KR101941478B1 - Line scan apparatus, and method applied to the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 라인 스캔 장치는 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 검사영역에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 각 검사영역별 컨베이어 설비를 모듈 구조로 제공할 수 있다.The present invention discloses a line scan apparatus and a control method applied thereto. The line scan apparatus according to the present invention can remarkably reduce the error of the photographed image with respect to the inspection region when at least one inspection region for inspecting the specimen is provided on the line provided with the conveyor, The facility can be provided in a modular structure.

Description

라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법{LINE SCAN APPARATUS, AND METHOD APPLIED TO THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a line scan apparatus and a control method applied thereto,

본 발명은 라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 검사영역에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄일 수 있는 라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a line scan apparatus and a control method applied thereto, and more particularly, to a line scan apparatus and a control method therefor. More particularly, And more particularly, to a line scan apparatus and a control method applied thereto.

통상적으로, 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역을 구비하는 경우 라인을 이루는 각 컨베이어별로 구동 모터를 장착한다.Typically, when at least one inspection area is provided for inspecting a sample on a line provided with a conveyor, a drive motor is mounted for each conveyor forming a line.

또한, 각 컨베이어별로 구비되는 다수의 구동 모터는 상이한 속도로 동작할 수 있다.Further, the plurality of drive motors provided for each conveyor can operate at different speeds.

이로 인해, 개별적인 구동 모터로 인해 동작하는 각 컨베이어 간의 라인 이동 속도 또한 상이해질 수 있다.As a result, the line moving speeds between the respective conveyors operating due to the individual driving motors can also be different.

즉, 제1 라인 이동 속도로 움직이는 제1 컨베이어와 제2 라인 이동 속도로 움직이는 제2 컨베이어 사이에 위치하는 검사영역에서 이송 중인 시료에 대한 촬영을 하는 경우, 상기 검사영역에 위치한 라인 스캔 카메라에서 상이한 속도로 검사영역을 통과하는 시료에 대한 영상을 제대로 획득하기가 어렵다. 이에, 상기 검사영역에 위치한 라인 스캔 카메라에서 생성한 촬영 영상은 에러를 포함하고 있을 가능성이 상당히 크다.That is, in the case of photographing the sample being transported in the inspection region located between the first conveyer moving at the first line moving speed and the second conveyer moving at the second line moving speed, It is difficult to acquire a proper image of the sample passing through the inspection region at the speed. Therefore, it is very likely that the photographed image generated by the line scan camera located in the inspection area includes an error.

또한, 컨베이어 라인에는 상기 검사영역을 다수 개수로 구비하는 경우, 각 검사영역에 대한 검사의 목적이 상이하다. 예컨대, 다수 개수의 검사영역이 제1 검사영역 내지 제4 검사영역으로 구분되는 경우, 각 검사영역의 영상 품질을 보장하기가 어렵기 때문에 제3 검사영역 및 제4 검사영역의 촬영 영상을 가지고 상호 동일한 시료에 대한 것임을 확인한 후 이 결과값을 판정하여 수율을 향상시키는 것이 어렵다.Further, when the conveyor line is provided with a plurality of the above-mentioned inspection areas, the object of inspection for each inspection area is different. For example, when a plurality of inspection regions are divided into the first to fourth inspection regions, it is difficult to ensure the image quality of each inspection region. Therefore, It is difficult to determine the resultant value after confirming that it is for the same sample and to improve the yield.

종래 기술에서, 단일 검사영역에 대해 두 개의 구동 모터에 의한 라인 이동이 수행되는 것인 바, 두 개의 구동 모터와 대응하는 각 컨베이어의 종단에 컨베이어 엔코더를 장착하는 구조를 갖춘다. 즉, 단일 검사영역에서의 영상 획득을 위한 동기화 설정도 두 개의 컨베이어 엔코더로부터 제공되는 두 개의 동기화 신호를 통해 수행된다.In the prior art, a line movement by two drive motors is performed for a single inspection area, and a structure for mounting a conveyor encoder at the end of each conveyor corresponding to two drive motors is provided. That is, synchronization setup for image acquisition in a single inspection area is also performed through two synchronization signals provided from two conveyor encoders.

또한, 전술한 두 개의 동기화 신호를 평균하여 해당 단일 검사영역에 대한 동기화 설정을 한다고 하더라도 편차가 발생할 수밖에 없는 한계가 있다.In addition, even if the two synchronization signals are averaged to set synchronization for the corresponding single test region, there is a limit that can not be avoided.

이를 보완하여, 전술한 두 개의 동기화 신호 중 어느 한 동기화 신호만을 이용하여 해당 단일 검사영역에 대한 영상을 획득하는 경우, 다른 동기화 신호를 제공하는 컨베이어의 속도변화에 대한 편차를 방지하는 것이 불가해진다.In order to compensate for this, it is not possible to prevent a variation in velocity of a conveyor that provides another synchronization signal when acquiring an image for the single inspection area using only one of the two synchronization signals.

그리고, 다단의 컨베이어로 구성된 라인에서 검사영역을 사이에 둔 컨베이어 간에 단차가 발생하거나, 컨베이어 간에 서로 다른 진동이 발생하는 경우에도 검사영역을 촬영한 결과의 영상에 왜곡이 발생할 수밖에 없는 문제점이 있다. In addition, even when a step is generated between conveyors having a check region in a line formed by a multi-stage conveyor, or when different vibrations occur between conveyors, there is a problem that distortion of the image resulting from the photographing of the inspection region arises.

따라서, 이러한 여러 문제점이 발생하는 종래의 라인 스캔 장치를 개선할 필요가 있다.Therefore, there is a need to improve the conventional line scan apparatus in which such various problems occur.

일본 공개특허공보 제2011-149701(2011.08.04)Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-149701 (Aug. 4, 2011)

따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 검사영역에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄이기 위한 라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide an inspection method and apparatus, And a control method applied to the line scan apparatus.

또한, 본 발명의 다른 목적은 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 각 검사영역별 컨베이어 설비를 모듈 구조로 제공하기 위한 라인 스캔 장치 및 이에 적용되는 제어 방법을 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide a line scanning device for providing a conveyor facility for each inspection area in a module structure and a control device for controlling the same in a case where at least one inspection area for inspecting a sample is provided in a line provided as a conveyor, Method.

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 관점에 따른 라인 스캔 장치는 제1 컨베이어, 상기 제1 컨베이어의 라인 이동방향에 연속하여 위치하는 제2 컨베이어, 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어를 단일 동력으로 구동하는 모터구동부, 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 사이의 검사영역에 위치하고 상기 검사영역을 촬영하는 라인 스캔 카메라, 및 상기 모터구동부를 통한 라인 이동 제어와 상기 검사영역에 대한 영상 처리 제어를 실행하는 제어기를 포함한다.In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a line scanning apparatus including a first conveyor, a second conveyor continuously disposed in a line moving direction of the first conveyor, A line scan camera located in an inspection area between the first conveyor and the second conveyor and photographing the inspection area; and a line movement control unit for controlling line movement through the motor driving unit and image processing control for the inspection area Lt; / RTI >

바람직하게는, 상기 라인 스캔 장치는 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 중 어느 한 회전 샤프트와 결합하고, 상기 회전 샤프트의 회전을 기초로 한 컨베이어 동기신호를 상기 제어기에 제공하는 컨베이어 엔코더를 더 포함한다.Advantageously, the line scan device further comprises a conveyor encoder coupled to one of the first conveyor and the second conveyor and providing a conveyor synchronization signal to the controller based on rotation of the rotary shaft do.

