기 제거용으로는 연X선 제전 장치가 사용될 수 있다.At this time, ionizer is a device which sends out positive ions and negative ions obtained by discharging high voltage to the material to neutralize them with the polarity opposite to the charged static electricity, and a soft X-ray static eliminator can be used for removing the semiconductor chip static electricity.

연X선 제전장치는 양극투과형 엑스선 튜브에 텅스텐(W)과 같은 금속 물질을 얇은 베릴륨 판위에 코팅하여 사용한다.The soft X-ray static eliminator is made by coating a bipolar tube with a metal material such as tungsten (W) on a thin beryllium plate.

이러한 연X선 제전장치와 관련된 기술로서, 한국등록특허 제1656781호의 X선관과, 상기 X선관과 연결된 제1 커넥터 및, 중앙을 기준으로 상기 제1 커넥터와 대향된 부위에 형성되어 바디의 암나사 홀에 선택적으로 결합되는 것으로 헤드 둘레에 요철부를 형성하여 작업자에 의해 수작업으로 회동되는 체결 볼트를 포함하는 복수의 X선관 모듈; 외부 전압을 공급받아 고전압을 발생시키는 전압발생부와, 내부에 상기 전압발생부를 수용하도록 형성되되 일 측에 상기 X선관 모듈이 삽입되는 모듈 삽입홈이 구비된 몰드 및, 상기 모듈 삽입홈 내부에 노출되어 상기 제1 커넥터와 물리적으로 탈부착됨으로써 상기 고전압을 전달하고 물리적 결합력을 제공하는 제2 커넥터를 구비한 복수의 전압 발생 어셈블리; 및 내부에 상기 전압 발생 어셈블리를 상호 이격되게 수용한 바 형상의 케이스로서, 상기 모듈 삽입홈과 대응되는 부위가 관통된 모듈 관통공을 복수 개 형성한 바디;를 포함하는 연X선관의 교체가 용이한 엑스선 이오나이저가 개시되어 있다. A related art X-ray static eliminator includes an X-ray tube of Korean Patent No. 1656781, a first connector connected to the X-ray tube, and a second connector formed at a position facing the first connector with respect to the center, Ray tube module comprising: a plurality of X-ray tube modules which are selectively coupled to the X-ray tube and have concave and convex portions around the head and are manually turned by a worker; A mold having a voltage generating portion for receiving an external voltage and generating a high voltage, a mold having a module insertion groove formed therein for receiving the voltage generating portion and having the X-ray tube module inserted therein, A plurality of voltage generating assemblies having a second connector physically detachably attached to the first connector to transmit the high voltage and provide a physical coupling force; And a bar-shaped case accommodating the voltage generating assemblies spaced apart from each other, the body having a plurality of module through holes each of which penetrates a portion corresponding to the module insertion groove, the X- An x-ray ionizer is disclosed.

이 때, 종래기술은 X선관에서 발생한 연X선을 외부로 방출하는 베릴륨판이 설치되는데, 이러한 베릴륨판은 웨이퍼의 절단과정에서 블레이드에 공급되는 냉각수에 의해 부식 및 산화되어 리크가 발생하는 문제점이 있었다.In this case, a beryllium plate for discharging the soft X-ray generated in the X-ray tube to the outside is installed. Such a beryllium plate has a problem in that it is corroded and oxidized by the cooling water supplied to the blade during the cutting process of the wafer, .

한국등록특허 제1656781호(2016.09.06)Korean Registered Patent No. 1656781 (2016.09.06)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 부식 및 산화에 의한 리크가 발생하는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ionizer having a detachable waterproof soft X-ray tube module capable of blocking the occurrence of leakage due to corrosion and oxidation will be.

또한, 본 발명의 다른 목적은 제전 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide an ionizer having a detachable waterproof type soft X-ray tube module which can prevent a deceleration performance from deteriorating.

