KR101908797B1 - Apparatus for supporting material, and apparatus for grinding the material using same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소재 지지장치 및 이를 사용하는 연마장치에 관한 것으로, 소재 지지장치는 지지부재에 회전가능하게 장착되는 프레임; 및 상기 프레임에 설치되어, 소재를 보유지지하는 적어도 하나의 보유지지부를 포함하고, 상기 보유지지부는 상기 프레임에서 선택적으로 자중에 의해 하강된 위치에 유지될 수 있어, 예컨대 극소형 박판으로 가공된 소재를 인력 대신에 안전하고 견고하게 지지하여 불량의 발생을 줄이며 가공 정밀도를 향상시킴과 더불어, 소재를 신속하고 용이하게 장착하여 소재의 준비를 위해 소요되는 시간과 인력 및 비용을 절감함으로써, 작업 효율의 향상을 도모할 수 있게 된다. The present invention relates to a material supporting apparatus and a polishing apparatus using the same, the material supporting apparatus comprising: a frame rotatably mounted on a supporting member; And at least one holding portion provided on the frame and holding the work, wherein the holding portion can be held at a position selectively lowered by its own weight in the frame, In place of manpower to reduce the occurrence of defects and improve machining accuracy and to reduce the time, manpower and cost required for material preparation by quickly and easily mounting the material, The improvement can be achieved.
Description
본 발명은 예컨대 극소형 박판인 소재를 지지하는 소재 지지장치 및 이를 사용하는 연마장치에 관한 것이다. The present invention relates to a material supporting apparatus for supporting a material, for example, a very small thin plate, and a polishing apparatus using the same.
예를 들어, 국부적인 부식 실험의 분석을 위한 소재는 극소형 박판으로 가공된 후, 고속으로 회전하는 연마장치에 직접 밀착한 상태에서 그 표면의 연마를 진행한다.For example, the material for the analysis of the local corrosion experiment is processed into a very small thin plate, and the surface is polished in direct contact with the polishing apparatus rotating at high speed.
그런데, 크기가 매우 작고 얇게 가공된 소재를 고속으로 회전하는 연마장치에 밀착시켜 진행되는 연마공정은 수작업으로 이루어지기 때문에, 표면의 균일한 연마가 어려우며 매우 위험하다.However, since the polishing process in which a material having a very small size and a small thickness is closely contacted with a polishing apparatus rotating at a high speed is performed by hand, uniform polishing of the surface is difficult and very dangerous.
더구나, 연마의 불균일과 치우침에 의한 표면의 편차는 실험 결과의 불확실성으로 이어지므로, 이러한 평탄도가 불량한 소재를 실험용으로 사용하기가 곤란해서, 적합한 소재의 준비를 위해 연마공정의 반복이 빈번하게 발생함에 따라 소재의 낭비는 물론, 과도하게 시간과 비용이 소요되는 문제가 초래되었다. Moreover, since the surface irregularity due to the unevenness of the polishing and the unevenness leads to the uncertainty of the experimental result, it is difficult to use the material having the poor flatness for the experiment, and the repetition of the polishing process frequently occurs As a result, not only material waste but also excessive time and cost were caused.
(특허문헌 1) KR 0874712 B1 (Patent Document 1) KR 0874712 B1
이에 본 발명은 예컨대 극소형 박판인 소재를 인력 대신에 안전하고 견고하게 지지하여 가공 정밀도를 향상시킴과 더불어, 소재를 신속하고 용이하게 장착하여 작업 효율의 향상을 도모할 수 있는 소재 지지장치 및 이를 사용하는 연마장치를 제공하는 데에 그 주된 목적이 있다. Accordingly, the present invention is directed to a material supporting apparatus which can securely and rigidly support a material, for example, a very small thin plate, in place of an attractive force, thereby improving the processing accuracy, and quickly and easily mounting the material, There is a main purpose in providing a polishing apparatus to be used.
본 발명에 따른 소재 지지장치는, 지지부재에 회전가능하게 장착되는 프레임; 및 상기 프레임에 설치되어, 소재를 보유지지하는 적어도 하나의 보유지지부를 포함하고, 상기 프레임은, 상기 프레임을 관통하여 형성되며 상기 보유지지부가 끼워지는 안내홀; 상기 프레임의 측방으로 관통하여 상기 안내홀에 연통하도록 형성된 나사홀; 및 상기 나사홀에 체결되는 지지나사를 포함하며, 상기 보유지지부에는 측방으로 방사상 안쪽을 향해 함몰되고 단차진 오목홈이 형성되어 있고, 상기 오목홈 내에 상기 지지나사의 단부가 삽입되어 수용됨으로써, 상기 보유지지부가 상기 안내홀에 끼워질 때 선택적으로 상기 안내홀 내에서 걸림고정되며, 상기 지지나사를 풀어 해제시킴으로써, 상기 보유지지부가 상기 안내홀 내에서 선택적으로 자중에 의해 하강된 위치에 유지되는 것을 특징으로 한다. A material supporting apparatus according to the present invention comprises: a frame rotatably mounted on a supporting member; And at least one retention portion provided in the frame, the retention portion retracting the material, the frame including: a guide hole formed through the frame and into which the retention portion is fitted; A screw hole penetrating sideways of the frame and communicating with the guide hole; And a support screw fastened to the screw hole, wherein the retainer has a radially inwardly recessed, stepped recessed groove formed therein, and an end of the support screw is received and received in the recessed groove, The holding portion is selectively locked in the guide hole when the holding portion is fitted into the guide hole, and the holding portion is selectively released in the guide hole by the self-weight by releasing the holding screw .
본 발명에 따른 연마장치는, 연마재를 구비한 회전 테이블; 및 연마재를 구비한 회전 테이블; 및 상기 회전 테이블에 인접하게 배치되어 소재를 지지하는 전술한 소재 지지장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.A polishing apparatus according to the present invention includes: a rotary table having an abrasive; And a rotary table having an abrasive material; And the above-described workpiece supporting device disposed adjacent to the rotary table for supporting the workpiece.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 예컨대 극소형 박판으로 가공된 소재를 인력 대신에 안전하고 견고하게 지지하여 불량의 발생을 줄이며 가공 정밀도를 향상시킴과 더불어, 소재를 신속하고 용이하게 장착하여 소재의 준비를 위해 소요되는 시간과 인력 및 비용을 절감함으로써, 작업 효율의 향상을 도모할 수 있는 효과가 있게 된다. As described above, according to the present invention, for example, it is possible to securely and firmly support a workpiece made of a very small thin plate instead of a workpiece, thereby reducing the occurrence of defects and improving processing accuracy, It is possible to improve the working efficiency by reducing the time and manpower required for the operation and the cost.
도 1은 본 발명에 따른 소재 지지장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프레임을 회전시켜 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 소재 지지장치를 사용한 연마장치의 작동 상태도이다.1 is a perspective view showing a material supporting apparatus according to the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of the frame shown in Fig. 1 rotated. Fig.
3 is an operational state diagram of a polishing apparatus using a material supporting apparatus according to the present invention.
