KR101904048B1 - 발광 소자 - Google Patents

발광 소자 Download PDF

Info

Publication number
KR101904048B1
KR101904048B1 KR1020110141953A KR20110141953A KR101904048B1 KR 101904048 B1 KR101904048 B1 KR 101904048B1 KR 1020110141953 A KR1020110141953 A KR 1020110141953A KR 20110141953 A KR20110141953 A KR 20110141953A KR 101904048 B1 KR101904048 B1 KR 101904048B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
semiconductor layer
layer
light emitting
conductivity type
light
Prior art date
Application number
KR1020110141953A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130074082A (ko
Inventor
심희재
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020110141953A priority Critical patent/KR101904048B1/ko
Publication of KR20130074082A publication Critical patent/KR20130074082A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101904048B1 publication Critical patent/KR101904048B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/12—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a stress relaxation structure, e.g. buffer layer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/26—Materials of the light emitting region
    • H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
    • H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
    • H01L21/2003—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy characterised by the substrate
    • H01L21/2011—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy characterised by the substrate the substrate being of crystalline insulating material, e.g. sapphire

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

발광 소자는, r-면 사파이어을 포함하는 기판과, r-면 사파이어 상에 형성되는 a-면 GaN을 포함하고, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물과, 적어도 제1 도전형 반도체층에 형성되고, 암염 구조(NaCl)를 갖는 질화물 계열을 포함하는 적어도 하나 이상의 완충층을 포함한다.

Description

발광 소자{Light-emitting device}
실시예는 발광 소자에 관한 것이다.
발광 다이오드(Light-Emitting Diode: LED)는 전류를 빛으로 변환시키는 반도체 발광 소자이다.
반도체 발광 소자는 고 휘도를 갖는 광을 얻을 수 있어, 디스플레이용 광원, 자동차용 광원 및 조명용 광원으로 폭넓게 사용되고 있다.
발광 소자는 기판 상에 반도체층을 성장시켜 만드는데, 기판과 반도체층 사이의 격자 부정합에 의한 결함(defects)이 발생된다.
실시예는 격자 부정합을 완화하여 불량을 방지할 수 있는 발광 소자를 제공한다.
실시예는 안정적으로 발광 구조물을 성장할 수 있는 발광 소자를 제공한다.
실시예는 물리적 및 전기적 특성이 향상된 발광 소자를 제공한다.
실시예는 내부 발광 효율이 향상된 발광 소자를 제공한다.
실시예에 따르면, 발광 소자는, r-면 사파이어을 포함하는 기판; 상기 r-면 사파이어 상에 형성되는 a-면 GaN을 포함하고, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 및 적어도 상기 제1 도전형 반도체층에 형성되고, 암염 구조(NaCl)를 갖는 질화물 계열을 포함하는 적어도 하나 이상의 완충층을 포함한다.
실시예는 r-면 사파이어 기판 상에 a-면 GaN의 반도체층이 형성되어, 기판과 반도체층 사이의 격자 부정합을 완화하여 결함을 방지할 수 있다.
실시예는 반도체층에 암염 구조의 질화물 계열로 이루어진 완충층을 형성함으로써, 반도체층에 결함이 발생하지 않게 되어 안정적인 성장이 가능하다.
도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 2는 기판으로 사용되는 사파이어의 결정 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 반도체층으로 사용되는 GaN의 결정 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 r-면 사파이어 기판 상에 a-면 GaN이 성장시의 격자 상수 관계를 도시한 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 암염 구조의 일실시예를 도시한 도면이다.
도 6은 제1 실시예에 따른 발광 구조물을 도시한 단면도이다.
도 7은 제2 실시예에 따른 발광 구조물을 도시한 단면도이다.
도 8은 실시예에 따른 수평형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 9는 실시예에 따른 플립형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 10은 실시예에 따른 수직형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 11은 실시예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 12는 실시예에 따른 발광 소자를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다.
도 13은 실시예에 따른 조명 장치의 사시도이다.
발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되거나 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 배치되어 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 발광 소자는 기판(11)과 상기 기판(11) 상에 형성된 반도체층(13)을 포함할 수 있다.