본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저는 전방에 다수의 가이드홈이 형성된 가이드바; 상기 다수의 가이드홈에 각각 삽입되며, 상기 가이드홈의 외부로 돌출되는 헤드를 가진 연X선관; 상기 연X선관을 지지하도록 상기 가이드바의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 전방에 상기 헤드가 노출되는 바디창이 형성된 튜브바디; 상기 가이드바와 상기 튜브바디 사이에 기밀을 위하여 설치되는 실리콘 패드; 상기 헤드가 노출되는 부위를 덮으며 상기 헤드에서 발생한 엑스선을 외부로 방출하는 방수형 차단막; 상기 방수형 차단막을 지지하도록 상기 튜브바디의 전방에 탈착가능하게 결합되는 튜브커버; 및 상기 방수형 차단막과 상기 튜브바디 사이에 기밀을 위하여 설치되는 오링;을 포함하되,
상기 튜브바디와 튜브커버 사이에 설치된 상기 방수형 차단막과 상기 오링은 상기 튜브바디와 상기 튜브커버를 서로 나사 결합하는 커버볼트에 의해 탈부착이 가능하며, 상기 가이드바의 가이드 홈의 양쪽으로 돌출된 바디 볼트가 형성되고, 상기 실리콘 패드는 양쪽으로 패드 절개부가 형성되고, 상기 튜브바디는 양쪽에 형성된 관통공이 형성되어, 상기 바디 볼트는 상기 실리콘 패드의 패드 절개부와 상기 튜브바디의 관통공을 통과하여, 단부에서 바디 너트와 나사체결됨으로써, 상기 튜브바디는 상기 가이드바의 외부로 돌출되어 탈부착이 가능한 것을 특징으로 하는
또한, 상기 방수형 차단막은 운모판인 것을 특징으로 한다.The ionizer having the detachable watertight soft X-ray tube module according to the present invention comprises: a guide bar having a plurality of guide grooves formed in front thereof; A soft X-ray tube inserted into the plurality of guide grooves, the soft X-ray tube having a head protruding outside the guide groove; A tube body detachably coupled to the front of the guide bar to support the soft X-ray tube and having a body window through which the head is exposed in front; A silicone pad installed for airtightness between the guide bar and the tube body; A waterproof type barrier film covering the exposed portion of the head and emitting X-rays generated from the head to the outside; A tube cover detachably coupled to the front of the tube body to support the waterproof type shielding film; And an O-ring installed for air tightness between the waterproof type shielding film and the tube body,
Wherein the waterproof type shielding membrane and the O-ring provided between the tube body and the tube cover are detachably attachable to and detachable from each other by cover bolts screwing the tube body and the tube cover together, And the body bolt is passed through the pad cut-out portion of the silicon pad and the through-hole of the tube body, and the body bolt passes through the through- And the tube body is screwed to the body nut at an end thereof so that the tube body can be detached and attached to the outside of the guide bar
Further, the waterproof type shielding film is a mica plate.

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또한, 상기 방수형 차단막은 0.020mm 내지 0.025mm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the waterproof type shielding film is formed to have a thickness of 0.020 mm to 0.025 mm.

또한, 상기 튜브바디 및 튜브커버는 금속 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Further, the tube body and the tube cover are made of a metal material.

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본 발명의 다른 예에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저는 전방에 메인관통공이 형성된 메인바디; 상기 메인관통공에 삽입되며, 상기 가이드홈의 외부로 돌출되는 헤드를 가진 연X선관; 상기 연X선관을 지지하도록 상기 가이드바의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 전방에 상기 헤드가 노출되는 바디창이 형성된 튜브바디; 상기 헤드가 노출되는 부위를 덮으며 상기 헤드에서 발생한 엑스선을 외부로 방출하는 방수형 차단막; 및 상기 방수형 차단막을 지지하도록 상기 튜브바디의 전방에 탈착가능하게 결합되는 튜브커버;을 포함하는 것을 특징으로 한다.A main body having a main through hole formed in front of the ionizer having a detachable waterproof type soft X-ray tube module according to another example of the present invention; A soft X-ray tube inserted into the main through-hole and having a head projecting out of the guide groove; A tube body detachably coupled to the front of the guide bar to support the soft X-ray tube and having a body window through which the head is exposed in front; A waterproof type barrier film covering the exposed portion of the head and emitting X-rays generated from the head to the outside; And a tube cover detachably coupled to the front of the tube body to support the waterproof type shielding film.

