KR101937107B1 - Air knife - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 공기압으로 세정대상물의 표면을 청소하는 에어나이프에 관한 것이다. The present invention relates to an air knife for cleaning the surface of an object to be cleaned by air pressure.
에어나이프란 압축된 공기를 좁은 출구로 강하게 분출되도록 하는 장치를 말하며, 이러한 장치는 LCD 유리기판이나 반도체기판 등의 세정대상물에 존재하는 파티클 등의 이물질을 제거하여 세정하는데 사용될 뿐 아니라, 이들 대상물에 부착된 습기 등의 제거하여 건조하는 용도 등으로 사용된다.The air knife refers to a device for strongly ejecting compressed air to a narrow outlet. Such an apparatus is used not only for removing foreign matter such as particles present in an object to be cleaned, such as an LCD glass substrate or a semiconductor substrate, And is used for removing moisture and the like and drying it.
종래에 제안된 에어나이프는 통상 에어 커튼과 같이 끝이 뾰족한 출구를 갖는 본체의 내부에 압축된 공기를 투입할 수 있는 구조로 이루어진 것이 대부분이다.Conventionally, the air knife generally has a structure capable of injecting compressed air into the interior of a main body having an outlet having a sharp end like an air curtain.
이러한 에어나이프의 사용방법은 대상물이 이송하는 경로의 상부에 에어나이프를 근접배치하고, 그 에어나이프의 상부 또는 전후 또는 에어나이프의 반사각에 흡기후드를 장치하여서, 에어나이프에 의해 비산되는 이물질을 제거하고 있는 것이 일반적이었다. The method of using such an air knife is a method in which an air knife is disposed close to an upper part of a path through which an object is transported and an intake hood is installed at the top, back or front or rear of the air knife or at the angle of reflection of the air knife to remove foreign matter scattered by the air knife .
그러나 상술한 방법은 흡입후드를 아무리 에어나이프의 출구에 근접배치하더라도 에어나이프에 의해 타격되어 반사되는 공기압의 비산각도가 크므로, 공중으로 흩어지는 이물질을 완전하게 회수할 수 없고, 이렇게 회수되지 않은 이물질이 이미 세정 된 대상물의 표면에 다시 앉게 되어 오염시키는 문제점이 있었다. However, even if the suction hood is disposed close to the outlet of the air knife, the above-described method can not completely recover the foreign matter scattered in the air because the scattering angle of the air pressure hitting and reflected by the air knife is large, There has been a problem that the foreign matter is caused to sit on the surface of the object which has already been cleaned and thus contaminated.
한편, 흡입후드를 에어나이프의 출구에 지나치게 근접배치하게 되면, 반사각형태로 배치할 수밖에 없고, 이렇게 되면 에어나이프에서 토출되는 에어압이 대상물의 표면을 타격하지 않고, 곧바로 흡입후드로 빨려들어가는 문제점이 있으므로, 흡입후드를 에어나이프에 근접배치하는데 한계가 있었다. On the other hand, if the suction hood is disposed too close to the outlet of the air knife, it is inevitable to arrange the suction hood too close to the outlet of the air knife. In this case, the air pressure discharged from the air knife is sucked into the suction hood without hitting the surface of the object Therefore, there was a limit in disposing the suction hood close to the air knife.
참고로, 하기의 선행기술문헌은 특허정보넷 키프리스를 통해 "에어나이프"를 키워드로 하여 검색된 최근의 선행기술문헌 5건을 등재한 것으로, 하기의 선행기술문헌을 참고하여 본 발명에 관한 기술분야와 배경기술 및 그 발전상태를 파악할 수 있을 것이다.For reference, the following prior art documents include five recent prior art documents searched with the keyword "air knife " through Patent Information Net Kiffris, and the following technical literatures are referred to, And the background technology and its development status.
본 발명은 배경기술에서 언급한 종래의 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로, 특히 에어나이프를 구성함에 있어 공기압의 토출에 의해 세정대상물의 표면으로부터 비산되는 이물질이 외부로 비산되지 않고 곧바로 흡입할 수 있도록 하려는데 그 목적이 있다. The present invention has been developed in order to solve the conventional problems mentioned in the background art. In particular, in constituting the air knife, the foreign matter scattered from the surface of the object to be cleaned by the discharge of the air pressure is sucked I have a purpose to do.
본 발명은 상술한 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 하방으로 통로가 좁혀지는 노즐부를 구비하는 하나의 본체에 공기압을 토출할 수 있는 토출구와 외부 공기를 흡입할 수 있는 흡기구가 일체로 구성되는 수단을 제안한다. Means for attaining the above object is to provide a device in which a discharge port capable of discharging air pressure and a suction port capable of sucking outside air are integrally formed in one main body having a nozzle portion whose passage is narrowed downward I suggest.
본 발명의 수단에 따르면, 하나의 본체 노즐부로부터 공기압의 토출과 흡입이 동시에 이루어지므로, 공기압에 의해 대상물의 표면으로부터 비산되는 이물질이 외부로 비산되지 않고 곧바로 흡입할 수 있으므로, 종래와 같이 공기압에 의해 비산되는 이물질이 다시 세정 된 대상물의 표면을 오염시키는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다. According to the means of the present invention, since the discharge and suction of the air pressure are simultaneously performed from one main body nozzle portion, the foreign matter scattered from the surface of the object by the air pressure can be sucked directly without being scattered to the outside, It is possible to prevent the problem that the foreign matter scattered by the foreign matter contaminates the surface of the object to be cleaned again.
도 1은 본 발명의 예시도
도 2는 도 1의 일 예를 나타낸 단면 예시도
도 3은 도 2의 측방 단면 예시도
도 4는 도 1의 또 다른 예를 나타낸 단면 예시도
도 5는 도 4의 측방 단면 예시도 Figure 1 shows an exemplary embodiment of the present invention
Fig. 2 is a cross-sectional view showing an example of Fig. 1
Figure 3 is a lateral cross-sectional view of Figure 2
4 is a cross-sectional view showing still another example of Fig. 1
Figure 5 is a lateral cross-sectional view of Figure 4
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 다만, 첨부된 도면은 요부에 관한 설명의 편의를 위해 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시될 수 있고, 설명에 사용되는 용어 및 명칭은 사전적인 의미가 아닌 구성의 형상이나 작용, 역할 등에 의해 함축적으로 정해질 수 있으며, 방향에 관한 설명은 최초로 제시된 도면으로부터 최초로 제시한 방향을 기준으로 결정되며, 위치에 관한 설명은 각 구성의 중간 또는 원의 중심을 기준으로 내외가 결정된다. 그리고 선등록된 공지기술 및 통상적 기술에 대한 구체적인 설명은 요지를 흐릴 수 있어 생략 또는 간단한 부호나 명칭으로 대체한다. 또한, 도면을 통해 식별할 수 있는 구성의 구체적인 구조, 형상, 모양, 배치, 크기, 등과, 도면을 통해 유추할 수 있는 구성의 작동 및 그에 따른 작용효과 등도 요지를 흐릴 수 있어 상세한 설명을 생략할 수 있고, 구성 간의 결합을 위해 적용되는 볼트, 용접부위, 구멍, 등은 요지를 흐릴 수 있어 도면에서 생략할 수 있으며, 구성의 모양을 특별하게 특정하지 않은 이상 그 평면의 모양은 원형 또는 사각형이고, 이럴 경우 평면도는 생략될 수 있다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the appended drawings may be exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience of description, and the terms and names used in the description are intended to be implicitly construed according to the shape, And the description of the direction is determined based on the direction originally presented from the first drawing presented, and the description of the position is determined based on the center of each structure or the center of the circle. And specific descriptions of well-known and commonly-used techniques may be omitted to avoid obscuring the subject matter, or to be omitted or replaced with a simple code or name. In addition, detailed structures, shapes, shapes, arrangements, sizes, etc. of structures that can be identified through the drawings, operation of structures that can be inferred through the drawings, and operation and effect of the structures can be omitted. And the bolts, welded parts, holes, etc. applied to the connection between the components may be blurred and may be omitted from the drawings, and the shape of the plane may be circular or rectangular unless otherwise specified , In which case the plan view may be omitted.
우선, 종래의 구성을 설명하면 다음과 같다.First, a conventional configuration will be described as follows.
도시되어 있지는 않지만, 본 발명은 하방으로 통로가 좁혀지는 노즐부를 구비하는 하나의 본체에 공기압을 토출할 수 있는 토출구를 구비하는 종래의 에어나이프를 기초로 한다.Although not shown in the drawings, the present invention is based on a conventional air knife having a discharge port capable of discharging air pressure to one body having a nozzle portion whose passage is narrowed downward.
즉, 종래의 에어나이프는 본체에 흡기수단이 구비되어 있지 않고, 별도의 흡기장치를 에어나이프의 주변에 설치하여 에어나이프로부터 토출되어 비산되는 대상물의 이물질을 흡기하는 방식으로 이루어져 있다. That is, the conventional air knife is not provided with the suction means in the main body, but a separate suction device is provided around the air knife to absorb foreign matter of the object which is discharged from the air knife and scattered.
이하, Below, 도1을1 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다. The present invention is described below with reference to the drawings.
도시된 바와 같이, 본 발명은 하방으로 통로가 좁혀지는 노즐부(11)를 구비하는 하나의 본체(10)에 공기압을 토출할 수 있는 토출구(20)와 외부 공기를 흡입할 수 있는 흡기구(30)가 일체로 구성되는 것을 특징으로 한다. As shown in the drawings, the present invention includes a
도시된 바와 같이, 본 발명은 LCD 유리기판이나 반도체기판 등으로 이루어지는 대상물(A)의 상면에 본체(10)의 노즐부(11)의 출구를 근접배치하고, 그러한 상태에서 이송되는 대상물의 표면에 토출구(20)를 통해 대상물의 표면으로 공기압을 토출하고, 이와 동시에 흡기구(30)로 주변의 공기를 바로 흡입하게 하는 방식으로 사용한다. As shown in the drawings, the present invention is characterized in that an outlet of a
이렇게 하면, 토출구(20)에 의해 분사되는 강한 공기압이 대상물의 표면을 타격하여 대상물의 표면에 존재하는 이물질(B)을 비산시키고, 이와 동시에 비산되는 이물질을 곧바로 흡기구(30)의 흡입력으로 빨아들일 수 있는 작용이 일어난다. In this case, the strong air pressure injected by the
이렇게 되면, 대상물의 표면에 공기압을 강하게 분사하면서 그 분사에 의해 비산되는 이물질을 흡입구에서 곧바로 흡입할 수 있는 효과가 있다. Thereby, there is an effect that the foreign matter scattered by the spraying can be sucked directly from the suction port while strongly spraying the air pressure on the surface of the object.
이러한 효과는 종래와 같이 공기압에 의해 비산되는 이물질이 흩어지는 것을 방지할 수 있고, 그렇게 흩어진 이물질이 이미 세정 된 대상물의 표면에 앉아 오염시키는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다. Such an effect can prevent scattering of foreign matter scattered by air pressure as in the prior art, and can prevent the problem that contaminated foreign matters are stuck on the surface of the already cleaned object to be contaminated.
특히, 상기한 구성은 토출구(20)의 출구와 흡기구(30)의 출구를 근접배치할 수 있고, 그러한 근접배치가 종래와 같이 반사각으로 형성되지 않고 평행한 상태로 이루어지므로, 토출구(20)에서 토출되는 공기압이 대상물의 타격전에 흡기구(30)로 흡입되는 오류가 발생하지 않는 효과가 있다. Particularly, in the above-described configuration, the outlet of the
또한, 상기 토출구(20)는 노즐부(11)의 중간에 형성되고, 흡기구(30)는 토출구(20)의 양측에 형성되는 것을 특징으로 한다. The
이렇게 하면, 토출구(20)에 의해 대상물의 표면으로부터 타격되어 반사되는 공기압의 반사각을 양측의 흡기구(30)에서 그대로 수용하여 흡수받을 수 있으므로, 공기압에 의해 비산되는 이물질을 완전하게 흡입할 수 있음은 물론 그 이물질이 외부로 흩어지는 것을 완전하게 막을 수 있는 효과가 있다. In this case, since the reflection angle of the air pressure hitting from the surface of the object by the
또한, 상기 노즐부(11) 하단의 단면은 중앙이 상부로 오목한 형태로 이루어지는 오목부(40)로 구성되는 것을 특징으로 한다. The lower end of the
이렇게 하면, 노즐부(11)가 대상물에 근접배치되었을 때, 노즐부(11)의 출구와 대상물의 표면 사이에 반원형 형태의 좁은 수용공간이 만들어지고, 그 수용공간은 토출구(20)의 공기압에 의해 타격되는 이물질의 광범위한 비산각도를 현저하게 좁혀줄 수 있으므로, 이물질의 외부 비산을 더욱더 완벽하게 방지할 수 있음은 물론 비산되는 이물질의 더욱더 완벽하게 흡입을 달성할 수 있는 효과가 있다. In this case, when the
또한, 그 수용공간 내에 토출구(20)가 상부에 배치되고, 양측의 흡기구(30)가 토출구(20) 아래에 배치되므로 토출구(20)에서 분출되는 공기압이 수용공간 내의 양측에서 와류가 형성되고, 그 와류에 의해 대상물의 표면으로부터 이물질이 완전하게 분리되는 효과가 있다. Since the
이하, Below, 도22 내지 To 도3을3 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다. The present invention is described below with reference to the drawings.
도시된 바와 같이, 상기 본체(10)는 내부 중간에 급기공간(21)이 형성되고, 그 급기공간(21)의 양측에 흡기공간(31)이 형성되며, 그 급기공간(21)과 흡기공간(31)으로부터 이어져 하방으로 통로가 좁혀지는 토출구(20)과 흡기구(30)를 구비하는 노즐부(11)를 갖는 단면이 단면의 길이로 연장형성되는 메인하우징(50); 상기 메인하우징(50)의 양단을 막는 마개판(60); 상기 마개로부터 메인하우징(50)의 급기공간(21) 양측 측면으로 연결되어 외부의 공기를 유입되게 하는 급기연결구(70); 상기 메인하우징(50)의 흡기공간(31) 상면으로부터 연결되어 내부의 공기를 흡입되게 하는 흡기연결구(80);의 결합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. As shown in the figure, the
이렇게 하면, 본체(10)의 구성을 간소하게 할 수 있고, 압출 등에 의해 제조할 수 있으므로 본체의 제조가 용이함은 물론 원가를 절감할 수 있고, 대량생산을 가능하게 하며, 취급 및 설치가 쉽고, 사용이 편리한 효과가 있다. In this way, the structure of the
상기에서 급기연결구(70)에는 컴프레셔와 연결되며, 흡기연결구(80)에는 진공청소장치와 연결된다. In the above, the
상기에서 메인하우징(50)의 양측 측면으로 연결된 급기연결구(70)의 구성은 컴프레셔로부터 공급되는 공기압이 급기공간(21)에 모여진 후, 공기압이 섞이면서 오버하는 압력이 하방의 토출구(20)를 통해 배출되는 작용이 일어나는데, 이렇게 되면, 측면 상 토출구(20)에서 토출되는 공기압이 어느 한 곳으로 집중되지 않고 균등하게 분출시킬 수 있는 효과가 있다. The
상기에서 메인하우징(50)의 상면으로부터 연결된 흡기연결구(80)의 구성은 흡기 경로가 대상물의 표면으로부터 수직으로 형성되므로 외부의 공기를 직결로 흡입시킬 수 있는 효과가 있다. The
상기에서 흡기연결구(80)의 수는 단면의 길이를 따라 여러 개 구비될 수 있다. The number of the
상기에서 구성물 간의 결합은 볼트와 너트로 체결하거나, 용접하는 방식으로 결합될 수 있다. In the above, the connection between the components may be combined with a bolt and a nut or by welding.
이하, Below, 도44 내지 To 도5를5 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다. The present invention is described below with reference to the drawings.
도시된 바와 같이, 상기 본체(10)는 내부 중앙에 급기공간(21)이 형성되고, 그 급기공간(21)으로부터 이어져 하방으로 통로가 좁혀지는 토출구(20)를 구비하는 노즐부(11)를 갖는 단면이 단면의 길이로 연장형성되는 내부하우징(51); 상기 내부하우징(51)의 외면을 감싸는 형태로 배치되고, 내부에 흡기공간(31)이 형성되며, 그 흡기공간(31)으로부터 이어져 하방으로 통로가 좁혀지는 흡기구(30)를 구비하는 노즐부(11)를 갖는 단면이 단면의 길이로 연장형성되는 외부하우징(51); 상기 외부하우징(51)의 내부 중앙에 내부하우징(51)을 위치시킨 상태로 외부하우징(51)과 내부하우징(51)의 양단을 막는 마개판(60); 상기 마개판(60)로부터 내부하우징(51)의 급기공간(21) 양측 측면으로 연결되어 외부의 공기를 유입되게 하는 급기연결구(70); 상기 외부하우징(51)의 흡기공간(31) 상면으로부터 연결되어 내부의 공기를 흡입되게 하는 흡기연결구(80);의 결합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.As shown in the figure, the
이렇게 하면, 도2 내지 도3에 비해 양측 흡기공간(31)의 통로가 개방되어 흡기공간(31)이 확장되고, 흡기연결구(80)를 양측에 구성하지 않아되 되어 흡기연결구(80)의 수를 줄일 수 있으며, 외부 공기의 흡입이 내부하우징(51)의 외면을 거쳐 흡입되므로 흡기능력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 2 to 3, the passages of both the
상기에서 마개판(60)은 내부하우징(51)과 외부하우징(51) 사이에 결합되는 단턱을 형성하여 위치를 고정시킬 수 있고, 흡기연결구(80)의 수는 단면의 길이를 따라 여러 개 구비될 수 있다. In this case, the
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이상으로, 본 발명의 설명을 모두 마치며, 본 발명은 본 발명에서 추구하고자 하는 구성의 원리와 그 원리의 이해를 돕고자 본 발명의 구성과 그 구성에 포함되는 구체적인 구성요소를 도면화하고 그 도면을 기반으로 하여 설명을 한 것으로, 본 발명에 포함되는 구성 및 그 구체적인 구성요소는 추구하고자 하는 원리를 감안하여 구조, 형태, 모양, 배치, 방향, 수량이 결정되며 이를 필요에 따라 다양하게 변경할 수 있을 것이다. 본 발명에서 제시한 구성 및 그 구체적인 구성요소는 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명에서 얻고자 하는 효과와 그 효과로부터 더 나은 효과를 얻기 위해 어떠한 원리를 적용하는 것이 가장 바람직한 것인지를 예시한 것이다. 이에 따라서 본 발명은 상술한 구성들을 모두 포함하여 본 발명은 완성하는 것이 가장 바람직하나, 원가절감, 제조의 편의성, 환경조건 또는 필요에 따라 상기에서 설명한 구성 중 일부를 선택 또는 배제하여 완성할 수 있고, 하나 또는 일부의 구성을 따로 떼어내어 다른 구성과 병합하여 완성할 수도 있다. 그리고 상기에서 설명한 각 구성은 원리, 용도, 기능, 역할, 작용, 효과 등을 감안하여 이 기술분야가 아닌 다른 기술분야에 독립적으로 적용될 수도 있을 것이다. 이를 기반으로 하여 본 발명의 권리범위는 아래와 같이 본 발명의 청구항을 가능한 포괄하는 범위로 특정하여 넓은 권리를 갖는 청구항부터 순서를 정하여 청구하였으며, 이를 통해 이 기술분야에 통상의 지식을 가진 기술자라면 상술한 구체적인 내용 및 하술 될 청구범위를 통해 본 발명에서 추구하고자 하는 요지를 충분히 파악할 수 있을 것으로 보이고, 도시는 되어 있지만 설명하지 않은 부분에 대한 작용효과는 도면을 통해 충분히 유추 가능할 것이다. 이에 통상의 기술자라면 본 발명에서 언급한 내용을 기반으로 이 기술분야의 다양하게 수정 및 변경하여 적용할 수 있을 것이며, 이로 인해 이 기술분야의 발전은 물론 사용상의 효율성을 더욱더 증대시킬 수 있을 것이다. While the present invention has been described with reference to what are presently considered to be the preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, The structure, form, shape, arrangement, direction, and quantity are determined in consideration of the principle to be pursued, and various changes can be made as necessary. There will be. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed and desired or desirable. It is. Accordingly, the present invention includes all of the above-described configurations, and the present invention is most preferably completed. However, the present invention can be completed by selecting or excluding some of the configurations described above according to cost reduction, manufacturing convenience, , One or a part of the constituent elements may be separated and combined with other constituent elements. In addition, each of the constituent elements described above may be independently applied to a technical field other than the technical field in consideration of the principle, purpose, function, role, operation, effect, and the like. Accordingly, the scope of the present invention is defined by the claims that follow, and the scope of claims of the present invention is defined as follows. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims. Accordingly, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims.
10: 본체 11: 노즐부
20: 토출구 21: 급기공간
30: 흡기구 31: 흡기공간
40: 오목부 50: 메인하우징
51: 내부하우징 52: 외부하우징
60: 마개판 70: 급기연결구
80: 흡기연결구10: main body 11: nozzle portion
20: Outlet 21: Supply space
30: Intake port 31: Intake space
40: recess 50: main housing
51: inner housing 52: outer housing
60: nozzle plate 70: supply port
80: Intake connector
Claims (3)
상기 노즐부(11)의 중간에 공기압이 토출되는 토출구(20)가 구비되며, 그 토출구(20)의 양측에 외부 공기를 흡입할 수 있는 흡기구(30)가 구성되고,
상기 노즐부(11) 하단의 단면은 중간이 상부로 오목한 형태로 이루어지는 오목부(40)로 구성되며,
상기 노즐부(11)의 토출구(20)와 흡기구(30)는 대상물의 표면으로부터 수직으로 형성되고,
상기 본체(10)는 내부 중앙에 급기공간(21)이 형성되고, 그 급기공간(21)으로부터 이어져 하방으로 통로가 좁혀지는 토출구(20)를 구비하는 노즐부(11)를 갖는 단면이 단면의 길이로 연장형성되는 내부하우징(51);
상기 내부하우징(51)의 외면을 감싸는 형태로 배치되고, 내부에 흡기공간(31)이 형성되며, 그 흡기공간(31)으로부터 이어져 하방으로 통로가 좁혀지는 흡기구(30)를 구비하는 노즐부(11)를 갖는 단면이 단면의 길이로 연장형성되는 외부하우징(51);
상기 외부하우징(51)의 내부 중앙에 내부하우징(51)을 위치시킨 상태로 외부하우징(51)과 내부하우징(51)의 양단을 막는 마개판(60);
상기 마개판(60)로부터 내부하우징(51)의 급기공간(21) 양측 측면으로 연결되어 외부의 공기를 유입되게 하는 급기연결구(70);
상기 외부하우징(51)의 흡기공간(31) 상면으로부터 연결되어 내부의 공기를 흡입되게 하는 흡기연결구(80);의 결합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어나이프.A discharge port 20 capable of discharging air pressure and an air intake port 30 capable of sucking outside air are integrally formed in one main body 10 having a nozzle portion 11 whose downward passage is narrowed,
A discharge port 20 through which the air pressure is discharged is provided in the middle of the nozzle unit 11 and an inlet port 30 capable of sucking outside air is formed on both sides of the discharge port 20,
The cross section of the lower end of the nozzle unit 11 is composed of a concave portion 40 having a concave upper portion in the middle,
The discharge port 20 and the suction port 30 of the nozzle unit 11 are formed vertically from the surface of the object,
The main body 10 is provided with an air supply space 21 at the center thereof and a nozzle unit 11 having a nozzle unit 11 having a discharge port 20 through which air is supplied from the air supply space 21 downward, An inner housing (51) extending in length;
A nozzle unit 30 having an intake port 30 which is disposed in the form of wrapping the outer surface of the inner housing 51 and formed with an intake space 31 therein and which is connected to the intake space 31 and narrows downwardly, An outer housing (51) having a cross section with a length of a cross section;
(60) for blocking both ends of the outer housing (51) and the inner housing (51) while the inner housing (51) is positioned at the center of the inner side of the outer housing (51);
An air supply connection port 70 connected to both side surfaces of the air supply space 21 of the inner housing 51 from the spray plate 60 to allow external air to flow therein;
And an intake port (80) connected to the top surface of the intake space (31) of the outer housing (51) to suck in air therein.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180108315A KR101937107B1 (en) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Air knife |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180108315A KR101937107B1 (en) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Air knife |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101937107B1 true KR101937107B1 (en) | 2019-01-09 |
Family
ID=65017632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180108315A KR101937107B1 (en) | 2018-09-11 | 2018-09-11 | Air knife |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101937107B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113458080A (en) * | 2021-07-05 | 2021-10-01 | 长鑫存储技术有限公司 | Air knife and cleaning equipment |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004074104A (en) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Hugle Electronics Inc | Conveying and dust removing apparatus |
-
2018
- 2018-09-11 KR KR1020180108315A patent/KR101937107B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004074104A (en) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Hugle Electronics Inc | Conveying and dust removing apparatus |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113458080A (en) * | 2021-07-05 | 2021-10-01 | 长鑫存储技术有限公司 | Air knife and cleaning equipment |
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |