KR101909989B1 - 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치 - Google Patents

Abstract

평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 기판 상에 패턴이 형성되도록 스프레이 방식으로 식각액을 제공하는 식각 공정이 이루어지는 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에 있어서, 상기 식각액을 제공할 때 상기 식각액이 상기 기판을 딥핑시킬 수 있도록 상기 기판 측면을 둘러싸게 배치되는 격벽을 구비하고, 상기 격벽은 상기 식각액이 상기 격벽을 넘어 드레인되도록 배치됨과 아울러 상기 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 상기 격벽을 넘어 드레인되는 식각액의 양보다 적도록 배치될 수 있다.

Description

평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치{Etching apparatus for manufacturing flat panel display device}

본 발명은 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 식각을 수행할 때 스프레이 방식으로 식각액을 제공하는 평판 디스프레이 소자 제조용 식각 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 박막을 형성한 후, 언급한 박막을 패터닝하기 위한 식각 공정을 수행한다. 특히, 평판 디스플레이 소자는 대면적 기판을 사용하기 때문에 주로 습식 식각 공정을 채택하고 있다. 그리고 평판 디스플레이 소자의 제조에서 따른 습식 식각 공정에서는 식각 균일도를 향상시키기 위한 다양한 방법들이 개발되고 있다. 언급한 방법에 대한 예로서는 기판을 수평으로 유지한 채 기판 상에 식각액을 스프레이(spray)시키는 방식, 기판을 경사지게 유지한 채 기판에 식각액을 스프레이시키는 방식, 기판을 식각액에 딥핑시키는 방식 등을 들 수 있다.

여기서, 언급한 딥핑 방식의 경우 식각액 내에 기판을 충분하게 딥핑시켜야 한다. 그러나 딥핑이 이루어지는 기판이 식각액 내에서 부유함으로써 식각 균일도가 저하되는 상황이 빈번하게 발생한다. 특히, 기판이 대면적일수록 식각액 내에서 부유하는 상황이 보다 심각하게 발생한다.

본 발명의 목적은 식각 균일도를 보다 향상시킬 수 있는 평판 디스플레이 소자용 식각 장치를 제공하는데 있다.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 기판 상에 패턴이 형성되도록 스프레이 방식으로 식각액을 제공하는 식각 공정이 이루어지는 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에 있어서, 상기 식각액을 제공할 때 상기 식각액이 상기 기판을 딥핑시킬 수 있도록 상기 기판 측면을 둘러싸게 배치되는 격벽을 구비하고, 상기 격벽은 상기 식각액이 상기 격벽을 넘어 드레인되도록 배치됨과 아울러 상기 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 상기 격벽을 넘어 드레인되는 식각액의 양보다 적도록 배치될 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에서, 상기 격벽은 상기 식각액이 상기 격벽과 상기 기판 측면 사이로 드레인되도록 배치될 수 있다.

언급한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 스프레이 방식 및 딥핑 방식을 혼용한다. 특히, 스프레이가 이루어지는 식각액의 양과 딥핑이 이루어지는 식각액의 양을 적절하게 조정함으로써 식각액의 순환을 유도할 수 있다. 이에, 스프레이에 의해 식각이 이루어짐과 아울러 딥핑에 의해 식각이 이루어지고, 그리고 딥핑에 의해 식각이 이루어질 때 기판이 부유하는 상황을 방지할 수 있다.

따라서 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용하여 식각 공정을 수행할 경우에는 식각 균일도의 향상을 기대할 수 있고, 특히 대면적을 갖는 기판의 식각에 보다 적극적으로 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에서 격벽이 배치되는 상태를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에서 격벽이 배치되는 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 스프레이 방식으로 기판(11)에 식각액을 제공할 수 있도록 식각액을 스프레이하는 노즐(15)을 구비할 수 있다. 그리고 언급한 바와 같이 스프레이 방식으로 식각액을 제공할 때 식각액이 기판(11)을 딥핑시킬 수 있도록 기판(11) 측면을 둘러싸게 배치되는 격벽(13)을 구비할 수 있다. 즉, 본 발명에서의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 기판(11) 측면을 따라 수직하게 배치되는 격벽(13)을 구비하는 것이다. 이에, 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용한 식각 공정의 경우 스프레이 방식 및 딥핑 방식 두 가지를 동시에 수행할 수 있다.

여기서, 격벽(13)의 경우 언급한 바와 같이 스프레이 방식에 의해 식각액을 제공할 때 식각액이 기판(11)을 딥핑시킬 수 있도록 기판(11) 측면을 둘러싸게 배치됨과 아울러 식각액이 격벽(13)을 넘어 드레인되도록 배치될 수 있다. 즉, 언급한 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에서의 격벽(13)은 스프레이 방식으로 제공되는 식각액이 격벽(13)을 넘어 드레인되도록 배치될 수 있는 것이다. 이때, 언급한 격벽(13)은 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 격벽(13)을 넘어 드레인되는 식각액의 양보다 적도록 배치될 수 있다. 이는, 식각액이 기판(11) 내에 충분하게 딥핑되도록 하기 위함이고, 아울러 식각액이 계속적으로 순환되도록 하기 위함이다.

