KR101902603B1 - 디스플레이 셀의 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

디스플레이 셀의 검사 방법에서, 상기 디스플레이 셀의 검사 패드들에 검사 신호들을 인가하여 상기 디스플레이 셀을 점등시키는 단계와, 상기 점등된 디스플레이 셀의 광학적 특성값들이 기 설정된 범위에 도달될 때까지 상기 점등 상태를 유지하는 단계와, 상기 광학적 특성값들이 상기 기 설정된 범위에 도달되는데 소요된 시간을 에이징 시간으로 설정하는 단계와, 상기 에이징 시간이 경과된 후 상기 점등된 디스플레이 셀에 대한 광학적 특성 검사를 수행하는 단계가 수행될 수 있다.

Description

디스플레이 셀의 검사 방법{Method of inspecting display cells}
본 발명의 실시예들은 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 유기발광소자(OLED: Organic Light Emitting Device) 셀들과 같이 모기판(이하, '기판'이라 한다) 상에 형성된 디스플레이 셀들을 전기적 및 광학적으로 검사하기 위한 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 장치로서 사용되는 OLED 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수하며 또한 응답 속도가 빠르다는 장점을 갖고 있어 최근 휴대형 디스플레이 장치, 스마트 폰, 태블릿 PC 등에 널리 사용되고 있을 뿐만 아니라 대형화를 통한 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다. 특히, 상기 OLED 장치는 무기발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동 전압, 응답 속도 등의 특성이 우수한 장점이 있다.
상기 OLED 장치의 제조 공정에서 기판 상에는 다양한 막 형성 공정과 식각 공정 등을 통하여 TFT(Thin Film Transistor) 층이 형성되고, 상기 TFT 층 상에는 하부 전극과 유기막층(예를 들면, 정공수송층, 발광층, 전자수송층) 및 상부 전극으로 이루어진 유기발광층이 형성될 수 있다. 이어서, 상기 TFT 층 및 유기발광층이 형성된 기판을 봉지기판을 이용하여 봉지함으로써 상기 OLED 장치가 완성될 수 있다.
특히, 상기 기판 상에는 복수의 OLED 셀들이 형성될 수 있으며, 상기 봉지 공정이 완료된 후 절단 공정을 통해 각각의 OLED 셀들을 개별화함으로써 OLED 장치를 완성할 수 있다.
한편, 상기 봉지 공정이 완료된 후 상기 기판 상에 형성된 OLED 셀들에 대한 검사 공정이 수행될 수 있다. 상기 검사 공정에서는 상기 OLED 셀들에 검사 신호를 인가하여 TFT 층의 기능 검사, 보정 회로 검사, 화질 검사, 분광 검사, 이미지 검사 등이 수행될 수 있다. 그러나, 상술한 바와 같이 봉지 공정이 완료된 후 검사 공정이 수행되고 있으므로, 상기 검사 공정에서 불량품으로 판정되는 OLED 장치들에 의한 손실이 증가될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 봉지 공정을 수행하기 전에 상기 OLED 셀들에 대한 검사 공정을 수행하는 장치가 대한민국 등록특허공보 제10-1373423호에 개시되어 있다. 상기 OLED 셀들에 대한 검사 공정은 프로브 카드의 탐침들을 상기 OLED 셀들의 검사 패드들에 접촉시킨 후 상기 OLED 셀들에 검사 신호들을 인가함으로써 수행될 수 있다.
