KR101921526B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 파지부, 이송부 및 척킹 유닛을 포함한다. 상기 파지부는 피처리면인 기판의 일면이 하방으로 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지한다. 상기 이송부는 상기 기판을 파지한 상기 파지부를 공정 처리 공간으로 이송한다. 상기 척킹 유닛은 상기 공정 처리 공간으로 이송된 상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판을 대상으로 공정을 수행할 때 상기 기판이 처지는 것을 방지하도록 상기 기판의 일면과 반대되는 상기 기판의 타면의 중앙 영역을 척킹한다. 이에 의하여, 기판 이송 공정이 간소화되고, 정전척으로 기판을 보다 안정적으로 고정할 수 있으며, 기판의 평탄도에 따른 공정처리의 균일성이 증가하므로 생산성이 향상될 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 OLED 증착 공정에서 기판을 상부 척킹하여 이송하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 증착(deposition), 식각(etching) 등의 공정들을 반복하여 제조한다. 상기와 같은 공정은 진공의 공정 챔버에서 상기 기판을 척킹한 상태에서 수행하게 된다. 이러한 기판 처리 장치의 예로서, 진공척, 정전척 등이 이용되고 있다.
기판을 척킹하는 방식으로는 척(chuck)이 하부에 위치하여 상기 척 위에 기판을 놓고 처리하는 하부 척킹 방식과, 척이 상부에 위치하고 상기 척 아래에 기판이 배치되는 상부 척킹 방식이 있다. 상부 척킹 방식에서는 기판의 피처리면이 아래를 향하게 되고, 하부에 배치된 소스로부터 증착 등의 공정이 이루어진다. 특히, OLED 증착 공정에서는 상기 상부 척킹 방식으로 증착 공정이 이루어진다.
기판 처리 장치는 상기 척을 포함하는 척킹 유닛, 상기 기판을 이송하는 이송부, 상기 기판을 처리하는 공정 챔버 등을 포함할 수 있다. 상기 기판 처리 장치는 반도체 제조의 여러 공정들 중 하나의 공정에서 다른 공정으로 기판을 이동시키거나 또는 버퍼 챔버로부터 반도체 제조 챔버(chamber)의 내부로 기판을 이송하는 기판 이송 작업이 빈번히 발생한다.
그런데, 상부 척킹 방식에서는 척이 기판의 상부에 위치하고 기판의 하부로는 지지하는 구성이 없기 때문에, 중력에 의해 기판이 아래로 쳐지는 현상이 발생할 수 있다. 또한 기판의 척킹시, 척이 기판을 안정적으로 척킹하기 곤란한 문제점이 있다.
따라서, 상부 척킹 방식을 이용하는 종래의 기판 처리 장치는 먼저, 기판을 척으로 고정한 후, 트레이로 상기 기판을 척킹한 척킹 유닛을 파지하고, 상기 기판을 척킹한 척킹 유닛과 상기 척킹 유닛을 고정한 트레이 전체를 함께 이송하는 방법을 사용하고 있다.
그러나, 상기 척킹 유닛과 트레이를 함께 이송하는 이송방법을 사용하는 종래의 기판 처리 장치는 이송 장치가 비대화되며, 상기 척킹 유닛으로 전기를 공급받아야 하는 정전척을 사용할 경우, 이송 라인 상에서 전기적 배선 처리가 어려운 문제점이 발생한다. 또한, 상기 정전척을 충전식 정전척으로 사용한다 하여도, 기판 처리 장치의 진공 내에서 배터리 충전 및 교체, 상기 배터리 교체 시간으로 인한 생산 중단 등의 문제점이 추가적으로 발생할 수 있다. 또한, 상기 척킹 유닛으로 점착척으로 사용할 경우, 기판에 점착물질이 부착되어 공정 불량을 유발할 수 있고, 기판 흡착력이 약하여 이송 중 기판이 떨어질 수 있는 문제점이 있다.