이하, 본 발명이 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명된다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements are denoted by the same reference symbols as possible even if they are shown in different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명에 따른 소재 지지장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 프레임을 회전시켜 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명에 따른 소재 지지장치를 사용한 연마장치의 작동 상태도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a material supporting apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the rotation of the frame shown in FIG. 3 is an operational state diagram of a polishing apparatus using a material supporting apparatus according to the present invention.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 소재 지지장치(100)는, 지지부재(20)에 회전가능하게 장착되는 프레임(10); 및 이 프레임에 설치되어, 소재(1)를 보유지지하는 적어도 하나의 보유지지부(30)를 포함하고, 보유지지부는 프레임에서 선택적으로 자중에 의해 하강된 위치에 유지될 수 있다. As shown in these drawings, the
또한, 본 발명에 따른 연마장치는, 연마재(210)를 구비한 회전 테이블(200); 및 이 회전 테이블에 인접하게 배치되어 소재(1)를 지지하는 전술한 소재 지지장치(100)를 포함하고 있다. Further, the polishing apparatus according to the present invention includes a rotary table 200 having an
본 발명의 소재 지지장치(100)는, 프레임(10)을 일정 각도로 단계별 회전시킴으로써 프레임에 결합한 보유지지부(30)의 자세 제어와, 진공을 통한 소재(1)의 흡착 고정, 그리고 보유지지부의 자중(自重)에 의해 소재와 예컨대 연마장치의 밀착 유지가 이루어질 수 있도록 된 것을 특징으로 한다. The
프레임(10)은 소정의 두께를 가진 대략 판 형상의 부재로서, 내부의 본체(11)는 아크릴 등의 플라스틱과 같은 견고하면서도 가벼운 재질로 만들어지고, 이 본체의 방사상 측면을 둘러싸는 커버(12)는 스틸 등과 같은 금속으로 만들어질 수 있다. 하지만, 재질은 반드시 이에 한정되지 않는다. The
프레임(10)의 본체(11)에는 서로 일정한 간격을 두고서 본체를 관통하여 형성된 복수의 안내홀(13)이 마련되어 있다. 이 안내홀에는 보유지지부(30)가 각각 끼워지게 된다. The
프레임(10)의 측방으로는, 커버(12) 및 본체(11)를 관통하여 각 안내홀(13)의 측방으로 연통하는 나사홀(14)이 형성될 수 있다. 각 나사홀에는 지지나사(15)가 체결될 수 있으며, 그 삽입 깊이를 조절하여 안내홀(2)에 삽입되는 보유지지부(3)를 일정 위치에서 지지하거나 이동을 허용할 수 있다. A
프레임(10)에서 커버(12)의 일측면에는 소켓(16)이 설치되고, 이 소켓은 후술하는 지지부재(20)의 결합부(26)에 끼워져 결합할 수 있다. 이 소켓의 내주면에서 원주상으로는 일정한 간격을 두고 복수의 결합홀(17)이 형성되어, 결합부에 대해 일정한 각도만큼 회전되어 고정될 수 있다. 복수의 결합홀 중 해당 결합홀에다 지지부재의 결합부에 설치된 볼부재(27)가 선택적으로 삽입되어 수용되면서, 소켓의 결합이 이루어질 수 있다. In the
지지부재(20)는 대략 관 또는 봉 형상 부재로서, 직립한 수직부(21)와 이 수직부에 직각인 방향으로 연결된 수평부(22)를 포함할 수 있으나, 지지부재의 형상은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. The
수평부(22)는 가이드(23)에 삽입되어 수평 이동할 수 있으며, 가이드의 일측면으로 삽입되는 조절나사(미도시)에 의해 가이드에 대한 수평부의 상대위치를 조절할 수 있다. The
또한, 도시되지 않은 승강기구를 지지부재(20)의 수직부(21) 또는 수평부(22)에 연계시킨 경우에는 지지부재가 수직 이동하여 그 높이를 조정할 수도 있다. When the elevation mechanism (not shown) is connected to the
지지부재(20)에는 프레임(10)을 결합하기 위한 결합부(26)가 장착되어, 전술한 프레임(10)의 소켓(16)과 결합할 수 있다. 이 결합부의 일측에는 장착홀(미도시)이 형성되어 있고, 결합부는 장착홀에 수용되는 스프링(미도시)에 의해 탄성적으로 지지되게 설치된 볼부재(27)를 포함할 수 있다. The
보유지지부(30)는 대략 기둥 모양의 부재로서, 아크릴 등의 플라스틱과 같은 재질이 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않으며, 예를 들어 스틸 등의 금속 또는 다른 임의의 재질이 사용될 수도 있다.The
보유지지부(30)의 단면 형상은 프레임(10)의 안내홀(13)의 단면 형상에 상응하게 형성되어, 안내홀과 형상맞춤되는 것이 좋으며, 보유지지부의 폭이나 외경이 안내홀의 폭이나 내경보다 다소 작은 것이 바람직하다. The sectional shape of the
보유지지부(30)가 직립할 때, 보유지지부에는 그 측방으로 방사상 안쪽을 향해 함몰되고 단차진 오목홈(31)이 형성되어 있다. 이 오목홈 내에는, 프레임(10)의 커버(12) 및 본체(11)를 관통한 나사홀(14)에 체결되는 지지나사(15)의 단부가 삽입되어 수용될 수 있다. When the
오목홈(31) 내에 지지나사(15)가 삽입됨으로써, 보유지지부(30)가 안내홀(13)에 끼워질 때 안내홀 내 소정의 위치에서 걸림고정될 수 있다. The