바람직하게는, 상기 라인 스캔 장치는 상기 검사영역을 비추기 위한 적어도 하나의 조명모듈을 더 포함한다.Advantageously, the line scan device further comprises at least one illumination module for illuminating the inspection area.

바람직하게는, 상기 제1 컨베이어, 상기 제2 컨베이어 및 상기 모터구동부를 제1 통합형 모듈로 구비하거나, 상기 제1 통합형 모듈에 상기 라인 스캔 카메라, 상기 컨베이어 엔코더 및 상기 조명모듈 중 적어도 하나를 더 추가한 제2 통합형 모듈로 구비한다.Preferably, the first conveyor, the second conveyor and the motor driving unit are provided as a first integrated module, or at least one of the line scan camera, the conveyor encoder and the lighting module is further added to the first integrated module As a second integrated module.

그리고, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 관점에 따른 라인 스캔 방법은, 단일 동력으로 제1 컨베이어와 상기 제1 컨베이어의 라인 이동방향에 연속하여 위치하는 제2 컨베이어를 구동 제어하는 단계, 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 중 어느 한 회전 샤프트의 회전을 기초로 생성된 컨베이어 동기신호를 수신하는 단계 및 상기 컨베이어 동기신호를 통해 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 사이의 검사영역에 대한 촬영을 제어하는 단계를 포함한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a line scanning method comprising: driving and controlling a first conveyor and a second conveyor continuously disposed in a line moving direction of the first conveyor, Receiving a conveyor synchronization signal generated based on the rotation of one of the first conveyor and the second conveyor, and generating a control signal for the inspection area between the first conveyor and the second conveyor via the conveyor synchronization signal And controlling the photographing.

바람직하게는, 상기 라인 스캔 방법은 상기 컨베이어 동기신호를 기초로 상기 검사영역에 대한 조명을 제어하는 단계를 더 포함한다.Advantageously, the line scan method further comprises controlling illumination for the inspection area based on the conveyor synchronization signal.

바람직하게는, 상기 촬영을 제어하는 단계는 상기 조명을 제어하는 단계에서 생성한 조명 제어신호를 기초로 상기 검사영역에 대한 촬영을 제어한다.Preferably, the photographing controlling step controls photographing of the inspection area based on the illumination control signal generated in the step of controlling the illumination.

바람직하게는, 상기 촬영을 제어하는 단계는 상기 조명 제어신호가 둘 이상인 경우, 각 조명 동기신호 별로 상기 검사영역에 대한 촬영을 제어한다.Preferably, in the step of controlling the photographing, when the number of the illumination control signals is two or more, the photographing of the inspection area is controlled for each illumination synchronization signal.

따라서, 본 발명에서는 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 검사영역에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 각 검사영역별 컨베이어 설비를 모듈 구조로 제공할 수 있으므로 라인 스캔 장치의 설비 구축을 용이하게 수행할 수 있는 이점이 있다.Accordingly, in the present invention, when at least one inspection region for inspecting a specimen is provided in a line provided as a conveyor, it is possible not only to remarkably reduce the error of the photographed image with respect to the inspection region, So that it is possible to easily construct facilities of the line scan apparatus.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 라인 스캔 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 모터구동부를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 제어기를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 제어기에서 수행하는 동기 설정을 일례로 든 도면이다.
도 5는 도 4의 동기 설정에 대한 다른 동작 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 4 및 도 5에 도시된 동기 설정의 동작을 취합한 도면이다.
도 7은 도 1의 제어기에서 수행하는 동기 설정을 다른 예로 든 도면이다.
도 8은 도 7의 동기 설정에 대한 다른 동작 예를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 1의 라인 스캔 장치를 다수 개로 구비한 경우를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1의 라인 스캔 장치에 조명을 적용한 경우를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 라인 스캔 장치를 나타내는 도면이다.
그리고, 도 12는 도 11의 라인 스캔 장치를 다수 개로 구비한 경우를 나타내는 도면이다.
1 is a diagram illustrating a line scan apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing the motor driving unit of FIG. 1 in detail.
FIG. 3 is a view showing the controller of FIG. 1 in detail.
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of synchronization setting performed by the controller of FIG. 1. FIG.
5 is a diagram showing another operation example of the synchronization setting of Fig.
FIG. 6 is a view collecting the operations of the synchronization setting shown in FIG. 4 and FIG. 5; FIG.
7 is a diagram showing another example of the synchronization setting performed by the controller of FIG.
8 is a diagram showing another operation example of the synchronization setting of Fig.
Fig. 9 is a diagram showing a case in which a plurality of line scan devices of Fig. 1 are provided.
10 is a diagram showing a case where illumination is applied to the line scanning apparatus of FIG.
11 is a diagram illustrating a line scan apparatus according to a second embodiment of the present invention.
12 is a diagram showing a case in which a plurality of line scan devices of Fig. 11 are provided.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and the manner of achieving them, will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. "And / or" include each and every combination of one or more of the mentioned items.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and / or sections, it is needless to say that these elements, components and / or sections are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, element or section from another element, element or section. Therefore, it goes without saying that the first element, the first element or the first section mentioned below may be the second element, the second element or the second section within the technical spirit of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 다음과 같이 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 라인 스캔 장치(100)를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating a line scan apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 라인 스캔 장치(100)는 컨베이어 라인에 시료를 검사하기 위한 검사영역(A)이 갖춰지는 경우, 검사영역(A)에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 각 검사영역(A)별 컨베이어 설비를 모듈 구조로 제공할 수 있는 구성을 갖춘다.Referring to FIG. 1, when the inspection area A for inspecting a specimen is provided on the conveyor line, the line scan device 100 not only can significantly reduce the errors of the photographed image with respect to the inspection area A, And a conveying device for each inspection area (A) can be provided as a module structure.

이를 위해, 라인 스캔 장치(100)는 검사영역(A)을 사이에 둔 두 개의 컨베이어를 단일 동력으로 구동하고, 단일 동력의 구동 제어로부터 검사영역(A)에 대한 영상 처리에 이르기까지의 동기 설정을 상기 검사영역(A)에 인접한 어느 한 컨베이어의 회전 샤프트를 기준으로 할 수 있다.For this purpose, the line scanning apparatus 100 drives two conveyors with the inspection region A therebetween by a single power source, and performs synchronization setting from driving control of a single power source to image processing for the inspection region (A) May be based on the rotating shaft of a conveyor adjacent to the inspection area (A).