이에 따라, 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저는 연X선관이 방수형 차단막에 의해 밀폐됨으로써, 연X선관의 기밀성과 방수성이 극대화되어 부식 및 산화에 의한 리크가 발생하는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the Ionizer having the detachable waterproof type X-ray tube module according to the present invention is sealed by the waterproof type barrier film, thereby maximizing the airtightness and waterproofness of the soft X-ray tube and causing leakage due to corrosion and oxidation It is possible to block the occurrence of the problem.

또한, 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저는 방수형 차단막이 운모판으로 구성됨으로써, 기밀성과 방수성을 극대화하여도 제전 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.In addition, since the Ionai's waterproof type barrier membrane having the detachable waterproof type X-ray tube module according to the present invention is formed of a mica plate, it is possible to prevent the decontamination performance from being deteriorated even if the airtightness and the water resistance are maximized.

도 1은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 분해사시도.
도 3은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 단면도.
도 4a는 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정 사용전 표면 상태를 나타낸 사진, 도 4b는 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저의 방수형 차단막의 웨이퍼 절단 공정 사용전 표면 상태를 나타낸 사진.
도 5a는 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정 사용후 표면 상태를 나타낸 사진, 도 5b는 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저의 방수형 차단막의 웨이퍼 절단 공정 사용후 표면 상태를 나타낸 사진.
도 6은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저의 연X선관 교체 상태를 나타낸 분해도.
도 7은 본 발명에 따른 메인바디를 나타낸 사시도.1 is a plan view of an ionizer with a detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention;
2 is an exploded perspective view of an ionizer having a detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention.
3 is a cross-sectional view of an ionizer with a detachable waterproof soft X-ray tube module in accordance with the present invention.
FIG. 4A is a photograph showing the surface state of the conventional ionizer beryllium plate before the wafer cutting process, FIG. 4B is a photograph of the waterproof barrier of the ionizer having the detachable waterproof type soft X-ray tube module of the present invention, Photograph of surface condition.
FIG. 5A is a photograph showing the surface state of the conventional ionizer beryllium plate after using the wafer cutting process, FIG. 5B is a photograph of the waterproof barrier film of the ionizer having the detachable waterproof type soft X-ray tube module of the present invention Photograph of surface condition.
FIG. 6 is an exploded view of a soft X-ray tube replacing state of an ionizer having a detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention. FIG.
7 is a perspective view of a main body according to the present invention.

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the technical idea of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the technical concept of the present invention, are incorporated in and constitute a part of the specification, and are not intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 평면도, 도 2는 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 분해사시도, 도 3은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저를 나타낸 단면도이다.2 is an exploded perspective view showing an ionizer having a detachable waterproof type soft X-ray tube module according to the present invention, and Fig. 3 is an exploded perspective view showing an ionizer having a detachable waterproof soft X- ray tube module according to the present invention. Sectional view of an ionizer having a detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 가이드바(10), 전압 발생 모듈, 연X선관(20), 튜브바디(30), 방수형 차단막(40), 튜브커버(50)를 포함한다.1 to 3, an ionizer 100 having a detachable waterproof type soft X-ray tube module according to the present invention includes a guide bar 10, a voltage generating module, a soft X-ray tube 20, (30), a waterproof type shielding film (40), and a tube cover (50).

상기 가이드바(10)는 본 발명의 기본 몸체로서, 주변 구조물(예를 들면, 건물의 내벽)에 고정될 수 있으며, 전방에 상기 연X선관(20)의 후방에 대응하는 구조로 함몰된 다수의 가이드홈(11)이 형성된다.The guide bar 10 may be fixed to a peripheral structure (for example, an inner wall of a building) as a basic body of the present invention, and may include a plurality of guide bars 10 recessed in a structure corresponding to the rear of the soft X- The guide groove 11 is formed.

상기 전압 발생 모듈은 상기 가이드바(10)에 수납되며 고전압이 발생한다. 이 때, 상기 전압 발생 모듈은 상기 가이드바(10)의 내부에 설치되어 상기 고전압의 전압 정도를 제어하는 제어PCB(미도시)와, 상기 가이드바(10)의 내부에 설치되어 상기 전압 발생 모듈들을 서로 전기적으로 연결하는 파워PCB(미도시)를 더 포함할 수 있다.The voltage generating module is housed in the guide bar 10 and generates a high voltage. The voltage generating module may include a control PCB (not shown) installed inside the guide bar 10 to control the degree of voltage of the high voltage, And a power PCB (not shown) for electrically connecting the first and second power supply units 100 and 200 to each other.