그러나, 상기 검사 신호들의 인가에 의해 점등된 OLED 셀들의 광학적 특성값들은 상기 OLED 셀들이 충분히 안정화되지 않은 상태이므로 그 신뢰도가 다소 낮을 수 있으며, 이에 의해 상기 OLED 셀들의 검사 신뢰도가 저하될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 OLED 셀과 같은 디스플레이 셀의 검사 공정에서 신뢰도를 향상시킬 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법에서, 디스플레이 셀의 검사 패드들에 검사 신호들을 인가하여 상기 디스플레이 셀을 점등시키는 단계와, 상기 점등된 디스플레이 셀의 광학적 특성값들이 기 설정된 범위에 도달될 때까지 상기 점등 상태를 유지하는 단계와, 상기 광학적 특성값들이 상기 기 설정된 범위에 도달되는데 소요된 시간을 에이징 시간으로 설정하는 단계와, 상기 에이징 시간이 경과된 후 상기 점등된 디스플레이 셀에 대한 광학적 특성 검사를 수행하는 단계가 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 제2 디스플레이 셀의 검사 패드들에 상기 에이징 시간 동안 에이징 신호들을 인가하여 상기 제2 디스플레이 셀을 안정화시키는 단계와, 상기 제2 디스플레이 셀에 검사 신호들을 인가하여 상기 제2 디스플레이 셀에 대한 광학적 특성 검사를 수행하는 단계가 더 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에이징 신호들은 상기 검사 신호들 중에서 점등 신호들을 제외한 나머지 신호들일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 광학적 특성값들은 상기 디스플레이 셀의 화소들의 휘도를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 디스플레이 셀은 기판 상에 형성된 유기발광소자 셀일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 디스플레이 셀을 검사하기 위한 단계들은 상기 기판 상에 상기 디스플레이 셀을 형성하는 셀 공정과 봉지 기판을 상기 기판 상에 합착하는 봉지 공정 사이에 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 신호들은 프로브 카드의 탐침들을 통해 상기 검사 패드들에 인가될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, OLED 셀들에 대한 검사 공정을 셀 공정과 봉지 공정 사이에 수행함으로써 불량 셀들이 봉지 공정을 통해 완제품으로 생산됨으로써 발생되는 손실을 방지할 수 있다.
또한, 상기 OLED 셀들에 대한 검사 공정을 수행하기 이전에 상기 OLED 셀들에 대한 에이징 단계를 수행함으로써 상기 OLED 셀들에 대한 광학적 특성 검사의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
특히, 첫 번째 OLED 셀에 대하여 검사 신호들을 인가하여 상기 첫 번째 OLED 셀을 안정화시키되 이에 소요되는 시간을 측정하여 후속하는 OLED 셀들에 적용할 수 있으며, 후속 OLED 셀들에 대한 에이징 단계에서 별도의 에이징 신호들을 마련할 필요없이 검사 신호들 중에서 점등 신호들만을 제외함으로써 보다 간단하게 후속 OLED 셀들에 대한 에이징 단계를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법을 수행하는데 적합한 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 디스플레이 셀이 형성된 기판을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법을 수행하는데 적합한 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 디스플레이 셀이 형성된 기판을 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법은 OLED 셀들(20)과 같은 디스플레이 셀들에 대한 광학적 검사를 수행하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 디스플레이 셀의 검사 방법을 수행하기 위한 검사 장치(100)는 OLED 장치의 제조 공정에서 기판(10) 상에 복수의 OLED 셀들(20)을 형성하는 셀 공정과 봉지 기판을 상기 OLED 셀들(20)이 형성된 기판(10) 상에 합착하는 봉지 공정 사이에 배치될 수 있으며, 인라인 방식으로 상기 OLED 셀들(20)에 대한 광학적 특성 검사를 수행할 수 있다. 즉, 상기 검사 장치(100)는 셀 공정 설비와 봉지 공정 설비 사이에 연결될 수 있으며, 상기 기판(10)은 기판 이송 장치(미도시)에 의해 상기 셀 공정 설비에서 상기 검사 장치(100)로, 그리고 상기 검사 장치(100)에 상기 봉지 공정 설비로 이송될 수 있다.
한편, 상기 셀 공정은 기판(10) 상에 복수의 OLED 셀들(20)을 형성하는 공정으로, 상기 기판(10) 상에 TFT 어레이 층을 형성하고, 상기 TFT 어레이 층 상에 유기발광층을 형성하는 단계들을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 유기발광층은 하부 전극층과, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 상부 전극층 등을 포함할 수 있다. 상기 OLED 셀들(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 TFT 어레이 층과 전기적으로 연결되는 복수의 검사 패드들(22)을 각각 구비할 수 있다.