구체적으로, 라인 스캔 장치(100)는 제1 컨베이어(110), 제2 컨베이어(120), 모터구동부(130), 라인 스캔 카메라(140, 141) 및 제어기(150)를 포함할 수 있다.The line scan apparatus 100 may include a first conveyor 110, a second conveyor 120, a motor driver 130, line scan cameras 140 and 141, and a controller 150.

제2 컨베이어(120)는 제1 컨베이어(110)의 라인 이동방향에 연속하여 컨베이어 라인 상에 위치한다.The second conveyor 120 is positioned on the conveyor line in the line moving direction of the first conveyor 110.

모터구동부(130)는 단일 동력을 통해 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)를 구동시킨다.The motor driving unit 130 drives the first conveyor 110 and the second conveyor 120 through a single power.

또한, 라인 스캔 장치(100)는 환 벨트, 평 벨트 및 타이밍 벨트 중 적어도 하나를 포함하는 시료반송용 컨베이어 벨트(190)를 더 포함할 수 있다.In addition, the line scanning apparatus 100 may further include a sample conveying conveyor belt 190 including at least one of a ring belt, a flat belt, and a timing belt.

도 2를 참조하면, 모터구동부(130)는 모터(133), 모터(133)의 정상 속도를 유지하기 위한 모터 엔코더(132), 모터(133)의 회전 부하를 조절하면서 모터(133)의 1회전당 기계적인 분해능을 높이기 위한 감속기(134) 및 모터(133)를 구동하기 위한 모터 드라이브(131)를 포함할 수 있다.2, the motor driving unit 130 includes a motor 133, a motor encoder 132 for maintaining a normal speed of the motor 133, A decelerator 134 for increasing the mechanical resolution per revolution, and a motor drive 131 for driving the motor 133.

즉, 제어기(150)에 의해 모터 제어신호가 생성되면, 생성된 모터 제어신호에 의해 모터 드라이브(131)의 동작이 이루어진다. 모터 드라이브(131)의 작동으로 단일로 구비되는 모터(133)에 전원이 공급된다.That is, when the motor control signal is generated by the controller 150, the motor drive 131 operates according to the generated motor control signal. Power is supplied to the single motor 133 by the operation of the motor drive 131.

여기서, 모터 드라이브(131)는 모터 제어신호에 따라 모터(133)에 전원을 공급하거나 모터(133)에 대한 전원 공급을 차단하는 것으로 구비될 뿐만 아니라, 경우에 따라 교류 전원을 직류 전원으로 변경하거나 직류 전원을 교류 전원으로 변경하는 기능도 함께 구비할 수 있다.Here, the motor drive 131 is provided not only to supply power to the motor 133 in accordance with the motor control signal, but also to cut off the power supply to the motor 133, or to change the AC power to the DC power A function of changing the DC power source to the AC power source can be also provided.

상기 모터(133)의 회전 시, 모터(133)에 인접한 감속기(134)와 엔코더(132)가 기계적으로 동시에 회전한다.When the motor 133 rotates, the speed reducer 134 and the encoder 132 adjacent to the motor 133 simultaneously rotate at the same time.

모터 엔코더(132)는 모터(133)의 회전축에 대한 회전수, 모터(133)의 회전축에 대한 회전 방향, 모터(133)의 회전축에 대한 회전각 및 모터(133)의 회전축에 대한 초기 원점을 포함한 파라미터들을 추출하기 위한 용도로서 활용된다. 이러한 모터 엔코더(132)의 기능을 활용하여 모터(133)의 정속도를 유지하는 제어가 가능하다.The motor encoder 132 calculates the rotation angle of the motor 133 with respect to the rotation axis, the rotation direction of the motor 133 with respect to the rotation axis, the rotation angle of the motor 133 with respect to the rotation axis, It is used to extract the parameters that are included. By using the function of the motor encoder 132, it is possible to control to maintain the constant speed of the motor 133.

또한, 모터(133)가 동작하는 경우, 모터(133)의 회전축과 연결된 기어와 감속기(134)에 연결된 기어가 상호 맞물리는 구조를 통해 모터(133)의 회전축에 대한 1회전당 기계적인 분해능을 높일 수 있으며, 기계적인 부하의 진동을 향상시킬 수 있다.When the motor 133 is operated, the mechanical resolution per rotation of the motor 133 through the structure in which the gear connected to the rotation shaft of the motor 133 and the gear connected to the reducer 134 are engaged with each other And it is possible to improve the vibration of the mechanical load.

이와 같이, 감속된 모터(133)의 구동력은 타이밍 벨트(K)를 통해 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)로 동력 전달되거나, 마그넷 기어를 통해 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)로 동력 전달될 수 있다.The driving force of the decelerated motor 133 is transmitted to the first conveyor 110 and the second conveyor 120 through the timing belt K or is transmitted to the first conveyor 110 and the second conveyor 120 through the magnet gear, And conveyed to the conveyor 120.

라인 스캔 장치(100)는 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120) 중 어느 한 회전 샤프트와 결합하고, 결합한 회전 샤프트의 회전을 기초로 컨베이어 동기신호를 생성하는 컨베이어 엔코더(160)를 더 포함할 수 있다. The line scanning device 100 further includes a conveyor encoder 160 that is coupled to one of the first conveyor 110 and the second conveyor 120 and generates a conveyor synchronization signal based on the rotation of the associated rotary shaft .

컨베이어 엔코더(160)는 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120) 중 어느 한 회전 샤프트와 결합하는 것으로 전술하였으나, 기계적으로 회전 샤프트의 회전과 함께 회전하는 구조로 구비될 수 있을 뿐만 아니라 회전 샤프트의 회전을 광학적으로 검출하는 구조로도 구비 가능하다.Although the conveyor encoder 160 has been described above as being coupled to any one of the first conveyor 110 and the second conveyor 120, it can be provided with a structure that mechanically rotates with the rotation of the rotating shaft, But also a structure for optically detecting the rotation of the shaft.

컨베이어 엔코더(160)에서 생성된 컨베이어 동기신호는 제어기(150)로 전달되고, 제어기(150)에서 컨베이어 동기신호를 기초로 라인 이동 제어 및 영상 처리 제어를 실행한다.The conveyor synchronization signal generated by the conveyor encoder 160 is transmitted to the controller 150, and the controller 150 performs line movement control and image processing control based on the conveyor synchronization signal.

또한, 라인 스캔 장치(100)는 검사영역(A)을 촬영한 영상의 품질을 더욱 향상시키기 위해 검사영역(A)을 비추는 적어도 하나의 조명모듈(170, 171)을 더 포함할 수 있다.The line scan apparatus 100 may further include at least one illumination module 170, 171 for illuminating the inspection area A to further enhance the quality of the captured image of the inspection area A.

도 3을 참조하면, 제어기(150)는 모터구동부(130)를 제어하기 위한 모터 제어신호를 생성하는 모터 구동모듈(151), 컨베이어 엔코더(160)로부터 전달되는 컨베이어 동기신호와 조명모듈(170, 171)의 작동을 위한 동기 패턴을 통해 조명 동기신호를 생성하고 생성한 조명 동기신호를 이용하여 조명모듈(170, 171)을 제어하는 조명 제어모듈(153), 및 조명 제어모듈(153)로부터 전달되는 조명 동기신호와 라인 스캔 카메라(140)의 작동을 위한 동기 패턴을 통해 카메라 동기신호를 생성하고 생성한 카메라 동기신호를 이용하여 라인 스캔 카메라(140, 141)를 제어하는 영상 처리모듈(152)을 포함할 수 있다.3, the controller 150 includes a motor driving module 151 for generating a motor control signal for controlling the motor driving unit 130, a conveyor synchronization signal transmitted from the conveyor encoder 160, A lighting control module 153 for controlling the lighting modules 170 and 171 by using the generated lighting synchronization signal to generate an illumination synchronization signal through a synchronization pattern for operation of the lighting control module 153, And an image processing module 152 for controlling the line scan cameras 140 and 141 using the generated camera synchronization signal and generating a camera synchronization signal through a synchronization pattern for operation of the line scan camera 140, . ≪ / RTI >

또한, 조명 제어모듈(153)은 검사영역(A)에 구비된 그랩 센서(Grab sensor, 180)로부터 그랩 센서신호를 제공받는 경우, 검사영역(A)에 대한 영상 그랩을 개시하는 것으로 구비될 수 있다. 즉, 조명 제어모듈(153)은 전술한 그랩 센서신호의 수신을 영상취득 시작신호로서 설정함에 따라, 전술한 그랩 센서신호의 수신 시 컨베이어 엔코더(160)로부터 전달되는 컨베이어 동기신호와 수신된 그랩 센서신호를 기초로 조명모듈(170, 171)의 제어를 위한 조명 동기신호를 생성한다.The illumination control module 153 may be provided to start the image grab for the inspection area A when receiving the grab sensor signal from the grab sensor 180 provided in the inspection area A have. That is, the illumination control module 153 sets the reception of the above-described graphene sensor signal as an image acquisition start signal, and transmits the conveyor synchronous signal transmitted from the conveyor encoder 160 upon receipt of the graphene sensor signal described above, And generates an illumination synchronization signal for controlling the illumination modules 170 and 171 based on the signal.

이후, 조명모듈(170, 171)이 스위칭되어 켜지면서 1라인씩 영상이 취득됨에 따라, 라인 스캔 카메라(140)를 통해 촬상된 영상 데이터가 영상 처리모듈(152)로 입력된다. 또한, 이렇게 입력된 각 라인별 영상 데이터는 메모리에 저장된다.Then, the image data captured through the line scan camera 140 is input to the image processing module 152 as the image is acquired by one line as the illumination modules 170 and 171 are switched on and turned on. In addition, the input image data for each line is stored in the memory.

이때, 조명모듈(170, 171)에 대한 스위칭에 따라 라인 스캔 카메라(140)에서 영상 처리모듈(152)로 입력되는 영상의 개수가 상이해진다.At this time, the number of images input from the line scan camera 140 to the image processing module 152 differs according to the switching of the illumination modules 170 and 171.

예를 들면, 컨베이어 엔코더(160)로부터 조명 제어모듈(153)로 전달되는 컨베이어 동기신호와 그랩 센서신호가 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같고, 이를 기초로 라인 스캔 카메라(140)에서 4개의 영상을 취득하는 경우를 설명하면 다음과 같다.For example, the conveyor synchronization signal and the grab sensor signal transmitted from the conveyor encoder 160 to the illumination control module 153 are as shown in FIGS. 4 to 6, and based on this, The case of acquiring an image will be described as follows.

즉, 조명 제어모듈(153)은 그랩 센서신호를 통해 판단 가능한 영상취득 구간 내의 컨베이어 동기신호를 이용하여 동기 설정한다. That is, the lighting control module 153 synchronously sets the conveyor synchronization signal in the image acquisition section, which can be determined through the grab sensor signal.

조명 제어모듈(153)은 영상취득 구간 내의 컨베이어 동기신호 중 제1 클락을 기준 클락으로 하여 기 저장중인 조명모듈(170, 171)의 동기 패턴을 매칭시킨다.The illumination control module 153 matches the synchronization pattern of the illumination modules 170 and 171, which are being stored, with the first clock of the conveyor synchronization signal in the image acquisition period as the reference clock.

이때, 조명모듈(170, 171)의 동기 패턴은 라인 스캔 카메라(140)를 통해 4개의 영상을 취득하기 위해 4교차 영상취득 방식인 제1 동기패턴 및 제2 동기패턴으로 구분될 수 있다.At this time, the synchronization patterns of the illumination modules 170 and 171 can be divided into a first synchronization pattern and a second synchronization pattern, which are four-cross image acquisition methods, in order to acquire four images through the line scan camera 140. [

도 4를 참조하면, 제1 동기패턴은 컨베이어 엔코더(160)의 'A상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1' 클럭과 대응하는 'Odd 1' 클럭을 기준으로 한 Odd 1 조명 동기신호와, 컨베이어 엔코더(160)의 'A'상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1'' 클럭과 대응하는 'Even 1' 클럭을 기준으로 한 Even 1 조명 동기신호로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 4, the first synchronous pattern includes an Odd 1 illumination synchronizing signal based on the 'Odd 1' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronization signal according to the 'A phase' of the conveyor encoder 160, May be provided as an Even 1 illumination synchronization signal based on the 'Even 1' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronization signal according to the 'A' phase of the conveyor encoder 160.

또한, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제1 동기패턴을 기초로 하여 라인 스캔 카메라(140)를 제어하기 위한 카메라 동기신호를 설정할 수 있다.In addition, the image processing module 152 can set a camera synchronization signal for controlling the line scan camera 140 based on the first synchronization pattern.

즉, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제1 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Odd 1' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Odd 1' 영상을 취득한다.That is, the image processing module 152 acquires the 'Odd 1' image through the camera operation corresponding to the 'Odd 1' clock among the camera synchronization signals of the above-described first synchronization pattern.

또한, 영상 처리모듈(152)는 전술한 제1 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Even 1' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Even 1' 영상을 취득한다.Also, the image processing module 152 acquires the 'Even 1' image through the camera operation corresponding to the 'Even 1' clock among the camera synchronization signals of the above-described first synchronization pattern.

도 5를 참조하면, 제2 동기패턴은 컨베이어 엔코더(160)의 'A상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A2' 클럭과 대응하는 'Odd 2' 클럭을 기준으로 한 Odd 2 조명 동기신호와, 컨베이어 엔코더(160)의 'A'상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A2'' 클럭과 대응하는 'Even 2' 클럭을 기준으로 한 Even 2 조명 동기신호로 구비될 수 있다.5, the second synchronous pattern includes an Odd 2 illumination synchronizing signal based on the 'Odd 2' clock corresponding to the 'A2' clock of the conveyor synchronization signal according to 'A phase' of the conveyor encoder 160, May be provided as an Even 2 illumination synchronization signal based on the 'Even 2' clock corresponding to the 'A2' clock of the conveyor synchronization signal according to the 'A' phase of the conveyor encoder 160.

또한, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제2 동기패턴을 기초로 하여 라인 스캔 카메라(140)를 제어하기 위한 카메라 동기신호를 설정할 수 있다.In addition, the image processing module 152 can set a camera synchronization signal for controlling the line scan camera 140 based on the second synchronization pattern.

즉, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제2 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Odd 2' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Odd 2' 영상을 취득한다.That is, the image processing module 152 acquires the 'Odd 2' image through the camera operation corresponding to the 'Odd 2' clock among the camera synchronization signals of the second synchronization pattern described above.

또한, 영상 처리모듈(152)는 전술한 제2 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Even 2' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Even 2' 영상을 취득한다.Also, the image processing module 152 acquires the 'Even 2' image through the camera operation corresponding to the 'Even 2' clock among the camera synchronization signals of the second synchronization pattern described above.

더 나아가, 조명모듈(170, 171)의 동기 패턴은 라인 스캔 카메라(140)를 통해 2개의 영상을 취득하기 위해 제1 동기패턴 및 제2 동기패턴 중 어느 하나로 구비되는 것도 가능하다.Furthermore, the synchronization pattern of the illumination modules 170 and 171 may be provided in any one of the first synchronization pattern and the second synchronization pattern to acquire two images through the line scan camera 140.

여기서, 조명모듈(170, 171)의 동기 패턴을 2교차 영상취득 방식인 제1 동기패턴만으로 설정하여 라인 스캔 카메라(140)를 통해 2개의 영상을 취득하는 경우는 도 7에 도시된 동기 설정을 통해 가능하다.In this case, when the synchronization pattern of the illumination modules 170 and 171 is set to only the first synchronization pattern, which is a two-cross image acquisition method, and two images are acquired through the line scan camera 140, .

도 7을 참조하면, 영상취득 구간 내의 제1 동기패턴은 컨베이어 엔코더(160)의 'A상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1' 클럭과 대응하는 'Odd' 클럭을 기준으로 한 Odd 조명 동기신호와, 컨베이어 엔코더(160)의 'A'상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1'' 클럭과 대응하는 'Even' 클럭을 기준으로 한 Even 조명 동기신호로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 7, the first synchronous pattern in the image acquisition period is an Odd illumination synchronizing signal based on the 'Odd' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronization signal according to 'A phase' of the conveyor encoder 160 And an even illumination synchronizing signal based on the 'Even' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronization signal according to the 'A' phase of the conveyor encoder 160. [

또한, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제1 동기패턴을 기초로 하여 라인 스캔 카메라(140)를 제어하기 위한 카메라 동기신호를 설정할 수 있다.In addition, the image processing module 152 can set a camera synchronization signal for controlling the line scan camera 140 based on the first synchronization pattern.

즉, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제1 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Odd' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Odd' 영상을 취득한다.That is, the image processing module 152 acquires the 'Odd' image through the camera operation corresponding to the 'Odd' clock among the camera synchronization signals of the first synchronization pattern described above.

또한, 영상 처리모듈(152)는 전술한 제1 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Even' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Even' 영상을 취득한다.Also, the image processing module 152 acquires the 'Even' image through the camera operation corresponding to the 'Even' clock among the camera synchronization signals of the first synchronization pattern described above.

조명 제어모듈(153)은 앞서 설명한 바와 같이 조명을 제어하는 순간에 조명 밝기 또한 조절하기 위한 'Odd' 클럭을 기준으로 한 Odd 노출 동기신호와, 'Even' 클럭을 기준으로 한 Even 노출 동기신호를 추가로 생성할 수도 있다.As described above, the illumination control module 153 generates an odd exposure synchronizing signal based on the 'Odd' clock for adjusting the brightness of the illumination and an Even exposure synchronizing signal based on the 'Even' clock You can also create additional.

전술한 Odd 노출 동기신호 및 Even 노출 동기신호는 각 조명별 초퍼에 적용되는 것으로 판단할 수 있다.It can be determined that the above-described Odd exposure synchronization signal and Even exposure synchronization signal are applied to each chopper for each illumination.

아울러, 조명모듈(170, 171)의 동기 패턴을 제2 동기패턴만으로 설정하여 라인 스캔 카메라(140)를 통해 2개의 영상을 취득하는 경우는 도 8에 도시된 동기 설정을 통해 가능하다. 여기서, 2교차 영상취득 방식의 제2 동기패턴은 제1 동기패턴의 반복을 의미한다.In addition, when two images are acquired through the line scan camera 140 by setting the synchronization pattern of the illumination modules 170 and 171 to only the second synchronization pattern, synchronization can be established through the synchronization setting shown in FIG. Here, the second synchronization pattern of the two-cross image acquisition scheme means the repetition of the first synchronization pattern.

도 8을 참조하면, 영상취득 구간 내의 제2 동기패턴은 컨베이어 엔코더(160)의 'A상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1' 클럭과 대응하는 'Odd' 클럭을 기준으로 한 Odd 조명 동기신호와, 컨베이어 엔코더(160)의 'A'상'에 따른 컨베이어 동기신호 중 'A1'' 클럭과 대응하는 'Even' 클럭을 기준으로 한 Even 조명 동기신호로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 8, the second synchronous pattern in the image acquisition period is an Odd illumination synchronizing signal based on the 'Odd' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronous signal according to 'A phase' of the conveyor encoder 160 And an even illumination synchronizing signal based on the 'Even' clock corresponding to the 'A1' clock of the conveyor synchronization signal according to the 'A' phase of the conveyor encoder 160. [

또한, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제2 동기패턴을 기초로 하여 라인 스캔 카메라(140)를 제어하기 위한 카메라 동기신호를 설정할 수 있다.In addition, the image processing module 152 can set a camera synchronization signal for controlling the line scan camera 140 based on the second synchronization pattern.

즉, 영상 처리모듈(152)은 전술한 제2 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Odd' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Odd' 영상을 취득한다.That is, the image processing module 152 acquires the 'Odd' image through the camera operation corresponding to the 'Odd' clock among the camera synchronization signals of the second synchronization pattern described above.

또한, 영상 처리모듈(152)는 전술한 제2 동기패턴의 카메라 동기신호 중에서 'Even' 클럭과 대응하는 카메라 동작을 통해 'Even' 영상을 취득한다.Also, the image processing module 152 acquires the 'Even' image through the camera operation corresponding to the 'Even' clock among the camera synchronization signals of the second synchronization pattern described above.

조명 제어모듈(153)은 앞서 설명한 바와 같이 조명을 제어하는 순간에 조명 밝기 또한 조절하기 위한 'Odd' 클럭을 기준으로 한 Odd 노출 동기신호와, 'Even' 클럭을 기준으로 한 Even 노출 동기신호를 추가로 생성할 수도 있다.As described above, the illumination control module 153 generates an odd exposure synchronizing signal based on the 'Odd' clock for adjusting the brightness of the illumination and an Even exposure synchronizing signal based on the 'Even' clock You can also create additional.

전술한 Odd 노출 동기신호 및 Even 노출 동기신호는 각 조명별 초퍼에 적용되는 것으로 판단할 수 있다.It can be determined that the above-described Odd exposure synchronization signal and Even exposure synchronization signal are applied to each chopper for each illumination.