상기 연X선관(20)은 상기 다수의 가이드홈(11)에 각각 삽입되며, 상기 가이드홈(11)의 외부로 돌출되며 엑스선이 발생하는 헤드(21)를 가지며, 상기 헤드(21)는 상기 전압 발생 모듈에서 전달된 고전압에 의해 엑스선을 방사한다.The soft X-ray tube 20 is inserted into the plurality of guide grooves 11 and has a head 21 protruding outside the guide groove 11 and generating x-rays, The X-ray is emitted by the high voltage delivered from the voltage generating module.

한편, 상기 연X선관(20)은 상기 헤드(21)에서 연X선이 발생할 수 있다.On the other hand, the soft X-ray tube 20 may generate soft X-rays at the head 21.

상기 튜브바디(30)는 상기 연X선관(20)를 상기 가이드바(10)에 고정하는 것으로, 상기 연X선관(20)을 지지하도록 상기 가이드바(10)의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 상기 헤드(21)가 노출되는 바디창(31)이 형성되며, 판 구조로 형성될 수 있다.The tube body 30 is detachably coupled to the front of the guide bar 10 to support the soft X-ray tube 20 by fixing the soft X-ray tube 20 to the guide bar 10 A body window 31 through which the head 21 is exposed, and a plate structure.

상기 방수형 차단막(40)은 상기 바디창(31)을 덮으며 상기 헤드(21)에서 발생한 엑스선을 외부로 방출하며, 판 구조로 형성될 수 있다.The waterproof type shielding film 40 covers the body window 31 and radiates X-rays generated from the head 21 to the outside, and can be formed in a plate structure.

상기 튜브커버(50)는 상기 방수형 차단막(40)을 지지하도록 상기 튜브바디(30)의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 중앙에 상기 바디창(31)에 대응하는 구조로 천공되어 상기 헤드(21)에서 발생한 엑스선이 통과하는 커버창(51)이 형성된다.The tube cover 50 is detachably coupled to the front of the tube body 30 to support the waterproof type shielding film 40 and has a structure corresponding to the body window 31 at the center, 21 through which the X-rays generated are formed.

이에 따라, 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 연X선관(20)이 방수형 차단막(40)에 의해 밀폐됨으로써, 연X선관(20)의 기밀성과 방수성이 극대화되어 부식 및 산화에 의한 리크가 발생하는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module according to the present invention is configured such that the soft X-ray tube 20 is sealed by the waterproof type shielding film 40 so that the airtightness of the soft X- It has an advantage that the waterproofing is maximized and the occurrence of leakage due to corrosion and oxidation can be originally blocked.

한편, 상기 방수형 차단막(40)은 운모판으로 구성될 수 있으며, 0.020mm 내지 0.025mm의 두께로 형성될 수 있다. 이러한 수치의 임계적 의의에 대하여, 하기 실시예를 들어 좀 더 상세하게 설명하기로 한다.Meanwhile, the waterproof type shielding film 40 may be formed of a mica plate and may have a thickness of 0.020 mm to 0.025 mm. The critical significance of such numerical values will be described in more detail with reference to the following examples.

<실시예><Examples>

종래의 이오나이저와, 본 발명의 이오나이저(100)를 웨이퍼의 절단 공정에 발생하는 정전기를 제거하는 용도로 200시간 이상 사용한 후, 종래의 이오나이저에 구성된 베릴륨판의 표면 상태와, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)에 구성된 방수형 차단막(40)(운모판)의 표면 상태를 확인하였다.The conventional ionizer and the ionizer 100 of the present invention are used for 200 hours or more for removing static electricity generated in the cutting process of the wafer and then the surface state of the beryllium plate formed in the conventional ionizer, The surface condition of the waterproof type shielding film 40 (mica plate) formed in the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module was confirmed.