언급한 바와 같이, 본 발명에서는 식각액이 계속적으로 스프레이되고, 그리고 식각액에 의해 기판(11)이 딥핑되도록 함과 아울러 딥핑이 이루어지는 식각액이 계속적으로 드레인되도록 할 수 있다. 이에, 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용한 식각 공정에서는 스프레이에 의해 식각이 이루어짐과 아울러 딥핑에 의해 식각이 이루어질 때 딥핑이 이루어지는 기판(11)이 식각액 내에서 부유하는 상황을 충분하게 방지할 수 있다. 따라서 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용하여 식각 공정을 수행할 경우에는 식각 균일도의 향상을 기대할 수 있다.

또한, 언급한 격벽(13)의 경우 식각액이 격벽(13)과 기판(11) 측면 사이로 드레인되도록 배치될 수 있다. 즉, 기판(11)의 측면을 둘러싸도록 격벽(13)을 배치할 때 기판(11)의 측면과 격벽(13)이 면접되도록 배치하는 것이 아니라 언급한 바와 같이 식각액이 격벽(13)과 기판(11) 측면 사이로 드레인되도록 격벽(13)과 기판(11) 측면 사이를 다소 이격되게 배치하는 것이다. 이때, 격벽(13)과 기판(11) 측면 사이의 이격 거리는 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 격벽(13)을 넘어 드레인되는 식각액 및 격벽(13)과 기판(11) 측면 사이로 드레인되는 식각액의 양보다 적은 범위를 갖는 범위 내에서 조절될 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용한 식각 공정에서는 언급한 기판(11)으로 식각액을 스프레이되도록 하고, 스프레이에 의해 기판(11)을 제공되는 식각액을 격벽(13)을 넘어 플로우되도록 함과 아울러 기판(11) 측면과 격벽(13) 사이로 플로우되도록 함으로써 스프레이 및 딥핑에 의해 식각이 이루어질 수 있다. 특히, 딥핑이 이루어지는 기판(11)의 경우 언급한 바와 같이 식각액이 계속적으로 플로우됨으로써 기판(11)이 식각액 내에서 부유하는 것을 방지할 수 있기 때문에 식각액 내에 기판(11)의 부유로 인한 식각 균일도의 저하를 사전에 방지할 수 있다. 이에, 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용하여 식각 공정을 수행할 경우에는 식각 균일도의 향상을 기대할 수 있고, 또한 대면적 기판(11)의 식각에 따른 보다 향상된 식각 균일도를 기대할 수 있다.

그리고 언급한 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 사용할 때 격벽(13)의 배치는 식각을 위한 기판(11)을 식각 챔버 내로 이송시킨 후 기판(11) 측면을 둘러싸도록 배치시키거나 또는 식각 챔버 내에 설치되는 격벽(13)에 기판(11)이 둘러싸여지도록 기판(11)을 이송시킴으로써 달성될 수 있다. 이때, 격벽(13)은 언급한 바와 같이 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 격벽(13)을 넘어 드레인되는 식각액의 양보다 적도록 배치시킴과 아울러 기판(11) 측면과 격벽(13) 사이가 다소 이격되도록 배치한다. 이에, 식각액을 스프레이 방식으로 제공하면서 격벽(13)에 의해 기판(11)에 식각액 내에 딥핑되고, 더불어 식각액을 플로우시킴으로써 보다 효율적인 식각이 가능하고, 그 결과 보다 향상된 식각 균일도를 확보할 수 있다.

언급한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치는 스프레이 방식 및 딥핑 방식을 혼용하고, 특히 딥핑에 의해 식각이 이루어질 때 기판이 부유하는 상황을 방지할 수 있기 때문에 식각 균일도의 향상을 기대할 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자에 대한 품질 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있다. 따라서 본 발명의 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치를 적용할 경우 품질 신뢰도의 향상을 통하여 제품 경쟁력까지도 기대할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 기판 13 : 격벽
15 : 노즐

Claims (4)

1. 기판 상에 패턴이 형성되도록 스프레이 방식으로 식각액을 제공하는 식각 공정이 이루어지는 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치에 있어서,
   상기 식각액을 제공할 때 상기 식각액이 상기 기판을 딥핑시킬 수 있도록 상기 기판 측면을 둘러싸게 배치되는 격벽을 구비하고,
   상기 격벽은 상기 식각액이 상기 격벽을 넘어 드레인되도록 배치됨과 아울러 상기 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 상기 격벽을 넘어 드레인되는 식각액의 양보다 적도록 배치되고,
   상기 격벽은 상기 식각액이 상기 격벽과 상기 기판 측면 사이로 드레인되도록 배치됨과 아울러 상기 격벽과 상기 기판 측면 사이의 이격 거리는 상기 스프레이 방식으로 제공되는 식각액의 양이 상기 격벽을 넘어 드레인되는 식각액 및 상기 격벽과 상기 기판 측면 사이로 드레인되는 식각액의 양보다 적은 범위를 갖는 범위 내에서 조절되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1 항에 있어서, 상기 격벽은 상기 기판에 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 소자 제조용 식각 장치.

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