KR101911730B1 - Device of controlling a blade - Google Patents

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KR101911730B1
KR101911730B1 KR1020170051495A KR20170051495A KR101911730B1 KR 101911730 B1 KR101911730 B1 KR 101911730B1 KR 1020170051495 A KR1020170051495 A KR 1020170051495A KR 20170051495 A KR20170051495 A KR 20170051495A KR 101911730 B1 KR101911730 B1 KR 101911730B1
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홍승희
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주식회사 에프에스티
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Abstract

A blade control device includes a blade detecting unit for detecting a wear amount of a blade, a memory including a lookup table in which a rotation number is set according to the wear amount, a blade driving unit for driving the blade to rotate, and a control unit for controlling the blade driving unit so that the blade is rotated according to the rotation number acquired from the lookup table based on the detected wear amount of the blade. Accordingly, the present invention can prevent a cut failure and improve cut quality.

Description

블레이드 제어장치{Device of controlling a blade}[0001] The present invention relates to a device for controlling a blade,

실시예는 블레이드 제어장치에 관한 것이다.An embodiment relates to a blade control apparatus.

반도체 분야나 디스플레이 분야에서는 다이싱장치(dicing apparatus)라고 하는 절삭장치가 사용된다. 다이싱장치는 워크에 절단될 기판이 배치된 후, 고속으로 회전되는 블레이트를 이용하여 원하는 사이즈로 절단한다.In the semiconductor field and display field, a cutting device called a dicing apparatus is used. After the substrate to be cut is placed on the work, the dicing apparatus cuts the substrate to a desired size using a blade rotated at a high speed.

블레이드는 그 사용 시간이 지남에 따라 마모된다. 블레이드가 마모되는 경우, 그 블레이드가 마모되는 만큼 블레이드의 직경은 작아지게 된다. The blade wears over time. When the blade is worn, the diameter of the blade becomes smaller as the blade wears.

블레이드가 마모된 것을 그대로 절단 공정에 사용하는 경우, 다음과 같은 문제가 있다. When the worn blade is used in the cutting process as it is, there are the following problems.

첫 번째로, 새로운 블레이드에 맞춰진 회전수를 이용하여 마모된 블레이드에 의한 절단 공정이 수행되는 경우, 절단되는 시간이 줄어들게 되어 기판 절단이 되지 않을 수 있다. 이는 절단되는 회전거리가 블레이드의 직경과 관련되기 때문이다. 즉, 블레이드 마모량이 발생되어 블레이드 직경이 작아지면, 1회전당 회전거리 또한 작아지게 된다. 따라서, 해당 회전수 동안 총 회전거리가 작아지게 되어 절단을 위한 총 회전거리에 미달되어 절단이 되지 않게 된다.First, when the cutting process by the worn blade is performed by using the number of revolutions set for the new blade, the cutting time is reduced, and the substrate may not be cut. This is because the rotational distance to be cut is related to the diameter of the blade. That is, as the blade diameter is reduced due to the generation of the abrasion amount of the blade, the rotation distance per rotation becomes smaller. Therefore, the total rotation distance becomes smaller during the rotation number, and the total rotation distance for cutting is less than the total rotation distance.

두 번째로, 블레이드 직경이 작아짐에도 불구하고 블레이드가 마모되지 않을 때와 동일한 거리로 하강되는 경우, 블레이드가 기판에 제대로 접촉되지 않게 된다. 이러한 경우, 절단 공정이 수행되더라도 기판이 절단되지 않을 수 있다.Secondly, if the blade diameter is reduced but the blade is lowered to the same distance as when it is not worn, the blade will not come into contact with the substrate properly. In this case, even if the cutting process is performed, the substrate may not be cut.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.The embodiments are directed to solving the above problems and other problems.

실시예의 다른 목적은 절단 불량을 방지할 수 있는 블레이드 제어장치를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a blade control device capable of preventing a cutting failure.

실시예의 또 다른 목적은 절판 품질을 향상시킬 수 있는 블레이드 제어장치를 제공한다.Another object of the present invention is to provide a blade control device capable of improving the quality of the cutout.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 블레이드 제어장치는, 블레이드의 마모량을 검출하는 블레이드 검출부; 마모량에 따른 회전수가 설정된 룩업테이블을 포함하는 메모리; 상기 블레이드가 회전되도록 구동시키는 블레이드 구동부; 및 상기 검출된 블레이드의 마모량을 바탕으로 상기 룩업테이블로부터 획득된 회전수에 따라 상기 블레이드가 회전되도록 상기 블레이드 구동부를 제어하는 제어부를 포함한다.According to an aspect of an embodiment for achieving the above or other objects, a blade control apparatus includes: a blade detection unit that detects a wear amount of a blade; A memory including a look-up table in which the number of rotations in accordance with the wear amount is set; A blade driving unit for driving the blade to rotate; And a control unit controlling the blade driving unit to rotate the blade in accordance with the number of rotations obtained from the lookup table based on the amount of wear of the detected blade.

실시예에 따른 블레이드 제어장치의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.Effects of the blade control apparatus according to the embodiment will be described as follows.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 블레이드가 마모되더라도 새로운 블레이드를 사용했을 때와 동일한 회전거리가 되도록 회전수를 가변시켜줄 수 있다. 따라서, 블레이드가 마모되더라도 항상 동일 회전거리가 유지되도록 하여 절단 불량을 방지하고 절단 품질을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the number of revolutions can be varied so that even when the blade is worn, the same rotational distance as when a new blade is used. Accordingly, even if the blade is worn, the same rotation distance is always maintained, thereby preventing the cutting failure and improving the cutting quality.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 블레이드가 마모된 경우, 그 마모로 인해 발생된 마모량만큼 더 블레이드가 하강 이동되도록 하여, 항상 블레이드가 기판과 접촉되도록 하여 절단 불량을 방지하고 절단 품질을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, when the blades are worn, the blades are moved downward by the amount of wear caused by the wear, so that the blades are always brought into contact with the substrate to prevent the cutting defects and improve the cutting quality .