본 발명을 통해 해결하고자 하는 과제는, 기판 이송 시스템을 간결화하고, 정전척 이용시에도 충전 및 배선에 대한 문제점을 해결할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 파지부, 이송부 및 척킹 유닛을 포함한다. 상기 파지부는 피처리면인 기판의 일면이 하방으로 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지한다. 상기 이송부는 상기 기판을 파지한 상기 파지부를 공정 처리 공간으로 이송한다. 상기 척킹 유닛은 상기 공정 처리 공간으로 이송된 상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판을 대상으로 공정을 수행할 때 상기 기판이 처지는 것을 방지하도록 상기 기판의 일면과 반대되는 상기 기판의 타면의 중앙 영역을 척킹한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 척킹 유닛의 상하 구동을 위한 동력을 전달하는 구동부, 및 상기 척킹 유닛과 분리된 상태로 상기 파지부를 이송하도록 상기 이송부를 제어하고, 상기 척킹 유닛이 상기 기판의 타면을 척킹한 후, 상기 기판이 수평을 이루도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
이러한 기판 처리 장치에 의하면, 기판을 척킹하지 않은 상태로 이송하여 기판 이송 시스템을 간결화하고, 공정 수행 공간 내에 고정 배치된 정전척으로 기판을 척킹함으로써, 충전 및 배선에 대한 문제 없이 정전척을 이용하여 기판을 척킹할 수 있다.
또한, 기판 처짐이 심한 기판의 중앙 영역을 척킹하여 평탄화시킴으로써, 상부 척킹 후에도 기판의 평탄도를 유지할 수 있다.
이에 의하여 기판 이송 공정이 간소화되고, 정전척으로 기판을 보다 안정적으로 고정할 수 있으며, 기판의 평탄도에 따른 공정처리의 균일성이 증가하므로 생산성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 이송 과정을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 척킹 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 이송 과정을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 파지부(110), 이송부(120), 척킹 유닛(130)을 포함한다. 또한, 상기 기판 처리 장치(100)는 기판 제공부(20), 공정 챔버(30), 구동부(140), 제어부(150)를 더 포함할 수 있다.
기판(10)에 대하여 공정을 수행하는 기판 처리 장치(100)는 적어도 하나의 공정 모듈로 구성된다. 또한 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 기판(10)을 파지하기 위한 파지부(110), 각 챔버들로 기판을 이송하기 위한 적어도 하나의 이송부(120), 기판을 임시 저장하기 위한 버퍼 등 여러 구성요소들을 포함할 수 있다.
상기 기판(10)은 웨이퍼와 같은 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판일 수 있다. 하지만 상기 기판(10)이 반도체 기판으로 한정되는 것은 아니며, 평면 디스플레이 장치의 주요 구성요소인 평판형 디스플레이 패널을 제조하기 위한 기판일 수 있다.
상기 기판 제공부(20)는 다수의 기판(10)을 수용한다. 상기 기판(10)은 상기 기판 제공부(20)에 수직 방향으로 적층될 수 있다. 이를 위해, 상기 기판 제공부(20)에는 기판(10)를 수납하기 위한 다수의 슬롯(또는 지지대)이 수직 방향으로 배열된다. 상기 기판 제공부(20)는 미처리된 기판(10)이 수납된 상태에서 운반되어 상기 기판 제공부(20)로 제공될 수 있고, 또는 상기 기판 제공부(20)에 공정 처리된 기판(10)을 수납할 수 있다. 즉, 상기 기판 제공부(20)는 공정 처리 전, 후 단계에서 상기 기판(10)을 수용하여 운반하기 위한 운반 수단으로서 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 제공부(20)의 대표적인 예로는 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod)을 들 수 있다. 또한, 상기 기판 제공부(20)는 인덱스 또는 버퍼챔버로 구성될 수 있다. 상기 인덱스 및 버퍼챔버는 상기 공정 챔버(30)로 이송될 기판(10) 및 상기 공정 챔버(30)에서 처리 공정이 완료된 기판(10)을 임시로 수용한다.
상기 공정 챔버(30)는 척킹된 기판(10)에 대하여 증착, 식각, 세정 공정 등을 수행할 수 있는 공정 처리 공간을 제공한다. 본 실시예에서 상기 공정 챔버(30)는 OLED 증착 공정을 수행하는 것으로 한다. 상기 공정 챔버(30)는 상부 챔버와 하부 챔버를 포함할 수 있으며, 상기 기판(10)의 반입과 반출을 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
상기 공정 챔버(30) 내에는 상기 기판(10)에 대하여 약액을 분사하기 위한 노즐 유닛(40)이 배치될 수 있으며, 상기 노즐 유닛(40)은 다수개의 노즐들을 포함할 수 있고, 상기 노즐들은 상기 약액이 상기 기판(10) 상으로 균일하게 분사되도록 왕복 스캔 운동을 할 수 있다.
상기 파지부(110)는 피처리면인 일면(11)과 반대면인 타면(12)을 갖는 기판(10)의 일면(11)이 하방으로 노출되도록 상기 기판(10)의 가장자리를 파지한다. 즉, 상기 파지부(110)는 상기 공정 챔버(30) 내에서 증착 처리되는 면인 일면(11)이 하방을 향하도록 상기 기판(10)을 파지한다. 상기 파지부(110)는 창문 형상의 프레임 골격을 가지며, 상기 기판(10)에 접하는 그립 부재가 탄성 물질로 이루어져 상기 기판(10)의 가장자리 부위를 가압하여 고정할 수도 있고, 돌기 형태로 상기 부위를 홀딩하는 구조를 가질 수도 있다. 상기 파지부(110)는 상기 기판(10)의 크기 및 공정의 종류에 따라 다양한 형태 및 구조를 가질 수 있다. 또한 상기 파지부(110)는 그립 부재가 상기 기판(10)을 파지하기 위해 구동시키는 별도의 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상기 이송부(120)는 상기 기판(10)에 대한 공정 처리 공간으로 상기 파지부(110)를 이송한다. 즉, 상기 이송부(120)는 상기 기판 제공부(20)로부터 상기 공정 챔버(30)로 상기 기판(10)을 이송한다. 상기 기판 제공부(20)와 상기 공정 챔버(30)는 이송 라인(25)을 통해 연결될 수 있으며, 상기 이송 라인(25)의 양측에는 복수개의 공정 챔버(30)들이 배치되는 구조를 가질 수 있다.
상기 이송부(120)는 적어도 하나의 이송 로봇(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이송 로봇은 상기 파지부(110)를 홀딩하기 위한 로봇 암(미도시), 상기 로봇 암을 구동하기 위한 로봇 구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 로봇 암은 상기 로봇 암은 관절 형태를 가질 수 있으며, 복수개로 구비되어 복수개의 기판들을 이송할 수 있다. 상기 로봇 구동부는 상기 로봇 암의 전진 및 후퇴, 수직 방향 이동 및 회전 운동시킬 수 있다. 상기 이송부(120)는 상기 기판(10)을 파지한 파지부(110)를 이송하기 위한 다양한 형태로 구비될 수 있으며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아니다.
한편, 상기 이송 라인(25)의 내측에는 상기 이송 라인(25)의 길이 방향(D1)을 따라 이송 가이드(미도시)가 설치될 수 있고, 상기 이송 로봇이 상기 이송 가이드에 의해 안내되어 상기 이송 라인(25)의 길이 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 이송부(120)의 이송 로봇은 상기 기판 제공부(20)인 캐리어 테이블에 놓인 캐리어로부터 증착 처리될 기판(10)을 상기 공정 챔버(30)로 이송하고, 상기 공정 챔버(30)에서는 상기 기판(10)의 증착 공정이 진행된다.
상기 척킹 유닛(130)은 상기 공정 처리 공간의 상부에 배치되어, 상기 기판을 대상으로 공정을 수행할 때 상기 기판(10)의 타면(12)의 중앙 영역을 척킹하여 상기 기판의 처짐을 방지한다. 즉, 상기 척킹 유닛(130)은 상기 공정 챔버(30)의 상부에 배치되며, 수직 방향(D2)으로 상하 구동하여 상기 공정 챔버(30) 내로 로딩된 상기 기판(10)을 척킹할 수 있다.
상부 척킹 방식에서는 상기 척킹 유닛(130)이 기판(10)의 상부에 위치하고 상기 기판(10)의 하부로는 지지하는 구성이 없기 때문에, 중력에 의해 상기 기판(10)이 아래로 쳐지는 현상이 발생한다. 여기서, 상기 척킹 유닛(130)은 상기 기판(10)의 타면(12)을 척킹하여 상방으로 끌어올림으로써, 상기 기판(10)의 처짐을 방지한다. 상기 척킹 유닛(130)은 상부 척킹 방식으로 상기 기판(10)을 척킹하므로, 척킹면은 상기 기판(10)의 타면(12)에 형성되고, 일면(11)은 증착 등의 공정이 수행되는 피처리면이 된다.
상기 척킹 유닛(130)은 정전척, 점착척 및 진공척 중 적어도 하나를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 정전척은 정전 전극이 매설되어 있는 유전층이 구비되어, 상기 정전 전극으로 전압을 인가하여 상기 기판(10)에 대해 정전기력을 형성함으로써, 상기 유전층에 인접하는 기판(10)을 정전 흡착하여 고정하게 된다.
한편, 상기 기판(10)은 복수개의 영역으로 구분될 수 있으며, 상기 척킹 유닛(130)은 상기 영역에 대응하여 복수개로 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 기판(10)은 주변 영역과 중앙 영역을 포함하는 복수개의 영역으로 분할되고, 상기 척킹 유닛(130)은 상기 기판(10)의 타면(12) 상에서 주변 영역을 척킹하는 제1 척킹 유닛과, 중앙 영역을 척킹하는 제2 척킹 유닛을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 기판(10)의 중앙 영역을 척킹하는 하나의 척킹 유닛을 예로 설명하였으나, 분할된 영역을 척킹하는 척킹 유닛들의 수와 배치구조는 다양할 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 척킹 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 구동부(140)는 상기 척킹 유닛(130)의 상하 구동을 위한 동력을 전달한다. 상기 구동부(140)는 상기 제어부(150)의 제어에 따라 구동된다. 상기 구동부(140)는 상기 척킹 유닛(130)의 구동을 위한 동력을 제공하는 구동 모터(미도시)와, 상기 척킹 유닛(130)과 연결된 승하강 부재를 포함하여 구성될 수 있다. 한편, 상기 구동부(140)는 공압 또는 유압 실린더로 구성되어 상기 공압 또는 유압 실린더의 수축 또는 신장에 의해 상기 척킹 유닛(130)을 상하로 구동할 수 있다. 상기 구동부(140)는 상기 척킹 유닛(130)의 상하, 전후, 좌우 구동을 위한 다양한 변형예를 가질 수 있다.
상기 제어부(150)는 상기 척킹 유닛(130)과 분리된 상태로 상기 파지부(110)를 이송하도록 상기 이송부(120)를 제어하고, 상기 척킹 유닛(130)이 상기 기판(10)의 타면(12)을 척킹한 후, 상기 기판(10)이 수평을 이루도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 또한, 상기 제어부(150)는 상기 기판 처리 장치(100)를 전반적으로 제어한다. 상기 제어부(150)는 상기 이송부(120)의 동작을 제어하여 상기 기판(10)의 반출, 회수 및 이송을 수행하고, 상기 공정 챔버(30)의 동작을 제어하여 상기 기판(10)의 공정 처리를 수행하도록 한다.
상기 제어부(150)는 상기 척킹 유닛(130)이 상기 기판(10)의 중앙 영역을 척킹한 후, 상기 척킹 유닛(130)의 척킹면과 상기 기판(10)의 주변 영역이 수평을 이루도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 먼저, 상기 파지부(110)가 상기 기판(10)을 클램핑한 상태에서 상기 공정 챔버(30)로 인입되면, 상기 제어부(150)는 상기 척킹 유닛(130)을 하강시켜 상기 기판(10)에 접하도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 상기 파지부(110)가 상기 기판(10)을 클램핑한 상태에서는 상기 기판(10)을 지지하는 구성이 가장자리를 그립하고 있는 상기 파지부(110) 밖에 없기 때문에, 상기 기판(10)의 중앙 영역이 아래로 볼록하게 휘어지는 기판 처짐 현상이 발생한다. 특히, 상기 기판(10)의 크기가 대형이고 공정 시간이 길수록 기판 처짐 현상이 크게 나타난다.
따라서, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)의 중앙 영역의 상부에 위치한 상기 척킹 유닛(130)을 하강시켜 상기 기판(10)을 척킹하도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 여기서, 상기 척킹 유닛(130)이 정전척으로 구성될 경우, 전력을 제공하여 상기 기판(10)의 타면(12)에 완전히 흡착하도록 한다. 다음으로, 상기 제어부(150)는 상기 기판(10)이 흡착된 상태에서 상기 척킹 유닛(130)을 상승시키도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 여기서, 상기 척킹 유닛(130)에 척킹된 상기 기판(10)의 중앙 영역이 주변 영역과 수평을 이루도록 상기 구동부(140)를 제어한다. 이에 따라, 기판 처짐 현상이 사라지고, 공정 중에도 기판은 평탄도를 유지할 수 있다.
부가적으로, 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 척킹 유닛(130)의 위치를 감지하기 위한 감지센서(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 기판(10)의 수평도를 감지할 수 있는 다양한 구성을 더 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 충전 및 배선에 대한 문제 없이 정전척을 이용하여 기판을 척킹할 수 있다. 또한, 기판 처짐이 심한 기판의 중앙 영역을 척킹하여 평탄화시킴으로써, 상부 척킹 후에도 기판의 평탄도를 유지할 수 있다.
이상에서는 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 기판을 척킹하지 않은 상태로 이송하여 기판 이송 시스템을 간결화하고, 공정 수행 공간 내에 고정 배치된 정전척으로 기판을 척킹함으로써, 충전 및 배선에 대한 문제 없이 정전척을 이용하여 기판을 척킹할 수 있다.
또한, 기판 처짐이 심한 기판의 중앙 영역을 척킹하여 평탄화시킴으로써, 상부 척킹 후에도 기판의 평탄도를 유지할 수 있다.
이에 의하여 기판 이송 공정이 간소화되고, 정전척으로 기판을 보다 안정적으로 고정할 수 있으며, 기판의 평탄도에 따른 공정처리의 균일성이 증가하므로 생산성이 향상될 수 있는 산업상 이용가능성을 가진다.
10: 기판 20: 기판 제공부
30: 공정 챔버
100: 기판 처리 장치 110: 파지부
120: 이송부 130: 척킹 유닛
140: 구동부 150: 제어부

Claims (3)

  1. 피처리면인 기판의 일면이 하방으로 노출되도록 상기 기판의 가장자리를 파지하는 파지부;
    상기 기판을 파지한 상기 파지부를 공정 처리 공간으로 이송하는 이송부; 및
    상기 공정 처리 공간으로 이송된 상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판을 대상으로 공정을 수행할 때 상기 기판이 처지는 것을 방지하도록 상기 기판의 일면과 반대되는 상기 기판의 타면을 척킹하는 척킹 유닛을 구비하고,
    상기 파지부는 창문 형상의 프레임 골격을 갖도록 구비되어 상기 기판의 가장자리 모두를 파지하고,
    상기 척킹 유닛은 상기 기판의 타면 상에서 주변 영역을 척킹하는 제1 척킹 유닛 및 상기 기판의 타면 상에서 중앙 영역을 척킹하는 제2 척킹 유닛으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 척킹 유닛의 상하 구동을 위한 동력을 전달하는 구동부; 및
    상기 척킹 유닛과 분리된 상태로 상기 파지부를 이송하도록 상기 이송부를 제어하고, 상기 척킹 유닛이 상기 기판의 타면을 척킹한 후, 상기 기판이 수평을 이루도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 척킹 유닛의 위치를 감지하기 위한 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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