또한, 1 라인스캔 카메라의 경우, 가로가 1화소이며, 세로가 n개의 화소(2k, 4k, 8k, 12k, 16k)인 것으로 구비할 수 있다.Also, in the case of a line scan camera, it may be provided that the pixel is 1 pixel in the horizontal direction and n pixels (2k, 4k, 8k, 12k, 16k) in the vertical direction.

또한, 4 라인스캔 카메라의 경우, 가로가 4개의 화소이며, 세로가 n개의 화소(2k, 4k, 8k, 12k, 16k)인 것으로 구비할 수 있다. 이때, 4 라인스캔 카메라의 경우에는 가로 4개의 화소를 1개의 화소로 읽는 binning 모드로 수행하여 센서감도를 향상시키는 것도 가능하다.In the case of a 4 line scan camera, it is possible to provide four pixels in the horizontal direction and n pixels (2k, 4k, 8k, 12k, 16k) in the vertical direction. In this case, in the case of a 4 line scan camera, it is also possible to improve the sensor sensitivity by performing the binning mode in which four pixels in the horizontal direction are read as one pixel.

제1 컨베이어(110), 제2 컨베이어(120) 및 모터구동부(130)는 제1 통합형 모듈로 구비되어 라인 스캔 장치(100)의 설비 구축을 용이하게 할 수 있도록 할 수 있다. The first conveyor 110, the second conveyor 120, and the motor driving unit 130 may be provided as a first integrated module to facilitate facility construction of the line scan apparatus 100.

다른 예로, 제1 통합형 모듈에 라인 스캔 카메라(140, 141), 컨베이어 엔코더(160) 및 조명모듈(170, 171) 중 적어도 하나를 더 추가한 형태인 제2 통합형 모듈로 구비되는 것도 가능하다.As another example, the first integrated module may be provided with a second integrated module in which at least one of the line scan cameras 140 and 141, the conveyor encoder 160, and the illumination modules 170 and 171 is further added.

컨베이어 라인 상에 제1 통합형 모듈 또는 제2 통합형 모듈을 구축하는 경우, 컨베이어 라인 상에 시료 검사를 위한 제1 스테이지를 구비하였다고 할 수 있다. When constructing the first integrated module or the second integrated module on the conveyor line, it can be said that the first stage for inspection of the sample is provided on the conveyor line.

또한, 컨베이어 라인 상에 시료 검사 과정을 더 추가하기 위한 제2 스테이지, 제3 스테이지 등을 구비하기 위하여, 제1 스테이지 이후의 컨베이어 라인 상에 제1 통합형 모듈 또는 제2 통합형 모듈을 각 추가 스테이지별로 더 구축할 수 있다.Further, in order to have a second stage, a third stage, and the like for further adding a sample inspection process on the conveyor line, a first integrated module or a second integrated module is installed on each conveying line after the first stage for each additional stage You can build more.

이와 같이, 컨베이어 라인 상에 다수 개의 스테이지를 구비하는 경우, 제어기(150)는 각 스테이지와의 회로 연결을 통해 각 스테이지별로 라인 이동 제어 및 영상 처리 제어를 실행한다.In this manner, when a plurality of stages are provided on the conveyor line, the controller 150 performs line movement control and image processing control for each stage through circuit connection with each stage.

예컨대, 도 9를 참조하면, 컨베이어 라인 상에 제1 스테이지 및 제2 스테이지가 구비될 수 있다.For example, referring to FIG. 9, a first stage and a second stage may be provided on a conveyor line.

각 스테이지별로 모듈형의 라인 스캔 장치(100)를 구비하는바, 각 스테이지는 다른 스테이지의 영향을 받지 않는 독립된 구조를 갖춘다.Each of the stages has a modular line scanning apparatus 100, and each stage has an independent structure that is not influenced by the other stages.

즉, 제1 스테이지 및 제2 스테이지 간의 벌어진 공간에서 높이 편차 및 평행도 편차 중 적어도 하나의 편차가 발생하더라도, 제1 스테이지 내 검사영역(A) 또는 제2 스테이지 내 검사영역(B)에서의 영상 촬영과 관련한 어떠한 에러도 발생시키지 않는 구조가 된다.That is, even if at least one of the height deviation and the parallelism deviation occurs in the space between the first stage and the second stage, the image pickup in the inspection area A in the first stage or the inspection area B in the second stage So that no error is generated.

도 9에 도시된 바와 같이, 모터(133)의 구동력을 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)로 동시 전달하기 위한 타이밍 벨트(K) 구조는 환 벨트, 평 벨트 및 타이밍 벨트(K)를 어떠한 방식으로 구성하는지에 따라 다양해진다.9, the timing belt K structure for simultaneously transmitting the driving force of the motor 133 to the first conveyor 110 and the second conveyor 120 includes a ring belt, a flat belt, and a timing belt K Quot;) is structured in any manner.

도 10은 도 1의 라인 스캔 장치(100)에 조명을 적용한 경우를 나타내는 도면이다.10 is a diagram showing a case where illumination is applied to the line scanning apparatus 100 of FIG.

도 10을 참조하면, 검사영역(A)의 특성에 따라 라인 스캔 카메라(140, 141) 및 조명모듈(170, 171)의 개수를 조정할 수 있으며, 더 나아가 검사영역(A)의 특성에 따라 라인 스캔 카메라(140, 141) 및 조명모듈(170, 171)의 배치 각도도 특정 방향을 향하도록 배치할 수 있다.10, it is possible to adjust the number of the line scan cameras 140 and 141 and the lighting modules 170 and 171 according to the characteristics of the inspection area A. Further, according to the characteristics of the inspection area A, The arrangement angles of the scan cameras 140 and 141 and the illumination modules 170 and 171 may also be oriented toward a specific direction.

도 11은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 라인 스캔 장치(100)를 나타내는 도면이다.11 is a diagram illustrating a line scan apparatus 100 according to a second embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 제2 실시 예의 라인 스캔 장치(100)도 제1 실시 예의 라인 스캔 장치(100)와 같이 제1 컨베이어(110), 제2 컨베이어(120), 모터구동부(130-1), 라인 스캔 카메라(140, 141) 및 제어기(150)를 포함할 수 있다.11, the line scanning apparatus 100 of the second embodiment also includes a first conveyor 110, a second conveyor 120, a motor driving unit 130-1, and the like, like the line scanning apparatus 100 of the first embodiment. Line scan cameras 140 and 141, and a controller 150. [0027]

다만, 제2 실시 예의 모터구동부(130-1)는 마그넷 기어구조를 거쳐 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)에 모터 구동력을 전달한다.However, the motor driving unit 130-1 of the second embodiment transmits the motor driving force to the first conveyor 110 and the second conveyor 120 via the magnet gear structure.

제2 실시 예의 제1 컨베이어(110), 제2 컨베이어(120) 및 모터구동부(130-1)도 제1 통합형 모듈로 구비되어 라인 스캔 장치(100)의 설비 구축을 용이하게 할 수 있도록 할 수 있다. The first conveyor 110, the second conveyor 120, and the motor driving unit 130-1 of the second embodiment may be provided as a first integrated module so as to facilitate facility construction of the line scan apparatus 100 have.