상기 봉지 공정은 상기 OLED 셀들(20)이 형성된 기판(10)과 봉지 기판을 합착함으로써 상기 OLED 셀들(20)을 봉지하는 공정으로 상기 셀 공정 이후에 수행될 수 있다.
상기 검사 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법을 수행하기 위한 검사 챔버(102)를 구비할 수 있다. 상기 기판(10)은 상기 기판 이송 장치에 의해 상기 검사 챔버(102) 내부로 이송될 수 있다. 상기 검사 챔버(102) 내에는 상기 기판(10)을 지지하기 위한 기판 스테이지(110)가 배치될 수 있다. 이때, 상기 기판(10)은 상기 OLED 셀들(20)이 아래를 향하도록 위치될 수 있으며, 상기 기판 스테이지(110)의 하부면 상에 진공 흡착될 수 있다.
상기 기판 스테이지(110)는 상기 기판(10)을 흡착하기 위한 진공홀들이 형성된 진공 플레이트와 상기 진공 플레이트를 수평 및 수직 방향으로 이동시키고 또한 회전시키기 위한 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.
상기 기판 스테이지(110)의 아래에는 상기 OLED 셀들(20)에 검사 신호들을 인가하기 위한 프로브 카드(120)가 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 기판 스테이지(110) 아래에는 카드 스테이지(122)가 배치될 수 있으며, 상기 카드 스테이지(122) 상에 상기 프로브 카드(120)가 배치될 수 있다.
한편, 상기 OLED 셀들(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 기판(10) 상에서 복수의 행과 열의 형태로 배치될 수 있다. 그러나, 상기 OLED 셀(20)의 크기에 따라 상기 기판(10) 상에는 하나 또는 2개의 OLED 셀들(20)이 배치될 수도 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 프로브 카드(120)는 대략 사각 플레이트 형태를 가질 수 있으며 상기 OLED 셀들(20)의 검사 패드들(22)에 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 가질 수 있다. 상기 탐침들은 상기 프로브 카드(120)의 일측 모서리를 따라 일렬로 배치될 수 있으며, 행 방향 또는 열 방향으로 배열된 복수의 OLED 셀들(20)에 동시에 접촉될 수 있다. 그러나, 상기 기판(10) 상에 하나의 OLED 셀(20)이 형성된 경우 상기 탐침들은 상기 하나의 OLED 셀(20)의 검사 패드들(22)에 동시에 접촉될 수도 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 프로브 카드(120)는 상기 검사 신호들을 제공하기 위한 신호 발생부(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 검사 챔버(102)의 일측에는 복수의 프로브 카드들(120)을 수납하기 위한 카드 수납 챔버(130)가 배치될 수 있다. 또한 상기 검사 챔버(102) 내에는 상기 카드 수납 챔버(130)와 상기 카드 스테이지(122) 사이에서 상기 프로브 카드(120)를 이송하기 위한 카드 이송부(140)가 배치될 수 있다. 상기 카드 이송부(140)는 상기 카드 수납 챔버(130)로부터 프로브 카드(120)를 인출하고 상기 인출된 프로브 카드(120)를 상기 카드 스테이지(122) 상으로 이송하기 위하여 사용될 수 있다.