이 때, 종래의 이오나이저에 구성된 베릴륨판의 두께는 0.08mm으로 하였으며, 본 발명의 이오나이저(100)에 구성된 방수형 차단막(40)의 두께는 0.025mm으로 하였다.At this time, the thickness of the beryllium plate formed in the conventional ionizer was 0.08 mm, and the thickness of the waterproof type barrier film 40 formed in the ionizer 100 of the present invention was 0.025 mm.

도 4a는 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정 사용전 표면 상태를 나타낸 사진, 도 4b는 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)의 웨이퍼 절단 공정 사용전 표면 상태를 나타낸 사진, 도 5a는 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정 사용후 표면 상태를 나타낸 사진, 도 5b는 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)의 웨이퍼 절단 공정 사용후 표면 상태를 나타낸 사진이다.FIG. 4A is a photograph showing the surface state of the conventional ionizer before the wafer cutting process of the beryllium plate of the ionizer, FIG. 4B is a view showing a waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100 having the detachable waterproof soft X-ray tube module of the present invention, FIG. 5A is a photograph showing the surface state of the conventional ionizer beryllium plate after use of the wafer cutting process, FIG. 5B is a photograph showing the surface state of the beryllium plate of the ionizer with the detachable waterproof type soft X-ray tube module of the present invention 12 is a photograph showing the surface state of the waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100 after the wafer cutting process is used.

도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정에 정전기 제거용으로 사용전 표면 상태에 변형이 없었으며, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)의 웨이퍼 절단 공정에 정전기 제거용으로 사용전 표면 상태에도 변형이 없었다.As shown in FIGS. 4A and 4B, in the wafer cutting process of the conventional Ionizer beryllium plate, there was no deformation of the surface condition before use for static electricity removal, and the detachable waterproof type soft X-ray tube module of the present invention In the wafer cutting process of the waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100, there was no deformation of the surface condition before use for static electricity removal.

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 종래의 이오나이저의 베릴륨판의 웨이퍼 절단 공정에 정전기 제거용으로 200시간 이상 사용후 표면 상태에 부식 및 산화에 의한 변형이 있었으나, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)의 웨이퍼 절단 공정에 정전기 제거용으로 200시간 이상 사용후 표면 상태에 부식 및 산화에 의한 변형이 없었다.As shown in FIGS. 5A and 5B, in the wafer cutting process of the beryllium plate of the conventional ionizer, the surface state was deformed by corrosion and oxidation after 200 hours or more of use for static elimination, but the detachable waterproof There was no deformation due to corrosion or oxidation in the surface state after 200 hours or more of use for static elimination in the wafer cutting process of the waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100 having the type X ray tube module.

또한, 종래의 이오나이저의 베릴륨판에서 방출되는 연X선의 이온 밸런스가 ??1.9였으며, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)에서 방출되는 연X선의 이온 밸런스는 ??0.64로 종래의 이오나이저의 베릴륨판에서 방출되는 연X선의 이온 밸런스보다 우수한 이온 밸런스와 제전 성능이 나타나는 것을 확인할 수 있다. 이 때, 이온 밸런스는 0에 가까운 값일수록 우수한 것을 나타낸다.In addition, the ion balance of the soft X-ray emitted from the beryllium plate of the conventional ionizer was 1.9, and the ion balance of the water-proof barrier film 40 of the ionizer 100 having the detachable waterproof soft X-ray tube module of the present invention The ion balance of the soft X-ray to be emitted is 0.64, indicating that the ion balance and the discharge performance are superior to those of the soft X-ray emitted from the beryllium plate of the conventional ionizer. At this time, the closer the ion balance is to 0, the better the ion balance.

한편, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)은 두께가 0.01mm 내지 0.025mm에서 이온 밸런스와 제전 성능의 저하가 발생하지 않았으나, 0.025mm 초과에서는 이온 밸런스와 제전 성능이 저하되었다.On the other hand, the waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module of the present invention did not deteriorate ion balance and electrification performance at a thickness of 0.01 mm to 0.025 mm, The ion balance and the electrification performance were deteriorated.

또한, 본 발명의 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)의 방수형 차단막(40)은 두께가 0.020mm미만에서 주변 진동에 의한 변형이 비교적 쉽게 발생하였으므로, 두께가 0.020mm 내지 0.025mm인 것을 최적화된 수치로 판정하였다.Since the waterproof type shielding film 40 of the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module according to the present invention has a thickness less than 0.020 mm, deformation by peripheral vibration is relatively easy, 0.025 mm was determined as an optimized value.

이에 따라, 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 방수형 차단막(40)이 운모판으로 구성됨으로써, 기밀성과 방수성을 극대화하여도 제전 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the ionizer 100 having the detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention is configured such that the waterproof type shielding film 40 is formed of a mica plate, thereby preventing the decontamination performance from being deteriorated even if the airtightness and waterproofing are maximized There is an advantage to be able to do.

또한, 상기 튜브바디(30) 및 튜브커버(50)는 금속 재질로 이루어져서 기밀성과 방수성을 극대화할 수 있다. 이 때, 금속 재질은 알루미늄 또는 스테인레스 일 수 있다.In addition, the tube body 30 and the tube cover 50 are made of a metal material, thereby maximizing airtightness and waterproofness. At this time, the metal material may be aluminum or stainless steel.

또한, 상기 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 기밀성을 극대화하기 위한 오링(60) 및 실리콘 패드(70)를 더 포함할 수 있다.In addition, the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module may further include an O-ring 60 and a silicon pad 70 for maximizing airtightness.

상기 오링(60)은 상기 방수형 차단막(40)과 튜브바디(30) 사이에 기밀을 위하여 설치되며, 상기 실리콘 패드(70)는 상기 가이드바(10)와 튜브바디(30) 사이에 기밀을 위하여 설치된다. 이 때, 상기 실리콘 패드(70)는 내부에 상기 연X선관(20)이 삽입된다. 도시된 바와 같이, 상기 실리콘 패드의 양쪽에는 바디 볼트가 삽입될 수 있도록 패드절개부(71)가 형성된다. The O-ring 60 is provided for airtightness between the waterproof type shielding film 40 and the tube body 30 and the silicone pad 70 is hermetically sealed between the guide bar 10 and the tube body 30. [ . At this time, the soft X-ray tube 20 is inserted into the silicon pad 70. As shown in the figure, a pad cut-out portion 71 is formed on both sides of the silicon pad so that the body bolt can be inserted.

도 6은 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저의 연X선관 교체 상태를 나타낸 분해도이다.FIG. 6 is an exploded view showing a state in which an ionizer having a detachable waterproof type soft X-ray tube module according to the present invention is replaced with a soft X-ray tube.

도 2 및 도 6을 참조하면, 상기 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 바디볼트(81), 바디너트(82), 커버볼트(83)를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 바디볼트(81)와 바디너트(82)는 상기 연X선관(20)의 교체를 용이하게 하기 위한 것이며, 상기 커버볼트(83)는 상기 방수형 차단막(40)의 교체를 용이하게 하기 위한 것이다.2 and 6, the ionizer 100 having the detachable waterproof soft X-ray tube module may further include a body bolt 81, a body nut 82, and a cover bolt 83. At this time, the body bolt 81 and the body nut 82 are provided for facilitating the replacement of the soft X-ray tube 20, and the cover bolt 83 facilitates the replacement of the waterproof type shielding film 40 .

도 6을 참조하면, 상기 바디볼트(81)는 상기 가이드바(10)의 전방 양측에 각각 결합되며 상기 실리콘 패드(70)와 튜브바디(30)가 관통된다. 이 때, 상기 실리콘 패드(70)는 양단에 상기 바디볼트(81)가 관통되기 위하여 판구조로 절개된 패드절개부(71)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 6, the body bolts 81 are coupled to both sides of the front side of the guide bar 10, and the silicone pad 70 and the tube body 30 are penetrated. At this time, the silicon pad 70 may have a pad cut-out portion 71 formed at both ends thereof in a plate-like shape so as to allow the body bolt 81 to pass therethrough.

상기 바디너트(82)는 상기 바디볼트(81)의 단부에 나사 결합되어 상기 바디볼트(81)에 관통된 실리콘 패드(70)와 튜브바디(30)를 탈착 가능하게 고정하는 역할을 한다.The body nut 82 is screwed to an end of the body bolt 81 to detachably fix the silicone pad 70 and the tube body 30 penetrating the body bolt 81.

이 때, 상기 바디너트(82)가 상기 바디볼트(81)에서 분리되면, 상기 튜브바디(30), 실리콘 패드(70), 연X선관(20)도 순차적으로 분리되어 연X선관(20)을 교체할 수 있다.When the body nut 82 is separated from the body bolt 81, the tube body 30, the silicone pad 70, and the soft X-ray tube 20 are sequentially separated, Can be replaced.

즉, 상기 연X선관(20)은 상기 가이드바(20), 실리콘 패드(70) 및 튜브바디(30)를 서로 나사 결합하는 바디볼트(81)와 상기 바디볼트(81)의 단부에 나사 결합되는 바디너트(82)에 의해 추가 공구 없이 탈부착이 가능해진다. 즉, 도시된 바와 같이, 상기 가이드바에 양쪽으로 돌출된 바디 볼트(81)가 형성되고, 상기 튜브바디는 양쪽에 형성된 관통공이 형성되어, 상기 바디 볼트는 상기 실리콘 패드의 패드 절개부와 상기 튜브바디의 관통공을 통과하여, 단부에서 바디 너트(82)와 나사체결됨으로써, 상기 튜브바디는 상기 가이드바의 외부로 돌출되어 탈부착이 가능하다. The soft X-ray tube 20 includes a body bolt 81 for screwing the guide bar 20, the silicone pad 70 and the tube body 30 to each other and a body bolt 81 screwed to the end of the body bolt 81 The body nut 82 can be detached and attached without additional tools. In other words, as shown in the figure, a body bolt 81 protruding on both sides of the guide bar is formed, and the tube body is formed with a through hole formed on both sides thereof. The body bolt is connected to the pad cut- And the tube body is screwed to the body nut 82 at the end thereof, so that the tube body protrudes to the outside of the guide bar and is detachable.

상기 커버볼트(83)는 상기 튜브바디(30)와 튜브커버(50)를 서로 나사 결합하며, 상기 커버볼트(83)의 상기 튜브바디(30)와 튜브커버(50)에 대한 나사 결합이 해제되는 것으로, 상기 튜브바디(30)와 튜브커버(50) 사이에 설치된 방수형 차단막(40)을 교체할 수 있다.The cover bolt 83 is screwed to the tube body 30 and the tube cover 50 so that the threaded engagement of the tube body 30 of the cover bolt 83 with the tube cover 50 is released The waterproof type shielding film 40 provided between the tube body 30 and the tube cover 50 can be replaced.

즉, 상기 방수형 차단막(40)과 오링(60)은 상기 튜브바디(30)와 튜브커버(50)를 서로 나사 결합하는 커버볼트(83)에 의해 추가 공구 없이 탈부착이 가능해진다.That is, the waterproof type shielding film 40 and the O-ring 60 can be attached and detached without additional tools by the cover bolts 83 screwing the tube body 30 and the tube cover 50 together.

도 7은 본 발명에 따른 메인바디를 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view illustrating a main body according to the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 예에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저(100)는 상기 가이드(10)가 메인바디(90)로 대체될 수 있다.As shown in FIG. 7, the ionizer 100 having the detachable waterproof type soft X-ray tube module according to an exemplary embodiment of the present invention may be replaced with the main body 90 of the guide 10.

이 때, 상기 메인바디(90)는 전방에 상기 연X선관(20)에 대응하는 메인관통공(91)이 형성되며, 단 하나의 연X선관(20)만 설치될 수 있다.At this time, the main body 90 has a main through hole 91 corresponding to the soft X-ray tube 20 in front, and only one soft X-ray tube 20 can be installed.

한편, 연X선관 모듈은 상기 튜브커버, 차단막, 오링, 튜브바디, 연X선관, 실리콘패드의 어셈블리이다.On the other hand, the soft X-ray tube module is an assembly of the tube cover, the barrier film, the O-ring, the tube body, the soft X-ray tube, and the silicon pad.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 본 발명에 따른 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저
10 : 가이드바
11 : 가이드홈
20 : 연X선관
21 : 헤드
30 : 튜브바디
31 : 바디창
40 : 방수형 차단막
50 : 튜브커버
51 : 커버창
60 : 오링
70 : 실리콘 패드
71 : 패드절개부
81 : 바디볼트
82 : 바디너트
83 : 커버볼트
90 : 메인바디
91 : 메인관통공100: Ionizer with detachable waterproof soft X-ray tube module according to the present invention
10: Guide Bar
11: Guide groove
20: soft X-ray tube
21: Head
30: tube body
31: Body window
40: Waterproof type shielding film
50: tube cover
51: Cover window
60: O ring
70: Silicone pad
71: pad incision part
81: Body bolt
82: Body nut
83: Cover bolt
90: Main body
91: Main through hole