상기 기판(11)은 열 전도성 및/또는 투과도가 우수한 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 기판(11)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP 및 Ge로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 기판(11) 상에 상기 반도체층(13)이 형성될 수 있다.
상기 반도체층(13)은 III족 및 V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 화합물 반도체 재질로는 예컨대, Al, In, Ga 및 N을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 반도체층(13)은 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy) 및 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 중 어느 하나를 이용하여 성장하여 형성될 수 있다.
상기 기판(11)과 상기 반도체층(13)은 서로 다른 격자 상수를 가진다. 따라서, 상기 기판(11)과 상기 반도체층(13) 상이의 격자 상수 차이로 인해 격자 부정합이 발생되어 궁극적으로 상기 반도체층(13)이 안정적으로 성장되지 못하고 예컨대 크랙(cracks), 보이드(void), 그레인(grain) 및 굴곡(bowing)과 같은 결함이 발생될 수 있다.
따라서, 기판(11) 상에 우수한 결정성을 갖는 반도체층(13)을 성장시키기 위해서는 우선적으로 기판(11)과의 격자 상수 차이를 줄이는 것이 매우 중요하다.
도 2에 도시한 바와 같이, 사파이어는 육방정계 우르차이트(hexagonal wurtzite) 결정 구조에서 가장 안정적이다. 이러한 결정 구조는 서로에 대하여 120ㅀ 회전 대칭을 가지고, 수직 방향인 c-축에 대하여 모두 수직인 세 개의 동동한 기저면 축들(base plane axes: a1, a2, a3)을 가진다.
c-축을 따라 c-면(110)이 형성되고, c-면에 수직으로 a-면(130)과 m-면(120)이 형성될 수 있다.
아울러, 기저부에서 m-면(120)에 접하여 대각선 방향으로 기울어진 r-면(140)이 형성될 수 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, GaN 또한 우르차이트 결저 구조에서 안정적이다.
GaN 또한 c-축을 따라 c-면(210)이 형성되고, c-면(210)에 수직으로 a-면(230)과 m-면(220)이 형성될 수 있다.
실시예에서 기판(11)은 예컨대, r-면 사파이어로 형성되고, 반도체층(13)은 예컨대, a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
도 4는 r-면 사파이어 기판 상에 a-면 GaN이 성장시의 격자 상수 관계를 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, r-면으로 성장된 사파이어 기판 상에 a-면 GaN의 반도체층이 성장될 경우, 3개의 a-면 GaN이 하나의 r-면 사파이어 상에 형성될 수 있다.
r-면 사파이어의 사이즈는 a-축 방향으로 15.34Å의 길이를 가지고, b축 방향으로 4.75Å의 길이를 가질 수 있다.
a-면 GaNdml 사이즈는 m-축 방향으로 5.52Å의 길이를 가지고, 3개의 a면 GaN의 c-축 방향으로 15.54Å의 길이를 가질 수 있다.
따라서, a-면 GaN은 r-면 사파이어에 대해 c-축 방향으로 1.3%의 격자 부정합이 발생하고, m-축 방향으로 16.2%의 격자 부정합이 발생할 수 있다.
실시예는 기판(11)과 반도체층(13) 사이의 격자 부정합을 완화하기 위해, 기판(11)으로서 r-면 사파이어 기판이 사용되고, 반도체층(13)으로서 a-면 GaN의 반도체층이 사용될 수 있다.
이상과 같이 격자 부정합이 완화되더라도, 상기 기판(11) 상에 성장되는 반도체층(13)의 결함이 완전히 제거하기는 용이하지 않는다.
이에 따라, 실시예는 상기 반도체층(13)의 성장 중에 격자 부정합을 추가로 완화하기 위해 완충층(15)을 더 형성될 수 있다.
기판(11) 상에 제1 반도체층(13a)을 성장하고, 이어서 완충층(15)을 형성한 다음, 상기 완충층(15) 상에 제2 반도체층(13b)을 성장시킬 수 있다.
상기 제1 및 제2 반도체층(13a, 13b)에 의해 상기 반도체층(13)이 형성될 수 있다.
상기 제2 반도체층(13b)은 상기 완충층(15)에 의해 분리되었을 뿐이고 실질적으로 상기 제1 반도체층(13a)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
예컨대, 상기 제1 및 제2 반도체층(13a, 13b)은 a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
도 5a 및 도 5b는 암염 구조의 일실시예를 도시한 도면이다.