또한, 상기 검사 챔버(102) 내에는 상기 OLED 셀들(20)에 대한 광학적 특성 검사를 위한 광학적 검사부(150)가 배치될 수 있다. 상기 광학적 검사부(150)는 검사 카메라와 분광기 및 형광 현미경을 포함할 수 있다. 상기 검사 카메라는 상기 OLED 셀들(20)의 화질을 검사하기 위하여 사용될 수 있으며, 상기 분광기는 상기 OLED 셀들(20)의 색좌표, 색온도 등을 측정하기 위하여 사용될 수 있다. 또한 상기 형광 현미경은 상기 기판(10) 상의 이물질, 얼룩 등을 검출하고, 또한 상기 OLED 셀들(20)의 박막 패턴들의 얼라인 상태 등을 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 상기 검사 카메라와 분광기 및 형광 현미경은 상기 OLED 셀들(20)을 검사하기 위하여 수평 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 셀의 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3을 참조하면, S100 단계에서, 상기 기판(10) 상의 OLED 셀들(20) 중 하나 또는 일부의 검사 패드들(22)에 프로브 카드(120)의 탐침들을 접촉시킬 수 있다. 특히, 상기 기판(10)은 기판 이송 장치의 기판 이송 로봇에 의해 상기 검사 챔버(102) 내부로 이송될 수 있으며, 상기 기판(10)의 후면이 상기 스테이지(110)의 하부면에 진공 흡착될 수 있다. 이때, 상기 프로브 카드(120)는 상기 카드 스테이지(122) 상에 위치될 수 있다. 상기 기판 스테이지(110)는 상기 기판(10)을 하방으로 이동시킬 수 있으며, 이에 의해 상기 프로브 카드(120)의 탐침들이 상기 OLED 셀들(20) 중 하나 또는 일부의 검사 패드들(22)에 접촉될 수 있다.
S110 단계에서, 상기 프로브 카드(120)와 전기적으로 연결된 OLED 셀(20)의 검사 패드들(22)에 검사 신호들을 인가하여 상기 OLED 셀(20)을 점등시킬 수 있다. 이때, 하나의 OLED 셀(20)에 대하여 상기 검사 신호들을 인가할 수 있다. 특히, 복수의 OLED 셀들(20)이 상기 프로브 카드(120)와 접촉된 상태인 경우에도 상기 OLED 셀들(20) 중 하나에 대하여 상기 검사 신호들이 선택적으로 인가될 수 있다. 이는 복수의 OLED 셀들(20)이 동시에 점등되는 경우 상기 OLED 셀들(20)로부터 발생된 광 신호들이 서로 중첩될 수 있으며, 이에 의해 상기 OLED 셀들(20)의 광학적 검사가 용이하지 않기 때문이다.
S120 단계에서, 상기 점등된 OLED 셀(20)의 광학적 특성값들이 기 설정된 범위에 도달될 때까지 상기 점등 상태를 유지시킬 수 있으며, S130 단계에서, 상기 광학적 특성값들이 상기 기 설정된 범위에 도달되는데 소요되는 시간을 에이징 시간으로 설정할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 광학적 특성값들은 상기 OLED 셀(20)의 화소들의 휘도를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 OLED 셀(20)에 상기 검사 신호들이 인가될 경우 상기 OLED 셀(20)의 화소들이 기 설정된 밝기에 도달되기까지 일정 시간이 소요될 수 있으며, 상기 화소들의 밝기가 평균적으로 기 설정된 범위에 도달된 후 즉 상기 OLED 셀(20)이 충분히 안정화된 후 상기 OLED 셀(20)에 대한 검사 공정을 수행하는 것이 바람직하다.
S140 단계에서, 상기 에이징 시간이 경과된 후 상기 점등된 OLED 셀(20)에 대한 광학적 특성 검사를 수행할 수 있다. 일 예로서, 상기 OLED 셀(20)에 대한 광학적 검사는 상기 검사 카메라와 분광기를 이용하여 수행될 수 있으며, 상기 OLED 셀(20)의 화질 검사 및 색온도, 색좌표 등의 광학적 특성 검사가 수행될 수 있다.
상기 OLED 셀(20)에 대한 광학적 검사가 완료된 후, S150 단계에서, 후속하는 제2 디스플레이 셀 즉 제2 OLED 셀(20)의 검사 패드들(22)에 에이징 신호들을 인가하여 상기 제2 OLED 셀(20)을 안정화시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 OLED 셀(20)의 검사 패드들(22)은 상기 S100 단계에서 이미 상기 프로브 카드(120)의 탐침들과 접촉된 상태일 수 있으며, 이와 다르게 상기 프로브 카드(120)의 탐침들을 상기 제2 OLED 셀(20)의 검사 패드들(22)에 접촉시키는 단계가 추가적으로 수행될 수도 있다.
S160 단계에서, 상기 제2 OLED 셀(20)에 대한 안정화가 완료된 후 즉 상기 에이징 시간이 경과된 후 상기 제2 OLED 셀(20)에 검사 신호들을 인가하여 상기 제2 OLED 셀(20)에 대한 광학적 특성 검사를 수행할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 에이징 신호들은 상기 검사 신호들 중에서 점등 신호들을 제외한 나머지 신호들일 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, OLED 셀들(20)에 대한 검사 공정을 셀 공정과 봉지 공정 사이에 수행함으로써 불량 셀들이 봉지 공정을 통해 완제품으로 생산됨으로써 발생되는 손실을 방지할 수 있다.
또한, 상기 OLED 셀들(20)에 대한 검사 공정을 수행하기 이전에 상기 OLED 셀들(20)에 대한 에이징 단계를 수행함으로써 상기 OLED 셀들(20)에 대한 광학적 특성 검사의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
특히, 첫 번째 OLED 셀(20)에 대하여 검사 신호들을 인가하여 상기 첫 번째 OLED 셀(20)을 안정화시키되 이에 소요되는 시간을 측정하여 후속하는 OLED 셀들(20)에 적용할 수 있으며, 후속 OLED 셀들(20)에 대한 에이징 단계에서 별도의 에이징 신호들을 마련할 필요없이 검사 신호들 중에서 점등 신호들만을 제외함으로써 보다 간단하게 후속 OLED 셀들(20)에 대한 에이징 단계를 수행할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 20 : OLED 셀
22 : 검사 패드 100 : 검사 장치
102 : 검사 챔버 110 : 기판 스테이지
120 : 프로브 카드 122 : 카드 스테이지
130 : 카드 수납 챔버 140 : 카드 이송부
150 : 광학적 검사부

Claims (7)

  1. 디스플레이 셀의 검사 패드들에 검사 신호들을 인가하여 상기 디스플레이 셀을 점등시키는 단계;
    상기 점등된 디스플레이 셀의 광학적 특성값들이 기 설정된 범위에 도달될 때까지 상기 점등 상태를 유지하는 단계;
    상기 광학적 특성값들이 상기 기 설정된 범위에 도달되는데 소요된 시간을 에이징 시간으로 설정하는 단계; 및
    상기 에이징 시간이 경과된 후 상기 점등된 디스플레이 셀에 대한 광학적 특성 검사를 수행하는 단계를 포함하되,
    상기 디스플레이 셀은 기판 상에 형성된 유기발광소자 셀이며, 상기 디스플레이 셀을 검사하기 위한 단계들은 상기 기판 상에 상기 디스플레이 셀을 형성하는 셀 공정과 봉지 기판을 상기 기판 상에 합착하는 봉지 공정 사이에 수행되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 셀의 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제2 디스플레이 셀의 검사 패드들에 상기 에이징 시간 동안 에이징 신호들을 인가하여 상기 제2 디스플레이 셀을 안정화시키는 단계; 및
    상기 제2 디스플레이 셀에 검사 신호들을 인가하여 상기 제2 디스플레이 셀에 대한 광학적 특성 검사를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 셀의 검사 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 에이징 신호들은 상기 검사 신호들 중에서 점등 신호들을 제외한 나머지 신호들인 것을 특징으로 하는 디스플레이 셀의 검사 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광학적 특성값들은 상기 디스플레이 셀의 화소들의 휘도를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 셀의 검사 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 검사 신호들은 프로브 카드의 탐침들을 통해 상기 검사 패드들에 인가되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 셀의 검사 방법.
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