Claims (9)

전방에 다수의 가이드홈이 형성된 가이드바;
상기 다수의 가이드홈에 각각 삽입되며, 상기 가이드홈의 외부로 돌출되는 헤드를 가진 연X선관;
상기 연X선관을 지지하도록 상기 가이드바의 전방에 탈착가능하게 결합되며, 전방에 상기 헤드가 노출되는 바디창이 형성된 튜브바디;
상기 가이드바와 상기 튜브바디 사이에 기밀을 위하여 설치되는 실리콘 패드;
상기 헤드가 노출되는 부위를 덮으며 상기 헤드에서 발생한 엑스선을 외부로 방출하는 방수형 차단막;
상기 방수형 차단막을 지지하도록 상기 튜브바디의 전방에 탈착가능하게 결합되는 튜브커버; 및
상기 방수형 차단막과 상기 튜브바디 사이에 기밀을 위하여 설치되는 오링;을 포함하되,
상기 튜브바디 및 상기 튜브커버는 알루미늄 또는 스테인레스스틸의 재질로 이루어지며,
상기 튜브바디와 튜브커버 사이에 설치된 상기 방수형 차단막과 상기 오링은 상기 튜브바디와 상기 튜브커버를 서로 나사 결합하는 커버볼트(83)에 의해 탈부착이 가능하며,
상기 가이드바의 가이드 홈의 양쪽으로 돌출된 바디 볼트(81)가 형성되고, 상기 실리콘 패드는 양쪽으로 패드 절개부(71)가 형성되고, 상기 튜브바디는 양쪽에 형성된 관통공이 형성되어,
상기 바디 볼트는 상기 실리콘 패드의 패드 절개부와 상기 튜브바디의 관통공을 통과하여, 단부에서 바디 너트(82)와 나사체결됨으로써,
상기 튜브바디는 상기 가이드바의 외부로 돌출되어 탈부착이 가능한 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저.A guide bar having a plurality of guide grooves formed in front thereof;
A soft X-ray tube inserted into the plurality of guide grooves, the soft X-ray tube having a head protruding outside the guide groove;
A tube body detachably coupled to the front of the guide bar to support the soft X-ray tube and having a body window through which the head is exposed in front;
A silicone pad installed for airtightness between the guide bar and the tube body;
A waterproof type barrier film covering the exposed portion of the head and emitting X-rays generated from the head to the outside;
A tube cover detachably coupled to the front of the tube body to support the waterproof type shielding film; And
And an O-ring installed for airtightness between the waterproof type shielding film and the tube body,
Wherein the tube body and the tube cover are made of aluminum or stainless steel,
The waterproof type shielding membrane and the O-ring provided between the tube body and the tube cover are detachably attachable and detachable by a cover bolt (83) screwing the tube body and the tube cover together,
A body bolt 81 protruding to both sides of the guide groove of the guide bar is formed, a pad cut-out portion 71 is formed on both sides of the silicon pad, the tube body is formed with through-
The body bolt passes through the pad cut-out portion of the silicone pad and the through-hole of the tube body, and is screwed to the body nut 82 at the end portion,
Wherein the tube body protrudes outward from the guide bar and is detachably attachable to the guide bar. 제1항에 있어서, 상기 방수형 차단막은
운모판인 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저.
The method according to claim 1, wherein the waterproof type shielding film
Ionizer with detachable watertight soft X-ray tube module characterized in that it is a mica plate.
제2항에 있어서, 상기 방수형 차단막은
0.020mm 내지 0.025mm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 탈부착 가능한 방수형 연X선관 모듈을 가진 이오나이저.
The method according to claim 2, wherein the waterproof type shielding film
Wherein the Ionizer is formed with a thickness of 0.020 mm to 0.025 mm.
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