세라믹 구조는 같은 수의 양이온과 음이온을 가지는데, 이러한 재료를 AX형 화합물이라고 한다. A는 양이온을 의미하고, X는 음이온을 의미한다.
AX 화합물에는 여러 가지 결정 구조가 존재한다. 이 중 암염 구조(Rock Salt Structure)란 도 5a와 같이 음이온이 FCC구조를 형성하고 모든 8면체 사이트(octahedral site)에 양이온이 채워지는 구조이다.
도 5b와 같이 암염 구조는 양이온으로 이루어지는 팔면체가 팔면체의 가장자리를 이루는 구조이다.
음이온이 형성하는 FCC 구조에서 8면체 사이트(octahedral site)의 개수는 음이온 개수이고, 화학식은 AX로 정의된다.
암염구조를 가지는 화합물에는 NaCl, KCl, LiF, MgO, CaO, SrO, NiO, CoO, MnO, PbO, LaN, ThN, PrN, NdN, SmN 등이 포함될 수 있다.
실시예는 암염 구조를 가지는 화합물 중 질화물 계열로 완충층(15)을 형성할 수 있다.
예를 들어, 완충층(15)은 LaN, ThN, PrN, NdN 및 SmN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하여 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
표1은 암염 구조의 화합물들의 사이즈를 나타낸다.
화합물 셀 사이즈(Å) a/2^0.5
LaN 5.301 3.74894
ThN 5.2 3.67751
PrN 5.155 3.64569
NdN 5.151 3.64286
SmN 5.0481 3.57008
이러한 화합물로 완충층(15)이 형성될 때, 상기 완충층(15) 상에 형성되는 제2 반도체층(13b)의 상기 완충층(15)에 대한 격자 부정합은 표2와 같다.
화합물 셀 사이즈(Å) 격자부정합//c-축 GaN(%) 격자부정합//m-축 GaN(%)
LaN 5.301 -2.28 4.13
ThN 5.2 -0.38 6.15
PrN 5.155 0.48 7.08
NdN 5.151 0.56 7.16
SmN 5.0481 2.61 9.35
표 2에 나타낸 바와 같이, 격자 부정합이 c-축 방향에 대해서는 SmN일 때 최대 2.61%로서 매우 낮음을 알 수 있다.
아울러, 격자 부정합이 m-축 방향에 대해 SmN일 때 최대 9.35%로서 비교적 낮음을 알 수 있다.
따라서, 이러한 하합물로서 완충층(15)으로 사용하고, 상기 완충층(15) 상에 제2 반도체층(13b)을 성장시킴으로써, 제2 반도체층(13b)에 결함이 발생하지 않게 되어 안정적인 성장이 가능하다.
상기 반도체층(13)은 도 6 및 도 7의 발광 구조물(20, 20A)에서 제1 도전형 반도체층(21)이 될 수 있다.
도 6은 제1 실시예에 따른 발광 구조물을 도시한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 제1 실시예에 따른 발광 구조물(20)은 제1 도전형 반도체층(21), 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(21), 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)은 III족 및 V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 화합물 반도체 재질로는 예컨대, Al, In, Ga 및 N을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제1 도전형 반도체층(21)은 도 1의 기판(11)에 성장될 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(21)은 예를 들어, n형 도펀트를 포함하는 n형 반도체층일 수 있지만, 이에 대해서는 한전하지 않는다. 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 예컨대 AlGaN 또는 GaN를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 n형 도펀트는 Si, Ge 또는 Sn를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제1 도전형 반도체층(21)은 제1 캐리어, 예컨대 전자(electrons)를 상기 활성층(23)으로 공급하여 주기 위한 도전층으로서의 역할을 할 수 있다. 즉, 상기 제1 도전형 반도체층(21)에 고농도의 도펀트가 도핑됨으로써, 정공이 자유롭게 이동할 수 있는 도전층으로서의 역할을 할 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 활성층(23)과 같거나 더 큰 밴드갭을 가지는 화합물 반도체 재질로 형성함으로써, 상기 제2 도전형 반도체층(25)으로부터 공급된 활성층(23)의 제2 캐리어, 예컨대 정공(holes)이 버퍼층으로 넘어가지 못하게 하는 장벽층으로서의 역할을 할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 기판(11)은 r-면 사파이어로 형성되고, 상기 제1 도전형 반도체층(21)으로는 a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제1 도전형 반도체층(21)에는 제1 도전형 반도체층(21)의 격자 부정합을 완화시키기 위한 완충층(15)이 형성될 수 있다.