또한, 제1 통합형 모듈에 라인 스캔 카메라(140, 141), 컨베이어 엔코더(160) 및 조명모듈 중 적어도 하나를 더 추가한 형태인 제2 통합형 모듈로 구비되는 것도 가능하다.It is also possible that the first integrated module is provided with a second integrated module in which at least one of the line scan cameras 140 and 141, the conveyor encoder 160 and the illumination module is further added.

그리고, 도 12는 도 11의 라인 스캔 장치(100)를 다수 개로 구비한 경우를 나타내는 도면이다.12 is a diagram showing a case where a plurality of line scan devices 100 of FIG. 11 are provided.

컨베이어 라인 상에 제1 통합형 모듈 또는 제2 통합형 모듈을 구축하는 경우, 컨베이어 라인 상에 시료 검사를 위한 제1 스테이지를 구비하였다고 할 수 있다. When constructing the first integrated module or the second integrated module on the conveyor line, it can be said that the first stage for inspection of the sample is provided on the conveyor line.

또한, 컨베이어 라인 상에 시료 검사 과정을 더 추가하기 위한 제2 스테이지, 제3 스테이지 등을 구비하기 위하여, 제1 스테이지 이후의 컨베이어 라인 상에 제1 통합형 모듈 또는 제2 통합형 모듈을 각 추가 스테이지별로 더 구축할 수 있다.Further, in order to have a second stage, a third stage, and the like for further adding a sample inspection process on the conveyor line, a first integrated module or a second integrated module is installed on each conveying line after the first stage for each additional stage You can build more.

이와 같이, 컨베이어 라인 상에 다수 개의 스테이지를 구비하는 경우, 제어기(150)는 각 스테이지와의 회로 연결을 통해 각 스테이지별로 라인 이동 제어 및 영상 처리 제어를 실행한다.In this manner, when a plurality of stages are provided on the conveyor line, the controller 150 performs line movement control and image processing control for each stage through circuit connection with each stage.

예컨대, 도 12를 참조하면, 컨베이어 라인 상에 제1 스테이지 및 제2 스테이지가 구비될 수 있다.For example, referring to FIG. 12, a first stage and a second stage may be provided on a conveyor line.

각 스테이지별로 모듈형의 라인 스캔 장치(100)를 구비하는바, 각 스테이지는 다른 스테이지의 영향을 받지 않는 독립된 구조를 갖춘다.Each of the stages has a modular line scanning apparatus 100, and each stage has an independent structure that is not influenced by the other stages.

즉, 제1 스테이지 및 제2 스테이지 간의 벌어진 공간에서 높이 편차 및 평행도 편차 중 적어도 하나의 편차가 발생하더라도, 제1 스테이지 내 검사영역(A) 또는 제2 스테이지 내 검사영역(B)에서의 영상 촬영과 관련한 어떠한 에러도 발생시키지 않는 구조가 된다.That is, even if at least one of the height deviation and the parallelism deviation occurs in the space between the first stage and the second stage, the image pickup in the inspection area A in the first stage or the inspection area B in the second stage So that no error is generated.

도 12에 도시된 바와 같이, 모터의 구동력을 제1 컨베이어(110) 및 제2 컨베이어(120)로 동시 전달하기 위한 마그넷 기어구조는 모터구동부(130-1)의 모터 회전축에 결합한 제1 마그넷 기어(M), 제1 마그넷 기어(M)의 회전에 의한 전자기력 발생에 따라 회전 구동력을 일으키며 모터 구동 축과 컨베이어 배열 축 사이에 위치하는 경계 축 상에 배치되는 다수의 제2 마그넷 기어(N), 및 각 제2 마그넷 기어(N)의 회전에 의한 전자기력 발생에 따라 회전 구동력을 일으켜서 연결 중인 컨베이어 회전 축을 회전 구동케 하는 제3 마그넷 기어(L)를 포함하는 구조이다.12, the magnet gear structure for simultaneously transmitting the driving force of the motor to the first conveyor 110 and the second conveyor 120 includes a first magnet gear (not shown) coupled to the motor rotation shaft of the motor driving unit 130-1, A plurality of second magnet gears N arranged on a boundary axis positioned between the motor drive shaft and the conveyor arrangement axis to generate a rotational drive force in accordance with the generation of electromagnetic force by the rotation of the first magnet gear M, And a third magnet gear (L) for generating a rotational driving force in accordance with generation of an electromagnetic force by rotation of each second magnet gear (N) to rotate and drive the rotating shaft of the connecting conveyor.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

또한, 본 발명은 컨베이어로 구비된 라인에 시료를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사영역이 갖춰지는 경우, 검사영역에 대한 촬영 영상의 에러를 현저히 줄이기 위한 것임에 따라, 시판 또는 영업의 가능성이 충분할 뿐만 아니라 현실적으로 명백하게 실시할 수 있는 정도이므로 산업상 이용가능성이 있는 발명이다.Further, the present invention is intended to remarkably reduce the errors of the photographed image with respect to the inspection area when at least one inspection area for inspecting the specimen is provided in the line provided with the conveyor, This is an invention that is industrially applicable because it is practically possible to carry out clearly.

100: 라인 스캔 장치 110: 제1 컨베이어
120: 제2 컨베이어 130, 130-1: 모터구동부
131: 모터 드라이브 132: 모터 엔코더
133: 모터 134: 감속기
140, 141: 라인 스캔 카메라 150: 제어기
151: 모터 구동모듈 152: 영상 처리모듈
153: 조명 제어모듈 160: 컨베이어 엔코더
170, 171: 조명 모듈 180: 그랩 센서
190: 시료반송용 컨베이어 벨트
100: line scanning device 110: first conveyor
120: second conveyor 130, 130-1: motor driving part
131: motor drive 132: motor encoder
133: motor 134: speed reducer
140, 141: line scan camera 150: controller
151: motor drive module 152: image processing module
153: Lighting control module 160: Conveyor encoder
170, 171: Lighting module 180: Grab sensor
190: Conveyor belt for sample conveyance

Claims (17)

제1 컨베이어;
상기 제1 컨베이어의 라인 이동방향에 연속하여 위치하는 제2 컨베이어;
상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어를 단일 동력으로 구동하는 모터구동부;
상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 사이의 검사영역에 위치하고, 상기 검사영역을 촬영하는 라인 스캔 카메라;
상기 모터구동부를 통한 라인 이동 제어와 상기 검사영역에 대한 영상 처리 제어를 실행하는 제어기; 및
상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어 중 어느 한 회전 샤프트와 결합하고, 상기 회전 샤프트의 회전을 기초로 한 컨베이어 동기신호를 상기 제어기에 제공하는 컨베이어 엔코더를 포함하고,
상기 제어기는 상기 컨베이어 엔코더에서 제공된 상기 컨베이어 동기신호를 기초로 상기 라인 이동 제어와 상기 영상 처리 제어를 실행하는 라인 스캔 장치.
A first conveyor;
A second conveyor continuously disposed in a line moving direction of the first conveyor;
A motor driving unit for driving the first conveyor and the second conveyor by a single power;
A line scan camera located in an inspection area between the first conveyor and the second conveyor and photographing the inspection area;
A controller for performing line movement control through the motor driving unit and image processing control for the inspection area; And
And a conveyor encoder coupled to one of the first conveyor and the second conveyor and providing a conveyor synchronization signal to the controller based on rotation of the rotary shaft,
Wherein the controller executes the line movement control and the image processing control based on the conveyor synchronization signal provided by the conveyor encoder.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 라인 스캔 장치는,
상기 검사영역을 비추기 위한 적어도 하나의 조명모듈;을 더 포함하는, 라인 스캔 장치.
The method according to claim 1,
The line scan apparatus includes:
And at least one illumination module for illuminating the inspection area.
제1 항 또는 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 라인 스캔 장치는,
상기 검사영역에 시료가 진입할 때 영상취득을 개시하기 위한 그랩 센서신호를 생성하고, 상기 그랩 센서신호를 상기 제어기로 전송하는 그랩 센서;를 더 포함하는, 라인 스캔 장치.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The line scan apparatus includes:
And a grab sensor for generating a grab sensor signal for starting the acquisition of the image when the sample enters the inspection region and for transmitting the grab sensor signal to the controller.
제3 항에 있어서,
상기 제1 컨베이어, 상기 제2 컨베이어 및 상기 모터구동부를 제1 통합형 모듈로 구비하거나, 상기 제1 통합형 모듈에 상기 라인 스캔 카메라, 상기 컨베이어 엔코더 및 상기 조명모듈 중 적어도 하나를 더 추가한 제2 통합형 모듈로 구비하는 라인 스캔 장치.
The method of claim 3,
A second integrated type module in which at least one of the line scan camera, the conveyor encoder, and the light module is further added to the first integrated module, or the first integrated module includes the first conveyor, the second conveyor, A line scan device provided as a module.
제3 항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 모터구동부를 제어하는 모터 구동모듈;
상기 컨베이어 동기신호와 상기 조명모듈의 작동을 위한 동기 패턴을 통해 조명 동기신호를 생성하고, 상기 조명 동기신호를 이용하여 상기 조명모듈을 제어하는 조명 제어모듈; 및
상기 조명 동기신호와 상기 라인 스캔 카메라의 작동을 위한 동기 패턴을 통해 카메라 동기신호를 생성하고, 상기 카메라 동기신호를 이용하여 상기 라인 스캔 카메라를 제어하는 영상 처리모듈;을 포함하는, 라인 스캔 장치.
The method of claim 3,
The controller comprising:
A motor driving module for controlling the motor driving unit;
A lighting control module for generating an illumination synchronization signal through the conveyor synchronization signal and a synchronization pattern for operation of the illumination module and controlling the illumination module using the illumination synchronization signal; And
And an image processing module for generating a camera synchronization signal through the illumination synchronization signal and a synchronization pattern for operation of the line scan camera and controlling the line scan camera using the camera synchronization signal.
◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈ Claim 7 is abandoned due to registration fee. 제6 항에 있어서,
상기 조명 제어모듈은 상기 조명모듈이 둘 이상인 경우, 각 조명모듈별로 상기 조명 동기신호를 생성하는 라인 스캔 장치.
The method according to claim 6,
Wherein the illumination control module generates the illumination synchronization signal for each illumination module when the illumination module is more than one.
◈청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈◈ Claim 8 is abandoned due to the registration fee. 제7 항에 있어서,
상기 영상 처리모듈은 상기 조명 동기신호가 둘 이상인 경우, 각 조명 동기신호 별로 상기 카메라 동기신호를 생성하는 라인 스캔 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the image processing module generates the camera synchronization signal for each illumination synchronization signal when the illumination synchronization signal is more than two.
제5 항에 있어서,
상기 제어기는 컨베이어 라인 상에 상기 제1 통합형 모듈 또는 상기 제2 통합형 모듈을 다수 개로 구비하는 경우, 다수 개의 제1 통합형 모듈 또는 다수 개의 제2 통합형 모듈을 구분하고, 구분된 각 제1 통합형 모듈 또는 각 제2 통합형 모듈별로 라인 이동 제어 및 영상 처리 제어를 실행하는 라인 스캔 장치.
6. The method of claim 5,
When the first integrated module or the second integrated module is provided on the conveyor line, the controller divides the plurality of first integrated modules or the plurality of second integrated modules, And performs line movement control and image processing control for each second integrated module.
제1 항에 있어서,
상기 모터구동부는,
모터;
상기 모터의 정상 속도를 유지하기 위한 모터 엔코더;
상기 모터의 회전 부하를 조절하면서 상기 모터의 1회전당 기계적인 분해능을 높이기 위한 감속기; 및
상기 모터를 구동하기 위한 모터 드라이브;를 포함하는, 라인 스캔 장치.
The method according to claim 1,
The motor drive unit includes:
motor;
A motor encoder for maintaining a normal speed of the motor;
A speed reducer for increasing a mechanical resolution per rotation of the motor while adjusting a rotational load of the motor; And
And a motor drive for driving the motor.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106534632B (en) * 2016-11-03 2019-03-29 桂林电子科技大学 Synchronous scanning imaging system
WO2019068162A1 (en) * 2017-10-02 2019-04-11 Teledyne Digital Imaging, Inc. Method of synchronizing a line scan camera

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102656445A (en) 2009-12-16 2012-09-05 宝洁公司 Systems and methods for monitoring on-line webs using line scan cameras

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7292274B2 (en) * 2001-11-06 2007-11-06 Eastman Kodak Company Solid-state image pickup device driving method and image capturing apparatus for outputting high-resolution signals for still images and moving images of improved quality at a high frame rate
CN1320808C (en) * 2004-04-29 2007-06-06 虹光精密工业(苏州)有限公司 Double face scanner
US7959248B2 (en) * 2007-06-29 2011-06-14 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus and method for controlling the recording apparatus
CN201418124Y (en) * 2009-03-30 2010-03-03 深圳市宝瑞明科技有限公司 Lighting controller and camera system
JP5477853B2 (en) 2010-01-19 2014-04-23 株式会社庄内クリエート工業 X-ray inspection equipment using line sensor camera
CN101808199A (en) * 2010-03-26 2010-08-18 上海博康智能网络科技有限公司 Video acquisition system and acquisition method thereof
KR20120015172A (en) * 2010-08-11 2012-02-21 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method of inspecting display device
JP5830850B2 (en) * 2010-11-08 2015-12-09 富士ゼロックス株式会社 Image reading apparatus and image forming apparatus
CN102507597B (en) * 2011-10-08 2014-04-23 苏州赛琅泰克高技术陶瓷有限公司 Detection system for ceramic substrate laser holes and detection method for ceramic substrate laser holes

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102656445A (en) 2009-12-16 2012-09-05 宝洁公司 Systems and methods for monitoring on-line webs using line scan cameras
JP2013513188A (en) * 2009-12-16 2013-04-18 ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー System and method for monitoring online web using line scan camera

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