반면에, 지지나사(15)가 오목홈(31)의 밖으로 벗어나서 그 단부가 프레임(10) 속에 머물러 있거나 지지나사가 나사홀(14)로부터 완전히 해제되어 제거되면, 보유지지부(30)가 안내홀(13) 내에서 간섭 없이 자유로이 이동할 수 있게 되고, 이에 따라 프레임이 수평한 상태에서 보유지지부가 직립한 채로 자중에 의해 하강하게 된다. On the other hand, when the
본 발명에 따른 소재 지지장치(100)는, 보유지지부(30) 내에 진공을 제공하여 보유지지부가 소재를 흡착 고정할 수 있게 하는 진공펌프(40)를 포함할 수 있다. 이러한 진공펌프로는 진공을 제공하기 위한 것이라면 어떠한 형태의 진공펌프를 채택하여도 무방하다. The workpiece support
오목홈(31)을 기준으로 하여, 보유지지부(30)의 일측에는 진공펌프(40)와의 연결을 위한 커넥터(42)가 구비될 수 있다. 이러한 커넥터로는 진공펌프에 연결된 호스(41)의 단부와 원활히 결합하고 분리될 수 있도록 원터치형 커넥터가 채용될 수 있다. A connector 42 for connection with the
또한, 커넥터(32)와 보유지지부(30)의 사이에는 보유지지부 내의 진공 유지와 해제를 편리하고 반복적으로 수행할 수 있게 하는 밸브(33)가 장착될 수 있다.Between the
보유지지부(30)의 타측에는 소재(1)가 수용되어 흡착될 수 있게 하는 적어도 하나의 장착홈(34)이 구비되어 있는데, 이 장착홈의 형상은 흡착되어 고정될 소재의 형상과 상응하게 형성되어 장착홈과 소재가 서로 형상맞춤되는 것이 좋으며, 그 형상은 다양하게 구현될 수 있다. At the other side of the
장착홈(34)의 내부에는 소재를 진공에 의해 흡착하기 위한 관통홀(35)이 형성되어 있고, 이 관통홀과 커넥터(32)를 연결하는 진공유로(36)가 보유지지부(30)의 내부에 형성되어 있다. A through
보유지지부(30)의 표면에 장착홈(34)이 복수로 구비된 경우에는, 장착홈들이 보유지지부의 표면에서 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 복수의 관통홀(35)에 진공을 제공하기 위해 분기된 진공유로(36)가 보유지지부 내에 형성될 수 있다. In the case where a plurality of
이러한 보유지지부(30)의 내부를 진공으로 유지하는 것은, 진공펌프(40)에 연결된 호스(41)를 커넥터(32)에 연결하고 진공펌프를 가동시켜 보유지지부의 내부를 진공상태로 한 후에 밸브(33)를 폐쇄하면서 커넥터와 호스를 분리함으로써 이루어질 수 있다. 진공의 해제를 위해서는 밸브를 개방하면 된다.
Holding the inside of the
이하에서는 본 발명에 따른 소재 지지장치(100)가 소재(1)의 일측 표면을 연마하는 연마장치에 사용되는 경우를 예로 들어 소재 지지장치의 작동에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, the operation of the workpiece supporting apparatus will be described by taking as an example a case where the
프레임(10)의 소켓(16)을 지지부재(20)의 결합부(26)에 끼워 결합하는데, 이때 프레임을 적절한 각도로 회전시킴으로써 프레임의 안내홀(13)에 끼워진 보유지지부(30)의 장착홈(34)이 도 2에서처럼 전면을 향하거나, 위를 향하도록 위치되게 할 수 있다. The
보유지지부(30)는 그 일측에 있는 커넥터(32)에 호스(41)가 연결됨으로써 진공펌프(40)에 연결되고, 복수의 소재(1)를 각각 해당 장착홈(34)에 배치한 상태에서 진공펌프를 가동시켜 소재를 진공에 의해 흡착시킨다.The
소재(1)들의 흡착이 완료되면 밸브(33)를 폐쇄하면서 커넥터(32)와 호스(41)를 분리하여, 보유지지부(30)의 내부를 진공으로 유지할 수 있다. When the adsorption of the material 1 is completed, the
이러한 과정은, 연마에 사용되는 복수의 소재(1)가 하나 이상의 보유지지부(30)에 있는 모든 장착홈(34)들에 흡착될 때까지 반복적으로 수행될 수 있다.This process can be repeatedly performed until a plurality of workpieces 1 used for polishing are adsorbed to all the mounting
다음으로, 보유지지부(30)의 장착홈(34)이 아래를 향하도록 프레임(10)을 역방향으로 회전시킴으로써, 장착홈에 흡착된 소재(1)가 연마장치의 연마재(210)를 향하게 한다.Next, the
여기서, 프레임(10)의 회전시 프레임의 안내홀(13)에 끼워진 보유지지부(30)는 프레임(10)의 나사홀(14)에 체결되는 지지나사(15)에 의해 안내홀 내 소정의 위치에서 걸림고정될 수 있다. The holding
지지부재(20)의 수평 또는 수직 이동을 통해 소재(1)가 흡착되어 있는 적어도 하나의 보유지지부(30)를 연마장치의 연마재(210) 위에 위치시킬 수 있으며, 원하는 보유지지부에 대한 지지나사(15)를 풀어 해제시킴으로써, 해당 보유지지부가 안내홀(13) 내에서 자중에 의해 하강하여, 보유지지부의 저면에 흡착된 소재의 일측 표면이 연마장치의 연마재에 밀착되게 된다.At least one
지지나사(15)의 해제를 통한 소재(1)의 연마장치에 대한 밀착은 소재가 흡착되어 장착된 보유지지부(30)에서만 한정적으로 이루어지게 된다.The close contact of the work 1 with the grinding device through the disengagement of the