상기 완충층(15)에 의해 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 분리될 수 있다. 즉, 상기 제1 도전형 반도체층(21)은 상기 제1 완충층(15)에 의해 하부 제1 도전형 반도체층(21a)과 상부 제1 도전형 반도체층(21b)으로 분리될 수 있다.
상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a)은 도 1의 기판(11) 상에 성장될 수 있다.
상기 기판(11)은 r-면 사파이어로 이루어지고, 상기 하부 제2 도전형 반도체츠층은 a-면 GaN인 경우, a-면 GaN은 r-면 사파이어에 대해 c-축 방향으로 1.3%의 격자 부정합이 발생하고, m-축 방향으로 16.2%의 격자 부정합이 발생한다. 이러한 부정합은 매우 준수한 정도로서 상기 기판(11) 상에 상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a)이 결합 없이 안정되게 성장될 수 있다.
상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a) 상에 완충층(15)이 형성될 수 있다.
상기 완충층(15)은 앞서 설명한 바와 같이, 암염 구조를 갖는 질화물 계열로 형성할 수 있다. 상기 완충층(15)은 예컨대, LaN, ThN, PrN, NdN 및 SmN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하여 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 완충층(15) 상에 상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a)과 동일한 재질로 형성된 상부 제1 도전형 반도체층(21b)이 형성될 수 있다.
예컨대, 상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a)과 상기 상부 제1 도전형 반도체층(21b)은 a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 완충층(15)에 의해 상기 완충층(15) 상에 형성된 상부 제1 도전형 반도체층(21b)의 결정 부정합이 현저하게 완화될 수 있다.
예컨대, 표 2에 나타낸 바와 같이, 격자 부정합이 c-축 방향에 대해서는 SmN일 때 최대 2.61%로서 매우 낮음을 알 수 있다.
아울러, 격자 부정합이 m-축 방향에 대해 SmN일 때 최대 9.35%로서 비교적 낮음을 알 수 있다.
상기 하부 제1 도전형 반도체층(21a)과 상기 상부 제1 도전형 반도체층(21b)에 의해 에컨대 제1 캐리어를 생성하기 위한 제1 도전형 반도체층(21)이 형성될 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 활성층(23)이 형성될 수 있다.
상기 활성층(23)은 상기 제1 도전형 반도체층(21)과 동일 면인 a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 활성층(23)은 예컨대 상기 제1 도전형 반도체층(21)으로부터 공급된 전자와 상기 제2 도전형 반도체층(25)으로부터 공급된 정공을 재결합시켜 자외선 광을 발광시킬 수 있다.
상기 활성층(23)은 단일 양자 우물 구조(SQW), 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 및 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 활성층(23)은 GaN, InGaN, AlGaN 및 AlInGaN으로부터 선택된 하나 또는 이들의 주기적인 반복으로 형성될 수 있다.
상기 활성층(23)이 다중 양자 우물 구조(MQW)로 형성되는 경우, 배리어층과 우물층의 주기로 반복적으로 배열될 수 있다.
배리어층은 우물층보다 큰 밴드갭을 가질 수 있다. 따라서, 전자와 정공들은 우물층에 주로 모이게 된다.
예컨대, GaN 배리어/GaN 우물의 주기, AlGaN 배리어/GaN 우물의 주기, GaN 배리어/InGaN 우물의 주기, InGaN 배리어/InGaN 우물의 주기로 배열될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 활성층(23)은 자외선 광, 가시 광 또는 적외선 광을 생성할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 활성층(23) 상에 상기 제2 도전형 반도체층(25)이 형성될 수 있다.