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다. Additional ranges of applicability of the embodiments will be apparent from the following detailed description. It should be understood, however, that various changes and modifications within the spirit and scope of the embodiments will become apparent to those skilled in the art, and that specific embodiments, such as the detailed description and the preferred embodiments, are given by way of example only.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.
도 2a 및 도 2b는 블레이드의 마모 변화를 도시한다.
도 3은 메모리에 저장된 룩업테이블을 도시한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.
도 5는 메모리에 저장된 룩업테이블을 도시한다.
도 6은 승강거리의 변화를 도시한다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.1 shows a blade control apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Figures 2a and 2b show the wear of the blades.
Figure 3 shows a look-up table stored in memory.
4 shows a blade control apparatus according to a second embodiment of the present invention.
5 shows a look-up table stored in a memory.
6 shows a change in the lift distance.
7 shows a blade control apparatus according to a third embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals are used to designate identical or similar elements, and redundant description thereof will be omitted. The suffix "module" and " part "for the components used in the following description are given or mixed in consideration of ease of specification, and do not have their own meaning or role. In the following description of the embodiments of the present invention, a detailed description of related arts will be omitted when it is determined that the gist of the embodiments disclosed herein may be blurred. The accompanying drawings are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, It is to be understood that the invention includes equivalents and alternatives.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.1 shows a blade control apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 블레이드 제어장치는 마모량 검출부(120), 제어부(130), 메모리(140) 및 블레이드 구동부(150)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, the blade control apparatus according to the first embodiment of the present invention may include a wear amount detecting unit 120, a controller 130, a memory 140, and a blade driving unit 150.

블레이드(115)는 승강유닛(113)에 장착될 수 있다. 블레이드(115)가 기판(10)에 접촉된 상태에서 회전됨으로써, 기판(10)이 절단될 수 있다. The blade 115 can be mounted to the elevating unit 113. [ By rotating the blade 115 in contact with the substrate 10, the substrate 10 can be cut.

블레이드(115)는 회전축(117)에 고정 체결될 수 있다. 회전축(117)은 블레이드 구동부(150)의 구동에 의해 회전될 수 있다. 회전축(117)의 회전에 따라 회전축(117)에 체결된 블레이드(115)가 회전될 수 있다. The blade 115 can be fastened to the rotating shaft 117. The rotating shaft 117 can be rotated by driving the blade driving unit 150. The blade 115 fastened to the rotating shaft 117 can be rotated in accordance with the rotation of the rotating shaft 117.

블레이드 구동부(150)는 회전 모터를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 이러한 회전 모터의 구동에 의해 회전축(117)이 회전되고, 회전축(117)의 회전에 의해 회전축(117)에 체결된 블레이드(115) 또한 회전될 수 있다. The blade driving unit 150 may include, but is not limited to, a rotary motor. The rotation shaft 117 is rotated by the driving of the rotation motor and the blade 115 fastened to the rotation shaft 117 by the rotation of the rotation shaft 117 can also be rotated.

승강유닛(113)은 상하 방향으로 이동 가능하다. 예컨대. 기판(10) 절단을 위해 승강유닛(113)은 하부 방향으로 하강 이동되어 기판(10)에 접촉되는 접촉 위치(P2)에서 정지된다. 이후, 절단 공정이 수행되어 기판이 절단된 후 승강유닛(113)은 상부 방향으로 상승 이동되어 원래의 위치, 즉 기준 위치(P1)로 복귀될 수 있다. 기준 위치는 블레이드(115)의 최저점의 위치일 수 있다. The elevating unit 113 is movable up and down. for example. The elevation unit 113 is moved downward in the downward direction to stop at the contact position P2 in contact with the substrate 10 for cutting the substrate 10. [ After the cutting process is performed and the substrate is cut, the lift unit 113 can be moved upward in the upward direction and returned to the original position, that is, the reference position P1. The reference position may be the position of the lowest point of the blade 115.

수평이동유닛(111)은 수평 방향을 따라 승강유닛(113)에 체결된 블레이드(115)를 이동시킬 수 있다. 여기서, 수평 방향은 x축일 수 있다. 승강유닛(113)은 수평이동유닛(111)에 체결될 수 있다. 수평이동유닛(111)의 일측, 예컨대, 전면에 제1 레일이 구비될 수 있다. 이 레일에 승강유닛(113)이 결합되어 x축 방향을 따라 슬라이딩 이동될 수 있다. The horizontal movement unit 111 can move the blade 115 fastened to the lift unit 113 along the horizontal direction. Here, the horizontal direction may be x-axis. The elevating unit 113 can be fastened to the horizontal moving unit 111. The first rail may be provided on one side of the horizontal movement unit 111, for example, on the front side. The elevating unit 113 can be coupled to the rail and can be slid along the x-axis direction.

도시되지 않았지만, 또 다른 수평이동유닛이 수평이동유닛(111)과 체결되어 또 다른 수평 방향을 따라 블레이드(115)를 이동시킬 수 있다. 여기서, 또 다른 수평 방향은 y축일 수 있다. 이를 위해, 기판 지지대(13)의 양측으로 제2 레일이 구비될 수 있다. 이 제2 레일에 또 다른 수평이동유닛이 결합되어 y축 방향을 따라 슬라이딩 이동될 수 있다. Although not shown, another horizontal moving unit may be coupled to the horizontal moving unit 111 to move the blade 115 along another horizontal direction. Here, another horizontal direction may be the y-axis. To this end, a second rail may be provided on either side of the substrate support 13. Another horizontal moving unit may be coupled to the second rail and slid along the y-axis direction.

따라서, 수평이동유닛(111)과 또 다른 수평이동유닛의 구동에 의해 블레이드(115)가 기판(10)의 특정 위치로 이동될 수 있다. Therefore, the blade 115 can be moved to a specific position of the substrate 10 by driving the horizontal movement unit 111 and another horizontal movement unit.

기판(10)은 접착부재(15)에 부착될 수 있다. 접착부재(15)는 기판 지지대(13)에 고정될 수 있다. 접착부재(15)는 기판(10)이 고정되도록 한다. The substrate 10 may be attached to the adhesive member 15. The adhesive member 15 can be fixed to the substrate support 13. [ The adhesive member 15 allows the substrate 10 to be fixed.

기판(10)은 반도체 웨이퍼 기판, LED용 기판 또는 평판 디스플레이용 기판일 수 있다. 평판 디스플레이는 예컨대, 액정표시장치(LCD), 유기발광표시장치(OLED), 퀀텀닷발광표시장치(QLED) 등을 포함할 수 있다. The substrate 10 may be a semiconductor wafer substrate, a substrate for an LED, or a substrate for a flat panel display. The flat panel display may include, for example, a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting display (OLED), a quantum dot light emitting display (QLED), and the like.

절단 공정을 위해 기판(10)이 기판 지지대(13) 상에 위치되는 경우, 승강유닛(113)이 구동되어 블레이드(115)가 기판(10)에 접촉되도록 하강 이동될 수 있다. 이후, 블레이드(115)가 기 설정된 회전수에 따라 회전됨으로써, 해당 기판(10)이 절단될 수 있다. When the substrate 10 is placed on the substrate support 13 for the cutting process, the lift unit 113 is driven to move the blade 115 downward so as to contact the substrate 10. Thereafter, the blade 115 is rotated in accordance with the predetermined number of revolutions, whereby the substrate 10 can be cut.

이와 같은 절단 공정을 장시간 수행하다 보면, 블레이드(115)가 마모됨에 따라 블레이드(115)의 직경이 작아지게 된다. If the cutting process is performed for a long time, the diameter of the blades 115 becomes smaller as the blades 115 are worn.

도 2a에 도시한 바와 같이, 새로운 블레이드(115)의 직경은 D1일 수 있다. 새로운 블레이드(115)가 장시간 사용되면, 도 2b에 도시한 바와 같이, 새로운 블레이드(115)가 마모되어 D2의 직경으로 줄어든 마모된 블레이드가 될 수 있다. As shown in Fig. 2A, the diameter of the new blade 115 may be D1. When the new blade 115 is used for a long period of time, as shown in Fig. 2B, the new blade 115 may be worn to become a worn blade reduced in diameter to D2.

이때, 블레이드(115)의 마모량(α)은 수학식 1과 같이 나타내어질 수 있다.At this time, the wear amount? Of the blade 115 can be expressed by Equation (1).

[수학식 1][Equation 1]

α=(D1-D2)/2? = (D1-D2) / 2

기판(10)을 절단하기 위해서는 기 설정된 회전수(R)에 의해 결정되는 회전거리(RD)가 고려되어야 한다. 이러한 회전거리(RD)는 수학식 2로 나타내어질 수 있다.In order to cut the substrate 10, the rotation distance RD determined by the preset rotation speed R must be considered. This rotation distance RD can be expressed by Equation (2).

[수학식 2]&Quot; (2) "

RD=2π*D*RRD = 2? * D * R

D는 블레이드(115)의 직경을 나타낸다.And D represents the diameter of the blade 115.

기판(10)을 절단하기 위해 30,000rpm의 회전수(R)로 설정되고, 새로운 블레이드(115)의 직경(D1)이 70mm라고 한다. 이러한 경우, 수학식 2에 회전수(R)와 직경(D1)을 대입하면, 회전거리(RD1)는 13,194,689.145mm이 산출된다.Is set at a rotation speed (R) of 30,000 rpm for cutting the substrate 10, and the diameter D1 of the new blade 115 is 70 mm. In this case, when the number of rotations R and the diameter D1 are substituted in the equation (2), the rotation distance RD1 is calculated to be 13,194,689.145 mm.

만일 블레이드(115)가 마모되어 그 마모량(α)이 5mm인 경우, 수학식 1을 이용하여 마모된 블레이드(115)의 직경(D2)는 60mm가 될 수 있다. 이러한 경우, 회전거리(RD2)는 11,309,733.5528mm가 되어, 새로운 블레이드(115)가 사용되었을 때에 비해 마모된 블레이드(115)가 사용되었을 때 더욱 더 줄어든다. 이와 같이, 회전 거리가 줄어들게 되면, 그 만큼 기판(10)이 덜 절삭되게 되어 궁극적으로 기판(10)이 절단되지 않을 수 있다. If the abrasion amount? Of the blade 115 is 5 mm, the diameter D2 of the abraded blade 115 can be 60 mm by using Equation (1). In this case, the rotation distance RD2 is 11,309,733,5528 mm, which is further reduced when the worn blade 115 is used compared to when the new blade 115 is used. In this way, if the rotation distance is reduced, the substrate 10 is cut less by that much, so that the substrate 10 may not be cut.

본 발명은 이러한 문제를 해소하기 위해 제안된 것으로서, 블레이드(115)가 마모되더라도 새로운 블레이드(115)를 사용했을 때와 동일한 회전거리(RD)가 되도록 회전수(R)를 가변시켜줄 수 있다. 따라서, 블레이드(115)가 마모되더라도 항상 동일 회전거리(RD)가 유지되도록 하여 절단 불량을 방지하고 절단 품질을 향상시킬 수 있다. The present invention has been proposed in order to solve this problem and it is possible to vary the rotation speed R so that even when the blade 115 is worn, the rotation distance RD is the same as that when the new blade 115 is used. Therefore, even if the blade 115 is worn, the same rotation distance RD is always maintained, so that the cutting failure can be prevented and the cutting quality can be improved.

수학식 2에 나타낸 바와 같이, 회전 거리가 일정하게 유지되기 위해서는 블레이드(115)의 마모로 인해 블레이드(115)의 직경(D2)이 작아질수록 회전수(R)가 증가될 수 있다. 블레이드(115)의 직경(D2)이 작아짐은 마모량(α)이 증가됨을 의미할 수 있다, 따라서, 마모량(α)이 증가되어 블레이드(115)의 직경(D2)이 작아지면, 회전수(R)가 증가되도록 하여 항상 회전 거리가 일정하게 유지될 수 있다. The rotation speed R can be increased as the diameter D2 of the blade 115 becomes smaller due to wear of the blade 115 in order to keep the rotation distance constant. The diameter D2 of the blade 115 may be smaller than the diameter D2 of the blade 115. Therefore, when the wear amount? Is increased and the diameter D2 of the blade 115 becomes smaller, ) Is increased so that the rotation distance can always be kept constant.

예컨대, 위 예에서와 같이, 블레이드(115)의 마모량(α)이 5mm인 경우, 새로운 블레이드(115)와 동일한 회전거리(RD)가 되도록, 마모된 블레이드(115)의 회전수(R)는 34,999rpm이 된다. 따라서, 블레이드(115)가 5mm이 마모되는 경우, 새로운 블레이드(115)일 경우에 설정된 30,000rpm의 회전수(R)가 34,999rpm으로 증가될 수 있다. For example, as in the above example, when the wear amount? Of the blade 115 is 5 mm, the number of rotations R of the worn blade 115 becomes equal to the rotation distance RD as the new blade 115 34,999 rpm. Therefore, when the blade 115 is worn down by 5 mm, the rotation number R of 30,000 rpm set in the case of the new blade 115 can be increased to 34,999 rpm.

따라서, 블레이드(115)가 마모될수록 회전수(R)가 증가되도록 제어됨으로써, 새로운 블레이드(115)와 마모된 블레이드(115)가 항상 동일한 회전거리(RD)가 유지될 수 있다. The new blade 115 and the worn blade 115 can always be maintained at the same rotation distance RD by controlling the number of rotations R to increase as the blade 115 wears.

다시 도 1을 참조하면, 마모량 검출부(120)는 블레이드(115)를 추적하여 블레이드(115)의 마모량(α)을 검출할 수 있다.Referring again to FIG. 1, the wear detection unit 120 may track the blade 115 to detect the wear amount? Of the blade 115.

본 발명의 마모량 검출부(120)는 예컨대, 거리, 압력, 마찰력, 컬러, 진동 등을 이용하여 마모량(α)을 검출할 수 있다.The wear detection unit 120 of the present invention can detect the wear amount alpha using, for example, distance, pressure, friction force, color, vibration, or the like.

예컨대, 거리 검출은 승강유닛(113)이 기준위치(P1)와 접촉위치(P2) 사이의 거리에 대한 검출일 수 있다. 접촉위치(P2)는 절단을 위해 기판(10)이 하강하여 기판(10)에 접촉되는 위치일 수 있다. For example, the distance detection may be detection of the distance between the reference position P1 and the contact position P2 by the lift unit 113. [ The contact position P2 may be a position at which the substrate 10 is lowered to contact the substrate 10 for cutting.

예컨대, 압력 검출은 블레이드(115)가 기판(10)에 접촉될 때의 압력에 대한 검출일 수 있다. For example, pressure detection may be a detection of the pressure when the blade 115 contacts the substrate 10.

예컨대, 마찰력 검출은 블레이드(115)가 기판(10)에 접촉되어 절단 공정이 수행될 때에 블레이드(115)와 기판(10) 간의 마찰력에 대한 검출일 수 있다.For example, the frictional force detection may be a detection of the frictional force between the blade 115 and the substrate 10 when the blade 115 contacts the substrate 10 to perform the cutting process.

컬러 검출은 블레이드(115)의 불레이드의 끝단으로부터 중심점으로 갈수록 서로 상이한 컬러 띠가 도색되어, 이러한 블레이드(115)가 마모될 때에 가장 끝단에 도색된 컬러에 대한 검출일 수 있다. The color detection may be a detection of the color at the end of the blade 115 when the blade 115 is worn by coloring a color band different from the end of the blade 115 to the center of the blade 115.

진동 검출은 블레이드(115)의 사이즈에 따라 서로 상이한 진동이 발생되는 원리를 이용하는 것으로서, 블레이드(115)가 회전됨에 따라 발생되는 진동에 대한 검출일 수 있다. The vibration detection utilizes the principle of generating vibrations that are different from each other depending on the size of the blade 115, and may be a detection of the vibration generated as the blade 115 rotates.

제어부(130)는 마모량 검출부(120)로부터 검출된 블레이드(115)의 마모량(α)을 바탕으로 블레이드 구동부(150)를 구동할 제어신호를 생성할 수 있다. The control unit 130 may generate a control signal for driving the blade driving unit 150 based on the wear amount? Of the blade 115 detected by the wear amount detecting unit 120. [

구체적으로, 제어부(130)는 마모량 검출부(120)로부터 검출된 블레이드(115)의 마모량(α)에 따라 설정된 회전수(R)로 블레이드(115)를 제어하기 위한 제어신호를 생성할 수 있다. Specifically, the controller 130 may generate a control signal for controlling the blade 115 at the set rotation speed R in accordance with the wear amount? Of the blade 115 detected by the wear detection unit 120. FIG.

메모리(140)에는 도 3에 도시한 바와 같은 룩업테이블(LUT: Look-Up Table)이 저장될 수 있다. A look-up table (LUT) as shown in FIG. 3 may be stored in the memory 140.

룩업테이블은 마모량(α)과 마모량(α)에 상응하여 설정된 회전수(R)를 포함할 수 있다. 이때 설정된 회전수(R)는 마모량(α)이 없을 때의 회전수와 마모량(α)에 따라 증액된 회전수의 합일 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시한 바와 같이, 마모량(α)이 없을 때의 회전수가 30,000rpm이고, 마모량(α)이 4mm로서 마모량(α)에 따라 증액된 회전수가 1,500rpm인 경우, 설정된 회전수(R)는 31,500rpm이 될 수 있다. The lookup table may include a set number of rotations R corresponding to the wear amount alpha and the wear amount alpha. At this time, the set rotational speed R may be the sum of the rotational speed when there is no wear amount? And the rotational speed increased by the wear amount?. For example, as shown in Fig. 3, when the number of revolutions in the absence of the wear amount? Is 30,000 rpm and the number of revolutions increased in accordance with the wear amount? As the wear amount? Is 4 mm, R) can be 31,500 rpm.

예컨대, 새로운 블레이드(115)는 마모량(α)이 없다. 이러한 경우, 회전수(R)가 30,000rpm으로 설정될 수 있다.For example, the new blade 115 does not have a wear amount?. In this case, the number of rotations R may be set to 30,000 rpm.

이와 같은 방식으로, 1mm의 마모량(α)인 경우 30,500rpm으로 설정되고, 2mm의 마모량(α)인 경우 31,000rpm으로 설정될 수 있다.In this way, it can be set at 30,500 rpm for a wear amount of 1 mm (a) and at 31,000 rpm for a wear amount of 2 mm (a).

또한, 3mm의 마모량(α)인 경우 31,500rpm으로 설정되고, 4mm의 마모량(α)인 경우 32,000rpm으로 설정될 수 있다. Further, it can be set to 31,500 rpm for a wear amount (a) of 3 mm and to 32,000 rpm for a wear amount (a) of 4 mm.

이와 같은 방식으로 최대 사용될 수 있는 마모량(α)까지 회전수(R)가 설정되어 있을 수 있다. 최대 사용될 수 있는 마모량(α) 이상으로 마모된 블레이드(115)는 다른 새로운 블레이드(115)로 교체될 수 있다.In this way, the rotation speed R may be set up to the wear amount alpha that can be used at the maximum. The blade 115 worn beyond the wear amount alpha that can be used at the maximum can be replaced with another new blade 115. [

도 3에서는 마모량(α)이 1mm씩 증가될 때마다의 회전수(R)로 설정되고 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In Fig. 3, the number of revolutions R is set at every increment of the wear amount alpha by 1 mm, but this is not limitative.

설명의 편의를 위해, 도 3에서는 마모량(α)이 1mm씩 증가할 때마다 회전수(R)가 일정하게 500rpm이 증가되도록 설정되고 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For convenience of explanation, in FIG. 3, the rotation speed R is set so as to be constantly increased by 500 rpm every time the wear amount? Increases by 1 mm, but the present invention is not limited to this.

설정되는 회전수(R)는 마모량(α)이 없을 때 즉 새로운 블레이드(115)일 때에 설정된 회전수(R)에 의해 산출된 회전거리(RD, 수학식 2 참조)와 블레이드(115)의 마모량(α)에 의해 결정될 수 있다.The set rotational speed R is calculated from the rotational distance RD calculated by the rotational speed R set when there is no wear amount?, I.e., the new blade 115, and the wear amount of the blade 115 (?).

제어부(130)는 마모량 검출부(120)로부터 검출된 마모량(α)를 바탕으로 메모리(140)를 조회하여 메모리(140)에 저장된 룩업테이블에서 상기 검출된 마모량(α)에 상응하여 설정된 회전수(R)를 획득할 수 있다. The control unit 130 inquires the memory 140 based on the wear amount? Detected from the wear amount detecting unit 120 and determines the number of revolutions (?) Corresponding to the detected wear amount? In the lookup table stored in the memory 140 R) < / RTI >

아울러, 제어부(130)는 상기 획득된 회전수(R)로 블레이드(115)가 회전되도록 블레이드 구동부(150)를 구동하기 위한 제어신호를 생성할 수 있다. The control unit 130 may generate a control signal for driving the blade driving unit 150 to rotate the blade 115 at the obtained rotation speed R. [

블레이드 구동부(150)는 제어신호에 응답하여 메모리(140)의 룩업테이블에서 획득된 회전수(R)가 되도록 예컨대, 회전 모터의 회전속도를 조절할 수 있다. The blade driving unit 150 may adjust the rotational speed of the rotating motor, for example, to be the rotational speed R obtained from the look-up table of the memory 140 in response to the control signal.

이에 따라, 회전 모터의 회전속도에 따라 회전 모터에 연결된 회전축(117)이 상기 회전수(R)가 되도록 회전되고, 회전축(117)에 고정 체결된 블레이드(115) 또한 상기 회전수(R)만큼 회전될 수 있다. Accordingly, the rotation shaft 117 connected to the rotation motor is rotated to the rotation speed R according to the rotation speed of the rotation motor, and the blade 115 fixed to the rotation shaft 117 is rotated by the rotation speed R Can be rotated.

예컨대, 도 3에 도시한 바와 같이, 새로운 블레이드(115)의 경우 마모량(α)이 없기 때문에 설정? 회전수(R)인 30,000rpm으로 새로운 블레이드(115)가 회전될 수 있다. For example, as shown in Fig. 3, since there is no wear amount? In the case of the new blade 115, The new blade 115 can be rotated at a rotation speed R of 30,000 rpm.

이후, 새로운 블레이드(115)가 마모되어, 마모량 검출부(120)에 의해 검출된 마모량(α)이 3mm인 경우, 제어부(130)는 메모리(140)에 저장된 룩업테이블을 조회하여 3mm의 마모량(α)에 상응되어 설정된 31,5000rpm의 회전수(R)를 획득할 수 있다. When the new blade 115 is worn and the amount of wear detected by the wear detection unit 120 is 3 mm, the control unit 130 inquires of the lookup table stored in the memory 140 and calculates a wear amount? (R) of 31,5000 rpm set corresponding to the rotation speed (R).

제어부(130)는 31,5000rpm의 회전수(R)에 관한 제어신호를 생성하여 블레이드 구동부(150)로 제공할 수 있다. 블레이드 구동부(150)는 제어부(130)로부터 입력된 제어신호에 응답하여 회전 모터를 구동하여 31,5000rpm의 회전수(R)로 증가시킬 수 있다. 따라서, 블레이드 구동부(150)의 회전 모터 구동에 의해 31,5000rpm의 회전수(R)로 상기 마모된 블레이드(115)가 회전될 수 있다. The control unit 130 may generate a control signal for the rotation speed R of 31,5000 rpm and provide the control signal to the blade driving unit 150. [ In response to the control signal input from the controller 130, the blade driving unit 150 drives the rotating motor to increase the rotating speed R to 31,5000 rpm. Therefore, by driving the rotation motor of the blade driving unit 150, the worn blade 115 can be rotated at the rotation speed R of 31,5000 rpm.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.4 shows a blade control apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 블레이드 제어장치는 마모량 검출부(120), 제어부(130), 메모리(140) 및 승강유닛 구동부(160)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4, the blade control apparatus according to the second embodiment of the present invention may include a wear detection unit 120, a controller 130, a memory 140, and a lift unit driving unit 160.

마모량 검출부(120)는 블레이드(115)의 마모량(α)을 검출한다. 마모량(α) 검출에 대해서는 본 발명의 제1 실시예에서 상세히 설명한 바 있고 또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있으므로, 더 이상의 설명은 생략한다. The wear amount detecting section 120 detects the wear amount? Of the blade 115. Detection of the amount of wear (?) Has been described in detail in the first embodiment of the present invention and can be easily understood from the explanation according to the first embodiment of the present invention, and further explanation will be omitted.

메모리(140)에는 도 5에 도시한 바와 같은 룩업테이블이 저장될 수 있다. The memory 140 may store a look-up table as shown in FIG.

룩업테이블은 마모량(α)과 마모량(α)에 상응하여 설정된 승강거리를 포함할 수 있다. The lookup table may include a lift distance set corresponding to the wear amount [alpha] and the wear amount [alpha].

예컨대, 새로운 블레이드(115)는 마모량(α)이 없다. 이러한 경우, 회전수(R)가 승강거리가 50mm로 설정될 수 있다. 새로운 블레이드(115)인 경우의 승강거리는 블레이드(115)의 기준위치(P1)와 접촉위치(P2) 사이의 거리일 수 있다. 아울러, 이러한 승강거리는 블레이드(115)가 기판(10)과 접촉하기 위해 하강되는 거리일 수 있다. For example, the new blade 115 does not have a wear amount?. In this case, the number of rotations R may be set to 50 mm. The lift distance in the case of the new blade 115 may be the distance between the reference position P1 of the blade 115 and the contact position P2. In addition, the lift distance may be a distance at which the blade 115 is lowered to contact the substrate 10.

또한, 1mm의 마모량(α)인 경우 51mm로 설정되고, 2mm의 마모량(α)인 경우 52mm로 설정될 수 있다.Further, it can be set to 51 mm for a wear amount (alpha) of 1 mm and to 52 mm for a wear amount (alpha) of 2 mm.

또한, 3mm의 마모량(α)인 경우 53mm로 설정되고, 4mm의 마모량(α)인 경우 54mm로 설정될 수 있다. Further, it can be set to 53 mm for a wear amount (?) Of 3 mm and to 54 mm for a wear amount (?) Of 4 mm.

이와 같은 방식으로 최대 사용될 수 있는 마모량(α)까지 승강거리가 설정되어 있을 수 있다. 최대 사용될 수 있는 마모량(α) 이상으로 마모된 블레이드(115)는 다른 새로운 블레이드(115)로 교체될 수 있다.In this way, the lift distance may be set up to the wear amount alpha that can be used at the maximum. The blade 115 worn beyond the wear amount alpha that can be used at the maximum can be replaced with another new blade 115. [

도 5에서는 마모량(α)이 1mm씩 증가될 때마다 승강거리가 설정되고 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In FIG. 5, the lift distance is set every time the wear amount? Is increased by 1 mm, but this is not limitative.

설명의 편의를 위해, 도 5에서는 마모량(α)이 1mm씩 증가할 때마다 승강거리가 일정하게 1mm이 증가되도록 설정되지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For convenience of explanation, in FIG. 5, the lift distance is set to be constantly increased by 1 mm every time the wear amount? Increases by 1 mm, but the present invention is not limited thereto.

설정되는 승강거리는 마모량(α)이 없을 때, 즉 새로운 블레이드(115)일 때에 설정된 승강거리와 블레이드(115)의 마모량(α)에 의해 결정될 수 있다. 즉, 새로운 블레이드(115)일 때에 설정된 승강거리와 블레이드(115)의 마모량(α)의 합일 수 있다(도 6b 참조)The set up / lowering distance can be determined by the lift distance set when there is no wear amount [alpha], i.e., when the new blade 115 is set, and the wear amount [alpha] of the blade 115. [ That is, it may be the sum of the lift distance set at the time of the new blade 115 and the wear amount? Of the blade 115 (see FIG. 6B)

제어부(130)는 마모량 검출부(120)로부터 검출된 마모량(α)를 바탕으로 메모리(140)를 조회하여 메모리(140)에 저장된 룩업테이블에서 상기 검출된 마모량(α)에 상응하여 설정된 승강거리를 획득할 수 있다. The control unit 130 inquires the memory 140 based on the wear amount? Detected from the wear amount detecting unit 120 and calculates a lift distance corresponding to the detected wear amount? In the lookup table stored in the memory 140 Can be obtained.

아울러, 제어부(130)는 상기 획득된 승강거리를 블레이드(115)가 하강되도록 승강유닛 구동부(160)를 구동하기 위한 제어신호를 생성할 수 있다. In addition, the control unit 130 may generate a control signal for driving the lift unit driving unit 160 so that the blade 115 is lowered by the obtained lift distance.

승강유닛 구동부(160)는 리니어 모터를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 이러한 리니어 모터의 구동에 의해 승강윤닛이 상하 방향으로 이동 가능하고, 이에 따라 승강유닛(113)에 체결된 블레이드(115) 또한 상하 방햐응로 이동 가능하다. The lift unit driving unit 160 may include a linear motor, but the invention is not limited thereto. By driving the linear motor, the lifting and lowering knee can be moved in the vertical direction, and accordingly, the blade 115 fastened to the lifting unit 113 can also be moved up and down.

승강유닛 구동부(160)는 제어신호에 응답하여 메모리(140)의 룩업테이블에서 획득된 승강거리가 되도록 예컨대, 블레이드(115)의 하강이동을 조절할 수 있다. 승강유닛 구동부(160)에 의해 블레이드(115)가 상기 조절된 승강거리만큼 하강하될 수 있다. 이를 위해, 블레이드(115)의 승강거리를 측정하기 위한 측정센서가 구비될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 이러한 측정센서에 의해 측정된 승강거리가 상기 조절된 승강거리와 일치하는 경우, 승강유닛 구동부(160)는 블레이드(115)의 하강 이동을 중지시킬 수 있다. The lift unit driving unit 160 may adjust the downward movement of the blade 115, for example, so as to be the lift distance obtained in the lookup table of the memory 140 in response to the control signal. The blade 115 can be lowered by the adjusted lift distance by the lift unit driving unit 160. [ For this purpose, a measurement sensor for measuring the lift distance of the blade 115 may be provided, but it is not limited thereto. When the lift distance measured by the measurement sensor is equal to the adjusted lift distance, the lift unit driving unit 160 can stop the downward movement of the blade 115.

예컨대, 도 5에 도시한 바와 같이, 새로운 블레이드(115)의 경우 마모량(α)이 없기 때문에 설정? 제1 승강거리(도 6a의 D1)인 50mm로 새로운 블레이드(115)가 하강이동되어 기판(10)과 접촉될 수 있다. 즉, 도 6a에 도시한 바와 같이, 마모량(α)이 없을 때의 제1 승강거리인 50mm가 D1일 수 있다. 따라서, 블레이드(115)는 D1만큼 하강 이동되어 기판(10)과 접촉될 수 있다. For example, as shown in Fig. 5, since there is no wear amount? In the case of the new blade 115, The new blade 115 can be moved downward and brought into contact with the substrate 10 at a first lift distance (D1 in Fig. 6A) of 50 mm. That is, as shown in Fig. 6A, the first lift distance 50mm when there is no wear amount? May be D1. Thus, the blade 115 can be moved down by D1 and brought into contact with the substrate 10. [

이후, 새로운 블레이드(115)가 마모되어, 마모량 검출부(120)에 의해 검출된 마모량(α)이 3mm인 경우, 제어부(130)는 메모리(140)에 저장된 룩업테이블을 조회하여 3mm의 마모량(α)에 상응되어 설정된 53mm의 승강거리를 획득할 수 있다. When the new blade 115 is worn and the amount of wear detected by the wear detection unit 120 is 3 mm, the control unit 130 inquires of the lookup table stored in the memory 140 and calculates a wear amount? The lift distance of 53 mm can be obtained.

제어부(130)는 53mm의 제2 승강거리(L2)에 관한 제어신호를 생성하여 승강유닛 구동부(160)로 제공할 수 있다. 승강유닛 구동부(160)는 제어부(130)로부터 입력된 제어신호에 응답하여 블레이드(115)를 53mm의 제2 승강거리(L2)만큼 하강이동시킬 수 있다. The control unit 130 may generate a control signal related to the second lift distance L2 of 53 mm and provide the control signal to the lift unit driving unit 160. [ The lift unit driving unit 160 can lower the blade 115 by the second lift distance L2 of 53 mm in response to the control signal input from the controller 130. [

이로부터, 새로운 블레이드(115)가 마모가 되어 마모량(α)이 증가됨에 따라, 블레이드(115)의 제2 승강거리(L2) 또한 증가됨을 알 수 있다. 이때, 제2 승강거리(L2)는 새로운 블레이드(115)가 사용될 때, 즉 마모량(α)이 없을 때의 승강거리(L1)과 새로운 블레이드(115)가 사용되어 마모된 마모량(α)의 합일 수 있다. From this, it can be seen that the second lift distance L2 of the blade 115 is also increased as the wear amount? Increases as the new blade 115 wears. At this time, the second lift distance L2 is the sum of the lift distance L1 when the new blade 115 is used, that is, the lift amount L1 when there is no wear amount?, And the wear amount? .

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 블레이드 제어장치를 도시한다.7 shows a blade control apparatus according to a third embodiment of the present invention.

제3 실시예는 제1 실시예와 제2 실시예의 결합에 의해 구현될 수 있다. The third embodiment can be implemented by a combination of the first embodiment and the second embodiment.

도 7을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 블레이드 제어장치는 마모량 검출부(120), 제어부(130), 메모리(140), 블레이드 구동부(150) 및 승강유닛 구동부(160)를 포함할 수 있다. 7, the blade control apparatus according to the third embodiment of the present invention includes a wear detection unit 120, a control unit 130, a memory 140, a blade driving unit 150, and a lift unit driving unit 160 .

마모량 검출부(120)는 블레이드(115)의 마모량(α)을 검출한다.The wear amount detecting section 120 detects the wear amount? Of the blade 115.

제어부(130)는 마모량 검출부(120)에서 검출된 블레이드(115)의 마모량(α)을 바탕으로 블레이드 구동부(150)를 구동하기 위한 제1 제어신호와 승강유닛(113)을 구동하기 위한 제2 제어신호를 생성할 수 있다. The control unit 130 controls the blade drive unit 150 based on the wear amount? Of the blade 115 detected by the wear amount detection unit 120 and the second control signal for driving the lift unit 113 A control signal can be generated.

이를 위해, 메모리(140)에는 마모량(α)에 따른 회전수(R)가 설정된 제1 룩업테이블과 마모량(α)에 따른 승강거리가 설정된 제2 룩업테이블이 저장될 수 있다. To this end, the memory 140 may be stored with a first lookup table in which the number of rotations R according to the wear amount? Is set, and a second lookup table in which the lift distance in accordance with the wear amount? Is set.

마모량(α)에 따른 회전수(R)는 마모량(α)이 없을 때의 회전수와 마모량(α)에 따라 증액된 회전수의 합일 수 있다. The rotation speed R in accordance with the wear amount? May be the sum of the rotation speed in the absence of the wear amount? And the rotation speed increased in accordance with the wear amount?.

제1 룩업테이블은 도 3에 도시된 룩업테이블이고, 제2 룩업테이블은 도 5에 도시된 룩업테이블일 수 있다. The first look-up table is the look-up table shown in Fig. 3, and the second look-up table can be the look-up table shown in Fig.

제어부(130)는 메모리(140)의 제1 룩업테이블을 조회하여 마모량 검출부(120)에서 검출된 마모량(α)에 상응하는 회전수(R)를 획득하고, 상기 획득된 회전수(R)에 관한 제1 제어신호를 생성할 수 있다. 제어부(130)는 제1 제어신호를 블레이드 구동부(150)로 제공할 수 있다. The control unit 130 inquires the first lookup table of the memory 140 to obtain the number of rotations R corresponding to the amount of wear detected by the amount of wear detection unit 120 and outputs the obtained number of rotations R The first control signal can be generated. The control unit 130 may provide the first control signal to the blade driving unit 150.

제어부(130)는 메모리(140)의 제2 룩업테이블을 조회하여 마모량 검출부(120)에서 검출된 마모량(α)에 상응하는 승강거리를 획득하고, 상기 획득된 승강거리에 관한 제2 제어신호를 생성할 수 있다. 제어부(130)는 제2 제어신호를 승강유닛 구동부(160)로 제공할 수 있다. The control unit 130 inquires the second lookup table of the memory 140 to obtain the lift distance corresponding to the wear amount? Detected by the wear detection unit 120 and outputs a second control signal related to the obtained lift distance Can be generated. The control unit 130 may provide the second control signal to the elevating unit driving unit 160. [

블레이드 구동부(150)는 제1 제어신호에 응답하여 제1 룩업테이블에서 획득된 회전수(R)가 되도록 블레이드(115)를 조절할 수 있다. The blade driving unit 150 may adjust the blade 115 to be the number of revolutions R obtained in the first lookup table in response to the first control signal.

승강유닛 구동부(160)는 제2 제어신호에 응답하여 제2 룩업테이블에서 획득된 승강거리만큼 블레이드(115)를 하강 이동시킬 수 있다. The lift unit driving unit 160 may move the blade 115 downward by the lift distance obtained in the second lookup table in response to the second control signal.

제3 실시예에 대한 설명에서 누락된 설명은 제1 및 제2 실시예에 대한 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있다. The explanation omitted in the description of the third embodiment can be easily understood from the description of the first and second embodiments.

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.The foregoing detailed description should not be construed in all aspects as limiting and should be considered illustrative. The scope of the embodiments should be determined by rational interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalents of the embodiments are included in the scope of the embodiments.

10: 기판
13: 기판 지지대
15: 접착부재
111: 수평이동유닛
113: 승강유닛
115: 블레이드
117: 회전축
120: 마모량 검출부
130: 제어부
140: 메모리
150: 블레이드 구동부
160: 승강유닛 구동부10: substrate
13: substrate support
15:
111: Horizontal movement unit
113:
115: blade
117:
120: wear amount detector
130:
140: Memory
150:
160: Lift unit driving part

Claims (7)

블레이드의 마모량을 검출하는 마모량 검출부;
마모량에 따른 회전수가 설정된 제1 룩업테이블과 마모량에 따른 하강거리가 설정된 제2 룩업테이블을 포함하는 메모리;
상기 블레이드가 회전되도록 구동시키는 블레이드 구동부;
상기 블레이드가 승강되도록 구동하는 승강유닛 구동부; 및
제어부를 포함하고,
상기 제어부는,
마모된 블레이드에 의한 회전거리가 마모되지 않은 블레이드에 의한 회전거리와 동일해지도록 상기 검출된 마모량을 바탕으로 상기 블레이드가 회전 및 하강 이동되도록 상기 블레이드 구동부 및 상기 승강유닛 구동부를 제어하고,
상기 블레이드 구동부는,
상기 검출된 마모량을 바탕으로 상기 제1 룩업테이블로부터 획득된 회전수로 상기 블레이드를 회전시키고, ,
상기 승강유닛 구동부는,
상기 검출된 마모량을 바탕으로 상기 제2 룩업테이블로부터 획득된 하강거리로 상기 블레이드를 하강 이동시키는 블레이드 제어장치.A wear amount detecting unit for detecting a wear amount of the blade;
A memory including a first lookup table in which the number of revolutions in accordance with the wear amount is set and a second lookup table in which a falling distance in accordance with the wear amount is set;
A blade driving unit for driving the blade to rotate;
An elevating unit driving unit for driving the blade to move up and down; And
And a control unit,
Wherein,
Controls the blade driving unit and the lift unit driving unit such that the blade rotates and moves based on the detected wear amount so that the rotation distance by the worn blade becomes equal to the rotation distance by the blade that is not worn,
The blade driving unit includes:
Rotating the blade at a rotation number obtained from the first lookup table based on the detected wear amount,
The elevating unit driving unit includes:
And the blade is moved downward at a falling distance obtained from the second lookup table based on the detected wear amount. 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 검출된 마모량을 바탕으로 상기 제1 룩업테이블로부터 상기 검출된 마모량에 상응하는 회전수를 획득하고, 상기 획득된 회전수로 상기 블레이드가 회전되도록 상기 블레이드를 구동시키기 위한 제1 제어신호를 생성하는 블레이드 제어장치.The method according to claim 1,
Wherein,
Acquires a rotation number corresponding to the detected wear amount from the first lookup table based on the detected wear amount, and generates a first control signal for driving the blade so that the blade is rotated at the obtained rotation number Blade control device. 제1항에 있어서,
상기 마모량에 따른 회전수는 마모량이 없을 때에 설정된 회전수에 의해 산출된 회전거리와 상기 검출된 마모량에 의해 결정되는 블레이드 제어장치.The method according to claim 1,
Wherein the number of rotations in accordance with the amount of wear is determined by the rotation distance calculated by the number of rotations set when there is no wear amount and the detected amount of wear. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 검출된 마모량을 바탕으로 상기 제2 룩업테이블로부터 상기 검출된 마모량에 상응하는 하강거리를 획득하고, 상기 획득된 하강거리로 상기 블레이드가 하강 이동되도록 상기 승강유닛 구동부를 구동시키기 위한 제2 제어신호를 생성하는 블레이드 제어장치.The method according to claim 1,
Wherein,
A second control signal for obtaining a falling distance corresponding to the detected wear amount from the second look-up table based on the detected wear amount, and driving the lift unit driving unit so that the blade is moved down by the obtained falling distance, Of the blade control device. 제1항에 있어서,
상기 마모량은,
거리, 압력, 마찰력, 컬러 및 진동 중 적어도 하나를 이용하여 검출되는 블레이드 제어장치.The method according to claim 1,
The amount of wear,
Wherein at least one of the distance, pressure, frictional force, color, and vibration is detected. 제1항에 있어서,
상기 마모량에 따른 회전수는 마모량이 없을 때에 설정된 회전수와 상기 마모량에 따라 증가된 회전수의 합인 블레이드 제어장치.The method according to claim 1,
Wherein the number of rotations according to the amount of wear is a sum of a number of rotations set when there is no wear amount and a number of rotations increased according to the wear amount.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004116621A (en) * 2002-09-25 2004-04-15 Fuji Electric Holdings Co Ltd Braking force controlling apparatus for vehicle
JP2015198191A (en) 2014-04-02 2015-11-09 株式会社ディスコ Cutting device

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