연마장치의 회전 테이블(200)이 고속으로 회전하고, 프레임(10)의 안내홀(13)에 삽입되어 하강한 보유지지부(30)가 자율적으로 회전하게 됨으로써, 보유지지부의 장착홈(34)에 흡착되어 있는 소재(1)의 일측 표면이 균일하게 연마될 수 있다. The rotating table 200 of the polishing apparatus rotates at a high speed and is inserted into the
연마가 완료되면 보유지지부(30)를 상승시키고, 지지나사(15)를 조여 보유지지부가 다시 지지나사(15)에 의해 안내홀(13) 내 소정의 위치에서 걸림고정되게 한다. 이로써, 보유지지부를 연마장치에서 상승 및 분리시킬 수 있게 된다. When the grinding is completed, the holding
연마장치의 작동을 정지시키고 나서, 프레임(10)을 적절한 각도로 회전시킴으로써 프레임의 안내홀(13)에 끼워진 보유지지부(30)의 장착홈(34)이 도 2에서처럼 전면을 향하거나 위를 향하도록 위치되게 한다. The operation of the grinding apparatus is stopped and then the
끝으로, 보유지지부(30)의 밸브(33)를 개방시켜 진공을 해제시킨 후 연마된 소재(1)를 보유지지부의 장착홈(34)으로부터 분리한다.Finally, the
이상과 같이 본 발명에 의하면, 소재를 인력 대신에 안전하고 견고하게 지지하여 불량의 발생을 줄이며 가공 정밀도를 향상시킴과 더불어, 소재를 신속하고 용이하게 장착하여 소재의 준비를 위해 소요되는 시간과 인력 및 비용을 절감함으로써, 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to securely and firmly support a workpiece instead of a workpiece, thereby reducing the occurrence of defects and improving machining accuracy. In addition, the present invention can quickly and easily mount a workpiece, And the cost can be reduced, so that the working efficiency can be improved.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 명세서 및 도면에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present specification and drawings are intended to illustrate rather than limit the technical spirit of the present invention, and the scope of technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.
1: 소재 10: 프레임
13: 안내홀 15: 지지나사
16: 소켓 20: 지지부재
26: 결합부 30: 보유지지부
31: 오목홈 33: 밸브
34: 장착홈 36: 진공유로
40: 진공펌프 41: 호스1: Material 10: Frame
13: guide hole 15: support screw
16: socket 20: support member
26: engaging portion 30: retaining portion
31: concave groove 33: valve
34: mounting groove 36: vacuum flow path
40: Vacuum pump 41: Hose
Claims (13)
상기 프레임에 설치되어, 소재를 보유지지하는 적어도 하나의 보유지지부
를 포함하고,
상기 프레임은,
상기 프레임을 관통하여 형성되며 상기 보유지지부가 끼워지는 안내홀;
상기 프레임의 측방으로 관통하여 상기 안내홀에 연통하도록 형성된 나사홀; 및
상기 나사홀에 체결되는 지지나사
를 포함하며,
상기 보유지지부에는 측방으로 방사상 안쪽을 향해 함몰되고 단차진 오목홈이 형성되어 있고,
상기 오목홈 내에 상기 지지나사의 단부가 삽입되어 수용됨으로써, 상기 보유지지부가 상기 안내홀에 끼워질 때 선택적으로 상기 안내홀 내에서 걸림고정되며,
상기 지지나사를 풀어 해제시킴으로써, 상기 보유지지부가 상기 안내홀 내에서 선택적으로 자중에 의해 하강된 위치에 유지되는 소재 지지장치.A frame rotatably mounted on the support member; And
At least one holding portion provided on the frame,
Lt; / RTI >
The frame includes:
A guide hole formed through the frame and into which the holding portion is fitted;
A screw hole penetrating sideways of the frame and communicating with the guide hole; And
A support screw fastened to the screw hole
/ RTI >
Wherein the holding portion is formed with a stepped concave groove recessed laterally radially inward,
And an end portion of the support screw is inserted and accommodated in the concave groove so that the support portion is selectively engaged in the guide hole when the support portion is fitted in the guide hole,
Wherein the holding portion is held at a position where the holding portion is selectively lowered in the guide hole by its own weight by loosening and releasing the holding screw.
상기 보유지지부 내에 진공을 제공하여 상기 보유지지부가 상기 소재를 흡착 고정할 수 있게 하는 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 지지장치. The method according to claim 1,
Further comprising a vacuum pump for providing a vacuum in said retention portion to allow said retention portion to adsorb and fix said material.
상기 보유지지부의 일측에는 상기 진공펌프와의 연결을 위한 커넥터가 구비된 것을 특징으로 하는 소재 지지장치. 6. The method of claim 5,
And a connector for connection with the vacuum pump is provided at one side of the holding part.
상기 커넥터와 상기 보유지지부의 사이에는 상기 보유지지부 내의 진공 유지와 해제를 위한 밸브가 장착된 것을 특징으로 하는 소재 지지장치.The method according to claim 6,
And a valve for holding and releasing a vacuum in the holding portion is mounted between the connector and the holding portion.
상기 보유지지부의 타측에는 상기 소재가 수용되어 흡착될 수 있게 하는 적어도 하나의 장착홈이 구비되어 있고,
상기 장착홈의 내부에는 상기 소재를 진공에 의해 흡착하기 위한 관통홀이 형성되어 있으며,
상기 관통홀과 상기 커넥터를 연결하는 진공유로가 상기 보유지지부의 내부에 형성된 것을 특징으로 하는 소재 지지장치. 8. The method of claim 7,
At least one mounting groove is provided on the other side of the holding portion to allow the material to be received and adsorbed,
A through hole for sucking the material by vacuum is formed in the mounting groove,
And a vacuum passage connecting the through hole and the connector is formed in the holding portion.
상기 지지부재에는 상기 프레임을 결합하기 위한 결합부가 장착되어 있으며,
상기 프레임의 일측면에는 소켓이 설치되어, 상기 결합부에 끼워져 결합하는 것을 특징으로 하는 소재 지지장치. The method according to claim 1,
Wherein the supporting member is provided with a coupling portion for coupling the frame,
And a socket is provided on one side of the frame, and is engaged with the engaging portion.
상기 결합부에는 장착홀이 형성되어 있고,
상기 장착홀에는 스프링과, 상기 스프링에 의해 탄성적으로 지지되는 볼부재가 설치된 것을 특징으로 하는 소재 지지장치. 10. The method of claim 9,
A mounting hole is formed in the coupling portion,
Wherein the mounting hole is provided with a spring and a ball member resiliently supported by the spring.
상기 소켓에는 원주상으로 일정한 간격을 두고 복수의 결합홀이 형성되고,
상기 결합홀에 상기 결합부의 볼부재가 선택적으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 소재 지지장치.11. The method of claim 10,
A plurality of coupling holes are formed in the socket at regular intervals in a circumferential direction,
And a ball member of the coupling portion is selectively inserted into the coupling hole.
상기 회전 테이블에 인접하게 배치되어 소재를 지지하는, 제1항, 제5항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 소재 지지장치
를 포함하는 연마장치. A rotary table having an abrasive; And
A material support apparatus according to any one of claims 1 to 5, which is disposed adjacent to the rotary table to support a workpiece
.
상기 소재 지지장치의 프레임에 설치된 보유지지부가 상기 소재를 보유지지하고서 자중에 의해 하강됨으로써, 상기 소재의 일측 표면이 상기 연마재에 밀착되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
13. The method of claim 12,
Wherein a holding portion provided on a frame of the workpiece holding device holds the workpiece and is lowered by its own weight so that one surface of the workpiece is brought into close contact with the abrasive material.
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KR101045582B1 (en) * | 2008-06-23 | 2011-06-30 | (주)티에이치엔 | Grinding device |
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