상기 제2 도전형 반도체층(25)은 상기 제1 도전형 반도체층(21) 및 상기 활성층(23)과 동일 면인 a-면 GaN로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제2 도전형 반도체층(25)은 예컨대 p형 도펀트를 포함하는 p형 반도체층일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 제2 도전형 반도체층(25)은 예컨대 AlGaN 또는 GaN일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 p형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr 또는 Ba를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제2 도전형 반도체층(25)은 정공을 상기 활성층(23)으로 공급하여 주기 위한 도전층으로서의 역할을 할 수 있다.
상기 제2 도전형 반도체층(25)에 고농도의 도펀트가 도핑됨으로써, 정공이 자유롭게 이동할 수 있는 도전층으로서의 역할을 할 수 있다.
따라서, 완충층(15)을 포함하는 제1 도전형 반도체층(21), 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함하는 발광 구조물(20)이 도 1의 기판(11) 상에 성장될 수 있다.
도 7은 제2 실시예에 따른 발광 구조물을 도시한 단면도이다.
제2 실시예의 발광 구조물(20A)은 제1 도전형 반도체층(31)에 다수의 완충층(15a, 15b, 15c)이 형성되는 것을 제외하고는 제1 실시예의 발광 구조물(20)과 거의 동일하다.
제2 실시예에서 제1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 보다 상세한 설명은 생략한다.
제2 실시예에서 생략된 설명은 제1 실시예의 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있다.
도 7을 참조하면, 제2 실시예에 따른 발광 구조물(20A)은 제1 도전형 반도체층(31), 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(31), 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)은 III족 및 V족 화합물 반도체 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제1 도전형 반도체층(31)에 다수의 완충층(15a, 15b, 15c)이 형성될 수 있다. 상기 다수의 완충층(15a, 15b, 15c)에 의해 상기 제1 도전형 반도체층(31)은 다수의 기수번째 제1 도전형 반도체층(31a, 31c)과 다수의 우수번째 반도체층으로 분리될 수 있다.
이러한 구조를 얻기 위해, 상기 다수의 완충층(15a, 15b, 15c)은 상기 다수의 기수번째 제1 도전형 반도체층(31a, 31c) 또는 상기 다수의 우수번째 제1 도전형 반도체층(31b, 31d)과 교대로 적층 형성될 수 있다.
예컨대, 기수번째 제1 도전형 반도체층(31a)이 도 1의 기판(11) 상에 성장되고, 상기 기수번째 제1 도전형 반도체층(31a) 상에 제1 완충층(15a)이 형성되며, 상기 제1 완충층(15a) 상에 우수번째 제1 도전형 반도체층(31b)이 형성될 수 있다.
예컨대, 상기 우수번째 제1 도전형 반도체층(31b) 상에 제2 완충층(15b)가 형성되고, 상기 제2 완충층(15b) 상에 기수번째 제1 도전형 반도체층(31c)이 성장되며, 상기 기수번째 제1 도전형 반도체층(31c) 상에 제3 완충층(15c)이 형성될 수 있다.
상기 제3 완충층(15c) 상에 우수번째 제1 도전형 반도체층(31d)이 성장될 수 있다.
상기 완충층(15a, 15b, 15c)은 앞서 설명한 바와 같이, 암염 구조를 갖는 질화물 계열로 형성할 수 있다. 상기 완충층(15a, 15b, 15c)은 예컨대, LaN, ThN, PrN, NdN 및 SmN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하여 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 각 완충층(15a, 15b, 15c)에 의해 그 위에 성장되는 기수번째 제1 도전형 반도체층(31a, 31c) 또는 우수번째 제1 도전형 반도체층(31b, 31d)의 격자 부정합이 현저하게 완화되어, 예컨대 크랙(cracks), 보이드(void), 그레인(grain) 및 굴곡(bowing)과 같은 결함이 발생되지 않게 된다.
도 8은 실시예에 따른 수평형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 8에 도시한 바와 같이, 실시예에 따른 수평형 발광 소자는 실시예의 발광 구조물(20)에서 제1 도전형 반도체층(21)이 일정 깊이가 될 때까지 메사 식각될 수 있다. 이에 따라, 제1 도전형 반도체층(21)이 노출될 수 있다.
제2 도전형 반도체층(25) 상에 전류 스프레딩을 위해 투명전극층(27)이 형성되고, 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 제1 전극(31)이 형성되고, 상기 투명전극층(27) 상에 제2 전극(33)이 형성될 수 있다.
전류 스프레딩이 요구되지 않는 경우, 상기 투명전극층(27)이 형성되지 않을 수도 있다. 이러한 경우, 상기 제2 도전형 반도체층(25) 상에 제2 전극(33)이 형성될 수 있다.
상기 투명전극층(27)은 광을 외부로 출사되도록 하기 위해 투명성이 우수한 재질로 형성될 수 있다. 상기 투명전극층(27)은 예컨대, ITO, IZO(In-ZnO), GZO(Ga-ZnO), AZO(Al-ZnO), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au 및 Ni/IrOx/Au/ITO로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 제1 및 제2 전극(31, 33)은 전기 전도성이 우수한 재질로 형성될 수 있다. 상기 제1 및 제2 전극(31, 33)은 예컨대, Au, Ti, Ni, Cu, Al, Cr, Ag 및 Pt로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.
실시예는 따른 수평형 발광 소자는 상기 제1 도전형 반도체층(21)에 완충층(15)을 형성함으로써, 제1 도전형 반도체츠, 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함하는 발광 구조물(20)의 결정성을 향상시켜 광 효율을 향상시키고 전기적 특성과 광학적 특성을 향상시킬 수 있다.
도 9는 실시예에 따른 플립형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 9에 도시한 바와 같이, 실시예에 따른 플립형 발광 소자는 도 8의 수평형 발광 소자를 180도 뒤집어 놓고, 수평형 발광 소자의 투명전극층(27) 대신에 반사전극층(29)을 형성함으로써, 그 제조가 완성될 수 있다.
상기 반사전극층(29)은 활성층(23)에서 생성된 광이 하부로 진행되는 경우, 이 광을 반사시켜 상부 방향으로 진행되도록 하여 광 추출 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 반사전극층(29)은 예컨대, 도전성과 반사성이 우수한 금속 물질로 형성될 수 있는데, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
실시예에 따른 플립형 발광 소자는 상기 제1 도전형 반도체층(21)에 완충층(15)을 형성함으로써, 제1 도전형 반도체츠, 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함하는 발광 구조물(20)의 결정성을 향상시켜 광 효율을 향상시키고 전기적 특성과 광학적 특성을 향상시킬 수 있다.
도 10은 실시예에 따른 수직형 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 10에 도시한 바와 같이, 실시예의 발광 구조물(20)에서 제2 도전형 반도체층(25) 상에 채널층(43), 반사전극층(45), 접합층(47) 및 전도성 지지 부재(49)를 형성하고 180도 뒤집은 다음, 기판(11)을 제거할 수 있다. 이어서, 메사 식각을 통해 발광 구조물(20)의 측면을 경사지게 형성될 수 있다. 이어서, 발광 구조물(20)을 보호하기 위해 발광 구조물(20)의 측면, 채널층(43)의 상면 및 발광 구조물(20)의 상면 일부분에 보호층(51)이 형성되며, 상기 제1 도전형 반도체층(21) 상에 전극(53)이 형성될 수 있다. 이와 같은 방법으로 실시예에 따른 수직형 발광 소자가 제조될 수 있다.
상기 반사전극층(45)은 광을 반사시키는 반사 특성을 갖는 한편 발광 구조물(20)에 전원을 공급하는 도전 특성을 갖는 재질로 형성될 수 있다.
상기 반사전극층(45)은 예컨대, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au 및 Hf로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 전도성 지지 부재(49)는 전기가 흐를 수 있는 도전성 재질로 형성되는데, 예컨대 Cu, Au, Ni, Mo 및 Cu-W로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 보호층(51)은 채널층(43)과 동일한 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
상기 채널층(43)과 상기 보호층(51)은 산화물, 질화물 및 절연 물질 중 하나로 형성될 수 있다. 상기 채널층(43)과 상기 보호층(51)은 예컨대, ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, GZO, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, 및 TiO2로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 형성될 수 있다.
상기 전극(53)은 전기 전도성이 우수한 재질로 형성될 수 있다. 상기 전극(53)은 예컨대, Au, Ti, Ni, Cu, Al, Cr, Ag 및 Pt로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.
한편, 전류의 수직 방향으로의 집중을 방지하기 위한 전류 차단층(41)이 상기 전극(53)과 수직 방향으로 중첩되도록 형성될 수 있다.
상기 전류 차단층(41)은 상기 보호층(51)과 상기 채널층(43)과 동일한 물질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
실시예에 따른 수직형 발광 소자는 상기 제1 도전형 반도체층(21)에 완충층(15)을 형성함으로써, 제1 도전형 반도체츠, 활성층(23) 및 제2 도전형 반도체층(25)을 포함하는 발광 구조물(20)의 결정성을 향상시켜 광 효율을 향상시키고 전기적 특성과 광학적 특성을 향상시킬 수 있다.
실시예에 따른 발광 소자(10)는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광 소자(10)가 어레이된 구조를 포함하며, 도 8 및 도 9에 도시된 표시 장치와, 도 10에 도시된 조명 장치를 포함하고, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판, 지시등과 같은 유닛에 적용될 수 있다.
도 11은 실시예에 따른 표시 장치를 도시한 분해 사시도이다.
도 11을 참조하면, 제1 실시예에 따른 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(40)과, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(40) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.
상기 도광판(1041)은 상기 발광 모듈(40)로부터 제공된 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다.
상기 발광모듈(40)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 배치되어 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.
상기 발광모듈(40)은 상기 바텀 커버 내에 적어도 하나가 배치되며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(40)은 모듈 기판(43)과 상기에 개시된 실시 예에 따른 발광 패키지(10)를 포함하며, 상기 발광 패키지(10)는 상기 모듈 기판(43) 상에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. 상기 발광 패키지(10)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 상에 탑재될 경우, 상기 모듈 기판(43)은 제거될 수 있다. 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다. 따라서, 발광 패키지(10)에서 발생된 열은 방열 플레이트를 경유하여 바텀 커버(1011)로 방출될 수 있다.
상기 복수의 발광 패키지(10)는 상기 모듈 기판(43) 상에 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 패키지(10)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 상기 표시 패널(1061)로 공급함으로써, 상기 표시 패널(1061)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광 모듈(40) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버(미도시)와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제 1 및 제 2기판, 그리고 제 1 및 제 2기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 상기 발광 모듈(40)로부터 제공된 광을 투과 또는 차단시켜 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비전과 같은 영상 표시 장치에 적용될 수 있다.
상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장 이상의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트(diffusion sheet), 수평 및 수직 프리즘 시트(horizontal/vertical prism sheet), 및 휘도 강화 시트(brightness enhanced sheet) 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1061)로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 발광 모듈(40)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041), 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
도 12는 실시예에 따른 표시 장치를 도시한 단면도이다.
도 12를 참조하면, 제2 실시예에 따른 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광 패키지(10)가 어레이된 모듈 기판(43), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다.
상기 모듈 기판(43)과 상기 발광 패키지(10)는 발광 모듈(40)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 발광 모듈(40), 광학 부재(1154)는 라이트 유닛(미도시)으로 정의될 수 있다.
상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1155)으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다.
상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(40) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(40)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.
도 13은 실시예에 따른 조명 장치를 도시한 사시도이다.
도 13을 참조하면, 실시예에 따른 조명 장치는 케이스(1510)와, 상기 케이스(1510)에 설치된 발광모듈(1530)과, 상기 케이스(1510)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1520)를 포함할 수 있다.
상기 케이스(1510)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.
상기 발광 모듈(50)은 모듈 기판(55)과, 상기 모듈 기판(55)에 탑재되는 실시 예에 따른 발광 패키지(10)를 포함할 수 있다. 상기 발광 패키지(10)는 복수개가 매트릭스 형태 또는 소정 간격으로 이격되어 어레이될 수 있다.
상기 모듈 기판(55)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB, FR-4 기판 등을 포함할 수 있다.
또한, 상기 모듈 기판(55)은 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등의 코팅층될 수 있다.
상기 모듈 기판(55) 상에는 적어도 하나의 발광 패키지(10)가 탑재될 수 있다. 상기 발광 패키지(10) 각각은 적어도 하나의 LED(LED: Light Emitting Diode) 칩을 포함할 수 있다. 상기 LED 칩은 적색, 녹색, 청색 또는 백색 등과 같은 가시 광선 대역의 발광 다이오드 또는 자외선(UV, Ultra Violet)을 발광하는 UV 발광 다이오드를 포함할 수 있다.
상기 발광 모듈(50)은 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광 패키지(10)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.
상기 연결 단자(1520)는 상기 발광 모듈(50)과 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 상기 연결 단자(1520)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1520)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.
11: 기판 13: 반도체층
13a: 제1 반도체층 13b: 제2 반도체층
15, 15a, 15b, 15c; 완충층 20, 20A: 발광 구조물
21: 제1 도전형 반도체층 23: 활성층
25: 제2 도전형 반도체층 21a: 하부 제1 도전형 반도체층
21b: 상부 제1 도전형 반도체층
31a, 31b; 기수번째 제1 도전형 반도체층
31b, 31d: 우수번째 제1 도전형 반도체층
27: 투명전극층
29, 45: 반사전극층
31: 제1 전극 33: 제2 전극
41: 전류 차단층 43: 채널층
47: 접합층 49: 전도성 지지부재
51: 보호막 53: 전극

Claims (5)

  1. r-면 사파이어을 포함하는 기판;
    상기 r-면 사파이어 상에 형성되는 a-면 GaN을 포함하고, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 및
    상기 제1 도전형 반도체층 내에 형성되고, 암염 구조(NaCl)를 갖는 질화물 계열을 포함하는 다수의 완충층을 포함하고,
    상기 제1도전형 반도체층은 상기 r-면 사파이어 상에 a-면으로 형성된 GaN을 포함하고,
    상기 완충층은 LaN, ThN, PrN, NdN 및 SmN로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하며,
    상기 제1도전형 반도체층은 상기 기판과 접촉되며,
    상기 다수의 완충층은 이격되어 상기 제1 도전형 반도체층 내에 형성되는 발광 소자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 도전형 반도체층은 상기 다수의 완충층에 의해 분리되는 발광 소자.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
KR1020110141953A 2011-12-26 2011-12-26 발광 소자 KR101904048B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110141953A KR101904048B1 (ko) 2011-12-26 2011-12-26 발광 소자

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110141953A KR101904048B1 (ko) 2011-12-26 2011-12-26 발광 소자

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130074082A KR20130074082A (ko) 2013-07-04
KR101904048B1 true KR101904048B1 (ko) 2018-10-04

Family

ID=48988259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110141953A KR101904048B1 (ko) 2011-12-26 2011-12-26 발광 소자

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101904048B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101439064B1 (ko) * 2013-12-02 2014-09-05 단국대학교 산학협력단 이종 접합 구조를 가지는 발광 다이오드 및 이의 제조방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010521064A (ja) * 2007-03-09 2010-06-17 クリー インコーポレイテッド 中間層構造を有する厚い窒化物半導体構造、及び厚い窒化物半導体構造を製造する方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010521064A (ja) * 2007-03-09 2010-06-17 クリー インコーポレイテッド 中間層構造を有する厚い窒化物半導体構造、及び厚い窒化物半導体構造を製造する方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130074082A (ko) 2013-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2375459B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting system
KR101081062B1 (ko) 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
EP2369643B1 (en) Light-emitting diode
KR101957816B1 (ko) 발광 소자
EP2581953B1 (en) Light emitting device
EP2362447A2 (en) Light emitting diode
KR20150142327A (ko) 발광 소자 및 발광 소자 패키지
KR101990095B1 (ko) 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
KR20120111364A (ko) 발광 소자 및 발광 소자 패키지
EP2405496A2 (en) Light emitting device with an N-face between two n-type semiconductor layers
KR101851206B1 (ko) 반도체 성장용 기판, 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법
KR101843420B1 (ko) 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
KR101904048B1 (ko) 발광 소자
KR101944410B1 (ko) 발광 소자
KR20130067770A (ko) 발광 소자
JP2011146707A (ja) 発光素子チップ、発光素子パッケージ
KR101904044B1 (ko) 발광 소자
KR101895300B1 (ko) 반도체 발광 소자
KR102034710B1 (ko) 발광 소자
KR20150062530A (ko) 발광소자
KR101904852B1 (ko) 발광 소자
KR20130025452A (ko) 발광 소자
KR101913712B1 (ko) 발광 소자
KR101826980B1 (ko) 발광소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
KR102127440B1 (ko) 발광 소자 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant